KR20110095220A - Holder unit, scribe head and scribe device - Google Patents

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KR20110095220A KR1020110067362A KR20110067362A KR20110095220A KR 20110095220 A KR20110095220 A KR 20110095220A KR 1020110067362 A KR1020110067362 A KR 1020110067362A KR 20110067362 A KR20110067362 A KR 20110067362A KR 20110095220 A KR20110095220 A KR 20110095220A
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A holder unit, a scribing head, and a scribing apparatus are provided to improve the position precision of a scribing line by accurately supporting a holder with a scribing wheel at a holder joint. CONSTITUTION: A holder unit includes a holder joint(20) and a holder which is attached at the holder joint. The holder joint includes an opening(23), a magnet(24), and a through hole(22a). The magnet is embedded in the opening. The through hole passes through the lateral side of the opening. A pin(25) is inserted into the through hole to be supported. The holder is composed of an attaching part and a scribing wheel. The attaching part is made of a magnetic metal and includes an inclined part in contact with the pin of the holder joint. The scribing wheel is rotatably formed at the lower side of the holder. The scribing head includes an elevating part supporting the holder unit to be capable of being vertically moved.

Description

홀더 유닛, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치{HOLDER UNIT, SCRIBE HEAD AND SCRIBE DEVICE}Holder unit, scribe head and scribe device {HOLDER UNIT, SCRIBE HEAD AND SCRIBE DEVICE}

본 발명은 취성 재료(brittle material) 기판에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성하기 위해 이용되는 스크라이브 장치와 그 스크라이브 헤드, 홀더 유닛 및 홀더 조인트에 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to scribe devices and scribe heads, holder units and holder joints used to form scribe lines on brittle material substrates.

종래, 액정 표시 패널이나 액정 프로젝터 기판 등의 플랫 패널 디스플레이 등에서는, 제조 과정에 있어서 마더 유리 기판(mother glass substrate)이 접합된 후에 소정의 크기의 단개(單個)의 패널이 되도록 분단(分斷)된다. 이 마더 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에는 스크라이브 공정과 브레이크 공정이 있고, 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, in flat panel displays, such as a liquid crystal display panel and a liquid crystal projector substrate, in a manufacturing process, after a mother glass substrate is bonded, it divides so that it may become a single panel of predetermined size. do. The division of brittle material substrates, such as a mother glass substrate, has a scribe process and a brake process, and a scribe apparatus is used in a scribe process.

도 1은 특허문헌 1에 나타나 있는 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치(100)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사결합하고 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 형성되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 스크라이브 장치(100)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 형성되어 있다.1 is a perspective view illustrating a scribe device shown in Patent Document 1. FIG. In this scribe apparatus 100, the movable base 101 is supported freely in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed into the movable base 101. The ball screw 103 is rotated by the drive of the motor 104 to move the movable base 101 along the guide rails 102a and 102b in the y-axis direction. The motor 105 is formed on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 in the xy plane to position at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on this table 106 and supported by vacuum suction means or the like not shown. On top of the scribing apparatus 100, two CCD cameras 108 for imaging an alignment mark of the brittle material substrate 107 are formed.

스크라이브 장치(100)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브릿지(110)가 x축 방향을 따라 지주(支柱; 111a, 111b)에 의해 가설(架設)되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는 브릿지(110)에 형성된 가이드(113)를 따라 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(114)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 이동시키는 것이다.In the scribe device 100, the bridge 110 is hypothesized by struts 111a and 111b along the x-axis direction so as to span the movable table 101 and the table 106 above. The scribe head 112 is movable in the x-axis direction along the guide 113 formed in the bridge 110. The motor 114 moves the scribe head 112 along the x-axis direction.

스크라이브 장치의 스크라이브 헤드(112)에는, 홀더 조인트(120)를 통하여 팁 홀더(이하, 단순히 「홀더」라고 함)(10)가 부착된다. 도 2는 특허문헌 1에 따른 홀더를 나타내는 도면이며, 도 3은 그 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 홀더(10)는 대략 원통형의 부재로서, 그 일단에는 대략 정방형상의 평탄부(11a, 11b)가 모두 중심축에 평행하게 형성된다. 홀더(10)는 이 평탄부의 사이에 중심축을 따른 절결(切欠;cut-out)(12)을 갖고 있고, 평탄부(11a, 11b)의 하단에는 그 면에 수직인 방향의 핀홈(13)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(「커터 휠」이라고도 함)(14)은 예를 들면 휠지름이 2.5mm, 두께 0.5mm 정도의 원판상의 형상을 갖고, 원주 부분의 단면이 원추형으로 형성되어, 중심에 관통구멍을 갖는 원반 형상 또는 도우넛 형상이며, 단순히 팁(tip)이라고도 불린다. 스크라이빙 휠(14)은, 핀홈(13)에 삽입된 핀(15)을 중심의 관통구멍에 관통시킴으로써, 회전이 자유롭게 지지된다. 핀(15)을 핀홈(13)에 삽입하여 스크라이빙 휠(14)을 지지한 후는, 스크라이빙 휠의 교환을 요할 경우에도 스크라이빙 휠을 분리하지 않고, 홀더와 함께 교환된다. 한편 홀더(10)의 타단(他端)에는 위치 결정용의 부착부(16)가 형성되어 있다. 부착부(16)는 홀더(10)를 절결하여 형성되고, 경사부(16a) 및 평탄부(16b)를 갖는다. 평탄부(16b)는 홀더의 축과 평행하며, 그리고 하방의 평탄부(11a, 11b)와는 수직으로 되어 있다. 홀더(10)는 그 상부의 부착부(16)가 자성체 금속으로 구성되어 있다.To the scribe head 112 of the scribing apparatus, a tip holder (hereinafter simply referred to as a "holder") 10 is attached via the holder joint 120. 2 is a view showing a holder according to Patent Document 1, and FIG. 3 is a perspective view thereof. As shown in these figures, the holder 10 is a substantially cylindrical member, and at one end thereof, substantially square flat portions 11a and 11b are formed parallel to the central axis. The holder 10 has a cut-out 12 along the central axis between the flat portions, and at the lower ends of the flat portions 11a and 11b, pin grooves 13 in a direction perpendicular to the surface thereof are formed. Have The scribing wheel (also referred to as a "cutter wheel") 14 has a disk shape of, for example, a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness of about 0.5 mm, and a cross section of the circumferential portion is formed in a conical shape, and has a through hole in the center thereof. It is disc-shaped or donut-shaped, and is also called simply a tip. The scribing wheel 14 allows the pin 15 inserted in the pin groove 13 to pass through the center through hole so that rotation is freely supported. After the pin 15 is inserted into the pin groove 13 to support the scribing wheel 14, even when the scribing wheel needs to be replaced, the pin 15 is replaced with the holder without removing the scribing wheel. On the other hand, at the other end of the holder 10, an attachment portion 16 for positioning is formed. The attachment portion 16 is formed by cutting the holder 10 and has an inclined portion 16a and a flat portion 16b. The flat portion 16b is parallel to the axis of the holder and is perpendicular to the lower flat portions 11a and 11b. The holder 10 has an attachment portion 16 formed thereon of magnetic metal.

스크라이브 헤드(112)는 그 내부에, 홀더(10)의 승강 동작을 가능하게 하는 승강부, 예를 들면 공기압 제어를 이용하는 에어 실린더나 리니어 모터에 의한 전동 승강부 등이 형성되어 있다. 스크라이브 장치는 승강부에 의해 스크라이빙 휠(14)을 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하여 전동(轉動)해 가서, 스크라이브 라인을 형성한다.The scribe head 112 is provided with a lifting part that enables the lifting operation of the holder 10 to be inside thereof, for example, an air cylinder using pneumatic control, an electric lifting part by a linear motor, and the like. The scribing apparatus presses and drives the scribing wheel 14 on the surface of the brittle material substrate with an appropriate load by a lifting unit to form a scribe line.

도 4는 종래의 홀더 조인트(120)를 나타내는 도면이며, 도 5는 이 홀더 조인트(120)에 홀더(10)를 삽입하는 상태를 나타내는 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(120)는 상부에 베어링(121a, 121b)을 갖고 있고, 하방이 홀더(10)를 지지하는 지지부(122)로 되어 있다. 홀더 조인트(120)의 지지부(122)에는, 도시와 같이 원형의 개구(123)가 형성되어 있고, 그 내측에 자석(124)이 매설되어 있다. 또한 이 개구(123)의 내부에는 중심축으로부터 거리를 둔 위치에 중심축과 수직인 평행핀(125)이 형성되어 있다. 평행핀(125)은 원기둥의 부재로서, 홀더(10)의 경사부(16a)에 접하여 홀더(10)를 위치 결정하는 것이다.4 is a view showing a conventional holder joint 120, and FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the holder 10 is inserted into the holder joint 120. As shown in FIG. As shown in these figures, the holder joint 120 has bearings 121a and 121b at an upper portion thereof, and a lower portion of the holder joint 120 is a support portion 122 that supports the holder 10. A circular opening 123 is formed in the support part 122 of the holder joint 120, and the magnet 124 is embedded inside. Further, inside the opening 123, parallel pins 125 perpendicular to the central axis are formed at a position spaced from the central axis. The parallel pin 125 is a member of a cylinder, which positions the holder 10 in contact with the inclined portion 16a of the holder 10.

이 홀더(10)를 홀더 조인트(120)에 부착할 때에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트의 개구(123)에 홀더(10)를 그 부착부(16)로부터 삽입한다. 그렇게 하면 홀더(10)의 선단부가 자석(124)에 의해 흡인되고, 그리고 경사부(16a)가 평행핀(125)에 접촉하여 위치 결정 고정된다. 도 6은 홀더 조인트(120)에 홀더(10)가 부착된 상태를 나타내는 부분 단면도이며, 도 7은 홀더 조인트(120)가 부착된 스크라이브 헤드(112)의 일부를 나타내는 도면이다. 홀더(10)는 자석(124)에 의해 흡인되어 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다. 교환할 경우에는 홀더(10)를 당겨 분리하고 있다.When attaching this holder 10 to the holder joint 120, the holder 10 is inserted from the attachment part 16 to the opening 123 of a holder joint as shown in FIG. Then, the tip of the holder 10 is attracted by the magnet 124, and the inclined portion 16a is in contact with the parallel pin 125 for positioning fixing. FIG. 6 is a partial cross-sectional view illustrating a state in which the holder 10 is attached to the holder joint 120, and FIG. 7 is a view illustrating a part of the scribe head 112 to which the holder joint 120 is attached. Since the holder 10 is only sucked by the magnet 124, it is very easy to attach and is fixed to a predetermined position. When replacing, the holder 10 is pulled out and removed.

[특허문헌 1] 국제특허공개공보 WO 2007/063979[Patent Document 1] International Patent Publication WO 2007/063979

종래의 홀더(10)는, 홀더 조인트(120)에 부착하여 홀더 유닛(130)이 구성된다. 홀더 유닛(130)을 스크라이브 헤드(112)에 부착하여 스크라이브할 경우에는, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 가압하면서 이동시킨다. 이때 스크라이브 라인이 만곡하여 있으면, 홀더를 지지하는 홀더 조인트(120)에도 비틀림 힘이 가해진다. 이 때문에 일단 만곡한 스크라이브 라인을 형성한 후에는, 직선 스크라이브를 할 경우라도 스크라이브 라인의 위치 정밀도가 저하된다는 결점이 있었다. 또한 홀더가 홀더 조인트의 개구(123)의 내측에 끼여지기 때문에 분리하는 것이 어려워진다. 특히 로봇 등의 자동 공구 교환기를 이용하여 홀더를 교환할 경우에는, 홀더의 분리가 어려워진다는 결점이 있었다.The holder 10 of the related art is attached to the holder joint 120 to form the holder unit 130. When the holder unit 130 is attached to the scribe head 112 and scribed, the scribing wheel is moved while pressing the brittle material substrate. At this time, if the scribe line is curved, a torsional force is applied to the holder joint 120 supporting the holder. For this reason, once the curved scribe line is formed, there is a drawback that the positional accuracy of the scribe line is lowered even when a straight scribe is performed. In addition, since the holder is pinched inside the opening 123 of the holder joint, it becomes difficult to separate. In particular, when the holder is replaced using an automatic tool changer such as a robot, there is a drawback that the holder is difficult to separate.

본 발명은 이러한 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 홀더를 홀더 조인트에 확실하게 지지할 수 있어, 스크라이브 라인의 위치 정밀도를 향상시킴과 아울러, 용이하게 착탈할 수 있도록 한 홀더 조인트 및, 이와 홀더를 포함하는 홀더 유닛이나 스크라이브 헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and includes a holder joint and a holder which can reliably support the holder to the holder joint, thereby improving the positional accuracy of the scribe line and being easily detachable. It is an object to provide a holder unit or a scribe head.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 홀더 조인트는, 일단(一端)에 형성된 개구와, 상기 개구의 내측에 매설된 자석과, 상기 개구를 측방으로부터 관통하는 관통구멍과, 축에 평행한 제1 평면부를 갖고, 상기 관통구멍에 삽입되어 적어도 일정 각도 범위에서 회전운동이 자유롭게 지지되는 핀을 구비하는 것이다.In order to solve this problem, the holder joint of the present invention includes an opening formed at one end, a magnet embedded inside the opening, a through hole penetrating the opening from the side, and a first parallel to the shaft. And a pin inserted into the through hole and freely supporting a rotational movement in at least a predetermined angle range.

여기에서 본 발명의 홀더 조인트는, 상기 관통구멍의 측방에 연결하여 형성된 패인 부분과, 상기 패인 부분 내에 삽입되어, 상기 핀의 회전운동 각도를 소정 범위로 규제하는 규제 수단을 추가로 구비하도록 해도 좋다.The holder joint of the present invention may further include a recess formed in connection with the side of the through hole, and a restricting means inserted into the recess to restrict the rotational angle of the pin to a predetermined range. .

여기에서 상기 규제 수단은, 일정 범위에서 이동이 자유롭게 지지된 강구(steel ball) 등의 구체(球體)로 해도 좋다.In this case, the restricting means may be a sphere such as a steel ball supported freely in a certain range.

여기에서 상기 핀은, 적어도 일단이 절결되어 상기 제1 평면부와 다른 각도를 갖는 제2 평면부를 갖는 원기둥 형상의 부재로서, 상기 제2 평면부와 상기 패인 부분에 의해 상기 강구 등의 구체를 지지하도록 해도 좋다.Here, the pin is a cylindrical member having a second planar portion having at least one end cut off and having a different angle from the first planar portion, and supporting the sphere such as the steel ball by the second planar portion and the recessed portion. You may do so.

여기에서 상기 핀은, 단면이 다각형상의 기둥체로 해도 좋다.The fin may be a polygonal columnar cross section.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 홀더 유닛은, 홀더 조인트와, 상기 홀더 조인트에 부착된 스크라이브 라인 형성용의 스크라이빙 휠을 구비한 홀더를 구비하는 홀더 유닛으로서, 상기 홀더 조인트는, 일단에 형성된 개구와, 상기 개구의 내측에 매설된 자석과, 상기 개구를 측방으로부터 관통하는 관통구멍과, 축에 평행한 제1 평면부 및 적어도 일단이 절결되어 상기 제1 평면부와 다른 각도를 갖는 제2 평면부를 갖고, 상기 관통구멍에 삽입되어 적어도 일정 각도 범위에서 회전운동이 자유롭게 지지되는 핀을 갖는 것이며, 상기 홀더는, 자성체 금속으로 구성되고, 상기 홀더 조인트의 상기 핀의 제1 평면부에 접촉하는 경사부을 갖는 부착부와, 하단에 회전운동이 자유롭게 형성된 스크라이빙 휠을 갖고, 상기 홀더는, 상기 핀의 제1 평면부와 상기 홀더의 부착부의 경사부와의 면 접촉에 의해 위치 결정되어 상기 홀더 조인트에 부착되는 것이다.In order to solve this problem, the holder unit of the present invention is a holder unit having a holder joint and a holder having a scribing wheel for forming a scribe line attached to the holder joint. An opening formed in the opening, a magnet embedded inside the opening, a through hole penetrating the opening from the side, a first plane portion parallel to an axis, and at least one end thereof are cut out to have different angles from the first plane portion; It has a second planar portion, having a pin inserted into the through-hole, the rotational movement is freely supported at least a certain angle range, the holder is made of a magnetic metal, the first planar portion of the pin of the holder joint It has an attachment portion having an inclined portion to contact, and a scribing wheel freely formed a rotational movement at the lower end, the holder, the first flat portion of the pin and the hole Is attached in position by the surface contact with the inclined section part is attached to the holder joint.

여기에서 상기 홀더 조인트는, 상기 관통구멍의 측방에 연결하여 형성된 패인 부분과, 상기 패인 부분 내에 삽입되어, 상기 핀의 회전운동 각도를 소정 범위로 규제하는 규제 수단을, 추가로 구비하도록 해도 좋다.The holder joint may further include a recess formed in connection with the side of the through hole, and a restricting means inserted into the recess to restrict the rotational movement angle of the pin to a predetermined range.

여기에서 상기 홀더는 원기둥 형상 부재이며, 상기 홀더 조인트의 개구는, 상기 홀더의 원기둥의 외경보다 큰 원주 부분과, 원기둥의 외경보다 작은 원주 부분을 포함하도록 해도 좋다.The holder may be a cylindrical member, and the opening of the holder joint may include a circumferential portion larger than the outer diameter of the cylinder of the holder and a circumferential portion smaller than the outer diameter of the cylinder.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 헤드는, 스크라이브 장치에 이용되는 스크라이브 헤드로서, 전술한 홀더 유닛을 상하운동이 자유롭게 지지하는 승강부를 갖는 것이다.In order to solve this problem, the scribe head of this invention is a scribe head used for a scribing apparatus, Comprising: It has a lifting part which supports the above-mentioned holder unit freely up and down.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 장치는, 취성 재료 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 장치로서, 상기 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 취성 재료 기판과 취성 재료 기판의 평면 방향에 있어서 상대적으로 이동하는 상대 이동부를 갖는 것이다.In order to solve this problem, the scribing apparatus of the present invention is a scribing apparatus used for scribing a brittle material substrate, wherein the scribe head and the scribe head are relatively moved in a plane direction of the brittle material substrate and the brittle material substrate. It has a relative moving part.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 홀더 조인트는 홀더를 제1 평면부에서 안정되게 지지할 수 있기 때문에, 스크라이브 라인을 형성할 때의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한 홀더 조인트로부터 홀더를 용이하게 부착하거나 분리할 수 있다. 따라서 로봇이나 자동 공구 교환기를 이용하여 홀더의 착탈이 자유로워진다는 효과가 얻어진다.According to the present invention having such a feature, since the holder joint can stably support the holder in the first flat portion, the accuracy in forming the scribe line can be improved. It is also possible to easily attach or detach the holder from the holder joint. Therefore, the effect that the holder can be attached and detached freely using a robot or an automatic tool changer is obtained.

도 1은 종래의 스크라이브 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 홀더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 홀더를 나타내는 사시도이다.
도 4는 종래의 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 5는 종래의 홀더 조인트에 홀더를 삽입할 때의 사시도이다.
도 6은 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 7은 홀더 조인트를 스크라이브 헤드에 부착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태의 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태의 핀을 나타내는 사시도이다.
도 11a는 본 발명의 실시 형태의 홀더 조인트의 개구를 나타내는 도면이다.
도 11b는 홀더 조인트의 개구의 다른 형태를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태에 따른 홀더 조인트의 조립을 나타내는 사시도이다.
도 13a는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트에 홀더를 삽입·고정하기 직전의 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 13b는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트에 홀더를 삽입·고정한 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 13c는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트로부터 홀더를 분리한 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 14는 본 발명의 실시 형태의 스크라이브 헤드를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall configuration of a conventional scribe device.
2 is a diagram illustrating a configuration of a holder.
3 is a perspective view showing the holder;
4 is a view showing a conventional holder joint.
5 is a perspective view when inserting a holder into a conventional holder joint.
6 is a partial cross-sectional view of a holder joint showing a state where a holder is inserted.
7 is a view showing a state in which the holder joint is attached to the scribe head.
8 is a perspective view showing the overall configuration of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the holder joint of embodiment of this invention.
It is a perspective view which shows the pin of embodiment of this invention.
It is a figure which shows the opening of the holder joint of embodiment of this invention.
It is a figure which shows another form of the opening of a holder joint.
It is a perspective view which shows assembly of the holder joint concerning embodiment of this invention.
13A is a partial cross-sectional view showing a state immediately before inserting and fixing a holder to a holder joint in the embodiment of the present invention.
It is a partial sectional drawing which shows the state which inserted and fixed the holder to the holder joint in embodiment of this invention.
13C is a partial cross-sectional view showing a state where a holder is separated from a holder joint in the embodiment of the present invention.
It is a perspective view which shows the scribe head of embodiment of this invention.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)Best Mode for Carrying Out the Invention [

도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드를 이용한 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치에 있어서, 전술한 종래예와 동일 부분은 동일 부호를 붙이고 있다. 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사결합하고 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 형성되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 스크라이브 장치(1)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 형성되어 있다.8 is a perspective view showing a scribe device using a scribe head according to an embodiment of the present invention. In this scribe device, the same parts as those of the conventional example described above have the same reference numerals. In the scribing apparatus 1 which concerns on this embodiment, the movement table 101 is supported freely in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed into the movable base 101. The ball screw 103 is rotated by the drive of the motor 104 to move the movable base 101 along the guide rails 102a and 102b in the y-axis direction. The motor 105 is formed on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 in the xy plane to position at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on this table 106 and supported by vacuum suction means or the like not shown. In the upper part of the scribing apparatus 1, two CCD cameras 108 which image the alignment mark of the brittle material substrate 107 are formed.

스크라이브 장치(1)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브릿지(110)가 x축 방향을 따라 지주(111a, 111b)에 의해 가설되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는 브릿지(110)에 형성된 가이드(113)를 따라 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(114)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 이동시키는 것이다. 스크라이브 헤드(112)의 선단부에는, 후술하는 홀더(10)가 홀더 조인트(20)를 통하여 부착되어 있다. 여기에서 모터(104)와 안내 레일(102a, 102b), 볼나사(103)는 테이블을 y축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 브릿지(110), 지주(111a, 111b), 가이드(113)는 스크라이브 헤드를 x축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 모터(105)는 테이블을 회전시키는 회전부로서, 이들이 상대 이동부를 구성하고 있다.In the scribing apparatus 1, the bridge 110 is hypothesized by the struts 111a and 111b along the x-axis direction so as to span the movable table 101 and the table 106 on the upper portion thereof. The scribe head 112 is movable in the x-axis direction along the guide 113 formed in the bridge 110. The motor 114 moves the scribe head 112 along the x-axis direction. The holder 10 mentioned later is attached to the front-end | tip part of the scribe head 112 via the holder joint 20. As shown in FIG. Here, the motor 104, the guide rails 102a and 102b, and the ball screw 103 are moving parts for moving the table in the y-axis direction, and the bridge 110, the struts 111a and 111b, and the guide 113 are It is a moving part which moves a scribe head to an x-axis direction, and the motor 105 is a rotating part which rotates a table, and these comprise a relative moving part.

다음으로 스크라이브 헤드에 부착되는 홀더 유닛의 구성에 대하여 설명한다. 홀더 유닛(30)은 홀더 조인트(20)와 홀더(10)에 의해 구성되지만, 홀더(10) 자체의 구성은 전술한 종래예와 동일하여, 상세한 설명을 생략한다. 홀더(10)는, 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이 대략 원통형의 부재로서, 그 하단에는 스크라이빙 휠(14)을 회전이 자유롭게 지지하고 있고, 타단에는 위치 결정용의 부착부(16)가 형성되어 있다.Next, the structure of the holder unit attached to a scribe head is demonstrated. Although the holder unit 30 is comprised by the holder joint 20 and the holder 10, the structure of the holder 10 itself is the same as the prior art example mentioned above, and detailed description is abbreviate | omitted. The holder 10 is a substantially cylindrical member, as shown in Figs. 2 and 3, the rotation of which supports the scribing wheel 14 freely at the lower end thereof, and the attachment portion 16 for positioning at the other end thereof. Is formed.

다음으로 본 실시 형태의 홀더 조인트(20)에 대하여 설명한다. 도 9는 본 실시 형태의 홀더 조인트(20)를 나타내는 도면이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 홀더 조인트(20)는 상부에 베어링(21a, 21b)을 갖고 있고, 하방이 홀더를 지지하는 지지부(22)로 되어 있다. 홀더 조인트(20)의 지지부(22)에는, 도시와 같이 하방으로부터 원형의 개구(23)가 형성되어 있고, 그 내측에 자석(24)이 매설되어 있다. 홀더 조인트(20)의 지지부(22)에는, 원형의 개구(23)를 관통하는 관통구멍(22a)이 형성되어 있다. 또한 지지부(22)에는, 관통구멍(22a)과 중심축을 맞추어 좌우로 얕은 원형의 패인 부분(22b, 22c)이 각각 형성된다. 한쪽의 패인 부분(22b)의 내부에는, 도 9에 나타내는 바와 같이 작은 원형의 패인 부분(22d)이 형성되어 있다. 이 패인 부분(22d)은 작은 강구 등의 구체를 지지하기 위한 것이다. 또한 이 개구(23)의 내부에는 중심축으로부터 거리를 둔 위치에 중심축과 수직인 핀(25)이 형성된다. 핀(25)은 홀더(10)의 경사부(16a)에 접하여 홀더(10)를 위치 결정하는 것이다.Next, the holder joint 20 of this embodiment is demonstrated. 9 is a view showing the holder joint 20 of the present embodiment. As shown in FIG. 9, the holder joint 20 has bearings 21a and 21b in the upper part, and becomes the support part 22 which supports a holder below. As shown in the drawing, a circular opening 23 is formed in the support portion 22 of the holder joint 20, and a magnet 24 is embedded therein. In the support part 22 of the holder joint 20, the through-hole 22a which penetrates the circular opening 23 is formed. Moreover, the support part 22 is provided with the recessed part 22b, 22c of the right and left, respectively, with the through-hole 22a centering on a central axis. Inside the one recessed part 22b, as shown in FIG. 9, a small circular recessed part 22d is formed. This recessed part 22d is for supporting spheres, such as small steel balls. Moreover, the pin 25 which is perpendicular | vertical to a center axis | shaft is formed in this opening 23 in the position which distanced from the center axis | shaft. The pin 25 contacts the inclined portion 16a of the holder 10 to position the holder 10.

그리고 본 실시 형태의 홀더 조인트의 핀(25)에 대하여 더욱 상세하게 설명한다. 핀(25)은 예를 들면 도 10에 사시도를 나타내는 바와 같이, 대략 원기둥형의 부재로서, 길이 방향으로 핀(25)의 축을 따라 절결된 제1 평면부(25a)를 갖고 있다. 또한 핀(25)의 일단에 절결(25b)이 형성되고, 제1 평면부(25a)에 수직인 제2 평면부(25c)가 형성된다. 핀(25)의 평면부(25a와 25c)는, 반드시 직각일 필요는 없다.And the pin 25 of the holder joint of this embodiment is demonstrated in more detail. The pin 25 is a substantially cylindrical member, for example as shown in FIG. 10, and has a first planar portion 25a cut along the axis of the pin 25 in the longitudinal direction. In addition, the notch 25b is formed in one end of the pin 25, and the 2nd planar part 25c perpendicular | vertical to the 1st planar part 25a is formed. The planar portions 25a and 25c of the pin 25 do not necessarily have to be at right angles.

다음으로 개구(23)의 형상과 홀더(10)의 지름에 대하여 설명한다. 개구(23)의 지름은 홀더(10)의 원기둥의 외경과 동일하지 않고, 근소하게 크게 함과 아울러, 2개의 동일 지름 부분을 형성한 형상으로 한다. 즉 도 11a에 나타내는 바와 같이, 개구(23)의 외주 중 영역(L1)은 홀더(10)의 원기둥보다 약간 큰 지름으로 하고, 또한 영역(L2, L3)은 홀더(10)의 원기둥과 동일 지름, 영역(L2, L3)의 사이의 영역(L4)은 홀더(10)의 원기둥보다 작은 지름으로 한다. 이렇게 하면 홀더(10)와 개구(23)와의 사이에 치수 상의 오차가 있어도, 적어도 도 중에서 2점(L4의 양단)에서 접하게 된다. 이는 실제로는 홀더(10)가 지면을 따라 수직인 2개의 선 상에서 개구(23)의 내벽과 접하게 되어, 지지를 확실하게 함과 함께, 교환을 용이하게 할 수 있다. 또한, 영역(L1과 L4)만으로 할 수도 있다. 만약 착탈의 용이함만을 고려한다고 할 경우, 도 11b에 나타내는 바와 같이 홀더의 외형보다 근소하게 큰 외형으로 해 두는 것만으로도 좋다.Next, the shape of the opening 23 and the diameter of the holder 10 are demonstrated. The diameter of the opening 23 is not the same as the outer diameter of the cylinder of the holder 10, it is made to enlarge slightly, and it is set as the shape which formed two equal diameter parts. That is, as shown to FIG. 11A, the area | region L1 of the outer periphery of the opening 23 is made into diameter slightly larger than the cylinder of the holder 10, and the area | regions L2 and L3 are the same diameter as the cylinder of the holder 10. FIG. The area L4 between the areas L2 and L3 is smaller in diameter than the cylinder of the holder 10. In this way, even if there is an error in the dimension between the holder 10 and the opening 23, at least two points (both ends of L4) in the figure come into contact with each other. This actually allows the holder 10 to come into contact with the inner wall of the opening 23 on two perpendicular lines along the ground, ensuring support and facilitating exchange. Further, only the regions L1 and L4 may be used. If only the easiness of detachment is considered, it may just be made into the external shape slightly larger than the external shape of a holder, as shown to FIG. 11B.

홀더 조인트(20)의 조립시에는, 도 12에 나타내는 바와 같이 미리 핀(25)을 한쪽의 패인 부분(22b)으로부터 관통구멍(22a)에 삽입한다. 이때 제1 평면부(25a)를 홀더 조인트의 개구(23)의 방향으로 약 45°정도로 지지하고, 또한 제2 평면부(25c)를 패인 부분(22d)에 대향시킨다. 그리고 강구(26)를 패인 부분(22d)과 절결(25b)로 형성되는 공간 내에 수납한다. 또한 핀(25)이 관통구멍(22a)으로부터 탈착하지 않도록, 한 쌍의 원판형의 덮개(27a, 27b)를 패인 부분(22b, 22c)에 씌워 접착한다. 이렇게 하면 강구(26)는, 핀(25)의 절결(25b)과 소경의 패인 부분(22d) 및 덮개(27a)로 형성되는 공간에 갇혀, 강구(26)가 이동하는 범위 내에서, 핀(25)을 일정 각도로 회전운동시킬 수 있다. 여기에서 강구(26)와 패인 부분(22d), 덮개(27a)는, 핀(25)의 회전운동 범위를 규제하는 규제 수단을 구성하고 있다. 핀(25)의 회전운동 각도의 범위 내에는, 제1 평면부(25a)와 홀더(10)의 부착부의 경사부(16a)가 평행해지는 각도를 포함하도록 해 둔다.When assembling the holder joint 20, as shown in FIG. 12, the pin 25 is previously inserted into the through-hole 22a from one recessed part 22b. At this time, the first planar portion 25a is supported at about 45 ° in the direction of the opening 23 of the holder joint, and the second planar portion 25c is opposed to the recessed portion 22d. And the steel ball 26 is accommodated in the space formed by the recessed part 22d and the notch 25b. In order to prevent the pin 25 from being detached from the through-hole 22a, a pair of disk-shaped covers 27a and 27b are covered with the recessed portions 22b and 22c and bonded together. In this way, the steel ball 26 is trapped in the space formed by the notch 25b of the pin 25, the recessed part 22d of the small diameter, and the cover 27a, and within the range which the steel ball 26 moves, the pin ( 25) can be rotated at an angle. The steel ball 26, the recessed part 22d, and the cover 27a comprise the regulation means which regulates the range of rotational motion of the pin 25 here. Within the range of the rotational movement angle of the pin 25, the angle between the inclination part 16a of the attachment part of the 1st planar part 25a and the holder 10 is made to include the parallel angle.

이와 같이 홀더 조인트(20)를 구성한 후, 전술한 홀더(10)를 홀더 조인트(20)에 부착한다. 부착시에는, 도 13a에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(20)의 개구(23)에 홀더(10)를 그 부착부(16)로부터 화살표로 나타내는 바와 같이 삽입한다. 삽입해 가면 부착부(16)의 경사부(16a)가 핀(25)의 평면부(25a)와 접하여, 도 13b에 나타내는 바와 같이 근소하게 핀(25)이 회전운동하기 때문에, 용이하게 평면부(25a)를 부착부(16)의 경사부(16a)에 면 접촉시킬 수 있어, 자석(24)에 의해 홀더(10)를 고정할 수 있다. 홀더(10)는 자석(24)에 의해 흡인되어 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다.After the holder joint 20 is configured in this manner, the holder 10 described above is attached to the holder joint 20. At the time of attachment, as shown by an arrow from the attachment part 16, the holder 10 is inserted in the opening 23 of the holder joint 20 as shown to FIG. 13A. Since the inclined portion 16a of the mask attachment portion 16 is inserted into contact with the flat portion 25a of the pin 25, the pin 25 rotates slightly as shown in Fig. 13B, so that the flat portion is easily 25a can be brought into surface contact with the inclined portion 16a of the attachment portion 16, and the holder 10 can be fixed by the magnet 24. Since the holder 10 is only sucked by the magnet 24, it is very easy to attach and is fixed to a predetermined position.

도 14는 스크라이브 헤드(112)의 사시도이다. 스크라이브 헤드(112)의 서보 모터(41)는, 회전축을 하측으로 돌출시킨 도립(倒立) 상태로 재치판(載置板; 42)을 통하여 부착판(43)에 부착되어 있다. 서보 모터(41)의 회전축에는, 원통캠(44)이 회전축과 일체적으로 회전하도록 부착되어 있다. 원통캠(44)의 하면은, 수평 상태에 대하여 경사 상태가 된 캠면(44a)으로 되어 있다.14 is a perspective view of the scribe head 112. The servo motor 41 of the scribe head 112 is attached to the attachment plate 43 via a mounting plate 42 in an inverted state in which the rotating shaft protrudes downward. The cylindrical cam 44 is attached to the rotating shaft of the servo motor 41 so that it may rotate integrally with the rotating shaft. The lower surface of the cylindrical cam 44 is a cam surface 44a inclined with respect to the horizontal state.

또한, 스크라이브 헤드(112)는, 하부에 리니어 베어링(45)을 갖고 있고, 이 리니어 베어링(45)에, 홀더 부재(46)가, 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 리니어 베어링(45)에는, 원통캠(44)의 캠면(44a)에 맞닿는 캠팔로워(cam follower; 47)가, 홀더 부재(46)와 일체적으로 형성되어 있다. 캠팔로워(47)는, 회전 가능해진 롤러 형상으로 되어 있다. 홀더 부재(46)와 부착판(43)과의 사이에는, 홀더 부재(46)를 부착판(43)에 대하여 상방을 향하여 탄성 지지하는 탄성체, 예를 들면 코일 스프링(48)이 형성되어 있다. 코일 스프링(48)은 홀더 부재(46)를 상방으로 탄성 지지함으로써, 캠팔로워(47)를 캠면(44a)에 압접하고 있다. 여기에서 서보 모터(41), 원통캠(44), 리니어 베어링(45), 홀더 부재(46), 캠팔로워(47), 코일 스프링(48)은 홀더 유닛(30)을 승강시키는 승강부를 구성하고 있다.Moreover, the scribe head 112 has the linear bearing 45 in the lower part, The holder member 46 is supported by this linear bearing 45 so that it can slide to an up-down direction. In the linear bearing 45, a cam follower 47 which abuts on the cam surface 44a of the cylindrical cam 44 is formed integrally with the holder member 46. As shown in FIG. The cam follower 47 is a roller shape which became rotatable. Between the holder member 46 and the attachment plate 43, an elastic body, for example, a coil spring 48, which elastically supports the holder member 46 upward with respect to the attachment plate 43 is formed. The coil spring 48 presses the cam follower 47 to the cam surface 44a by elastically supporting the holder member 46 upward. Here, the servo motor 41, the cylindrical cam 44, the linear bearing 45, the holder member 46, the cam follower 47, and the coil spring 48 constitute an elevating portion for elevating the holder unit 30. have.

이와 같이 구성된 스크라이브 장치(1)에 있어서, 승강부에 의해 스크라이빙 휠(14)을 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하여 전동해 가면, 스크라이브 라인을 형성한다. 본 실시 형태에서는, 전술한 홀더 조인트(20)의 핀(25)의 평면부(25a)가 홀더(10)의 경사부(16a)와 면으로 접하고 있기 때문에 지지 위치를 유지할 수 있어, 만곡한 스크라이브 라인을 형성해도 부착 위치가 움직이는 일은 없다.In the scribing apparatus 1 comprised in this way, when the scribing wheel 14 is pressed against the surface of a brittle material board | substrate by a suitable load by an elevating part, it drives and forms a scribe line. In this embodiment, since the flat part 25a of the pin 25 of the holder joint 20 mentioned above is in contact with the inclined part 16a of the holder 10, a support position can be maintained and a curved scribe Even if the line is formed, the attachment position does not move.

그리고 소정 시간 스크라이브한 후는, 홀더(10)를 교환할 필요가 있다. 이때 로봇 아암 등으로 홀더(10)를 도 13c에 나타내는 바와 같이 하향으로 인출한다. 이때 핀(25)은 회전운동이 자유롭기 때문에, 횡방향의 힘이 스크라이브시에 가해지고 있었다고 해도 용이하게 홀더(10)를 분리할 수 있다. 이 때문에 홀더(10)의 교환은 용이하며, 지장없이 자동공구교환기 등을 이용할 수 있다.After scribing for a predetermined time, the holder 10 needs to be replaced. At this time, the holder 10 is pulled out downward with a robot arm or the like as shown in Fig. 13C. At this time, since the pin 25 is free to rotate, even if a lateral force is applied at the time of scribing, the holder 10 can be easily removed. For this reason, the holder 10 can be replaced easily, and an automatic tool changer or the like can be used without any problems.

또한 본 실시 형태에서는, 핀(25)은 원기둥 형상으로 길이 방향으로 일부를 절결하여 평면부(25a)를 형성하고 있지만, 다각기둥, 예를 들면 사각기둥의 부재를 이용하여 구성할 수도 있다. 이 경우에는 적어도 양단부의 4모퉁이는 원형으로 가공하고, 관통구멍(22a) 내에서 회전운동이 자유롭게 해 둔다. 또한 양단부만을 원기둥형으로 하여 회전운동이 자유로워지도록 해도 좋다.In addition, in this embodiment, although the pin 25 cuts a part in the longitudinal direction in the column shape, and forms the flat part 25a, it can also be comprised using the member of a polygonal pillar, for example, a square pillar. In this case, at least four corners of both ends are processed into a circle, and the rotational movement is freed in the through hole 22a. In addition, only the both ends may be cylindrical so that the rotational movement is free.

본 실시 형태에서는 핀(25)에 제2 평면부(25c)를 형성하여, 강구(26)에 의해 핀의 회전운동 범위를 규제하도록 하고 있지만, 이는 일 예로서, 핀의 회전운동 범위를 규제할 수 있는 다른 방법을 이용해도 좋다. 예를 들면 핀(25)의 일단에 돌기를 형성하여, 이 돌기가 패인 부분(22d) 내에서 움직일 수 있는 범위를 핀(25)의 회전운동 범위로 하여 회전운동 범위를 규제하도록 해도 좋다.In the present embodiment, the second flat portion 25c is formed on the pin 25 so that the steel ball 26 regulates the range of rotation of the pin. However, this is an example. You can also use other methods. For example, a projection may be formed at one end of the pin 25 so that the range in which the projection can move within the recessed portion 22d is set as the rotation range of the pin 25 so as to regulate the rotation range.

또한 본 실시 형태에서는 핀(25)에 제2 평면부(25c)를 형성하고 있지만, 제1 평면부(25a)에 접하도록 강구(26)를 지지해 두도록 하면 회전운동 범위가 규제되기 때문에, 반드시 절결(26b)이나 평면부(25c)를 형성할 필요는 없다. 또한 본 실시 형태에서는 강구(26)를 이용하고 있지만, 임의의 재료의 구체를 이용해도 좋다.In addition, although the 2nd planar part 25c is formed in the pin 25 in this embodiment, when the steel ball 26 is supported so that it may contact the 1st planar part 25a, the range of rotational motion will be restricted. It is not necessary to form the notch 26b or the flat part 25c. In addition, although the steel ball 26 is used in this embodiment, you may use the sphere of arbitrary materials.

본 발명은 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 이용되어, 홀더의 교환을 용이하게 하는 홀더 조인트, 홀더 유닛에 관한 것으로, 홀더의 부착 위치를 안정화할 수 있고, 교환을 자동화할 수 있다. 따라서 스크라이브 장치에 널리 이용할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holder joint and a holder unit, which are used in a scribe device for forming a scribe line on a brittle material substrate, to facilitate replacement of a holder, which can stabilize the attachment position of the holder and automate the exchange. . Therefore, it can be widely used for a scribe device.

1 : 스크라이브 장치
10 : 홀더
11a, 11b, 16b : 평탄부
12 : 절결
13 : 핀홈
14 : 스크라이빙 휠
15 : 스크라이빙 휠용 핀
16 : 부착부
16a : 경사부
20 : 홀더 조인트
21a, 21b : 베어링
22 : 지지부
22a : 관통구멍
22b, 22c, 22d : 패인 부분
23 : 개구
24 : 자석
25 : 핀
25a, 25c : 평면부
25b : 절결
26 : 강구(steel ball)
112 : 스크라이브 헤드1: scribe device
10: holder
11a, 11b, 16b: flat part
12: notch
13: pin groove
14: scribing wheel
15: pin for scribing wheel
16: attachment part
16a: inclined portion
20 holder holder
21a, 21b: bearing
22: support
22a: through hole
22b, 22c, 22d: indented part
23: opening
24: magnet
25: pin
25a, 25c: flat part
25b: notch
26 steel ball
112: scribe head

Claims (3)

홀더 조인트와, 상기 홀더 조인트에 부착된 스크라이브 라인 형성용의 스크라이빙 휠을 구비한 홀더를 구비하는 홀더 유닛으로서,
상기 홀더 조인트는,
일단에 형성된 개구와,
상기 개구의 내측에 매설된 자석과,
상기 개구를 측방으로부터 관통하는 관통구멍과,
상기 관통구멍에 삽입되어 지지되는 핀을 갖는 것이며,
상기 홀더는,
자성체 금속으로 구성되고, 상기 홀더 조인트의 상기 핀에 접촉하는 경사부를 갖는 부착부와,
하단에 회전운동이 자유롭게 형성된 스크라이빙 휠을 갖고,
상기 홀더는, 상기 핀과 상기 홀더의 부착부의 경사부와의 접촉에 의해 위치 결정되어 상기 홀더 조인트에 부착되는 홀더 유닛으로서,
상기 홀더는 원기둥 형상 부재이며,
상기 홀더 조인트의 개구는, 상기 홀더의 원기둥의 외경보다 큰 원주 부분과, 원기둥의 외경보다 작은 원주 부분을 포함하는 것인 홀더 유닛.A holder unit having a holder joint and a holder having a scribing wheel for forming a scribe line attached to the holder joint,
The holder joint,
An opening formed at one end,
A magnet embedded inside the opening;
A through hole penetrating the opening from the side,
Having a pin inserted into and supported by the through hole,
Wherein the holder comprises:
An attachment portion made of a magnetic metal and having an inclined portion in contact with the pin of the holder joint;
At the bottom has a scribing wheel freely formed rotational movement,
The holder is a holder unit which is positioned by contact of the pin with the inclined portion of the attachment portion of the holder and is attached to the holder joint,
The holder is a cylindrical member,
The opening of the holder joint is a holder unit comprising a circumferential portion larger than the outer diameter of the cylinder of the holder and a circumferential portion smaller than the outer diameter of the cylinder. 스크라이브 장치에 이용되는 스크라이브 헤드로서,
제1항에 기재된 홀더 유닛을 상하운동이 자유롭게 지지하는 승강부를 갖는 스크라이브 헤드.As a scribe head used for a scribe device,
A scribe head having a lifting unit for supporting the holder unit according to claim 1 in a vertical movement. 취성 재료 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 장치로서,
제2항에 기재된 스크라이브 헤드와,
상기 스크라이브 헤드를 취성 재료 기판과 취성 재료 기판의 평면 방향에 있어서 상대적으로 이동하는 상대 이동부를 갖는 스크라이브 장치.A scribing apparatus used for scribing a brittle material substrate,
The scribe head according to claim 2,
A scribing apparatus having a relative moving portion that moves the scribe head relatively in the plane direction of the brittle material substrate and the brittle material substrate.
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