KR20110021114A - 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션에 관한 것으로서, 다수개의 기판이 탑재된 보트가 안착되는 보트거치대 및 상기 보트거치대를 이송하는 이송유닛으로 구성하되, 상기 이송유닛은 상기 보트거치대를 승강시키는 헤드부와 상기 헤드부를 지지하는 지지프레임 및 상기 지지프레임을 전,후 방향으로 수평 이동시키는 수평이송부재로 구성하여 기판의 로딩과 언로딩을 위한 구동 메카니즘을 콤팩트한 설계와 배치를 통해 설비 비용의 절감은 물론 유지 보수가 용이하도록 하고, 또한 상기 보트를 안정적으로 로딩/언로딩 시킴으로써 공정 불량을 최소화시킬 수 있을 뿐 아니라, 공정 자동화에 따른 공정 효율의 향상을 확보할 수 있는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션에 관한 것이다.
기판, 태양전지, 이송유닛

Description

태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션{Loader station of diffusion apparatus for manufacturing solar cell}
본 발명은 태양전지 제조용 확산장치에 구비되는 로더 스테이션에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 다수개의 기판이 탑재된 보트가 안착되는 보트거치대를 전,후,상,하 방향으로 자동 이송시킬 수 있는 이송유닛을 구비함으로써, 기판의 로딩과 언로딩을 위한 구동 메카니즘을 콤팩트하게 구성하여 설비 비용의 절감은 물론 상기 기판의 안정적인 로딩/언로딩을 통해 공정 효율을 향상시킬 수 있는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션에 관한 것이다.
일반적으로 태양전지(Solar Cell)는 빛 에너지를 직접 전기 에너지로 변환하는 반도체 소자의 하나로서, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)를 가공하여 전자(electron)와 정공(hole)이 각각 구비되는 다른 극성의 N(negative)형 반도체 및 P(positive)형 반도체를 접합시키고 전극을 형성함으로써, P-N접합에 의한 태양광 발전의 원리를 이용하여 빛 에너지에 의한 전자의 이동을 통해 전기 에너지를 생산하게 되는 광전지이다.
상기와 같은 태양전지는 전력 생산을 위해 다수개의 모듈(module)과 태양전지 패널(panel)로 구성되는 태양전지 어레이(array)의 가장 최소 단위의 기본 소자로서, 다결정(poly crystal) 및 단결정(single crystal) 실리콘 태양전지 또는 비정질 실리콘 태양전지와 같은 실리콘계 태양전지와 화합물 반도체 태양전지 등으로 크게 분류된다.
실리콘계 태양전지는 실리콘을 성장시켜 하나의 실리콘 덩어리를 형성하는 잉곳(ingot)을 대략 200㎛의 얇은 두께로 절단하여 기판(웨이퍼)을 제조한 후, 이 기판을 여러 가공 공정을 통해 처리함으로써 제작되게 된다.
일반적으로 태양전지 제조공정은 상기와 같이 제조된 기판의 광 흡수율을 높이기 위한 텍스처링공정(Texturing,표면조직화공정), P-N접합을 형성시키는 확산공정(도핑공정), 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 산화막 제거공정, 광반사 손실을 줄이기 위한 반사 방지막 코팅공정, 전후면 전극 인쇄공정, 및 P-N접합 분리를 위한 P-N접합 분리공정 등으로 이루어진다.
상기 제조공정 중 확산(도핑)공정은 극성이 다른 N형 반도체 층과 P형 반도체 층으로 구성된 P-N접합을 형성하기 위해 의도적으로 첨가물을 고온에서 P형 실리콘 기판에 확산시켜 P층과 N층을 적층 형성하는 단계이다.
즉 P-N접합은 POCl3 또는 H3PO4와 같은 N형 불순물의 첨가물을 고온에서 P형 반도체 상에 확산시켜 P형 반도체의 외주면에 소정 두께의 N형 반도체를 형성함으로써 이루어진다.
이때 N형 반도체 층은 에미터(emitter)로 작용하게 되며, 추후 전극 인쇄공정에서 전극이 인쇄되는 부분이다.
이러한 확산 공정은 벨트 타입의 인라인 방식과 카세트 튜브 방식으로 분류된다.
여기서 카세트 튜브 방식은 고온의 분위기를 형성하는 확산튜브 내에 다수개의 기판이 탑재된 보트를 투입하고 밀폐시킨 후, 확산튜브 내에 불순물 이온이 첨가된 반응가스를 분사하여 기판에 P-N접합을 형성하는 것이다.
이때 작업자는 보트가 놓여진 보트거치대를 전,후 방향으로 슬라이딩시켜 기판을 로딩 또는 언로딩시키거나 또는 별도로 구비되는 복잡한 구조의 기판 투입장치를 사용하여 기판을 투입하게 되는 것이다.
그러나 상기와 같은 투입방식은 다음과 같은 문제점들이 있었다.
첫째, 작업자가 보트거치대를 슬라이딩시켜 투입하는 경우에는 공정 자동화가 미흡하여 공정 효율이 저하되는 문제점이 있었고, 둘째, 다수개의 파이프 등으로 구성된 복잡한 구조의 보트거치대와 별도로 구비되는 복잡한 구조의 투입장치를 사용함으로써, 설비 비용의 증가는 물론 유지 보수 또한 용이하지 않은 문제점이 있었으며, 셋째, 보트거치대의 기울기 조절수단이 없어 보트거치대의 처짐 등에 의한 변형 등에 대처할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 첫째, 보트거치대를 이송하는 이송유닛의 구조를 단순화하는 것은 물론 기판의 로딩과 언로딩을 위한 자동화 구동 메카니즘의 콤팩트한 설계와 배치를 통해 최소의 설비 비용으로 공정 자동화를 실현할 수 있게 하고, 둘째, 이송유닛의 각 구성부분이 용이하게 착탈 가능하도록 단순 구조로 형성됨으로써, 설비의 유지 보수가 용이하도록 하며, 셋째, 보트거치대의 기울기 조정을 위한 각도조절부를 구비하여 보트를 안정적으로 로딩 또는 언로딩시킬 수 있는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다수개의 기판이 탑재된 보트가 안착되는 보트거치대 및 상기 보트거치대를 이송하는 이송유닛으로 구성된 로더스테이션에 있어서,
상기 이송유닛은 상기 보트거치대의 후단부에 결합되어 보트거치대를 승강시키는 헤드부와, 상기 헤드부를 지지하는 지지프레임, 및 상기 지지프레임을 전,후 방향으로 수평 이동시키는 수평이송부재로 구성하되,
상기 헤드부는 상기 보트거치대의 후단부가 고정 결합되는 상부지지플레이트와, 상기 상부지지플레이트가 상,하 방향으로 슬라이딩 가능하도록 상부지지플레이 트에 관통 결합되는 다수개의 가이드샤프트가 구비된 하부지지플레이트, 및 상기 상부지지플레이트를 승강시키는 구동실린더를 포함하여 구성된다.
또한 상기 헤드부의 상부지지플레이트에는 상기 보트거치대 후단부의 기울기를 조정하여 보트거치대의 경사각 조절이 가능하도록 각도조절부를 더 구비하되,
상기 각도조절부는 상기 보트거치대의 후단부가 고정되는 일정 길이의 각도조절판과, 상기 각도조절판의 일단부를 회동 지지하는 힌지부, 및 상기 각도조절판의 타단부에 결합되어 상기 각도조절판의 지지 위치를 상,하 방향으로 조정할 수 있게 설치되는 조정구를 포함하여 구성된다.
이때 상기 조정구는 상기 각도조절판에 관통 결합되는 샤프트와 상기 각도조절판의 상,하부면을 지지할 수 있게 상기 샤프트에 나사 결합되는 한 쌍의 조절노브로 구성될 수 있다.
한편 본 발명의 상기 수평이송부재는 베이스프레임과, 상기 베이스프레임에 이격 설치되어 상기 지지프레임의 수평 이동을 가이드하는 가이드레일, 및 상기 지지프레임을 수평 이동시키는 이송부로 구성하되,
상기 이송부는 상기 지지프레임의 일측에 결합되는 벨트체결구와, 상기 벨트체결구가 일측에 결합되는 이송벨트 및 상기 이송벨트를 수평 방향으로 순환 이동시키는 구동모터를 포함하여 구성된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 보트거치대를 이송하여 기판을 로딩/ 언로딩시키는 구동 메카니즘의 콤팩트한 구조를 통해 공정 자동화는 물론 설비 비용과 유지 보수 비용을 절감할 수 있어 기판의 생산성 향상의 효과가 있을 뿐 아니라, 각도조절부를 이용하여 보트거치대의 기울기 조정이 가능하게 됨으로써, 보트의 안정적인 로딩 또는 언로딩이 가능하여 공정 불량을 최소화시킬 수 있는 효과가 있다.
이하 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 로더 스테이션(80)이 장착된 태양전지 제조용 확산장치의 사시도를 나타낸 것이다.
도시된 바와 같이, 확산장치는 메인하우징(100)과 오토셔터부(110) 및 로더 스테이션(80)으로 구성된다.
메인하우징(10)은 전체 확산공정을 콘트롤하는 제어부와 파워공급부 등이 설치되는 것으로서, 내부 일측에는 실리콘 웨이퍼(이하 '기판'이라 함)(300) 표면에 에미터층을 형성하는 확산공정을 수행하는 확산유닛(130)이 설치된다.
여기서 확산공정은 P형 실리콘 웨이퍼에 N형 불순물(POCl3 또는 H3PO4 )을 고온에서 확산(도핑)시킴으로써, P형 실리콘 웨이퍼 외주면 전체에 N형 실리콘 웨이퍼가 적층(에미터층)된 P-N접합 구조의 기판(300)을 형성하는 것이다.
한편 오토셔터부(110)는 확산유닛(130)의 기판투입구를 자동 개폐시키는 것 으로서, 메인하우징(100)의 일측면에 설치하되, 본 발명의 로더 스테이션(80)의 작동과 간섭이 발생되지 않도록 개폐판이 횡 방향과 전,후 방향으로 이동 가능하도록 설치된다.
본 발명의 로더 스테이션(80)은 다수개의 기판(300)(1장~200장)이 탑재된 보트(200)를 확산유닛(130)에 구비되는 확산튜브 내에 자동적으로 투입 또는 인출하는 작업을 수행하여 기판(300)을 확산튜브 내에 로딩 또는 언로딩 시키는 것으로서, 확산유닛(130)에 대응되게 마주보도록 설치되는 것이다.
이때 로더 스테이션(80)은 메인하우징(100)의 일측에 일정 높이로 구비되는 로더스테이션 프레임(120)에 수평 방향으로 설치될 수 있을 것이다.
이하 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 로더 스테이션(80)을 상세히 설명한다.
도 2는 로더 스테이션(80)의 사시도를 나타낸 것이고, 도 3은 로더 스테이션(80)의 부분 사시도를 나타낸 것이며, 도 4는 본 발명의 각도조절부(30)의 부분 분해사시도를 나타낸 것이고, 도 5는 헤드부(20)의 측면도를 나타낸 것이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 로더 스테이션(80)은 보트거치대(10)와 이송유닛(70)으로 구성된다.
보트거치대(10)는 다수개의 기판(300)이 탑재된 보트(200)가 안착되는 부분으로서, 수평 방향으로 설치되며, 지지파이프(11)와 보트지지바(15)로 구성된다.
지지파이프(11)는 일정 길이의 원통형으로 형성되며, 후단부는 이송유닛(70)에 고정 결합되고, 선단부는 보트지지바(15)의 후단에 고정 결합된다.
이때 보트지지바(15)는 일정 길이의 반원형으로 형성되어 보트(200)의 하측면의 양측부를 안정적으로 지지할 수 있게 형성된다.
여기서 보트지지바(15)는 확산유닛(130)의 내부가 확산(도핑) 공정 수행을 위하여 850℃~940℃ 정도의 고온을 유지하게 되므로, 이러한 고온을 견딜 수 있는 석영 소재로 형성된다.
한편 지지파이프(11)와 보트지지바(15)의 결합은 열 융착이나 용접 가공으로 수행되거나 또는 별도의 고정브래킷(도시하지 않음)을 이용하여 서로 체결시킬 수도 있을 것이다.
한편 이송유닛(70)은 보트거치대(10)를 상,하,전,후 방향으로 이송시키는 것으로서, 헤드부(20)와 지지프레임(40) 및 수평이송부재(50)로 구성된다.
이때 헤드부(20)는 보트거치대(10)의 후단부에 결합되어 보트거치대(10)를 승강시키는 것으로서, 상부지지플레이트(21)와 하부지지플레이트(25) 및 구동실린더(28)로 구성된다.
상부지지플레이트(21)는 원활한 승강 작동을 위하여 부쉬(22)가 모서리부에 각각 관통 설치되고, 하부지지플레이트(25)는 부쉬(22)에 삽입되어 관통 설치될 수 있도록 가이드샤프트(26)가 부쉬(22)에 대응되게 기립 설치된다.
이때 부쉬(22)는 안정적인 슬라이딩 작동을 위해 볼 부쉬가 사용되는 것이 바람직하다.
따라서 상부지지플레이트(21)는 부쉬(22)가 가이드샤프트(26)에 슬라이딩 가능하게 각각 외삽됨으로써, 승강 작동이 가능하게 되는 것이다.
한편 하부지지플레이트(25)의 하측부에는 구동실린더(28)가 설치되며, 피스톤은 하부지지플레이트(25)를 관통하여 단부가 상부지지플레이트(21)에 고정된다.
구동실린더(28)는 공압 실린더가 사용될 수 있을 것이다.
따라서 상부지지플레이트(21)는 구동실린더(28)의 작동에 의해 피스톤이 상,하 방향으로 승강될 때, 이에 연동되어 동일한 방향으로 승강 작동을 하게 되는 것이다.
상부지지플레이트(21)와 하부지지플레이트(25)는 사각 형상의 판재 형태로 구비될 수 있다
한편 보트거치대(10)는 상부지지플레이트(21)에 직접 고정될 수 있으나, 하기에서 설명하는 각도조절부(30)가 상부지지플레이트(21) 상부면에 구비되는 경우에는 각도조절부(30)에 고정될 수 있을 것이다.
각도조절부(30)는 상부지지플레이트(21) 상부에 설치되어 보트거치대(10)의 기울기를 조정하기 위한 것으로서, 도 3에 도시된 바와 같이, 각도조절판(31)과 힌지부(36) 및 조정구(35)로 구성된다.
각도조절판(31)은 판재 형태로 구성되며, 상부면에는 보트거치대(10)의 지지파이프(11)가 안착될 수 있게 안착판(34)이 설치될 수 있다.
이때 안착판(34)은 상부면에 지지파이프(11)의 외주면과 동일한 원호면이 형성된다.
따라서 지지파이프(11)는 안착판(34)에 하측면이 밀착된 상태에서 복수개의 고정벨트(12)를 이용하여 고정될 수 있을 것이다.
한편 상부지지플레이트(21)의 후단부에는 힌지부(36)가 설치되고, 힌지부(36)의 힌지축(36a)(도5에 도시함)에는 안착판(34)의 후단부가 힌지 결합된다.
따라서 각도조절판(31)은 힌지축(36a)을 기준으로 회동할 수 있게 되는 것이다.
또한 힌지부(36)의 반대편 위치에 해당하는 각도조절판(31)의 전단부에는 조정구(35)가 결합될 수 있게 일측이 개방된 장공(31a)이 관통 형성된다.
조정구(35)는 도 3,4에 도시된 바와 같이, 하단부가 상부지지플레이트(21)에 결합되어 기립 설치되는 나사축(33)과 한 쌍의 조절노브(32)로 구성된다.
조절노브(32)는 나사축(33)에 나사 결합됨으로써, 회전에 의해 상,하 방향으로 이동 가능하게 설치된다.
따라서 나사축(33)은 각도조절판(31)의 장공(31a)에 삽입 설치되고, 조절노브(32)는 각도조절판(31)의 상측면과 하측면을 지지할 수 있도록 나사축(33)에 나사 결합됨으로써, 각도조절판(31)을 고정시키게 되는 것이다.
이때 각도조절판(31)의 기울기는 조절노브(32)를 각각 회전시켜 나사축(33)에서의 조절노브(32)의 결합 높이를 조정함으로써, 각도조절판(31)이 힌지부(36)를 기준으로 회동되어 일정 각도로 기울어진 상태로 고정되도록 하여 조정될 수 있는 것이다.
따라서 보트거치대(10)는 각도조절판(31)의 기울기에 대응되게 일정 각도로 기울어진 상태로 고정되어 자체 변형이나 처짐을 보상하는 방향으로 결합 가능하여 보트(200)의 안정적인 투입과 인출이 가능하게 되는 것이다.
따라서 이송유닛(70)의 헤드부(20)는 보트거치대(10)를 승강시키는 것은 물론 기울기 또한 조정할 수 있게 되는 것이다.
한편 지지프레임(40)은 헤드부(20)를 지지하는 것으로서, 가이드블록(41)과 한 쌍의 지지대(45)로 구성된다.
가이드블록(41)은 헤드부(20)에 인접되어 기립 설치되는 것으로서, 일측면은 하기에서 설명하는 한 쌍의 가이드레일(52)에 각각 설치되는 슬라이드 블록(도시하지 않음)에 결합되어 슬라이딩 가능하게 설치됨으로써, 수평 이송 가능하도록 구비된다.
이때 지지대(45)는 가이드블록(40)으로부터 일정 길이 연장되도록 복수개가 돌출 형성되며, 돌출된 지지대(45)의 상부면에는 헤드부(20)의 하부지지플레이트(25)의 하측면이 결합된다.
따라서 지지프레임(40)은 헤드부(20)를 지지함과 동시에 수평 이동 가능하게 됨으로써, 보트거치대(10)를 전,후 방향으로 수평 이동시키게 되는 것이다.
한편 수평이송부재(50)는 지지프레임(40)을 수평 방향으로 슬라이딩 시키는 것으로서, 베이스프레임(51)과 가이드레일(52)및 이송부(60)로 구성된다.
베이스프레임(51)은 지지프레임(40)에 결합되는 한 쌍의 가이드레일(52)이 상,하 방향으로 이격되어 수평 설치되는 부분으로서, 일정 두께와 길이를 가지는 판재 형상으로 구비된다.
이때 베이스프레임(51)과 가이드레일(52)은 보트거치대(10)의 수평 이동거리를 고려하여 적정 길이로 형성될 수 있을 것이다.
가이드레일(52)은 지지프레임(40)의 안정적이고 원활한 슬라이딩을 위하여 LM(Linear Motion)가이드가 사용되는 것이 바람직하다.
한편 이송부(60)는 지지프레임(40)을 수평 이동시키는 구동력을 발생시키는 부분으로서, 벨트체결구(42)와 이송벨트(55) 및 구동모터(58)로 구성된다.
벨트체결구(42)는 하측부가 지지프레임(40)의 상부에 고정 결합되며, 상측부에는 이송벨트(55)가 결합된다.
벨트체결구(42)는 일측면에 이송벨트(55)가 밀착 고정되도록 고정브래킷을 나사 결합시켜 고정시킴으로써, 이송벨트(55)와 일체로 이송되어 지지프레임(40)을 수평 이동시키게 되는 것이다.
한편 이송벨트(55)는 베이스프레임(51)의 상부 양측에 서로 마주보도록 각각 설치되는 풀리(56,57)에 결합되고, 풀리(56,57)는 가이드레일(52)의 상측부 베이스프레임(51)에 결합되어 이송벨트(55)가 가이드레일(52)과 평행하게 수평 설치되도록 위치한다.
이때 구동모터(58)는 풀리(56,57)를 회전시켜 이송벨트(55)가 순환 이송되도록 일측 풀리(56)에 결합된다.
이송벨트(55)는 정확하고 신뢰성이 있는 수평 이송을 위하여 타이밍 벨트 등이 사용되는 것이 바람직하다.
따라서 구동모터(58)는 풀리(56)를 회전시켜 이송벨트(55)를 이송시킴과 동시에 지지프레임(40)을 수평 이동시키게 되는 것이다.
한편 상,하부지지플레이트(21,25), 각도조절부(30), 지지프레임(40), 베이스 프레임(51) 등은 중량이 적게 나가는 알루미늄 소재가 사용되는 것이 바람직하다.
이하 본 발명의 작동과정을 설명한다.
먼저 도 2에 도시된 바와 같이, 헤드부(20)는 상부지지플레이트(21)의 승강 작동을 통해 보트거치대(10)를 적정 높이에 위치시키게 되고, 보트거치대(10)의 보트지지바(15) 상부에는 다수개의 기판(300)이 탑재된 보트(200)가 안착된다.
이때 확산유닛(130)이 개방되면 구동모터(58)는 이송벨트(55)를 회전시킴과 동시에 지지프레임(40)을 가이드레일(52)을 따라 이송시키게 되고, 이때 지지프레임(40)에 결합된 헤드부(20) 또한 수평 이동하게 됨으로써, 보트거치대(10)를 확산유닛(130)에 투입시키게 되는 것이다.
보트거치대(10)가 확산유닛(130) 내부에 투입되면, 헤드부(20)의 상부지지플레이트(21)는 하강하여 보트거치대(10)의 보트(200)가 확산유닛(130)에 내부에 안착되게 한 후, 구동모터(58)가 역회전함으로써 헤드부(20)를 후퇴시켜 원위치시키게 되는 것이다.
따라서 본 발명은 보트거치대(10)를 이송하는 이송유닛(70)의 구조가 단순하여 기판(300)의 로딩과 언로딩을 위한 구동 메카니즘을 최소의 설비 비용으로 구현할 수 있어 공정 자동화의 실현은 물론 유지 보수가 용이하고, 또한 유지 보수 비용 또한 절감할 수 있을 뿐 아니라, 각도조절부(30)에 의해 보트거치대(10)의 기울기 조정이 가능하여 보트(200)를 보다 안정적으로 로딩 또는 언로딩시킬 수 있게 되는 것이다.
이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불 과하므로 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 로더 스테이션이 장착된 태양전지 제조용 확산장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션의 사시도,
도 3은 도 2의 로더 스테이션의 부분 사시도,
도 4는 본 발명의 각도조절부의 부분 분해사시도,
도 5는 본 발명의 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션의 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 보트거치대 11 : 지지파이프
12 : 고정벨트 15 : 보트지지바
20 : 헤드부 21 : 상부지지플레이트
22 : 부쉬 25 : 하부지지플레이트
26 : 가이드샤프트 28 : 구동실린더
30 : 각도조절부 31 : 각도조절판
31a : 장공 32 : 조절노브
33 : 나사축 34 : 안착부
35 : 조정구 36 : 힌지부
36a : 힌지축 40 : 지지프레임
41 : 가이드블록 42 : 벨트체결구
45 : 지지대 50 : 수평이송부재
51 : 베이스프레임 52 : 가이드레일
55 :이송벨트 56,57 : 풀리
58 : 구동모터 60 : 이송부
70 : 이송유닛 80 : 로더 스테이션
100 : 메인하우징 110 : 오토셔터부
120 : 로더스테이션 프레임

Claims (4)

  1. 다수개의 기판이 탑재된 보트가 안착되는 보트거치대 및 상기 보트거치대를 이송하는 이송유닛으로 구성된 태양전지 제조용 확산장치의 로더스테이션에 있어서,
    상기 이송유닛은,
    상기 보트거치대의 후단부에 결합되어 보트거치대를 승강시키는 헤드부와, 상기 헤드부를 지지하는 지지프레임, 및 상기 지지프레임을 전,후 방향으로 수평 이동시키는 수평이송부재로 구성하되,
    상기 헤드부는,
    상기 보트거치대의 후단부가 고정 결합되는 상부지지플레이트;
    상기 상부지지플레이트가 상,하 방향으로 슬라이딩 가능하도록 상부지지플레이트에 관통 결합되는 다수개의 가이드샤프트가 구비된 하부지지플레이트; 및
    상기 상부지지플레이트를 승강시키는 구동실린더;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 헤드부의 상부지지플레이트에는 상기 보트거치대 후단부의 기울기를 조정하여 보트거치대의 경사각 조절이 가능하도록 각도조절부를 더 구비하되,
    상기 각도조절부는,
    상기 보트거치대의 후단부가 고정되는 일정 길이의 각도조절판;
    상기 각도조절판의 일단부를 회동 지지하는 힌지부; 및
    상기 각도조절판의 타단부에 결합되어 상기 각도조절판의 지지 위치를 상,하 방향으로 조정할 수 있게 설치되는 조정구;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 조정구는 상기 각도조절판에 관통 결합되는 샤프트와 상기 각도조절판의 상,하부면을 지지할 수 있게 상기 샤프트에 나사 결합되는 한 쌍의 조절노브로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수평이송부재는,
    베이스프레임과, 상기 베이스프레임에 이격 설치되어 상기 지지프레임의 수평 이동을 가이드하는 가이드레일, 및 상기 지지프레임을 수평 이동시키는 이송부로 구성하되,
    상기 이송부는,
    상기 지지프레임의 일측에 결합되는 벨트체결구;
    상기 벨트체결구가 일측에 결합되는 이송벨트; 및
    상기 이송벨트를 수평 방향으로 순환 이동시키는 구동모터;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산장치의 로더 스테이션.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111816734A (zh) * 2020-09-01 2020-10-23 朱立卫 一种光伏电池板组装用装框机
CN114769963A (zh) * 2022-05-12 2022-07-22 湖州学院 一种太阳能电池硅片扩散用的炉管内支架焊接设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4008815A (en) 1975-04-14 1977-02-22 Applied Materials, Inc. Reactor loading apparatus
JPS5862489A (ja) * 1981-10-07 1983-04-13 株式会社日立製作所 ソフトランデイング装置
KR20000033769A (ko) * 1998-11-25 2000-06-15 윤종용 확산설비의 보트 출입 자동화 장치
KR100930970B1 (ko) * 2007-10-30 2009-12-10 (주)피앤테크 반도체 웨이퍼용 소형 열처리 장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111816734A (zh) * 2020-09-01 2020-10-23 朱立卫 一种光伏电池板组装用装框机
CN111816734B (zh) * 2020-09-01 2021-09-17 江莉 一种光伏电池板组装用装框机
CN114769963A (zh) * 2022-05-12 2022-07-22 湖州学院 一种太阳能电池硅片扩散用的炉管内支架焊接设备
CN114769963B (zh) * 2022-05-12 2023-08-08 湖州师范学院 一种太阳能电池硅片扩散用的炉管内支架焊接设备

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