KR20110033133A - 밀봉 장치 - Google Patents

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KR20110033133A
KR20110033133A KR1020107028337A KR20107028337A KR20110033133A KR 20110033133 A KR20110033133 A KR 20110033133A KR 1020107028337 A KR1020107028337 A KR 1020107028337A KR 20107028337 A KR20107028337 A KR 20107028337A KR 20110033133 A KR20110033133 A KR 20110033133A
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Abstract

밀봉 장치 (1) 가 아크 노로부터의 구멍 (3) 을 통하여 가스가 대기로 접근하는 것을 방지하고, 다른 한편 대기로부터 아크 노 안으로 공기가 흐르는 것을 방지하기 위해 아크 노의 천장 (2) 에 만들어진 구멍 (3) 을 통하여 수직으로 뻗어있고 아크 노 내측에서 수직으로 움직일 수 있는 로드 전극 (4) 주위에 배치된다. 밀봉 장치는 본질적으로는, 질소 또는 공기와 같은 부동태 가스를 가스 분배 챔버 안으로 공급하기 위한 입구 채널 (6) 이 제공되는 가스 분배 챔버 (5) 를 포함한다. 밀봉 장치는 또한 전극을 감싸는 슬릿 노즐 (7) 을 포함하고, 이 노즐을 통하여 가스 젯이 수평 평면에 대하여 각도 (
Figure pct00005
) 로 약간 상방으로 기울어진 배향을 갖고, 그리고 상기 노 내부에 대하여, 외부로 가리키는 방향으로 가스 분배 챔버 (5) 로부터 전극 (4) 을 향하여 배출되도록 구성되어, 밀봉이 생성되는 정체 압력의 효과에 의해 실행되게 한다.

Description

밀봉 장치{SEALING DEVICE}
본 발명은 야금에 사용되는 전기 아크 노의 전극의 밀봉에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 청구항 제 1 항의 전문에 규정된 밀봉 장치이다.
아크 노는 금속을 용융하고 및/또는 슬래그를 제거하는데 사용되는 전기적으로 작동되는 노이다. 노의 작동은 별개의 전극 사이에서, 또는 전극과 용융되는 재료 사이에서 연소하는 라이트 아크 (light arc) 를 기본으로 한다. 노는 AC 또는 DC 전류 중 하나에 의해 작동될 수 있다. 열이, 라이트 아크가 재료와 전극 사이에서 연소하는 경우, 용융되는 재료에서, 그리고 또한 라이트 아크에서 생성된다. 전력이 노의 중심점에 대하여 삼각형으로 대칭적으로 위치되는 수직 전극으로 전도된다. 노의 전극의 조립 깊이는 연속적으로 조정되는데, 이는 전극이 라이트 아크에 의해 그 첨단부에서 마모되기 때문이다.
전극은 노 천장 (ceiling) 에 위치된 관통공을 통하여 노 안으로 뻗어있다. 관통공의 직경은, 전극의 자유 운동을 보장하기 위해, 그리고 전극과 천장 사이의 접촉을 피하기 위해, 전극의 직경보다 더 크다. 전극과 천장 구멍 사이에 남겨진 틈은 노의 내측으로부터의 가스가 구멍을 통하여 대기로 접근하는 것을 방지하기 위해, 그리고 다른 한편 대기로부터의 공기가 노로 접근하는 것을 방지하기 위해 반드시 밀봉되어야 한다.
종래 기술에서, 예컨대 전극에 대하여 유압식으로 프레스되는 땋은 로프 시일 (braided rope seal), 그라파이트 링 (grahpite ring) 등에 의한 기계적 밀봉에 의해 전극과 천장 구멍 사이에 남겨진 틈을 밀봉하기 위한 밀봉 장치가 알려져 있다. 다양한 기계적 밀봉 구성물이 예컨대 공보 FI 81197, FI 64458, DE 1540876 및 SE 445744 로부터 알려져 있다. 유압 압축을 생성하는데 사용되는 유압 매체는 물이다.
기계적 밀봉 장치의 단점은, 실제로 전극 표면이 완벽하게 원통형이 아니고 매끄럽지 않으며, 이는 원형이 완전하지 않으며 (out of round) 고르지 않을 수 있고, 이는 전극이 수직으로 움직일 때 전극의 외부 표면과 접촉하는 밀봉부의 마모를 초래한다는 점에서 발생한다. 따라서 밀봉은 약해진다. 줄어드는 대기를 갖는 아크 노에서, 하지만 노 안으로의 공기의 어떠한 누출도 허용될 수 없다. 다른 한편, 일산화탄소 분위기가 노 내측에 만연하다. 다시, 노 외부로의 일산화탄소의 어떠한 누출도 허용될 수 없는데, 이는 일산화탄소는 매우 독성이기 때문이다. 또한, 공기가 노 안으로 흘러들어온다면, 일산화탄소는 연소하기 시작하고 구멍에서의 온도를 매우 높게 상승시키며, 따라서 노 구조물을 파손시킨다. 노의 내측에 위치되는 소더버그 전극의 원소는 백열성 (incandescent) 그라파이트이다. 누출 공기는 그라파이트의 빠른 마모 및 연소를 야기하고, 이는 소더버그 전극 페이스트 및 코크스 (coke) 모두의 소비를 증가시킨다.
다른 단점은 밀봉과 관련한 물의 사용인데, 이는 손상 상황에서 물이 우발적으로 노 안으로 들어올 수 있기 때문이다. 물이 높은 온도의 노 분위기 안으로 유입될 때, 위험한 수성 가스 (water gas) 폭발이 발생할 수 있다.
본 발명의 목적은 상기 언급된 단점을 제거하는 것이다.
본 발명의 특별한 목적은 전극과 접촉하지 않고 밀봉을 실행하는 밀봉 장치를 소개하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 노 안으로의 공기 누출 및 노 밖으로의 가스 누출을 효과적으로 방지하는 밀봉 장치를 소개하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 물의 사용이 회피되는 밀봉 장치를 소개하는 것이다.
게다가, 본 발명의 목적은 전극의 마모가 줄어들게 하는 밀봉 장치를 소개하는 것이다.
본 발명에 따른 밀봉 장치는 청구항 제 1 항에 제시된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 아크 노로부터 구멍을 통하여 가스가 대기로 접근하는 것을 방지하고, 다른 한편 대기로부터 아크 노 안으로 공기가 접근하는 것을 방지하기 위해 아크 노의 천장에 만들어진 구멍을 통하여 수직으로 뻗어있고 아크 노 내측에서 수직으로 움직일 수 있는 로드 전극 주위에 배치되는 밀봉 장치는 본질적으로는, 질소 또는 공기와 같은 부동태 가스 (passive gas) 를 가스 분배 챔버 안으로 공급하기 위한 입구 채널이 제공되는 가스 분배 챔버, 및 가스 흐름이 가스 분배 챔버로부터 전극을 향하여 방출되도록 구성되는 노즐을 갖는다.
본 발명에 따르면, 노즐은 전극을 감싸고 수평 평면에 대하여, 약간 상방으로 기울어진 각도로 배향되고, 그리고 노 내부에 대하여, 외부로 가리키는 방향으로 가스 젯을 방출하여 밀봉이 정체 압력 (stagnation pressure) 의 효과에 의해 실행되게 하는 슬릿 노즐이다.
본 발명의 이점은 가스 흐름이 전극을 감싸는 슬릿 노즐로부터, 수평 평면에 대하여, 약간 상방으로 기울어진 각도로 배향되고, 그리고 노 내부에 대하여, 외부로 가리키는 방향으로 방출된 때, 노 밖으로의 가스 누출은 정압 (positive pressure) 이 노 내측에 만연할 때 방지될 수 있고, 다른 한편 노 안으로의 공기 누출은 부압이 노 내측에 만연할 때 방지될 수 있으며, 전극과 밀봉 장치 사이의 틈은 실제로 정체 압력의 효과에 의해 폐쇄된다는 것이다. 본 발명에 따른 구성은, 노 안이 부압이든 또는 정압이든 상관 없이, 항상 기능한다. 노 안의 압력은 주위 공기 압력에 대하여, 예컨대 -70 ㎩ 의 부압 ~ 22 ㎩ 의 정압에서 변할 수 있다. 이는 우수한 밀봉이 노의 모든 작동 상태에서 밀봉 장치에 의해 제공될 수 있다는 것을 의미한다.
본 발명의 다른 이점은, 전극이 다소 원형이 완전하지 않으며 고르지 않더라도 밀봉 장치가 마모되지 않고, 밀봉이 약해지지 않는다는 것이다. 따라서 장치는 긴 유지 보수 간격을 갖는다. 밀봉 장치는 물을 사용하는 어떠한 유압식 장치를 포함하지 않고, 이 때문에 물 누출은 노 안에서 발생하지 않는다. 또 다른 이점은 노로의 공기 누출 및 노로부터의 가스 노출은 효과적으로 방지되고, 이러한 경우 전극의 마모는 줄어든다는 것이다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 가스 흐름은 수평 평면에 대하여 약 15°~ 25°인 각도로 슬릿 노즐을 통하여 방출된다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 전극의 외부 표면으로부터 슬릿 노즐의 거리는 약 10 ~ 40 ㎜ 이다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 슬릿 노즐의 노즐 슬릿 높이는 약 5 ㎜ 이다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 슬릿 노즐로부터의 가스 유량은 적어도 약 10 m/s 이다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 가스 분배 챔버의 가스 압력은 약 3 ~ 4 ㎪ 이다. 이러한 종류의 압력은 블로워 (blower) 에 의해 생성될 수 있다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 전극은 소위 소더버그 전극이고, 소위 소더버그 전극 페이스트가 금속 튜브 케이싱 내측에 놓인다. 대안으로서, 전극은 그라파이트 전극일 수 있다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 밀봉 장치는 금속 제 1 베이스 링을 포함하는 전기 절연 슬라이드 베어링의 정상부에 조립되고, 이는 노 천장에 제공되는 구멍의 에지의 정상부에 배치된다. 전기 절연 재료로 만들어진 제 2 베이스 링이 제 1 베이스 링의 정상부에 배치된다. 금속 제 3 베이스 링은 제 2 베이스 링의 정상부에 배치된다. 제 3 베이스 링에, 밀봉 장치는 다른 체결이 없이, 단지 중력에 의해서만 놓인다. 베이스 판의 기계가공된 표면은 전극의 가로 운동에 적응하기 위해 밀봉 장치에 대한 제한된 가로 운동을 허용한다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 밀봉 장치는, 전극의 외부 표면에 대하여 지지되는, 가스 분배 챔버의 상부에 원형 방식으로 배치되는 다수의 중심맞춤 롤러를 포함한다. 중심맞춤 롤러는 슬릿 노즐과 전극의 외부 표면 사이의 거리를 본질적으로는 일정하게 유지한다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 중심맞춤 롤러는 제한된 범위 내에서 수평으로 움직이도록 스프링에 의해 구성된다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 밀봉 장치는 구리로 만들어진 냉각 요소를 포함하고, 이 요소 내측에는 냉각수 순환을 위한 덕트가 구성된다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 냉각 요소는, 가스 분배 챔버 아래에, 밀봉 장치의 금속 프레임에 부착된다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 밀봉 장치에는 가스 분배 챔버 아래에 금속 프레임에 부착되는 내화성 라이닝이 제공된다.
밀봉 장치의 실시형태에서, 밀봉 장치는 전극을 감싸는 원형 구조를 형성하기 위해 분리 가능하게 상호 연결되는 2 개 이상의 동일한 부품으로 이루어진다.
본 발명은 첨부된 도면 및 바람직한 실시형태를 참조하여 이하에 더욱 상세하게 설명된다.
도 1 은 전기 아크 노의 천장의 개략적인 단면도이며, 본 발명에 따른 밀봉 장치의 실시형태가 전극 주위에 조립되어 있는 도면이다.
도 2 는 도 1 의 A 를 상세하게 나타내는 도면이다.
도 3 은 축측 투영법으로 (axonometrically) 기울어진 방향으로 위에서 본, 도 1 및 도 2 에 따른 밀봉 장치를 나타내는 도면이다.
도 4 는, 베이스 링에 놓인, 도 3 에 나타낸 밀봉 장치의 4 개의 부품 중 하나를 나타내는 도면이다.
도 5 는, 위에서 본 도 1 ~ 도 4 에 나타낸 밀봉 장치의 하나의 용수철을 갖는 중심맞춤 롤러를 나타내는 도면이다.
도 1 은 수직 로드 전극 (4) 을 위한 피드 쓰루 (feed through) 를 구성하는 구멍 (3) 이 제공되는, 아크 노 천장 (2) 의 일부를 나타낸다. 구멍 (3) 의 에지의 정상부에, 도 3 에 나타낸 밀봉 장치 (1) 가 배치되며, 상기 밀봉 장치는 전극 (4) 을 감싼다. 전극 (4) 은 원통형 강 케이싱 (8) 내측에 소위 소더버그 전극 페이스트를 갖는, 소위 소더버그 전극이다. 다른 실시형태에서, 전극은 그라파이트 전극일 수 있다. 전극 (4) 의 직경은 약 500 ~ 1200 ㎜ 일 수 있다. 밀봉 장치 (1) 는 구멍 (3) 을 통한 노의 내측으로부터 대기로의 가스의 누출을 방지하고, 다른 한편, 밀봉 장치는 또한 노로의 공기 누출을 방지한다.
도 2 및 도 3 으로부터 밀봉 장치 (1) 가 공기 또는 질소가 가스 분배 챔버 (5) 로 공급되게 하는, 입구 채널 (6) 이 제공되는 가스 분배 챔버 (5) 를 포함하는 것이 더 상세하게 명백해질 것이다. 가스 분배 챔버 (5) 로부터, 가스는 전극을 감싸는 슬릿 노즐 (7) 을 통하여 전극 (4) 을 향해, 수평 평면에 대하여 약간 상방으로 기울어진 각도 (
Figure pct00001
), 그리고 외부로 배향된 노 내부에 대한 방향으로, 생성되는 정체 압력에 의해 전극 주위의 환형 가스 밀봉을 형성하기 위해 방출된다. 가스는 유리하게는, 수평 방향에 대하여 약 15°~ 25°상방으로 기울어진 각도 (
Figure pct00002
) 로 슬릿 노즐 (7) 로부터 방출된다. 이제 밀봉 가스는 주로 외부로 배기되고, 이는 노 안으로 흘러들지 않는다.
전극 (4) 의 유효한 외부 표면 (live outer surface) 으로부터 슬릿 노즐 (7) 의 거리 (s) 는 약 10 ~ 40 ㎜ 이다. 슬릿 노즐의 슬릿 높이 (d) 는 약 5 ㎜ 이다. 슬릿 노즐 (7) 로부터의 가스 출구 유량은 적어도 약 10 m/s 이다. 가스 분배 챔버 (5) 의 가스 압력은 약 3 ~ 4 ㎪ 이며, 이는 표준 블로워에 의해 달성될 수 있다. 여기서 압축 공기를 사용할 필요는 없다. 상기 수치는 주어진 실시형태에서 예로서 주어진다. 수치는 해당 실시형태에 따라 변할 수 있다.
도 2 및 도 4 로부터 밀봉 장치 (1) 는 전기 절연 슬라이드 베어링 (9) 의 정상부에 단지 중력 (밀봉 장치의 무게는 통상적으로 예컨대 500 ~ 1000 ㎏ 이며, 해당 실시형태에 따라 상이하다) 에 의해 놓이도록 설정된다는 것이 명백하다. 슬라이드 베이링 (9) 은, 전극이 측방 방향으로 움직일 때, 밀봉 장치 (1) 의 수평 슬라이딩을 허용한다. 최저 아래는 제 1 베이스 링 플랜지 (10) 이며, 이는 강으로 만들어지고 구멍 (3) 의 에지의 정상부에 배치된다. 전기 절연 재료로 만들어진 제 2 베이스 링 플랜지 (11) 가 제 1 베이스 링 플랜지의 상부에 놓인다. 강으로 만들어진, 제 3 베이스 링 플랜지 (12) 가 절연성 제 2 베이스 링 플랜지 (11) 의 상부에 놓인다. 밀봉 장치 (1) 는 제 3 베이스 링 플랜지 (12) 에 놓인다. 밀봉 장치 (1) 의 금속 프레임 (16) 의 하부 표면은 수평이고 기계가공된다. 마찬가지로, 제 3 베이스 판 링 (12) 의 상부 표면은 수평이고 기계가공되며, 따라서 밀봉 장치 (1) 는 수평으로 슬라이드하기에 자유로워서, 밀봉 장치는 전극의 가로 운동에 적응된다.
도 3 으로부터 밀봉 장치 (1) 는 모듈식이고, 전극 (4) 을 감싸는 원형 구조를 형성하기 위해 분리 가능하게 상호 연결되는, 4 개의 동일한 부품 (17) 으로 이루어지는 것을 볼 수 있다. 도 4 는 이러한 부품 (17) 하나를 나타낸다. 각각의 부품 (17) 은 그 자체의 금속 프레임 (16) 및 자체의 입구 채널 (6) 을 갖고, 이 금속 프레임에 가스 분배 챔버 (5) 가 통합되며, 다른 부품의 가스 분배 챔버 (5) 와 유동 연통하지 않으며, 입구 채널을 통하여 가스는 챔버 (5) 안으로 공급된다. 슬릿 노즐 (7) 은 부품 (17) 의 아치의 전체 90 도를 따라 뻗어있다.
도 2 ~ 도 5 로부터 밀봉 장치 (1) 는 다수의 중심맞춤 롤러 (13) 를 포함하고, 이 실시예에서는 8 개의 롤러이며 이들은 전극 (4) 의 외부 표면에 대하여 지지되도록 하기 위해 가스 분배 챔버 (5) 의 정상부에 원형 방식으로 배치되는 것이 나타난다. 중심맞춤 롤러 (13) 는 슬릿 노즐 (7) 과 전극 (4) 의 외부 표면 사이의 거리 (s) 를 본질적으로는 일정하게 유지하지만, 롤러 (13) 의 탄성 지지부 때문에 (도 5 참조), 제한된 운동이 전극 (4) 에 대하여 허용된다. 전극 (4) 이 가로로 움직일 때, 중심맞춤 롤러 (13) 는 우선 특정한 양으로의 탄성력을 발생시킨다. 전극 (4) 의 가로 운동이 더 계속된다면, 전체 밀봉 장치 (1) 는 슬라이드 베어링 (9) 상에서 슬라이드하기 시작한다. 이는 전극 (4) 이 손상되는 것을 방지한다.
도 2 에서, 밀봉 장치 (1) 에, 가스 분배 챔버 (5) 아래에 밀봉 장치 (1) 의 금속 프레임 (16) 에 부착되는, 구리로 만들어진 냉각 요소 (14) 가 있을 수 있다는 것이 또한 나타난다. 덕트 (15) 가 냉각수 순환을 위해 냉각 요소 (14) 내측에 배치될 수 있다. 대안으로서, 냉각 요소 (14) 는 가스 분배 챔버 (5) 아래에 금속 프레임 (16) 에 부착되는, 내화성 라이닝으로 교체될 수 있다.
본 발명은 상기 설명된 실시형태에만 제한되지 않으며, 다양한 변경이 첨부된 청구항에 규정된 본 발명의 아이디어의 범위 내에서 가능하다.

Claims (15)

  1. 아크 노로부터의 구멍 (3) 을 통하여 가스가 대기로 접근하는 것을 방지하고, 다른 한편 대기로부터 상기 노 안으로 공기가 접근하는 것을 방지하기 위해 상기 노의 천장 (2) 에 만들어진 구멍 (3) 을 통하여 수직으로 뻗어있고 상기 노 내측에서 수직으로 움직일 수 있는 로드 전극 (4) 주위에 배치되는 밀봉 장치 (1) 로서 :
    - 본질적으로는, 질소 또는 공기와 같은 부동태 가스를 가스 분배 챔버 안으로 공급하기 위한 입구 채널 (6) 이 제공되는 가스 분배 챔버, 및,
    - 가스 젯이 가스 분배 챔버 (5) 로부터 전극 (4) 을 향하여 방출되도록 구성되는 노즐을 포함하는 밀봉 장치 (1) 에 있어서,
    상기 노즐 (7) 은 전극을 감싸고 수평 평면에 대하여 각도 (
    Figure pct00003
    ) 로 약간 상방으로 기울어진 배향을 갖고, 그리고 아크 노 내부에 대하여, 외부로 가리키는 방향으로 가스 젯을 방출하여 밀봉이 생성되는 정체 압력의 효과에 의해 실행되게 하는 슬릿 노즐 (7) 인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 슬릿 노즐로부터, 가스 흐름은 수평 평면에 대하여 약 15°~ 25°인 각도 (
    Figure pct00004
    ) 로 방출되는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 전극 (4) 의 유효한 외부 표면으로부터 슬릿 노즐 (7) 의 거리 (s) 는 약 10 ~ 40 ㎜ 인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬릿 노즐의 슬릿의 높이 (d) 는 약 5 ㎜ 인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬릿 노즐 (7) 로부터의 가스 유량은 적어도 약 10 m/s 인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 분배 챔버 (5) 의 가스 압력은 약 3 ~ 4 ㎪ 인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극 (4) 은 금속 튜브 케이싱 (8) 내측에 소위 소더버그 전극 페이스트를 갖는 소위 소더버그 전극인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극 (4) 은 그라파이트 전극인 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀봉 장치 (1) 는 전기 절연 슬라이드 베어링 (9) 상에 조립되고, 상기 절기 절연 슬라이드 베어링은
    - 상기 구멍 (3) 의 에지의 정상부에 배치되는 금속 제 1 베이스 링 (10),
    - 상기 제 1 베이스 링의 정상부에 배치되는, 전기 절연 재료로 만들어지는 제 2 베이스 링 (11), 및
    - 상기 제 2 베이스 링의 정상부에 배치되는 금속 제 3 베이스 링 (12) 을 포함하고, 상기 제 3 베이스 링의 정상부에서, 상기 밀봉 장치 (1) 는 전극의 가로 운동에 적응하기 위해서 상기 밀봉 장치의 제한된 가로 운동을 허용하기 위해, 다른 체결 없이 단지 중력에 의해서 놓이도록 구성되는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 밀봉 장치 (1) 는 슬릿 노즐 (7) 과 전극 (4) 의 외부 표면 사이의 거리를 본질적으로는 일정하게 유지하기 위해 전극 (4) 의 외부 표면에 대하여 지지되도록 가스 분배 챔버 (5) 의 정상부에 원형 방식으로 배치되는 다수의 중심맞춤 롤러 (13) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 중심맞춤 롤러 (13) 는 제한된 범위 내에서 스프링에 수평으로 움직일 수 있게 배치되는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀봉 장치 (1) 는 구리로 만들어지는 냉각 요소 (14) 를 포함하고, 상기 요소의 내측에 냉각수 순환을 위해 덕트 (15) 가 제공되는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 냉각 요소 (14) 는, 상기 가스 분배 챔버 (5) 아래에, 상기 밀봉 장치의 금속 프레임 (16) 에 부착되는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀봉 장치에는, 상기 가스 분배 챔버 (5) 의 아래에, 금속 프레임 (16) 에 부착되는 내화성 라이닝이 제공되는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀봉 장치 (1) 는 전극 (4) 을 감싸는 원형 구조를 형성하기 위해 분리 가능하게 상호 연결되는 2 개 이상의 본질적으로 동일한 부품으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
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