KR20110027079A - 흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 형성된 차광층 - Google Patents

흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 형성된 차광층 Download PDF

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Abstract

[A] 카도계 바인더 수지 0.5 내지 20 중량%; [B] 반응성 불포화 화합물 1 내지 20 중량%; [C] 광중합 개시제 0.1 내지 10 중량%; [D] 흑색 혼합 안료 1 내지 25 중량%; 및 [E] 용제 잔부량을 포함하고, 상기 [D] 흑색 혼합 안료는, 오렌지(orange) : 블루(blue) : 바이올렛(violet) 안료를 20 내지 45 : 20 내지 45 : 5 내지 20의 중량비로 포함하여 흑색화된 것인 흑색 감광성 수지 조성물이 제공된다.
흑색 혼합 안료, 카도계 바인더 수지, 흑색 감광성 수지 조성물, 유전율, 광학 밀도

Description

흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 형성된 차광층{BLACK PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND BLACK MATRIX MANUFACTURED BY USING THE SAME}
본 기재는 흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조된 차광층에 관한 것이다.
흑색 감광성 수지 조성물은 컬러 필터, 액정 표시 재료, 유기 발광 소자(EL), 디스플레이 패널 재료 등의 표시 소자의 제조에 필수적인 재료이다. 예를 들어, 컬러 액정 디스플레이 등의 컬러 필터에는 표시 콘트라스트나 발색 효과를 높이기 위하여, 레드(red), 그린(green), 블루(blue) 등의 착색층 간의 경계 부분에 블랙매트릭스가 필요하고, 이 블랙 매트릭스는 주로 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 것이다.
상기 재료와 관련된 기존 특허들이 많이 알려져 있는데, 일본공개특허 제2002-047423호에서는 높은 흑색도와 절연성을 갖는 블랙 매트릭스를 구현하기 위하여 흑색 안료로 코발트 산화물을 적용하였다. 또한 일본공개특허 제2007-071994호에서는 페릴렌계 화합물을 사용한 블랙 매트릭스 재료를 이용하였다.
현재 주류인 카본 안료 분산형 감광성 조성물은 전기 저항이 작기 때문에, 포토 스페이서 또는 절연 재료로서 사용하는 것이 불가능하였다. 따라서 스페이서와 같은 고 절연성을 보유하면서 흑색도를 동시에 갖는 재료를 구현하기 위해 일본특허 제2,552,391호에서는 혼합 유기 안료로 이루어지는 절연성 유기 안료를 카본블랙 대신 배합에 이용하고 있다. 상기 특허들의 가장 큰 문제점은 유기 안료만을 사용함에 따라 광학밀도(optical density, OD) 값이 낮아진다는 점이다. 상기 일본특허 제2552391호에서는 적색, 청색, 녹색, 시안, 마젠다, 옐로, 핑크 등의 유기 안료를 혼용 사용해서 흑색도를 구현하였으나 가시광선의 차광이 충분하지 않아, 안료 분산형 감광성 조성물 내의 안료 총량의 함유율을 높일 필요가 있었다. 그러나 안료 분산형 감광성 수지에 대한 안료의 비율이 상대적으로 증가하기 때문에, 감도 및 현상성이 현저히 악화되어, 블랙 매트릭스 패턴 형상이 만족스러운 것을 얻을 수 없고, 콘트라스트를 향상시킬 수 없었다.
최근에는 블랙 매트릭스 재료가 액정층을 사이에 존재하는 두 개의 (TFT와 C/F)기판 사이를 지지하는 포토 스페이서 (또는 칼럼 스페이서)로 사용하고자 하는 노력들도 이루어지고 있다. 특히 이 경우, 포토 스페이서에는 높은 절연성이 요구된다.
그러나 블랙 스페이서의 경우 높은 광학밀도(optical density: OD)를 구현하기 위해 안료 함량을 높일 경우 압축변위, 탄성 회복률 등 포토 스페이서의 기본 특성을 구현하기 어려우며, 안료 함량을 낮추기 위해 카본 블랙만을 사용하면 낮은 유전율을 구현하기 어렵기 때문에 현실적으로 재료 개발이 쉽지는 않은 상태이다. 따라서 카본 블랙을 함유하지 않고 높은 광학 밀도를 구현할 수 있는 흑색 감광성 수지 조성물의 개발이 절실히 요구되고 있다.
본 발명의 일 측면은 우수한 절연성 및 높은 광학밀도를 가지는 흑색 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 측면은 상기 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 차광층을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, [A] 카도계 바인더 수지 0.5 내지 20 중량%; [B] 반응성 불포화 화합물 1 내지 20 중량%; [C] 광중합 개시제 0.1 내지 10 중량%; [D] 흑색 혼합 안료 1 내지 25 중량%; 및 [E] 용제 잔부량을 포함하고, 상기 [D] 흑색 혼합 안료는, 오렌지(orange) : 블루(blue) : 바이올렛(violet) 안료를 20 내지 45 : 20 내지 45 : 5 내지 20의 중량비로 포함하여 흑색화된 것인 흑색 감광성 수지 조성물을 제공한다.
상기 [A] 카도계 바인더 수지는 하기 화학식 1 내지 3으로 표시되는 단량체의 공중합체인 것일 수 있다.
[화학식 1]
Figure 112009055544242-PAT00001
[화학식 2]
Figure 112009055544242-PAT00002
(상기 화학식 2에서,
R1은 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이고,
X는 할로겐원자이다.)
[화학식 3]
Figure 112009055544242-PAT00003
(상기 화학식 3에서,
R2는 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이다.)
여기서 상기 카도계 바인더 수지는, 상기 화학식 1 : 화학식 2 : 화학식 3이 1 : 2 내지 4 : 2 내지 8의 몰비로 공중합된 것일 수 있다.
상기 카도계 바인더 수지의 중량평균분자량은 1,000 내지 20,000 g/mol일 수 있다.
상기 흑색 감광성 수지 조성물은, 아닐린 블랙 또는 흑색 무기 안료를 상기 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.05 내지 25 중량%로 더 포함할 수도 있다.
상기 흑색 무기 안료는 산화크롬, 산화철, 티탄 블랙 및 이들의 조합일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 본 발명의 일 측면에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 차광층을 제공한다.
상기 차광층은 5 이하의 유전율을 가지는 도막을 포함할 수 있다.
상기 차광층은 3 ㎛의 두께에서 4.0 이상의 광학 밀도(optical density, OD)를 가지는 것일 수도 있다.
기타 본 발명의 구체적인 사항은 이하의 상세한 설명에 포함되어 있다.
우수한 절연성 및 높은 광학 밀도를 가지는 차광층을 형성하여, 컬러필터의 콘트라스트나 발색 효과를 높이기 위한 차광층으로 이용될 수 있을 뿐만 아니라 포 토 스페이서에도 이용할 수 있어 유용성이 매우 높은 장점을 가진다. 또한, 카도계 바인더 수지를 포함함으로써, 내열성 및 내화학성을 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 구현예를 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 예시로서 제시되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 제한되지는 않으며 본 발명은 후술할 청구범위의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한 "치환된"이란 수소 원자가 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 탄소수 2 내지 10의 알케닐기, 탄소수 6 내지 30의 아릴기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕시기로 이루어진 군에서 선택되는 치환기로 치환된 것을 의미한다.
본 발명의 일 측면에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은, [A] 카도계 바인더 수지 0.5 내지 20 중량%; [B] 반응성 불포화 화합물 1 내지 20 중량%; [C] 광중합 개시제 0.1 내지 10 중량%; [D] 흑색 혼합 안료 1 내지 25 중량%; 및 [E] 용제 잔부량을 포함하고, 상기 [D] 흑색 혼합 안료는, 오렌지(orange) : 블루(blue) : 바이올렛(violet) 안료를 20 내지 45 : 20 내지 45 : 5 내지 20의 중량비로 포함하여 흑색화된 것이다.
이하 본 발명의 일 측면에 따른 흑색 감광성 수지 조성물에 포함되는 각각의 성분에 대하여 구체적으로 살펴본다.
[A] 카도계 바인더 수지
상기 카도계 바인더 수지는 내열성 및 내화학성을 향상시키는 역할을 하는 것으로 하기 화학식 1 내지 3으로 표시되는 단량체를 공중합한 것이다.
[화학식 1]
Figure 112009055544242-PAT00004
[화학식 2]
Figure 112009055544242-PAT00005
(상기 화학식 2에서,
R1은 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이고, 특히, 알릴렌기, 페닐렌기 또는 벤질렌기일 수 있다.
X는 할로겐원자이다.)
[화학식 3]
Figure 112009055544242-PAT00006
(상기 화학식 3에서,
R2는 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이고, 특히, 알릴렌기, 페닐렌기 또는 벤질렌기일 수 있다.)
상기 카도계 바인더 수지는 상기 화학식 1 : 화학식 2 : 화학식 3이 1 : 2 내지 4 : 2 내지 8의 몰비로 공중합된 것을 사용할 수 있고, 상기 카도계 바인더 수지의 배합 비율이 상기의 범위일 때, 현상성이 우수하다.
상기 카도계 바인더 수지는 1,000 내지 20,000 g/mol의 중량평균분자량을 가질 수 있고, 상기 카도계 바인더 수지의 분자량이 상기의 범위일 때, 패턴 형태가 우수하고, 현상 후에도 잔사가 남지 않는다.
상기 카도계 바인더 수지는 알칼리 수용액에 대한 용해도를 높이기 위하여 상기 화학식 1 내지 3으로 표시되는 단량체를 공중합한 이후에 하기 화학식 4로 표시될 수 있는 산무수물로 처리한다.
[화학식 4]
Figure 112009055544242-PAT00007
(상기 화학식 4에서,
R3 및 R4는 각각 독립적으로, 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이다.)
상기 카도계 바인더 수지는 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.5 내지 20 중량%로 포함되고, 카도계 바인더 수지가 상기 범위로 포함되는 경우에 패턴 형태가 우수하고, 조성물의 점도가 적당히 유지되어 공정성이 좋으며, 현상성이 우수하여 잔사가 생기지 않는다.
[B] 반응성 불포화 화합물
상기 반응성 불포화 화합물은 감광성 수지 조성물에 일반적으로 사용되는 모노머 또는 올리고머로서, 적어도 1개의 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 아크릴산 또는 메타크릴산의 일관능 또는 다관능 에스테르가 바람직하다. 구체적인 예로는, 에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 비스페놀A 에폭시아크릴레이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르 아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트, 트리스아크릴로일옥시에틸 포스페이트 등을 들 수 있다.
시판되는 제품으로 상기 일관능 (메타)아크릴산 에스테르의 예를 들면, 아로닉스 M-101®, 동 M-111®, 동 M-114®(도아 고세이 가가꾸 고교(주) 제품), KAYARAD TC-110S®, 동 TC-120S®(니혼 가야꾸(주) 제품), V-158®, V-2311®(오사카 유끼 가가꾸 고교(주) 제품) 등이 있고, 이관능 (메타)아크릴산 에스테르의 예를 들면, 아로닉스 M-210®, 동 M-240®, 동 M-6200®(도아 고세이 가가꾸 고교(주) 제품), KAYARAD HDDA®, 동 HX-220®, 동 R-604®(니혼 가야꾸(주) 제품), V-260®, V-312®, V-335 HP®(오사카 유끼 가가꾸 고교(주) 제품) 등이 있으며, 삼관능 이상의 (메타)아크릴산 에스테르의 예를 들면, 아로닉스 M-309®, 동 M-400®, 동 M-405®, 동 M-450®, 동 M-7100®, 동 M-8030®, 동 M-8060®(도아 고세이 가가꾸 고교(주) 제품), KAYARAD TMPTA®, 동 DPCA-20®, 동-30®, 동-60®, 동-120®(니혼 가야꾸(주) 제품), V-295®, 동-300®, 동-360®, 동-GPT®, 동-3PA®, 동-400®(오사카 유끼 가야꾸 고교(주) 제품) 등을 들 수 있다. 상기 반응성 불포화 화합물들은 단독 또는 2종 이상을 함께 사용할 수 있다.
상기 반응성 불포화 화합물은 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 1 내지 20 중량%, 또는 1 내지 15 중량%로 포함된다. 반응성 불포화 화합물이 상기 범위로 포함되는 경우에는 산소 존재 하에서 감도가 우수하고, 패턴 형상이 좋으며, 공중합체와의 상용성이 개선되며 매끄러운 도막 표면을 얻을 수 있다.
[C] 광중합 개시제
상기 광중합 개시제는 감광성 수지 조성물에 일반적으로 사용되는 광중합 개시제로서, 예를 들어 트리아진계 화합물, 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오크산톤계 화합물, 벤조인계 화합물로부터 1종 이상 선택되는 것을 사용할 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 광중합 개시제로 사용되는 트리아진계 화합물의 구체적인 예를 들면, 2,4,6-트리클로로-s-트리아진, 2-페닐-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(3',4'-디메톡시 스티릴)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(4'-메톡시 나프틸)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시 페닐)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-비페닐-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 비스(트리클로로 메틸)-6-스티릴-s-트리아진, 2-(나프토 1-일)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시 나프토 1-일)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-4-트리클로로 메틸(피페로닐)-6-트리아진, 2-4-트리클로로 메틸(4'-메톡시 스티릴)-6-트리아진 등이 있다.
상기 아세토페논계 화합물의 구체적인 예를 들면, 2,2'-디에톡시 아세토페논, 2,2'-디부톡시 아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로피오페논, p-t-부틸트리클로로 아세토페논, p-t-부틸디클로로 아세토페논, 4-클로로 아세토페논, 2,2'-디클로로-4-페녹시 아세토페논, 2-메틸-1-(4-(메틸티오)페닐)-2-모폴리노프로판-1-온, 2- 벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온 등이 있다.
상기 벤조페논계 화합물로는 벤조페논, 벤조일 안식향산, 벤조일 안식향산 메틸, 4-페닐 벤조페논, 히드록시 벤조페논, 아크릴화 벤조페논, 3,3'-디메틸-2-메톡시 벤조페논, 4,4'-디클로로 벤조페논, 4,4'-비스(디메틸아미노) 벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노) 벤조페논 등이 있다.
상기 티오크산톤계 화합물로는 티오크산톤, 2-메틸 티오크산톤, 이소프로필 티오크산톤, 2,4-디에틸 티오크산톤, 2,4-디이소프로필 티오크산톤, 2-클로로 티오크산톤 등이 있다.
상기 벤조인계 화합물로는 벤조인, 벤조인 메틸에테르, 벤조인 에틸에테르, 벤조인 이소프로필에테르, 벤조인 이소부틸에테르, 벤질디메틸케탈 등이 있다.
상기 광중합 개시제로는 상기 열거한 화합물 이외에도, 카바졸계 화합물, 디케톤계 화합물, 설포늄 보레이트계 화합물, 디아조계 화합물 등을 사용할 수 있다.
상기 광중합 개시제는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.1 내지 10 중량%, 또는 1 내지 5 중량%로 사용될 수 있다. 광중합 개시제의 함량이 상기의 범위일 때, 라디칼의 감도가 좋고, 용액의 색 농도가 적절히 유지되며, 미반응 개시제로 인한 투과율을 저하를 막을 수 있다.
[D] 흑색 혼합 안료
상기 흑색 혼합 안료는 오렌지(orange) : 블루(blue) : 바이올렛(violet) 안료를 20 내지 45 : 20 내지 45 : 5 내지 20의 중량비로 포함하여 흑색화된 것이다.
상기 오렌지 안료의 예로는, 무기 안료로서 크롬 또는 몰리브데늄 오렌지를 들 수 있으며, 유기 안료로서 불용성 아조(azo)계 안료, 페리논(perinone)계 안료 등을 들 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 오렌지 5, 13, 16, 21, 34, 36, 43, 51, 55, 59, 60, 61, 64, 68, 71, 73 등을 들 수 있다. 특히, 오렌지 64, 71 및 73을 사용하는 것이 좋다.
상기 블루 안료의 예로는, 금속 프탈로시아닌(phthalocyanine)계 안료, 비금속 프탈로시아닌계 안료, 인단트론계 안료, 인도 페놀계 안료 등을 들 수 있다. 구체적으로는 동 프탈로시아닌, 클로로 동 프탈로시아닌, 클로로 알루미늄 프탈로시아닌, 티타닐 프탈로시아닌, 바나진산 프탈로시아닌, 마그네슘 프탈로시아닌, 아연 프탈로시아닌, 철 프탈로시아닌, 코발트 프탈로시아닌 등의 프탈로시아닌 금속 착체나 등을 들 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 블루 15, 16, 15:3, 15:4, 15:6, 60 등을 들 수 있다. 특히, 블루 15:6, 15:4 및 16을 사용하는 것이 좋다.
상기 바이올렛 안료의 예로는, 디옥사진 바이올렛, 퍼스트 바이올렛 B, 메틸 바이올렛레이크, 인단트렌 브릴리언트 바이올렛 등을 들 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 바이올렛 19, 23, 29, 32, 36, 38 등을 들 수 있다. 특히, 바이올렛 23, 32 및 36을 사용하는 것이 좋다.
상기 흑색 혼합 안료는 광학 밀도가 막 두께 3.0 ㎛에서 4.0 이상이 구현되 는 조합으로, 상기한 오렌지, 블루 및 바이올렛 이외에도 레드(red), 옐로우(yellow), 그린(green), 시아닌(cyanine), 마젠타(magenta) 등을 더욱 포함할 수 있다.
레드 안료의 예로는, 페릴렌계 안료, 안트라퀴논(anthraquinone)계 안료, 디안트라퀴논계 안료, 아조(azo)계 안료, 디아조(diazo)계 안료, 퀴나크리돈(quinacridone)계 안료, 안트라센(anthracene)계 안료 등을 들 수 있고, 구체적으로는 페릴렌 안료, 퀴나크리돈 안료, 나프톨(naphthol) AS, 시코민 안료, 안트라퀴논(anthraquinone)(sudan I, II, III, R), 디안트라퀴노닐레이트 비스 아조(bis azo), 벤조피란 등을 들 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 레드 177, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 220, 224, 226, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265 등을 들 수 있다.
옐로우 안료의 예로는, 테트라 클로로 이소인돌리논(tetra chloro isoindolinone)계 안료, 한자이로(Hansa)계 안료, 벤지딘 옐로우(benzidine yellow)계 안료, 아조(azo)계 안료 등을 들 수 있다. 구체적으로는 한자 옐로우(hansa yellow)(10G, 5G, 3G, G, GR, A, RN, R), 벤지딘(benzidine)(G, GR), 크롬 옐로우(chrome yellow), 퍼머넌트 옐로우(permanent yellow)(FGL, H10G, HR), 안트라센 등을 들 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 옐로우 83, 128, 138, 139, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 168, 175, 185 등을 들 수 있다.
그린 안료의 예로는, 할로겐화 프탈로시아닌계 안료 등을 들 수 있다. 구체 적으로는 폴리클로로 동 프탈로시아닌, 폴리클로로브로모 프탈로시아닌(phthalocyanine) 등을 들 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 그린 7, 36 등을 들 수 있다.
시아닌 안료의 예로는, 무금속 프탈로시아닌, 메로시아닌(merocyanine) 등을 들 수 있다.
마젠타 안료의 예로는, 디메틸 퀴나크리돈(dimethyl quinacridone), 티오 인디고(thio indigo) 등을 들 수 있다.
상기 흑색 혼합 안료에는 아닐린 블랙, 흑색 무기 안료 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 흑색 안료를 더 포함할 수 있다. 구체적인 컬러 인덱스 명칭으로는 C.I. 피그먼트 블랙 1, 7 등을 들 수 있다.
상기 흑색 무기 안료로는 산화크롬, 산화철, 티탄블랙(titan black) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것이다.
상기 안료는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 1 내지 25 중량%, 또는 5 내지 15 중량%로 포함된다. 안료의 함량이 상기 범위일 때, 광학밀도가 높고, 현상성 등과 같은 공정성이 좋으며, 포토 스페이서의 압축 변위, 탄성 회복률, 파괴 강도 등이 적합하다.
또한, 상기 흑색 혼합 안료는 분산제 및 용제 등을 포함하는 안료 분산액으로 제조된 후, 상기 흑색 감광성 수지 조성물에 투입될 수 있고, 안료와 분산제를 함께 흑색 감광성 수지 조성물 제조 시 첨가하여 사용할 수도 있다.
[E] 용제
상기 용제는 상기 카도계 바인더 수지인 공중합체 및 다른 구성 성분 물질들과 상용성을 갖되, 반응하지 않는 것들이 바람직하게 이용된다.
이러한 용제로서 예를 들면, 메탄올, 에탄올 등의 알코올류; 디클로로에틸 에테르, n-부틸 에테르, 디이소아밀 에테르, 메틸페닐 에테르, 테트라히드로퓨란 등의 에테르류; 에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜 에테르류; 메틸 셀로솔브 아세테이트, 에틸 셀로솔브 히드록시 초산 에틸, 2-히드록시-3-메틸 부탄산 메틸 등의 에스테르류; 피루빈산 에틸 등의 케톤산 에스테르류 등의 화합물이 있으며, 또한 N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드, N-메틸포름아닐라드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸술폭시드, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세트닐아세톤, 이소포론, 카프론산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 벤질알코올, 초산 벤질, 안식향산 에틸, 옥살산 디에틸, 말레인산 디에틸, γ-부티로락톤, 탄산 에틸렌, 탄산 프로필렌, 페닐 셀로솔브 아세테이트 등의 고비점 용제를 들 수 있다.
이들 용제 중에서 상용성 및 반응성 등을 고려한다면, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르 등의 글리콜 에테르류; 에틸 셀로솔브 아세테이트 등의 에틸렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 2-히드록시 프로피온산 에틸 등의 에스테르류; 디에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르 등의 디에틸렌 글리콜류; 프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 프로필에테르 아세테이트 등의 프로필렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류가 매우 적합하다.
상기 용제는 흑색 감광성 수지 조성물에 대하여 잔부량으로 포함되며, 70 내지 95 중량%로 포함될 수 있다. 용제의 함량이 상기 범위로 포함될 경우 적절한 점도를 가짐에 따라 공정성이 우수하다.
[F] 기타 첨가제
상기 흑색 감광성 수지 조성물은 기판과의 접착성을 향상시키기 위하여 카르복실기, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 반응성 치환기를 갖는 실란 커플링제를 포함할 수 있다.
상기 실란 커플링제의 구체적인 예로는, 트리메톡시실릴 벤조산, γ-메타크릴 옥시프로필 트리메톡시실란, 비닐 트리아세톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, γ-이소시아네이트 프로필 트리에톡시실란, γ-글리시독시 프로필 트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있으며, 이들을 단독 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다.
상기 실란 커플링제의 함량은 상기 카도계 바인더 수지 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부를 사용할 수 있다.
또한, 상기 흑색 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 코팅성 향상 및 결점 생성 방지 효과를 위하여 계면 활성제를 포함할 수도 있으며, 불소계 계면 활성제, 실리콘계 계면 활성제 등을 사용할 수 있다.
특히 상기 계면 활성제의 구체적인 예로는, BM-1000®, BM-1100®(BM Chemie 사 제품), 메카 팩 F 142D®, 동 F 172®, 동 F 173®, 동 F 183®(다이 닛폰 잉키 가가꾸 고교(주) 제품), 프로라드 FC-135®, 동 FC-170C®, 동 FC-430®, 동 FC-431®(스미토모 스리엠(주) 제품), 사프론 S-112®, 동 S-113®, 동 S-131®, 동 S-141®, 동 S-145®(아사히 그라스(주) 제품), SH-28PA®, 동-190®, 동-193®, SZ-6032®, SF-8428®(도레이 실리콘(주) 제품) 등의 명칭으로 시판되고 있는 불소계 계면 활성제를 사용할 수 있다.
상기 계면 활성제의 함량은 카도계 바인더 수지 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부를 사용할 수 있고, 계면 활성제가 상기의 범위로 포함될 때, 코팅 균일성이 확보되고, 얼룩이 발생하지 않으며, 유리 기판에 대한 웨팅(wetting)성이 좋다.
상기 흑색 감광성 수지 조성물은 안료 성분이 용제 중에 균일하게 분산되도록 분산제를 더욱 포함할 수 있다.
상기 분산제로는 비이온성, 음이온성, 양이온성 및 이들의 조합이 사용 가능하고, 폴리알킬렌글리콜 및 이의 에스테르, 폴리옥시알킬렌, 다가알콜 에스테르 알킬렌옥사이드 부가물, 알콜알킬렌옥사이드 부가물, 술폰산 에스테르, 술폰산염, 카르복실산에스테르, 카르복실산염, 알킬아미드 알킬렌옥사이드 부가물, 알킬아민 등이 사용될 수 있다.
상기 분산제의 구체적인 예로는, BYK社의 DISPERBYK-101, DISPERBYK-130, DISPERBYK-140, DISPERBYK-160, DISPERBYK-161, DISPERBYK-162, DISPERBYK-163, DISPERBYK-164, DISPERBYK-165, DISPERBYK-166, DISPERBYK-170, DISPERBYK-171, DISPERBYK-182, DISPERBYK-2000 및 DISPERBYK-2001; EFKA 케미칼社의 EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA-48, EFKA-49, EFKA-100, EFKA-400 및 EFKA-450; Zeneka社의 Solsperse 5000, Solsperse 12000, Solsperse 13240, Solsperse 13940, Solsperse 17000, Solsperse 20000, Solsperse 24000GR, Solsperse 27000 및 Solsperse 28000; 및 Ajinomoto사의 PB711 및 PB821이 있다.
상기 분산제는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.1 내지 15 중량%로 포함될 수 있고, 분산제가 상기의 범위로 포함될 때, 분산성이 좋고, 안정하며, 현상성이 우수하여 패턴 형상이 좋다.
상기 흑색 감광성 수지 조성물에는 물성을 저해하지 않는 범위 내에서 산화방지제, 안정제 등의 기타의 첨가제가 일정량 첨가될 수도 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 차광층은, 상기 본 발명의 일 측면예 따르면 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 것이다.
상기 차광층의 제조 방법은 다음과 같다.
(1) 도포 및 도막 형성 단계
상기 흑색 감광성 수지 조성물을 소정의 전처리를 한 기판상에 스핀 또는 슬릿 코트법, 롤 코트법, 스크린 인쇄법, 어플리케이터법 등의 방법을 사용하여 원하는 두께, 예를 들어 2 내지 2.5 ㎛의 두께로 도포한 후, 70 내지 90 ℃의 온도에서 1 내지 10 분 동안 가열하여 용제를 제거함으로써 도막을 형성한다.
상기 형성된 도막은 5 이하, 또는 4 이하의 유전율을 가지는 것이며, 유절율이 작을수록 좋다. 상기 도막의 유전율이 5를 초과하는 경우, 포토 스페이서를 구현할 때 비정상적인 액정의 구동을 유발할 수 있으며, 또한 박막트랜지스터(TFT)와 같은 인근 회로의 정상적인 구동을 간섭할 우려가 있다.
또한, 상기 도막은 3 ㎛의 두께에서 4.0 이상의 광학 밀도를 가지는 것이며, 광학밀도가 클수록 좋다. 상기 도막의 광학 밀도가 3 ㎛의 두께에서 4.0 이상일 때, 하부의 빛이 새어 나올 우려가 없다.
(2) 노광 단계
상기 얻어진 도막에 필요한 패턴 형성을 위해 소정 형태의 마스크를 개재한 뒤, 200 내지 500 nm의 활성선을 조사한다. 조사에 사용되는 광원으로는 저압 수은등, 고압 수은등, 초고압 수은등, 금속 할로겐화물 램프, 아르곤 가스 레이저 등을 사용할 수 있으며, 경우에 따라 X선, 전자선 등도 이용할 수 있다.
노광량은 상기 흑색 감광성 수지 조성물 각 성분의 종류, 배합량 및 건조 막 두께에 따라 다르지만, 고압 수은등을 사용하는 경우에는 500 mJ/cm2(365 nm 센서에 의함) 이하이다.
(3) 현상 단계
상기 현상 방법으로는 상기 노광 단계에 이어 알칼리성 수용액을 현상액으로 이용하여 불필요한 부분을 용해, 제거함으로써 노광 부분만을 잔존시켜 패턴을 형 성시킨다.
(4) 후처리 단계
상기 공정에서 현상에 의해 수득된 화상 패턴을 내열성, 내광성, 밀착성, 내크랙성, 내화학성, 고강도, 저장 안정성 등의 면에서 우수한 패턴을 얻기 위해, 다시 가열하거나 활성선 조사 등을 행하여 경화시킬 수 있다.
이하 실시예를 통하여 상술한 본 발명의 일 측면 및 다른 측면을 더욱 상세하게 설명한다. 다만, 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것이며, 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니다.
[실시예 1]
하기 표 1과 같은 조성을 가지는 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
성분 함량(g)
[A] 카도계
바인더 수지
하기 [A-1], [A-2], [A-3]의 공중합체
[A-1] 9,9'-비스(4-히드록시페닐)플루오렌
[A-2] 에피클로로히드린
[A-3] 아크릴산
([A-1]:[A-2]:[A-3]=1:2:2의 몰비, Mw: 5,000)
15
[B] 반응성
불포화 화합물
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 2.5
[C] 광개시제 IGR 369 (시바-가이기사 제품) 1
[D] 용제 프로필렌글리콜 메틸에테르아세테이트 51.5
[E] 안료 분산액
(안료 고형분:30 %)
흑색화된 혼합 안료(C.I. 피그먼트)
([오렌지 64]:[블루15:6]:[바이올렛 23]
=43:43:14(중량비)
25
프로필렌글리콜 메틸에테르아세테이트
[F] 기타 첨가제 γ-글리시독시 프로필 트리메톡시실란
(S-510, Chisso)
5
[실시예 2]
상기 실시예 1에서 안료 분산액 25 g 및 용제 51.5 g을 대신하여 안료 분산액 35 g 및 용제 41.5 g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
[실시예 3]
상기 실시예 1에서 안료 분산액 25 g 및 용제 51.5 g을 대신하여 안료 분산액 45 g 및 용제 31.5 g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
[실시예 4]
상기 실시예 1에서 (안료 분산액 내의 안료 고형분 30 %인) 흑색화된 혼합 안료 30 %를 대신하여 상기 흑색화된 혼합 안료 25 % 및 무기 흑색 안료인 Ti-Black 5 %을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
[비교예 1]
상기 실시예 2에서 안료 분산액 35 g을 대신하여 안료 분산액 32 g 및 카본 블랙 3 g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 2와 동일한 방법으로 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
[비교예 2]
상기 실시예 2에서 흑색화된 혼합 안료의 조성을 C.I. 피그먼트 [오렌지 64]:[블루15:6]:[바이올렛 23]=43:43:14(중량비) 대신에 C.I. 피그먼트 [오렌지64]:[블루 15:6]:[바이올렛 23]=30:50:20을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 2와 동일한 방법으로 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
[비교예 3]
상기 실시예 2에서 흑색화된 혼합 안료의 조성을 C.I. 피그먼트 [오렌지 64]:[블루15:6]:[바이올렛 23]=43:43:14(중량비) 대신에 C.I. 피그먼트 [레드 254]:[블루 15:6]:[옐로우 139]:[바이올렛 23]=24:38:24:14를 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 2와 동일한 방법으로 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
[물성 평가 1: 광학밀도(optical density; OD)]
두께 0.7 mm의 유리 기판상에 상기 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 3의 감광성 수지 조성물을 도포하고, 90 ℃의 핫 플레이트(hot plate) 위에서 2.5 분 동안 건조시켜 3 ㎛ 두께의 도막을 수득하였다. 이것을 상온까지 식힌 후, 230 ℃의 열풍순환식 건조로 안에서 30 분 동안 건조시킨 뒤, 도막의 광학 밀도를 310TR 광학밀도계(엑스라이트社)를 이용하여 측정하였다. 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
<평가 기준>
○ : 광학 밀도가 4.0 이상
△ : 광학 밀도가 2.5 이상 4.0 미만
X : 광학 밀도가 2.5 미만
[물성 평가 2: 패턴 형성성]
상기 물성 평가 1에서 수득한 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 3의 도막에 패턴 마스크를 이용하여 파장 365 nm의 빛을 100 mJ/cm2 조사하였다. 수산화칼륨이 1 중량%로 희석된 수용액으로 23 ℃에서 1 분 동안 현상한 후, 순수로 1 분 동안 세정하였다. 이러한 방법으로 얻어진 패턴을 220 ℃ 오븐에서 30 분 동안 가열하여 경화시킨 후, 광학 현미경을 이용하여 육안으로 패턴의 형상을 관찰하였다. 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
<평가 기준>
○ : 10 ㎛ 패턴의 형성성이 좋음
△ : 10 ㎛ 패턴의 형성성이 나쁨
X : 10 ㎛ 패턴의 형성이 안 됨
[물성 평가 3: 유전율]
상기 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 3에 따라 제조된 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 차광층을 제조하였다. 이때 하부 기판은 ITO(indium tin oxide) 글라스를 사용하였으며, 이 하부 기판의 일부에는 차광층을 형성하고 다른 일부에는 ITO 면을 노출시켜 하부 기판을 형성하였다. 제조된 시편의 상부에 금(Au) 전극을 스퍼터링한 뒤, LCR Meter 측정 장치를 사용하여 전기 용량(capacitance) 값을 측정한 후 유전율 값을 계산하였다. 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
[물성 평가 4: 압축 변위 및 탄성 회복률]
유리 기판상에 스핀 코터를 이용하여 상기 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 3의 흑색 감광성 수지 조성물을 도포한 후, 90 ℃로 2.5 분 동안 건조하여 도막을 형성하였다. 이렇게 얻어진 도막에 패턴 마스크를 이용하고, 365 ㎚의 파장의 빛을 100 mJ/㎠ 조사하였다. 이어서 수산화칼륨이 1 중량%가 희석된 수용액으로 23 ℃에서 1 분간 현상한 뒤, 순수로 1 분간 세정하였다. 이러한 조작에 의하여 불필요한 부분을 제거하고 스페이서 패턴을 형성하였다. 상기 형성된 스페이서 패턴을 오븐에서 220 ℃로 30 분간 가열하여 경화시켜 최종적으로 칼럼 스페이서 패턴을 얻었다.
상기 흑색 감광성 수지 조성물로부터 형성된 패턴의 두께(T)가 3.5(±0.2) ㎛이고 패턴의 폭(W)이 35(±1) ㎛인 스페이서를 만들어, 이것의 기계적 물성 즉, 압축 변위와 탄성 회복률을 측정하기 위한 기본 모형을 정하였다. 압축 변위 및 파괴 강도의 측정 기기는 미소경도기(독일의 피셔社 H-100)를 사용하였으며, 측정 조건은 다음과 같다.
패턴을 누르는 압자로는 직경 50 ㎛ 평면 압자를 사용하였으며, 측정 원리는 하중 부가-제거(Load-unload) 방법으로 진행하였다. 시험 하중 부여 기준치는 5 gf이고 부하 속도는 0.45 gf/sec, 보전 시간(holding time)은 3 초로 일정하게 진행하였다. 이하 도 1 및 도 2를 참조하여 상기 흑색 감광성 수지 조성물로 형성되는 칼럼 스페이서의 압축 변위와 탄성 회복률을 설명하기로 한다. 도 1을 참조하면, 패턴 공정에 의해 형성된 스페이서(20)는 일정한 두께(T)를 가지고 있다(S0). 상기 스페이서에 예컨대 어레이 기판과 같은 다른 기판을 합착하면, 상기 스페이서의 두께는 압착에 의하여 감소한다(상태 S1). 이때 압축 변위는 도 2의 그래프에 나타낸 바와 같이 일정 힘을 주었을 때 패턴이 들어간 길이(D1)를 의미한다. 또한, 상기 압착력(F)을 제거하면, 상기 스페이서의 두께는 복원력에 의해 증가한다(S2). 이때 스페이서의 두께와 압착하지 않은 스페이서의 최초 두께와의 차이는 D2로 표시되어 있다.
탄성 회복률은 다음과 같은 개념으로 나타낼 수 있다. 도 2에 나타난 바와 같이 일정 힘을 주었을 때 들어간 길이(D1)에 대해 회복된 거리(D1-D2)의 비율을 의미한다. 이상을 정리하면 다음과 같다. 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
압축 변위 = D1(㎛)
탄성 회복률 = {(D1-D2)X100}/D1
<평가 기준>
○ : 압축 변위 0.5 ㎛ 이상, 회복률 85 % 이상
X : 압축 변위 0.5 ㎛ 미만, 회복률 85 % 미만
실시예 광학 밀도 패턴 형성성 유전율 압축 변위
[㎛]
탄성 회복률
[%]
실시예 1 3.8
실시예 2 3.8
실시예 3 3.7
실시예 4 4.0
비교예 1 7.5 X
비교예 2 3.8 X
비교예 3 3.7 X
상기 표 2에서는 보는 바와 같이, 실시예 1 내지 4는 광학 밀도, 패턴 형성성 및 유전율이 모두 우수한 결과를 나타냄을 알 수 있으나, 비교예 1은 패턴 형성성이 실시예 1 내지 4에 비하여 떨어지고, 유전율은 7 이상으로 스페이서로서 사용이 불가능한 상태이다. 차광층으로 이용하기 위해서는 광학 밀도, 패턴 형성성 및 유전율의 물성을 모두 만족하여야 한다. 또한, 비교예 2 및 3의 경우 실시예 1 내지 4에 비해 광학 밀도가 상대적으로 낮아지고 패턴의 형성이 좋지 않으며, 이로 인해 스페이서 특성 중 압축 변위가 낮아지는 문제가 발생했다. 비교예 2의 경우에는 압축 변위가 큰 상태로 패턴의 구현되어 탄성 회복률이 낮아지는 결과가 나타났다. 이로부터 실시예 1 내지 4에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 비교예 1 내지 3에 비하여 차광층에 적합한 우수한 물성 및 스페이서로서도 우수한 특성을 가짐을 알 수 있다.
도 1 및 도 2는 압축 변위 및 탄성 회복률을 설명하기 위한 도면이다.

Claims (9)

  1. [A] 카도계 바인더 수지 0.5 내지 20 중량%;
    [B] 반응성 불포화 화합물 1 내지 20 중량%;
    [C] 광중합 개시제 0.1 내지 10 중량%;
    [D] 흑색 혼합 안료 1 내지 25 중량%; 및
    [E] 용제 잔부량을 포함하고,
    상기 [D] 흑색 혼합 안료는,
    오렌지(orange) : 블루(blue) : 바이올렛(violet) 안료를 20 내지 45 : 20 내지 45 : 5 내지 20의 중량비로 포함하여 흑색화된 것인
    흑색 감광성 수지 조성물.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 [A] 카도계 바인더 수지는 하기 화학식 1 내지 3으로 표시되는 단량체의 공중합체인 것인 흑색 감광성 수지 조성물.
    [화학식 1]
    Figure 112009055544242-PAT00008
    [화학식 2]
    Figure 112009055544242-PAT00009
    (상기 화학식 2에서,
    R1은 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이고,
    X는 할로겐원자이다.)
    [화학식 3]
    Figure 112009055544242-PAT00010
    (상기 화학식 3에서,
    R2는 수소원자, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 2 내지 10의 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴알킬렌기 및 탄소수 1 내지 8의 알콕실렌기로 이루어진 군에서 선택되는 기이다.)
  3. 제2항에 있어서,
    상기 카도계 바인더 수지는,
    상기 화학식 1 : 화학식 2 : 화학식 3이 1 : 2 내지 4 : 2 내지 8의 몰비로 공중합된 것인 흑색 감광성 수지 조성물.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 카도계 바인더 수지의 중량평균분자량은 1,000 내지 20,000 g/mol인 것인 흑색 감광성 수지 조성물.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 흑색 감광성 수지 조성물은,
    아닐린 블랙, 흑색 무기 안료 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 흑색 안료를 상기 흑색 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.05 내지 25 중량%로 더 포함하는 것인 흑색 감광성 수지 조성물.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 흑색 무기 안료는 산화크롬, 산화철, 티탄 블랙 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 흑색 감광성 수지 조성물.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 차광층.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 차광층은 5 이하의 유전율을 가지는 도막을 포함하는 것인 차광층.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 차광층은 3 ㎛의 두께에서 4.0 이상의 광학밀도(OD)를 가지는 것인 차광층.
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