KR20110004868U - 테스트 핸들러의 피커 시스템 - Google Patents

테스트 핸들러의 피커 시스템 Download PDF

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박은태
이진환
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세크론 주식회사
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Abstract

테스트 핸들러의 피커 시스템은 8행 8열로 배열되며 반도체 장치를 픽업하기 위한 피커들과, 피커들을 행 단위로 그룹화하고 해당 그룹의 피커들을 일괄하여 열 방향으로 이동시키며 해당 그룹의 피커들의 행 방향 이동을 가이드 하는 제1 가이드부들과, 피커들을 열 단위로 그룹화하고 해당 그룹의 피커들을 일괄하여 행 방향으로 이동시키며 해당 그룹의 피커들의 열 방향 이동을 가이드 하는 제2 가이드부들과, 피커들의 열 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 제1 궤도들을 갖고 제1 궤도들 사이의 피치는 상부로 갈수록 좁아지며 제1 가이드부들이 제1 궤도들을 따라 동작하도록 구성된 제1 피치 조절 플레이트와, 피커들의 행 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 제2 궤도들을 갖고 제2 궤도들 사이의 피치는 상부로 갈수록 좁아지며 제2 가이드부들이 제2 궤도들을 따라 동작하도록 구성된 제2 피치 조절 플레이트와, 피커들의 열 방향 및 행 방향 피치가 조절되도록 제1 및 제2 피치 조절 플레이트를 승강시키는 구동부를 포함한다. 따라서, 8행 8열로 배열된 피커들의 행 방향 및 열 방향 피치를 일괄하여 동시에 조절할 수 있어 작업 시간을 줄일 수 있다.

Description

테스트 핸들러의 피커 시스템{Picker system of test handler}
본 고안은 반도체 장치용 테스트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 장치들을 테스트하기 위한 테스트 핸들러의 피커 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 휘발성 또는 불휘발성 메모리 장치들, 시스템 LSI (Large-Scale integration) 회로 소자들과 같은 반도체 장치들은 다양한 테스트 과정들을 통해 동작 특성들이 검사된 후 출하된다.
테스트 핸들러는 상기 반도체 장치들을 검사하기 위하여 상기 반도체 장치들을 테스트 챔버로 이송한다. 특히, 검사할 상기 반도체 장치들은 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이로 이송되며, 상기 테스트 챔버에서 검사된 반도체 장치들은 테스트 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 커스터머 트레이로 이송된다.
이러한, 테스트 핸들러는 상기 트레이들 사이에서 반도체 장치들을 이송하기 위한 피커 시스템(picker system)을 구비할 수 있다. 상기 피커 시스템은 최근 반도체 장치들을 이송하는데 소요되는 시간을 단축시키기 위하여 동시에 다수의 반도체 장치들을 이송할 수 있도록 다수의 피커들을 포함하고 있다.
여기서, 상기 피커 시스템에서 상기 피커들의 배치 구조는 상기 트레이들에 반도체 장치의 수납을 위해 구비되는 소켓들의 배치 구조에 대응하는 구조는 갖게 된다.
하지만, 상기 커스터머 트레이, 버퍼 트레이, 테스트 트레이는 반도체 장치가 수납되는 소켓의 피치가 서로 동일하지 않기 때문에 동시에 다수의 반도체 장치들을 이송하기 위한 피커 시스템에는 상기 트레이들에 대응하여 피커들의 피치를 조절하기 위한 피치 조절 장치가 요구되고 있다.
특히, 피커들의 수량이 증가됨에 따라서 구조가 간단하면서, 효과적으로 피커들의 피치를 조절할 수 있는 피치 조절 장치를 갖는 피커 시스템이 요구되고 있는 추세이다.
따라서, 본 고안을 통해 해결하고자 하는 일 과제는 반도체 장치들을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에서, 반도체 장치들의 이송 속도 증가를 위하여 피커들의 열 방향 및 행 방향 피치를 동시에 조절할 수 있는 피커 시스템을 제공하는 것이다.
상기 본 고안의 목적을 달성하기 위해 본 고안에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템은 피커들, 제1 가이드부들, 제2 가이드부들, 제1 피치 조절 플레이트, 제2 피치 조절 플레이트, 구동부를 포함한다. 상기 피커들은 8행 8열로 배열되며, 반도체 장치를 픽업하는 역할을 한다. 상기 제1 가이드부들은 상기 피커들을 행 단위로 그룹화하고, 해당 그룹의 피커들을 일괄하여 열 방향으로 이동시키며, 해당 그룹의 피커들의 행 방향 이동을 가이드 한다. 상기 제2 가이드부들은 상기 피커들을 열 단위로 그룹화하고 해당 그룹의 피커들을 일괄하여 행 방향으로 이동시키며, 해당 그룹의 피커들의 열 방향 이동을 가이드 한다. 상기 제1 피치 조절 플레이트는 상기 피커들의 열 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 제1 궤도들을 갖고, 상기 제1 궤도들 사이의 피치는 상부로 갈수록 좁아지며, 상기 제1 가이드부들이 상기 제1 궤도들을 따라 동작하도록 구성된다. 상기 제2 피치 조절 플레이트는 상기 피커들의 행 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 제2 궤도들을 갖고, 상기 제2 궤도들 사이의 피치는 상부로 갈수록 좁아지 며, 상기 제2 가이드부들이 상기 제2 궤도들을 따라 동작하도록 구성된다. 상기 구동부는 상기 피커들의 열 방향 및 행 방향 피치가 조절되도록 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트를 승강시킨다.
이때, 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템에서 상기 제1 피치 조절 플레이트는 상기 제1 궤도들로서 다수의 제1 슬롯들을 갖고, 상기 제1 가이드부들은 그 단부에 설치되고 상기 제1 슬롯들의 내측면에 접하는 제1 롤러들을 포함하며, 상기 제2 피치 조절 플레이트는 상기 제2 궤도들로서 다수의 제2 슬롯들을 갖고, 상기 제2 가이드부들은 그 단부에 설치되고 상기 제2 슬롯들의 내측면에 접하는 제2 롤러들을 포함한다.
다른 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템에서 상기 제1 가이드부들의 양 단부에 각각 구비되고 상기 제1 피치 조절 플레이트의 승강에 따라 상기 제1 가이드부들이 열 방향으로 수평 이동하도록 가이드 하는 제1 가이드 부재와, 상기 제2 가이드부들의 양 단부에 각각 구비되고 상기 제2 피치 조절 플레이트의 승강에 따라 상기 제2 가이드부들이 행 방향으로 수평 이동하도록 가이드 하는 제2 가이드 부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 8행 8열의 피커들을 둘러싸는 구조를 갖고, 그 상면에 상기 제1 및 제2 가이드 부재들이 설치되는 제1 프레임과, 상기 제1 프레임의 상면에 연결되고, 그 둘레에 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트가 승강 가능하도록 설치되는 제2 프레임을 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템에서 상기 피커들은 상 단에 제2 롤러들을 포함하고, 상기 제2 가이드부들은 각각 열 방향으로 연장하는 슬롯을 가지며 상기 제3 롤러들은 상기 슬롯의 내측면에 접하도록 위치할 수 있다.
다른 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템에서 상기 피커들은 몸체의 측면에 상기 제1 가이드부와 연결을 위한 요홈부를 갖고, 상기 요홈부의 상면 및 하면에는 베어링용 구름볼이 각각 구비되며, 상기 제1 가이드부는 상면 및 하면에 상기 구름볼에 대응하는 가이드홈이 행 방향으로 형성되고 상기 요홈부에 슬라이딩 가능하도록 결합될 수 있다.
또한, 상기 제1 가이드부는 적어도 일단부에 상기 피커를 탈착하기 위한 탈착홈을 가질 수 있다.
또한, 상기 탈착홈은 상기 제1 가이드부의 상단 또는 하단에 형성되거나, 상기 제1 가이드부의 상단 및 하단에 모두 형성될 수 있다.
이와 같이 구성된 본 고안에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템은 반도체 장치를 픽업하는 8행 8열로 배열된 피커들의 열 방향 및 행 방향 피치를 동시에 조절하므로, 각 트레이들에 대응하여 피커들 사이의 피치를 조절하는 시간이 단축되어 반도체 장치의 이송 시간을 단축시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 실시예에 따른 피커 시스템에 대하여 상세히 설명한다.
본 고안은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 고안을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 고안의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 고안의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 고안의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 고안을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 피커 시스템을 갖는 테스트 핸들러의 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 고안에 따른 피커 시스템(100)은 반도체 장치들을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에서 바람직하게 사용될 있다. 예를 들어, 피커 시스템(100)은 테스트 핸들러 내에서 각종 트레이들 사이, 예를 들어 커스터머 트레이(12)와 테스트 트레이(14) 사이에서 반도체 장치들을 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 또한, 테스트 트레이(14)와 버퍼 트레이(미도시) 사이, 버퍼 트레이(미도시)와 커스터머 트레이(12) 사이에서 반도체 장치들을 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다. 즉, 테스트 핸들러는 테스트하고자 하는 반도체 장치들이 수납될 커스터머 트레이(12)와 테스트 트레이(30) 사이에서 반도체 장치들을 운반하기 위하여 피커 시스템(100)을 구비할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 커스터머 트레이(12)는 수평 및 수직 이송 장치에 의해 상부로 이동될 수 있으며, 커스터머 트레이(12)에 수납된 반도체 장치들은 상기 피커 시스템(100)에 의해 테스트 트레이(14)로 로딩될 수 있다.
상기 피커 시스템(100)은 다수의 피커들(미도시)을 포함하며, 상기 피커들은 다수의 행들 및 열들로 배열될 수 있다. 예를 들어 피커 시스템(100)은 8행 8열로 배열된 피커들을 포함할 수 있다. 상기 피커들은 진공압을 이용하여 반도체 장치들을 픽업할 수 있다. 상기 피커 시스템(100)은 직교 좌표 로봇의 구동 방식을 채택하여 수평면 상에서 이동 가능하도록 구성될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 고안에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템(100)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 피커 시스템을 나타내는 개략적인 평면도이고, 도 3 및 도 4는 각각 도 2에 도시된 피커 시스템의 A 방향 및 B 방향 측면도이고, 도 5 및 도 6은 각각 도 2에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 자른 단면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 A부분을 나타내는 확대도이고, 도 8은 도 2에 도시된 피커 시스템에 구비되는 구동부를 설명하기 위한 도면이다.
여기서, 도 2 내지 도 8에 도시된 도면들은 간략화 하여 도면의 이해를 돕기 위해서 어느 하나의 도면에서 도시된 부재가 다른 도면에서는 생략되어 도시되기도 하였다. 즉, 피커 시스템(100)의 구조에 대한 이해를 돕기 위하여 필요한 구성 부재 위주로만 도시하였다.
도 2 내지 도 8을 참조하면, 피커 시스템(100)은 다수의 피커(110)들, 제1 가이드부(120)들, 제2 가이드부(130)들, 제1 피치 조절 플레이트(140) 및 제2 피치 조절 플레이트(150)를 포함한다.
상기 피커(110)들은 행렬 형태로 배열된다. 예를 들어, 피커(110)들은 8행 8열로 배열될 수 있다. 하지만, 피커(110)들의 배열이 8행 8열로 한정되는 것은 아 니며, 행 및 열의 수는 다르게 구성될 수 있다. 피커(110)는 진공압을 이용하여 반도체 장치들을 픽업할 수 있다. 피커(110)는 반도체 장치와 직접 접촉하여 진공 흡착하기 위한 흡착부를 가지며, 흡착부는 승강 가능하도록 구성될 수 있다.
상기 피커(110)들은 제1 가이드부(120) 및 제2 가이드부(130)와 연결된다. 이를 위해, 피커(110)는 몸체의 측면에 제1 가이드부(120)와 연결을 위한 요홈부(112)를 갖는다. 요홈부(112)는 소정의 폭으로 행 방향으로 연장되고 행 방향의 양단이 개방된 구조, 예컨대 절개홈 구조를 가질 수 있다. 요홈부(112)의 상면 및 하면에는 각각 구름볼(113)이 구비된다. 구름볼(113)은 그 일부분이 표면으로부터 돌출되도록 설치된다. 구름볼(113)은 원활한 구름 동작을 위하여 케이스(미도시)와 함께 어셈블리 형태로 구성되어 설치되는 것이 바람직하다. 구름볼(113)은 피커(110)가 제1 가이드부(120)로부터 이탈하는 것을 방지하는 역할과, 동시에 피커(110)가 제1 가이드부(120)를 따라 행 방향 이동할 때 원활하게 이동할 수 있도록 베어링 역할을 한다. 또한, 피커(110)는 제2 가이드부(130)와 연결을 위하여, 몸체 상단에 아이들 회전 가능하도록 설치된 제1 롤러(114)를 갖는다.
상기 피커 시스템(100)에서 피커(110)들은 제1 프레임(102)에 의해 둘러싸이게 된다. 즉, 제1 프레임(102)은 행렬을 둘러싸는 구조를 갖는데, 예를 들어 제1 프레임(102)은 사각 플레이트 구조를 갖고 그 중앙에 피커(110)들이 위치하는 개구부를 갖는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 하지만, 제1 프레임(102)이 상기의 형상으로 한정되지 않으며, 다양한 형상을 가질 수 있다. 제1 프레임(102)의 형상은 제1 및 제2 가이드부(120, 130)들의 이동을 가이드 하기 위한 부재들이 설치되어 열 방향 및 행 방향 이동이 가능하도록 구성하면서, 제1 및 제2 가이드부(120, 130)들을 지지할 수 있는 구성이면 충분하다. 상기 제1 프레임(102)의 상부에는 제2 프레임(104)이 연결될 수 있다. 상기 제2 프레임(104)은 뼈대 구조를 가지며, 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)의 안쪽 영역에 위치하게 된다. 제2 프레임(104)은 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)를 비롯하여 각 부재들을 설치하기 위한 지지물의 역할을 한다. 이에, 제2 프레임(104)은 다양한 형상을 가질 수 있으며, 상세히 도시하진 않았지만 제2 프레임(104)은 예를 들어 개구를 갖는 박스 구조를 가질 수 있다.
상기 제1 가이드부(120)들은 행 방향으로 연장하고, 피커(110)들을 행 단위로 연결하여 그룹화 한다. 따라서, 제1 가이드부(120)는 배열된 피커(110)들의 행의 수와 같은 개수를 갖는다. 예를 들어, 피커(110)들이 8행으로 배열되므로 8개의 제1 가이드부(120)들이 구비되고, 제1 가이드부(120)들은 피커(110)들의 행을 따라 서로 나란하게 배열된다. 제1 가이드부(120)는 행 단위로 연결한 해당 그룹의 피커(110)들을 일괄하여 열 방향으로 이동시키는 역할을 하며, 해당 그룹의 피커(110)들의 행 방향 이동을 가이드 하는 역할을 한다. 즉, 제1 가이드부(120)들은 피커(110)들을 행 단위로 연결하여 구속하고, 각 제1 가이드부(120)는 연결된 피커(110)들에 대하여 열 방향으로 이동할 때는 일괄적으로 동작할 수 있도록 하며, 행 방향에 대해서는 원활하게 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 한다.
예를 들어, 제1 가이드부(120)는 행 방향으로 연장하는 제1 브래킷(121)을 포함하며, 제1 브래킷(121)에 대하여 수직하는 방향으로 피커(110)들이 연결된다. 제1 브래킷(121)과 피커(110)들의 연결은 요홈부(112)를 통해서 이루어진다. 피커(110)들은 요홈부(112)를 통해 제1 브래킷(121)에 걸쳐지는 형태로, 제1 브래킷(121)이 요홈부(112)를 삽입 관통하며, 슬라이딩 가능하도록 연결된다. 이때, 제1 브래킷(121)과 피커(110)의 연결을 위하여 제1 브래킷(121)의 상면 및 하면에는 구름볼(113)에 대응하는 제1 가이드홈(122)이 각각 구비된다. 따라서, 구름볼(113)이 제1 가이드홈(112) 내에 위치하여 피커(110)들이 이탈되는 것을 방지하며, 구름볼(113)의 구름 동작을 통한 베어링 역할을 하므로 제1 가이드홈(122)을 따라 피커(110)들이 원활히 행 방향으로 이동 가능하게 된다. 제1 가이드홈(122)은 적어도 피커(110)의 행 방향 이동 영역에 대응하여 형성된다. 또한, 제1 브래킷(121)은 일단부에 탈착홈(123)을 갖는다. 탈착홈(123)은 상단 또는 하단에 형성되거나, 상단 및 하단 모두에 형성될 수 있으며, 수직 방향으로 요입된 형상을 갖는다. 탈착홈(123)은 제1 브래킷(121)에서 피커(110)를 용이하게 탈착하기 위하여 구비된다. 피커(110)가 탈착홈(123)에 위치하면 구름볼(113)과 제1 가이드홈(122)에 의한 구속이 제거되므로 용이하게 피커(110)를 분리할 수 있고, 탈착홈(123)을 이용하여 용이하게 장착할 수 있다. 결과적으로, 피커(110)들 중에서 어느 하나의 피커(110)가 손상되어 반도체 장치의 픽업 동작에 기능 불량이 발생할 경우 손상된 피커(110)만을 선택적으로 분리하여 교환하는 것이 가능하게 된다. 여기서, 탈착홈(123)이 제1 브래킷(121)의 일단부에 형성되는 것으로 설명하였으나, 이와 달리 탈착홈(123)은 제1 브래킷(121)의 양단부에 각각 구비될 수도 있다.
상기 제1 브래킷(121)의 양단에는 제1 프레임(102)의 상면에 위치하는 제1 연장부(125)가 각각 구비될 수 있다. 제1 연장부(125)와 제1 프레임(102)의 상면 사이에는 마찰력 감소를 위한 제1 가이드 부재(102a)가 설치된다. 제1 가이드 부재(102a)는 제1 브래킷(121)의 양단을 제1 프레임(102) 상에 유지시키면서, 제1 브래킷(121)이 열 방향으로 이동하도록 안내하는 역할을 한다. 결과적으로, 제1 가이드부(120)는 제1 가이드 부재(102a)에 의해 양단이 제1 프레임(102)에 연결된 상태에서 열 방향으로 평행 이동하게 된다. 제1 연장부(125)는 제1 피치 조절 플레이트(140)와 연결을 위하여, 제1 브래킷(121)의 반대편에 위치하는 측면에 아이들 회전 가능하도록 설치된 제2 롤러(126)를 갖는다.
상기 제2 가이드부(130)들은 열 방향으로 연장하고, 피커(110)들을 열 단위로 연결하여 그룹화 한다. 따라서, 제2 가이드부(130)는 배열된 피커(110)들의 열의 수와 같은 개수를 갖는다. 예를 들어, 피커(110)들이 8열로 배열되므로 8개의 제2 가이드부(130)들이 구비되고, 제2 가이드부(130)들은 피커(110)들의 열을 따라 서로 나란하게 배열된다. 제2 가이드부(130)는 열 단위로 연결한 해당 그룹의 피커(110)들을 일괄하여 행 방향으로 이동시키는 역할과, 해당 그룹의 피커(110)들의 열 방향 이동을 가이드 하는 역할을 한다. 즉, 제2 가이드부(130)들은 피커(110)들을 열 단위로 연결하여 구속하고, 연결된 해당 그룹의 피커(110)들에 대하여 행 방향으로 이동할 때 일괄하여 동작할 수 있도록 하며, 열 방향에 대해서는 원활하게 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 한다.
예를 들어, 제2 가이드부(130)는 열 방향으로 연장하는 제2 브래킷(131)을 포함할 수 있으며, 제2 브래킷(131)의 하방에 수직하는 방향으로 피커(110)들이 연 결된다. 제2 브래킷(131)은 하면에 열 방향으로 연장하는 제2 가이드홈(132)을 갖는다. 피커(110)들은 제1 롤러(114)를 통해 제2 브래킷(131)에 연결된다. 즉, 제2 브래킷(131)과 피커(110)들의 연결은 제1 롤러(114)들이 제2 가이드홈(132)에 수용되어 이루어진다. 제1 롤러(114)는 아이들 회전 가능하도록 구성되므로 제2 가이드홈(132) 내에서 열 방향으로 이동될 때 마찰력을 감소시킨다. 결과적으로, 피커(110)들은 제1 롤러(114)와 제2 가이드홈(132)에 의해 열 방향으로 용이하게 이동될 수 있다.
상기 제2 브래킷(131)의 양단에는 제1 프레임(102)의 상면에 위치하는 제2 연장부(135)가 각각 구비될 수 있다. 제2 연장부(135)와 제1 프레임(102)의 상면 사이에는 마찰력 감소를 위한 제2 가이드 부재(102b)가 설치된다. 제2 가이드 부재(102b)는 제2 브래킷(131)의 양단부를 제1 프레임(102) 상에 유지시키면서, 제2 브래킷(131)이 행 방향으로 이동 가능하도록 안내하는 역할을 한다. 결과적으로, 제2 가이드부(130)는 제2 가이드 부재(102b)에 의해 양단이 제1 프레임(102)에 연결된 상태에서 행 방향으로 평행 이동이 가능하게 된다. 예를 들어, 제2 연장부(135)는 제2 브래킷(131)의 단부에서 하방으로 절곡되는 구조를 갖는다. 즉, 제2 연장부(135)는 피커(110)들의 상단에 위치하는 제2 브래킷(131)의 단부로부터 제1 프레임(102)의 상면까지 수직 연장되는 구조를 갖는다. 이처럼, 제2 연장부(135)는 제2 브래킷(131)이 제1 프레임(102)과 연결될 수 있도록 구성된다. 제2 브래킷(131)과 제2 연장부(135)는 조립형 또는 일체형으로 형성될 수 있다. 또한, 제2 연장부(135)는 제2 피치 조절 플레이트(150)와 연결을 위하여, 제2 브래킷(131)의 반대편 측면에 아이들 회전 가능하도록 설치된 제3 롤러(136)를 갖는다.
상기 제1 피치 조절 플레이트(140)는 제1 가이드부(120)들의 단부에 승강 가능하게 설치된다. 제1 피치 조절 플레이트(140)는 제1 가이드부(120)들 사이의 피치(예컨대 열 방향 피치)를 조절함으로써, 피커(110)들의 열 방향 피치를 조절하는 역할을 한다. 이때, 제1 가이드부(120)들의 안정적인 피치 조절을 위하여, 한 쌍(2개)의 제1 피치 조절 플레이트(140)가 제1 가이드부(120)들의 양 단부에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제1 피치 조절 플레이트(140)는 피커(110)들의 열 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 제1 궤도(142)들을 갖는다. 제1 궤도(142)들에는 제1 가이드부(120)들이 연결되며, 이를 통해 제1 가이드부(120)들이 제1 궤도(142)들을 따라 동작하도록 구성된다. 제1 궤도(142)들은 제1 가이드부(120)들의 피치 조절을 위하여 상부로 갈수록 그 피치가 좁아지는 형태를 갖는다. 이와 달리, 상부로 갈수록 피치가 넓어지는 형태를 가질 수도 있다. 예를 들어, 제1 피치 조절 플레이트(140)에는 제1 궤도(142)들로서 다수의 제1 슬롯들이 형성될 수 있다. 상기 제1 슬롯들 내에는 제1 가이드부(120)들의 단부들이 각각 배치된다. 즉, 제1 가이드부(120)의 단부에 회전 가능하도록 설치된 제2 롤러(126)들이 제1 슬롯들의 내측면에 접하도록 배치된다. 따라서, 제1 가이드부(120)들이 제1 슬롯들을 따라 이동할 때 마찰력을 감소시켜 원활하게 이동할 수 있게 베어링 역할을 한다.
상기 제1 피치 조절 플레이트(140)는 승강 이동을 통해서 피커(110)들의 열 방향 피치를 조절한다. 구체적으로, 제1 피치 조절 플레이트(140)가 승강 이동함에 따라 제1 가이드부(120)들이 제1 궤도(142)들을 따라 이동하게 된다. 이때, 제1 가이드부(120)들은 제1 가이드 부재(102a)에 의해 열 방향으로 수평 이동하게 되므로, 제1 궤도(142)들 사이의 피치에 대응하여 그 피치가 좁아지거나, 넓어지게 된다. 결과적으로, 제1 피치 조절 플레이트(140)가 승강함에 따라서 제1 가이드부(120)들 사이의 피치가 조절됨으로써, 제1 가이드부(120)에 의해 피커(110)들이 열 방향으로 이동되므로 피커(110)들의 열 방향 피치가 조절된다.
상기 제2 피치 조절 플레이트(150)는 상기 제2 가이드부(130)의 단부에 승강 가능하게 설치된다. 제2 피치 조절 플레이트(150)는 제2 가이드부(130)들 사이의 피치(예컨대 행 방향 피치)를 조절함으로써, 피커(110)들의 행 방향 피치를 조절하는 역할을 한다. 이때, 제2 가이드부(130)들의 안정적인 피치 조절을 위하여, 한 쌍(2개)의 제2 피치 조절 플레이트(150)가 제2 가이드부(130)들의 양 단부에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제2 피치 조절 플레이트(150)는 피커(110)들의 행 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 제2 궤도(152)들을 갖는다. 제2 궤도(152)들에는 제2 가이드부(130)들이 연결되며, 이를 통해 제2 가이드부(130)들이 제2 궤도(152)들을 따라 동작하도록 구성된다. 제2 궤도(152)들은 제2 가이드부(130)들의 피치 조절을 위하여 상부로 갈수록 그 피치가 좁아지는 형태를 갖는다. 이와 달리, 상부로 갈수록 피치가 넓어지는 형태를 가질 수 있다. 다만, 제1 및 제2 궤도(142, 152)들 사이의 피치는 동일하게 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 제1 궤도(142)들이 상부로 갈수록 피치가 좁아지는 형태를 갖는 경우, 제2 궤도(152)들 역시 상부로 갈수록 피치가 좁아지는 형태를 갖는 것이 바람직하다. 이처럼, 제1 및 제2 궤도(142, 152)의 피치 형태를 일치시키는 것은, 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)의 동작을 일치시키기 위함이다. 예를 들어, 제2 피치 조절 플레이트(150)에는 상기 제2 궤도(152)들로서 다수의 제2 슬롯들이 형성될 수 있다. 상기 제2 슬롯들 내에는 상기 제2 가이드부(130)들의 단부들이 각각 배치된다. 즉, 제2 가이드부(130)의 단부에 회전 가능하도록 설치된 제3 롤러(146)들이 제2 슬롯들의 내측면에 접하도록 배치된다. 따라서, 제2 가이드부(130)들이 제2 슬롯들을 따라 이동할 때 마찰력을 감소시켜 원활하게 이동할 수 있게 베어링 역할을 한다.
상기 제2 피치 조절 플레이트(150)는 승강 이동을 통해서 피커(110)들의 행 방향 피치를 조절한다. 구체적으로, 제2 피치 조절 플레이트(!50)가 승강 이동함에 따라 제2 가이드부(130)들이 제2 궤도(152)들을 따라 이동하게 된다. 이때, 제2 가이드부(130)들은 제2 가이드 부재(102b)에 의해 행 방향으로 이동하게 되므로, 제2 궤도(152)들의 피치에 대응하여 그 피치가 좁아지거나, 넓어지게 된다. 결과적으로, 제2 피치 조절 플레이트(150)의 승강함에 따라서 제2 가이드부(150)들 사이의 피치가 조절됨으로써, 제2 가이드부(130)에 의해 피커(110)들이 행 방향으로 이동되므로 피커(110)들의 행 방향 피치가 조절된다.
상기 피커 시스템(100)은 피커(110)들 사이의 열 방향 및 행 방향 피치를 조절하기 위하여 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)를 승강 구동시키는 구동 부(160)를 포함한다. 상기 구동부(160)는 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)를 일괄하여 승강 구동시키는 구성을 갖는다. 따라서, 피커(110)들의 열 방향 및 행 방향 피치를 일괄하여 조절할 수 있게 된다.
도 3 및 도 4, 그리고 도 8을 참조하면, 상기 구동부(160)는 동력부(161), 이동부(162) 및 연결부(163)를 포함한다.
상기 동력부(161)는 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)를 승강 시키기 위하여 필요한 구동력을 발생시킨다. 동력부(161)는 유압 실린더를 포함할 수 있다. 이와 달리, 동력부(161)는 서브모터와 볼스크류의 조합으로 구성될 수 있으며, 이 외에 직선 왕복용 구동력을 발생시킬 수 있는 다양한 구성을 가질 수 있다. 동력부(161)는 제2 가이드부(130)들의 단부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제2 가이드부(130)들의 단부에 제2 가이드부(130)들의 중앙 영역에 위치할 수 있다. 또한, 동력부(161)는 제2 가이드부(130)들의 양단부에 각각 설치될 수 있다.
상기 이동부(162)는 제1 피치 조절 플레이트(140)의 단부에 승강 가능하도록 설치된다. 이때, 제1 피치 조절 플레이트(140)를 평행을 유지시킨 상태에서 승강 시킬 수 있도록 이동부(162)는 한 쌍(2개)이 제1 피치 조절 플레이트(140)의 양단부에 각각 구비될 수 있다. 즉, 이동부(162)는 제1 피치 조절 플레이트(140)의 단부와 제2 피치 조절 플레이트(150)의 단부가 접하는 네 모서리부에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
상기 이동부(162)는 제2 프레임(104)에 설치될 수 있으며, 이동부(162)가 용이하게 승강할 수 있도록 상기 제2 프레임(104)과 이동부(162) 사이에는 리니어 모 션 가이드(LM 가이드, 164)가 구비된다. 이동부(162)에는 제1 피치 조절 플레이트(140)의 단부 및 제2 피치 조절 플레이트(150)의 단부가 함께 연결된다. 이를 통해, 이동부(152)는 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)를 일괄하여 승강시키게 된다.
상기 연결부(163)는 동력부(161)와 이동부(162)를 연결하는 역할을 한다. 일 예로, 연결부(163)는 행 방향으로 연장하는 바(bar) 형상을 갖고, 그 중앙부에서 동력부(161)와 연결된다. 또한, 연결부(163)는 그 양단부가 제2 피치 조절 플레이트(150)의 양단부에 위치하는 이동부(162)들에 연결된다. 이로써, 연결부(163)는 동력부(1)의 구동력을 제2 피치 조절 플레이트(150)의 양단에 위치하는 한 쌍의 이동부(162)로 동시에 전달하게 된다. 결과적으로, 동력부(161)는 연결부(163)를 승강 시키고, 연결부(163)의 승강에 따라 이동부(162)가 승강하게 된다. 따라서, 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)가 승강하여, 피커(110)들의 열 방향 및 행 방향 피치를 일괄하여 조절하게 된다.
여기서, 구동력은 제2 가이드부(130)들의 양단부에 위치하는 동력부(161)들에서 동시에 동일하게 제공되며, 이에 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(150)는 서로 대응하여 수평을 유지한 상태에서 승강 구동하게 된다,
한편, 제1 가이드부(120)들 사이마다 탄성 부재(미도시)가 설치될 수 있다. 상기 탄성 부재는 어느 하나의 제1 가이드부(120)를 기준으로 상호 탄성을 부여함으로써, 제1 가이드부(120)들이 제1 궤도(142)들에 연결된 상태에서 상기 어느 하나의 제1 가이드부(120)를 기준으로 집중되는 위치를 갖도록 할 수 있다. 따라서, 제1 궤도(142)내에서 제1 가이드부(120)가 갖는 유격에 의해 피커(110)들 사이의 피치 오차가 발생하는 것을 개선할 수 있다. 상기 탄성 부재는 제2 가이드부(130)들 사이에도 설치될 수 있으며, 그 목적 및 효과는 앞서의 경우와 동일하다.
또한, 상세히 도시하진 않았지만, 본 고안의 피커 시스템(100)에서 피커(110)들의 상단부에는 피커(110)들이 반도체 장치를 픽업할 수 있도록 진공력을 부여하기 위한 진공 라인이 연결될 수 있는데, 피커(110)들의 피치가 조절되는 과정에서 상기 진공 라인의 엉킴이 발생될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 제2 가이드부(130)들의 상부에 행 방향으로 연장하고, 상기 진공 라인들을 행 단위로 그룹화 함으로써 피커(110)들의 이동에 따른 상기 진공 라인들의 엉킴을 방지하기 위한 엉킴 방지부(미도시)를 포함할 수 있다.
이와 같이 구성된 테스트 핸들러의 피커 시스템(100)의 동작에 대해 간략하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 초기에 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)는 구동부(160)에 의해 상승되어 상측에 위치한다.
이 때, 제1 가이드부(120)들은 제1 피치 조절 플레이트(140)의 제1 궤도(142)들의 하단부에 위치하게 되고, 이에 따라 피커(110)들의 열 방향 피치는 최대 피치를 유지하게 된다. 또한, 마찬가지로 제2 가이드부(130)들도 제2 피치 조절 플레이트(150)의 제2 궤도(152)들의 하단부에 위치하게 되고, 이에 따라 피커(110)들의 행 방향 피치 역시 최대 피치를 유지하게 된다.
상기 피커(110)들의 열 방향 피치 및 행 방향 피치가 최대 피치를 유지하는 상태에서, 피커(110)들에 의해 다수의 반도체 장치들을 픽업하게 되고, 반도체 장치들의 픽업이 완료되면 이동을 위해 상기 피커 시스템(100)은 이송 장치에 의해 이송된다.
한편, 반도체 장치들을 픽업한 상태에서 이송 도중 피커(110)들의 피치를 조절하기 위하여 구동부(160)는 구동력을 발생시킨다. 동력부(161)로부터의 구동력은 연결부(163) 및 이동부(162)를 통해 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)에 전달되고, 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)는 하강 구동하게 된다.
도 9는 도 2에 도시된 제1 피치 조절 플레이트의 동작에 따른 열 방향 피치의 변화를 나타낸 도면이고, 도 10은 도 2에 도시된 제2 피치 조절 플레이트의 동작에 따른 행 방향 피치의 변화를 나타낸 도면이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 구동부(161)에 의해 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)가 하부에 위치하게 되면, 제1 가이드부(120)들 및 제2 가이드부(130)들도 평행 이동한다.
구체적으로, 제1 가이드부(120)들은 제1 피치 조절 플레이트(140)의 하강에 의해 제1 궤도(142)들을 따라 이동하여 제1 궤도(142)들의 상단에 위치하게 된다. 이에 따라 피커(110)들의 열 방향 피치는 최소 피치를 갖게 된다.
또한, 마찬가지로 제2 가이드부(130)들은 제2 피치 조절 플레이트(150)의 하강에 의해 제2 궤도(152)들을 따라 이동하여 상기 제2 궤도(152)들의 상단에 위치하게 된다. 이에 따라 피커(110)들의 행 방향 피치는 열 방향 피치의 경우와 같이 최소 피치를 갖게 된다.
이처럼, 구동부(160)에 의한 구동으로 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(140, 150)는 하강 동작하고, 상기 하강 동작에 의해 상기 피커(110)들의 열 방향 및 행 방향 피치는 최소 피치를 갖는 상태가 된다. 이 상태는 앞서 픽업한 반도체 장치들을 대상 트레이의 소켓에 내려놓기 위하여, 상기 소켓의 배치에 대응하는 피치 간격으로 정의할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 고안의 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템(100)은 열 방향 피치 및 행 방향 피치를 동시에 조절함으로써, 반도체 장치들을 픽업하거나 내려놓을 때 해당 트레이의 소켓 배치에 대응하도록 다수의 피커(110)들의 피치를 용이하게 조절하게 된다.
따라서, 한 번의 동작으로 보다 많은 수의 반도체 장치들을 이송할 수 있게 되고, 테스트 핸들러에서 각 트레이들 사이에 반도체 장치들을 이송할 때 그 속도를 증가시킬 수 있게 된다. 또한, 피커 시스템(100)이 트레이 사이를 이동하면서 작업할 때, 피커 시스템(100)의 동작 방향의 감소시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 고안의 상세한 설명에서는 본 고안의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같은 본 고안의 실시예들에 따르면, 다수의 피커들이 행렬 형태 로 배치된 피커 시스템에서 피커들의 행 방향 이동을 안내하는 제1 가이드부들과, 열 방향 이동을 안내하는 제2 가이드부들을 제1 및 제2 피치 조절 플레이트를 이용하여 피치를 조절함으로써, 피커들의 열 방향 및 행 방향 피치를 일괄하여 동시에 조절할 수 있게 된다.
따라서, 각 트레이들에 대응하도록 피커들의 피치를 조절하는 것이 용이해져, 테스트 핸들러 내에서 반도체 장치들의 이송에 소요되는 시간이 단축될 수 있다. 또한, 다량의 반도체 장치를 한번의 동작으로 픽업하여 이송할 있게 되므로, 피커 시스템을 이송하는 로봇의 동작 횟수 및 동작 방향을 감소시켜 작업성을 향상시킬 수 있다. 또한, 열 방향 및 행 방향 피치의 조절이 동시에 가능함에 따라 각 트레이들의 소켓 배치에 보다 효과적으로 대응할 수 있게 되므로, 별도의 피치 조절 장치의 생략이 가능해진다.
상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 피커 시스템을 갖는 테스트 핸들러의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 피커 시스템을 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 3 및 도 4는 각각 도 2에 도시된 피커 시스템의 A 방향 및 B 방향 측면도이다.
도 5 및 도 6은 각각 도 2에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 자른 단면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 A부분의 확대도이다.
도 8은 도 2에 도시된 피커 시스템에 구비되는 구동부를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 2에 도시된 제1 피치 조절 플레이트의 동작에 따른 열 방향 피치의 변화를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 2에 도시된 제2 피치 조절 플레이트의 동작에 따른 행 방향 피치의 변화를 나타낸 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100: 피커 시스템 102: 제1 프레임
102a: 제1 가이드 부재 102b: 제2 가이드 부재
104: 제2 프레임 110: 피커
112: 요홈부 113: 구름볼
114: 제1 롤러 120: 제1 가이드부
121: 제1 브래킷 122: 제1 가이드홈
123: 탈착홈 125: 제1 연장부
126: 제2 롤러 130: 제1 가이드부
131: 제2 브래킷 132: 제2 가이드홈
135: 제2 연장부 136: 제3 롤러
140: 제1 피치 조절 플레이트 142: 제1 궤도
150: 제2 피치 조절 플레이트 152: 제2 궤도
160: 구동부 161: 동력부
162: 이동부 163: 연결부

Claims (8)

  1. 8행 8열로 배열되며, 반도체 장치를 픽업하기 위한 피커들;
    상기 피커들을 행 단위로 그룹화하고, 해당 그룹의 피커들을 일괄하여 열 방향으로 이동시키며, 해당 그룹의 피커들의 행 방향 이동을 가이드 하는 제1 가이드부들;
    상기 피커들을 열 단위로 그룹화하고 해당 그룹의 피커들을 일괄하여 행 방향으로 이동시키며, 해당 그룹의 피커들의 열 방향 이동을 가이드 하는 제2 가이드부들;
    상기 피커들의 열 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 제1 궤도들을 갖고, 상기 제1 궤도들 사이의 피치는 상부로 갈수록 좁아지며, 상기 제1 가이드부들이 상기 제1 궤도들을 따라 동작하도록 구성된 제1 피치 조절 플레이트;
    상기 피커들의 행 방향 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 제2 궤도들을 갖고, 상기 제2 궤도들 사이의 피치는 상부로 갈수록 좁아지며, 상기 제2 가이드부들이 상기 제2 궤도들을 따라 동작하도록 구성된 제2 피치 조절 플레이트; 및
    상기 피커들의 열 방향 및 행 방향 피치가 조절되도록 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트를 승강시키는 구동부를 포함하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 피치 조절 플레이트는 상기 제1 궤도들로서 다수의 제1 슬롯들을 갖고, 상기 제1 가이드부들은 그 단부에 설치되고 상기 제1 슬롯들의 내측면에 접하는 제1 롤러들을 포함하며,
    상기 제2 피치 조절 플레이트는 상기 제2 궤도들로서 다수의 제2 슬롯들을 갖고, 상기 제2 가이드부들은 그 단부에 설치되고 상기 제2 슬롯들의 내측면에 접하는 제2 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 가이드부들의 양 단부에 각각 구비되고 상기 제1 피치 조절 플레이트의 승강에 따라 상기 제1 가이드부들이 열 방향으로 수평 이동하도록 가이드 하는 제1 가이드 부재; 및
    상기 제2 가이드부들의 양 단부에 각각 구비되고 상기 제2 피치 조절 플레이트의 승강에 따라 상기 제2 가이드부들이 행 방향으로 수평 이동하도록 가이드 하는 제2 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 8행 8열의 피커들을 둘러싸는 구조를 갖고, 그 상면에 상기 제1 및 제2 가이드 부재들이 설치되는 제1 프레임; 및
    상기 제1 프레임의 상면에 연결되고, 그 둘레에 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트가 승강 가능하도록 설치되는 제2 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 피커들은 상단에 제2 롤러들을 포함하고, 상기 제2 가이드부들은 각각 열 방향으로 연장하는 슬롯을 가지며 상기 제3 롤러들은 상기 슬롯의 내측면에 접하도록 위치하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 피커들은 몸체의 측면에 상기 제1 가이드부와 연결을 위한 요홈부를 갖고, 상기 요홈부의 상면 및 하면에는 베어링용 구름볼이 각각 구비되며,
    상기 제1 가이드부는 상면 및 하면에 상기 구름볼에 대응하는 가이드홈이 행 방향으로 형성되고 상기 요홈부에 슬라이딩 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 가이드부는 적어도 일단부에 상기 피커를 탈착하기 위한 탈착홈을 갖는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 탈착홈은 상기 제1 가이드부의 상단 또는 하단에 형성되거나, 상기 제1 가이드부의 상단 및 하단에 모두 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피커 시스템.
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