KR20110014070A - 증착 장치 - Google Patents

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KR20110014070A
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료우스케 고이시
도시아키 곤다
요시히로 다카하시
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도요 세이칸 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기존의 진공 증착 장치를 사용하는 데에도 관계없이, 용기의 증착 시간을 대폭 단축할 수 있는 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
증착 장치는, 회전축을 중심으로 하여 회전 가능한 회전체(14)를 설치하고, 회전체(14)에는 둘레 방향을 향해 증착 유닛을 복수 배치하며, 회전체(14)의 둘레부를 향하는 위치에는 마이크로파 발진기(34)를 배치하고 있다. 증착 유닛(15)의 챔버 본체(16)의 용기 공급 위치로부터 용기 증착 위치에 증착 유닛(15)이 회전 이동되는 동안에 용기(25) 안 및 처리실(24) 안을 진공 장치에 의해 예비 감압하고, 용기 증착 위치로 증착 유닛과 발진기(34)가 근접한 후에, 용기 안 및 처리실을 주로 감압하도록 하였다. 그리고, 마이크로파 발진기(34)에 의해, 용기가 증착된다.

Description

증착 장치{VAPOR DEPOSITION APPARATUS}
본 발명은, 용기에 증착막을 형성하기 위한 증착 장치에 관한 것이다.
하기의 특허문헌 1에는, 컨베이어 수단을 구비한 CVD 증착 장치가 개시되어 있다. 컨베이어 수단에는 원형상의 반송면이 설치되고, 상하 방향을 향한 회전축을 중심으로 반송면이 이동하도록 구성되어 있다. 반송면은 둘레 방향으로 4개의 영역으로 구분되고, 각 영역에는 홀더 및 코팅 설비가 설치되며, 증착되는 플라스틱병 등의 복수의 부품을 수용한 케이스가, 홀더를 통해 코팅 설비에 공급된다.
컨베이어 수단의 외부에는, 컨베이어 수단을 향해 케이스를 홀더에 공급하기 위한 공급 위치, 증착 처리 전에 코팅 설비를 감압하는 펌프가 배치되어 있는 배출(감압) 위치, 코팅 설비 안의 부품을 증착하기 위한 마이크로파를 생성하는 수단과 코팅 설비를 감압하기 위한 펌프가 배치되어 있는 코팅 위치, 및 홀더로부터 케이스를 반출하기 위한 언로딩 위치가 정해지고, 각각의 위치에는 이들의 작업을 행하기 위한 설비가 설치되어 있다.
증착 장치에 의한 작업은, 케이스의 공급 위치에서 컨베이어 수단의 홀더를 통해 코팅 설비에 케이스가 공급된 후, 컨베이어 수단을 미리 결정된 각도 회전시킨 배출 위치에서 펌프에 의해, 코팅 설비 안이 감압된다. 코팅 설비 안이 감압된 후, 컨베이어 수단을 미리 결정된 각도로 더 회전시켜, 마이크로파 생성 수단의 설치부가 구비된 코팅 위치에 케이스를 반송시킨다. 코팅 위치에서는, 펌프에 의해 코팅 설비 안이 미리 결정된 압력까지 감압된 후, 코팅 수단에 의해 부품이 코팅된다. 코팅 작업의 종료 후에는, 컨베이어 수단을 미리 결정된 각도로 더 회전시켜, 언로딩 위치에 케이스를 반송하고, 컨베이어 수단으로부터 케이스가 취출된다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2004-3027호 공보
부품을 코팅하기 위해서는, 코팅 설비 안을 미리 결정된 압력까지 감압한 후, 부품에 코팅이 실시되고, 코팅 공정에서, 시간을 많이 필요로 하는 것은, 그 감압 작업과 코팅 처리이다.
특허문헌 1의 코팅 장치는, 하나의 코팅 설비에 의해 복수의 부품을 처리하기 때문에, 코팅 설비 안의 감압 시간이 길어지고, 코팅 위치에서의 작업 시간이 요구된다. 이와 비교하여, 케이스를 컨베이어 수단에 반입, 반송하는 시간은, 감압 작업 및 코팅 처리에 비해, 단시간에 작업할 수 있다. 따라서, 케이스의 공급 위치에서는, 컨베이어 수단으로의 케이스 반송이 종료되고, 케이스의 언로딩 위치에서는, 컨베이어 수단으로부터 케이스의 반출이 종료되어 있어도, 코팅 위치에서는 감압 작업, 코팅 처리가 계속해서 행해지게 된다.
그 결과, 케이스의 공급 위치에서는, 케이스가 컨베이어 수단 위에서 대기 상태가 되어, 작업 효율에 문제가 생기고 있었다. 특히, 특허문헌 1의 코팅 장치에서는, 복수의 부품을 하나의 코팅 설비(처리실)로 행하기 때문에, 감압 시간은 더 장시간을 허비하고 있었다. 또한, 복수 부품의 코팅을 한번에 하나의 코팅 설비(처리실)로 행하기 때문에, 부품의 코팅층을 정밀도 좋게 균일화를 도모하는 것이 어렵고, 장치도 대형화하는 경향이 있다.
본 발명은, 기존의 용기 공급·취출 장치, 증착 유닛, 진공 장치, 마이크로파 발진기 등을 사용하는 데에도 관계없이, 용기에의 증착 시간을 대폭 단축하고, 장치도 대형화하지 않으며, 코팅층을 균일화할 수 있는 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 출원의 발명자는, 특허문헌 1의 코팅 장치에 있어서, 코팅 위치에서의 작업에 장시간을 허비하고 있는 것, 컨베이어 수단이 다음 단계에 반송될 때까지, 대기 시간이 있는 것에 착안하고, 본 발명의 증착 장치로는, 코팅(증착) 위치에서의 작업 시간을 대폭 단축하며, 대기 시간을 될 수 있는 한 짧게 하는 것에 의해, 작업 효율이 높은 증착 장치를 완성시켰다.
본 발명의 증착 장치는, 상기 목적을 달성하기 위해, 간헐 회전 가능한 지지대와, 이 지지대 위에 둘레 방향으로 간격을 두고 배치되고, 이 지지대의 간헐 회전에 의해 반입/반출 영역, 예비 감압 영역, 증착 영역 및 감압 해제 영역에 순차 위치하는, 개폐 가능한 처리실을 포함한 복수개의 증착 유닛과, 이 반입/반출 영역에 위치시키고 있는 이 증착 유닛의 이 처리실 안에서 박막이 증착된 피증착체를 반출하고 피증착체가 반출된 이 증착 유닛의 이 처리실 안에 박막을 증착해야 하는 피증착체를 반입하기 위한 피증착체 반입/반출 수단과, 이 예비 감압 영역에 위치하고 있는 이 증착 유닛의 이 처리실 안을 배기하여 감압 상태로 하는 예비 감압 수단과, 이 증착 영역에 위치하고 있는 이 증착 유닛의 이 처리실 안에 존재하는 피증착체에 박막을 증착시키기 위해 이 처리실 안을 배기하여 감압 상태로 하는 주감압 수단, 이 처리실 안에 박막 증착에 필요한 기체를 공급하는 기체 공급 수단 및 이 처리실 안에 전자파를 생성하기 위한 전자파 생성 수단을 포함하는 증착 수단과, 이 감압 해제 영역에 위치하고 있는 이 증착 유닛의 이 처리실 안의 감압 상태를 해제하는 감압 해제 수단으로 구성되어 있다.
상기 증착 장치의 이 증착 유닛은 베이스나 챔버 본체를 포함하고, 이 챔버 본체는 이 베이스에 대하여 상하 이동하고 이 처리실을 폐쇄하는 폐쇄 위치와 이 처리실을 개방하는 개방 위치를 규정하고, 이 증착 유닛이 이 반입/반출 영역으로부터 이 예비 감압 영역으로의 이동 도중 또는 이 예비 감압 영역에 위치한 후에 이 챔버 본체가 이 폐쇄 위치로 이동되며, 이 증착 유닛이 이 감압 해제 영역에 위치한 후에 이 챔버 본체가 이 개방 위치에 이동하는 것이 바람직하다.
상기 증착 장치의 이 예비 감압 수단은, 이 증착 유닛의 이베이스에 배치되고, 일단이 이 처리실에 연통되고 타단이 개방되어 있으며 도중에 제1 개폐 밸브 수단을 갖는 제1 유로와, 제1 진공 배기계에 배치되며, 일단이 개방되고 타단이 제1 진공원에 연통되어 있으며 도중에 제2 개폐 밸브 수단을 갖는 제2 유로와, 이 제1 유로와 이 제2 유로를 접속 또는 비접속 상태로 위치시키는 것을 가능하게 하는 제1 이동식 부재로 이루어지고, 이 예비 감압 영역에 위치하는 이 증착 유닛의 이 처리실 안을 감압 상태로 할 때는, 이 제1 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태, 이 제2 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태이고 이 제1 이동식 부재에 의해 이 제1 유로와 이 제2 유로가 접속된 상태로부터, 이 제1 개폐 밸브 수단 및 이 제2 개폐 밸브 수단을 개방 상태로 한 후, 이 증착 유닛이 이 예비 감압 영역부터 이 증착 영역으로 이동할 때는, 이 제1 및 이 제2 개폐 밸브 수단을 각각 폐쇄 상태로 한 후에, 이 제1 이동식 부재에 의해 이 제1 유로와 이 제2 유로를 비접속 상태로 하는 것이 바람직하다.
상기 증착 장치의 이 주감압 수단은,
이 증착 유닛의 이 베이스에 배치되고, 일단이 이 처리실에 연통되고 타단이 개방되어 있으며 도중에 제1 개폐 밸브 수단을 갖는 제1 유로와, 제2 진공 배기계에 배치되고, 일단이 개방되고 타단이 제2 진공원에 연통되어 있으며 도중에 제3 개폐 밸브 수단을 갖는 제3 유로와, 이 제1 유로와 이 제3 유로를 접속 또는 비접속 상태로 위치시키는 것을 가능하게 하는 제2 이동식 부재로 이루어지고, 이 주감압 영역에 위치하는 이 증착 유닛의 이 처리실 안을 감압 상태로 할 때는, 이 제1 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태, 이 제3 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태이고 이 제2 이동식 부재에 의해 이 제1 유로와 이 제3 유로가 접속된 상태로부터, 이 제3 개폐 밸브 수단을 개방 상태로, 다음에 이 제1 개폐 밸브 수단을 개방 상태로 한 후, 이 증착 유닛이 이 증착 영역으로부터 이 감압 해제 영역으로 이동할 때는, 이 제1 및 이 제2 개폐 밸브 수단을 각각 폐쇄 상태로 한 후에, 이 제2 이동식 부재에 의해 이 제1 유로와 이 제3 유로를 비접속 상태로 하는 것이 바람직하다.
상기 증착 장치의 이 피증착체는 합성 수지 제조 용기이고, 이 용기의 내면 전체에 걸쳐 박막이 증착되는 것이 바람직하다.
본 발명의 증착 장치는, 간헐 회전 가능한 지지대와, 이 지지대 위의 둘레 방향으로 간격을 두고 배치되고, 이 지지대의 간헐 회전에 의해 반입/반출 영역, 예비 감압 영역, 증착 영역 및 감압 해제 영역에 순차 위치하며, 증착 영역에서의 작업 시간을 단축하고, 반입/반출 영역에서의 대기 시간을 짧게 하는 것에 의해, 각 스테이지에서의 실질적인 작업 시간을 균등화할 수 있으며, 전체로서 피증착체의 증착 작업을 단축할 수 있게 되었다. 즉, 피증착물의 반입/반출 영역을 하나의 스테이지에서 행하도록 하고, 증착 후의 감압 해제를 증착 영역에서 행하지 않으며, 독립된 스테이지로 분리하는 것에 의해, 증착 영역에서의 작업 시간을 대폭 단축할 수 있고, 그 결과 4개의 스테이지에서의 작업 시간을 균등화할 수 있었다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 증착 장치를 구비한 증착 시스템의 개략 평면도이다.
도 2는 도 1의 증착 장치의 확대 평면도이다.
도 3은 도 1의 증착 장치의 확대 정면도이다.
도 4는 도 1의 증착 장치의 마이크로파 발진기가 보이는 부위의 확대 측면도이다.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시하는 증착 장치의 증착 유닛의 확대 단면도이다.
도 6은 도 1의 증착 장치의 제2 스테이지에서의 베이스와 진공 배기계의 측면 방향에서 본 단면도이다.
도 7은 도 1의 증착 장치의 제2 스테이지에서의 베이스와 진공 배기계의 평 면 방향에서 본 단면도이다.
도 8은 도 1의 증착 장치의 제2 스테이지에서의 베이스와 진공 배기계의 배면 방향(도 6의 선 Y-Y를 따라 취한 방향)에서 본 단면도이다.
도 9는 도 1의 증착 장치의 제3 스테이지에서의 베이스와 진공 배기계의 측면 방향에서 본 단면도이다.
도 10은 도 1의 증착 장치의 제3 스테이지에서의 베이스와 진공 배기계의 배면 방향(도 6의 선 Y-Y를 따라 취한 방향으로 대응시킨 제3 스테이지에서의 단면)에서 본 단면도이다.
도 11은 베이스에 접속되는 원료 가스의 접속부를 도시하는 개략 접속도이다.
도 12는 도 1의 증착 장치의 제3 스테이지에서, 대기압 상태에 있는 베이스의 유로를 감압하기 위해 필요한 대기 시간을 정하기 위한 시험 결과이다.
도 13은 본 실시예에 의한 증착 장치가 용기를 증착하기 위한 작업의 1 사이클의 시간을 설명하기 위한 도면이다.
<부호의 설명>
1: 증착 장치 2: 공급 컨베이어
3: 용기 공급휠 3a, 7a: 회전축
3b, 7b: 휠 3c: 기어
4: 반송 휠 5, 6: 용기 반입/반출 장치
7: 용기 배출휠 8: 배출 컨베이어
9: 내측 반송로 9a, 10a: 용기 지지부
10: 외측 반송로 12: 외부 프레임
14: 회전체 14a: 외주면
14b: 지지대 14c: 주상부
15: 증착 유닛 16: 챔버 본체
16a, 17a: 시일 부재 17: 베이스
18: 승강 유닛 18a: 가이드 레일
21: 가이드 블록 23: 상부 덮개
24: 처리실 25: 용기
27: 원료 가스 공급 막대 28: 용기 지지부
29, 31: 흡배기구 30: 원료 가스 공급관
32: 도파관 32a: R형 플랜지부
32b: 진공 차폐판 34: 마이크로파 발진기
35: 마이크로파 발진기 전원 40: 슬라이드 밸브부(제1 개폐 밸브 수단)
41a∼41c: 유로 42: 슬라이드 플레이트
43: 진공 차단 밸브 44a∼44c: 밸브 시트 45a∼45c: 하단 개구 58, 59a∼59c: 진공 플랜지 61: 진공 배기계(제1 진공 배기계) 62, 72: 상부 플레이트
63: 주름형 배관(제1 이동식 부재) 64: 진공 밸브부(제2 개폐 밸브 수단)
65, 75a∼75c: 배기용 유로 66, 76: 실린더
71: 진공 배기계(제2 진공 배기계) 73a∼73c: 주름형 배관(제2 이동식 부재)
74a∼74c: 진공 밸브부(제3 개폐 밸브 수단) 81, 83: 개폐 밸브
82: 원료 가스 봄베 84: 원료 가스 탱크
85: 에어 공급 수단 89, 90: 원료 가스 유량 조정 밸브
86, 91: 흡입 유로 87, 88: 대기 해방 밸브
95: 진공 펌프(제1 진공원) 96, 97: 진공 펌프(제2 진공원)
f, h: 용기 전달 영역(용기 전달 위치)
도 1은, 본 발명의 실시형태의 용기의 증착 장치(1)에 있어서, 증착 작업을 4개의 스테이지로 나눠 행하는 예를 도시하는 증착 시스템의 평면도이다.
본 발명에 관계되는 증착 시스템은, 페트병 등의 용기의 내면에, 마이크로파에 의해 원료 가스를 증착하는 것이다. 용기는, 증착 시스템의 상류측부터 하류측으로 순서대로 위치하는 공급 컨베이어(2), 용기 공급휠(3), 반송휠(4), 용기 반입/반출 장치(로봇)(5, 6), 증착 장치(1)로 흐르고, 재차 용기 반입/반출 장치(5, 6)를 경유하여 반송휠(4)에 복귀되며, 이 반송휠(4)로부터 용기 배출휠(7), 배출 컨베이어(8)로 흐른다.
공급 컨베이어(2)는, 용기의 개방부를 위쪽을 향한 정립 자세로, 화살표 a의 직선 방향으로 용기를 반송한다. 용기 공급휠(3)은, 용기 파지부를 구비하고 회전축을 중심으로 하여 화살표 c의 반시계 방향 방향으로 회전하고, 공급 컨베이어(2) 의 전달 위치 b에서 용기를 수취한다. 반송휠(4)은, 회전축을 동일로 하는 원형의 내측 반송로(9)와 외측 반송로(10)를 경유하여, 이들 내외 반송로(9, 10)를 화살표 e의 시계 방향으로 회전하도록 구성되고, 복수의 용기 지지부(9a, 10a)를 둘레 방향 전체에 병설하고 있다. 내측 반송로(9)의 용기 지지부(9a)의 원 궤도는, 전달 위치 d에서 용기 공급휠(3)의 원 궤도와 접하고, 용기를 전달한다.
반송휠(4)의 내측 반송로(9)의 용기 지지부(9a) 사이의 피치는, 용기 공급휠(3)의 용기 지지부 사이와 같은 피치로 둘레 방향으로 배치하고, 이 용기 지지부(9a)와 같은 피치로, 외측 반송로(10)의 용기 지지부(10a)를 둘레 방향으로 배치하고 있다. 내측 반송로(9)와 외측 반송로(10)는, 각각이 독립적으로 회전하도록 구성되어 있다.
반송휠(4)은, 내측 반송로(9)의 전달 영역(f)까지 용기를 반송하고, 반입/반출 장치(5, 6)에 용기를 전달한다. 반입/반출 장치(5, 6)는 주지 기술의 로봇을 사용하고, 회전축을 중심으로 이동가능하게 되어 용기 파지부를 반전시킬 수 있으며, 정립 자세로 반송되어 온 용기를 내측 반송로(9)의 용기 지지부(9a)로부터 수취 용기의 자세를 180도 반전시켜, 도립한 상태로 증착 장치(1)에 용기를 공급한다.
도 2는 증착 장치의 확대 평면도, 도 3은 증착 장치의 정면도, 도 4는 마이크로파 발진기가 있는 부분에서 본 측면도이다.
증착 장치(1)에는, 사각 형상의 외부 프레임(12)이 설치되고, 이 외부 프레임(12)의 내부에는 회전체(14)가 설치되어 있다. 회전체(14)는 지지대(14b)와 주 상부(14c)를 구비하고, 지지대(14b)의 상단측은, 위쪽 외측으로 돌출하도록 형성되며, 그 상부에는 수평면이 형성되어 있다. 지지대(14b)의 위에는 주상부(14c)가 배치되어 있다. 회전체(14)는 화살표 g(도 1 참조)의 시계 방향으로 회전 가능하고, 수직 방향으로 연장되는 지지대(14b)의 외주부에는, 복수의 증착 유닛(15)이 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 증착 유닛(15)이 회전체(14)의 둘레 방향으로 16개 배치되고, 2개의 증착 유닛(15)을 1조로 하여 형성하고 있다. 각 증착 유닛(15)은, 회전체(14)의 중심축 둘레에 원주 방향의 궤도를 따라 이동한다.
증착 유닛(15)은, 상측에 위치하는 챔버 본체(16)와 하측에 위치하는 베이스(17)를 구비하고 있다. 챔버 본체(16)는, 승강 유닛(18)에 의해 주상체(14c)의 외주면(14a)을 따라 수직 방향으로 승강이 가능하다. 승강 유닛(18)에는, 주상체(14c)의 외주면(14a)에 상하 방향으로 연장되는 가이드 레일(18a)이 있고, 이 가이드 레일(18a)에는 가이드 블록(21)이 미끄럼 이동 가능하게 끼워 맞춰져 있다. 승강 유닛(18)은 유압, 공기 압력, 구동 모터 등의 구동 수단에 의해, 가이드 블록(21)을 상하 방향으로 승강시킨다. 가이드 블록(21)은, 1조의 챔버 본체(16)를 지지하고, 챔버 본체(16)를 상승 위치, 하강 위치로 이동시킨다.
도 5는, 챔버 본체(16)가 하강 위치에 있는 상태를 도시하고, 챔버 본체(16)와 베이스(17)가 일체로 연결되며, 처리실(24)에 용기(25)가 지지되어 있는 상태의 개략 단면도이다. 증착 유닛(15)의 베이스(17)는, 각 챔버 본체(16)의 바로 아래에 고정되고, 회전체(14)와 함께 둘레 방향으로 이동한다.
증착 유닛(15)에는, 챔버 본체(16)와 베이스(17) 사이에 형성된 시일 부착부 에 시일 부재(17a)가 장착되고, 처리실(24)을 기밀하게 할 수 있도록 시일 부재(17a)가 설치되어 있다. 베이스(17)에는, 처리실(24)을 배기하여 감압 상태로 하기 위한 진공 펌프와 연통하는 흡배기구(31)가 배기관을 통해 접속되어 있다.
한편, 베이스(17)에는, 용기(25)의 구경부의 지지부가 설치되고, 이 구경부를 하측에 배치한 채 용기(25)를 지지한다. 용기(25)의 내부에는, 용기 지지부(28)에 세워 설치시킨 원료 가스 공급 막대(27)를 삽입하고 있다. 또한, 베이스(17)에는, 용기(25) 안을 감압하기 위한 흡배기구(29)가 설치되어 있다.
도 6∼도 8은, 베이스(17)와, 증착 유닛의 처리실(24) 및 용기(25) 안을 감압하기 위한 제2 스테이지(도 2 참조)에 배치되어 있는 진공 배기계(61)를 도시하고, 도 6은 베이스(17) 및 진공 배기계(61)의 측면도, 도 7은 평면도, 도 8은 배면도이다.
베이스(17)의 내부에는, 용기(25)측의 흡배기구(29)에 연통하는 유로(41a, 41c) 및 처리실(24)측의 흡배기구(31)에 연통하는 유로(41b)를 설치하고, 유로(41a∼41c)에는 슬라이드 밸브부(40)를 배치하고 있다. 또한, 각 유로(41a∼41c) 및 이들에 배치되는 밸브 구조는, 실질적으로 동일한 구조이기 때문에, 이들을 통합하여 설명한다.
슬라이드 밸브부(40)에는, 도시하지 않는 실린더에 연결되어 있는 슬라이드 플레이트(42)와 이 슬라이드 플레이트(42)에 연결되어 있는 진공 차단 밸브(43)가 설치되어 있다. 진공 차단 밸브(43)는, 실린더에 의해 수평 방향으로 전후 이동이 가능하고, 전진 위치로서, 유로(41a∼41c)에 형성된 밸브 시트(44a∼44c)에 접촉하 여 폐쇄되며, 유로(41a∼41c)의 기체의 흐름을 차단하고, 후퇴 위치에서는 개방되어 유로(41a∼41c)의 기체의 흐름을 허용한다. 유로(41a∼41c)의 하단부에는 하단 개구(45a∼45c)가 형성되어 있다.
제2 스테이지(도 2 참조)에 배치되어 있는 진공 배기계(61)는, 베이스(17)의 바닥면에 장착 분리 가능하게 배치되고, 그 상단부에는 상부 플레이트(62)가 설치되어 있다. 상부 플레이트(62)의 하부에는, 주름형 배관(63), 진공 밸브부(64)가 배치되고, 이들 사이에는 유로(65)가 설치되어 있다. 상부 플레이트(62)는, 실린더(66)에 의해 승강 가능하게 구성되고, 상승 위치에 있어서, 베이스(17)의 하단 개구(45a∼45c)와 기밀하게 연결되며, 유로(41a∼41c), 주름형 배관(63) 및 하류측의 유로(65)를 연통한다. 상부 플레이트(62)의 내부에서는, 베이스(17)측의 유로(41a∼41c)가 합류한다.
상부 플레이트(62)의 하강 위치에서는, 베이스(17)와 진공 배기계(61)가 분리 상태가 되고, 베이스(17)측의 유로(41a∼41c)의 하단 개구(45a∼45c)는, 대기와 연통한다. 주름형 배관(63)은, 신축 가능하고, 상부 플레이트(62)의 승강을 허용한다.
진공 밸브부(64)의 측부에는 진공 플랜지(58)가 설치되고, 진공 펌프(95)와 접속된다. 진공 밸브부(64)는, 개폐에 의해 진공 펌프(95)와 유로(65) 사이의 공기의 흐름을 연통, 차단한다. 진공 펌프(95)는, 슬라이드 밸브부(40) 및 진공 밸브부(64)가 개방 상태로, 처리실(24) 및 용기(25) 안을 감압한다.
도 9 및 도 10은, 제3 스테이지에 배치된 상태의 베이스(17)와 진공 배기 계(71)를 도시한다.
진공 배기계(71)는, 베이스(17)의 하부에 장착 분리 가능하게 배치되고, 진공 배기계(71)의 상단부에는 상부 플레이트(72)가 설치되며, 상부 플레이트(72)의 하부에는, 주름형 배관(73a∼73c), 진공 밸브부(74a∼74c)가 배치되고, 이들과 주름형 배관(73a∼73c)을 연통시키는 유로(75a∼75c)가 설치되어 있다. 상부 플레이트(72)는, 양단부에 있는 유압(또는 공기 압력) 실린더(76)에 의해 승강 가능하게 구성되고, 상승 위치에 있어서, 베이스(17)의 하단 개구(45a∼45c)와 진공 배기계(71)의 유로(75a∼75c)가 기밀하게 되도록 연결된다. 상부 플레이트(72)의 하강 위치에서는, 베이스(17)와 진공 배기계(71)가 분리 상태가 되고, 유로(41a∼41c)의 하단 개구(45a∼45c)는, 대기와 연통한다. 주름형 배관(73a∼73c)은, 신축 가능하고, 상부 플레이트(72)의 승강을 허용한다.
진공 밸브부(74a∼74c)의 측부에는, 진공 플랜지(59a∼59c)가 설치되어 있다. 이들 중, 좌우 외측에 위치하는 진공 플랜지(59a, 59c)에는, 진공 펌프(96)가 접속되고, 중앙의 진공 플랜지(59b)에는 진공 펌프(97)가 접속된다. 진공 밸브부(74a, 74c)는, 진공 펌프(96)와 유로(75a, 75c) 사이의 기체의 흐름을 연통, 차단할 수 있고, 진공 밸브부(74b)는 진공 펌프(97)와 유로(75b) 사이의 기체의 흐름을 연통, 차단한다. 진공 펌프(96)는, 슬라이드 밸브부(40) 및 진공 밸브부(74a, 74c)가 개방 상태로, 용기(25) 안을 감압할 수 있고, 진공 펌프(97)는, 슬라이드 밸브부(40) 및 진공 밸브부(74b)가 개방 상태로, 처리실(24)을 감압한다.
또한, 제2 스테이지의 진공 배기계(61)와 제3 스테이지의 진공 배기계(71)의 차이는, 제2 스테이지의 플랜지(58)에 접속되는 진공 펌프(95)가 하나인 데 대하여, 제3 스테이지에서는 진공 펌프가 2개 배치되어 있는 것이다. 도 8에 도시하는 제2 스테이지의 진공 배기계(61)에서는, 용기(25)와 연통하는 흡배기구(29) 및 처리실(24)과 연통하는 흡배기구(31)의 유로(41a∼41c)를 합류시키는 것에 의해, 유로(65)로부터 1대의 진공 펌프(95)에 의해 처리실(24) 및 용기(25) 안을 동시 감압 처리할 수 있다. 실제로는, 베이스(17)가 하나의 스테이지에 2개 설치되고, 하나의 베이스(17)에 2개의 처리실(24), 용기(25)가 구비되어 있기 때문에, 하나의 진공 펌프(95)로 4개의 처리실(24)과 4개의 용기(25)를 동시에 예비 배기하게 된다.
제3 스테이지의 진공 배기계(71)에서는, 진공 플랜지(59a, 59c)에 진공 펌프(96)를 접속하고, 진공 플랜지(59b)에 진공 펌프(97)를 접속하며, 2대의 진공 펌프(96, 97)가 접속되어 있다.
전술한 바와 같이, 하나의 스테이지에서는, 4개의 처리실(24)과 4개의 용기(25)가 구비되어 있기 때문에, 유로를 연통함으로써, 하나의 진공 펌프(96)로 4개의 용기(25) 내부를 동시에 감압하고, 하나의 진공 펌프(97)에 의해 4개의 처리실(24)을 동시에 감압한다. 이와 같이, 제2 스테이지에서는 하나의 진공 펌프(95)가 배치되고, 제3 스테이지에서는 2개의 진공 펌프(96, 97)가 배치되며, 증착 장치(1)에는 총 3개의 진공 펌프가 배치된다.
또한, 처리실(24)보다 용기(25) 안을 고진공으로 하기 때문에, 제3 스테이지에서는, 처리실(24)을 감압하는 진공 펌프(97)보다 용기(25)의 내부를 감압하는 진공 펌프(96)가, 고진공으로 감압할 수 있는 것이 사용되고 있다.
또한, 원료 가스 공급 막대(27)에는, 원료 가스를 공급하는 원료 가스 공급관(30)이 연결되고, 원료 가스 공급 막대(27)에는 이들의 가스를 배출하는 다수의 구멍이 형성되어 있다.
도 11에 도시하는 바와 같이, 원료 가스 공급 막대(27)에는, 개폐 밸브(81) 및 원료 가스 유량 조정 밸브(89)을 통해 산소가 충전된 원료 가스 봄베(82)가 연결되고, 또한 개폐 밸브(83) 및 원료 가스 유량 조정 밸브(90)를 통해 HMDSO(헥사메틸디실록산)이 충전된 원료 가스 탱크(84)가 연결되어 있다.
베이스(17)에는, 흡배기구(29)에 연통하는 흡입 유로(91)가 설치되고, 흡입 유로(91)에는, 대기 해방 밸브(87)가 접속되며, 또한 흡배기구(31)에 연통하는 흡입 유로(86)가 설치되고, 흡입 유로(86)에는 대기 해방 밸브(88)가 접속하고 있다.
챔버 본체(16)의 측벽에는, 처리실(24)과 연통하는 도파관(32)이 설치되어 있다. 도파관(32)에는, 선단부에 원판 형상의 R형 플랜지부(32a)를 설치하고, 처리실(24)의 기밀 상태를 유지하기 위해, 진공 차폐판(32b)이 도파관(32)의 일단을 기밀하게 폐색하고 있다. R형 플랜지부(32a)에는, 마이크로파 발진기(34)가 접합되고, 진공 차폐판(32b)은, 마이크로파를 투과시키는 재료이면 좋으며, 예컨대 테플론(등록상표), 세라믹스, 석영유리 등에 의해 형성되어 있다.
마이크로파 발진기(34)는, 정지 위치에 고정되고, 본 실시형태의 증착 장치(1)에서는 4개가 구비되어 있다. 마이크로파 발진기(34)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 반입/반출 장치(5, 6)와는, 회전체(14)의 직경 방향 반대측에 위치한 부위에 배치된다. 4개의 마이크로파 발진기(34)는, 둘레 방향에 연속하는 4개의 챔 버 본체(16)에 대응시켜 배치시키고 있다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이, 마이크로파 발진기(34)에는, 마이크로파를 발진시키기 위한 마이크로파 발진기 전원(35)이 접속되어 있고, 도파관(32)을 통해 처리실(24)에 마이크로파를 도입함으로써, 4개의 용기(25)의 증착을 동시에 행한다.
용기 반입/반출 장치(5, 6)는, 용기(25)의 베이스(17)에의 공급과 함께, 취출도 할 수 있다. 이들의 반입/반출 장치(5, 6)는, 도 2의 제1 스테이지(반입/배출역)로 표시하는 2개의 베이스(17)로 용기(25)를 출납한다. 즉, 반입/반출 장치(5, 6)는, 반송휠(4)의 전달 영역(h)에서, 외측 반송로(10)에 용기(25)를 전달한다. 외측 반송로(10)는, 화살표 e의 시계 방향으로 회전하여 용기(25)를 반송하고, 전달 위치 i에서 용기를 용기 배출휠(7)의 도시하지 않는 파지 수단에 전달한다.
용기 배출휠(7)은, 화살표 j의 반시계 방향으로 회전하고, 용기 배출휠(7)의 회전 접선 방향으로 연장되는 배출 컨베이어(8)의 전달 위치 k로써, 용기(25)를 전달할 수 있다. 배출 컨베이어(8)에서는, 화살표 m의 직선 방향으로 용기(25)를 반송한다.
다음으로, 본 발명의 증착 장치의 작용에 대해서 설명한다.
전술한 바와 같이, 용기(25)는, 증착 시스템의 상류측 위치에 배치되어 있는 공급 컨베이어(2)에 의해, 연속적으로 반송된다. 용기(25)는, 공급 컨베이어(2)의 전달 위치 b에서, 용기 공급휠(3)의 도시하지 않는 복수개 구비된 파지부 중 하나에 의해 파지된다. 그리고, 회전 궤도를 접하는 반송휠(4)의 내측 반송로(9)의 전 달 위치 d에서 용기(25)를, 반송휠(4)에 공급한다. 용기 공급휠(3)은, 이와 같이, 용기 지지부(9a)에 용기(25)를 연속적으로 공급할 수 있고, 용기 지지부(9a)에는, 용기가 연속적으로 배치된다.
내측 반송로(9)는, 화살표 e 방향으로 회전하고, 용기(25)를 전달 영역(f)으로 반송하며, 반입/반출 장치(5, 6)는, 용기 지지부(9a)의 용기(25)를 파지하고, 용기(25)를 정립 자세로부터 180도 회전시킨다.
회전체(14)에서는, 도 2에 도시하는 제1 스테이지로부터 제4 스테이지를 향해, 회전체(14)가 90도마다 또한 일정 사이클마다 회전한다. 제1 스테이지에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 챔버 본체(16)가 상승 위치에 있고, 용기(25)의 전달시에는, 회전체(14)의 회전이 정지되어 있다. 도 2에 도시하는 제1 스테이지에서는, 이전 공정에서 증착된 용기(25)가 있으면, 반입/반출 장치(5, 6)에 의해, 증착된 용기(25)를 챔버 본체(16)로부터 미리 취출하고, 외측 반송로(10)에 용기(25)를 전달해 둔다. 그리고, 반입/반출 장치(5, 6)에 의해, 내측 반송로(9)로부터 용기(25)를 수취하고, 베이스(17)에 도립(倒立) 상태로 공급하며, 도 5에 도시하는 바와 같이, 용기(25)의 입구부를 용기 지지부(28)에 지지시킨다. 2개의 베이스(17)와 반송휠(4) 사이에서, 용기(25)의 전달이 종료된 시점에서, 제1 스테이지가 종료한다. 또한, 증착 작업 시작시에는, 챔버 본체(16)에는, 용기(25)가 수용되어 있지 않기 때문에, 용기(25)의 공급만 행한다.
그 후 회전체(14)를 90도 회전시켜, 후속하는 챔버 본체(16)에, 동일한 순서로서 순차적으로 용기(25)를 공급 배출하고, 2개의 챔버 본체(16)마다 용기(25)의 공급, 배출을 연속적으로 행한다.
제2 스테이지(예비 감압 영역)에서는, 챔버 본체(16)를, 승강 유닛(18)에 의해 하강시키고, 베이스(17)에 접촉시켜 연결하며, 이것에 의해 형성된 처리실(24)을 밀폐 상태로 한다. 다음에, 미리 연속 운전되어 있는 진공 펌프(95)에 의해, 처리실(24)의 내부는 흡배기구(31)을 통해 배기되고, 동시에 용기(25)의 내부는 흡배기구(29)를 통해, 진공 펌프(95)에 의해 배기된다. 진공 차폐판(32b)에 의해 R형(R형상) 플랜지부(32a)에서 기밀성을 잃지 않는다. 그리고, 예비 배기한 상태에서 증착 유닛(15)은, 마이크로파 발진기(34)를 배치한 제3 스테이지(증착 영역) 위치까지 반송된다.
제3 스테이지에서는, 4개의 증착 유닛(15)이 대응하는 마이크로파 발진기(34)로 이송되고, 마이크로파 발진기(34)와 챔버 본체(16)의 도파관(32)을 근접하게 하여 대향시킨다. 이 제3 스테이지에서는, 미리 연속 운전되어 있는 진공 펌프(96, 97)에 의해, 처리실(24)과 용기(25)의 내부가 진공 배기된다.
이들의 진공 배기와 동시에 원료 가스 공급관(30)으로부터 증착을 위한 원료 가스를 공급한다. 원료 가스는, 도 11에 도시하는 원료 가스 봄베(82)로부터 O2가 공급되고, 원료 가스 탱크(84)로부터 HMDSO(헥사메틸디실록산)가 공급된다. 그리고, 원료 가스를 공급한 후 마이크로파가 발진되고, 성막이 행해진다. 즉, 마이크로파 발진 전원(35)이 마이크로파 발진기(34)에 전원을 공급하고, 마이크로파가 발진되며, 마이크로파가 도파관(32)을 통과하여 용기 안에 전달되고, 용기(25)의 내 부에 플라즈마가 발생하여, 박막이 형성된다. 처리실(24)에서는 하나의 용기(25)를 증착하기 때문에 증착막의 균일화를 도모할 수 있다.
플라즈마 처리를 종료한 후, 처리용의 원료 가스의 공급 및 마이크로파의 도입을 정지한다. 용기(25)에의 증착이 종료되면 제3 스테이지가 종료되고, 증착 유닛을 90도 회전시킨다.
제4 스테이지(감압 해제 영역)에서는, 베이스(17)에 접속되어 있는 대기 해방 밸브(87)를 개방하여 흡배기구(29)에 연통하고 있는 흡입 유로(91)로부터 대기를 도입하고, 용기(25) 안을 상압으로 복귀시키며, 동시에 대기 해방 밸브(88)를 개방하여 흡배기구(31)에 연통하고 있는 흡입 유로(86)로부터 대기를 도입하고, 처리실(24)을 상압으로 복귀시킨다. 그 후, 승강 유닛(18)에 의해, 챔버 본체(16)를 상승 위치로 이동시킨다. 이것으로 제4 스테이지가 종료하고, 증착 처리의 일 공정이 종료한다.
제4 스테이지가 종료된 후는, 회전체(14)가 90도 회전하고, 챔버 본체(16)로부터 용기(25)가 반입/반출 장치(5, 6)에 의해 반송휠(4)에 전달되며, 전술한 제1 스테이지의 작업이 반복된다.
또한, 제1 스테이지에서 베이스(17)에 용기(25)를 출납하고 있는 시간에는, 회전체(14)의 반대측의 제3 스테이지에서, 용기(25)의 증착 작업이 동시에 행해지고, 동시에 제1 스테이지의 양 사이드의 제2 스테이지에서는, 챔버 본체(16)의 하강과 예비 배기 등의 작업이 행해지며, 제4 스테이지에서는, 대기 개방 후, 챔버 본체(16)의 상승이 행해진다.
또한, 회전체(14)가 회전하는 주기는, 제3 스테이지에서의 증착 작업 시간을 기준으로 하여, 90도마다의 회전체(14)의 회전 이동이 행해진다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 반입/반출 장치(5, 6)는, 반송휠(4)의 전달 영역(f, h)에서 용기(25)를 전달한다. 용기 전달 영역(h)에서는, 반입/반출 장치(5, 6)에 의해, 하나의 용기 지지부(10a)를 비우고, 그 양측의 용기 지지부(10a)에 용기(25)를 2개씩 전달하며, 용기 전달 영역(f)에서는, 연속하여 반송되는 4개의 용기 지지부(9a)로부터 용기(25)를 수취한다.
외측 반송로(10)는, 화살표 e 방향으로 회전하여 용기(25)를 반송하고, 전달 위치 i에서 용기(25)를 용기 배출휠(7)의 도시하지 않는 파지 수단에 전달한다. 용기 배출휠(7)은, 화살표 j의 반시계 방향으로 회전하고, 배출 컨베이어(8)의 전달 위치 k에서 용기(25)를 전달한다. 배출 컨베이어(8)에서는, 화살표 m의 직선 방향으로 용기(25)를 반송하고, 다음 공정에서 용기(25)를 공급한다.
[실시예]
본 실시형태에서는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 처리실(24) 및 용기(25) 안의 진공 배기를 2회로 나눠 행하고, 제2 스테이지에서는 처리실(24) 및 용기(25) 안의 예비 배기를 행하며, 제3 스테이지에서는, 주감압에 의한 진공 배기를 행하도록 하였다. 이렇게 하여, 처리실(24)과 용기(25) 안의 진공 작업을 미리 행하고, 이들의 공간을 미리 결정된값까지 신속히 감압하게 되었다. 그 결과, 실질상, 진공 배기를 행한 후 마이크로파에 의한 증착이 종료할 때까지, 7.0초로 행하게 되었다.
제1 스테이지 내지 제4 스테이지 중, 가장 시간을 요하는 것은 제3 스테이지이고, 전술한 바와 같이 7.0초를 요한다. 그 외의 제1, 제2 및 제4 스테이지의 작업 시간은, 모두 7.0초 이내에 행한다. 따라서, 전술한 바와 같이 하나의 용기를 증착하기 위해서는 7.0초간을 허비하게 된다. 본 실시형태에서는, 공정을 나눠 90도마다의 회전 방식에 의해 작업을 행하기 때문에, 제3 스테이지에서 증착 작업을 행하고 있는 동안에, 제4 스테이지에서는 대기 개방이 행해진다. 이와 같이, 스테이지를 4단계로 나눠, 가장 시간이 걸리는 증착 진공 처리 시간에 맞춰 각 스테이지의 단계 시간을 설정하고, 제3 스테이지에서는, 대기 개방 등의 작업을 행하지 않고, 감압, 증착 작업만 행하여 작업 시간의 단축을 도모하도록 하였다.
또한, 도 13중의 테이블 회전 외는, 회전체(14)의 회전 이동 및 그 외 공기 압력 회로 등이 작동하는데 소요되는 시간이다.
[시험예]
본 발명의 증착 시간을 대폭 단축 가능하게 한 제2 스테이지에서의 예비 배기 작업 및 제3 스테이지에서의 진공 배기 작업의 시험예에 대해서 설명한다.
제2 스테이지에서의 예비 배기에 의한 감압 처리 순서는, 이하와 같다.
[스타트시<베이스(17)와 진공 배기계(61)와의 접속>]
도 6의 상태로부터 진공 밸브부(64)를 폐쇄 상태로 하고, 상부 플레이트(62)를 상승시켜, 베이스(17)와 진공 배기계(61)를 접속하며, 슬라이드 밸브부(40)의 진공 차단 밸브(43)는 개방 상태로 한다.
[예비 배기 시작]
상기 스타트시의 상태로부터, 진공 밸브부(64)를 폐쇄 상태로부터 개방 상태로 한다. 이 때, 처리실(24), 용기(25) 내부, 유로(41a∼41c) 및 유로(65)는 연통 상태가 되고, 진공 펌프(95)에 의해, 처리실(24) 및 용기(25) 내부를 감압한다.
[베이스(17)와 진공 배기계(61)와의 분리 준비]
상기 예비 배기 후, 진공 밸브부(64)를 개방 상태로부터 폐쇄 상태로 한다. 계속해서, 슬라이드 밸브부(40)를 폐쇄 상태로 한다.
[베이스(17)와 진공 배기계(61)와의 분리]
상부 플레이트(62)를 하강시켜, 베이스(17)와 진공 배기계(61)를 분리한다. 그리고, 회전체(14)를 회전시켜, 베이스(17)[증착 유닛(15)]를 제3 스테이지로 이송시킨다.
또한, 이 상태에서는, 베이스(17)의 유로(41a∼41c)는, 진공 차단 밸브(43)의 위치로부터 하단 개구(43a∼43c)측이, 베이스(17)와 제2 스테이지의 진공 배기계(61)가 분리된 것에 의해 대기압이 된다.
회전체(14)의 회전에 의해, 베이스(17)가 제3 스테이지로 이송되면, 베이스(17)는, 제3 스테이지의 진공 배기계(71)의 상부 플레이트(72)의 바로 위쪽에 위치하고, 주감압에 의한 감압 작업이 행해진다.
도 9 및 도 10을 참조로 하여, 주감압에 의한 감압 처리 순서는, 이하와 같다.
[베이스(17)와 진공 배기계(71)와의 접속]
예비 배기가 종료된 상태에서는, 베이스(17)측의 슬라이드 밸브부(40)의 진 공 차단 밸브(43)는, 폐쇄 상태이고, 계속해서 이 상태가 유지된다. 그리고, 진공 배기계(71)의 진공 밸브부(74a∼74c)를 폐쇄 상태로 하고, 상부 플레이트(72)를 하강 위치로부터 상승 위치로 이동시키며, 베이스(17)와 진공 배기계(71)를 접속한다.
[진공 배기 시작]
진공 밸브부(74a∼74c)를 폐쇄 상태로부터 개방 상태로 하고, 베이스(17)측의 유로(41a∼41c)와 진공 배기계(71)의 유로(75a∼75c)를 연통시킨다. 베이스(17)측의 슬라이드 밸브부(40)가 폐쇄 상태로 된 채로, 플랜지(59a∼59c)에 접속된 진공 펌프(96, 97)에 의해 유로(41a∼41c) 및 이것에 연통하는 유로(75a∼75c) 안을 감압한다.
[진공 배기 접속 완료]
미리 유로(41a∼41c) 및 유로(75a∼75c) 안을 감압한 후, 슬라이드 밸브부(40)를 폐쇄 상태로부터 개방 상태로 하여, 처리실(24) 및 용기(25) 안의 감압이 더 행해진다.
베이스(17)와 진공 배기계(61)를 분리하고, 베이스(17)와 진공 배기계(71)와의 접속시에 유로(41a∼41c)가 대기압이 되는 것에 대해서, 사이클 내의 사이클 시간, 및 사이클 내의 영향 조사를 목적으로 하여, 그것에 소요되는 대기 시간을 임의로 변경하여, 시험을 행하였다. 또한, 대기 시간이란, 진공 밸브부(74a∼74c)를 개방한 후, 슬라이드 밸브부(40)를 개방할 때까지 이르는 시간이며, 이하, 대기 시간(X)으로 한다.
시험 결과는, 이하와 같다.
[시험 결과]
상기 대기 시간(X)을 0.5초, 0.6초, 0.8초, 0.4초, 1.5초로 하고, 이들의 순서대로 대기압이 된 유로(41a∼41c)를 배기하며, 용기(25) 내부의 진공도를 측정하였다. 시험 결과를 도 12에 도시한다. 도 12에 도시하는 예비 감압 시작시에는, 용기(25) 안의 압력은 상압(약1×105 Pa)이다.
도 12의 타원의 점선으로 도시하는 바와 같이, 대기 시간(X)이 짧을수록, 용기(25) 안의 압력이 상승하는 것을 알 수 있었다. 즉, 베이스(17)와 진공 배기계(61)와의 분리에 의해, 대기 상태로 된 유로(41a∼41c)를 감압하는 데 시간이 걸리기 때문이고, 대기 시간(X)이 짧으면 유로(41a∼41c) 및 유로(75a∼75c)를 충분히 감압할 수 없는 채로 용기(24)와 유로(41a∼41c)를 접속해 버리게 된다. 그러나, 도 12의 화살표 A로 도시하는 바와 같이, 증착의 시작시에는, 대기 시간(X)에 영향없이, 진공도가 거의 일치한다. 이것에 의해, 대기 시간(X)을 짧게 하여도 진공도에 영향이 없는 것을 알 수 있었다. 따라서, 제2 스테이지와 제3 스테이지로 나눠, 감압하여도 아무런 문제가 생기지 않는 것을 알 수 있었다.
이상, 본 발명을 실시형태에 기초하여 첨부 도면을 참조하면서 상세히 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 또 다른 변형 또는 변경이 가능하다.
상기 실시형태에서는, 제3 스테이지에서, 2개의 진공 펌프(96, 97)에 의해 서, 처리실(24)과 용기(25) 안을 따로따로의 진공 펌프에 의해 감압시켰지만, 증착 처리 내용에 의해서는, 제2 스테이지와 같이 하나의 진공 펌프로 처리실(24)과 용기(25) 안을 감압시켜도 좋다. 또한, 설비비는 들지만, 4개의 처리실(24) 및 용기(25) 안을 하나의 진공 펌프로 감압시켰지만, 각각 독립시켜 하나의 처리실(24), 용기(25) 안을 하나의 진공 펌프로 감압시키는 것이 가능하다.
본 실시형태에서는, 설명의 편의상, 증착 장치(1)를 하나로 했지만, 실제로는 반송휠(4) 주위에 전체 5개의 증착 장치(1)를 배치하고 있다. 이와 같이, 증착 장치(1)를 복수 설치하는 것에 의해, 예컨대 하나의 증착 장치의 유지 보수, 고장 등에 의해, 가동되지 않아도, 다른 증착 장치를 가동시키는 것에 의해, 용기의 생산이 가능해지는 효과가 있다. 또한, 4개 구비한 마이크로파 발진기(34) 중, 하나가 고장나도 나머지 3개의 마이크로파 발진기(34)로, 계속해서 용기(25)의 증착처리를 행할 수 있다. 또한, 도 1에 도시하는 바와 같이, 증착 장치(1)를 하나로 한 경우는, 장치의 소형화를 도모할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 용기(25)에 원료를 증착시키기 위해, 전자파 발진 장치인 마이크로파 발진기(34)를 이용했지만, 이 대신에 고주파 발진 장치를 사용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 간헐 회전 가능한 지지대와,
    상기 지지대 위에 둘레 방향으로 간격을 두고 배치되고, 상기 지지대의 간헐 회전에 의해 반입/반출 영역, 예비 감압 영역, 증착 영역 및 감압 해제 영역에 순차 위치하는, 개폐 가능한 처리실을 포함하는 복수개의 증착 유닛과,
    상기 반입/반출 영역에 위치하고 있는 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안에서 박막이 증착된 피증착체를 반출하고 피증착체가 반출된 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안에 박막을 증착해야 하는 피증착체를 반입하기 위한 피증착체 반입/반출 수단과,
    상기 예비 감압 영역에 위치하고 있는 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안을 배기하여 감압 상태로 하는 예비 감압 수단과,
    상기 증착 영역에 위치하고 있는 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안에 존재하는 피증착체에 박막을 증착시키기 위해 상기 처리실 안을 배기하여 감압 상태로 하는 주감압 수단, 상기 처리실 안으로 박막 증착에 필요한 기체를 공급하는 기체 공급 수단 및 상기 처리실 안에 전자파를 생성하기 위한 전자파 생성 수단을 포함하는 증착 수단과,
    상기 감압 해제 영역에 위치하고 있는 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안의 감압 상태를 해제하는 감압 해제 수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 증착 유닛은 베이스나 챔버 본체를 포함하고, 상기 챔버 본체는 상기 베이스에 대하여 상하 이동하여 상기 처리실을 폐쇄하는 폐쇄 위치와 상기 처리실을 개방하는 개방 위치를 규정하며, 상기 증착 유닛이 상기 반입/반출 영역으로부터 상기 예비 감압 영역으로의 이동 도중 또는 상기 예비 감압 영역에 위치한 후에 상기 챔버 본체가 상기 폐쇄 위치로 이동되고, 상기 증착 유닛이 상기 감압 해제 영역에 위치한 후에 상기 챔버 본체가 상기 개방 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 예비 감압 수단은,
    상기 증착 유닛의 상기 베이스에 배치되고, 일단이 상기 처리실에 연통되고 타단이 개방되어 있으며 도중에 제1 개폐 밸브 수단을 갖는 제1 유로와,
    제1 진공 배기계에 배치되며, 일단이 개방되고 타단이 제1 진공원에 연통되어 있으며 도중에 제2 개폐 밸브 수단을 갖는 제2 유로와,
    상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 접속 또는 비접속의 상태로 위치시키는 것을 가능하게 하는 제1 이동식 부재로 이루어지고,
    상기 예비 감압 영역에 위치하는 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안을 감압 상태로 할 때는, 상기 제1 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태, 상기 제2 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태이고 상기 제1 이동식 부재에 의해 상기 제1 유로와 상기 제2 유로가 접속된 상태로부터, 상기 제1 개폐 밸브 수단 및 상기 제2 개폐 밸브 수단을 개방 상태로 한 후, 상기 증착 유닛이 상기 예비 감압 영역으로부터 상기 증착 영역으로 이동할 때는, 상기 제1 및 상기 제2 개폐 밸브 수단을 각각 폐쇄 상태로 한 후에, 상기 제1 이동식 부재에 의해 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 비접속 상태로 하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 주감압 수단은,
    상기 증착 유닛의 상기 베이스에 배치되고, 일단이 상기 처리실에 연통되고 타단이 개방되어 있으며 도중에 제1 개폐 밸브 수단을 갖는 제1 유로와,
    제2 진공 배기계에 배치되며, 일단이 개방되고 타단이 제2 진공원에 연통되어 있으며 도중에 제3 개폐 밸브 수단을 갖는 제3 유로와,
    상기 제1 유로와 상기 제3 유로를 접속 또는 비접속 상태로 위치시키는 것을 가능하게 하는 제2 이동식 부재로 이루어지고,
    상기 주감압 영역에 위치하는 상기 증착 유닛의 상기 처리실 안을 감압 상태로 할 때는, 상기 제1 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태, 상기 제3 개폐 밸브 수단이 폐쇄 상태이고 상기 제2 이동식 부재에 의해 상기 제1 유로와 상기 제3 유로가 접속된 상태로부터, 상기 제3 개폐 밸브 수단을 개방 상태로, 다음에 상기 제1 개폐 밸브 수단을 개방 상태로 한 후, 상기 증착 유닛이 상기 증착 영역으로부터 상기 감압 해제 영역으로 이동할 때는, 상기 제1 및 상기 제2 개폐 밸브 수단을 각각 폐쇄 상태로 한 후에, 상기 제2 이동식 부재에 의해 상기 제1 유로와 상기 제3 유로를 비접속 상태로 하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 증착체는 합성 수지제 용기이고, 상기 용기의 내면 전체에 걸쳐 박막이 증착되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
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