KR20110043011A - 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서 - Google Patents

노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판상에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서나 기판상에 액정을 도포하는 액정도포장치 등에 구비되는 노즐을 자동으로 세정할 수 있는 노즐세정장치를 제시한다. 본 발명에 따른 노즐세정장치는 노즐을 세정하는 과정을 자동으로 수행할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
노즐, 세정, 세정액

Description

노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서 {APPARATUS FOR CLEANING NOZZLE AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}
본 발명은 노즐을 자동으로 세정하는 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비된 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 일 예로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부글라스기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부글라스기판과 대향되는 하부글라스기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성한 후 액정패널을 제조하게 된다.
이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판 위에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착된 헤드유닛과, 헤드유닛을 지지하는 헤드지지대를 포함하여 구성된다.
이러한 페이스트 디스펜서는 각각의 노즐과 기판 사이의 상대위치를 변화시켜가면서 노즐로부터 기판에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 각각의 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 상하 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서 노즐 및/또는 기판을 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 기판상에 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.
이와 같이 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 노즐의 토출구의 주변에 페이스트가 부착될 수 있는데, 노즐의 토 출구 주변에 페이스트가 부착되는 경우에는 노즐의 토출구가 폐색되어 페이스트의 토출이 원활하게 진행되지 않는 문제점이 발생될 수 있다. 따라서, 기판상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착되었는지를 확인하여 부착된 페이스트를 제거하는 작업이 요구된다.
그러나, 종래의 경우에는, 작업자가 육안으로 노즐을 확인하면서 페이스트가 노즐에 부착되었는지를 확인 한 후 노즐에 페이스트가 부착된 경우에는 작업자가 직접 수작업으로 노즐을 닦으면서 노즐에 부착된 페이스트를 제거하였으므로, 노즐을 세정하는 과정에 많은 시간이 소요되었고, 이에 따라, 공정의 효율이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 노즐의 세정을 자동으로 수행하도록 함으로써 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 노즐세정장치 및 노즐세정장치를 구비하는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 노즐세정장치는, 노즐과 접촉이 가능한 위치에 설치되는 세정부재와, 상기 세정부재를 회전시키는 회전유닛과, 상기 세정부재로 세정액을 공급하는 세정액공급유닛과, 상기 세정부재를 통과한 노즐을 향하여 가스를 분사하는 가스분사유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 노즐세정장치는, 상측으로 개방되는 개구를 가지고 내부에 세정액이 수용되며 노즐이 삽입되는 수용공간을 가지는 세정액수용부와, 상기 세정액수용부에 인접되게 설치되어 상기 세정액수용부에 수용된 세정액에 초음파진동을 발생시키는 초음파발생부로 구성되는 초음파세정유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 본 발명에 따른 노즐세정장치는 상기 노즐의 토출구를 촬상하는 촬상유닛을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 이러한 촬상유닛은 상기 촬상유닛은 상측으로 개방되는 개방부를 가지는 케이싱과, 상기 케이싱의 개방부에 구비되며 투명한 재질로 이루어지는 광투과부재와, 상기 케이싱의 내부에 설치되는 카메라와, 상기 카메라를 지지함과 아울러 상기 카메라를 상하방향, 좌우방향 및/ 또는 전후방향으로 이동시키는 지지부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 노즐세정장치에는 상기 노즐을 상기 노즐세정장치와 정렬시키도록 상기 노즐을 안내하는 안내유닛을 구비하는 것이 바람직하다. 이러한 안내유닛은, 상기 노즐에 인접되게 설치되는 위치인식카메라에 의하여 촬상되도록 상기 노즐세정장치에 형성되는 기준마크를 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 안내유닛은, 상기 노즐에 인접되게 설치되는 레이저변위센서의 발광부로부터 발광되는 레이저를 수광하는 수광센서를 포함하여 구성될 수 있다.
세정부재를 회전시키는 회전유닛은 구동모터와, 상기 구동모터와 연결되는 구동축과, 상기 구동축에 설치되는 제1마그네트와, 상기 구동축의 제1마그네트와 인접되게 배치되며 상기 제1마그네트가 회전할 때 생성되는 자력에 의하여 회전되는 제2마그네트와, 상기 제2마그네트가 설치되고 상기 세정부재와 연결되는 종동축을 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 상기 구동모터, 상기 구동축 및 상기 제1마그네트는 제1하우징 내에 배치될 수 있고, 상기 제2마그네트 및 상기 종동축은 상기 제1하우징으로부터 구획되는 제2하우징 내에 배치될 수 있다.
초음파세정유닛은, 상기 세정액수용부의 개구 측으로 가스를 분사시키는 가스공급부와, 상기 세정액수용부의 일측에 설치되어 상기 노즐의 상기 세정액수용부로의 삽입 여부를 감지하는 감지부와, 상기 세정액수용부에 수용된 세정액을 순환시키는 세정액순환부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착되는 헤드유닛과, 상기 헤드유닛이 이동이 가능하 게 설치되는 헤드지지대와, 상기 노즐의 접근이 가능한 위치에 배치되어 상기 노즐을 세정하는 노즐세정장치를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 상기 노즐세정장치는 세정액을 이용하여 상기 노즐을 세정하는 세정유닛과, 상기 노즐에 페이스트가 부착되었는지를 측정하기 위하여 상기 노즐을 촬상하는 촬상유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 세정유닛은, 서로 반대방향으로 회전하는 한 쌍의 세정부재를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 세정유닛은, 세정액에 초음파진동을 발생시키는 초음파발생기를 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 노즐세정장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서는, 노즐에 페이스트가 부착되었는지를 측정하고, 노즐을 세정하고, 노즐로부터 페이스트가 완전히 제거되었는지를 검사하는 과정이 자동으로 수행할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐세정장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지의 양측에 설치되고 Y축방향으로 연장되는 한 쌍의 지지대이동 가이드(30)와, 한 쌍의 지지대이동가이드(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 헤드지지대(40)와, 헤드지지대(40)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되고 페이스트가 토출되는 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 장착되는 헤드유닛(50)과, 노즐(53)을 세정하는 노즐세정장치(60)와, 페이스트의 도포동작 및 노즐세정장치(60)의 동작을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
프레임(10)상에는, 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축이동장치(21)가 설치될 수 있으며, 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축이동장치(22)가 설치될 수 있다. 즉, 프레임(10)상에는 Y축이동장치(22)의 Y축가이드(221)가 설치되며, Y축가이드(221)의 상부에는 X축이동장치(21)의 X축가이드(211)가 설치되고, X축가이드(211)의 상부에는 스테이지(20)가 안착될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 스테이지(20)는 X축가이드(211)에 안내되어 X축방향으로 이동될 수 있으며 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)에 안내되어 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다. 한편, 본 발명은 Y축가이드(221)가 프레임(10)의 상부에 설치되고 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)의 상부에 안착되는 구성에 한정되지 아니하며, 프레임(10)의 상부에 X축가이드(211)가 설치되고 X축가이드(211)의 상부에 Y축가이드(221)가 안착되는 구성이 적용될 수 있다. 물론, X축이동장치(21) 및 X축가이드(211)와, Y축이동장치(22) 및 Y축가이드(221) 중 어느 한 쪽만이 적용되어, 스테이지를 X축방향 및 Y축방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.
헤드지지대(40)의 양단에는 지지대이동가이드(30)와 연결되는 지지대이동장치(41)가 설치될 수 있다. 지지대이동가이드(30)와 지지대이동장치(41)의 상호작용에 의하여 헤드지지대(40)가 지지대이동가이드(30)의 길이방향, 즉, Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 헤드유닛(50)은 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다.
헤드지지대(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드이동가이드(42)가 설치될 수 있고, 헤드유닛(50)에는 헤드지지대(40)의 헤드이동가이드(42)와 연결되는 헤드이동장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드이동가이드(42)와 헤드이동장치(51)의 상호작용에 의하여 헤드유닛(50)이 헤드지지대(40)의 길이방향, 즉, X축방향으로 이동될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(50)은, 페이스트가 충전되는 시린지(52)와, 시린지(52)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(53)과, 노즐(53)에 인접되게 배치되어 노즐(53)과 기판(S) 사이의 갭데이터를 측정하는 레이저변위센서(54)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동부(55)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(56)를 포함하여 구성될 수 있다.
레이저변위센서(54)는 레이저를 발광하는 발광부(541)와, 발광부(541)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(S)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(542)로 구성되며, 발광부(541)에서 발광되어 기판(S)에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어부로 출력하여 기판(S)과 노즐(53) 사이의 갭데이터를 계측하는 역할 을 수행한다.
또한, 헤드유닛(50)에는 기판(S)에 도포된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(57)는 기판(S)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적에 대한 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 판단하는 데에 이용될 수 있다.
또한, 헤드유닛(50)에는 노즐(53)과 인접한 부위에 위치인식카메라(58)가 설치될 수 있다. 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동 및 헤드유닛(50)의 X축방향으로의 이동에 의하여 노즐(53)이 이동할 때, 이러한 위치인식카메라(58)는 노즐(53)의 현재의 위치를 측정하는 데에 이용될 수 있다.
한편, 헤드유닛(50)에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)에 연결되어 노즐(53)과 레이저변위센서(54)의 X축방향, Y축방향 및 Z축방향 중 적어도 하나의 방향으로의 상대위치를 조절할 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 노즐(53)의 토출구(531)의 설치위치 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치를 자동으로 변경할 수 있다.
노즐세정장치(60)는 페이스트 디스펜서에 탈착이 가능하게 설치될 수 있다. 노즐세정장치(60)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 스테이지(60)상에 설치될 수 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 스테이지(20)를 이동시키는 X축이동장치(21)상에 설치될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 프레임(10) 상에 설치될 수 있다. 이와 같이, 노즐세정장치(60)의 페이스트 디스펜서로의 설치위치와 관련하여, 헤드유닛(50)의 X축 또는 Y축방향으로의 이동 또는 스테이지(20)의 X축 또는 Y축방향으로의 이동에 의하여, 헤드유닛(50)이 노즐세정장치(60)로 접근할 수 있는 범위 내라면, 노즐세정장치(60)의 페이스트 디스펜서로의 설치위치는 한정되지 않는다. 물론, 노즐세정장치(60)에 별도의 이동기구를 설치하고, 노즐세정장치(60)가 헤드유닛(50)에 접근하도록 이동되는 구성이 적용될 수 있다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 노즐세정장치(60)는, 노즐(53)과 접촉이 가능한 위치에 설치되는 한 쌍의 세정부재(61)와, 세정부재(61)를 회전시키는 회전유닛(62)과, 세정부재(61)로 세정액을 공급하는 세정액공급유닛(63)과, 세정부재(61)를 통과한 노즐(53)을 향하여 가스를 분사하는 가스분사유닛(64)과, 노즐(53)을 촬상하는 촬상유닛(65)과, 노즐(53)과 세정부재(61)와의 정렬을 위하여 노즐(53)을 세정부재(61)로 안내하는 안내유닛(66)과, 세정부재(61)의 일측에 설치되어 세정부재(61)에 부착된 페이스트를 제거하는 페이스트제거부재(67)를 포함하여 구성될 수 있다.
한 쌍의 세정부재(61)는 원통형의 스폰지 또는 원통형상을 이루도록 형성된 브러시로 구성될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 한 쌍의 세정부재(61)가 각각의 Z축을 중심으로 회전하는 구성에 대하여 설명하고 있으나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 하나의 세정부재(61)만이 구비되거나, 세정부재(61)가 X축 또는 Y축을 중심으로 회전하는 구성이 적용될 수 있다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 회전유닛(62)은, 하우징(100)의 내부에 수용되는 구동모터(621)와, 구동모터(621)와 연결되어 회전하는 구동축(622)과, 구동축(622)과 연결되며 한 쌍의 세정부재(61) 중 하나의 세정부재(61a)의 회전중심축이 되는 종동축(623)과, 종동축(623)과 연결되어 종동축(623)의 회전방향과 반대방향으로 회전되며 한 쌍의 세정부재(61) 중 다른 하나의 세정부재(61b)의 회전중심축이 되는 연결축(624)을 포함하여 구성될 수 있다.
구동축(622)과 종동축(623)은 기어와 같은 동력전달기구를 통하여 연결될 수 있으나, 복수의 마그네트(622a)(623a)에 의하여 연결되는 것이 바람직하다. 즉, 구동축(622)의 단부에는 제1마그네트(622a)가 설치될 수 있고, 구동축(622)에 대향하는 종동축(623)의 단부, 즉, 제1마그네트(622a)와 인접되는 위치에는 제2마그네트(623a)가 설치될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 구동축(622)에 설치된 제1마그네트(622a)가 회전되는 경우, 제1마그네트(622a)와 제2마그네트(623a) 사이에서 생성되는 자력에 의하여 제2마그네트(623a)가 회전될 수 있고, 제2마그네트(623a)의 회전에 의하여 종동축(623)이 회전될 수 있다. 이와 같이, 구동축(622)과 종동축(623)은 직접 기구적으로 연결되지 않으므로, 구동축(622)이 배치되는 공간과 종동축(623)이 배치되는 공간이 구획될 수 있다. 즉, 하우징(100)은 구획벽(103)에 의하여 제1하우징(101)과 제2하우징(102)으로 구획될 수 있고, 제1하우징(101) 내에는 구동모터(621) 및 구동축(622)이 배치될 수 있고, 제2하우징(102) 내에는 종동축(623)이 배치될 수 있다. 따라서, 세정부재(61)에 의하여 제거된 페이스트나 세정액이 제1하우징(101)의 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으므로, 구동모터(621)를 세정액이나 세정액에 포함된 페이스트로부터 보호할 수 있다.
또한, 종동축(623)과 연결축(624)도 기어와 같은 동력전달기구를 통하여 기구적으로 직접 연결될 수 있으나, 구동축(622)과 종동축(623)의 연결과 같이 마그네트를 통하여 연결될 수 있다. 즉, 종동축(623)에는 제3마그네트(623b)가 설치될 수 있으며, 연결축(624)에는 제4마그네트(624b)가 설치될 수 있고, 제3마그네트(623b)와 제4마그네트(624b)의 자력에 의하여 종동축(623)의 회전력이 연결축(624)으로 전달될 수 있다. 이러한 구성은 종동축(623)과 연결축(624) 사이에 페이스트나 세정액이 존재하는 경우에도 회전력을 원활하게 전달할 수 있다.
한편, 제2하우징(102)에는 드레인홀(102a)(102b)이 형성될 수 있는데, 이 드레인홀(102a)(102b)을 통하여 제2하우징(102)내의 세정액 및 세정액에 포함된 페이스트를 배출시킬 수 있다.
세정액공급유닛(63)은, 노즐세정장치(60)에 인접하게 설치되는 세정액공급원(631)과, 세정부재(61)를 향하여 설치되는 세정액노즐(632)과, 세정액공급원(631)과 세정액노즐(632)을 연결하는 세정액유로(633)를 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 세정부재(61)의 회전과 함께 세정액공급원(631)이 동작하여 세정액노즐(632)로부터 세정액이 세정부재(61)로 공급될 수 있다. 세정액은 페이스트를 용해할 수 있는 성분으로, 예를 들면, 아세톤이 될 수 있다.
가스분사유닛(64)은, 노즐세정장치(60)에 인접하게 설치되는 가스공급원(641)과, 세정부재(61)와 인접한 위치를 향하여 설치되는 가스분사노즐(642)과, 가스공급원(641)과 가스분사노즐(642)을 연결하는 가스유로(643)를 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 노즐(53)이 세정부재(61)를 통과한 경우, 가스공급원(641)이 동작하여 가스분사노즐(642)로부터 가스가 노즐(53)을 향하여 분사되며, 이에 따라, 노즐(53)에 부착될 수 있는 세정액이 건조될 수 있으며, 노즐(53)에 부착될 수 있는 미세한 크기의 페이스트가 노즐(53)로부터 제거될 수 있다.
촬상유닛(65)은, 하우징(100)에 인접하게 배치되고 상측을 향하여 개방되는 개방부(651)를 가지는 케이싱(652)과, 케이싱(652)의 개방부(651)에 구비되며 투명한 재질로 이루어지는 광투과부재(653)와, 케이싱(652)의 내부에 설치되는 카메라(654)와, 카메라(654)를 지지하는 지지부(655)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한, 촬상유닛(65)은 노즐(53)이 글라스(653)의 상측에 위치된 경우 노즐(53)의 토출구를 촬상하여 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지를 측정하는 경우에 사용될 수 있다. 이러한 촬상유닛(65)은 노즐(53)의 세정 전에 노즐(53)의 세정이 필요한지 여부를 측정할 때 이용될 수 있으며, 노즐(53)의 세정 후에 노즐(53)이 제대로 세정되었는지 여부를 측정할 때 이용될 수 있다. 한편, 카메라(654)를 지지하는 지지부(655)는 상하방향, 좌우방향 및/또는 전후방향으로 직선이동이 가능한 구조로 설치될 수 있으며, 이러한 지지부(655)의 이동에 의하여 카메라(654)가 상하방향, 좌우방향 및/또는 전후방향으로 직선 이동될 수 있다. 이러한 지지부(655)에 의하여 노즐(53)과 카메라(654)를 서로 정렬시킬 수 있다.
안내유닛(66)은, 세정부재(61) 및/또는 촬상유닛(65)과 인접하는 부분에 설치되는 수광센서(661)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한, 수광센서(661)는 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광하는 레이저를 수광하여 미리 설정된 노 즐(53)과 레이저변위센서(54) 사이의 간격을 근거로 하여 노즐(53)이 한 쌍의 세정부재(61)의 사이에 정확히 위치되도록 노즐(53)을 안내하는 역할을 수행한다.
또한, 안내유닛(66)은 세정부재(61) 또는 촬상유닛(65)과 인접하는 부분에 형성되는 기준마크(662)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한, 기준마크(662)는 헤드유닛(50)에 장착된 위치인식카메라(58)로 촬상될 수 있으며, 제어부는 위치인식카메라(58)에 의하여 촬상된 이미지 및 미리 설정된 노즐(53)과 위치인식카메라(58) 사이의 간격을 근거로 하여 노즐(53)이 한 쌍의 세정부재(61)의 사이에 정확하게 위치될 수 있도록 노즐(53)을 안내하는 역할을 수행한다.
여기에서, 안내유닛(66)은 수광센서(661) 또는 기준마크(662) 중 적어도 어느 하나를 포함하도록 구성될 수 있다. 이와 같은 안내유닛(66)은 노즐(53)이 다른 구성부품에 충돌되지 않고 한 쌍의 세정부재(61) 사이로 정확하게 이동될 수 있도록 노즐(53)과 세정부재(61)를 정렬시키는 역할을 수행한다.
페이스트제거부재(67)는 세정부재(61)의 일측에 설치되고, 그 일단이 세정부재(61)와 접촉되는 판형상으로 형성된다. 페이스트제거부재(67)는 노즐(53)로부터 제거되어 세정부재(61)에 부착된 페이스트를 세정부재(61)로부터 제거하는 역할을 수행한다.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐세정장치(60)의 동작에 대하여 설명한다.
페이스트를 기판(S)상에 도포하는 과정에서 노즐(53)의 토출구 및 그 주변에는 페이스트가 부착될 수 있는데, 이를 제거하기 위하여 제어부는 일정한 주기마다 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지 여부를 측정하고, 노즐(53)에 페이스트가 부착된 경우 노즐세정장치(60)를 이용하여 노즐(53)을 세정하도록 제어한다. 여기에서, 노즐(53)을 세정하기 전에 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지 여부를 미리 측정할 수 있으나, 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지 여부를 미리 측정하는 과정을 거치지 않고, 일정한 주기마다 노즐(53)을 노즐세정장치(60)로 이동시켜 곧바로 노즐(53)을 세정하는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 이와 같은 노즐(53)의 세정동작은 예를 들면, 기판(S)이 페이스트 디스펜서로 반입되기 전이나 반입된 후와 같이 일정한 시점에서 수행될 수 있으며, 페이스트 디스펜서로 반입된 기판(S)상에 페이스트를 도포하는 과정 중에 수시로 수행될 수 있다.
먼저, 노즐세정장치(60)를 이용하여 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지를 측정하는 과정에 대하여 설명하면 다음과 같다.
노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지를 측정하기 위하여 제어부는 헤드유닛(50)과 노즐세정장치(60) 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 노즐(53)이 노즐세정장치(60)의 촬상유닛(65)에 인접하도록 위치시킨다. 이때, 헤드유닛(50)의 이동을 위하여 지지대이동장치(41) 및 헤드이동장치(51)가 작동될 수 있으며, 노즐세정장치(60)가 스테이지(20) 또는 X축이동장치(21)에 설치된 경우에는 노즐세정장치(60)의 이동을 위하여 X축이동장치(21) 또는 Y축이동장치(22)가 작동될 수 있다.
그리고, 노즐(53)과 촬상장치(65)의 카메라(654)를 서로 정렬하는 동작이 수행된다.
이때, 안내유닛(66)으로 노즐세정장치(60)에 수광센서(661)가 구비되는 경우 에는, 헤드유닛(50)에 장착된 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광되는 레이저가 노즐세정장치(60)에 구비된 수광센서(661)에 수광되는 위치를 감지하고, 수광센서(661)에 감지된 수광위치와 미리 설정된 레이저변위센서(54)의 발광부(541)와 노즐(53) 사이의 거리를 근거로 하여 노즐(53)이 카메라(654)와 정렬되는 위치로 이동되었는지를 측정하고, 노즐(53)이 카메라(654)와 정렬되는 위치로 이동되지 않은 경우에는, 헤드유닛(50)을 이동시켜 노즐(53)과 레이저변위센서(54)의 위치를 조절하는 과정을 통하여, 노즐(53)과 카메라(654)를 서로 정렬시킬 수 있다.
또한, 안내유닛(66)으로 노즐세정장치(60)에 기준마크(662)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 위치인식카메라(58)로 기준마크(662)를 촬상하여 촬상된 기준마크(662)의 중심이 위치인식카메라(58)의 촬상중심과 일치하는지를 측정하고, 촬상된 기준마크(662)의 중심이 촬상중심과 일치하지 않은 경우에는, 헤드유닛(50)을 이동시켜 촬상된 기준마크(662)의 중심이 촬상중심과 일치되도록 하는 과정을 통하여 노즐(53)과 카메라(654)를 서로 정렬시킬 수 있다.
이러한, 노즐(53)과 카메라(654)를 서로 정렬시키는 과정에서, 노즐(53)과 카메라(654)의 미세한 정렬을 위하여 카메라(654)를 지지하는 지지부(655)가 작동하여 카메라(654)가 상하방향, 좌우방향 및/또는 전후방향으로 이동될 수 있다.
또한, 이러한 노즐(53)과 카메라(654)가 서로 정렬되는 과정에서, 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)가 동작하여 노즐(53)이 상하방향으로 변위될 수 있다.
이상과 같은 과정을 통하여 노즐(53)과 카메라(654)가 서로 정렬된 경우에는, 카메라(654)가 노즐(53)의 토출구를 촬상하며, 제어부는 촬상된 이미지를 통하 여 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지 여부를 측정하게 된다.
그리고, 위와 같은 과정을 통하여 제어부가 노즐(53)에 페이스트가 부착되었음을 측정한 경우나, 페이스트를 도포하는 과정 중 소정의 시점에서 노즐(53)을 세정하는 동작을 수행하게 되는데 이를 설명하면 다음과 같다.
노즐(53)의 세정을 위하여, 먼저, 노즐(53)이 노즐세정장치(60)의 세정부재(61)와 정렬되는 위치로 이동된다.
이때, 안내유닛(66)으로 노즐세정장치(60)에 수광센서(661)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광되는 레이저가 노즐세정장치(60)에 구비된 수광센서(661)에 수광되는 위치를 감지하고, 이로부터 노즐(53)이 세정부재(61)와 정렬되는 위치로 이동되었는지를 측정하면서, 헤드유닛(50)을 이동시켜 노즐(53)을 세정부재(61)와 정렬되는 위치로 이동시킬 수 있다.
또한, 안내유닛(66)으로 노즐세정장치(60)에 기준마크(662)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 위치인식카메라(58)로 기준마크(662)를 촬상하여 촬상된 기준마크(662)의 중심이 위치인식카메라(58)의 촬상중심과 일치하는지를 측정하면서, 기준마크(662)의 중심이 촬상중심과 일치되도록 헤드유닛(50)을 이동시키는 과정을 통하여 노즐(53)을 세정부재(61)와 정렬되는 위치로 이동시킬 수 있다.
또한, 노즐(53)을 세정부재(61)와 정렬되는 위치로 이동시키는 과정에서, 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)가 동작하여 노즐(53)이 상하방향으로 변위될 수 있다.
이상과 같은 과정을 통하여 노즐(53)이 세정부재(61)와 정렬되는 위치로 이 동한 경우에는, 회전유닛(62)이 동작하면서 한 쌍의 세정부재(61)가 서로 반대방향으로 회전하고, 이와 동시에 또는 순차적으로 세정액공급유닛(63)에 의하여 세정액에 세정부재(61)로 공급된다.
그리고, 헤드유닛(50)이 이동되는 것에 의하여 노즐(53)이 한 쌍의 세정부재(61)를 통과하면서 노즐(53)에 부착된 페이스트는 세정액의 화학적 특성과 세정부재(61)의 회전에 의한 물리적 동작에 의하여 노즐(53)로부터 제거된다. 이때, 노즐(53)은 한 쌍의 세정부재(61) 사이를 반복적으로 통과할 수 있다.
그리고, 노즐(53)이 한 쌍의 세정부재(61) 사이를 통과하면, 가스분사유닛(64)의 가스분사노즐(642)로부터 가스가 노즐(53)을 향하여 분사되고, 이에 따라, 노즐(53)에 부착될 수 있는 세정액이 건조될 수 있고, 노즐(53)에 부착될 수 있는 미세한 크기의 페이스트가 노즐(53)로부터 제거될 수 있다.
이상과 같이, 노즐(53)이 세정부재(61) 및 가스분사노즐(642)을 통과하는 과정이 완료되면, 헤드유닛(50)이 이동하여 노즐(53)이 기판(S)상에 페이스트를 도포하기 전의 도포대기위치로 복귀될 수 있다. 또한, 노즐(53)이 도포대기위치로 복귀되기 전에 노즐(53)에 부착된 페이스트가 완전히 제거되었는지를 측정하는 과정이 수행될 수 있다.
노즐(53)에 부착된 페이스트가 완전히 제거되었는지를 측정하기 위하여, 노즐(53)이 촬상장치(65)의 카메라(654)와 정렬되는 위치로 이동된다. 노즐(53)과 카메라(654)의 정렬을 위하여 상술한 바와 같은 과정이 진행될 수 있다.
이와 같이, 노즐(53)과 카메라(654)가 서로 정렬되면, 제어부는 노즐(53)를 촬상하며, 촬상된 이미지를 분석하여 노즐(53)에 페이스트가 존재하지 않는 경우에는 헤드유닛(50)을 이동시켜 노즐(53)을 도포대기위치로 복귀시킨다.
그러나, 촬상된 이미지로부터 측정된 노즐(53)에 페이스트가 존재하는 경우에는 노즐(53)을 세정부재(61)로 이동시켜 노즐(53)을 다시 세정하는 과정을 진행하고 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지를 다시 측정하는 과정이 반복적으로 수행될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐세정장치(60) 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서는 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지를 측정하고, 노즐(53)을 세정하고, 노즐(53)로부터 페이스트가 완전히 제거되었는지를 검사하는 과정이 자동으로 수행될 수 있다. 따라서, 작업자가 노즐(53)을 확인하여 수작업으로 노즐(53)을 세정하는 종래의 경우에 비하여 공정의 효율성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
이하, 도 8 및 도 9를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐세정장치(60)에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 일실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐세정장치는, 전술한 본 발명의 일실시예에서의 노즐세정장치(60)에서 세정부재(61) 및 세정부재(61)를 생략하고, 초음파세정유닛(70)이 구비될 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 초음파세정유닛(70)은, 상측으로 개방되는 개구(711)를 가지고 내부에 노즐(53)이 삽입되며 세정액을 수용하는 수용공간(712)을 가지는 세정액수용부(71)와, 세정액수용부(71)의 주변에 설치되어 세정액수용부(71)에 수용된 세정액에 초음파진동을 발생시키는 초음파발생부(72)와, 세정액수용부(71)에 수용되는 세정액을 순환시키는 세정액순환부(73)와, 세정액수용부(71)의 개구(711) 측으로 가스를 분사시키는 가스공급부(74)와, 세정액수용부(71)의 개구(711)측에 구비되어 노즐(53)의 수용공간(712)으로의 삽입 여부를 감지하는 감지부(75)를 포함하여 구성될 수 있다.
세정액수용부(71)의 수용공간(712)의 내부에는 소정 수위의 세정액이 수용되고, 초음파발생부(72)의 동작에 의하여 수용공간(712)에 수용된 세정액은 초음파에 의하여 진동될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여 노즐(53)이 세정액수용부(71)의 수용공간(712)에 삽입되면 세정액 및 세정액의 초음파진동에 의하여 노즐(53)에 부착된 페이스트가 노즐(53)로부터 제거될 수 있다.
세정액순환부(73)는 세정액을 공급하는 세정액공급기(731)와, 세정액공급기(731)와 세정액수용부(71) 사이에 연결되어 세정액이 세정액수용부(71)로 공급되는 세정액공급유로(732)와, 세정액공급기(731)와 세정액수용부(71) 사이에 연결되어 세정액이 세정액수용부(71)로부터 배출되는 세정액배출유로(733)와, 세정액배출유로(733)와 세정액공급기(731) 사이에 구비되어 세정액수용부(71)로부터 배출되는 세정액에 포함된 페이스트를 필터링하는 필터(734)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 세정액순환부(73)에 의하여 세정액수용부(71)내에 세정액이 소정의 수위를 유지되도록 수용될 수 있다. 또한, 노즐(53)로부터 제거된 페이스트는 세정액과 함께 세정액배출유로(733)를 통하여 세정액수용부(71)로부터 제거될 수 있으며, 세정액 에 포함된 페이스트는 필터(734)에 의하여 필터링되어 제거될 수 있다.
가스공급부(74)는 가스를 공급하는 가스공급기(741)와, 세정액수용부(71)의 개구(711)측에 설치되는 가스공급노즐(742)과, 가스공급기(741)와 가스공급노즐(742)을 연결하는 가스공급유로(743)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한, 구성에 의하여, 노즐(53)이 세정액수용부(71)의 수용공간(712)에 삽입되어 세정액 및 세정액의 초음파진동에 의하여 노즐(53)에 부착된 페이스트가 제거된 후 노즐(53)이 세정액수용부(71)로부터 이탈되는 경우, 가스공급부(74)는 가스공급노즐(742)을 통하여 노즐(53)에 가스를 분사시킨다. 따라서, 노즐(53)의 세정 후에 노즐(53)에 부착될 수 있는 세정액이 건조될 수 있으며, 노즐(53)에 부착될 수 있는 미세한 크기의 페이스트가 노즐(53)로부터 제거될 수 있다.
감지부(75)는 세정액수용부(71)의 개구(711)측에서 서로 대향되도록 설치되는 발광부(751)와 수광부(752)를 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 발광부(751)에서 발광되는 광이 수광부(752)에 수광되는지 여부를 감지하여 노즐(53)이 세정액수용부(71)의 수용공간(711) 내에 삽입되는지 여부를 감지할 수 있다. 제어부는 감지부(75)가 노즐(53)이 세정액수용부(71)의 수용공간(711) 내에 삽입된 것을 감지한 경우에만 초음파발생부(72), 세정액순환부(73) 및 가스공급부(74)가 동작되도록 할 수 있다. 따라서, 노즐(53)이 세정액수용부(71)의 수용공간(711) 내에 삽입되지 않은 상태에서 초음파발생부(72), 세정액순환부(73) 및 가스공급부(74)가 불필요하게 동작하는 것을 방지할 수 있다. 한편, 본 발명은 감지부(75)가 세정액수용부(71)의 개구(711)측에 설치되는 것에 한정되지 아니하며, 감 지부(75)는 세정액수용부(71)의 내부 또는 외부의 소정의 위치에 설치될 수 있다.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐세정장치(60)의 동작에 대하여 설명한다.
페이스트를 기판(S)상에 도포하는 과정에서, 기판(S)이 페이스트 디스펜서로 반입되기 전이나 반입된 후의 소정의 시점이나 수시로 노즐(53)에 부착된 페이스트를 제거하기 위한 세정과정을 수행하게 된다. 이때, 전술한 바와 같이, 노즐(53)을 세정하기 전에 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지 여부를 미리 측정하여 노즐(53)에 페이스트가 부착된 경우에 노즐(53)을 세정하는 과정을 수행하도록 할 수 있다. 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지 여부를 측정하는 방법은 전술한 본 발명의 일실시예에서 제시한 방법과 동일한 방법을 적용할 수 있다.
노즐(53)을 세정하기 위해서는, 먼저, 노즐(53)이 노즐세정장치(60)의 초음파세정유닛(70)의 세정액수용부(71)와 정렬되는 위치로 이동된다.
이때, 안내유닛(66)으로 노즐세정장치(60)에 수광센서(661)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광되는 레이저가 노즐세정장치(60)에 구비된 수광센서(661)에 수광되는 위치를 감지하고, 이로부터 노즐(53)이 세정액수용부(71)와 정렬되는 위치로 이동되었는지를 측정하면서, 헤드유닛(50)을 이동시켜 노즐(53)을 세정액수용부(71)와 정렬되는 위치로 이동시킬 수 있다.
또한, 안내유닛(66)으로 노즐세정장치(60)에 기준마크(662)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 위치인식카메라(58)로 기준마크(662)를 촬상하여 촬 상된 기준마크(662)의 중심이 위치인식카메라(58)의 촬상중심과 일치하는지를 측정하면서, 기준마크(662)의 중심이 촬상중심과 일치되도록 헤드유닛(50)을 이동시키는 과정을 통하여 노즐(53)을 세정액수용부(71)와 정렬되는 위치로 이동시킬 수 있다.
또한, 노즐(53)을 세정액수용부(71)와 정렬되는 위치로 이동시키는 과정에서, 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)가 동작하여 노즐(53)이 상하방향으로 변위될 수 있다.
이상과 같은 과정을 통하여 노즐(53)이 세정액수용부(71)와 정렬되는 위치로 이동한 경우에는, 노즐(53)을 하강시켜 노즐(53)을 세정액수용부(71)의 수용공간(711) 내로 삽입시킨다. 이때, 노즐(53)을 하강시키기 위하여 헤드유닛(50)에 구비된 Z축구동부(56)가 작동될 수 있다.
이와 같이 노즐(53)이 하강되는 경우, 감지부(75)는 노즐(53)이 세정액수용부(71)의 수용공간(711)으로의 삽입을 감지하며, 제어부는 초음파발생부(72), 세정액순환부(73) 및 가스공급부(74)를 작동시킨다. 따라서, 세정액순환부(73)의 동작에 의하여 세정액수용부(71)의 내부로 세정액이 공급되고, 초음파발생부(72)의 동작에 의하여 세정액수용부(71)에 수용된 세정액에 초음파진동이 발생된다. 따라서, 세정액수용부(71)의 수용공간(711) 내에 삽입된 노즐(53)에 부착된 페이스트는 세정액의 성분에 의한 화학적 특성 및 세정액의 초음파진동에 의한 물리적 특성에 의하여 노즐(53)로부터 제거된다. 그리고, 세정액과 세정액에 포함된 페이스트는 세정액배출유로(733)를 통하여 세정액수용부(71)로부터 배출된다.
이와 같은 노즐(53)의 세정동작 후에 노즐(53)은 상승되는데, 상승되는 노즐(53)에는 가스공급부(74)의 가스공급노즐(742)로부터 분사되는 가스가 충돌하게 되며, 이에 따라, 노즐(53)에 부착될 수 있는 세정액이 건조될 수 있고, 노즐(53)에 부착될 수 있는 미세한 크기의 페이스트가 노즐(53)로부터 제거될 수 있다.
그리고, 노즐(53)이 상승되어 세정액수용부(71)로부터 이탈되면, 헤드유닛(50)이 이동하여 노즐(53)이 기판(S)상에 페이스트를 도포하기 전의 도포대기위치로 복귀될 수 있다. 또한, 노즐(53)이 도포대기위치로 복귀되기 전에 노즐(53)에 부착된 페이스트가 완전히 제거되었는지를 측정하는 과정이 수행될 수 있다.
노즐(53)에 부착된 페이스트가 완전히 제거되었는지를 측정하기 위하여, 노즐(53)이 촬상장치(65)의 카메라(654)와 정렬되는 위치로 이동된다. 노즐(53)과 카메라(654)의 정렬을 위하여 상술한 바와 같은 과정이 진행될 수 있다.
이와 같이, 노즐(53)과 카메라(654)가 서로 정렬되면, 제어부는 노즐(53)를 촬상하며, 촬상된 이미지를 분석하여 노즐(53)에 페이스트가 존재하지 않는 경우에는 헤드유닛(50)을 이동시켜 노즐(53)을 도포대기위치로 복귀시킨다.
그러나, 촬상된 이미지로부터 측정된 노즐(53)에 페이스트가 존재하는 경우에는 노즐(53)을 세정액수용부(71)로 이동시키고 노즐(53)을 다시 세정하는 과정을 진행하고 노즐(53)에 페이스트가 부착되었는지를 다시 측정하는 과정이 반복적으로 수행될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐세정장치(60) 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서는 노즐(53)의 세정과정을 자동으로 수행할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있으며, 세정액에 초음파진동을 발생시켜 노즐(53)을 세정할 수 있으므로, 노즐(53)에 직접 물리적인 작용을 가하는 것에 비하여 노즐(53)의 손상을 방지할 수 있으며, 노즐(53)에 부착된 페이스트를 더욱 효율적으로 제거할 수 있다.
이하, 도 10 및 도 11을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐세정장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 실시예들에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐세정장치(60)에는 본 발명의 일실시예에서 설명한 세정부재(61)와, 본 발명의 다른 실시예에서 설명한 초음파세정유닛(70)이 함께 구비될 수 있다.
여기에서, 노즐(53)의 세정과정에서 세정부재(61) 또는 초음파세정유닛(70) 중 적어도 하나가 선택적으로 동작할 수 있으며, 세정부재(61) 및 초음파세정유닛(70)이 모두 함께 동작할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐세정장치(60) 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서는 세정부재(61) 및 초음파세정유닛(70)이 함께 구비되므로, 노즐(53)에 부착된 페이스트를 보다 효율적으로 제거할 수 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에서는 노즐세정장치가 페이스트 디스펜서에 적용되는 경우를 예를 들어 설명하였으나, 본 발명에 따른 노즐세정장치는 페이스트 디스펜서에 적용될 수 있을 뿐 만 아니라, 기판 상에 액정을 도포하는 액정도포장치나 반도체 제조공정에서 기판상에 접착제 등의 액체를 공급하는 액체공급장치에도 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐세정장치가 설치된 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 노즐세정장치의 설치위치가 다른 예가 도시된 페이스트 디스펜서의 사시도이다.
도 5는 도 1의 노즐세정장치의 사시도이다.
도 6 및 도 7은 도 5의 노즐세정장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐세정장치의 사시도이다.
도 9는 도 8의 노즐세정장치의 단면도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐세정장치의 사시도이다.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
50: 헤드유닛 53: 노즐
54: 레이저변위센서 58: 위치인식카메라
60: 노즐세정장치 61: 세정부재
62: 회전유닛 63: 세정액공급유닛
64: 가스분사유닛 65: 촬상유닛
66: 안내유닛 67: 페이스트제거부재
70: 초음파세정유닛 71: 세정액수용부
72: 초음파발생부 73: 세정액순환부
74: 가스공급부 75: 감지부

Claims (16)

  1. 노즐과 접촉이 가능한 위치에 설치되는 세정부재;
    상기 세정부재를 회전시키는 회전유닛;
    상기 세정부재로 세정액을 공급하는 세정액공급유닛; 및
    상기 세정부재를 통과한 노즐을 향하여 가스를 분사하는 가스분사유닛을 포함하는 노즐세정장치.
  2. 상측으로 개방되는 개구를 가지고 내부에 세정액이 수용되며 노즐이 삽입되는 수용공간을 가지는 세정액수용부; 및
    상기 세정액수용부에 인접되게 설치되어 상기 세정액수용부에 수용된 세정액에 초음파진동을 발생시키는 초음파발생부로 구성되는 초음파세정유닛을 포함하는 노즐세정장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 노즐의 토출구를 촬상하는 촬상유닛을 더 포함하는 노즐세정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 촬상유닛은 상측으로 개방되는 개방부를 가지는 케이싱;
    상기 케이싱의 개방부에 구비되며 투명한 재질로 이루어지는 광투과부재;
    상기 케이싱의 내부에 설치되는 카메라; 및
    상기 카메라를 지지함과 아울러 상기 카메라를 상하방향, 좌우방향 및/또는 전후방향으로 이동시키는 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 노즐을 상기 노즐세정장치와 정렬시키도록 상기 노즐을 안내하는 안내유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 안내유닛은,
    상기 노즐에 인접되게 설치되는 위치인식카메라에 의하여 촬상되도록 상기 노즐세정장치에 형성되는 기준마크를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 안내유닛은,
    상기 노즐에 인접되게 설치되는 레이저변위센서의 발광부로부터 발광되는 레이저를 수광하는 수광센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 회전유닛은,
    구동모터;
    상기 구동모터와 연결되는 구동축;
    상기 구동축에 설치되는 제1마그네트;
    상기 구동축의 제1마그네트와 인접되게 배치되며 상기 제1마그네트가 회전할 때 생성되는 자력에 의하여 회전되는 제2마그네트; 및
    상기 제2마그네트가 설치되고 상기 세정부재와 연결되는 종동축을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동모터, 상기 구동축 및 상기 제1마그네트는 제1하우징 내에 배치되고,
    상기 제2마그네트 및 상기 종동축은 상기 제1하우징으로부터 구획되는 제2하우징 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 초음파세정유닛은, 상기 세정액수용부의 개구 측으로 가스를 분사시키는 가스공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  11. 제2항에 있어서,
    상기 초음파세정유닛은, 상기 세정액수용부의 일측에 설치되어 상기 노즐의 상기 세정액수용부로의 삽입 여부를 감지하는 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 초음파세정유닛은, 상기 세정액수용부에 수용된 세정액을 순환시키는 세정액순환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
  13. 기판이 탑재되는 스테이지;
    페이스트가 토출되는 노즐이 장착되는 헤드유닛;
    상기 헤드유닛이 이동이 가능하게 설치되는 헤드지지대; 및
    상기 노즐의 접근이 가능한 위치에 배치되어 상기 노즐을 세정하는 노즐세정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 노즐세정장치는,
    세정액을 이용하여 상기 노즐을 세정하는 세정유닛; 및
    상기 노즐에 페이스트가 부착되었는지를 측정하기 위하여 상기 노즐을 촬상하는 촬상유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서
  15. 제14항에 있어서,
    상기 세정유닛은, 서로 반대방향으로 회전하는 한 쌍의 세정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 세정유닛은, 세정액에 초음파진동을 발생시키는 초음파발생기를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
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