KR20110033664A - 증발챔버의 보호장치 - Google Patents

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Abstract

증발가스에 의한 증착챔버의 오염을 방지하는 증발챔버의 보호장치가 개시된다. 개시된 발명은 증착원 상으로 증착기판을 이동시키는 셔틀, 셔틀의 외측으로부터 연장되게 배치되어 증착기판을 거친 증착물질의 상승을 차단함으로써 외측으로 안내하는 차단판, 차단판의 하방에 대면하게 설치되어 차단판과 함께 증착물질을 외측으로 안내하고, 증착원에서 상승한 증착물질을 통과시키는 유출구가 형성되며, 증착물질을 냉각시키는 기능이 있는 구속패널, 구속패널이 상부에 설치되며 증착원이 내부에 설치되고 진공압력을 제공받는 펌핑유로가 하부에 형성된 내부챔버, 및 내부챔버의 외측에서 셔틀 및 구속패널을 감싸고 진공압력을 제공받는 펌핑유로가 하부에 형성된 외부챔버를 포함한다. 이와 같은 본 발명은 증착물질에 의한 챔버오염을 줄여 아웃게싱이나 파티클 문제로부터 안정적인 장비구성을 할 수 있다.
기판, 증착챔버, 셔틀, 차단판, 구속패널

Description

증발챔버의 보호장치{Equipment for protecting Vaporization Chamber}
본 발명은 증발챔버의 보호장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도가니에서 제공된 증발가스에 의한 증착챔버의 오염을 방지하는 증발챔버의 보호장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 발광 소자를 제조하는 방법은 저분자 물질을 진공 중에 증발시켜 제조하는 방법과, 고분자 물질을 용제에 녹여서 스핀 코팅(spin coating)하는 방법이 알려져 있다.
이들 방법 중에서, 고진공에서 박막을 제작하는 저분자 유기 발광 소자 제조 방법은 고진공의 챔버 내 상부에 기판을 설치하고 하부에 증발원을 설치하여 증발원에 담긴 증착 물질을 가열하고, 증발원의 증착 물질이 증발되도록 한다. 증발기체는 고진공에서 상승하여 기판에 닿게 되고, 응고되어 기판 상에 박막을 형성한다.
OLED를 제조하는 경우, 전하 운반층(charge transport player) 및 전하 주입층(charge injection layer)과 같은 금속층 및 유기층은 열 물리 기상 증착 공정(thermal physical vapor deposition; PVD)을 이용하여 주로 형성된다.
이러한 공정에서, 유기 재료는 증발점(또는 승화점)까지 가열되고, 증발된 유기 재료는 증착 소스로부터 분출된 후 기판상에 코팅된다. 통상적인 PVD 공정은 증발 챔버(evaporation chamber) 내에 높은 열 저항 및 화학적 안정성을 갖는 도가니를 포함하는 기상 증착 장치를 이용한다.
기장 증착 장치는 진공챔버의 하부에 증착원과 그 상부에 성막용 기판인 피처리 기판을 설치하여 박막을 형성할 수 있다. 개략적인 구성을 살펴보면, 진공챔버에 연결되는 진공배기계가 존재하는데, 진공챔버의 내부를 일정한 진공을 유지시킨 후, 진공챔버의 하부에 배치된 적어도 하나 이상의 증착원으로부터 증착 재료를 증발시키도록 구성되어 있다.
증착원은 그 내부에 박막재료인 유기물재료가 수용되는 도가니(crucible)와 도가니의 주변에 감겨져 전기적으로 가열하는 가열장치로 구성된다. 따라서, 가열장치의 온도가 상승함에 따라 도가니도 함께 가열되어 일정 온도가 되면 유기물이 증발되기 시작한다.
한편, 증착챔버에 대한 진공장비의 구성에 있어서 증착원으로부터 기화된 증착물질이 기판에 증착되지 않고, 챔버내부로 확산되는 물질들은 챔버를 오염시켜 아웃게싱이나 파트클 증가와 같은 문제를 일으키며, 안정적인 장비구성에 문제를 발생시키다. 이와 같이, 증착과정에서 증착챔버의 오염은 확산계수가 큰 증착물질을 충분히 구속하지 못하여 생기는 문제라 할 수 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 증착물질에 의한 챔버오염을 줄여 아웃게싱이나 파티클 문제로부터 안정적인 장비구성을 할 수 있는 증발챔버의 보호장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 증발챔버의 보호장치는 증착원 상으로 증착기판을 이동시키는 셔틀, 상기 셔틀의 외측으로부터 연장되게 배치되어 상기 증착기판을 거친 증착물질의 상승을 차단함으로써 외측으로 안내하는 차단판, 상기 차단판의 하방에 대면하게 설치되어 상기 차단판과 함께 증착물질을 외측으로 안내하고, 증착원에서 상승한 증착물질을 통과시키는 유출구가 형성되며, 증착물질을 냉각시키는 기능이 있는 구속패널, 상기 구속패널이 상부에 설치되며, 증착원이 내부에 설치되고, 진공압력을 제공받는 펌핑유로가 하부에 형성된 내부챔버, 및 상기 내부챔버의 외측에서 상기 셔틀 및 상기 구속패널을 감싸고 진공압력을 제공받는 펌핑유로가 하부에 형성된 외부챔버를 포함한다.
여기서, 상기 차단판은 상기 셔틀의 양측에서 연장되어 형성되거나, 상기 셔틀의 양측에 배치가능하게 상기 구속패널에 설치된다.
또한, 상기 구속패널은 상면부에 벌집모양 또는 격자형상으로 리브가 형성된다.
한편, 상기 구속패널은 사각형 또는 원형으로 형성될 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따른 증착챔버의 보호장치는 기판에 증착되고 남은 증착물질이 증착챔버의 내부에서 상승하는 작용하는 차단판에 의해 차단하고, 차단판과 구속패널 사이로 안내하여 증착챔버 내부의 오염을 방지하고, 구속패널의 냉각기능에 의해 증착물질을 냉각시켜 증착물질에 의한 증착챔버의 오염을 줄임으로써 아웃게싱이나 파티클 문제로부터 안정적인 장비구성을 할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 증발챔버의 보호장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증발챔버의 보호장치는 셔틀(110), 차단판(115), 구속패널(120), 내부챔버(125) 및 외부챔버(130)를 주요구성으로 포함한다.
셔틀(110)은 증착원(105) 상으로 증착기판(112)을 이동시키는 것으로서, 증착챔버(100)를 구성하는 외부챔버(130)의 내부로 출입되게 설치될 수 있는 이송로봇에 의해 증착원(105) 상으로 이동된다. 증착기판(112)은 기구적인 고정에 의해 셔틀(110)의 저면에 고정되거나 이탈될 수 있다.
차단판(115)은 셔틀(110)의 양측에 배치되어 있으며, 증착원(105)에서 증착기판(112) 측으로 이동하고, 증착기판(112)의 외측을 거친 증착물질이 외부챔버(130)의 내면부로 이동하는 현상을 차단하는 기능을 수행한다. 차단판(115)은 셔틀(110)이 증착원(105) 상으로 이동하였을 때, 셔틀(110)의 양측에서 셔틀(110)의 넓이를 증가시키는 기능을 수행한다. 셔틀(110)의 기판(112)에 도달한 증착물질은 기판(112)에 증착되며, 기판(112)에 증착되지 못하고 남은 증착물질은 차단판(115)에 막혀 상승하지 못하고, 차단판(115)을 따라 외측으로 이동하거나 확산된다.
구속패널(120)은 차단판(115)의 저면에서 차단판(115)에 대응하게 배치되어 있는데, 증착원(105)의 증착물질이 통과가능하게 유출구(122)가 중앙부에 형성되어 있다. 구속패널(120)은 순환하는 냉매에 의해 냉각되거나 반도체 냉각방식으로 냉각되어 차단판(115)에 막힌 증착물질을 냉각하는 기능을 수행할 수 있다. 구속패널(120)은 증착물질의 확산속도를 느리게 하기 위해 차단판(115)과 셔틀(110)의 조합에 대응하는 너비를 가지며, 차단판(115)과 적절한 간격으로 유격될 수 있다.
일 실시예로서 도 2를 참조하면, 차단판(115)에 대응하는 구속패널(120)의 길이를 (a), 셔틀(110)의 한 측에 있는 차단판(115)의 길이를 (b), 유출구(122)의 직경을 (c), 차단판(115)과 구속패널(120)의 간격을 (d)라고 정할 때, 구속패널(120)의 길이는 (a)>1.5*(c)+(d)와 같은 식에 의해 정해질 수 있다. 또한, 차단판(115)의 길이는 (b)>(a)+(c)와 같은 식에 의해 정해질 수 있다. 상기와 같은 구속패널(120) 및 차단판(115)의 길이를 정하는 식은 증착물질의 확산계수 및 구속패널(120)의 온도구배를 고려하여 도출될 수 있다.
본 실시예에서 증착챔버(100)는 외부챔버(130) 및 외부챔버(130)의 내부에서 증착원(105)을 둘러싸는 내부챔버(125)로 구성되어 있다. 내부챔버(125)는 구속패널(120)이 상부에 설치되며, 증착원(105)이 내부에 설치되고, 진공압력을 제공받는 펌핑유로(125)가 하부에 형성되어 있다. 외부챔버(130)는 내부챔버(125)의 외측에서 셔틀(110) 및 구속패널(120)을 감싸고 진공압력을 제공받는 펌핑유로(131)가 하부에 형성되어 있다. 차단판(115) 및 구속패널(120)의 외측으로 확산된 증착물질은 외부챔버(130)의 진공압력을 받는 펌핑유로(131) 측으로 유동되고, 증착원(105) 상의 하부로 확산된 증착물질은 내부챔버(125)의 펌핑유로(126) 측으로 유동된다.
증착물질은 구속패널(120)과 차단판(115) 사이에 갇히어 외측으로 유동되고, 구속패널(120)에 의해 냉각되어 확산이 저지되므로 증착챔버(100)를 구성하는 내부챔버(125) 및 외부챔버(130)를 오염시키기 어려우며, 내부챔버(125) 및 외부챔버(130)의 펌핑유로(125, 131)로 흡입되어 증착챔버(100)의 외측으로 배출되므로 증착챔버(100)의 전체적인 오염은 방지된다.
한편, 차단판(115)은 셔틀(110)의 양측에서 연장되어 형성되거나, 셔틀(110)의 양측에 배치가능하게 구속패널(120)에 지지되어 고정되는 방식으로 설치될 수 있다. 본 실시예에서는 셔틀(110)의 양측에서 연장된 방식을 도시하고 있다. 차단판(115)은 셔틀(110)의 양측에 일체로 형성되거나 결합될 수 있다.
다른 예로서, 도시하지는 않았으나 차단판(115)은 구속패널(120) 상에서 지지대에 결합되어 구속패널(120)에 고정이 가능하다. 차단판(115)은 셔틀(110)의 외측에서 셔틀(110)의 기판(112)을 지난 증착물질의 상승확산을 방지하는 기능을 수 행하는 것이 중요하며, 셔틀(110)의 이동경로나 구속패널(120)에 대한 거리를 고려하여 적합하게 설치될 수 있다.
구속패널(120)은 상면부에 벌집모양 또는 격자형상으로 리브(121)가 형성된다. 도시된 사양은 벌집모양 또는 격자형상을 횡 방향으로 단면한 형상이다. 리브(121)는 냉각기능이 구속패널(120)의 열전달 면적을 증가시켜, 차단판(115)과 구속패널(120)에 있는 증착물질을 더욱 효율적으로 냉각시킬 수 있도록 한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 구속패널(120)은 사각형 또는 원형으로 형성될 수 있다. 또한, 차단판(115)이 배치되는 셔틀(110)도 구속패널(120)의 형상과 같이 사각형 또는 원형으로 형성될 수 있다. 즉, 증착물질이 증착되는 기판(112)의 형상은 사각형 또는 원형으로서, 기판(112)의 형상에 맞게 차단판(115) 및 구속패널(120)의 형상이 정해질 수 있다.
기판(112)이 원형일 때 셔틀(110)도 원형으로 형성되며, 셔틀(110)이 원형으로 형성될 때, 차단판(115) 및 구속패널(120)은 원형으로 형성되어 증착물질의 확산을 방지하게 된다. 또한, 기판(112)이 사각형일 때, 셔틀(110)도 사각형으로 형성되며, 셔틀(110)이 사각형으로 형성될 때, 차단판(115) 및 구속패널(120)은 사각형으로 형성된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발챔버의 보호장치의 개략적인 정면 구성도이다.
도 2는 도 1의 차단판 및 구속패널의 정면도이다.
도 3은 도 1의 셔틀 및 구속패널을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 셔틀 및 구속패널의 다른 형상의 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
100: 증착챔버 105: 증착원
110: 셔틀 112: 기판
115: 차단판 120: 구속패널
121: 리브 122: 유출구
125: 내부챔버 126, 131: 펌핑유로
130: 외부챔버

Claims (5)

  1. 증착원 상으로 증착기판을 이동시키는 셔틀;
    상기 셔틀의 외측으로부터 연장되게 배치되어 상기 증착기판을 거친 증착물질의 상승을 차단함으로써 외측으로 안내하는 차단판;
    상기 차단판의 하방에 대면하게 설치되어 상기 차단판과 함께 증착물질을 외측으로 안내하고, 증착원에서 상승한 증착물질을 통과시키는 유출구가 형성되며, 증착물질을 냉각시키는 기능이 있는 구속패널; 및
    상기 셔틀 및 상기 구속패널을 감싸고 진공압력을 제공받는 펌핑유로가 하부에 형성된 외부챔버를 포함하는 증발챔버의 보호장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단판은 상기 셔틀의 양측에서 연장되어 형성되거나, 상기 셔틀의 양측에 배치가능하게 상기 구속패널에 설치되는 것을 특징으로 하는 증발챔버의 보호장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 구속패널은 상면부에 벌집모양 또는 격자형상으로 리브가 형성된 것을 특징으로 하는 증발챔버의 보호장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구속패널은 사각형 또는 원형인 것을 특징으로 하는 증발챔버의 보호장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 구속패널이 상부에 설치되며, 증착물질을 제공하는 증착원이 내부에 배치되고, 진공압력을 제공받는 펌핑유로가 하부에 형성된 내부챔버를 더 포함하는 증발챔버의 보호장치.
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