KR20110014012A - 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치 - Google Patents

잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치 Download PDF

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양주환
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Abstract

본 발명에 따른 잉크젯 헤드는 내부에 형성되는 잉크 챔버 및 상기 잉크 챔버와 인접한 표면에 형성되는 전극부를 포함하는 헤드 몸체; 상기 전극부와 전기적으로 연결되도록 상기 헤드 몸체에 장착되는 압전 엑츄에이터; 및 본딩 툴에 의해 가압되어 서로 높이가 다른 상기 전극부 및 상기 압전 엑츄에이터에 전도성 접착제에 의해 전기적으로 연결되는 기판부;를 포함할 수 있다.

Description

잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치{Inkjet head, method of menufacturing inkjet head and electrical connection device}
본 발명은 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 전기적 접속이 용이하게 제조되는 잉크젯 헤드, 상기 잉크젯 헤드를 제조하는 제조 방법 및, 헤드 몸체에 엑츄에이터를 전기적으로 접속시키기 위한 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 헤드는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐을 통하여 잉크가 액적의 형태로 토출되도록 하는 구조체이다.
최근 압전 방식의 잉크젯 헤드는 산업용 잉크젯 프린터에서도 사용되고 있다. 예를 들어, 인쇄회로기판(PCB) 상에 금, 은 등의 금속을 녹여 만든 잉크를 분사해 회로 패턴을 직접 형성시키거나 산업 그래픽이나 액정 디스플레이(LCD), 유기발광다이오드(OLED)의 제조, 태양전지 등에 사용된다.
이러한 잉크젯 프린터의 잉크젯 헤드 내에는 카트리지에서 잉크를 유입 및 유출하는 유입구와 유출구, 유입되는 잉크를 저장하는 리저버, 그리고 상기 리저버 내의 잉크를 노즐로 이동시키기 위해 엑츄에이터의 구동력을 전달하는 챔버 등이 형성된다.
그러나, 종래의 잉크젯 헤드는 엑츄에이터의 상부 전극과 기판의 전극 간에 와이어 본딩을 통해서 엑츄에이터가 접속되는데, 하나의 잉크젯 헤드에 노즐의 개수가 늘어감에 따라 엑추에이터 접속을 위한 와이어 본딩의 작업 시간이 많이 소요되었다.
또한, 종래의 잉크젯 헤드는 이러한 와이어 본딩을 통해 잉크젯 헤드에 엑츄에이터를 전기적으로 연결시키는 방법 이외에 별도의 솔더링 작업을 통해서 전기적으로 연결시키는 방법을 사용할 수도 있지만, 그에 따르는 작업 시간도 많이 소요된다는 문제점이 있으므로, 이러한 문제점을 해결할 기술들이 요구된다.
본 발명은 상술된 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 한번의 공정으로 간단하게 엑츄에이터를 헤드 몸체에 전기적으로 연결할 수 있는 잉크젯 헤드, 이러한 잉크젯 헤드를 제조하는 잉크젯 헤드의 제조 방법 및, 이러한 헤드 몸체에 압전 엑츄에이터를 전기적으로 연결시키는 잉크젯 헤드용 접속 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드는 내부에 형성되는 잉크 챔버 및 상기 잉크 챔버와 인접한 표면에 형성되는 전극부를 포함하는 헤드 몸체; 상기 전극부와 전기적으로 연결되도록 상기 헤드 몸체의 표면에 형성되는 압전 엑츄에이터; 및 본딩 툴에 의해 가압되어 서로 높이가 다른 상기 전극부 및 상기 압전 엑츄에이터에 전도성 접착제로 접착되어 전기적으로 연결되는 기판부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 전도성 접착제는 상기 압전 엑츄에이터 및 상기 기판부 사이에 배치되고, 상기 본딩 툴에 의해서 상기 기판부를 가압 시 상기 압전 엑츄에이터의 표면을 따라 밀착되도록 단부가 절곡된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 기판부는 상기 전극부와 접촉되는 상기 압전 엑츄에이터 일면의 반대면에 전기적으로 연결되는 엑츄에이터 접속부 및, 상기 전극부와 전기적으로 연결되는 전극 접속부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 기판부는 상기 엑츄에이터 접속부 및 상기 전극 접속부 사이가 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 기판부는 상기 압전 엑츄에이터의 표면을 전체적으로 덮도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 기판부는 상기 압전 엑츄에이터의 표면을 부분적으로 덮도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법은 스테이지에 전극부가 형성된 헤드 몸체를 배치시키는 단계; 상기 헤드 몸체에 압전 엑츄에이터를 전기적으로 연결시키도록 배치하고, 상기 압전 엑츄에이터의 상부에 기판부를 위치시키는 단계; 및 상기 기판부가 상기 압전 엑츄에이터와 상기 전극부에 전기적으로 연결되도록 본딩 툴을 이동시켜 상기 기판부를 가압하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법의 상기 전도성 접착제를 위치시키는 단계는 기판부가 상기 전극부 및 상기 압전 엑츄에이터와 각각 전기적으로 연결시키기 위해 상기 전도성 접착제의 상부에 상기 기판부를 배치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법은 상기 기판과 상기 본딩 툴 사이에 댐퍼를 배치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법의 상기 전도성 접착제는 필름형 접착제를 사용하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치는 압전 엑츄에이터가 전기적으로 연결된 전극부를 포함하는 헤드 몸체가 배치되는 스테이지; 및 상기 압전 엑츄에이터의 굴곡된 면에 전도성 접착제가 밀착되도록 상부에서 가압하는 상기 본딩 툴;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 상기 본딩 툴은 상기 전도성 접착제의 사이에 배치되는 댐퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 상기 댐퍼는 상기 본딩 툴과 일체로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 상기 댐퍼는 상기 본딩 툴과 분리되도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 상기 본딩 툴은 상기 압전 엑츄에이터의 측면을 따라 이동하는 절곡부를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 상기 스테이지는 내부에 수용된 상기 헤드 몸체가 고정되도록 하는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치는 본딩 툴에 의해서 기판부를 가압하여 높이가 다른 전극부 및 압전 엑츄에이터를 동시에 전기적으로 연결하므로 매우 간단하게 잉크젯 헤드를 제조 하여 작업 공정을 간단하게 할 수 있으며, 전기적인 접합 불량도 감소시킬 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치에 관하여 도 1 내지 도 8을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다. 이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 단면도이며, 도 3은 도 1의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 상면도이고, 도 4 및 도 5는 도 3의 잉크젯 헤드의 측단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 잉크젯 헤드(100)는 헤드 몸체(110), 압전 엑츄에이터(120), 기판부(130) 및 전도성 접착제(140)를 포함할 수 있다.
도 2에서 도시된 바와 같이, 헤드 몸체(110)는 압전 엑츄에이터(120)의 구동에 의해서 내부에 잉크를 외부로 토출시킨다. 이때 헤드 몸체(110)는 유로 플레이 트(112), 중간 플레이트(114) 및 노즐 플레이트(116)를 포함할 수 있다.
유로 플레이트(110)는 복수개의 잉크 챔버(10)가 형성되며, 잉크가 유입되기 위한 잉크 도입구(20)가 마련된다. 이때, 잉크 도입구(20)는 매니폴드(30)와 직접적으로 연결되도록 제공되며, 매니폴드(30)는 리스트릭터(40)를 통해서 잉크 챔버(10)로 잉크를 공급하는 역할을 한다.
잉크 챔버(10)는 압전 엑츄에이터(120)가 장착되는 위치의 하부에 마련된다. 이때, 유로 플레이트(110) 중에서 잉크 챔버(10)의 천장을 이루는 부분은 진동판 역할을 하게 된다.
따라서, 잉크의 토출을 위해서 압전 엑츄에이터(120)에 구동 신호를 인가하면, 압전 엑츄에이터(120)와 함께 그 아래의 진동판이 변형되면서 잉크 챔버(10)의 부피가 감소하게 된다.
이에 따른 잉크 챔버(10) 내의 압력 증가에 의해서 잉크 챔버(10) 내의 잉크(I)는 댐퍼(50)와 노즐(60)을 통해 외부로 토출되어 페이퍼(P) 등에 인쇄될 수 있다.
그리고, 중간 플레이트(120)는 길이방향으로 길게 형성되는 매니폴드(30) 및 노즐(60)과 잉크 챔버(10)를 연결하는 댐퍼(50)를 포함할 수 있다.
매니폴드(30)는 잉크 도입구(20)로부터 잉크를 공급받아 잉크 챔버(10)로 잉크를 공급하는 데, 매니폴드(30) 및 잉크 챔버(10)는 리스트릭터(40)에 의해서 연결된다.
이때, 매니폴드(30)는 하나의 큰 공간으로 형성되어 복수개의 잉크 챔버(10) 에 연결될 수도 있으나 이에 한정되지 않으며, 각 잉크 챔버(10)에 대응되도록 복수개가 형성될 수 있다.
그리고, 댐퍼(50)는 잉크 챔버(10)로부터 압전 엑츄에이터(120)에 의해서 토출되는 잉크를 전달받아 노즐(60)을 통해서 외부로 토출시킨다.
이때, 상기 댐퍼(50)는 선택사항으로 이를 삭제할 수도 있으며, 이러한 경우는 유로 플레이트(110)와 노즐 플레이트(130) 만으로도 잉크젯 헤드를 구성할 수 있다.
노즐 플레이트(130)는 각 잉크 챔버(10)와 대응되도록 형성되며, 댐퍼(50)를 지나는 잉크가 노즐(60)을 통해서 외부로 토출되게 된다. 그리고, 노즐 플레이트(130)는 중간 플레이트(120)의 하부에 접착된다.
노즐(60)은 상기 잉크젯 헤드 내에 형성된 유로를 통해 이동하는 잉크를 액적으로 분사되게 한다.
이때, 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120) 및 노즐 플레이트(130)는 반도체 직접 회로에 널리 사용되는 실리콘 기판이 사용될 수 있다.
또한, 압전 엑츄에이터(120)는 상면 및 하면에 전기적으로 연결되는 전극이 형성될 수 있으며, 압전 물질인 PZT(Lead Zirconate Titanate) 세라믹 재료로 이루어질 수 있다.
이때, 압전 엑츄에이터(120)는 벌크(bulk) 형태로 형성될 수 있으며, 도 1에서 도시된 바와 같이, 벌크 형태의 압전 엑츄에이터(120)에는 절단선이 형성될 수 있다.
그리고, 압전 엑츄에이터(120)의 상면에는 기판부(130)와 전기적으로 연결되기 위한 상부 전극(122)이 형성되고, 압전 엑츄에이터(120)의 저면에는 헤드 몸체(110)의 표면에 형성되어 그라운드(ground) 역할을 하는 전극부(118)와 전기적으로 연결하기 위한 하부 전극(124)이 형성될 수 있다.
이때, 하부 전극(124)은 압전 엑츄에이터(120)에 전극 물질이 증착되는 방법을 통해서 형성될 수도 있다. 그러나, 하부 전극(124)이 형성되는 방법은 이에 한정되는 것이 아니다.
또한, 도 2 및 도 3에서 도시된 바와 같이, 기판부(130)는 압전 엑츄에이터(120)에 파워를 공급하기 위해서 상부 전극(122)과 연결되는 엑츄에이터 접속부(132) 및, 헤드 몸체(110)의 표면에 형성된 전극부(118)와 전기적으로 연결되는 전극 접속부(134)를 포함할 수 있다.
그리고, 기판부(130)는 압전 엑츄에이터(120)의 측단부에 치우쳐서 형성되도록 형성될 수 있다. 그러나, 기판부(130)의 형상은 이에 한정되는 것이 아니다.
이때, 엑츄에이터 접속부(132) 및 전극 접속부(134)는 서로 이격되도록 형성될 수 있다. 따라서, 상기 이격된 구조는 상부 전극(122)과 전극부(118)의 높이가 서로 다르지만, 상기 이격된 구조에 의해서 기판부(130)의 접속을 용이하게 할 수 있다.
그리고, 도 4에서 도시된 바와 같이, 엑츄에이터 접속부(132)의 저면에는 전도성 접착제(140)에 의해서 압전 엑츄에이터(120)와 전기적으로 연결하기 위한 패드부(136)가 형성된다.
또한, 전도성 접착제(140)는 압전 엑츄에이터(120) 및 기판부(130) 사이에 배치되고, 본딩 툴에 의해서 기판부(130)를 가압 시 압전 엑츄에이터(120)의 표면을 따라 밀착되도록 단부가 절곡된 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 전도성 접착제(140)는 필름 형태의 접착제일 수 있으며, 이방성 도전 접착제(ACF: Anisotrofic Conductive Film)일 수 있다.
도 5에서 도시된 바와 같이, 전도성 접착제(140)의 단부는 압전 엑츄에이터(120)의 표면 및 각 측면과 밀착되도록 절곡 형성될 수 있다. 따라서, 전도성 접착제(140)가 압전 엑츄에이터(120)를 완전히 봉지하는 역할을 하기 때문에 외부의 충격에서 보호할 수 있으며, 또한 압전 엑츄에이터(120)의 진동력이 헤드 몸체(110)로 전달되는 효과를 극대화할 수 있기 때문에 잉크젯의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
이때, 본 실시예는 전도성 접착제(140) 및 기판부(130)를 본딩 툴을 이용하여 한번에 가압하여 전도성 접착제(140)에 의해서 압전 엑츄에이터(120) 및 전극부(118)에 전기적으로 연결시키므로 여러 번의 공정을 하지 않아도 되어 매우 간단하게 잉크젯 헤드를 제조할 수 있으며, 이에 따라 작업 공정을 간단하게 할 수 있다.
또한, 각 압전 엑츄에이터(120)와 와이어 본딩과 같이 각각의 전기적인 접속 작업을 할 때 자주 발생되는 전기적인 접합 불량도 감소시킬 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치를 설명하기 위한 분 해 단면도이고, 도 7은 도 6의 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 동작을 설명하기 위한 부분 단면도이고, 도 8은 도 6의 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치에 의해서 완성되는 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치는 스테이지(210) 및 본딩 툴(220)을 포함할 수 있다.
스테이지(210)는 전극부(118)가 형성된 헤드 몸체(110)를 배치시키기 위한 수용 공간이 제공되며, 헤드 몸체(110)의 양단부에 형성되는 스토퍼(212)를 포함할 수 있다. 이때, 스토퍼(212)는 헤드 몸체(110)가 유동되지 않도록 그 헤드 몸체(110)의 길이만큼 서로 이격되어 형성된다.
따라서, 스테이지(210)는 본딩 툴(220)에 의해서 가압되는 헤드 몸체(110)를 하부에서 지지하므로 헤드 몸체(110)에 전도성 접착제(140)가 용이하게 부착될 수 있도록 한다.
본딩 툴(220)은 스테이지(210)의 상부에 순차적으로 형성된 헤드 몸체(110), 압전 엑츄에이터(120), 전도성 접착제(140) 및 기판부(130)의 상부에 위치하여, 상하로 이동 가능하다.
그리고, 본딩 툴(220)의 양단부는 하부를 향하여 수직하게 절곡된 절곡부(222)를 포함한다. 따라서, 절곡부(222)는 압전 엑츄에이터(120)의 측면을 따라 이동하므로 전도성 접착제(140)를 가압하여 전도성 접착제(140)가 압전 엑츄에이터(120)를 완전히 덮도록 한다.
그리고, 절곡부(222) 사이의 공간은 압전 엑츄에이터(120)의 길이와 동일하 게 형성될 수 있다. 따라서, 본딩 툴(220)의 내면은 압전 엑츄에이터(120)의 상면에 접촉되고, 절곡부(222)의 표면은 전극부(118)의 표면에 접촉되게 된다.
또한, 본딩 툴(220)과 기판부(130) 사이에는 탄성 시트(230)가 배치될 수 있으며, 탄성 시트(230)에 의해서 본딩 툴(220)이 가압될 때 기판부(130) 및 다른 구성들이 손상을 입지 않게 된다.
본 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법은 다음과 같다.
잉크젯 헤드의 제조 방법은 스테이지(210) 상에 헤드 몸체(110)를 배치시키고, 압전 엑츄에이터(120)의 상부에 전도성 접착제(140)를 위치시키는 단계를 포함할 수 있다.
이때, 스테이지(210)는 헤드 몸체(110)가 이동하지 않도록 헤드 몸체(110)의 양단에 형성된 스토퍼(212)를 포함하므로, 스토퍼(212)에 의해서 형성된 수용 공간으로 헤드 몸체(110)를 간단하게 배치하여 용이하게 작업을 수행할 수 있다.
그리고, 그 이후에는 전극부(118)가 형성된 헤드 몸체(110)에 압전 엑츄에이터(120)를 전기적으로 연결시키도록 배치하는 단계를 포함할 수 있다.
이때, 압전 엑츄에이터(120)의 하부 전극(124)을 전극부(118)와 도통하도록 접착시키는데, 이러한 접착 공정에서 사용되는 접착제는 에폭시일 수 있다. 그러나, 본 실시예에서는 이러한 접착제에 한정되는 것이 아니다.
그리고, 상기 접착제의 두께는 2~5um로 얇게 형성될 수 있으며, 접착층의 두께가 더 두껍거나 얇아지게 되면 전기적 손실 또는 기계적인 신뢰성이 약화될 수 있으므로 상기 두께를 유지하도록 접착제를 도포한다.
다음 단계로는 압전 엑츄에이터(120)의 굴곡된 면을 따라 전도성 접착제(140)가 밀착되도록 본딩 툴(220)로 전도성 접착제(140)를 가압하는 단계를 포함할 수 있다.
구체적으로, 도 7 및 도 8에서 도시된 바와 같이, 본딩 툴(220)이 하부를 향하여 이동할 때(ⓐ) 본딩 툴(220)의 절곡부(222)는 압전 엑츄에이터(120)의 측면에 밀착되므로 전도성 접착제(140)가 압전 엑츄에이터(120)를 완전히 밀폐시키도록 압전 엑츄에이터(120)에 접착된다.
또한, 본딩 툴(220)의 절곡부(222) 사이 공간에는 압전 엑츄에이터(120)의 상부 전극이 접촉되며, 절곡부(222)에 의해 가압되는 전극 접속부(134)는 상부 전극보다 높이가 낮은 전극부(118)에 접촉된다.
따라서, 본 실시예에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치는 본딩 툴(220)을 이용하여 한번에 엑츄에이터 접속부(132) 및 전극 접속부(134)가 높이가 서로 다른 상부 전극(122) 및 전극부(118)와 각각 전기적으로 연결되므로 매우 간단하게 잉크젯 헤드의 전기적 접속을 완성할 수 있으며, 이에 따라 작업 공정을 간단하게 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 상면도이고, 도 10은 도 9의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9 및 도 10를 참조하면, 잉크젯 헤드(300)는 헤드 몸체(110), 압전 엑츄 에이터(120), 기판부(330) 및 전도성 접착제(140)를 포함할 수 있다.
이때, 헤드 몸체(110), 압전 엑츄에이터(120) 및 전도성 접착제(140)는 실질적으로 앞선 실시예의 구성과 동일하므로 그 구체적인 설명은 생략할 수 있다.
기판부(330)는 압전 엑츄에이터(120)에 파워를 공급하기 위해서 상부 전극(122)과 연결되는 엑츄에이터 접속부(332) 및, 헤드 몸체(110)의 표면에 형성된 전극부(118)와 전기적으로 연결되는 전극 접속부(334)를 포함할 수 있다. 이때, 도 10에서 도시된 바와 같이, 각 접속부에는 패드부(336)가 형성되며, 상기 패드부(336)가 상부 전극(122)과 전체적으로 접촉되므로 전기적으로 연결된다.
따라서, 기판부(330)는 압전 엑츄에이터(120)의 상단부에 전체적으로 덮도록 접착되므로 외부의 충격에 대해서도 보다 안정적으로 압전 엑츄에이터(120) 및 전극부(118)에 연결될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 상면도이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 잉크젯 헤드의 측단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치를 설명하기 위한 분해 단면도이다.
도 7은 도 6의 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치의 동작을 설명하기 위한 부분 단면도이다.
도 8은 도 6의 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치에 의해서 완성되는 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 상면도이다.
도 10은 도 9의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
110.... 헤드 몸체 120.... 압전 엑츄에이터
130.... 기판부 140.... 전도성 접착제
210.... 스테이지 220.... 본딩 툴
230.... 탄성 시트 112.... 유로 플레이트
114.... 중간 플레이트 116.... 하부 플레이트

Claims (16)

  1. 내부에 형성되는 잉크 챔버 및 상기 잉크 챔버와 인접한 표면에 형성되는 전극부를 포함하는 헤드 몸체;
    상기 전극부와 전기적으로 연결되도록 상기 헤드 몸체의 표면에 장착되는 압전 엑츄에이터; 및
    본딩 툴에 의해 가압되어 서로 높이가 다른 상기 전극부 및 상기 압전 엑츄에이터에 전도성 접착제에 의해 전기적으로 연결되는 기판부;
    를 포함하는 잉크젯 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 접착제는,
    상기 압전 엑츄에이터 및 상기 기판부 사이에 배치되고, 상기 본딩 툴에 의해서 상기 기판부를 가압 시 함께 가압되어 상기 압전 엑츄에이터의 측면에 밀착되도록 단부가 절곡된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판부는 상기 전극부와 접촉되는 상기 압전 엑츄에이터 일면의 반대면 에 전기적으로 연결되는 엑츄에이터 접속부 및, 상기 전극부와 전기적으로 연결되는 전극 접속부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판부는 상기 엑츄에이터 접속부 및 상기 전극 접속부 사이가 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판부는 상기 압전 엑츄에이터의 표면을 전체적으로 덮도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판부는 상기 압전 엑츄에이터의 표면을 부분적으로 덮도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  7. 스테이지에 전극부가 형성된 헤드 몸체를 배치시키는 단계;
    상기 헤드 몸체에 압전 엑츄에이터를 전기적으로 연결시키도록 배치하고, 상기 압전 엑츄에이터의 상부에 기판부를 위치시키는 단계; 및
    상기 기판부가 상기 압전 엑츄에이터와 상기 전극부에 전기적으로 연결되도록 본딩 툴을 이동시켜 상기 기판부를 가압하는 단계;
    를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판부를 가압하는 단계는,
    상기 압전 엑츄에이터의 굴곡된 면을 따라 전도성 접착제가 밀착되도록 상기 기판부 하부에 상기 전도성 접착제를 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 기판과 상기 본딩 툴 사이에 댐퍼를 배치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 전도성 접착제는 필름형 접착제를 사용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
  11. 압전 엑츄에이터가 전기적으로 연결된 전극부를 포함하는 헤드 몸체가 배치되는 스테이지; 및
    서로 높이가 다른 상기 전극부 및 상기 압전 엑츄에이터에 전도성 접착제 및 기판부가 밀착되도록 상부에서 가압하는 본딩 툴;
    를 포함하는 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 본딩 툴은,
    상기 전도성 접착제의 사이에 배치되는 댐퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 댐퍼는 상기 본딩 툴과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 댐퍼는 상기 본딩 툴과 분리되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 본딩 툴은,
    상기 압전 엑츄에이터의 측면을 따라 이동하는 절곡부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    내부에 수용된 상기 헤드 몸체가 고정되도록 하는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드용 전기적 접속 장치.
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