KR20110015804A - Air feeding device for air knife - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An air supplying apparatus for an air-knife is provided to be easily installed by including air supplying blocks and air supplying line connecting the lateral sides of the air supplying blocks. CONSTITUTION: An air supplying block(10) includes an air supplying hole which is located at the upper side of an air-knife. The air supplying block includes a case(11), an air supplying port(12), and a first sealing material(13). The air supplying hole is arranged at the corresponding position of the air supplying port. The first sealing material seals a space between the air supplying port and the air supplying hole. A plurality of connection pipes(20) connects air supplying blocks. An air supplying line supplies air to at least one connection pipe.

Description

에어나이프의 공기공급장치{Air feeding device for air knife}Air Knife for Air Knife {Air feeding device for air knife}

본 발명은 에어나이프의 공기공급장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 기판을 세정한 후 건조하는데 사용하는 에어나이프에 공기를 공급하는 에어나이프의 공기공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air supply device for an air knife, and more particularly, to an air supply device for an air knife for supplying air to an air knife used for cleaning and drying a large area substrate.

일반적으로 평판 디스플레이 제조에 사용되는 대형의 유리기판은 세정수를 이용하여 세정한 후 빠르게 건조를 하지 않으면 그 세정수에 의한 물얼룩이 유리기판 상에 남아 이후의 제조과정에서 결함으로 작용하게 된다.In general, large glass substrates used in the manufacture of flat panel displays do not dry quickly after being washed with washing water, and water stains caused by the washing water remain on the glass substrate to act as defects in subsequent manufacturing processes.

이와 같은 대면적의 기판을 건조시키기 위하여 그 기판에 CDA(Clean dry air)를 분사하는 에어나이프를 사용하고 있으며, 그 에어나이프는 상부에 다수의 공기 공급포트가 마련되고, 하부측에 마련된 슬릿형의 노즐을 통해 상기 공기 공급포트를 통해 공급된 공기를 분사하는 구조를 가지고 있다.In order to dry such a large-area substrate, an air knife for injecting clean dry air (CDA) is used on the substrate, and the air knife is provided with a plurality of air supply ports on the upper side and a slit type provided on the lower side. It has a structure for injecting the air supplied through the air supply port through the nozzle of.

종래 에어나이프는 공기 공급포트 각각에 공기를 공급하기 위하여 파이프형 의 공급관을 사용하였으며, 이와 같은 종래 에어나이프의 공기공급장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Conventional air knife used a pipe-type supply pipe to supply air to each of the air supply port, described in detail with reference to the accompanying drawings, such as the air supply of the conventional air knife.

도 1은 종래 에어나이프의 공기공급장치의 분리 구성도이다.1 is a separate configuration diagram of an air supply apparatus of a conventional air knife.

도 1을 참조하면 종래 에어나이프의 공기공급장치는, 에어나이프(1)의 상부측에 다수로 마련된 공기공급구(2) 각각에 회전결합되는 파이프형 공급포트(3)들과, 외부에서 CDA가 공급되는 공기공급관(4)과, 상기 공기공급관(4)에 소정간격으로 결합되어 상기 파이프형 공급포트(3) 각각에 공기를 공급하는 분기관(5)으로 구성된다.Referring to FIG. 1, an air supply apparatus of a conventional air knife includes pipe-type supply ports 3 rotatably coupled to each of the air supply ports 2 provided on the upper side of the air knife 1, and CDA from the outside. It is composed of an air supply pipe 4 is supplied with a branch pipe 5 is coupled to the air supply pipe 4 at a predetermined interval to supply air to each of the pipe-type supply port (3).

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 에어나이프의 공기공급장치의 구성 및 작용과 그 구성에 따른 문제점을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the conventional air knife air supply device configured as described above and the problems according to the configuration will be described in more detail.

먼저, 에어나이프(1)는 상부에 다수의 공기공급구(2)가 마련되어 있다. 상기 공기공급구(2)를 다수로 마련한 이유는 에어나이프(1)에서 기판으로 분사되는 공기의 균일성을 확보하기 위한 것이다.First, the air knife 1 is provided with a plurality of air supply port (2) at the top. The reason why the plurality of air supply ports 2 are provided is to ensure uniformity of air injected from the air knife 1 to the substrate.

상기 공기공급구(2)는 파이프형 공급포트(3)들이 회전하면서 체결될 수 있도록 그 파이프형 공급포트(3)의 일단에 마련된 나사산과 치합되는 나사골이 가공되어 있다.The air supply port (2) has a screw bone is engaged with the thread provided on one end of the pipe-type supply port (3) so that the pipe-type supply port (3) can be rotated.

즉, 상기 파이프형 공급포트(3)들은 나사를 체결하는 것과 같이 그 공기공급구(2)에 일단을 회전시켜 체결하는 방식이다. 따라서 다수의 공급포트(3)들을 다수의 공기공급구(2) 각각에 수작업으로 체결하였다. That is, the pipe-type supply ports 3 are fastened by rotating one end to the air supply port 2 such as to fasten a screw. Therefore, the plurality of supply ports 3 are manually fastened to each of the plurality of air supply ports 2.

상기 파이프형 공급포트(3)를 통해 에어나이프(1)에 공기를 공급하기 위해서 건조실 외부에서부터 삽입되는 공기공급관(4)으로부터 분기되는 상기 파이프형 공급포트(3)와 동수의 분기관(6)과 그 파이프형 공급포트(3)를 각각 연결하여 사용하게 된다.The same number of branch pipes 6 as the pipe-type supply port 3 branched from the air supply pipe 4 inserted from the outside of the drying chamber to supply air to the air knife 1 through the pipe-type supply port 3. And the pipe-type supply port 3 are connected to each other.

이와 같은 구조의 종래 에어나이프의 공기공급장치는 파이프형 공급포트(3)를 상기 공기공급구(2)에 결합할 때 그 파이프형 공급포트(3)들의 입구측이 모두 동일한 방향으로 위치해야 상기 분기관(6)들과의 연결이 용이하게 된다.The air supply device of the conventional air knife having such a structure requires that the inlet side of the pipe-type supply ports 3 are all located in the same direction when the pipe-type supply port 3 is coupled to the air supply port 2. The connection with the branch pipes 6 becomes easy.

그러나 상기 공기공급구(2) 또는 파이프형 공급포트(3)의 나사가공시 오차에 의하여 공기공급구(2)에 파이프형 공급포트(3)를 완전하게 결합시킨 경우 그 입구측의 방향이 다른 파이프형 공급포트(3)들과는 다른 방향이 될 수 있다.However, when the pipe-type supply port 3 is completely coupled to the air supply port 2 due to an error in the screwing of the air supply port 2 or the pipe-type supply port 3, the direction of the inlet side is different. It may be in a different direction than the pipe-type supply ports 3.

이와 같이 입구측의 방향이 다른 파이프형 공급포트(3)는 체결상태를 풀어 느슨한 상태로 다른 파이프형 공급포트(3)들과 방향을 일치시킨 상태로 분기관(6)을 연결하게 된다.As described above, the pipe-type supply port 3 having a different direction on the inlet side loosens the fastening state and connects the branch pipe 6 in a state in which the pipe-type supply port 3 is aligned with the other pipe-type supply ports 3 in a loose state.

따라서 고압의 공기가 그 파이프형 공급포트(3)와 공기공급구(2)의 결합부분 에서 누설될 수 있으며, 이는 기판에 분사되는 공기의 압력이 저하되거나 공기의 불균일한 분사의 원인이 되는 문제점이 있었다.Therefore, high-pressure air may leak from the joint portion of the pipe-type supply port 3 and the air supply port 2, which may cause a decrease in the pressure of the air injected into the substrate or cause uneven injection of the air. There was this.

또한 각 파이프형 공급포트(3)들을 가공하여 제조해야 하기 때문에 제품의 생산비용이 상대적으로 많이 소요되는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that the production cost of the product is relatively high because each pipe-type supply port (3) to be manufactured by processing.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 방향성을 가지지 않으며 간단한 구조를 사용하여 공기의 누설없이 에어나이프에 공기를 공급할 수 있는 에어나이프의 공기공급장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention in view of the above problems is to provide an air-knife air supply apparatus that can supply air to the air knife without leakage of air by using a simple structure having no directionality.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 에어나이프의 공기공급장치는, 에어나이프의 상면에 다수로 마련된 공기공급구와 대향하는 공기공급공이 저면에 마련되어 상기 에어나이프의 상면에 결합되는 다수의 공기공급블록과, 상기 공기공급블록들 각각을 상호 연결하여 공기의 이동이 가능하도록 하는 다수의 연결관과, 상기 다수의 연결관 중 적어도 하나의 연결관에 공기를 공급하는 공기공급라인을 포함한다.Air supply device of the present invention air knife for solving the above problems, a plurality of air supply block is provided on the bottom of the air supply hole facing the air supply port provided on the upper surface of the air knife is coupled to the upper surface of the air knife And a plurality of connecting pipes connecting the air supply blocks to each other to allow movement of air, and an air supply line supplying air to at least one of the plurality of connecting pipes.

본 발명은 에어나이프의 공기공급구의 상부측에서 그 에어나이프에 체결되는 공기공급블록들과, 각 공기공급블록들의 측면을 상호 연결하는 공기공급라인으로 구성하여, 공기공급장치의 구성을 보다 단순화할 수 있어 용이하게 설치가 가능하며 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.The present invention consists of air supply blocks fastened to the air knife at the upper side of the air supply port of the air knife, and air supply lines interconnecting the sides of each air supply block, thereby simplifying the configuration of the air supply device. Can be easily installed and has the effect of reducing the manufacturing cost.

또한 본 발명은 에어나이프에 공기를 공급할 때 방향성이 특정되지 않기 때 문에 설치가 용이하며, 공기의 누설을 방지하여 에어나이프에서 분사되는 공기의 압력과 균일도에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is easy to install because the direction is not specified when supplying air to the air knife, it is effective to improve the reliability of the pressure and uniformity of the air injected from the air knife by preventing the leakage of air have.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention configured as described above in detail.

도 2는 본 발명 에어나이프의 공기공급장치의 구성도이고, 도 3은 도 2에서 공기공급블록의 상세 단면 구성도이고, 도 4는 본 발명의 설치상태도이다.2 is a configuration diagram of an air supply device of the present invention air knife, Figure 3 is a detailed cross-sectional configuration diagram of the air supply block in Figure 2, Figure 4 is an installation state diagram of the present invention.

도 2 내지 도 3을 각각 참조하면 본 발명 에어나이프의 공기공급장치는, 에어나이프(40)의 상면에 다수로 마련된 공기공급구(41)와 대향하는 공기공급공(12)이 저면에 마련되어 상기 에어나이프(40)의 상면에 볼트(16)로 결합되는 다수의 공기공급블록(10)들과, 상기 공기공급블록(10)들 각각을 상호 연결하는 다수의 연결관(20)과, 상기 다수의 연결관(20) 중 적어도 하나의 연결관(20)에 공기를 공급하는 공기공급라인(30)을 포함하여 구성된다.2 to 3, the air supply device of the present invention air knife, the air supply hole 12 facing the air supply port 41 provided in a plurality on the upper surface of the air knife 40 is provided on the bottom A plurality of air supply blocks 10 coupled to the upper surface of the air knife 40 by bolts 16, a plurality of connection pipes 20 interconnecting each of the air supply blocks 10, and the plurality of air supply blocks 10. It comprises an air supply line 30 for supplying air to at least one of the connection pipe 20 of the connection pipe (20).

상기 공기공급블록(10)은 중공된 케이스(11)와, 상기 케이스(11)의 저면에 마련되어 상기 공기공급구(41)에 대응하는 위치에 마련된 공기공급공(12)과, 상기 공기공급공(12)과 공기공급구(41)의 사이를 실링하는 제1실링기재(13)와, 상기 케이스(11)의 마주하는 두 측면에 마련되어 상기 연결관(20)이 결합되는 관연결공(14)과, 상기 관연결공(14)과 연결관(20)의 사이를 실링하는 제2실링기재(15)와, 상기 케이스(11)의 상면으로부터 삽입입되어 상기 케이스(11)를 상기 에어나이프(40)의 상면에 체결하는 다수의 볼트(16)를 포함한다.The air supply block 10 has a hollow case 11, an air supply hole 12 provided at a bottom surface of the case 11 and provided at a position corresponding to the air supply port 41, and the air supply hole. The first sealing base 13 for sealing between the 12 and the air supply port 41, and the pipe connection hole 14 is provided on two opposite sides of the case 11 to which the connecting pipe 20 is coupled. ), A second sealing substrate 15 sealing between the pipe connection hole 14 and the connection pipe 20, and an upper surface of the case 11 to insert the case 11 into the air knife. A plurality of bolts 16 to fasten to the upper surface of the 40.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 에어나이프의 공기공급장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the air supply device of the present invention air knife configured as described above in more detail.

먼저, 본 발명 에어나이프의 공기공급장치는 에어나이프에 설치가 용이한 상태로 모듈화된다.First, the air supply device of the present invention air knife is modularized in an easy installation state to the air knife.

즉, 연결관(20)이 결합된 두 공기공급블록(10)에 마련된 공기공급공(12) 사이의 중심간 거리는, 상기 에어나이프(40)에 다수로 마련된 공기공급구(41) 사이의 중심간 거리와 동일하게 제작된 것이다.That is, the distance between the centers between the air supply holes 12 provided in the two air supply blocks 10 to which the connection pipe 20 is coupled is the center between the air supply holes 41 provided in the air knife 40. It is made equal to the distance between.

상기 연결관(20)과 관연결공(14)은 상호 나사결합되며, 그 연결관(20)과 관연결공(14) 사이에서 공기의 누설을 방지하는 제2실링기재(15)가 삽입된 상태로 결합된다.The connecting pipe 20 and the pipe connecting hole 14 are mutually screwed together, the second sealing base 15 is inserted between the connecting pipe 20 and the pipe connecting hole 14 to prevent the leakage of air Combined into a state.

작업자는 공기공급블록(10)들을 상기 에어나이프(40)의 공기공급구(41)의 수만큼 연결관(20)으로 연결한 후, 그 공기공급블록(10)들과 연결관(20)들의 결합체를 공기공급공(12)과 공기공급구(41)가 일치하도록 배치한 후, 볼트(16)로 각 공기공급블록(10)들을 그 에어나이프(40) 상부에 체결하여 고정하는 것으로 설치를 완료할 수 있다.The operator connects the air supply blocks 10 to the connection pipes 20 as many as the air supply ports 41 of the air knife 40, and then the air supply blocks 10 and the connection pipes 20 of the air supply blocks 10. After arranging the assembly so that the air supply hole 12 and the air supply port 41 coincide with each other, the installation is performed by fastening each air supply block 10 to the upper part of the air knife 40 with a bolt 16. You can finish it.

상기 연결관(20)으로 연결되는 공기공급블록(10)들 중 양측 가장자리에 위치하는 두 공기공급블록(10)은 일측에만 상기 관연결공(14)을 가지는 것으로 한다.The two air supply blocks 10 positioned at both edges of the air supply blocks 10 connected to the connection pipe 20 have the pipe connection holes 14 on only one side thereof.

이와 같이 양측 가장자리에 위치하는 두 공기공급블록(10)을 다른 공기공급블록(10)들과 다른 형상으로 제조하지 않고, 모든 공기공급블록(10)들을 동일하게 관연결공(14)이 양측면에 위치하도록 제조한 후, 일측을 관연결공(14)에 캡을 씌워 막은 상태에서 사용할 수도 있다.Thus, the two air supply blocks 10 positioned at both edges are not manufactured in a different shape from the other air supply blocks 10, and all the air supply blocks 10 are identically connected to the pipe 14 in both sides. After manufacturing to position, it can also be used in a state in which one side is capped to the connection hole (14).

상기 공기공급구(41)와 공기공급공(12)의 사이에는 공기의 누설이 발생하지 않도록 제1실링기재(13)인 오형링이 위치하여 그 볼트(16)의 결합만으로 누설이 방지된 상태에서 설치를 완료할 수 있게 된다.Between the air supply port 41 and the air supply hole 12, a morph ring, which is the first sealing material 13, is positioned so that air leakage does not occur, and leakage is prevented only by coupling the bolts 16. You will be able to complete the installation.

상기 공기공급블록(10)들은 종래 파이프형 공기공급포트들과는 다르게 그 설치에 방향성을 가지지 않기 때문에 설치가 용이하며, 공기의 누설이 발생할 수 있는 구조를 가지고 있지 않으며, 설치가 용이하고 누설이 발생한 부분의 교체가 용이하다.Unlike the conventional pipe-type air supply ports, the air supply blocks 10 are easy to install because they do not have directivity in their installation, and do not have a structure in which air leakage may occur. It is easy to replace.

상기 연결관(20)들의 일부에는 외부의 공기를 공급받을 수 있는 공기공급라인(30)이 연결된다. 도 4에서는 공기공급라인(30)이 두 개 연결된 것으로 도시하였지만 필요에 따라 하나 이상의 공기공급라인(30)을 적당한 위치 또는 적당한 간격으로 설치하여 연결관(20)과 공기공급블록(10)을 통해 에어나이프(40)로 공기를 공급할 수 있게 된다.Some of the connection pipes 20 are connected to an air supply line 30 that can receive external air. In FIG. 4, two air supply lines 30 are connected, but if necessary, one or more air supply lines 30 may be installed at appropriate positions or at appropriate intervals, through the connection pipe 20 and the air supply block 10. It is possible to supply air to the air knife 40.

이와 같이 본 발명은 간단한 구조를 사용하여 설치시 방향성을 나타내지 않아 설치가 용이하고, 공기의 누설이 발생하지 않는 구조를 사용하여 에어나이프에서 분사되는 공기의 균일성을 보다 확보할 수 있게 된다.As described above, the present invention uses a simple structure and thus does not show directionality during installation, thereby making it easy to install and ensuring more uniformity of air injected from the air knife by using a structure in which air leakage does not occur.

도 1은 종래 에어나이프의 공기 공급장치의 구성도이다.1 is a configuration diagram of an air supply apparatus of a conventional air knife.

도 2는 본 발명 에어나이프의 공기 공급장치의 일실시 구성도이다.2 is a configuration diagram of an air supply device of the present invention air knife.

도 3은 본 발명에 적용되는 공기공급블록의 일부 단면 사시도이다.3 is a partial cross-sectional perspective view of an air supply block applied to the present invention.

도 4는 본 발명 에어나이프의 공기 공급장치의 설치상태도이다.4 is a state diagram of the air supply of the present invention air knife.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10:공기공급블록 11:케이스10: Air Supply Block 11: Case

12:공기공급공 13:제1실링기재12: Air supply hole 13: 1st sealing material

14:관연결공 15:제2실링기재14: pipe connection 15: second sealing material

16:볼트 20:연결관16: Bolt 20: Connector

30:공기공급라인 40:에어나이프30: Air supply line 40: Air knife

41:공기공급구41: air supply port

Claims (2)

에어나이프의 상면에 다수로 마련된 공기공급구와 대향하는 공기공급공이 저면에 마련되어 상기 에어나이프의 상면에 결합되는 다수의 공기공급블록; A plurality of air supply blocks having air supply holes facing the air supply holes provided on the upper surface of the air knife, the lower surface being coupled to the upper surface of the air knife; 상기 공기공급블록들 각각을 상호 연결하여 공기의 이동이 가능하도록 하는 다수의 연결관; 및A plurality of connecting pipes interconnecting each of the air supply blocks to enable movement of air; And 상기 다수의 연결관 중 적어도 하나의 연결관에 공기를 공급하는 공기공급라인을 포함하는 에어나이프의 공기공급장치.Air supply device of the air knife including an air supply line for supplying air to at least one of the plurality of connection pipes. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공기공급블록은,The air supply block, 중공된 케이스;Hollow case; 상기 케이스의 저면에 마련되어 상기 공기공급구에 대응하는 위치에 마련된 공기공급공;An air supply hole provided at a bottom surface of the case and provided at a position corresponding to the air supply hole; 상기 공기공급공과 공기공급구의 사이를 실링하는 제1실링기재;A first sealing material sealing between the air supply hole and the air supply hole; 상기 케이스의 마주하는 두 측면에 마련되어 상기 연결관이 결합되는 관연결공;A pipe connection hole provided at two opposite sides of the case to which the connection pipe is coupled; 상기 관연결공과 연결관의 사이를 실링하는 제2실링기재; 및A second sealing material sealing between the pipe connection hole and the connection pipe; And 상기 케이스의 상면으로부터 삽입입되어 상기 케이스를 상기 에어나이프의 상면에 체결하는 다수의 볼트를 포함하는 에어나이프의 공기공급장치.And a plurality of bolts inserted into and inserted from an upper surface of the case to fasten the case to an upper surface of the air knife.
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