KR20080054147A - Chemical spray apparatus of wet echer or wet station - Google Patents

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김경수
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Abstract

A chemical spray apparatus of a wet etcher or a wet station is provided to form uniformly pressure of chemicals between chemical injection pipes to be aligned with each other. Chemical injection pipes(210a,210b) are composed of two or more pipes to be aligned with each other. The chemical injection pipes include reception holes for receiving chemicals and injection holes(215) for injecting the chemicals. The injection holes are arranged at a predetermined interval at the chemical injection pipes. A chemical supply pipe(220) is connected in a perpendicular state to each of the chemical injection pipes. A pressure distribution pipe(230) is formed to connect the adjacent chemical injection pipes with each other. The pressure distribution pipe is made of a rubber pipe.

Description

습식 설비의 약액 분사 장치{Chemical spray apparatus of wet echer or wet station}Chemical spray apparatus of wet equipment {Chemical spray apparatus of wet echer or wet station}

도 1은 약액 분사 장치를 포함하는 습식(wet) 설비의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a wet (wet) equipment including a chemical liquid injection device.

도 2는 종래의 약액 분사 장치를 보여주는 도면이다. 2 is a view showing a conventional chemical liquid injection device.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 분배용 배관이 형성된 약액 분사 장치의 정면도이다.Figure 3 is a front view of the chemical liquid injection device is formed with a pressure distribution pipe according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 약액 분사 장치의 측면도이다. 4 is a side view of the chemical liquid injection device of FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

210: 약액 분사 파이프210: chemical injection pipe

220: 약액 공급 파이프220: chemical supply pipe

230: 압력 분배용 배관230: pressure distribution piping

240: 동력 장치240: power unit

250: 샤워헤드250: showerhead

본 발명은 습식(wet) 설비의 약액 분사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액 분사 파이프의 끝단을 각각 압력 분배용 배관을 이용하여 연결하여 약액 분사 파이프 내부의 압력을 균일하게 조성함으로써 대면적 기판에 대하여 균일하게 약액을 분사할 수 있도록 하는 습식 설비의 약액 분사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid injection device of a wet (wet) equipment, and more particularly, by connecting the ends of the chemical liquid injection pipe using a pressure distribution pipe, respectively, to create a large pressure substrate inside the chemical liquid injection pipe uniformly The present invention relates to a chemical liquid injector of a wet installation that can uniformly inject a chemical liquid.

평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)는 증착(deposition)공정, 세정(cleaning)공정, 도포(coating)공정, 식각(etching)공정 등 다양한 공정을 거쳐서 만들어진다. 이때, 이러한 단위 공정별로 해당 공정을 수행하기 위한 각각의 공정설비가 사용되는데 본 발명은 약액이 담긴 딥조에 기판을 넣어 화학적 반응에 의해 기판 표면을 처리하는 습식(wet) 설비의 약액 분사 장치에 관한 것이다. 에칭 공정과 세정 공정에서 습식 설비가 이용되고 있다. A flat panel display (FPD) is made through various processes such as a deposition process, a cleaning process, a coating process, and an etching process. At this time, the respective process equipment for performing the corresponding process for each unit process is used, the present invention relates to a chemical liquid injection device of the wet (wet) equipment for treating the surface of the substrate by a chemical reaction by putting the substrate in the dip tank containing the chemical liquid will be. Wet equipment is used in the etching process and the cleaning process.

도 1은 약액 분사 장치를 포함하는 습식(wet) 설비의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a wet (wet) equipment including a chemical liquid injection device.

공정 챔버(10) 내에 형성된 딥조(20)의 하면에 형성된 토출구(25)를 통해 펌프를 이용해 수직으로 약액(30)을 공급한다. 또한 공정 챔버(10)의 상부에 형성된 다수의 약액 분사 장치(100)를 통해서도 기판(50)을 향하여 약액(30)을 뿌리게 된다. 따라서 기판(50)이 약액(40)에 노출되어 약액(30)과의 반응에 의해 공정이 이루어진다. The chemical liquid 30 is vertically supplied using a pump through a discharge port 25 formed in the lower surface of the dip tank 20 formed in the process chamber 10. In addition, the chemical liquid 30 is sprayed toward the substrate 50 through the plurality of chemical liquid injection devices 100 formed on the process chamber 10. Therefore, the substrate 50 is exposed to the chemical liquid 40 and the process is performed by the reaction with the chemical liquid 30.

도 2는 종래의 약액 분사 장치를 보여주는 도면이다. 2 is a view showing a conventional chemical liquid injection device.

전술한 바와 같이 약액 분사 장치는 기판의 상부에서 기판을 향하여 기판의 전면적에 대해서 약액을 뿌려준다. 도면에서처럼 약액을 분사하는 약액 분사 파이 프(110)가 일정한 간격으로 정렬되어 있고, 약액 분사 파이프(110)의 측면에서 약액 공급 파이프(120)가 수직으로 각각 연결되어 있다. 약액 공급 파이프(120)를 통해 각각의 약액 분사 파이프(110)로 약액이 유입되고, 각각의 약액 분사 파이프(110)에는 일정 간격으로 분사구(115)가 형성되어 분사구(115)를 통해 기판을 향하여 약액이 분사된다. 이때, 각 약액 분사 파이프(110)의 일측에는 약액 분사 파이프(110)를 좌우로 회전시키는 동력 장치(140)가 형성될 수 있는데, 이는 약액 분사 파이프(110)가 좌우로 회전을 하면서 약액을 분사시키므로 기판의 전면적에 대하여 골고루 약액을 분사시킬 수 있다. As described above, the chemical liquid spraying device sprays the chemical liquid on the entire surface of the substrate from the top of the substrate toward the substrate. As shown in the drawing, the chemical liquid injection pipes 110 for injecting the chemical liquid are aligned at regular intervals, and the chemical liquid supply pipes 120 are vertically connected at the sides of the chemical liquid injection pipe 110, respectively. The chemical liquid is introduced into each chemical liquid injection pipe 110 through the chemical liquid supply pipe 120, and the respective chemical liquid injection pipes 110 are provided with injection holes 115 at predetermined intervals to face the substrate through the injection hole 115. Chemical liquid is injected. At this time, one side of each chemical liquid injection pipe 110 may be a power unit 140 for rotating the chemical liquid injection pipe 110 to the left and right, which is the chemical liquid injection pipe 110 to rotate the left and right to spray the chemical liquid Therefore, it is possible to spray the chemical liquid evenly over the entire surface of the substrate.

종래에는 약액 공급 파이프(120)를 통하여 정렬된 약액 분사 파이프에 순차적으로 약액이 공급됨에 따라서 처음 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(110a)와 마지막에 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(110b) 사이에는 약액 분사 파이프(110)에 공급되는 약액의 압력 차이가 발생한다. 즉, 처음 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(110a)에서 마지막으로 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(110b)로 갈수록 공급되는 압력이 작아지게 된다. Conventionally, as the chemical liquid is sequentially supplied to the chemical liquid injection pipes arranged through the chemical liquid supply pipe 120, the chemical liquid is supplied between the chemical liquid injection pipe 110a through which the chemical liquid is first supplied and the chemical liquid injection pipe 110b through which the chemical liquid is finally supplied. The pressure difference of the chemical liquid supplied to the injection pipe 110 occurs. That is, the pressure supplied from the chemical liquid injection pipe 110a to which the chemical liquid is first supplied to the chemical liquid injection pipe 110b to which the chemical liquid is finally supplied becomes small.

또한, 기판의 대형화 추세에 따라서 약액 분사 파이프(110)의 길이도 길어지게 되었는데, 약액 공급 파이프(110)로부터 약액이 공급되는 곳(118)으로부터 멀어질수록 압력이 작아지게 된다. 약액이 공급되는 곳(118)으로부터 약액 분사 파이프(110)의 끝단으로 약액이 흐르면서 분사구(115)를 통해 약액이 분사되므로 약액의 압력이 낮아지게 되는 것이다. 따라서, 각 약액 분사 파이프(110) 사이에서도 압력 차이가 발생하고, 동일한 약액 분사 파이프(110) 사이에서도 위치에 따라서 압력차이가 발생하게 된다.In addition, the length of the chemical liquid injection pipe 110 is also increased in accordance with the trend of the larger size of the substrate, the pressure becomes smaller as the distance from the chemical liquid supply pipe 110 from the place where the chemical liquid is supplied (118). The chemical liquid is injected through the injection hole 115 while the chemical liquid flows from the place where the chemical liquid is supplied 118 to the end of the chemical liquid injection pipe 110, so that the pressure of the chemical liquid is lowered. Therefore, a pressure difference also occurs between the respective chemical liquid injection pipes 110, and a pressure difference occurs depending on the position even between the same chemical liquid injection pipes 110.

특히, 각 약액 분사 파이프의 끝단에 있어서 압력 차이가 심하게 발생한다는 문제점이 있다. 따라서, 각 약액 분사 파이프(110) 사이에 있어서 압력 차이가 발생하여 분사구(115)를 통해 분사되는 약액의 압력이 달라서, 기판의 전면적에 대하여 동일한 분사 조건으로 공정을 처리할 수 없게 된다. In particular, there is a problem in that the pressure difference occurs severely at the end of each chemical injection pipe. Therefore, a pressure difference occurs between the chemical liquid injection pipes 110, and the pressure of the chemical liquid injected through the injection hole 115 is different, so that the process cannot be processed under the same injection conditions with respect to the entire area of the substrate.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 약액 분사 파이프의 끝단에 현저히 발생하는 약액의 압력 차이를 해소하여 기판의 전면적에 대하여 동일한 조건으로 약액을 분사하도록 하여 공정 처리를 할 수 있도록 하는 것이다.The present invention is designed to improve the above problems, the technical problem to be achieved by the present invention is to solve the pressure difference of the chemical liquid generated significantly at the end of the chemical liquid injection pipe to spray the chemical liquid under the same conditions for the entire surface of the substrate It is to allow the process to be processed.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 습식(wet) 설비의 약액 분사 장치는 일단에 약액이 공급되는 주입구를 가지고 상기 약액을 분사하는 분사구가 소정의 간격으로 형성된 파이프가 두 개 이상 정렬된 약액 분사 파이프; 상기 각 약액 분사 파이프에 수직으로 상기 각 주입구에 연결되어 약액을 공급하는 약액 공급 파이프; 및 이웃하는 상기 약액 분사 파이프 사이에 상기 주입구의 반대쪽 일단을 연결하는 압력 분배용 배관을 포함한다. In order to achieve the above object, the chemical liquid injection device of the wet (wet) equipment according to an embodiment of the present invention has an injection port for supplying the chemical liquid at one end and two or more pipes in which the injection hole for injecting the chemical liquid at predetermined intervals Aligned chemical injection pipes; A chemical liquid supply pipe connected to the respective injection holes perpendicular to the chemical liquid injection pipes to supply the chemical liquids; And a pressure distribution pipe connecting the opposite end of the injection hole between the adjacent chemical liquid injection pipes.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다 Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 습식 설비의 약액 분사 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for describing a chemical liquid injection device of a wet installation according to embodiments of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 분배용 배관이 형성된 약액 분사 장치의 정면도이고, 도 4는 도 3의 약액 분사 장치의 측면도이다. FIG. 3 is a front view of a chemical liquid injector having a pressure distribution pipe according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view of the chemical liquid injector of FIG. 3.

본 발명의 일 실시예에 따른 습식 설비의 약액 분사 장치는 약액 분사 파이프(210), 약액 공급 파이프(220), 압력 분배용 배관(230)을 포함하여 구성된다. 또한, 샤워헤드(250)를 더 포함할 수 있다. 또한, 동력 장치(240)를 더 포함할 수 있다. The chemical liquid injection device of the wet installation according to an embodiment of the present invention comprises a chemical liquid injection pipe 210, chemical liquid supply pipe 220, pressure distribution pipe 230. In addition, the shower head 250 may further include. In addition, the power unit 240 may further include.

약액 분사 파이프(210)는 약액 공급 파이프(220)로부터 약액을 공급 받아 기판을 향하여 아래로 약액을 분사한다. 도 3과 같이 약액 분사 파이프(210)는 기판의 전면적에 대하여 약액을 분사할 수 있도록 다수의 약액 분사 파이프(210)가 정 렬되는 구조이다. 각각의 약액 분사 파이프(210)의 일측에는 약액 공급 파이프(220)로부터 약액을 공급 받는 주입구(218)가 형성되어 있다. 그리고, 약액 분사 파이프(210)에는 약액 분사 파이프(210)의 길이 방향으로 소정의 간격으로 약액을 분사하는 분사구(215)가 형성되어 있다. 분사구(215)의 간격은 기판과 분사구(215) 사이의 거리, 정렬된 약액 분사 파이프(210)의 간격, 분사구(215)를 통해 분사되는 약액의 압력 등을 고려하려 기판의 전면적에 골고루 약액이 분사될 수 있도록 설정됨이 바람직하다. 그리고, 각 약액 분사 파이프(210)의 일측에는 약액 분사 파이프(210)를 좌우로 회전시키는 동력 장치(240)가 형성될 수 있다. The chemical liquid injection pipe 210 receives the chemical liquid from the chemical liquid supply pipe 220 and injects the chemical liquid downward toward the substrate. As shown in FIG. 3, the chemical liquid injection pipe 210 has a structure in which a plurality of chemical liquid injection pipes 210 are aligned to spray the chemical liquid with respect to the entire surface of the substrate. One side of each chemical liquid injection pipe 210 is formed with an injection port 218 receiving the chemical liquid from the chemical liquid supply pipe 220. In addition, an injection hole 215 is formed in the chemical liquid injection pipe 210 to inject the chemical liquid at predetermined intervals in the longitudinal direction of the chemical liquid injection pipe 210. The spacing of the injection hole 215 is evenly distributed over the entire surface of the substrate to take into account the distance between the substrate and the injection hole 215, the distance of the aligned chemical injection pipe 210, and the pressure of the chemical solution injected through the injection hole 215. It is preferred to be set such that it can be injected. And, one side of each chemical liquid injection pipe 210 may be a power unit 240 for rotating the chemical liquid injection pipe 210 left and right.

약액 공급 파이프(220)는 각각의 정렬된 약액 분사 파이프(210)에 약액을 공급한다. 도 3과 같이 정렬된 약액 분사 파이프(210)의 주입구(218)가 형성된 곳에 약액 분사 파이프(210)와 수직으로 연결되어 약액을 공급한다. 약액 공급 파이트(220)를 통해 유입된 약액이 처음 만나는 약액 분사 파이프(210a)로부터 마지막 약액 분사 파이프(210b)에 이르기까지 각 약액 분사 파이프(210)의 주입구(218)를 통해 약액을 공급하게 된다. The chemical liquid supply pipe 220 supplies chemical liquid to each aligned chemical liquid injection pipe 210. Where the injection port 218 of the chemical liquid injection pipe 210 aligned as shown in FIG. 3 is connected vertically with the chemical liquid injection pipe 210 to supply the chemical liquid. The chemical liquid is supplied through the inlet 218 of each chemical liquid injection pipe 210 from the chemical liquid injection pipe 210a where the chemical liquid introduced through the chemical liquid supply pipe 220 first meets to the last chemical liquid injection pipe 210b. .

압력 분배용 배관(230)은 이웃하는 약액 분사 파이프(210) 사이를 연결하여, 압력 분배용 배관(230)을 통해서 이웃하는 약액 분사 파이프(210) 사이에 약액이 흐르게 된다. 바람직하게는, 약액 분사 파이프(210)의 주입구(218)의 반대쪽 일단의 위치에 연결한다. 즉, 압력 분배용 배관(230)이 약액 분사 파이프(210)에 연결되는 지점에서, 약액의 압력이 높은 약액 분사 파이프(210)에서 약액의 압력이 낮은 약액 분사 파이프(210)로 약액이 흐르게 되는 것이다. 바람직하게는 압력 분배 용 배관(230)은 고무 파이프로 형성됨이 바람직하다. 물론 고무 파이프는 약액에 의해 부식이 되지 않는 성분으로 만들어지거나, 내부 처리가 되어야 한다. 고무 파이프뿐만 아니라 이웃하는 두 개의 약액 분사 파이프(210) 사이에 약액이 흐를 수 있도록 할 수 있다면 다양한 방법으로 압력 분배용 배관(230)을 형성할 수 있음은 물론이다. The pressure distribution pipe 230 connects between neighboring chemical liquid injection pipes 210, and the chemical liquid flows between the neighboring chemical liquid injection pipes 210 through the pressure distribution pipe 230. Preferably, it is connected to the position of the opposite end of the inlet 218 of the chemical liquid injection pipe 210. That is, at the point where the pressure distribution pipe 230 is connected to the chemical liquid injection pipe 210, the chemical liquid flows from the chemical liquid injection pipe 210 having the high pressure of the chemical liquid to the chemical liquid injection pipe 210 having the low pressure of the chemical liquid. will be. Preferably, the pressure distribution pipe 230 is preferably formed of a rubber pipe. Of course, rubber pipes must be made of components that are not corrosive to chemicals or must be internally treated. As well as the rubber pipe, if the chemical liquid can flow between two neighboring chemical injection pipes 210, the pressure distribution pipe 230 may be formed in various ways.

샤워헤드(250)는 약액 분사 파이프(210)의 분사구(215)에 형성되어 기판을 향하여 약액을 뿌려준다. 샤워헤드(250)에는 천공(미도시)이 형성되어 분사구(215)를 통해서 분사되는 약액이 천공(미도시)을 통해 분사되므로 약액을 넓게 뿌릴 수가 있다. The shower head 250 is formed at the injection hole 215 of the chemical liquid injection pipe 210 to spray the chemical liquid toward the substrate. Since the shower head 250 is formed with a perforation (not shown) and the chemical liquid injected through the injection hole 215 is sprayed through the perforation (not shown), the chemical liquid can be sprayed widely.

동력 장치(240)는 약액 분사 파이프(210)의 일측에 형성되어 약액 분사 파이프(210)를 일정한 각도로 좌우로 회전시킨다. 동력 장치(240)에 의해 약액 분사 파이프(210)가 좌우로 회전함에 따라서 약액 분사 파이프(210)의 각 분사구(215)에 형성된 샤워헤드(250)도 같이 약액 분사 파이프(210)의 회전에 따라서 좌우로 회전하게 된다. 샤워헤드(250)가 좌우로 회전함에 따라서 아래에 있는 기판의 전면적에 대하여 약액이 분사될 수 있도록 한다. The power unit 240 is formed on one side of the chemical liquid injection pipe 210 to rotate the chemical liquid injection pipe 210 from side to side at a predetermined angle. As the chemical liquid injection pipe 210 rotates from side to side by the power unit 240, the shower head 250 formed at each injection hole 215 of the chemical liquid injection pipe 210 may also be rotated according to the rotation of the chemical liquid injection pipe 210. Rotate left and right. As the shower head 250 rotates from side to side, the chemical liquid may be injected to the entire surface of the underlying substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 습식 설비의 약액 분사 장치의 작용을 설명하기로 한다. The operation of the chemical liquid injection device of the wet installation according to an embodiment of the present invention will be described.

약액 공급 파이프(220)를 통해서 약액이 공급되어 순차적으로 연결된 각 약액 분사 파이프(210)의 주입구(215)를 통하여 각 약액 분사 파이프(210)에 약액이 공급된다. 약액 공급 파이프(220)를 통하여 정렬된 약액 분사 파이프(210)에 순차 적으로 약액이 공급됨에 따라서 처음 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(210a)와 마지막에 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(210b) 사이에는 약액 분사 파이프(210) 내부 약액의 압력 차이가 발생하게 된다. 즉, 마지막에 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(210b)로 갈수록 약액의 압력이 낮아지게 된다. The chemical liquid is supplied through the chemical liquid supply pipe 220 and the chemical liquid is supplied to each chemical liquid injection pipe 210 through the injection hole 215 of each chemical liquid injection pipe 210 connected in sequence. As the chemical liquid is sequentially supplied to the chemical liquid injection pipe 210 arranged through the chemical liquid supply pipe 220, between the chemical liquid injection pipe 210a to which the first chemical liquid is supplied and the chemical liquid injection pipe 210b to which the chemical liquid is finally supplied. There is a pressure difference between the chemical liquid in the chemical liquid injection pipe 210. That is, the pressure of the chemical liquid is lowered toward the chemical liquid injection pipe 210b to which the chemical liquid is finally supplied.

그러나 본 발명에서는 정렬된 약액 분사 파이프(210) 사이에 압력 분배용 배관(230)을 형성하여 압력이 높은 약액 분사 파이프(210)에서 압력이 낮은 압력 분사 파이프(210)로 약액이 유입될 수 있도록 하여 전체 약액 분사 파이프(210)에 대하여 약액의 압력이 균일하게 조성되도록 할 수 있다. 각 이웃하는 약액 분사 파이프(210)의 끝단에 압력 분배용 배관(230)이 형성된다. 처음 약액이 유입될 때에는, 약액 공급 파이프를 통해 처음 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(210a)에서 마지막으로 약액이 공급되는 약액 분사 파이프(210b)로 갈수록 갈수록 약액의 압력이 낮아지므로 압력이 높은 약액 분사 파이프(210)에서 압력이 낮은 약액 분사 파이프(210)로 약액이 흘러 들어 기존에 압력이 높았던 약액 분사 파이프(210)의 압력은 상대적으로 낮아지고, 기존에 압력이 낮았던 약액 분사 파이프(210)의 압력은 상대적으로 높아지게 된다. 따라서, 전체적으로 약액 분사 파이프(210)에 있어서 압력이 균일하게 된다. However, in the present invention, the pressure distribution pipe 230 is formed between the aligned chemical liquid injection pipes 210 so that the chemical liquid may flow from the high pressure chemical liquid injection pipe 210 to the low pressure pressure injection pipe 210. Thus, the pressure of the chemical liquid may be uniformly formed with respect to the entire chemical liquid injection pipe 210. A pressure distribution pipe 230 is formed at the end of each neighboring chemical liquid injection pipe 210. When the first chemical liquid flows in, the pressure of the chemical liquid is gradually lowered from the chemical liquid injection pipe 210a to which the chemical liquid is first supplied through the chemical liquid supply pipe to the chemical liquid injection pipe 210b to which the chemical liquid is finally supplied. The chemical liquid flows from the pipe 210 into the chemical liquid injection pipe 210 having a low pressure, so that the pressure of the chemical liquid injection pipe 210, which has previously been high in pressure, is relatively low, and the pressure of the chemical liquid injection pipe 210, which has previously been low in pressure, is reduced. The pressure becomes relatively high. Therefore, the pressure becomes uniform in the chemical liquid injection pipe 210 as a whole.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상 기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts are included in the scope of the present invention. Should be interpreted as

상기한 바와 같은 본 발명의 습식(wet) 설비의 약액 분사 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다. According to the chemical liquid injection apparatus of the wet equipment of the present invention as described above has one or more of the following effects.

첫째, 정렬된 약액 분사 파이프 사이에 약액의 압력을 균일하게 할 수 있다는 장점이 있다. First, there is an advantage that the pressure of the chemical liquid can be made uniform between the aligned chemical liquid injection pipes.

둘째, 약액의 압력이 균일하도록 하여 각 샤워헤드를 통하여 분사되는 약액의 압력도 균일하게 되므로 대면적 기판의 전면적에 대하여 균일한 압력으로 약액을 공급할 수 있다는 장점도 있다. Second, since the pressure of the chemical liquid is made uniform so that the pressure of the chemical liquid sprayed through each shower head is also uniform, the chemical liquid can be supplied at a uniform pressure with respect to the entire area of the large-area substrate.

Claims (6)

일단에 약액이 공급되는 주입구를 가지고 상기 약액을 분사하는 분사구가 소정의 간격으로 형성된 파이프가 두 개 이상 정렬된 약액 분사 파이프;A chemical liquid injection pipe having two or more pipes each having an injection port for supplying a chemical liquid at one end thereof and having injection holes for spraying the chemical liquid at predetermined intervals; 상기 각 약액 분사 파이프에 수직으로 상기 각 주입구와 연결되어 약액을 공급하는 약액 공급 파이프; 및A chemical liquid supply pipe connected to the respective injection holes perpendicular to the chemical liquid injection pipes to supply the chemical liquids; And 이웃하는 상기 약액 분사 파이프 사이를 연결하는 압력 분배용 배관을 포함하는 약액 분사 장치.Chemical liquid injection device comprising a pressure distribution pipe connecting between the adjacent chemical liquid injection pipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압력 분배용 배관은 고무 파이프로 형성된 약액 분사 장치.The pressure distribution pipe is a chemical liquid injection device formed of a rubber pipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압력 분배용 배관은 상기 약액 분사 파이프의 주입구의 반대쪽 일단에 형성된 약액 분사 장치.The pressure distribution pipe is formed on the opposite end of the injection hole of the chemical liquid injection pipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각 주입구에 형성되고, 천공을 통하여 상기 약액을 분산하여 분사시키는 샤워헤드를 더 포함하는 약액 분사 장치.And a showerhead formed in each of the inlets and dispersing and injecting the chemical liquid through the perforations. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각 약액 분사 파이프의 일측에 형성되어 상기 약액 분사 파이프를 좌우로 회전시키는 동력장치를 더 포함하는 약액 분사 장치.And a power unit formed on one side of each chemical liquid injection pipe to rotate the chemical liquid injection pipe from side to side. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항의 약액 분사 장치를 포함하는 습식(wet) 설비. Wet equipment comprising the chemical liquid injection device according to any one of claims 1 to 5.
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