KR20110020403A - 평판 유리 표면 이물질 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- A면 및 B면 양면을 갖는 평판 유리 표면에 부착된 이물질을 검사하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치에 있어서,상기 평판 유리 A면으로부터 조사되어 일부가 두께 방향으로 굴절되면서 평판 유리 B면으로 투과하는 레이저광을 조사하는 레이저광 조사부;상기 레이저광 조사부에서 조사된 레이저광이 상기 평판 유리의 A면을 조사하는 지점을 촬영하는 A면 촬영 장치;상기 레이저광 조사부에서 조사된 레이저광이 상기 평판 유리의 B면을 조사하는 지점을 촬영하는 B면 촬영 장치; 및상기 A면 촬영 장치 및 상기 B면 촬영 장치로부터 입력되는 영상 이미지를 분석하여 이물질이 어느 촬영 장치에서 더 선명하게 출력되는지 여부를 판단하여 상기 이물질이 부착된 면을 인식하는 검출 신호 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 레이저광 조사부에서 조사되는 레이저광은 상기 평판 유리 A면의 법선과 일정한 각도를 이루면서 상기 평판 유리에 비스듬히 입사되도록 하는 것을 특징으로 하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 레이저광 조사부에서 조사된 레이저광이 상기 평판 유리의 A면을 조사하는 지점을 a라 하고, 상기 레이저광 조사부에서 조사된 레이저광이 상기 평판 유리의 B면을 조사하는 지점을 b라 할 때, a점과 b점 사이의 선분 길이가 각각 a점 및 b점에서 상기 평판 유리 A면에 투영된 지점간의 수평 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 A면 촬영 장치는 상기 평판 유리 A면의 법선 방향에서 상기 평판 유리 A면을 촬영하도록 설치되고, 상기 B면 촬영 장치는 상기 A면 촬영 장치와 일정 각도로 기울어진 방향에서 상기 평판 유리 B면을 촬영하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 A면 촬영 장치는 상기 선분 ab와 수직되는 방향에서 상기 평판 유리 A면을 촬영하도록 설치되고, 상기 B면 촬영 장치는 상기 선분 ab와 수직되는 방향에 서 상기 평판 유리 B면을 촬영하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치.
- 제 5항에 있어서,상기 A면 촬영 장치는 상기 평판 유리 A면 상부 영역에 설치되고, 상기 B면 촬영 장치는 상기 평판 유리 B면 상부 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 유리 표면 이물질 검사 장치.
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JPS56115944A (en) * | 1980-02-18 | 1981-09-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Detection device of panel plate defect |
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2009
- 2009-08-24 KR KR1020090078004A patent/KR101103347B1/ko active IP Right Grant
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