KR20110115961A - 광학 장치 및 하우징 - Google Patents
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Abstract
광학 장치는 입사광에 대해 투명한 제1 기재와, 입사광에 대해 투명한 제2 기재와, 상기 제1 기재와 상기 제2 기재를 연결하는 프레임 부재를 포함한다. 상기 제1 기재, 상기 제2 기재 및 상기 프레임 부재에 의해 둘러싸인 렌즈 챔버는 액체 렌즈를 구성하는 제1 액체 및 제2 액체에 의해 채워진다. 상기 제1 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 상기 제1 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층, 유기 재료로 이루어지는 밀착층 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층이 이 순서로 적층되어 있다.
Description
본 발명은 일렉트로웨팅(electrowetting) 현상을 이용하는 광학 장치 및 이러한 광학 장치를 구성하는 하우징에 관한 것이다.
최근, 일렉트로웨팅 현상(전기적 모세관 현상)을 이용한 광학 장치의 개발이 진행되고 있다. 용어 "일렉트로웨팅 현상"이란 도전성 액체와 전극 사이에 전압을 인가했을 때에 전극의 표면과 액체 사이의 고액 계면에서의 에너지가 변화하고, 그 결과 액체 표면의 형상이 변화하는 현상을 말한다.
도 6a 및 도 6b는 일렉트로웨팅 현상의 원리를 설명하기 위한 도면이다. 도 6a에 모식적으로 도시된 바와 같이, 예를 들어, 전극(101)의 표면에 절연층(102)이 배치되어 있고, 이 절연층(102) 상에 전해액의 도전성 액적(103)이 위치된다. 절연층(102)의 표면에는 발수 처리(water repellency treatment)가 실시된다. 도 6a에 도시한 바와 같이, 전압을 인가하지 않은 상태에서는, 절연층(102)의 표면과 액적(103) 사이의 상호 작용 에너지는 낮고, 접촉각 θ0은 크다. 접촉각 θ0은 절연층(102)의 표면과 액적(103)의 정접선(tangent line) 사이의 각도로 정의되며, 액적(103)의 표면 장력이나 절연층(102)의 표면 에너지 등의 물성에 의존한다.
한편, 도 6b에 모식적으로 도시된 바와 같이, 전극(101)과 액적(103) 사이에 전압을 인가하면, 액적의 전해질 이온이 절연층(102)의 표면 근처에 집중되고, 그 결과 전하 이중층의 대전량 변화가 발생하고, 액적(103)의 표면 장력의 변화가 유발된다. 이 현상이 일렉트로웨팅 현상이며, 인가 전압의 양에 따라 액적(103)의 접촉각 θv가 변화한다. 즉, 도 6b에서, 접촉각 θv는 인가 전압 V의 함수로서 이하의 Lippman-Young의 식 (A)에 따라 표현된다.
여기서, ε0는 진공의 유전율이고, ε은 절연층의 비유전율이고, 
는 전해액의 표면 장력이고, t는 절연층의 두께이다.
상술된 바와 같이, 전극(101)과 액적(103) 사이에 인가되는 전압 V의 크기에 따라 액적(103)의 표면 형상(곡률)이 변화한다. 따라서, 액적(103)을 렌즈 소자로서 사용하는 경우, 초점 위치(초점 거리)를 전기적으로 제어할 수 있는 광학 소자를 실현할 수 있다.
이러한 광학 소자를 사용한 광학 장치의 개발이 진행되고 있다. 예를 들어, 일본 특허 출원 공개 제2000-356708호는 스트로보스코픽(stroboscopic) 장치용의 렌즈 어레이를 제안하고 있다. 이 렌즈 어레이에서는, 기판 표면의 발수막 상으로 어레이 형상으로 배치된 절연성 액체의 액적과 도전성 액체를 봉입함으로써, 가변 초점 렌즈를 구성하고 있다. 이 구성에서는, 절연성 액체와 도전성 액체 사이의 계면 형상으로 개개의 렌즈가 형성된다. 일렉트로웨팅 현상을 이용하여 각 렌즈 형상을 전기적으로 제어하여, 초점 거리를 변화시키고 있다. 또한, 일본 특허 출원 공개 제2002-162507호는 액체 렌즈로 구성되는 원통형 렌즈를 개시하고 있다.
일본 특허 출원 공개 제2000-356708호
일본 특허 출원 공개 제2002-162507호
일반적으로, 절연층(102)의 하지(base)는 전극(101)으로 구성될 뿐만 아니라, 플라스틱 재료로도 구성된다. 즉, 절연층(102)의 하지에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 한편, 성막 특성의 관점에서, 많은 경우, 절연층(102)은 유기 재료로 이루어진다. 그러나, 절연층(102)에 적합한 유기 재료는 종종 유기 재료로 이루어지는 영역에 대한 밀착성(adhesion)이 부족하고, 하지에서의 유기 재료로 이루어지는 영역으로부터 용이하게 분리되는 문제가 있다.
일렉트로웨팅 현상을 이용한 광학 장치로서, 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하는 하지에 대해 높은 밀착성을 갖는 절연층을 포함하는 광학 장치를 제공하고, 이러한 광학 장치를 구성하는 하우징을 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에 따르면, 광학 장치로서, (a) 입사광에 대해 투명한 제1 기재와, (b) 입사광에 대해 투명하고, 상기 제1 기재에 대향하는 제2 기재와, (c) 상기 제1 기재와 상기 제2 기재를 연결하는 프레임 부재를 포함하는 광학 장치가 제공된다. 상기 제1 기재, 상기 제2 기재 및 상기 프레임 부재에 의해 둘러싸인 렌즈 챔버는 액체 렌즈를 구성하는 제1 액체 및 제2 액체에 의해 채워진다. 상기 렌즈 챔버를 향하는 상기 제1 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 상기 렌즈 챔버를 향하는 상기 제1 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층, 유기 재료로 이루어지는 밀착층 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층이 이 순서로 적층되어 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 하우징으로서, 기재와, 유기 재료로 이루어지는 접착제층에 의해 상기 기재에 접착된 프레임 부재를 포함하는 하우징이 제공된다. 상기 하우징의 내부를 향하는 상기 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 상기 하우징의 내부를 향하는 상기 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층, 유기 재료로 이루어지는 밀착층 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층이 이 순서로 적층되어 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 렌즈 챔버를 향하는 제1 기재의 내면 및 프레임 부재의 내면, 또는 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 하우징의 내부를 향하는 기재의 내면 및 프레임 부재의 내면(이하, "하지"라 총칭할 수 있음) 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층 및 유기 재료로 이루어지는 밀착층이 적층되고, 밀착층 상에는 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층이 형성되어 있다. 이와 같이, 하지 상에는, 하지에 대해 우수한 밀착성을 갖는 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층을 형성하고, 제1 절연층에 대해 우수한 밀착 효과를 갖는 유기 재료로 이루어지는 밀착층을 형성하고, 밀착층의 존재 시에 우수한 밀착성을 발휘하는 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층을 형성한다. 그 결과, 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역에 의해 구성되는 하지에 대해 높은 밀착성을 갖는 제2 절연층을 얻을 수 있다.
도 1a는 제1 실시예에 따른 광학 장치를 도 1b의 선 IA-IA를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 도 1b는 광학 장치를 도 1a의 선 IB-IB를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 도 1c는 광학 장치를 도 1a의 선 IC-IC를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 각각 광학 장치를 도 1a의 선 IC-IC를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 액체 렌즈의 원리를 설명하는 도면이다.
도 3a는 제1 실시예에 따른 하우징을 도 3b의 선 IIIA-IIIA를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 도 3b는 하우징을 도 3a의 선 IIIB-IIIB를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 도 3c는 하우징을 도 3a의 선 IIIC-IIIC를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 4는 제2 실시예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를 도 5a의 선 IV-IV를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 5a는 제2 실시예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를, 도 5b는 제2 실시예의 변형예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를, 도 4의 선 V-V를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 전기적 모세관 현상의 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 각각 광학 장치를 도 1a의 선 IC-IC를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 액체 렌즈의 원리를 설명하는 도면이다.
도 3a는 제1 실시예에 따른 하우징을 도 3b의 선 IIIA-IIIA를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 도 3b는 하우징을 도 3a의 선 IIIB-IIIB를 따라 취한 모식적인 단면도이고, 도 3c는 하우징을 도 3a의 선 IIIC-IIIC를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 4는 제2 실시예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를 도 5a의 선 IV-IV를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 5a는 제2 실시예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를, 도 5b는 제2 실시예의 변형예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를, 도 4의 선 V-V를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 전기적 모세관 현상의 원리를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다. 그러나, 본 발명은 실시예에 한정되는 것이 아니고, 실시예에서의 다양한 수치나 재료는 단지 예시를 위한 것이라는 것을 이해해야 한다. 설명은 이하의 순서로 행한다.
1. 본 발명의 실시예에 따른 광학 장치 및 하우징 전반에 관한 설명
2. 제1 실시예(광학 장치 및 하우징)
3. 제2 실시예(제1 실시예의 변형) 및 기타
[본 발명의 실시예에 따른 광학 장치 및 하우징 전반에 관한 설명]
본 발명의 실시예에 따른 광학 장치 또는 하우징(이하, 본 발명의 실시예로 간단히 총칭할 수 있음)에서, 제2 절연층을 구성하는 유기 재료의 예로서 이하의 구조식 (1) 내지 (5)로 나타내는 파라크실릴렌계 중합체를 포함한다. 파라크실릴렌계 중합체의 경우, 반응성이 높은 단량체 가스를 사용하고, 단량체 가스가 밀착층에 접한 위치에서 중합이 이루어져 성막된다. 따라서, 미세한 영역에도 핀 홀이 없는 등각의(conformal) 제2 절연층을 얻을 수 있다. 따라서, 파라크실릴렌계 중합체는 제2 절연층을 구성하기에 매우 적합한 재료이다. 제2 절연층을 구성하는 유기 재료의 다른 예로서, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리이미드 수지,에폭시 수지, 페놀 수지 및 나일론 수지를 포함한다. 이들 재료는 유기 재료로 이루어지는 밀착층의 존재 시에 높은 밀착성을 발휘하도록 된다.
본 발명의 바람직한 실시예를 포함하는 실시예에서는, 제1 절연층을 구성하는 무기 재료의 예로서, SiO2을 포함하는 SiOX계 재료, SiN, SiON, 산화 불화 실리콘(SiOF), 산화알루미늄(Al2O3), 산화티타늄(TiO2), 산화탄탈(Ta2O5), 산화마그네슘(MgO), 산화크롬(CrOx), 산화지르코늄(ZrO2), 산화 니오븀(Nb2O5), 산화주석(SnO2), 산화바나듐(VOx), SiNx, AlN, TiN, TaN, CrN, ZrN, NbN 및 VN을 포함한다. 제1 절연층을 전자 빔 증착법 또는 열필라멘트 증착법과 같은 증착법, 또는 스퍼터링법을 포함하는 물리적 기상 성장법(PVD)으로 형성(성막)하는 것이 하지에 대한 제1 절연층의 양호한 밀착성을 얻는다는 관점에서 바람직하다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 포함하는 실시예에서는, 밀착층을 구성하는 유기 재료는 실란 커플링제(silane coupling agent)로 이루어질 수 있다. 밀착층이 실란 커플링제로 이루어지는 경우, 각종 도포법 및 침지법을 사용하여 밀착층을 형성(성막)할 수 있다. 이러한 밀착층은 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층과 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층 사이의 밀착성의 향상을 도모할 수 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 포함하는 실시예에서는, 제1 기재와 프레임 부재는 유기 재료로 이루어지는 접착제층에 의해 접착되어, 접착제층은 렌즈 챔버를 향한 부분을 가질 수 있다. 접착제층을 구성하는 유기 재료로서는, 피접착물인 제1 기재 및 프레임 부재를 구성하는 재료에 적합한 유기 재료를 적절히 선택할 수 있다. 그 예로서 에폭시 접착제, 우레탄 접착제, 아크릴 접착제 및 실리콘 접착제를 포함한다.
또한, 바람직한 실시예를 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 광학 장치에서는, 적어도 프레임 부재의 내면의 일부에는 무기 재료로 이루어지는 제1 전극이 설치될 수 있고, 제1 전극은 무기 재료로 이루어지는 영역을 구성하고, 렌즈 챔버를 향한 제2 기재의 내면의 일부에는 무기 재료로 이루어지는 제2 전극이 설치될 수 있다. 제1 전극은 렌즈 챔버를 향한 제1 기재의 내면의 일부에도 설치될 수 있다. 이 경우에는, 프레임 부재의 내면의 잔량부(remainder)는 유기 재료로 이루어지는 영역을 구성할 수 있다.
제1 전극 및 제2 전극은 각각 사용되는 영역 및 요구되는 특성에 따라 투명 전극일 수 있다. 투명 전극을 구성하는 재료의 예로서 ITO, Sn-도핑 In2O3, 결정성 ITO, 아몰퍼스 ITO 및 은 첨가 ITO를 포함하는 인듐- 주석 산화물, 인듐- 아연 산화물(IZO), F-도핑 In2O3(IFO)를 포함하는 In2O3계 재료, Sb-도핑 SnO2(ATO) 및 F-도핑 SnO2(FTO)를 포함하는 산화주석계 재료, ZnO, Al-도핑 ZnO, B-도핑 ZnO 및 Ga-도핑 ZnO를 포함하는 산화아연계 재료, Sb2O5계 재료, In4Sn3O12, InGaZnO, 산화티타늄(TiO2), 스피넬형(spinel-type) 산화물, 및 YbFe2O4 구조를 갖는 산화물 등의 도전성 금속 산화물; 금속; 합금; 및 반도체 재료를 포함한다. 대안적으로, 제1 전극 및 제2 전극은 각각 금속 또는 합금 등의 무기 재료로 이루어지는 불투명 전극일 수 있다. 무기 재료의 구체적인 예로서 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 니오븀(Nb), 탄탈(Ta), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 코발트(Co), 지르코늄(Zr), 철(Fe), 백금(Pt) 및 아연(Zn) 등의 금속; 이들 금속 원소를 포함하는 합금(예를 들어 MoW) 또는 이들 금속 원소를 포함하는 화합물(예를 들어 TiN 등의 질화물, 및 WSi2, MoSi2, TiSi2 및 TaSi2 등의 실리사이드); 실리콘(Si) 등의 반도체; 다이아몬드 등의 탄소 박막을 포함한다. 이들 전극의 형성 방법의 예로서 전자 빔 증착법 또는 열필라멘트 증착법과 같은 증착법, 스퍼터링법, CVD법, 또는 이온 플레이팅법과 에칭법의 조합; 스크린 인쇄법; 도금법(전기도금법 또는 무전해 도금법); 리프트 오프법; 레이저 애블레이션법(laser ablation); 및 졸-겔법을 포함한다.
렌즈 챔버 내에 격벽 부재(구획 부재)를 배치하여, 렌즈 챔버를 복수의 영역(부분)으로 구획할 수 있다.
각 격벽 부재의 저면은 제1 기재까지 연장하고, 격벽 부재의 상면은 제2 기재까지 연장하는 구성을 사용할 수 있다. 격벽 부재의 "상면"이라는 용어는 제2 기재에 대향한 면을 가리키고, 격벽 부재의 "저면"이라는 용어는 제1 기재에 대향한 면을 가리킨다. 이는 이하의 설명에도 적용된다. 대안적으로, 각 격벽 부재의 저면은 제1 기재까지 연장하고, 격벽 부재의 상면과 제2 기재 사이에 간극이 존재하는 구성을 사용할 수 있다. 대안적으로, 각 격벽 부재의 저면과 제1 기재 사이에 간극이 존재하고, 격벽 부재의 상면은 제2 기재까지 연장하는 구성을 사용할 수 있다. 대안적으로, 각 격벽 부재의 저면과 제1 기재 사이에 간극이 존재하고, 격벽 부재의 상면과 제2 기재 사이에 간극이 존재하는 구성을 사용할 수 있다. 이들의 구성에서는, 격벽 부재를 접착제 등을 사용해서 프레임 부재에 고정할 수 있고, 또는 격벽 부재와 프레임 부재를 일체로 형성할 수 있다.
제1 기재, 제2 기재 및 격벽 부재를 구성하는 재료는 입사광에 대하여 투명하다. "입사광에 대하여 투명하다"라는 용어는 입사광의 투과율이 80% 이상인 것을 의미한다. 제1 기재, 제2 기재, 프레임 부재 및 격벽 부재를 구성하는 재료의 구체적인 예로서 아크릴 수지, 폴리카르보네이트(PC) 수지, ABS 수지, 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA), 폴리아릴레이트(PAR) 수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 수지, 시클로-올레핀 중합체(COP) 수지와 같은 유기 재료; 및 유리와 같은 무기 재료를 포함한다. 각 부재를 구성하는 재료는 동일하거나 또는 상이할 수 있다. 제2 기재에 광이 입사하고 제1 기재로부터 광이 출사하는 구성 또는 제1 기재에 광이 입사하고 제2 기재로부터 광이 출사하는 구성을 사용할 수 있다.
바람직한 실시예 및 구성을 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 광학 장치에서는, 제1 액체와 제2 액체는 서로 불용성 및 불혼합성이며, 제1 액체와 제2 액체 사이의 계면이 렌즈면을 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 액체는 절연성을 갖고, 제2 액체는 도전성을 갖고, 제2 전극이 제2 액체와 접하고 제1 전극이 제2 액체와는 절연되도록 제1 전극 및 제2 전극을 배치하는 것이 바람직하다. 제1 전극은 제2 절연층을 개재해서 제1 액체와 제2 액체 사이의 계면에 접하고 있다. 또한, 적어도 제1 액체와 제2 액체 사이의 계면이 위치하는 제2 절연층의 부분의 표면에는 발수 처리가 실시되는 것이 바람직하다. 발수 처리는, 예를 들어, 불소계의 중합체인 PVDF(폴리비닐리덴 플루오라이드) 또는 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 등으로 코팅하는 방법에 의해 행해질 수 있다. 또한, 발수성의 제2 절연층을 선택할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 광학 장치에서, 도전성을 갖는 액체(또는 극성을 갖는 액체; 이하, 소정의 경우는 "도전성 액체"라 총칭할 수 있음)의 예로서 물, 전해액(염화칼륨, 염화나트륨, 염화리튬 또는 황산나트륨 등의 전해질의 수용액), 이들 전해질을 용해한 트리에틸렌글리콜 수용액, 분자량이 작은 메틸알코올 및 에틸알코올 등의 알코올, 상온 용융염(이온성 액체), 및 순수한 물 등의 유극성 액체, 및 이들 액체의 혼합물을 포함한다. 메틸알코올 및 에틸알코올 등의 알코올은 수용액으로서 도전성을 제공하거나 또는 염용액으로서 도전성을 제공하도록 사용될 수 있다. 또한, 절연성을 갖는 액체(또는 무극성 액체; 이하, 소정의 경우 "절연성 액체"라 총칭할 수 있음)의 예로서 데칸, 도데칸, 헥사데칸, 또는 운데칸 등의 탄화수소계 재료, 실리콘 오일, 및 불소계 재료를 포함하는 무극성 용매를 포함한다. 도전성 액체와 절연성 액체는 다른 굴절률을 갖고, 서로 혼합되지 않고 존재할 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 도전성 액체의 밀도와 절연성 액체의 밀도를 가능한 한 동일하게 설정하는 것이 바람직하다. 도전성 액체 및 절연성 액체는 입사광에 대하여 투명한 것이 바람직하지만, 경우에 따라서는 착색될 수도 있다.
제1 실시예
본 발명의 제1 실시예는 광학 장치 및 하우징에 관한 것이다. 제1 실시예에 따른 광학 장치는 일종의 원통형 액체 렌즈를 구성하고, 원통형 렌즈는 볼록 렌즈로서 기능한다. 도 1a는 제1 실시예에 따른 광학 장치를 도 1b의 선 IA-IA를 따라 취한 모식적인 단면도이다. 도 1b는 광학 장치를 도 1a의 선 IB-IB를 따라 취한 모식적인 단면도이다. 도 1c는 광학 장치를 도 1a의 선 IC-IC를 따라 취한 모식적인 단면도이다. 액체 렌즈의 X-Z 평면을 따라 취한 단면 형상은 모식적인 형상이므로, 실제의 형상과는 상이하다. 도 3a는 제1 실시예에 따른 하우징을 도 3b의 선 IIIA-IIIA를 따라 취한 모식적인 단면도이다. 도 3b는 하우징을 도 3a의 선 IIIB-IIIB를 따라 취한 모식적인 단면도이다. 도 3c는 하우징을 도 3a의 선 IIIC-IIIC를 따라 취한 모식적인 단면도이다.
제1 실시예에 따른 광학 장치는 (a) 입사광에 대하여 투명한 제1 기재(11), (b) 입사광에 대하여 투명하고, 제1 기재(11)에 대향하는 제2 기재(12) 및 (c) 제1 기재(11)와 제2 기재(12)를 연결하는 프레임 부재(13)를 포함한다. 제1 기재(11), 제2 기재(12) 및 프레임 부재(13)에 의해 둘러싸인 렌즈 챔버(10)는 액체 렌즈를 구성하는 제1 액체(41) 및 제2 액체(42)에 의해 채워진다. 렌즈 챔버(10)를 향하는 제1 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 렌즈 챔버(10)를 향하는 제1 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층(31), 유기 재료로 이루어지는 밀착층(32) 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층(33)이 이 순서로 적층되어 있다. 도면에서는, 경우에 따라서는, 제1 절연층(31), 밀착층(32) 및 제2 절연층(33)을 포함하는 적층 구조체를 참조 번호(30)로 나타내고, 1층으로 도시한다. 도 2b는 적층 구조체(30)의 일부 단면도이다.
제1 실시예에 따른 하우징은 기재(11) 및 유기 재료로 이루어지는 접착제층(14)에 의해 기재(11)에 접착된 프레임 부재(13)를 포함한다. 하우징 내부를 향하는 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 하우징 내부를 향하는 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층(31), 유기 재료로 이루어지는 밀착층(32) 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층(33)이 이 순서로 적층되어 있다.
제1 실시예에 따른 광학 장치에서는, 적어도 프레임 부재(13)의 내면의 일부에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 전극(21)이 설치되어 있고, 제1 전극(21)은 무기 재료로 이루어지는 영역을 구성하고, 렌즈 챔버(10)를 향하는 제2 기재(12)의 내면의 일부에는, 무기 재료로 이루어지는 제2 전극(22)이 설치되어 있다. 제1 실시예에서는, 프레임 부재(13)의 내면의 일부에 무기 재료로 이루어지는 제1 전극(21)이 설치되어 있고, 프레임 부재(13)의 내면의 잔량부는 유기 재료로 이루어지는 영역을 구성한다. 렌즈 챔버(하우징)(10)는 직사각형의 외형상을 갖고, 축선이 Y 방향으로 배향된 원통형 렌즈로서의 액체 렌즈를 구성하는 제1 액체(41) 및 제2 액체(42)로 채워져 있다. 제1 기재(11)에 광이 입사하고, 제2 기재(12)로부터 광이 출사한다.
구체적으로는, 제1 실시예에서, 제2 절연층(33)을 구성하는 유기 재료는 상술한 구조식 (1) 내지 (5) 중 어느 하나로 나타내어진 파라크실릴렌계 중합체이다. 또한, 제1 절연층(31)을 구성하는 무기 재료는 SiO2이다. 또한, 밀착층(32)을 구성하는 유기 재료는 실란 커플링제, 구체적으로는, 3-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란 또는 3-아미노프로필 트리에톡시실란이다. 제1 기재(11)와 프레임 부재(13)는 유기 재료로 이루어지는 접착제층(14)(구체적으로는, 에폭시 접착제)에 의해 서로 접착되고 있어, 접착제층(14)은 렌즈 챔버(하우징)(10)를 향하는 부분을 갖는다. 또한, 제2 전극(21)은 ITO로 이루어지고, 제1 전극(21)은 금, 알루미늄, 구리, 또는 은 등의 금속으로 이루어진다. 제1 기재(11), 제2 기재(12) 및 프레임 부재(13)는 입사광에 대하여 투명한 플라스틱, 구체적으로는, 시클로올레핀 중합체(COP) 수지로 이루어진다.
제1 실시예 또는 후술하는 제2 실시예에서, 제1 액체(41)와 제2 액체(42)는 불용성 및 불혼합성이며, 제1 액체(41)와 제2 액체(42) 사이의 계면이 렌즈면을 구성한다. 제1 액체(41)는 절연성을 갖고, 제2 액체(42)는 도전성을 갖는다. 제2 전극(22)은 제2 액체(42)와 접하고, 제1 전극(21)은 제2 절연층(33)을 개재하여 제1 액체(41) 및 제2 액체(42)와 접하고 있다. 절연성을 갖는 제1 액체(41)는 실리콘 오일 TSF437[모멘티브 퍼포먼스 머티리얼즈 재팬 LLC(구 GE 도시바 실리콘, Ltd) 제조]로 이루어지고, 밀도는 1.02 g/cm3이며, 굴절률은 1.49이다. 한편, 도전성을 갖는 제2 액체(42)는 염화리튬 수용액으로 이루어지고, 밀도는 1.06 g/cm3이며, 굴절률은 1.34이다. 제1 액체(41)와 제2 액체(42) 사이의 계면이 위치하는 제2 절연층(33)의 적어도 일부는 발수성을 갖는다.
제1 전극(21) 및 제2 전극(22)은 접속부를 통해 렌즈 제어부(도시하지 않음)에 접속되어 원하는 전압이 인가될 수 있도록 구성된다. 도 1a 내지 도 1c에 나타내는 상태에서는, 제1 전극(21)과 제2 전극(22)에는 전압을 인가하지 않고 있다. 제1 전극(21)과 제2 전극(22)에 적절한 전압을 인가하면, 제1 액체(41)와 제2 액체(42) 사이의 계면에 의해 구성된 렌즈면이 도 1c에 나타내는 아래로 볼록한 상태로부터 도 2a에 나타내는 위로 볼록한 상태로 변화한다. 렌즈면의 상태의 변화는 전극(21, 22)에 인가되는 전압에 따른다(식 (A) 참조). 도 2a에 나타낸 예에서는, 제1 액체(41) 및 제2 액체(42)의 양측에 위치하는 제1 전극(21)에 같은 전압을 인가하고 있다. 그로 인해, 렌즈 챔버 내에 형성되는 액체 렌즈의 X-Z 평면을 따라 취한 단면 형상은 렌즈 챔버(10)의 법선 방향으로의 중심축에 대해 대칭이다. 양측에 위치하는 제1 전극(21)에 다른 전압을 인가한 경우에는, 렌즈 챔버내에 형성되는 액체 렌즈의 X-Z 평면을 따라 취한 단면 형상은 렌즈 챔버(10)의 법선 방향으로의 중심축에 대해 비대칭이 된다. 게다가, 제1 전극(21)과 제2 전극(22) 사이의 전위차에 따라, 렌즈 챔버(10)에서 형성되는 렌즈의 광학 파워를 변화시킬 수 있다. 렌즈가 광학 파워를 발휘하고 있을 때, Y-Z 평면(또는 Y-Z 평면에 평행한 평면)에서의 렌즈의 광학 파워는 실질적으로 0이며, X-Z 평면에서의 렌즈의 광학 파워는 유한한 값이다. 상술된 제1 실시예에 따른 광학 장치의 기본적인 동작은 후술하는 제2 실시예에 따른 광학 장치에서도 마찬가지이다.
제1 실시예에 따른 광학 장치 또는 하우징은 이하의 방법으로 제작될 수 있다.
제1 기재(11)와 프레임 부재(13)를 준비한다. 프레임 부재(13)의 표면의 소정의 영역에는, 예를 들어, 진공 증착법을 사용하여, 제1 전극(21)을 미리 형성한다. 에폭시 접착제를 사용하여, 제1 기재(11)와 프레임 부재(13)를 서로 접착한다. 소정의 경우에는, 제1 기재(11)와 프레임 부재(13)를 포함하는 조립체를 "렌즈 챔버 조립체"라 할 수 있다. 이 상태에서는, 렌즈 챔버(하우징)(10)를 향하는 제1 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고 있다. 구체적으로는, 렌즈 챔버(하우징)(10)를 향하는 제1 기재(11)의 내면은, 유기 재료(구체적으로는, COP 수지)로 이루어지는 영역을 포함한다. 한편, 렌즈 챔버(하우징)를 향하는 프레임 부재(13)의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역(제1 전극(21)이 차지하는 영역)과, 유기 재료로 이루어지는 영역(상기 외의 영역)이 혼재하고 있다. 또한, 접착제층(14)의 일부(단부면)가 렌즈 챔버(하우징)(10)에 대해 노출되어 있다.
그 후, 렌즈 챔버(하우징)(10)를 향하는 제1 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면 상에 스퍼터링법에 의해, 평균 두께 0.2 ㎛의 SiO2로 이루어지는 제1 절연층(31)을 형성(성막)한다. 스퍼터링법에서는, 스퍼터링되는 입자의 에너지가 높으므로, 유기 재료 및 무기 재료 모두에 양호한 밀착성으로 성막을 행할 수 있다. 그 후, 이소프로필 알코올 94 중량% , 물 5 중량%, 및 실란 커플링제(구체적으로는, 3-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란) 1 중량%를 포함하는 용액에 10분간 침지하고, 그 후 65 ℃로 30분간 건조하고, 수세한 후, 다시 65 ℃로 30분간 건조함으로써, 또는 실란 커플링제의 수용액을 도포하고, 그 후 건조하고, 수세한 후, 다시 건조함으로써, 제1 절연층(31) 상에 유기 재료로 이루어지는 밀착층(32)을 형성(성막)할 수 있다.
다음, 렌즈 챔버 조립체를 증착 챔버 내에 위치시키고, 단량체 가스를 사용하여, 단량체 가스가 밀착층(32)에 접한 위치에서 중합을 행하여, 평균 두께 3 ㎛의 제2 절연층(33)을 형성한다. 그 결과, 미세한 영역에도 핀 홀이 없는 등각의 제2 절연층(33)을 얻을 수 있다. 이렇게 해서, 제1 실시예에 따른 하우징을 얻을 수 있다.
그 후, 렌즈 챔버 조립체를 증착 챔버로부터 제거한다. 렌즈 챔버(10) 내에 제1 액체(41) 및 제2 액체(42)를 넣고, 접착제(15)를 사용해서 전체 조립체를 제2 기판(12)으로 밀봉한다. 이렇게 해서, 제1 실시예에 따른 광학 장치(액체 렌즈)를 얻을 수 있다. 대안적으로, 렌즈 챔버(10)를 접착제(15)를 사용해서 제2 기판(12)으로 밀봉한 후, 렌즈 챔버(10)를 감압하면서, 프레임 부재(13)에 설치된 주입구(도시하지 않음)를 통해 제1 액체(41)를 렌즈 챔버(10)에 주입하고, 계속해서, 제2 액체(42)를 주입하는 방법을 사용할 수 있다. 이 공정에서, 제2 액체(42)는 제1 액체(41)와의 계면을 형성하도록 주입되고, 제2 액체(42)의 일부는 배출구(도시하지 않음)로부터 배출된다. 마지막으로, 주입구 및 배출구를 밀봉하고, 전극을 렌즈 제어부와 접속한다. 이에 의해, 광학 장치(액체 렌즈)를 완성시킬 수 있다.
밀착성 평가를 위해, 유리 기판, 플라스틱 기판, SiO2로 이루어지는 제1 절연층이 제공된 플라스틱 기판(COP 수지로 이루어짐) 각각의 위에, 상술된 실란 커플링제로 이루어지는 밀착층을 형성함으로써 샘플을 준비한다. 밀착층이 제공되지 않은 샘플도 준비한다. (아래 표에서는, 밀착층이 제공된 것을 "처리 있음"으로 표현하고, 밀착층이 제공되어 있지 않은 것을 "처리 없음"으로 표현한다). 각 샘플들 상에 상술된 파라크실릴렌계 중합체로 이루어지는 제2 절연층을 형성했다. 테이프 밀착 테스트를 실행했다. 그 결과를 표에 나타낸다. 테이프 밀착 테스트에서는, 2mm×2mm의 정사각형(square)을 갖는 그리드(grid) 패턴을, 커터(cutter)로, 성막된 제2 절연층으로 절단하고, 여기에 테이프를 도포한다. 테이프를 제거하면, 제2 절연층에서 얼마나 많은 정사각형이 박리되지 않고 남아있는지를 발견하도록 제2 절연층을 조사한다. 이로써, 막의 밀착성을 평가한다. 정사각형의 수를 5×5=25로 설정했다.
[표]
처리 없음 처리 있음
유리 기판 0/25 25/25
플라스틱 기판 0/25 0/25
제1 절연층 0/25 25/25
테이프 밀착 테스트의 결과, 실란 커플링제로 이루어지는 밀착층이 제공되지 않은 샘플(처리 없음) 상에 파라크실릴렌계 중합체로 이루어지는 제2 절연층을 형성한 경우, 임의의 하지로부터 제2 절연층은 박리된다. 실란 커플링제로 이루어지는 밀착층이 제공된 샘플(처리 있음) 상에 파라크실릴렌계 중합체로 이루어지는 제2 절연층을 형성한 경우, 무기 재료로 이루어지는 하지(유리 기판 또는 제1 절연층)로부터 제2 절연층은 박리되지 않았다. 그러나, 유기 재료로 이루어지는 하지(플라스틱 기판)의 경우에는, 제2 절연층은 박리된다. 상술된 바와 같이, SiO2로 이루어지는 제1 절연층을 플라스틱 기판의 표면에 형성한 후 실란 커플링제에 의해 하지를 처리함으로써, 플라스틱 기판에서도 유리 기판과 동등한 밀착을 얻을 수 있었다.
또한, 제1 절연층을 형성하지 않은 것을 제외하고는 제1 실시예와 같이 3개의 광학 장치를 제조하였다(비교예 1). 비교예 1의 3개의 광학 장치 및 제1 실시예에 따른 3개의 광학 장치에 대해 히트 사이클 테스트를 행했다. 히트 사이클 테스트에서는, -40℃로 2시간 및 70℃로 2시간을 포함하는 각 사이클의 50 히트 사이클을 수행했다. 그 결과, 비교예 1의 광학 장치의 모두에서는, 제2 절연층의 분리가 관찰되었다. 반대로, 제1 실시예에 따른 광학 장치의 모두에서는, 제2 절연층의 분리는 관찰되지 않았다.
제1 실시예에 따르면, 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하는 렌즈 챔버를 향하는 제1 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면(하지), 또는 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하는 하우징 내부를 향하는 기재(11)의 내면 및 프레임 부재(13)의 내면(하지) 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층(31) 및 유기 재료로 이루어지는 밀착층(32)이 적층되어, 밀착층(32) 상에 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층(33)이 형성되어 있다. 이와 같이, 하지 상에는, 하지에 대해 우수한 밀착성을 갖는 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층(31)을 형성하고, 제1 절연층(31)에 대해 우수한 밀착 효과를 갖는 유기 재료로 이루어지는 밀착층(32)을 형성하고, 밀착층(32)의 존재 시에 우수한 밀착성을 발휘하는 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층(33)을 형성한다. 그 결과, 무기 재료로 이루어지는 영역과 유기 재료로 이루어지는 영역에 의해 구성되는 하지에 대해 높은 밀착성을 갖는 제2 절연층(33)을 얻을 수 있다. 그로 인해, 제2 절연층(33)이 제1 기재(11) 또는 프레임 부재(13)로부터 분리되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
제2 실시예
제2 실시예는 제1 실시예의 변형이다. 도 4는 제2 실시예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를 도 5a의 선 IV-IV를 따라 취한 모식적인 일부 단면도이다. 도 5a는 제2 실시예에 따른 광학 장치를 구성하는 렌즈 챔버를 도 4의 선 V-V를 따라 취한 모식적인 단면도이다. 제1 실시예에서는, 1개의 렌즈 챔버를 포함하도록 광학 장치(액체 렌즈)가 구성된다. 제2 실시예에서는, 복수의 렌즈 챔버를 포함하도록 광학 장치(액체 렌즈)가 구성된다. 즉, 렌즈 챔버(10) 내에 격벽 부재(16)를 배치하여, 렌즈 챔버(10)를 복수의 영역(부분)으로 구획한다. 도 4에 도시하는 예에서는, 렌즈 챔버(10)(101, 102, 103, 104, 105)가 나란히 병치되어 있으나, 이는 단지 도면의 간소화를 위한 것이다. 각 격벽 부재(16)의 저면은 제1 기재(11)까지 연장하고, 각 격벽 부재(16)의 상면은 제2 기재(12)까지 연장하고 있다. 격벽 부재(16)는 접착제(17)에 의해 프레임 부재(13)에 고정되어 있다. 각 렌즈 챔버(10)(101, 102, 103, 104, 105)는 상술된 제1 실시예에 따른 렌즈 챔버(10)와 실질적으로 동일한 구성 및 구조를 갖는다. 도시된 예에서는, 각 렌즈 챔버마다 제2 전극(22)이 설치되어 있다. 그러나, 제2 기재(12)의 내면에 하나의 제2 전극(22)을 설치할 수 있다.
도 5b에 도시한 바와 같이, 각 격벽 부재(16)의 저면은 제1 기재(11)까지 연장하고, 격벽 부재(16)의 상면과 제2 기재(12) 사이에는 간극이 존재하는 구성을 사용할 수도 있다. 대안적으로, 각 격벽 부재(16)의 저면과 제1 기재(11) 사이에는 간극이 존재하고, 격벽 부재(16)의 상면은 제2 기재(12)까지 연장하는 구성을 사용할 수도 있다. 대안적으로, 각 격벽 부재(16)의 저면과 제1 기재(11) 사이에는 간극이 존재하고, 격벽 부재(16)의 상면과 제2 기재(12) 사이에는 간극이 존재하는 구성을 사용할 수도 있다.
본 발명을 바람직한 실시예에 기초하여 상술하였다. 그러나, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것이 아니라는 것을 이해해야 한다. 실시예에서 설명한 광학 장치 및 하우징의 구성 및 구조는 단지 예시이고 적절히 변경될 수 있다. 또한, 제1 전극 및 제2 전극의 구성, 구조 및 배치도 전극과 직접 또는 절연막을 개재하여 접하는 액체의 성질(도전성 및 절연성)에 따라 적절히 변경될 수 있다.
본 출원은 2010년 4월 16일자로 출원된 일본 특허 출원 제2010-095159호에 개시된 것과 관련되는 요지를 포함하며, 그 전체 내용은 본 명세서에 참조로서 원용된다.
당업자는 첨부된 청구범위 또는 그 균등물의 범위 이내라면 설계 요건들 및 다른 요인에 따라 다양한 변형, 조합, 서브조합 및 변경이 행해질 수 있다는 것을 이해할 것이다.
10: 렌즈 챔버
11: 제1 기재
12: 제2 기재
13: 프레임 부재
14: 접착제층
11: 제1 기재
12: 제2 기재
13: 프레임 부재
14: 접착제층
Claims (8)
- 광학 장치로서,
(a) 입사광에 대해 투명한 제1 기재와,
(b) 입사광에 대해 투명하고, 상기 제1 기재에 대향하는 제2 기재와,
(c) 상기 제1 기재와 상기 제2 기재를 연결하는 프레임 부재를 포함하고,
상기 제1 기재, 상기 제2 기재 및 상기 프레임 부재에 의해 둘러싸인 렌즈 챔버는 액체 렌즈를 구성하는 제1 액체 및 제2 액체에 의해 채워지고,
상기 렌즈 챔버를 향하는 상기 제1 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고,
상기 렌즈 챔버를 향하는 상기 제1 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층, 유기 재료로 이루어지는 밀착층 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층이 이 순서로 적층되어 있는, 광학 장치. - 제1항에 있어서, 상기 제2 절연층을 구성하는 유기 재료는 파라크실릴렌계 중합체를 포함하는, 광학 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 절연층을 구성하는 무기 재료는 SiO2를 포함하는, 광학 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀착층을 구성하는 유기 재료는 실란 커플링제를 포함하는, 광학 장치.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 기재와 상기 프레임 부재는 유기 재료로 이루어지는 접착제층에 의해 서로 접착되고, 상기 접착제층은 렌즈 챔버를 향하는 부분을 갖는, 광학 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 상기 프레임 부재의 내면의 일부에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 전극이 설치되어 있고, 상기 제1 전극은 무기 재료로 이루어지는 영역을 구성하고, 상기 렌즈 챔버를 향하는 상기 제2 기재의 내면의 일부에는, 무기 재료로 이루어지는 제2 전극이 설치되어 있는, 광학 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 프레임 부재의 내면의 잔량부는 유기 재료로 이루어지는 영역을 구성하는, 광학 장치.
- 하우징으로서,
기재와,
유기 재료로 이루어지는 접착제층에 의해 상기 기재에 접착된 프레임 부재를 포함하고,
상기 하우징의 내부를 향하는 상기 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면에는, 무기 재료로 이루어지는 영역과, 유기 재료로 이루어지는 영역이 혼재하고,
상기 하우징의 내부를 향하는 상기 기재의 내면 및 상기 프레임 부재의 내면 상에는, 무기 재료로 이루어지는 제1 절연층, 유기 재료로 이루어지는 밀착층 및 유기 재료로 이루어지는 제2 절연층이 이 순서로 적층되어 있는, 하우징.
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Cited By (3)
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| KR20130128282A (ko) * | 2012-05-16 | 2013-11-26 | 삼성전자주식회사 | 미세 유체 소자 및 미세 유체 소자의 유체 조절 방법 |
| KR20140058274A (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-14 | 삼성전자주식회사 | 전기습윤 프리즘 소자 및 이를 이용하는 다시점 3차원 영상 디스플레이 장치 |
| WO2020242243A1 (ko) * | 2019-05-31 | 2020-12-03 | 엘지이노텍(주) | 렌즈 및 이 렌즈를 포함하는 렌즈 어셈블리 |
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| CN101987396B (zh) * | 2009-07-31 | 2014-02-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 锆基块体非晶合金激光焊接方法及焊接结构 |
| KR101923052B1 (ko) | 2012-05-09 | 2018-11-29 | 리쿠아비스타 비.브이. | 전기습윤 표시장치 |
| US10705358B2 (en) * | 2016-02-02 | 2020-07-07 | Apple, Inc. | Display apparatus with adjustable angles-of-view comprising backlight structures having an electrically adjustable lens array that adjusts backlight illumination |
| KR102661548B1 (ko) * | 2016-06-21 | 2024-04-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액체 렌즈 및 액체 렌즈 모듈 |
| KR102376691B1 (ko) * | 2017-03-30 | 2022-03-21 | 엘지이노텍 주식회사 | 액체렌즈 및 이를 포함하는 카메라 모듈 및 광학기기 |
| US10905545B2 (en) * | 2017-05-05 | 2021-02-02 | Verily Life Sciences Llc | Electrowetting ophthalmic devices including an elastic electrode |
| KR101908658B1 (ko) * | 2017-11-02 | 2018-12-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 액체 렌즈를 포함하는 카메라 모듈 및 광학 기기 |
| US10295819B1 (en) * | 2018-03-22 | 2019-05-21 | Corning Incorporated | Naphtyl based high index hydrophobic liquids and transmission recovery agents for liquid lens formulations |
| CN109613694A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-04-12 | 长治医学院 | 使用变焦距液体透镜的验光装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000356708A (ja) | 1999-06-16 | 2000-12-26 | Canon Inc | 光拡散素子および該光拡散素子で構成したストロボ装置 |
| JP2002162507A (ja) | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Canon Inc | 光学素子、照明装置および撮影装置 |
| US6842288B1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-01-11 | 3M Innovative Properties Company | Multilayer optical adhesives and articles |
| KR100826452B1 (ko) * | 2006-12-18 | 2008-04-29 | 삼성전기주식회사 | 광학 부품 및 그 제조방법 |
| JP2008197296A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Sony Corp | エレクトロウェッティングデバイス及びその製造方法 |
| JP2009251339A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Sony Corp | 光学装置、照明装置、及び、カメラ |
-
2010
- 2010-04-16 JP JP2010095159A patent/JP2011227194A/ja active Pending
-
2011
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- 2011-04-08 KR KR1020110032523A patent/KR20110115961A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130128282A (ko) * | 2012-05-16 | 2013-11-26 | 삼성전자주식회사 | 미세 유체 소자 및 미세 유체 소자의 유체 조절 방법 |
| KR20140058274A (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-14 | 삼성전자주식회사 | 전기습윤 프리즘 소자 및 이를 이용하는 다시점 3차원 영상 디스플레이 장치 |
| WO2020242243A1 (ko) * | 2019-05-31 | 2020-12-03 | 엘지이노텍(주) | 렌즈 및 이 렌즈를 포함하는 렌즈 어셈블리 |
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