KR20110096410A - 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법 - Google Patents

표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법에 관한 것이다. 특히, 연주 공정을 통해 제조된 주편의 복수 표면을 자동으로 연속 측정할 수 있는 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 장치는 상하로 회전되는 반전판이 구비되고, 상기 반전판 상에 안착되는 주편을 반전시키는 주편 안착부와, 상기 주편 안착부를 지면에 대하여 평행하게 회전시키는 주편 회전부와, 상기 주편의 일측 영역에서 상기 주편의 표면을 측정하는 주편 측정부 및 상기 주편 안착부, 상기 주편 회전부 및 상기 주편 측정부의 구동을 제어하고, 상기 주편 측정부에서 측정된 데이터를 통합하는 통합 제어부를 포함한다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 방법은 주편을 안착시키는 단계와, 상기 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 상기 주편의 측면을 측정하는 단계와, 상기 주편을 반전시키는 단계와, 반전된 상기 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 상기 주편의 측면을 측정하는 단계 및 상기 주편의 측면에서 측정된 데이터들을 통합하여 외부로 출력하는 단계를 포함한다.

Description

표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법{Apparatus for inspecting surfaces and method for inspecting surfaces using it}
본 발명은 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법에 관한 것이다. 특히, 연주 공정을 통해 제조된 주편의 복수 표면을 자동으로 연속 측정할 수 있는 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법에 관한 것이다.
연속 주조 공정(이하, '연주 공정'이라 함)을 통해 제조되는 주편은 후속 공정으로 이송되어 박판이나 열간강판 등의 최종 제품을 제조하는데 사용되며, 그 크기 및 형상에 따라서 슬래브(slab), 블룸(bloom) 또는 빌릿(billet) 등으로 구분된다.
이러한 주편은 최종 제품의 품질을 향상시키기 위하여 주편의 표면을 대상으로 표면 검사가 이루어진다. 즉, 주편의 표면에서 기포 자국(air bubble), 크랙(crack) 또는 오실레이션 마크(oscillation mark) 등과 같은 각종 표면 결함(surface defects)의 측정 및 분석을 위한 표면 검사가 이루어진다.
종래에는 주편의 표면을 검사하기 위해서 작업자가 자기척(magnetic chuck)이 연결된 크레인(crane)을 수동으로 조작하여 중량물(重量物)인 주편을 작업대로 이송 및 안착시키고, 크레인의 조작을 통하여 주편을 기울이거나 회전시켜 일면(一面) 단위로 복수의 주편 표면을 측정하였다. 종래의 주편 표면을 측정하는 방식으로는 측정 대상물인 주편 표면에 촉침을 주사(走査)하고, 촉침의 움직임을 전기적 신호 등으로 변환시켜 출력하는 방식이나, 카메라 등의 촬영수단을 통해 주편 표면의 이미지를 획득하고 이를 분석하는 방식이 사용되었다.
그런데, 종래에는 주편의 복수 표면을 대상으로 표면 측정을 실시하는데 어려움이 있었다. 즉, 주편의 복수 표면에 촉침이나 카메라 등을 대향시키기 위하여 주편을 기울이거나 회전시키는 작업이 수작업으로 이루어져 많은 작업 시간이 소요되었다. 또한, 주편의 위치를 변환시킨 후에도 측정의 기준이 되는 주편의 위치를 재설정하는데 많은 작업 시간이 소요되어 주편의 표면을 검사하는 공정의 작업 효율이 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 주편의 표면 측정이 수작업으로 이루어지기 때문에 작업자의 숙련도에 따라 주편 표면의 측정 결과에 오차를 발생시켜 측정 데이터의 신뢰성을 확보하는데 어려움이 있었다.
또한, 주편을 기울이거나 회전시키는 작업 과정에서 작업자의 미숙으로 인해 주편이 크레인으로부터 낙하될 수 있으며, 이로 인해 주편이 지면으로 낙하되어 측정 대상물인 주편이 손상되거나, 더 나아가 작업자에게 부상을 입히는 산업 재해를 발생시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 중량물인 측정 대상물의 복수 표면을 자동으로 측정할 수 있는 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법을 제공한다.
본 발명은 연주 공정을 통해 제조된 주편을 자동으로 반전 및 회전시켜 주편의 복수 표면을 자동으로 연속 측정할 수 있는 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법을 제공한다.
본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 장치는 상하로 회전되는 반전판이 구비되고, 상기 반전판 상에 안착되는 주편을 반전시키는 주편 안착부와, 상기 주편 안착부를 지면에 대하여 평행하게 회전시키는 주편 회전부와, 상기 주편의 일측 영역에서 상기 주편의 표면을 측정하는 주편 측정부 및 상기 주편 안착부, 상기 주편 회전부 및 상기 주편 측정부의 구동을 제어하고, 상기 주편 측정부에서 측정된 데이터를 통합하는 통합 제어부를 포함한다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 방법은 주편을 안착시키는 단계와, 상기 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 상기 주편의 측면을 측정하는 단계와, 상기 주편을 반전시키는 단계와, 반전된 상기 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 상기 주편의 측면을 측정하는 단계 및 상기 주편의 측면에서 측정된 데이터들을 통합하여 외부로 출력하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 따른 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법에 의하면 중량물인 주편을 자동으로 반전 및 회전시킬 수 있어서 주편의 복수 표면을 연속적으로 측정할 수 있으며, 이를 통해 주편 표면을 검사하는 공정의 작업 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 작업자의 숙련도와 상관없이 주편을 안정적으로 위치 변환시킬 수 있어서 예기치 않은 원인으로 주편이 손상되거나 또는 산업 재해가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 주편의 복수 표면이 자동으로 연속 측정되고, 측정시 기준이 되는 위치를 정확하게 알 수 있어서 주편 표면을 측정하여 얻어진 데이터의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 2에 도시된 표면 검사 장치의 내부 구성을 보여주는 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 표면 검사 장치에서 주편의 회전에 따른 주편 측정부의 측정 상태를 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 표면 검사 장치에서 주편을 반전시킨 상태를 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 방법을 나타낸 순서도.
도 6 내지 도 8은 도 5에 도시된 표면 검사 방법에 따른 표면 검사 장치의 구동 상태를 나타낸 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 2에 도시된 표면 검사 장치의 내부 구성을 보여주는 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 표면 검사 장치에서 주편의 회전에 따른 주편 측정부의 측정 상태를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 표면 검사 장치에서 주편을 반전시킨 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 장치(100)는 수평 회전축(422)을 공유하는 한 쌍의 반전판(440, 440')이 구비되고, 한 쌍의 반전판(440, 440') 상에서 주편(10)을 안착시켜 반전(R1)시키는 주편 안착부(400)와, 주편 안착부(400)를 지면에 대하여 평행하게 회전(R5)시키는 주편 회전부(200, 300)와, 주편(10)의 일측 영역에서 회전(R5) 및 반전(R1)되는 주편(10)의 표면(S1 내지 S6)을 측정하는 주편 측정부(600)와, 주편 안착부(400), 주편 회전부(200, 300) 및 주편 측정부(600)의 구동을 제어하고, 주편 측정부(600)에서 측정된 데이터를 통합하는 통합 제어부(500)를 포함한다.
본 실시예에서는 표면 검사의 대상물로서 중량물(重量物)인 주편(10)이 사용된다. 표면 검사 시, 주편(10)은 연주 공정을 통해 제조된 슬래브(slab)나 블룸(bloom)의 일부를 일정한 크기로 절단한 시편으로서, 외부 표면이 세척된 상태로 표면 검사 장치(100)에 이송된다. 이때, 표면 검사 장치(100)로 주편(10)의 이송은 자기척(magnetic chuck)이 연결된 크레인(crane; 미도시) 등의 이송 수단을 통해 이루어질 수 있다.
주편 안착부(400)에는 주편(10)이 안착될 수 있는 장소로서 한 쌍의 반전판(440, 440')이 구비되고, 수평 회전축(422)을 공유하는 한 쌍의 반전판(440, 440')을 연동시켜 주편(10)을 한 쌍의 반전판(440, 440') 상에서 반전(R1)시킬 수 있다. 즉, 주편(10)의 표면들(S1 내지 S6)을 주편(10)의 일측에 구비되는 주편 측정부(600)에 대향되도록 할 수 있으며, 이를 통해 복수의 주편(10)의 표면(S1 내지 S6)을 검사하기 위한 표면 측정을 실시할 수 있다.
여기서, 주편 측정부(600)는 카메라 등과 같은 영상촬영장치를 포함하며, 주편(10)의 표면을 이미지(image)로 촬영할 수 있다. 이러한 주편(10) 표면의 이미지 데이터를 통해서 각종 표면 결함을 분석할 수 있다. 또한, 주편 측정부(600)의 일측에는 측정하고자 하는 주편(10) 표면과의 이격 거리(P0, P0'; 도3참조)를 감지할 수 있는 위치감지센서(미도시)가 구비되어, 주편 측정부(600)에서 획득된 이미지 데이터를 동일 축척으로 변환시킬 수 있다.
한 쌍의 반전판(440, 440')은 편평한 플레이트(plate) 형상을 가지며, 일측 테두리에는 수평 회전축(422)이 연결될 수 있는 연결고리(444, 444')가 각각 형성된다. 한 쌍의 반전판(440, 440')은 수평 회전축(422)의 양측에서 연결고리(444, 444')가 형성된 일측 테두리가 일직선을 형성하도록 맞대어지고, 일직선을 이루는 연결고리(444, 444')의 내부로 수평 회전축(422)이 삽입된다. 즉, 한 쌍의 반전판(440, 440')은 회전(R1) 시 중심축이 되는 수평 회전축(422)을 공유하게 된다.
수평 회전축(422)을 공유하는 한 쌍의 반전판(440, 440')은 주편(10)이 안정적으로 안착될 수 있도록 주편(10)의 안착면(주편 안착시 바닥면(S6; 도4참조)) 면적보다 큰 면적을 갖도록 형성된다. 또한, 주편(10)의 수평 단면의 형상과 같이 사각 플레이트 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. 여기서, 주편(10)을 안정적으로 안착시키고 반전시킬 수 있는 경우라면 반전판(440, 440')의 형상을 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다.
한편, 한 쌍의 반전판(440, 440') 각각의 상부면에 고무패드(442, 442')를 부착시킬 수 있다. 이러한 고무패드(442, 442')를 통해서 주편(10)의 안착시 반전판(440, 440')에 가해지는 충격을 완화시키고, 주편(10)의 표면에 마찰 등에 의한 흠집이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
위와 같은 한 쌍의 반전판(440, 440')이 구비되는 주편 안착부(400)는 주편 회전부(200, 300)의 상부에서 수평 회전(R5)되도록 연결되는 회전 플레이트(410)와, 회전 플레이트(410)의 상부면에서 수평 회전축(422)을 이격시켜 지지하는 한 쌍의 반전판 회전대(420)와, 회전 플레이트(410)의 상부면에서 수직으로 세워져 한 쌍의 반전판(440, 440')이 수평 기준선(L3; 도2참조) 아래로 처지는 것을 방지하는 한 쌍의 반전판 지지대(430)와, 수평 회전축(422)을 회전축으로 하여 한 쌍의 반전판(440, 440')을 회전(R1)시키는 반전판 구동수단을 포함한다.
회전 플레이트(410)의 상부면에서, 한 쌍의 반전판 회전대(420) 및 한 쌍의 반전판 지지대(430)는 마주하는 방향이 상호 교차하도록 배치된다. 본 실시예에서는 한 쌍의 반전판 지지대(430)를 수직으로 세워지는 플레이트(plate) 형상으로 형성하였지만, 반전판(440, 440')의 하부면 외측을 안정적으로 지지할 수 있는 경우라면 하나 또는 둘 이상의 바(bar) 형상의 지지대로 변형시킬 수 있다. 이때, 바 형상의 지지대의 높이는 플레이트 형상의 반전판 지지대의 높이와 동일하게 형성되는 것은 당연하다.
이와 같이, 회전 플레이트(410)의 상측으로 이격되는 반전판(440 또는 440')의 일측 테두리가 수평 회전축(422)에 구속되고, 일측 테두리와 대향되는 타측 테두리의 하부면이 반전판 지지대(430)에 의해 수직으로 지지됨으로써 한 쌍의 반전판(440, 440')은 0°에서 180°의 각도로 벌어질 수 있다. (여기서, 0°의 상태는 한 쌍의 반전판(440, 440')이 포개어진 경우를 의미하고, 180°의 상태는 한 쌍의 반전판(440, 440')의 수평면을 이루는 상태, 즉 한 쌍의 반전판(440, 440') 각각이 한 쌍의 반전판 지지대(430)에 의해 지지되는 경우를 의미한다.)
반전판 구동수단은 2개의 반원기어(450, 450'), 제1구동모터(460, 460'), 감속기어(470, 470')를 구비하여 한 쌍의 반전판(440, 440')을 개별적으로 회전(R1)시킬 수 있다. 본 실시예에 따른 반전판 구동수단은 반전판(440, 440')의 하부면에 결합되는 반원기어(450, 450')와, 반전판(440, 440')을 회전(R1)시키는 구동력을 공급하는 제1구동모터(460, 460')와, 제1구동모터(460, 460')에서 공급된 구동력을 반원기어(450, 450')에 전달하는 감속기어(470, 470') 및 통합 제어부(500)의 구동 제어를 받아 제1구동모터(460, 460')의 전원 공급을 조절하는 제1전원조절기(490)를 포함한다. 여기서, 제1전원조절기(490)는 반전판 구동수단에서 1개가 구비되며, 한 쌍의 제1구동모터(460, 460')가 모두 연결된다.
한 쌍의 반원기어(450, 450')는 회전(R1) 시 서로 방해가 되지 않도록 동일한 연장선 상에 위치하지 않고, 수평 회전축(422)의 연장 방향(y방향)을 따라 평행하게 이격된 상태로 한 쌍의 반전판(440, 440') 하부면에 각각 결합된다. 또한, 반원기어(450, 450')의 중심이 수평 회전축(422)의 중심과 동일한 위치에 형성되도록 반원기어(450, 450')의 반지름 영역에 해당되는 부위만큼만 반전판(440, 440')의 하부면에 결합된다. 또한, 제1구동모터(460, 460')의 구동 효율을 높이기 위해 반원기어(450, 450')의 형상을 변형시킬 수 있다. 즉, 반전판(440, 440')의 하부면에 결합되지 않는 다른 반지름 영역을 절단하여 부채꼴 형상으로 변형시킬 수 있으며, 자동차 휠(wheel) 등과 같은 형상을 갖도록 반원기어(450, 450')에 다수의 관통홀(미도시)을 형성할 수 있다.
제1구동모터(460, 460')의 구동축은 수평 회전축(422)의 연장 방향(y방향)과 동일한 방향으로 수평을 이루며 돌출된다. 이러한, 제1구동모터(460, 460')의 구동축 일단에는 구동축의 회전(R2)을 전달하기 위한 구동축 기어(462, 462')가 결합된다. 제1구동모터(460, 460')는 구동축을 수직면 상에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 자유롭게 회전(R2)시킬 수 있으며, 구동축의 회전수를 정확하게 제어할 수 있다. 이에, 제1구동모터(460, 460')로서 DC모터, Step모터, Servo모터 등을 사용할 수 있다.
본 실시예에서는 구동축 기어(462, 462')와 반원기어(450, 450')를 바로 맞물리지 않고, 그 사이에 감속기어(470, 470')를 포함시켜 맞물리도록 하였다. 감속기어(470, 470')는 직경이 다른 제1감속기어(472)와 제2감속기어(474)를 포함하고, 제1감속기어(472) 및 제2감속기어(474)는 자유롭게 회전 가능하도록 회전 플레이트(410)의 상부면에 결합되는 감속기어 지지대(476)에 의해 지지된다. 이와 같은 감속기어(470, 470')를 구동력의 전달 경로상에 구비함으로써 제1구동모터(460, 460')의 구동 토크를 변환시켜 일정한 크기의 구동력으로도 중량물인 주편(10)이 안착된 반전판(440, 440')을 회전시킬 수 있다.
이상과 같은 주편 안착부(400)는 주편 안착부(400)의 하부에 연결되는 주편 회전부(200, 300)에 의해서 수평 회전(R5)된다. 이때, 주편 안착부(400)는 90°단위로 회전(R5)되어, 복수의 주편(10)의 표면(S1, S2, S3, S4 또는 S1, S6, S3, S5)이 주편 측정부(600)에 연속적으로 대향된다. (여기서 도 3을 참조하면, 도 3(a)는 수평 회전(R5) 전 주편 안착부(400)의 상태를 나타낸 도면이고, 도 3(b)는 주편 안착부(400)가 시계 방향으로 1회의 단위(90°회전)로 회전한 상태 또는 주편 안착부(400)가 반시계 방향으로 3회의 단위(270°회전)로 회전한 상태를 나타낸 도면이다.)
본 실시예에 따른 주편 회전부(200, 300)는 빈 내부 공간을 제공하는 회전부 프레임(210)과, 회전부 프레임(210)의 상부를 관통하는 수직 회전축(320)을 구비하고 주편 안착부(400)를 상부면에 안착시키는 정반(310)과, 상기 내부 공간에서 수직 회전축(320)을 통해 정반(310)을 회전(R5)시키는 정반 구동수단을 포함한다.
회전부 프레임(210)은 주편(10)의 표면 검사시 주편(10)을 안정적으로 반전(R1) 및 회전(R5)시키기 위하여 지면 또는 공장 바닥면에 위치 고정된다. 이를 위하여, 회전부 프레임(210)의 하부면에는 다수의 안착받침대(212)가 구비된다. 또한, 회전부 프레임(210)의 하부면에는 다수의 높이조절식 이동바퀴(214)가 구비되어 주편(10)의 표면 검사가 이루어지지 않을 때 표면 검사 장치(100)를 다른 장소로 원활하게 이동시킬 수 있다. 또한, 본 실시예에서 회전부 프레임(210)의 개방된 측면에는 회전부 프레임(210)의 내부 공간에 외부의 이물질이 유입되는 것을 차단할 수 있는 덮개(22)가 구비되며, 덮개(220)의 일측에는 내부 공간의 온도가 상승되는 것을 방지하는 동시에 외부의 공기가 유입될 수 있는 통풍구(222)가 형성된다.
위와 같은 회전부 프레임(210)의 상부에는 수직 회전축(320)이 관통된 상태로 수평 회전(R5)되는 정반(310)이 연결된다. (여기서, 수직 회전축(320)의 상단부는 정반(310)의 하부면에 부착되고, 수직 회전축(320)의 하단부는 회전부 프레임(210)의 내부 공간에서 돌출된다.) 이때, 정반(310)의 수평 회전(R5)이 원활하게 이루어지도록 정반(310)의 하부면과 회전부 프레임(210)의 상부면은 상하로 이격된다. 이를 위해, 수직 회전축(320)의 중앙부 외주면에는 원판형의 돌기가 돌출되고, 이러한 원판형 돌기는 회전부 프레임(210)의 상부면 내부(216)에 구속된다. 한편, 회전부 프레임(210)의 상부면 내부(216)에는 원판형 돌기와의 마찰을 최소화하고 정반(310)이 수평면 상에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 자유롭게 회전(R5)할 수 있도록 에어 갭(air gap) 또는 유압 갭(oil gap)이 형성된다.
수직 회전축(320)의 하단부에는 정반 구동수단에서 공급되는 구동력을 전달받을 수 있도록 수직 회전축 기어(330)가 구비된다. 이러한 수직 회전축 기어(330)를 회전(R5)시키기 위한 정반 구동수단은 정반(310)을 회전(R5)시키기 위한 구동력을 공급하는 제2구동모터(230)와, 제2구동모터(230)에서 공급되는 구동력을 조절하여 수직 회전축 기어(330)에 전달하는 구동력 조절기(240) 및 통합 제어부(500)의 구동 제어를 받아 제2구동모터(230) 및 구동력 조절기(240)의 전원 공급을 조절하는 제2전원조절기(270)를 포함한다.
제2구동모터(230)는 제1구동모터(460, 460')와 마찬가지로 제2구동모터(230)의 구동축을 수직면 상에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 자유롭게 회전(R5)시킬 수 있으며, 구동축의 회전수를 정확하게 제어할 수 있도록 DC모터, Step모터, Servo모터 등이 적용될 수 있다. 또한, 제2구동모터(230)의 구동축에도 구동력을 구동력 조절기(240)에 전달할 수 있도록 구동축 기어(232)가 결합된다. 구동축 기어(232)의 회전(R3)에 의한 구동력을 구동력 조절기(240)에 전달하는 방식은 다양하게 이루어질 수 있으며, 본 실시예에서는 제2구동모터(230)에서 공급되는 구동력으로 타이밍 벨트(timing belt; 250)를 회전시켜 구동력 조절기(240)의 일측에 구비되는 구동력 조절기 측면기어(242)가 회전(R4)되도록 하였다. 이와 같이, 타이밍 벨트를 사용하는 구동력 전달 방식 이외에 구동축 기어(232)와 구동력 조절기 측면기어(242)를 직접 맞물려 구동력을 전달할 수 있다.
미도시되었지만, 구동력 조절기(240)의 내부에는 제2구동모터(230)에서 공급된 구동력의 세기를 조절할 수 있는 감속기와, 정반(310)의 회전 유무를 조절할 수 있는 클러치가 구비된다. 여기서, 감속기를 통해 중량물인 주편(10)이 안착된 주편 안착부(400)를 원활하게 회전(R5)시킬 수 있으며, 예기치 않은 문제가 발생하는 경우 클러치 조작을 통해 정반(310)의 회전(R5)을 일시 정지시킬 수 있다.
한편, 구동력 조절기(240)의 상부면에는 구동력 조절기 상면기어(260)가 구비되어 구동력 조절기(240) 내에서 조절된 구동력이 수직 회전축 기어(330)에 전달된다. 따라서, 제2구동모터(230)에서 공급되는 구동력을 통해 수직 회전축(320)에 연결된 정반(310)을 회전(R5)시킬 수 있다.
제2전원조절기(270)는 통합 제어부(500)의 구동 제어를 받아 제2구동모터(230) 및 구동력 조절기(240)의 전원 공급을 조절한다. 이를 위해, 제2전원조절기(270)에는 표면 검사 장치의 외부에서 전원을 제공받는 전원공급선(272)과, 통합 제어부(500)로부터 제어 명령을 전달받는 신호선 또는 신호공급선(274)이 연결된다.
또한, 제2전원조절기(270)와 주편 안착부(400)에 구비되는 제1전원조절기(490) 사이에도 전원공급선과 신호공급선이 연결되어, 제2전원조절기(270)를 통해 제1전원조절기(490)를 구동 제어할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 제1전원조절기(490)와 제2전원조절기(270) 사이의 전원공급선 및 신호공급선이 정반(310), 수직 회전축(320) 및 수직 회전축 기어(330)에서 상하로 형성되는 관통홀(미도시)을 통해 설치된다. 이때, 정반(310), 수직 회전축(320) 및 수직 회전축 기어(330)이 상하로 정렬되는 가상 축(관통홀의 연장축)의 방향(z방향)이 주편 안착부(400)의 회전 중심축(Lc) 상에 위치하기 때문에 제1전원조절기(490)와 제2전원조절기(270) 사이에 연결되는 전원공급선 및 신호공급선은 주편 안착부(400)의 회전(R5)에 방해를 일으키지 않게 된다.
통합 제어부(500)는 주편 회전부(200, 300)의 외측에 구비된다. 본 실시예에서는 통합 제어부(500)의 제어 명령이 유선, 즉 신호공급선(274)을 통해 제2전원조절기(270)에 전달되었지만, 변형예로서 무선 방식을 사용할 수도 있다. (제2전원조절기(270)에 전달된 제어 명령은 다시 제1전원조절기(490)로 전달된다.) 이러한 통합 제어부(500)는 작업자가 각종 제어 명령을 내릴 수 있는 제어 패널박스(control panel box; 530)와, 제어 패널박스(530)를 지면으로부터 지지하는 지지대(520) 및 지지받침대(510)를 포함한다. 이러한, 제어 패널박스(530)의 외부 일측에는 제어 명령을 입력하기 위한 다수의 버튼, 또는 키패드 등이 구비되고, 입력된 제어 명령이나 표면 검사 장치(100)의 구동 상태, 예를 들어 주편(10)의 반전 상태나 회전 상태를 출력하는 디스플레이 수단이 구비된다. 또한, 외부의 컴퓨터나 프린터 등의 수단과 연결할 수 있는 각종 연결 포트가 구비된다.
이하, 전술한 표면 검사 장치(도 1 내지 도 4 참조)를 이용한 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 방법을 살펴보기로 한다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 방법을 나타낸 순서도이고, 도 6 내지 도 8은 도 5에 도시된 표면 검사 방법에 따른 표면 검사 장치의 구동 상태를 나타낸 도면이다.
도 5 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 방법은 한 쌍의 반전판 상에서 주편을 측정 기준 위치에 안착시키는 단계(S110)와, 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 주편의 표면을 측정하는 단계(S120)와, 측정이 이루어지지 않는 주편의 표면이 노출되도록 주편을 반전시키는 단계(S130)와, 반전된 상태의 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 주편의 표면을 측정하는 단계(S140) 및 주편의 표면에서 측정된 데이터들을 통합하여 외부로 출력하는 단계(S150)를 포함한다.
우선, 한 쌍의 반전판 상에서 주편을 측정 기준 위치에 안착시키는 단계(S110)는 수평 회전축을 공유하는 한 쌍의 반전판(440, 440' ; 도1 내지 도4 참조) 중에서 일측의 반전판(440) 상에 자기척과 크레인 등의 운반 수단을 통해 주편을 이송시키는 단계(S112; 도6(a) 참조)와, 한 쌍의 반전판(440, 440') 중에서 타측의 반전판(440')을 수직 상태(지면을 기준을 직각을 이루는 상태)로 회전시키고, 주편의 일측면이 수직으로 세워진 타측의 반전판(440')과 밀착되도록 일측의 반전판(440) 상에 놓여진 주편을 수평 이동시키는 단계(S114; 도6(b) 참조) 및 주편의 수평 이동이 완료되면 수직으로 세워진 타측의 반전판(440')을 지면에 대하여 수평인 상태로 회전, 즉 원위치로 복귀시키는 단계(S116; 도7(c) 참조)를 포함한다. 여기서, 수직으로 세워진 타측의 반전판(440')에 주편이 밀착되었음을 용이하게 확인하기 위해서 반전판(440, 440')의 일측에 접촉센서(미도시)나 거리센서(미도시)를 구비시킬 수 있다. 이러한 접촉센서나 거리센서는 반전판(440, 440')과 주편의 접촉 상태를 감지할 수 있을 뿐만 아니라 반전판(440, 440')의 회전 상태를 감지할 수도 있다.
표면 검사의 대상물인 주편은 표면 검사 장치의 외부에 구비되는 자기척과 크레인 등의 운반 수단에 의하여 반전판으로 이송된다. 이때, 주편은 반전판 상의 정확한 측정 기준 위치에 놓여지지 않을 수 있기 때문에 주편을 측정시 기준이 되는 측정 기준 위치에 정렬시키기 위해 위와 같은 단계(S112 내지 S116)가 주편 이송 후 수행된다. 여기서, 자기척과 크레인 등의 운반 수단을 통해 이송되는 주편은 한 쌍의 반전판의 상부면을 가로질러 놓여지지 않고, 한 쌍의 반전판 중에서 어느 하나의 반전판의 상부면에만 놓여진다.
이후, 주편은 지면에 대하여 평행하게 회전되어 주편의 복수 표면, 즉 회전에 의해 주편의 일측에 구비되는 주편 측정부와 대향되는 주편의 표면들이 주편 측정부에 의해 촬영된다. 즉, 주편이 표면 측정된다(S120, 도7(c) 참조).
위와 같이 주편을 지면에 평행하게 회전시키면서 측정한 주편 표면에는 주편의 하부면과 상부면이 포함되어 있지 않기 때문에 주편의 하부면과 상부면이 주편 측정부와 대향되도록 주편을 반전시킨다(S130). 본 실시예에 따른 주편의 반전 단계(S130)는 타측의 반전판(440')이 주편의 일측면에 밀착되도록 수직 상태로 회전시키는 단계(S132; 도7(d) 참조)와, 주편의 하부면을 지지하는 일측의 반전판(440)을 수직 상태로 회전시키는 동시에 주편의 일측면에 밀착된 타측의 반전판(440')을 수평 상태로 회전시키는 단계(S134; 도8(e) 참조)와, 일측 및 타측의 반전판(440, 440')의 회전에 의해 반전된 주편으로부터 수직 상태의 일측의 반전판(440)을 수평 상태로 회전시키는 단계(S136; 도8(f) 참조)를 포함한다. (여기서, 일측의 반전판(440)을 수직 상태로 회전시키는 동시에 타측의 반전판(440')을 수평 상태로 회전시키는 단계(S134)에서 한 쌍의 반전판(440, 440')은 동일한 방향으로 회전된다.) 이와 같이, 주편을 반전시킬 때 한 쌍의 반전판(440, 440')을 연동하여 회전시키는 이유는 일측의 반전판(440)으로 주편을 기울일 때 타측의 반전판(440')이 주편의 기울어짐을 받쳐주어 안정적으로 주편을 반전시키기 위해서이다. 또한, 주편을 반전시키는 과정에서 수직 상태를 이루는 한 쌍의 반전판(440, 440')에 의해 회전되는 주편은 반전된 후에도 측정 기준 위치에 정렬되는 상태를 유지한다.
본 실시예에서는 반전판을 회전시키기 위해 반전판의 하부면에 반원기어를 구비시키고, 반원기어를 회전시키는 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
한편, 주편을 반전시키는 단계(S130)의 전후 단계에서 주편의 표면을 측정하는 단계(S120, S140)는 주편의 표면(4개의 측면)이 주편 측정부와 마주하도록 주편을 90°단위로 회전시키는 단계와, 주편 측정부는 마주하는 주편의 표면을 촬영하여 이미지 데이터를 획득하는 단계 및 획득된 이미지 데이터를 통합 제어부로 전송하는 단계를 포함한다. 본 실시예에서는 최초의 주편 표면 측정이 주편 측정부에서 이루어지면, 이후 주편은 90°씩 4회에 걸쳐 360°회전되고, 주편의 4개의 측면이 차례대로 촬영되어 표면 측정이 이루어진다. 주편 측정부에는 주편의 표면을 촬영할 수 있는 카메라 등의 영상촬영장치뿐만 아니라 주편과 주편 측정부와의 이격 거리를 감지하는 위치감지센서가 구비된다. 또한, 영상촬영장치에서 촬영된 데이터를 통합 제어부로 전송하기 위한 유무선 방식의 데이터 전송수단이 구비된다.
한편, 주편의 표면에서 측정된 데이터들을 통합하여 외부로 출력하는 단계(S150)는 반전 전후의 주편의 표면에서 얻어진 이미지 데이터들을 동일한 측정 기준 위치 및 동일한 축척이 되도록 변환시키고 통합하는 단계와, 통합된 이미지 데이터를 3차원 형상 또는 색상을 이용한 그래프 방식으로 외부에 출력하는 단계를 포함한다. 주편을 복수 표면을 측정하여 획득된 이미지 데이터는 반전 상태의 전후 및 주편 측정부와의 이격 거리에 따라서 측정 기준 위치와 축척이 달라지기 때문에 주편의 표면을 측정하여 얻어진 이미지 데이터를 동일한 조건에서 비교 및 분석하기 위해서 변환이 이루어진다.
또한, 변환 후 통합된 이미지 데이터를 외부로 출력시키는 과정에서 통합 제어부에 내장되는 디스플레이 장치 등을 사용하여 출력시킬 수 있으며, 통합 제어부와 연결되는 컴퓨터나 프린터 등의 수단을 통해서 3차원 형상 또는 색상을 이용한 그래프 방식으로 통합된 이미지 데이터가 출력될 수 있다.
이상과 같이, 표면 검사가 완료되면 주편은 자기척과 크레인 등의 운반 수단을 사용하여 표면 검사 장치로부터 들어 올려지고, 주편 보관 장소로 이송 및 보관된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법에 의하면 중량물인 주편을 자동으로 반전 및 회전시킬 수 있어서 주편의 표면을 연속적으로 측정할 수 있으며, 이를 통해 주편 표면을 검사하는 공정의 작업 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 작업자의 숙련도와 상관없이 주편을 안정적으로 위치 변환시킬 수 있어서 예기치 않은 원인으로 주편이 손상되거나 또는 산업 재해가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 주편의 복수 표면이 자동으로 연속 측정되고, 측정시 기준이 되는 위치를 정확하게 알 수 있어서 주편 표면을 측정하여 얻어진 데이터의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명에 대하여 전술한 실시예들 및 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 변형 및 수정될 수 있음을 알 수 있을 것이다.
100 : 표면 검사 장치 200, 300 : 주편 회전부
210 : 회전부 프레임 230 : 제2구동모터
240 : 구동력 조절기 310 : 정반
320 : 수직 회전축 400 : 주편 안착부
410 : 회전 플레이트 420 : 반전판 회전대
430 : 반전판 지지대 422 : 수평 회전축
440, 440' : 반전판 442, 442' : 고무패드
450, 450' : 반원기어 460, 460' : 제1구동모터
470, 470' : 감속기어 500 : 통합 제어부
600 : 주편 측정부

Claims (16)

  1. 상하로 회전되는 반전판이 구비되고, 상기 반전판 상에 안착되는 주편을 반전시키는 주편 안착부와;
    상기 주편 안착부를 지면에 대하여 평행하게 회전시키는 주편 회전부와;
    상기 주편의 일측 영역에서 상기 주편의 표면을 측정하는 주편 측정부; 및
    상기 주편 안착부, 상기 주편 회전부 및 상기 주편 측정부의 구동을 제어하고, 상기 주편 측정부에서 측정된 데이터를 통합하는 통합 제어부;
    를 포함하는 표면 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 주편 안착부는,
    상기 주편 회전부의 상부에 수평하게 연결되는 회전 플레이트와;
    상기 회전 플레이트의 상부면에서 수직으로 세워져 수평 회전축을 형성하고, 상기 한 쌍의 반전판이 회전되도록 결합되는 한 쌍의 반전판 회전대와;
    상기 회전 플레이트의 상부면에서 수직으로 세워져 상기 한 쌍의 반전판의 처짐을 방지하는 한 쌍의 반전판 지지대와;
    상기 수평 회전축 상에서 상기 한 쌍의 반전판을 개별적으로 회전시키는 반전판 구동수단;
    을 포함하는 표면 검사 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 반전판 구동수단은,
    상기 반전판의 하부면에 결합되는 반원기어와;
    상기 반전판을 회전시키는 구동력을 공급하는 제1구동모터와;
    상기 제1구동모터의 구동력을 상기 반원기어에 전달하는 감속기어; 및
    상기 통합 제어부의 구동 명령을 받아 상기 제1구동모터의 전원 공급을 조절하는 제1전원조절기;
    를 포함하는 표면 검사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 반전판의 상부면에는 고무패드가 부착되는 표면 검사 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 주편 회전부는,
    비어있는 내부 공간을 제공하는 회전부 프레임과;
    상기 회전부 프레임의 상부를 관통하는 수직 회전축을 구비하고, 상기 주편 안착부를 상부면에 안착시키는 정반과;
    상기 내부 공간에서 상기 수직 회전축을 통해 상기 정반을 회전시키는 정반 구동수단;
    을 포함하는 표면 검사 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 수직 회전축의 내부 및 상기 정반에는 상기 주편 안착부에 전원을 공급하는 전원선과 상기 주편 안착부를 구동 제어하는 신호선이 통과되는 관통홀이 상하로 형성되는 표면 검사 장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 정반 구동수단은,
    상기 정반을 회전시키기 위한 구동력을 공급하는 제2구동모터와;
    상기 제2구동모터의 구동력을 상기 수직 회전축에 조절하여 전달하는 구동력 조절기와;
    상기 통합 제어부의 구동 명령을 받아 상기 제2구동모터 및 상기 구동력 조절기의 전원 공급을 조절하는 제2전원조절기;
    를 포함하는 표면 검사 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 구동력 조절기는 클러치 및 감속기를 포함하는 표면 검사 장치.
  9. 청구항 5에 있어서,
    상기 회전부 프레임의 일측면에는 통풍구가 형성되고, 상기 회전부 프레임의 하단면에는 다수의 높이조절식 이동바퀴 및 다수의 안착받침대가 결합되는 표면 검사 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 주편 측정부는,
    상기 주편의 복수 표면을 이미지로 측정하는 영상촬영장치를 포함하는 표면 검사 장치.
  11. 주편을 안착시키는 단계와;
    상기 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 상기 주편의 측면을 측정하는 단계와;
    상기 주편을 반전시키는 단계와;
    반전된 상기 주편을 지면에 대하여 평행하게 회전시켜 상기 주편의 측면을 측정하는 단계; 및
    상기 주편의 측면에서 측정된 데이터들을 통합하여 외부로 출력하는 단계;
    를 포함하는 표면 검사 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 주편을 안착시키는 단계는,
    수평 회전축을 공유하는 한 쌍의 반전판에서 일측의 반전판 상에 상기 주편을 이송시키는 단계와;
    상기 한 쌍의 반전판에서 타측의 반전판을 수직 상태로 회전시키는 단계와;
    상기 주편의 일측면이 상기 타측의 반전판과 밀착되도록 상기 일측의 반전판 상에서 상기 주편을 수평 이동시키는 단계; 및
    상기 타측의 반전판을 수평 상태로 회전시키는 단계;
    를 포함하는 표면 검사 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 주편을 반전시키는 단계는,
    상기 타측의 반전판이 상기 주편의 일측면에 밀착되도록 수직 상태로 회전시키는 단계와;
    상기 주편의 하부면을 지지하는 상기 일측의 반전판을 수직 상태로 회전시키는 동시에 상기 주편의 일측면에 밀착된 상기 타측의 반전판을 수평 상태로 회전시키는 단계와;
    반전된 상기 주편으로부터 상기 일측의 반전판을 수평 상태로 회전시키는 단계;
    를 포함하는 표면 검사 방법.
  14. 청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 반전판을 회전시키는 단계는,
    상기 반전판의 하부면에 결합되는 반원기어를 회전시키는 방식으로 이루어지는 표면 검사 방법.
  15. 청구항 11에 있어서,
    상기 주편의 표면을 측정하는 단계는,
    상기 주편의 표면이 주편 측정부와 마주하도록 상기 주편을 90°단위로 회전시키는 단계와;
    상기 주편 측정부와 마주하는 상기 주편의 표면을 촬영하여 이미지 데이터를 획득하는 단계와;
    상기 이미지 데이터를 통합 제어부로 전송하는 단계;
    를 포함하는 표면 검사 방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 주편의 측면에서 측정된 데이터들을 통합하여 외부로 출력하는 단계는,
    상기 통합 제어부로 전송된 상기 이미지 데이터를 동일한 측정 기준 위치와 동일 축척으로 변환시켜 통합하는 단계와;
    상기 통합된 이미지 데이터를 3차원 형상 또는 색상을 이용한 그래프 방식으로 외부에 출력하는 단계;
    를 포함하는 표면 검사 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10304578B2 (en) 2016-04-07 2019-05-28 Kepco Nuclear Fuel Co., Ltd. Fuel pellet visual inspection device for manufacturing nuclear fuel rod
CN113566748A (zh) * 2021-08-13 2021-10-29 武汉凤翔科技发展有限公司 一种溅射靶材检测机构
CN117605921A (zh) * 2024-01-19 2024-02-27 三鑫特材(常州)股份有限公司 一种大型铸钢件探伤处理装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4189307B2 (ja) 2003-12-05 2008-12-03 新日本製鐵株式会社 鋼片の表面疵検査方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10304578B2 (en) 2016-04-07 2019-05-28 Kepco Nuclear Fuel Co., Ltd. Fuel pellet visual inspection device for manufacturing nuclear fuel rod
CN113566748A (zh) * 2021-08-13 2021-10-29 武汉凤翔科技发展有限公司 一种溅射靶材检测机构
CN117605921A (zh) * 2024-01-19 2024-02-27 三鑫特材(常州)股份有限公司 一种大型铸钢件探伤处理装置
CN117605921B (zh) * 2024-01-19 2024-03-22 三鑫特材(常州)股份有限公司 一种大型铸钢件探伤处理装置

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