KR20110076545A - 이온 성분 분석장치 - Google Patents

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KR20110076545A
KR20110076545A KR1020090133288A KR20090133288A KR20110076545A KR 20110076545 A KR20110076545 A KR 20110076545A KR 1020090133288 A KR1020090133288 A KR 1020090133288A KR 20090133288 A KR20090133288 A KR 20090133288A KR 20110076545 A KR20110076545 A KR 20110076545A
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김영훈
황준용
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

본 발명은 성분 분석장치에 관한 것으로서, 시료가 놓여지는 챔버와, 상기 챔버에 수증기를 공급하는 증기 발생기, 상기 챔버 내의 시료에서 발생되는 아웃가스와 상기 챔버에 공급된 수증기가 유입되어 응축되는 냉각 응축기, 상기 냉각 응축기에서 응축된 응축액과 기체의 성분을 분리하기 위한 기액분리기 및 상기 응축액의 성분을 분석하기 위한 분석수단을 포함하여 이루어진다.
상기한 본 발명에 따른 성분 분석장치는 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 시료에 수증기를 공급하여 시료 표면에 존재하는 이온성 이물 또는 시료의 표면에서 발생되는 이온성 성분이 포집되어 아웃가스와 함께 이송되어 분석될 수 있도록 함으로써 기존 제한적으로 분석이 이루어져 왔던 이온성 성분을 효과적으로 분석할 수 있다는 이점이 있다.

Description

이온 성분 분석장치{Apparatus for component analyzing of the ion ingredients}
본 발명은 이온 성분 분석장치에 관한 것이다.
평판 또는 플렉서블 디스플레이의 제조 공정 중 불량 발생 원인을 찾는 것은 매우 중요하다. 많은 일련의 디스플레이 제조 과정 중 어떠한 부품이 불량의 원인인지를 파악하기 위해서는 각 부품에 대하여 전압 보전율 측정, 열 분석 및 아웃가스 분석 등 다양한 방법으로 검사를 시행한다. 그러나, 전압 보전율과 열 분석의 경우 원인 물질을 추정할 뿐 직접적인 단서를 얻기 힘들다.
불량의 원인을 파악하기 위한 방법으로서 아웃가스를 분석하기 위한 아웃가스 분석기가 알려져 있으며, 아웃가스 분석기를 활용하면 원인 물질까지 정성, 정량 분석이 가능하여 아웃가스에 의한 불량 원인을 정확하게 파악할 수 있다.
종래의 아웃가스 분석기의 경우 대부분 원통형 관에 시료를 넣고 이를 가열 장치에서 가열한 후, 여기서 발생한 아웃가스를 펌프로 흡착제가 충진된 흡착관에 수집한 뒤 이를 다시 가열하여 탈착된 아웃가스를 분석하였다. 그러나, 이와 같이 가열과 펌프에 의한 방식은 발생한 아웃가스를 포함한 이동기체의 유속 변화에 따른 아웃가스 발생오븐의 열 손실을 가져와 아웃가스 발생오븐의 온도 편차로 인하여 재현성 있는 결과를 얻기 힘들다는 문제점이 있다.
이에 본 출원인은 국내 공개 특허 2008-78168호의 "농축기가 구비된 아웃가스 분석장치"를 개시한 바 있으며, 상기한 분석장치를 통해서 농축기에서 아웃가스를 농축한 후 분석을 수행함으로써 미량의 아웃가스 성분에 대해서도 정성 및 정량의 재현성과 직진성이 모두 우수한 결과를 얻을 수 있도록 한 기술을 개시한 바 있다. 그러나, 상기한 분석장치는 시료의 표면 등에 존재하는 이온성 성분 또는 시료의 표면 등에서 발생되는 이온성 성분의 분석이 어렵다는 단점이 있다.
이에 본 발명은 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 부품 시료에서 발생하는 아웃가스뿐만 아니라 시료 표면에 존재하는 이온성 이물 또는 시료의 표면에서 발생되는 이온성 성분을 자동으로 분석할 수 있는 성분 분석장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
나아가, 본 발명은 이온성 성분과 아웃가스를 정확하고 재현성 있게 자동으로 분석하여, 평판디스플레이(FPD)에 사용되는 컬러필터, 확산판 등 여러 재료에서 발생하는 불량의 원인 파악과 신규 재료 선정에 있어서 신뢰성 있는 결과를 제공할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 시료가 놓여지는 챔버와; 상기 챔버에 수증기를 공급하는 증기 발생기와; 상기 챔버 내의 시료에서 발생되는 아웃가스와 상기 챔버에 공급된 수증기가 유입되어 응축되는 냉각 응축기; 상기 냉각 응축기에서 응축된 응축액과 기체의 성분을 분리하기 위한 기액분리기; 및 상기 응축액의 성분을 분석하기 위한 분석수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 성분 분석장치를 제공한다.
상기한 본 발명에 따른 성분 분석장치는 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 시료에 수증기를 공급하여 시료 표면에 존재하는 이온성 이물 또는 시료의 표면에서 발생되는 이온성 성분이 포집되어 아웃가스와 함께 이송되어 분석될 수 있도록 함으로써 기존 제한적으로 분석이 이루어져 왔던 이온성 성분을 효과적으로 분석할 수 있다는 이점이 있다.
특히, 본 발명에 따른 성분 분석장치는 물을 효과적으로 증발시키고 이를 응축시켜 성분을 분석함에 따라 외부 오염 없이 분석이 가능하며, 수증기의 공급량 조절을 통해 이온성분의 농축 비를 조절할 수 있어 미량의 이온 성분도 효과적으로 분석이 가능하다는 이점이 있다.
이하 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 성분 분석장치의 개략적인 모식도이고, 도 2는 본 발명에 따른 성분 분석장치에서 사용되는 증기 발생기의 일 예를 나타낸 도면이며, 도 3a 및 도 3b은 본 발명에 따른 성분 분석장치에서 사용되는 냉각 응축기의 일 예를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 성분 분석장치에서 사용되는 기액 분리기의 일 예를 나타낸 도면이다.
상기 도 1 내지 도 4에서 보는 바와 같이 본 발명에 따른 성분 분석장치(100)는 시료(121)가 놓여지는 챔버(120), 상기 챔버(120)에 수증기를 공급하는 증기 발생기(110), 상기 챔버(120) 내의 시료(121)에서 발생되는 아웃가스와 상기 챔버(120)에 공급된 수증기가 유입되어 응축되는 냉각 응축기(130), 상기 냉각 응축기(130)에서 응축된 응축액과 기체의 성분을 분리하기 위한 기액분리기(140) 및 상기 응축액의 성분을 분석하기 위한 분석수단(150)을 포함하여 이루어진다.
상기한 구성의 성분 분석장치(100)는 증기 발생기(110)에서 발생된 수증기가 상기 챔버(120)를 통과하여 냉각 응축기(130)로 이송된다. 이때 챔버(120) 내의 시료(121)에서 발생되는 아웃가스뿐만 아니라 시료(121)의 표면에 존재하는 이온성 성분 또는 시료(121)의 표면에서 발생하는 이온성 성분이 수증기에 포집되어 함께 냉각 응축기(130)로 이송된다. 상기 냉각 응축기(130)로 이송되는 수증기는 냉각되 어 응축되며, 응축된 응축액과 기체는 기액분리기(140)를 거치게 된다. 상기 기액분리기(140)에서 분리된 기체는 외부로 배출되거나 후처리 과정을 거치게 되고, 응축액은 분석수단(150)에 의해 성분분석이 이루어지게 된다.
각각의 구성요소 및 작용에 대하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
증기 발생기(110)는 수증기가 발생되어 챔버(120)로 이송되도록 하기 위하여 형성된다. 상기 증기 발생기(110)는 증기를 발생시켜 소정의 경로로 이동시킬 수 있도록 되어 있으면 그 구성에는 큰 제한이 없다.
바람직하게는 상기 증기 발생기(110)는 수증기가 이송되는 통로도 사용되는 내부관(111)과, 상기 내부관(111)의 외측에 형성된 것으로 물이 내부로 유입되는 유입관(1121)과 유입된 물이 배출되는 배출관(1122)이 구비된 외부관(112), 상기 외부관(112)의 외측에 구비된 가열수단(113) 및 상기 외부관(112)의 물이 가열되어 발생된 수증기가 상기 내부관(111)으로 유입되도록 상기 내부관(111)과 외부관(112)이 접하는 면에 형성된 다공성막(114)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기에서 물은 성분 분석의 정확도를 위하여 초순수를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 초순수의 흐름은 제한되지 않으나 분당 0.5~1ml이면 충분히 성분분석을 위한 농축액을 만들 수 있다.
상기 가열수단(113)은 증기 발생기(110)를 소정의 온도로 가열할 수 있는 수단이면 제한이 없으며, 일 예로 도면에 도시된 바와 같이 외관을 열선으로 감은 다음 전원공급기(도면에 도시하지 않음)를 통해 전류량을 조절하면 용이하게 온도조절을 할 수 있다.
상기 증기 발생기(110)는 온도조절을 통해 수증기 발생량을 조절할 수 있으므로 최종 농축액의 농도를 조절할 수 있으며, 따라서 본 발명에 따른 성분 분석장치(100)는 미량의 이온 성분을 포함하여 미량의 아웃가스 성분을 포함하는 경우라도 효과적으로 성분의 분석을 실시할 수 있다. 특히 수증기를 이용함으로써 이온성분을 효과적으로 분석할 수 있다는 장점이 있다.
상기한 물이 유입관(1121)을 통해 외부관(112)에 유입된 후 배출관(1122)을 통해 외부로 빠져 나가는 과정에서 가열수단(113)에 의해 물이 가열되면서 발생된 증기가 내부관(111)으로 유입된다.
상기 내부관(111)은 일측이 시료(121)가 놓여지는 챔버(120)와 연결되어 있으며, 타측은 공기의 유입을 위해 열린 상태로 있거나, 질소나 시판용 에어와 연결될 수도 있다. 이때, 상기 증기의 이송은 송풍기 또는 펌프에 의해 이루어질 수 있으며, 증기의 이송과정에서 상기 내부관(111)의 타측의 연결상태에 따라 대기중의 에어나 질소 또는 시판용 에어가 함께 이송될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 기액분리기(140)에는 기체의 배출을 위하여 에어펌프(P)가 연결되어 있으며, 상기 에어펌프(P)의 구동에 의해 증기 및 챔버(120) 내의 시료(121)에서 발생되는 아웃가스의 이송이 이루어진다. 기액분리기(140)에 에어 펌프(P)가 연결되는 경우 필요에 따라서 상기 내부관(111)의 타측은 내부에 소정의 진공압이 걸릴 수 있도록 막힐 수 있다. 이 경우 증기의 발생이 좀더 원활하게 이루어질 수도 있다.
상기 내부관(111)과 외부관(112)이 접하는 면에는 다공성막(114)이 형성된다. 상기 다공성막(114)은 상기 외부관(112)의 물이 가열되어 발생된 수증기가 상 기 내부관(111)으로 유입될 수 있도록 도와준다.
상기 증기 발생기(110)의 외부관(112)의 재질은 합성수지로 된 것을 적용하거나 유리 등을 적용할 수 있으며, 다공성막의 경우 PP, PE 등 다양한 재질을 적용할 수 있으나, 내화성이 우수한 테프론을 적용할 수 있다. 바람직하게 상기 다공성막(114)은 기공율이 70~90%인 테프론 재질의 다공성막을 적용하는 것이 좋다. 상기한 기공율을 갖는 테프론 재질의 다공성막으로는 PoreflonTM Tube(SUMITOMO ELECTRIC FINE POLYMER사) 등이 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
내부관(111)으로 유입된 수증기는 챔버(120)로 이송된다.
상기 챔버(120)에는 시료(121)가 놓여진다. 여기서 시료(121)는 반드시 제한되지는 않지만 디스플레이 시료일 수 있다. 상기 디스플레이 시료는 평판 디스플레이의 부품 제조공정에서 사용되는 시료이거나 플렉서블 디스플레이의 부품 제조공정에서 사용되는 시료일 수 있다. 상기한 디스플레이 종류에 따라 구분되는 부품 시료는 예시적인 것에 불과하고, 본 발명에서 사용되는 디스플레이 시료라 함은 모든 종류의 디스플레이 제조 공정 중에서 사용되는 다양한 종류의 부품을 의미하는 것이며, 이 기술분야에서 널리 알려진 모든 부품 시료를 포함한다. 일 예로 상기 시료(121)는 평판 디스플레이 제조 공정 중에 사용되는 컬러필터, 편광판 또는 확산판일 수 있다.
상기 챔버(120)에는 가열수단(122) 또는 램프가 구비되어 있어 시료(121)에 서 아웃가스가 발생되도록 할 수 있다. 즉, 상기 시료(121)에 빛이나 열을 소정의 수준으로 가하면 시료(121)에서는 휘발물질 또는 분해되는 성분이 발생하게 된다. 일 예로 상기 가열수단(122)은 챔버(120) 하측으로 열선을 이용한 저항 가열 방식을 적용할 수 있다. 바람직하게 상기 챔버(120)의 가열수단(122)은 본 출원인이 선출하여 공개한 바 있는 국내 공개 특허 2008-78168호에서 개시한 아웃가스 발생오븐 방식을 적용할 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
기존의 분석장치에서는 상기 시료(121)에서 발생되는 이온성 성분의 분석이 용이하지 않았다. 그러나 본 발명에서는 수증기가 상기 챔버(120)를 관통하는 과정에서 시료(121)의 표면에 존재하는 이온성 이물 또는 시료(121)의 표면에서 발생되는 이온성 성분이 수증기에 포집되어 이송됨에 따라 시료(121)에서 발생되는 아웃가스뿐만 아니라 이온성 성분의 분석이 가능하게 된다. 상기 챔버(120)를 관통한 수증기는 냉각 응축기(130)로 이송된다.
냉각 응축기(130)는 상기 챔버(120) 내의 시료(121)에서 발생되는 아웃가스와 상기 챔버(120)에 공급된 수증기가 유입되어 응축되는 곳으로서, 분석수단(150)에 의해 분석 가능한 형태가 된다.
상기 냉각 응축기(130)는 수증기의 응축이 가능한 것이라면 제한되지 않으며, 당해 분야에서 일반적으로 사용되는 것을 적용할 수 있다. 바람직하게 상기 냉각 응축기(130)는 일측에 상기 챔버(120)와 연결된 유입구(131)가 구비되고, 타측으로 기액분리기(140)와 연결되는 배출구(133)가 구비되며, 내부에 유로(132)가 형 성되고, 외측에는 열전소자(134) 및 냉각팬(135)이 구비된 것일 수 있다.
이때 상기 유로(132)는 좌우로 반복하여 굴곡지게 배열된 것이 바람직하다.
상기한 구성의 냉각 응축기(130)는 열전소자(134)에 의해 표면의 온도가 떨어지면, 유입구(131)를 통해 유입된 수증기 및 아웃가스가 내부의 유로(132)를 통과하는 과정에서 여러 번 충돌하면서 응축이 일어나 액화가 일어나게 된다. 액화된 농축액은 배출구(133)를 통해 기액분리기(140)로 이송된다.
기액분리기(140)는 상기 냉각 응축기(130)에서 액화가 일어나 농축액이 얻어지면 상기 농축액과 기체를 분리하기 위하여 형성된 것이다. 상기 기액분리기(140)는 액체를 분리할 수 있는 것이라면 그 구성에 제한되지 않으며, 당해 분야에서 일반적으로 사용되는 것을 적용할 수도 있다. 일예로 상기 기액분리기(140)는 도면에 도시된 바와 같이 상기 냉각 응축기(130)에서 응축된 응축액과 기체가 유입되는 유입라인(141)과, 측면으로 공기가 배출되는 배기관(142), 하측으로 분리된 응축액이 배출되는 배출라인(143)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기한 구성의 기액분리기(140)에서 분리된 기체는 외부로 배출되거나 후처리 과정을 거치게 되고, 응축액은 배출라인(143)을 통해 분석수단(150)으로 이동하여 성분분석이 이루어지게 된다.
상기 분석수단(150)은 응축액의 성분을 분석하기 위한 것으로서, 통상의 이온 성분의 분석이 가능한 이온 크로마토그래피(Ion Chromatography; IC), 유도결합 플라즈마(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 ICP-MS 또는 ICP-OES, 액체크로마토그래피(HPLC), LC-MS 등일 수 있다. 상기한 분석수단(150)은 따로 구비되어 있을 수도 있고, 상기 기액분리기(140)와 연동하여 사용할 수도 있다. 상기한 분석수단(150)들의 구성은 당해분야에서 일반적으로 알려진 것에 해당되므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에서는 도면에 도시하지는 않았지만 상기 분석수단(150)에 별도로 콘트롤부(Programmable Logic Controller:PLC)를 연결함으로써 상기 기액분리기(140)를 통과한 농축액을 분석수단(150)에 의해 자동으로 제어하여 측정하는 것도 가능하다. 즉, 상기 콘트롤부(Programmable Logic Controller:PLC)는 상기 농축기 기액분리기(140)를 통과한 농축액이 일정량 이상인 경우의 여부를 판단하여, 자동으로 분석이 이루어질 수 있도록 할 수 있다.
도 5는 도 1에 도시된 분석수단의 일 예를 나타낸 도면이고, 도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 6-포트 밸브의 동작관계를 나타낸 것이다.
상기 도 5, 도 6a 및 도 6b에서 보는 바와 같이 상기 분석수단(150)은 통상적으로 분석시료(본 발명에 따르면 농축액)에 포함된 성분을 분리하기 위한 분리컬럼(152)과, 상기 분리컬럼(152)에서 분리된 성분을 나타내는 표시부(155)를 포함하여 이루어진다.
이때, 본 발명에 따르면 농축액을 이용하여 보다 효과적으로 성분분석이 이 루어질 수 있도록 하기 위하여 6-포트 밸브(151)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 6-포트 밸브(151)는 기액분리기(140)에서 이송되는 농축액이 유입되는 제1포트와, 이동상이 유입되는 5포트와, 분석에 사용되지 않는 농축액을 배출하는 제2포트와, 분석에 사용될 농축액의 일정량 및/또는 이동상을 분리 컬럼으로 이송시키는 제4포트와, 제1포트로 유입된 농축액에서 분석에 사용되지 않는 농축액을 상기 제2포트로 이송시키기 위해 설치된 제3포트 및 제6포트를 포함하여 이루어진다.
상기 6-포트 밸브(151)는 농축액의 분석이 이루어지지 않을 경우 도 6a에 도시된 바와 같이 기액분리기(140)로부터 제1포트로 유입되는 농축액을 제2포트를 통해 배출시켜 폐액보관조(154)로 이송시킨다. 농축액의 이송은 펌프(P)에 의해 이루어질 수 있다.
그러나, 농축액을 분석에 사용하고자 하는 경우에는 도 6b에 도시된 바와 기액분리기(140)로부터 제1포트로 유입되는 농축액은 제4포트를 통해 분리컬럼(152)으로 이송된다.
상기 6-포트 밸브(151)의 방향전환은 중앙에 형성된 방향전환기에 의해 용이하게 이루어질 수 있다.
상기 제5포트에는 이동상 보관조(153)로부터 공급되는 이동상 유입된다. 상기 이동상은 통상의 분석수단(150)에서 사용되는 것을 적용하면 되고, 예를 들어 분석수단이 IC인 경우 이동상은 NaOH 용액 또는 Methanesulfonic acid 등이 사용될 수 있다. 이동상의 공급은 펌프(P)의 구동에 의해 이루어질 수 있다.
상기 제5포트에 유입되는 이동상은 제4포트를 통해 분리컬럼(152)으로 이송된다.
상기 분리컬럼(152)은 통상의 분석수단(150)에 포함되는 것으로서, 분석하고자 하는 분석시료에서 각 성분들의 질량, 극성 등의 특성에 의하여 각 성분들이 분리되도록 하는 역할을 한다. 분리컬럼(152)에서 분리된 성분들은 성분분석 데이터화가 이루어진 후 표시부에서 표시되며, 성분들 이외의 폐액들은 드로잉라인(156)을 통해 폐액보관조(154)로 이송된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상 의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 본 발명에 따른 성분 분석장치의 개략적인 모식도이다.
도 2는 본 발명에 따른 성분 분석장치에서 사용되는 증기 발생기의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 3a 및 도 3b은 본 발명에 따른 성분 분석장치에서 사용되는 냉각 응축기의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 성분 분석장치에서 사용되는 기액 분리기의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 분석수단의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 6-포트 밸브의 동작관계를 나타낸 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 성분 분석장치 110 : 증기 발생기
111 : 내부관 112 : 외부관
1121 : 유입관 1122 : 배출관
113 : 가열수단 114 : 다공성막
120 : 챔버 121 : 시료
122 : 가열수단 130 : 냉각 응축기
131 : 유입구 132 : 유로
133 : 배출구 134 : 열전소자
135 : 냉각팬 140 : 기액분리기
141 : 유입라인 142 : 배기관
143 : 배출라인 150 : 분석수단
151 : 6-포트 밸브 152 : 분리컬럼
153 : 이동상 보관조 154 : 폐액보관조
155 : 표시부 156 : 드로잉라인

Claims (8)

  1. 시료가 놓여지는 챔버;
    상기 챔버에 수증기를 공급하는 증기 발생기;
    상기 챔버 내의 시료에서 발생되는 아웃가스와 상기 챔버에 공급된 수증기가 유입되어 응축되는 냉각 응축기;
    상기 냉각 응축기에서 응축된 응축액과 기체의 성분을 분리하기 위한 기액분리기; 및
    상기 응축액의 성분을 분석하기 위한 분석수단을 포함하여 이루어 지는 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 증기 발생기는:
    수증기가 이송되는 통로도 사용되는 내부관과,
    상기 내부관의 외측에 형성된 것으로 물이 내부로 유입되는 유입관과 유입된 물이 배출되는 배출관이 구비된 외부관,
    상기 외부관의 외측에 구비된 가열수단 및
    상기 외부관의 물이 가열되어 발생된 수증기가 상기 내부관으로 유입되도록 상기 내부관과 외부관이 접하는 면에 형성된 다공성막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 다공성막은 기공율이 70~90%인 테프론 재질의 다공성막인 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 물은 초순수인 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 냉각 응축기는:
    일측에 상기 챔버와 연결된 유입구가 구비되고, 타측으로 기액분리기와 연결되는 배출구가 구비되며, 내부에는 유로가 형성되고, 외측에는 열전소자 및 냉각팬이 구비된 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 기액분리기는:
    상기 냉각 응축기에서 응축된 응축액과 기체가 유입되는 유입라인과, 측면으로 공기가 배출되는 배기관 및 하측으로 분리된 응축액이 배출되는 배출라인을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 분석수단은: 6-포트 밸브를 포함하여 이루어지며,
    상기 6-포트 밸브는:
    기액분리기에서 이송되는 농축액이 유입되는 제1포트와, 이동상이 유입되는 5포트와, 분석에 사용되지 않는 농축액을 배출하는 제2포트와, 분석에 사용될 농축액의 일정량 및 이동상을 선택적으로 분리 컬럼으로 이송시키는 제4포트와, 제1포트로 유입된 농축액에서 분석에 사용되지 않는 농축액을 상기 제2포트로 이송시키기 위해 설치된 제3포트 및 제6포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 분석수단은:
    이온 크로마토그래피(Ion Chromatography; IC), 유도결합플라즈마(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 ICP-MS 또는 ICP-OES, 액체크로마토그래피(HPLC) 및 LC-MS 에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 성분 분석장치.
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