KR20110005024A - Apparatus for detecting align mark of display panel and panel for solar cell in laser scriber - Google Patents

Apparatus for detecting align mark of display panel and panel for solar cell in laser scriber Download PDF

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KR20110005024A
KR20110005024A KR1020090062512A KR20090062512A KR20110005024A KR 20110005024 A KR20110005024 A KR 20110005024A KR 1020090062512 A KR1020090062512 A KR 1020090062512A KR 20090062512 A KR20090062512 A KR 20090062512A KR 20110005024 A KR20110005024 A KR 20110005024A
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조현일
이익희
안창준
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(주)그린광학
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Abstract

PURPOSE: The solar cell panel of a solar cell laser scriber and an apparatus for detecting the alignment mark of a display panel are provided to improve the durability by including internal power line applying power to an illuminating module. CONSTITUTION: An optical unit(110) includes a plurality of lenses with different magnifications in a lens barrel. The optical unit includes a macro lens unit and a micro lens unit. An image taking unit(120) obtains image data from light transmitted through the optical unit. An illuminating unit(130) applies light required for taking images with respect to the alignment mark of a display panel through the optical unit. A power supplying unit supplies power to the image taking unit and the illuminating unit.

Description

태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치{APPARATUS FOR DETECTING ALIGN MARK OF DISPLAY PANEL AND PANEL FOR SOLAR CELL IN LASER SCRIBER}Alignment mark detection device for solar cell panel and display panel of solar cell laser scriber {APPARATUS FOR DETECTING ALIGN MARK OF DISPLAY PANEL AND PANEL FOR SOLAR CELL IN LASER SCRIBER}

본 발명은 태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널의 스크라이빙 공정 및 디스플레이 패널의 제조·검사 공정에서 패널의 위치를 정렬하기 위해 사용되는 정렬마크를 검출하는 장치에 관한 것으로, 렌즈 경통 내부에 다수개의 서로 다른 배율을 갖는 렌즈들을 포함하는 광학수단, 상기 광학수단을 통해 전달된 광에서 영상데이터를 획득하는 촬영수단, 상기 촬영수단이 디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는데 필요한 광을 상기 광학수단을 통하여 제공하는 조명수단, 및 상기 촬영수단과 상기 조명수단에 동작전원을 공급하는 전력공급수단을 구비하는 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치에 있어서, 유한한 수명으로 인하여 교체가 필요한 조명수단의 신속하고 편리한 교체와, 조명수단의 동작전원 공급용 배선의 외부 돌출로 인한 간섭이나 불량을 최소화하기 위한 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for detecting an alignment mark used for aligning a position of a panel in a scribing process of a solar cell panel of a solar cell laser scriber and a manufacturing / inspection process of a display panel. Optical means including lenses having two different magnifications, photographing means for obtaining image data from the light transmitted through the optical means, and light necessary for the photographing means to photograph the alignment mark of the display panel through the optical means; An apparatus for detecting an alignment mark of a display panel, comprising: providing lighting means; and power supply means for supplying operating power to the photographing means and the lighting means. And interference due to external protrusion of the wiring for supplying the operating power of the lighting means. The present invention relates to an alignment mark detection apparatus for a solar cell panel and a display panel in a laser scriber for minimizing defects.

표시장치의 대형화 및 고품질화에 많은 관심이 집중됨에 따라 화상 정보의 전달 매체로써 지금까지 사용되어 왔던 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신하여, 최근 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), FPD(Flat Panel Display) 등 각종 평판표시장치(이하, "디스플레이 패널"이라 함)가 개발되어 보급되고 있다.  As much attention is focused on the size and quality of display devices, liquid crystal displays (LCDs) and organic light emitting diodes (OLEDs) have recently been used instead of the CRT (Cathode-Ray Tube), which has been used as a transmission medium for image information. Various flat panel display devices (hereinafter referred to as "display panels"), such as PDP (Plasma Display Panel) and FPD (Flat Panel Display), have been developed and are being spread.

이러한 디스플레이 패널 중 하나인 TFT-LCD(Thin Film Transistor-LCD)를 일례로 들면, 액정패널을 제작하기 위해서는 박막 트랜지스터가 배열된 TFT기판과 컬러필터(Color filter)가 형성된 컬러필터기판을 각각 제조한 후 제조된 TFT기판과 컬러필터기판을 접합하여 원판 액정패널을 만드는 원판 액정패널 제작공정, 상기 원판 액정패널을 절단하여 각각의 독립적인 디스플레이 패널인 단위 액정패널로 분리하는 절단공정, 분리된 액정패널의 절단면을 검사하는 에지검사공정, 에지검사를 통과한 액정패널의 절단면인 측면을 연삭하는 연삭공정, 상기 연삭된 측면을 검사하는 검사공정, 검사공정을 통과한 액정패널 내부에 액정을 주입한 후 봉합하는 액정주입 및 봉합공정, 액정이 주입된 액정패널에 상신호를 인가하여 액정패널의 양·불량을 최종 검사하는 품질검사공정 및 모듈공정 등을 거친다.One example of such a display panel is a TFT-LCD (Thin Film Transistor-LCD). In order to manufacture a liquid crystal panel, a TFT substrate on which thin film transistors are arranged and a color filter substrate on which color filters are formed are manufactured. After manufacturing the original liquid crystal panel manufacturing the original liquid crystal panel by bonding the manufactured TFT substrate and the color filter substrate, the cutting process of cutting the original liquid crystal panel and separating it into a unit liquid crystal panel which is each independent display panel, separated liquid crystal panel After the liquid crystal is injected into the inside of the liquid crystal panel that passes the edge inspection process for inspecting the cutting plane of the surface, the grinding process for grinding the side surface of the liquid crystal panel that has passed the edge inspection, the inspection process for inspecting the ground side, and the inspection process Liquid crystal injection and sealing process for sealing, quality inspection for final inspection of the quantity and defect of liquid crystal panel by applying phase signal to the liquid crystal panel. It goes through four-step process and module process.

상술한 액정패널의 제조공정에서 박막 트랜지스터가 배열된 TFT기판을 제조하기 위하여 패턴 노광기에서 패턴 마스크(Mask)와 글라스의 위치를 정렬하는데, 이때 패턴 마스크와 글라스를 정렬하기 위해 기준점이 되는 패널 정렬마크(Alignment Mark)를 관측하는 과정(이하, "정렬작업"이라 함)이 필요하다. In the manufacturing process of the liquid crystal panel described above, in order to manufacture a TFT substrate on which thin film transistors are arranged, a position of a pattern mask and a glass is aligned in a pattern exposure machine, wherein a panel alignment mark serving as a reference point to align the pattern mask and glass is used. (Alignment Mark) observation process (hereinafter referred to as "alignment work") is required.

또한, TFT기판과 컬러필터기판을 접합하여 원판 액정패널을 만드는 상기 원판 액정패널 제작공정에서도 두 개의 글라스를 정렬하기 위한 정렬작업이 필요하다. In addition, an alignment operation for aligning two glasses is also required in the process of manufacturing the original liquid crystal panel in which the TFT substrate and the color filter substrate are bonded to form the original liquid crystal panel.

또한, 상기 연삭공정을 수행하기 위해서는 액정패널의 에지부를 정확히 연삭숫돌에 접근시켜 연삭을 수행해야 하는데, 이를 위해 액정패널의 초기위치를 결정하는 정렬작업이 필요하며, 연삭작업 후에 검사공정을 위해 연삭부위를 정확히 촬영하기 위해서도 정렬작업을 수행해야 한다. In addition, in order to perform the grinding process, the edge of the liquid crystal panel must be accurately approached by the grinding wheel. For this purpose, an alignment operation for determining the initial position of the liquid crystal panel is required, and the grinding operation is performed for the inspection process. Alignment must also be done to accurately photograph the site.

또한, 상기 액정주입 및 봉합공정 후 모듈공정 이전에 액정을 주입한 액정패널의 점등이 제대로 되는지 확인하기 위해 액정패널의 양·불량을 검사하는 품질검사 공정에서는 액정패널의 적·녹·청색의 표출여부와 해상도 및 휘도 등을 검사하게 되는데, 이때에도 프로브 유닛(Probe unit)과 액정패널의 정렬을 위한 정렬작업이 필요하다. In addition, in order to check whether the liquid crystal panel into which the liquid crystal is injected before the module process after the liquid crystal injection and sealing process is turned on properly, the quality inspection process of inspecting the quantity and defect of the liquid crystal panel displays red, green, and blue colors of the liquid crystal panel. It checks whether or not, resolution, and brightness, and at this time, an alignment operation for aligning the probe unit and the liquid crystal panel is necessary.

또한, 전면판과 배면판, 그리고, 격벽에 의해 구획된 방전공간에 Ne-Xe의 방전 가스가 봉입되는 PDP나, 투명 유리 기판 상에 양전극으로서 ITO 투명 전극 패턴이 형성되어 있는 형태를 가진 하판과 기판 상에 음전극으로서 금속 전극이 형성되어 있는 상판 사이의 공간에 유기 발광성 소재가 형성되는 OLED의 제조공정에 있어서도 전술한 액정패널의 제조공정에서와 같은 정렬작업이 수반되어야 한다.In addition, a front plate, a back plate, and a PDP in which Ne-Xe discharge gas is enclosed in a discharge space partitioned by a partition wall, or a lower plate having a form in which an ITO transparent electrode pattern is formed as a positive electrode on a transparent glass substrate; The manufacturing process of the OLED in which the organic light emitting material is formed in the space between the upper plates where the metal electrode is formed as the negative electrode on the substrate must be accompanied by the same alignment as in the manufacturing process of the liquid crystal panel described above.

전술한 디스플레이 패널의 일반적인 정렬작업 과정을 설명하면, 디스플레이 패널이 작업테이블에 로딩될 때는 적당히 로딩이 이루어지기 때문에 정렬이 안된 상태로서, 기울어진 형태로 로딩될 가능성이 높다. 따라서, 카메라의 영상획득영역 의 중심에 정렬마크의 중심이 정확히 일치되지 않는다. 따라서, 정렬마크의 중심을 카메라의 영상획득영역의 중심에 일치시키기 위해서는 카메라로부터 획득한 영상으로부터 정렬마크의 중심을 결정하고, 상기 정렬마크의 중심과 카메라의 영상획득영역의 중심과의 거리를 측정한 값과 두 개의 정렬마크의 중심을 연결한 선분과 카메라의 가상의 중심을 연결한 선분과 평행인 선분이 이루는 각도를 측정한 후, 상기 측정한 값들을 적용하여 정렬에 필요한 이동좌표값을 계산하고, 이동좌표값에 해당하는 거리를 작업테이블을 통해 이동시켜 디스플레이 패널을 정렬시키게 된다. Referring to the general alignment process of the display panel described above, when the display panel is loaded on the work table, the display panel is properly aligned because the display panel is properly loaded, and thus, the display panel may be loaded in an inclined form. Therefore, the center of the alignment mark does not coincide exactly with the center of the image acquisition area of the camera. Therefore, in order to match the center of the alignment mark with the center of the image acquisition area of the camera, the center of the alignment mark is determined from the image obtained from the camera, and the distance between the center of the alignment mark and the center of the image acquisition area of the camera is measured. After measuring the angle formed by the line segment connecting the center of one value and two alignment marks and the line segment parallel to the line connecting the virtual center of the camera, calculate the moving coordinate values necessary for the alignment by applying the measured values. Then, the display panel is aligned by moving the distance corresponding to the moving coordinate value through the work table.

또한, 태양전지용 레이저 스크라이버에서 박막형 태양전지용 패널을 코팅 후 스크라이빙 하기 위해서는 태양전지용 패널을 정렬시켜야 한다. In addition, in order to scribe after coating a thin film solar panel in a solar cell laser scriber, the solar cell panel must be aligned.

일반적으로 이러한 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬을 위해서 정렬마크 검출장치가 사용된다. 패널의 정렬마크 검출장치는 렌즈 경통 내부에 다수개의 서로 다른 배율을 갖는 렌즈들을 포함하는 광학렌즈와, 상기 광학렌즈를 통해 전달된 광에서 정렬마크의 영상을 획득하는 CCD카메라와, 상기 CCD카메라가 정렬마크를 촬영하는데 필요한 광을 제공하는 조명부로 구성된다. In general, an alignment mark detection device is used to align the solar panel and the display panel. The alignment mark detection apparatus of the panel includes an optical lens including a lens having a plurality of different magnifications in the lens barrel, a CCD camera for acquiring an image of the alignment mark from the light transmitted through the optical lens, and the CCD camera. It consists of an illumination unit that provides the light necessary to photograph the alignment mark.

종래의 패널의 정렬마크 검출장치는 상기 CCD카메라와 조명부에 전원을 공급하기 위한 전원부를 구비하는데, 검출장치의 구조상 전원부는 CCD카메라에 직접 또는 CCD카메라와 근접한 위치에서 전원을 공급하지만, 조명부에는 전원선로를 통해 전원을 공급한다. 조명부는 LED 등의 발광소자를 광원으로 사용하며 발광소자는 상기 전원부와 연결된 전원선로에 납땜 등의 방법으로 연결되어 있다.Conventional panel alignment mark detection device is provided with a power supply for supplying power to the CCD camera and the lighting unit, the power supply unit to supply power to the CCD camera directly or in close proximity to the CCD camera in the structure of the detection device, Supply power through the track. The lighting unit uses a light emitting device such as an LED as a light source, and the light emitting device is connected to a power line connected to the power supply unit by soldering or the like.

통상적으로 패널의 제조공정은 24시간 중단 없이 이루어진다. 즉, 각 가공공 정은 하나의 독립된 작업이 아니라 제조공정 전체가 하나의 흐름으로 이루어져 연속적으로 각 공정이 수행된다. 이러한 패널의 제조공정의 특성에 따라 어느 하나의 공정에 이상이 발생하더라도 전체 제조공정에 영향을 끼치게 되므로 신속한 장애처리가 더없이 중요하다. Typically, the manufacturing process of the panel is made without interruption for 24 hours. In other words, each process is not one independent work, but the entire manufacturing process consists of one flow, and each process is continuously performed. According to the characteristics of the manufacturing process of the panel, even if an abnormality occurs in any one process affects the entire manufacturing process, it is important to quickly troubleshoot.

따라서, 상기 정렬마크 검출장치의 경우에도 조명부의 LED의 기능이상이나 수명이 다해 교환이나 정비가 필요할 시에는 디스플레이 패널 제조공정의 특성상 가동을 멈출 수 없기 때문에 장비전체를 교환하거나 이상이 있는 부품을 통째로 교환하여 연속된 공정을 멈추지 않고 계속 수행할 수 있도록 하고 있다.Therefore, even in the case of the alignment mark detection device, if the LED of the lighting unit has a malfunction or lifespan, it is impossible to stop the operation due to the nature of the display panel manufacturing process. It is exchanged so that it can be continued without stopping the continuous process.

종래의 패널의 정렬마크 검출장치의 경우에는 조명부의 LED가 유한한 수명으로 인하여 교체가 빈번한 부품이다. 그러나, 상술한 바와 같이, 패널의 정렬마크 검출장치에 사용되는 종래의 조명부는 LED 등의 발광소자를 전원선로에 납땜으로 접속하여 사용하고 있으므로, 조명부만을 신속히 교체하는 것은 불가능하기 때문에 검출장치 전체를 통째로 교환하여야 한다. 검출장치 전체를 통째로 교환함에 따라 이상이 발생한 조명부의 교체는 신속하게 이루어질 수 있으나, 새롭게 장착된 검출장치에 대하여 정렬마크의 중심을 카메라의 영상획득영역의 중심에 일치시키기 위한 정렬과정을 다시 수행해야 하는 문제점이 있다.In the case of the conventional alignment mark detection device of the panel, the LED of the lighting unit is a frequent replacement due to a finite life. However, as described above, the conventional lighting unit used for the alignment mark detection device of the panel is used by soldering a light emitting element such as an LED to the power line, so that it is impossible to replace only the lighting unit quickly. The whole must be exchanged. The replacement of the lighting unit that has an abnormality can be made quickly by replacing the entire detection device, but for the newly mounted detection device, the alignment process must be performed again to match the center of the alignment mark with the center of the image acquisition area of the camera. There is a problem.

또한, 조명부의 동작전원 공급용 전원선로가 검출장치의 외부에 돌출되어 있기 때문에 돌출된 전원선로로 인한 간섭이 발생할 수 있고, 접촉불량이 발생할 확률이 높은 문제점이 있다.In addition, since the power supply line for the operation power supply of the lighting unit protrudes outside the detection device, interference due to the protruding power line may occur, and there is a high probability of contact failure.

따라서 본 발명의 목적은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널 제조공정의 연속된 흐름에 맞추어 패널의 정렬마크 검출장치의 조명모듈만을 신속하게 교체할 수 있는 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to align the solar panel and the display panel in the solar cell laser scriber that can quickly replace only the lighting module of the alignment mark detection device of the panel in accordance with the continuous flow of the solar panel and display panel manufacturing process. The present invention provides a mark detection device.

또한, 본 발명의 다른 목적은 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 조명모듈 교체 시 전원을 끄지 않고도 조명모듈을 간편하게 교체할 수 있으며, 장착 즉시 전원인가가 가능한 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치를 제공함에 있다. In addition, another object of the present invention is to easily replace the lighting module without turning off the power when replacing the lighting module of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel in the solar cell laser scriber, solar power available immediately after installation The present invention provides an alignment mark detection apparatus for a solar panel and a display panel in a laser scriber for a battery.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 조명모듈에 동작전원을 인가하는 전원선로를 내부선로로 구비함으로써, 구동 시 걸림을 방지하고 내구성을 향상시킬 수 있는 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치를 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a power line for applying the operating power to the lighting module of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel as an internal line, it is possible to prevent the jam when driving and improve durability. The present invention provides an alignment mark detection apparatus for a solar panel and a display panel in a solar cell laser scriber.

또한, 본 발명의 다른 목적은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 조명모듈에 동작전원을 인가하는 전원선로와 조명모듈을 납땜 등의 접합 없이 탈착식으로 접촉할 수 있는 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치를 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is a solar cell laser scriber that can be detachably contact the power line and the lighting module for applying the operating power to the lighting module of the alignment mark detection device of the solar cell panel and display panel without soldering or the like. The present invention provides an alignment mark detection apparatus for a solar panel and a display panel.

상기와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치는, 렌즈 경통 내부에 다수개의 서로 다른 배율을 갖는 렌즈들을 포함하는 광학수단, 상기 광학수단을 통해 전달된 광에서 영상데이터를 획득하는 촬영수단, 상기 촬영수단이 디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는데 필요한 광을 상기 광학수단을 통하여 제공하는 조명수단, 및 상기 촬영수단과 상기 조명수단에 동작전원을 공급하는 전력공급수단을 구비하는 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치는, 상기 조명수단이, 광원부와, 상기 광원부를 장착하고, 상기 전력공급수단이 공급하는 동작전원을 상기 광원부로 전달하는 접촉단자를 하면 일측에 형성한 인쇄회로기판으로 구성되어, 상기 렌즈 경통 외부에 탈착 가능하도록 결합됨을 특징으로 한다.In the solar cell laser scriber according to the present invention for achieving the above objects, the alignment mark detection apparatus of the solar panel and the display panel, the optical means including a lens having a plurality of different magnifications in the lens barrel, Photographing means for acquiring image data from the light transmitted through the optical means, illuminating means for providing the light necessary for photographing the alignment mark of the display panel through the optical means, and the photographing means and the illuminating means. In the alignment mark detection apparatus of the display panel having a power supply means for supplying the operating power, the lighting means is a contact for mounting the light source unit, the light source unit, the operating power supplied by the power supply means to the light source unit When the terminal is made of a printed circuit board formed on one side, the lens barrel It is characterized in that coupled to the removable detachable.

이때, 본 발명에 따른 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 상기 전력공급수단은, 상기 조명수단의 접촉단자와 결합되는 전원단자를 일단에 형성한 내부배선의 타단과 연결되어, 상기 내부배선을 통하여 상기 조명수단에 동작전원을 공급함을 특징으로 한다.At this time, the power supply means of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel in the solar cell laser scriber according to the present invention, the other of the internal wiring formed at one end of the power terminal coupled to the contact terminal of the lighting means; It is connected to the stage, characterized in that to supply the operating power to the lighting means through the internal wiring.

이때, 본 발명에 따른 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 상기 내부배선은, 상기 전력공급수단과 외부 전원공급 커넥터를 통해 연결됨을 특징으로 한다.At this time, the internal wiring of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel in the solar cell laser scriber according to the present invention is characterized in that connected via the power supply means and an external power supply connector.

이때, 본 발명에 따른 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 상기 광원부는, LED(Light Emitting Diode)임을 특징으로 한다.At this time, the light source unit of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel in the solar cell laser scriber according to the present invention is characterized in that the LED (Light Emitting Diode).

이때, 본 발명에 따른 태양전지용 레이저 스크라이버에서 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 상기 촬영장치는, CCD(Charge Coupled Device)카메라임을 특징으로 한다.In this case, in the solar cell laser scriber according to the present invention, the photographing apparatus of the alignment mark detection apparatus of the solar cell panel and the display panel is a CCD (Charge Coupled Device) camera.

상술한 바와 같이 본 발명은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치에 동작전원을 인가하는 전원선로와 조명모듈을 탈착식으로 접촉시킴으로써, 디스플레이 패널 제조공정의 연속된 흐름에 맞추어 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 조명모듈만을 신속하게 교체할 수 있어 제조공정의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the alignment mark of the display panel is adapted to the continuous flow of the display panel manufacturing process by detachably contacting the power line for applying the operating power to the alignment mark detection device of the solar cell panel and the display panel and the lighting module. Since only the lighting module of the detection device can be replaced quickly, there is an effect of improving the efficiency of the manufacturing process.

또한, 본 발명은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치 전체를 통째로 교체하지 않고 조명모듈만을 간편하게 교체할 수 있으므로, 새롭게 장치를 정렬할 필요가 없어서 제조공정의 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the present invention can easily replace only the lighting module without replacing the whole alignment mark detection device of the solar panel and the display panel, there is no need to align the new device to further improve the efficiency of the manufacturing process There is.

뿐만 아니라, 본 발명은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 조명모듈 교체 시 전원을 끄지 않고도 조명모듈을 간편하게 교체할 수 있으므로, 장착 즉시 전원인가가 가능하여 제조공정의 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can easily replace the lighting module without turning off the power when replacing the lighting module of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel, it is possible to immediately supply power to further improve the efficiency of the manufacturing process It can be effective.

또한, 본 발명은 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치 의 조명모듈에 동작전원을 인가하는 전원선로를 내부선로로 구비함으로써, 구동 시 타기구와의 걸림을 방지하고, 내구성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the present invention is provided with a power line for applying the operating power to the lighting module of the alignment mark detection device of the solar panel and the display panel as an internal line, it is possible to prevent the jamming with other devices when driving, and improve durability. It works.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예들의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 설명될 것이다. 도면들 중 동일한 구성들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들을 나타내고 있음을 유의하여야 한다. 하기 설명에서 구체적인 특정 사항들이 나타나고 있는데, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해 제공된 것이다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a detailed description of preferred embodiments of the present invention will be given with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the same components in the figures represent the same numerals wherever possible. Specific details are set forth in the following description, which is provided to provide a more thorough understanding of the present invention. In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명의 상세한 설명에서 언급되는 '디스플레이 패널'은, 특별히 정의하는 경우를 제외하고는, LCD, OLED, PDP, FPD 등 각종 평판표시장치의 제조공정 중의 전/후면 패널 또는 전/후면 글라스를 함께 또는 개별적으로 의미하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에 따른 정렬마크 검출장치는 '태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널의 스크라이빙 공정'에서도 디스플레이 패널의 정렬과 동일한 방식으로 태양전지용 패널'의 정렬마크를 검출하는데 적용될 수 있다는 것을 이해하여야 한다. 다만, 하기의 설명에서는 디스플레이 패널의 정렬마크 검출 공정을 일례로 들어 대표적으로 설명한다.The display panel referred to in the detailed description of the present invention includes a front / rear panel or front / rear glass in the manufacturing process of various flat panel display devices such as LCD, OLED, PDP, and FPD, unless specifically defined. Or individually. In addition, the alignment mark detection apparatus according to the present invention can be applied to detect the alignment mark of the solar panel in the same manner as the alignment of the display panel in the 'scribing process of the solar cell panel of the solar cell laser scriber'. It must be understood. However, in the following description, the alignment mark detection process of the display panel will be described as an example.

본 발명에서 제안하는 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출 장치는 광원에 동작전원을 인가하는 전원선로를 내부배선으로 형성하고, 상기 형성된 내부배선과 납땜 등의 접합 없이 접촉이 가능하며, 전원을 끄지 않은 상태에서 교체가 가능하여 교체 즉시 전원인가가 가능한 탈착식 조명모듈을 제공한다. The alignment mark detection apparatus of the solar cell panel and display panel proposed by the present invention forms a power line for applying operating power to a light source as internal wiring, and can contact without forming the internal wiring and soldering. It can be replaced without turning off, providing a detachable lighting module that can be powered up immediately.

또한, 본 발명에서 제안하는 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치는 연속된 제조공정의 흐름을 최대한 간섭하지 않으면서 조명모듈만을 신속하고 간편하게 교체할 수 있도록 접촉식 전원단자를 구비하는 탈착식 조명모듈을 제공한다.In addition, the alignment mark detection device of the solar panel and display panel proposed in the present invention is removable lighting having a contact power terminal so that only the lighting module can be replaced quickly and easily without interfering with the flow of the continuous manufacturing process. Provide a module.

이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the alignment mark detection apparatus of the display panel according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 사용 예시도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 사시도이며, 도 3은 도 2의 검출장치에서 조명모듈의 탈착구조를 설명하기 위한 부분 분해 사시도이다.1 is an exemplary view of an alignment mark detection apparatus of a display panel according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view of an alignment mark detection apparatus of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a detection apparatus of FIG. 2. Is a partially exploded perspective view for explaining the detachment structure of the lighting module.

도 1은 LCD패턴 노광기에서 수행되는 글라스의 위치정렬 공정을 나타낸 것으로, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치를 일례로 도시한 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)는 작업테이블(10)에 로딩된 디스플레이 패널(20)의 정렬마크(40)를 검출함으로써 디스플레이 패널(20)을 정렬시키게 된다. 두 개의 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)가 디스플레이 패널(20) 상의 정렬마크(40)를 검출하고, 타겟으 로 등록하여 정렬한다. 정렬이 되면 상부의 프로브 유닛(30)이 하강하여 디스플레이 패널(20)의 패턴부에 프로브 핀을 접촉시키게 된다.1 illustrates a glass alignment process performed by an LCD pattern exposure machine, and illustrates an alignment mark detection apparatus of a display panel according to the present invention as an example. As shown in FIG. 1, the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel according to the present invention detects the alignment mark 40 of the display panel 20 loaded on the work table 10. Will be aligned. The alignment mark detection apparatus 100 of the two display panels detects the alignment mark 40 on the display panel 20, registers the alignment marks as a target, and aligns them. When aligned, the upper probe unit 30 descends to contact the probe pins with the pattern portion of the display panel 20.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 광학수단(110), 촬영수단(120) 및 조명수단(130)으로 구성된다. As shown in FIG. 2, the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel according to the preferred embodiment of the present invention includes an optical means 110, a photographing means 120, and an illumination means 130.

상기 광학수단(110)은 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)에서 눈과 같은 역할을 하는 구성부로서, 렌즈 경통 내부에 다수개의 서로 다른 배율을 갖는 렌즈들을 포함한다. The optical means 110 is a component that functions as an eye in the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel, and includes lenses having a plurality of different magnifications in the lens barrel.

상기 광학수단(110)은 각각 다수개의 렌즈로 구성되는 매크로렌즈유닛 및 마이크로렌즈유닛을 포함하며, 원하는 배율의 화상을 다수개의 렌즈들로 형성한다. 상기 매크로렌즈유닛을 통해서는 넓은 영역의 화상을 얻을 수 있고, 상기 마이크로렌즈유닛을 통해서는 상대적으로 좁은 영역의 정밀한 화상을 얻을 수 있다.The optical means 110 includes a macro lens unit and a micro lens unit each composed of a plurality of lenses, and forms an image of a desired magnification into a plurality of lenses. Through the macro lens unit, a wide area image can be obtained, and through the micro lens unit, a relatively narrow area image can be obtained.

상기 촬영수단(120)은 시신경과 같은 역할을 하는 구성부로서 통상 CCD카메라가 사용되며, 상기 광학수단(110)을 통해 전달된 광에서 디스플레이 패널(20)의 정렬마크(40)에 대한 영상데이터를 획득한다. 상기 조명수단(130)은 상기 촬영수단(120)이 디스플레이 패널(20)의 정렬마크(40)를 촬영하는데 필요한 빛을 상기 광학수단(110)을 통하여 제공한다. 또한, 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)는 도시하지는 않았으나 상기 촬영수단(120)과 상기 조명수단(130)에 동작전원을 공급하는 전력공급수단을 구비한다. The photographing means 120 is a CCD camera is generally used as a component that acts like an optic nerve, and image data of the alignment mark 40 of the display panel 20 in the light transmitted through the optical means 110. Acquire it. The lighting means 130 provides the light necessary for the photographing means 120 to photograph the alignment mark 40 of the display panel 20 through the optical means 110. In addition, although not shown, the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel includes power supply means for supplying operating power to the photographing means 120 and the lighting means 130.

상기 도 1의 프로브 유닛(30)을 디스플레이 패널(20)에 회로 패턴을 노광하 기 위한 마스크라고 가정할 경우에는, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)는 상기 촬영수단(120)를 사용하여 먼저 상대적으로 넓은 영역을 보면서 마스크(30)에 구비되는 마스크마크를 찾고, 일단 마스크마크를 찾은 후에는 마스크(30)에 구비되는 정렬마크(일반적으로 광이 통과할 수 있는 사각형의 영역)를 보다 세밀하게 보면서, 작업대상물인 디스플레이 패널(20)에 구비되는 정렬마크(일반적으로 십자형상)와 상기 마스크마크가 일치되도록 하는 작업을 한다.When it is assumed that the probe unit 30 of FIG. 1 is a mask for exposing a circuit pattern to the display panel 20, the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel according to the present invention may include the photographing means 120. ) To find a mask mark provided in the mask 30 while looking at a relatively large area, and once the mask mark is found, an alignment mark provided in the mask 30 (generally, a rectangular Viewing the area more closely, the alignment mark (generally cross-shaped) provided on the display panel 20 serving as the workpiece and the mask mark are matched.

특히, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)의 상기 조명수단(130)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 광학수단(110)의 외부 마운트에 탈착 가능하도록 장착된다. 본 발명에 따른 조명수단(130)은 인쇄회로기판(131)과, 상기 인쇄회로기판(131)의 일측에 장착되는 광원(133) 및 상기 인쇄회로기판(131)의 하면 일측에 구비되는 접촉단자(135)로 구성된다. 상기 광원(133)은 LED와 같은 발광소자를 이용하여 디스플레이 패널의 정렬마크를 검출하는데 필요한 적정한 광량을 제공하며, 상기 접촉단자(135)는 상기 조명수단(130)이 장착될 시 상기 광학수단(110)의 외부 마운트에 형성되는 전원단자(113)와 접촉하여 상기 광원(133)에 전력공급수단이 공급하는 동작전원을 전달한다. In particular, the illumination means 130 of the alignment mark detection device 100 of the display panel according to an embodiment of the present invention is mounted to be detachable to the external mount of the optical means 110, as shown in FIG. do. The lighting means 130 according to the present invention includes a printed circuit board 131, a light source 133 mounted on one side of the printed circuit board 131, and a contact terminal provided on one side of the bottom surface of the printed circuit board 131. It consists of 135. The light source 133 provides an appropriate amount of light required to detect the alignment mark of the display panel using a light emitting element such as an LED, and the contact terminal 135 is provided with the optical means when the lighting means 130 is mounted. In contact with the power supply terminal 113 formed in the external mount of the 110 to transmit the operating power supplied by the power supply means to the light source 133.

상기 전원단자(113)는 일단이 전력공급수단의 외부 전원 공급 커넥터(115)에 연결된 내부배선(111)의 타단에 형성되며, 상기 조명수단(130)이 장착될 시, 상기 조명수단(130)의 인쇄회로기판(131)의 하면에 구비된 접촉단자(135)와 접촉되어 전원을 상기 광원(133)에 인가하도록 상기 광학수단(110)의 외부 마운트에 돌출된 형태로 구비된다. One end of the power terminal 113 is formed at the other end of the inner wiring 111 connected to the external power supply connector 115 of the power supply means, and when the lighting means 130 is mounted, the lighting means 130 Contact with the contact terminal 135 provided on the lower surface of the printed circuit board 131 is provided in the form protruding to the external mount of the optical means 110 to apply power to the light source 133.

도 3의 참조번호 111은 상기 조명수단(130)이 장착될 시 상기 광원(133)에서 발생되는 빛을 상기 광학수단(110)으로 인도하기 위한 홀(Holl)을 지시한 것이다.Reference numeral 111 in FIG. 3 indicates a hole for guiding light generated from the light source 133 to the optical means 110 when the lighting means 130 is mounted.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)는 전력공급수단과 연결되어 동작전원을 공급하는 내부배선(111)과, 그 타단에 구비된 전원단자(113), 그리고 인쇄회로기판(131)상에 광원(133) 및 접촉단자(135)를 구비하도록 하는 구조를 제안함으로써, 조명수단(130)을 렌즈 경통 외부에 탈착이 용이하도록 한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)는 디스플레이 패널의 제조공정에서 연속된 공정의 흐름을 최대한 간섭하지 않으면서 조명모듈만을 신속하고 간편하게 교체할 수 있다.As shown in Figures 2 and 3, the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel according to the present invention is connected to the power supply means the internal wiring 111 for supplying the operating power and the power provided at the other end By proposing a structure in which the light source 133 and the contact terminal 135 are provided on the terminal 113 and the printed circuit board 131, the lighting means 130 can be easily detached from the outside of the lens barrel. Accordingly, the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel according to the present invention can quickly and simply replace only the lighting module without interfering with the flow of the continuous process in the manufacturing process of the display panel.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 입체도로서, 도 2 및 도 3에 도시된 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치를 3차원 입체영상으로 나타낸 것이다. 4 is a three-dimensional view of an alignment mark detection apparatus of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and shows the alignment mark detection apparatus of the display panel according to the present invention shown in FIGS. 2 and 3 as a three-dimensional stereoscopic image. .

도 5는 도 4의 검출장치의 내부배선의 배치를 설명하기 위한 부분 투시도로서, 검출장치의 본체(또는 광학수단의 렌즈 경통) 내부에 설비되어, 본 발명에 따른 탈착식 조명모듈과 전력공급수단의 외부 전원 공급 커넥터를 연결하는 내부배선의 배치구조를 입체적으로 살펴볼 수 있다. 이하, 도 6를 참조하여 본 발명에 따른 탈착식 조명모듈의 내부배선의 배치구조 및 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 탈착식 조명모듈의 내부구조를 상세히 설명한다.5 is a partial perspective view for explaining the arrangement of the internal wiring of the detection device of FIG. 4, which is installed inside the main body (or lens barrel of the optical means) of the detection device, and shows a detachable lighting module and power supply means according to the present invention. The layout of the internal wiring connecting the external power supply connector can be examined in three dimensions. Hereinafter, with reference to Figure 6 will be described in detail the internal structure of the removable wiring module according to the present invention and the internal structure of the removable lighting module according to the present invention with reference to FIG.

도 6은 도 5의 검출장치의 내부배선과 조명모듈의 연결구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 6의 조명모듈의 내부구조를 설명하기 위한 확대 투시도이다.6 is a view for explaining the connection structure of the internal wiring and the lighting module of the detection device of Figure 5, Figure 7 is an enlarged perspective view for explaining the internal structure of the lighting module of FIG.

도 6 및 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100)의 특징부인 조명모듈(130) 및 내부배선(111)을 더욱 상세히 살펴보면, 상기 내부배선(111)은 전력공급수단의 외부 전원 공급 커넥터(115)와 일단이 연결되고, 조명모듈(130)과 타단이 연결되어 상기 전력공급수단으로부터 출력되는 동작전원을 상기 조명모듈(130)로 인가한다. 이때, 상기 내부배선(111)은 검출장치(100)의 본체 내부를 통해 배치됨으로써, 검출장치(100) 및 관련 장비의 구동 시 타기구나 작업자와의 걸림이 완전히 제거되어 장치의 내구성을 향상시킨다. 6 and 7, the lighting module 130 and the internal wiring 111 which are the features of the alignment mark detection apparatus 100 of the display panel according to the present invention will be described in more detail. One end is connected to the external power supply connector 115 of the supply means, the other end is connected to the lighting module 130 to apply the operating power output from the power supply means to the lighting module 130. At this time, the internal wiring 111 is disposed through the inside of the main body of the detection device 100, thereby completely eliminating the jamming with other tools or operators when driving the detection device 100 and related equipment to improve the durability of the device.

또한, 상기 내부배선(111)은 상기 조명모듈(130)과 단자 접촉에 의하여 전기적으로 결합됨으로써, 광원(133)에 이상 발생 시 검출장치(100) 전체를 통째로 교체하지 않고 조명모듈(130)만을 용이하게 교체할 수 있다. 또한, 상기 단자 접촉에 의한 전기적 결합은 전원을 끄지 않은 상태에서도 상기 조명모듈(130)의 교체가 가능하고 교체 즉시 전원인가가 가능함으로써, 디스플레이 패널의 연속된 제조공정의 흐름을 최대한 간섭하지 않으면서 이상이 발생한 조명모듈만을 신속하고 간편하게 교체할 수 있는 탈착식 조명모듈을 제공한다. In addition, the internal wiring 111 is electrically coupled to the lighting module 130 by the terminal contact, so that when an abnormality occurs in the light source 133, only the lighting module 130 without replacing the entire detection device 100 as a whole. It can be replaced easily. In addition, the electrical coupling by the terminal contact is possible to replace the lighting module 130 even if the power is not turned off and the power can be immediately replaced, without interfering with the flow of the continuous manufacturing process of the display panel as possible It provides a detachable lighting module that can be replaced quickly and easily only a lighting module that has a problem.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 조명모듈(130)은 볼트와 같은 간단한 결합수단을 이용하여 검출장치(100)의 본체에 적절히 결합될 수 있으므로, 조명모듈(130)의 탈착을 간편하고 신속하게 수행 수 있어 제조공정의 효율을 저해하는 요소를 최소화할 수 있다. 또한, 본 발명은 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치(100) 전체를 통째로 교체하지 않고 조명모듈(130)만을 간편하게 교체함으 로써, 검출장치(100) 전체를 교체한 경우에 새롭게 검출장치를 정렬해야 하는 불필요한 작업을 없앨 수 있으므로 제조공정의 효율을 한층 향상시킬 수 있다. On the other hand, as shown in Figure 7, the lighting module 130 according to the present invention can be properly coupled to the main body of the detection device 100 using a simple coupling means such as bolts, detachment of the lighting module 130 It can be performed easily and quickly to minimize the factors that hinder the efficiency of the manufacturing process. In addition, the present invention is to simply replace the entire detection mark detection device 100 of the display panel without replacing the entire lighting module 130, it is necessary to align the detection device newly when the entire detection device 100 is replaced Since unnecessary work can be eliminated, the efficiency of the manufacturing process can be further improved.

한편 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해서 정해져야 한다.Meanwhile, in the detailed description of the present invention, specific embodiments have been described, but various modifications are possible without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims and equivalents thereof.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 사용 예시도,1 is an exemplary use of the alignment mark detection apparatus of the display panel according to the present invention,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 사시도,2 is a perspective view of an alignment mark detection apparatus of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention;

도 3은 도 2의 검출장치에서 조명모듈의 탈착구조를 설명하기 위한 부분 분해 사시도,3 is a partially exploded perspective view illustrating a detachable structure of a lighting module in the detecting device of FIG. 2;

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치의 입체도,4 is a stereoscopic view of an alignment mark detection apparatus of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention;

도 5는 도 4의 검출장치의 내부배선의 배치를 설명하기 위한 부분 투시도,5 is a partial perspective view for explaining the arrangement of the internal wiring of the detection device of FIG.

도 6은 도 5의 검출장치의 내부배선과 조명모듈의 연결구조를 설명하기 위한 도면,6 is a view for explaining the connection structure of the internal wiring and the lighting module of the detection device of FIG.

도 7은 도 6의 조명모듈의 내부구조를 설명하기 위한 확대 투시도.7 is an enlarged perspective view for explaining the internal structure of the lighting module of FIG.

Claims (5)

렌즈 경통 내부에 다수개의 서로 다른 배율을 갖는 렌즈들을 포함하는 광학수단, 상기 광학수단을 통해 전달된 광에서 영상데이터를 획득하는 촬영수단, 상기 촬영수단이 디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는데 필요한 광을 상기 광학수단을 통하여 제공하는 조명수단, 및 상기 촬영수단과 상기 조명수단에 동작전원을 공급하는 전력공급수단을 구비하는 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치에 있어서, Optical means including lenses having a plurality of different magnifications in the lens barrel, photographing means for obtaining image data from the light transmitted through the optical means, and light for the photographing means to photograph the alignment mark of the display panel; In the solar cell panel and display panel of the alignment mark detection device comprising a lighting means provided through the optical means, and a power supply means for supplying operating power to the photographing means and the lighting means, 상기 조명수단이,The lighting means, 광원부와, 상기 광원부를 장착하고, 상기 전력공급수단이 공급하는 동작전원을 상기 광원부로 전달하는 접촉단자를 하면 일측에 형성한 인쇄회로기판으로 구성되어, 상기 렌즈 경통 외부에 탈착 가능하도록 결합됨을 특징으로 하는 태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치.A light source unit and a contact terminal for mounting the light source unit and transmitting the operating power supplied by the power supply unit to the light source unit, the printed circuit board formed on one side thereof, and is detachably coupled to the outside of the lens barrel. Alignment mark detection device of the solar cell panel and display panel of the solar cell laser scriber. 제 1항에 있어서, 상기 전력공급수단은,The method of claim 1, wherein the power supply means, 상기 조명수단의 접촉단자와 결합되는 전원단자를 일단에 형성한 내부배선의 타단과 연결되어, 상기 내부배선을 통하여 상기 조명수단에 동작전원을 공급함을 특징으로 하는 태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치.The solar cell panel of the laser scriber for a solar cell, characterized in that connected to the other end of the inner wiring formed at one end of the power terminal coupled to the contact terminal of the lighting means, supplying the operating power to the lighting means through the inner wiring. And an alignment mark detection device of the display panel. 제 2항에 있어서, 상기 내부배선은,The method of claim 2, wherein the internal wiring, 상기 전력공급수단과 외부 전원공급 커넥터를 통해 연결됨을 특징으로 하는 태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치.Alignment mark detection device of the solar cell panel and display panel of the laser scriber for a solar cell, characterized in that connected via the power supply means and an external power supply connector. 제 1항에 있어서, 상기 광원부는,The method of claim 1, wherein the light source unit, LED(Light Emitting Diode)임을 특징으로 하는 태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치.An alignment mark detection device for a solar cell panel and a display panel of a laser scriber for a solar cell, characterized in that the light emitting diode (LED). 제 1항에 있어서, 상기 촬영장치는,The method of claim 1, wherein the photographing apparatus, CCD(Charge Coupled Device)카메라임을 특징으로 하는 태양전지용 레이저 스크라이버의 태양전지용 패널 및 디스플레이 패널의 정렬마크 검출장치.An alignment mark detection device for a solar cell panel and a display panel of a laser scriber for solar cells, characterized by a CCD (Charge Coupled Device) camera.
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