KR20110004131A - 금속 실리콘의 불순물 제거 장치 - Google Patents

금속 실리콘의 불순물 제거 장치 Download PDF

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이승우
양병재
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주식회사 메르디안솔라앤디스플레이
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Abstract

본 발명은, 바구니에 담긴 금속 실리콘을 혼합 용액이 저장된 적어도 하나의 교반수조에 투입하여 교반시키는 교반부; 및 교반부로부터 반출 이동된 바구니를 액체가 저장된 적어도 하나의 정제수조에 투입하여 정제시키는 정제부를 포함하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치를 제공한다.
금속 실리콘, 교반, 정제

Description

금속 실리콘의 불순물 제거 장치{Impurity Removing Apparatus of Metal Grade Silicon}
본 발명은 금속 실리콘의 불순물 제거 장치에 관한 것이다.
최근 석유나 석탄과 같은 기존 에너지 자원의 고갈이 예측되면서 이들을 대체할 대체 에너지에 대한 관심이 높아지고 있다. 그 중에서도 태양전지는 에너지 자원이 풍부하고 환경오염에 대한 문제점이 없어 주목받고 있다. 태양전지는 다이오드와 같이 p타입 반도체와 n타입 반도체의 접합 구조를 가지며, 태양전지에 빛이 입사되면 빛과 태양전지의 반도체를 구성하는 물질과의 상호 작용으로 음전하를 띤 전자와, 전자가 빠져나가 양전하를 띤 정공이 발생하여 이들이 이동하면서 전류가 흐르게 된다.
실리콘의 사용처는 주지하는 바와 같이 태양전지뿐만 아니라 매우 다양하다. 그런데, 아크로(arc furnace)에서 얻어진 저 순도의 금속 실리콘은 많은 불순물이 포함되어 있다. 따라서, 이를 고 순도의 실리콘으로 형성하기 위해서는 통상 금속 실리콘의 불순물 제거 장치를 이용하여 침출액이 들어있는 수조에 금속 실리콘을 투입한 후 교반 및 정제 공정 등을 거치게 된다. 종래 금속 실리콘의 불순물 제거 장치는 교반된 금속 실리콘 및 침출액을 펌프를 이용하여 다른 수조로 이송시키고 이송된 수조에 새로운 침출액을 추가하는 형태로 구성되어 있다. 이에 따라, 종래의 금속 실리콘의 불순물 제거 장치의 경우 고액분리가 용이하지 않아 각 침출 단계별로 정확한 효율을 얻기 힘들며, 장치에 포함된 설비들이 연속적으로 배치되어 있어 침출 공정 추가시 새로운 설비를 추가하기 어려운 문제가 있다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 고액분리의 용이성을 도모하고 설비의 자유도를 높여 금속 실리콘의 불순물을 효율적으로 침출할 수 있는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은, 바구니에 담긴 금속 실리콘을 혼합 욕액이 저장된 적어도 하나의 교반수조에 투입하여 교반시키는 교반부; 및 교반부로부터 반출 이동된 바구니를 액체가 저장된 적어도 하나의 정제수조에 투입하여 정제시키는 정제부를 포함하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치를 제공한다.
금속 실리콘의 불순물 제거 장치는, 정제부로부터 반출 이동된 바구니가 로딩되는 고액분리부를 더 포함하며, 고액분리부는 바구니의 내부를 감압 및 흡입할 수 있다.
정제부는, 바구니가 정제수조로부터 반출될 시 바구니에 액체를 분사하는 분사기를 더 포함하며, 바구니는 적어도 1회 이상 정제수조에 투입 및 반출될 수 있다.
바구니는, 밑면 및 측면 중 하나 이상에 마련된 홀(hole)을 포함하며, 홀은 금속 실리콘의 입자보다 작을 수 있다.
바구니는, 밑면 및 측면 중 하나 이상에 그물 형태의 필터가 착탈식 또는 일 체형으로 설치될 수 있다.
교반부는, 제1혼합 용액이 저장된 제1교반수조와, 제2혼합 용액이 저장된 제2교반수조를 포함하며, 제1혼합 용액과 제2혼합 용액은 동일한 농도 또는 다른 농도로 이루어진 산 혼합 용액일 수 있다.
제1교반수조는, 제1혼합 용액을 가열하는 가열부를 포함할 수 있다.
교반부는, 바구니에 담긴 금속 실리콘을 혼합 용액과 교반시키는 교반기를 포함하며, 교반기는 교반수조 내/외로 이동할 수 있다.
본 발명은, 고액분리의 용이성을 도모하고 설비의 자유도를 높여 금속 실리콘의 불순물을 효율적으로 침출할 수 있는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치를 제공하는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 실리콘의 불순물 제거 장치의 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 실리콘의 불순물 제거 장치(100)는 교반부(10), 정제부(20) 및 고액분리부(30)를 포함한다.
교반부(10)는 바구니(40)에 담긴 저 순도의 금속 실리콘(Metal Grade Silicon ;MG-Si)(50)을 혼합 용액이 저장된 적어도 하나의 교반수조에 투입하여 교반시킨다. 교반부(10)는 제1혼합 용액(12)이 저장된 제1교반수조(11)와 제2혼합 용액(16)이 저장된 제2교반수조(15)가 포함되나 이에 한정되지 않는다. 다만, 교반부(10)에 포함된 적어도 하나의 교반수조 예컨대, 제1교반수조(11)는 제1혼합 용액(12)을 가열하는 가열부(13)를 포함한다. 가열부(13)는 제1교반수조(11) 내에 저장된 제1혼합 용액(12)의 온도를 조절하는 온도조절기를 포함하는 전열기 형태나 스팀가열 형태로써 제1교반수조(11)의 내부 또는 외부에 설치될 수 있다.
제1교반수조(11)에 저장된 제1혼합 용액(12)과 제2교반수조(15)에 저장된 제2혼합 용액(16)은 동일한 농도 또는 다른 농도로 이루어진 산(acid) 혼합 용액일 수 있다. 이에 따라, 제1교반수조(11), 제2교반수조(15) 및 바구니(40)는 산을 견뎌낼 수 있는 내산 재질 예컨대, 테프론(teflon)이나 내산 코팅 형태로 형성된다. 제1교반수조(11)와 제2교반수조(15)는 저장된 제1혼합 용액(12)과 제2혼합 용액(16)이 배출될 수 있도록 배수부(81)에 연결된다.
교반부(10)는 바구니(40)에 담긴 금속 실리콘(50)을 혼합 용액(12, 16)과 교반시키는 교반기(61)를 포함한다. 교반기(61)는 스터링(stirring), 에어 블로윙(air blowing), 초음파 등으로 구성될 수 있으며, 이는 교반수조(11, 15)의 내/외로 이동할 수 있도록 설치될 수 있다. 교반기(10)는 제1교반수조(11)와 제2교반수조(15)에 투입된 바구니(40) 내의 금속 실리콘(50)을 각각 개별적으로 교반하도록 설치되거나 두 개의 교반수조(11, 15) 사이를 이동하며 교반수조(11, 15)에 투 입된 바구니(40) 내의 금속 실리콘(50)을 교반하도록 설치된다.
정제부(20)는 교반부(10)로부터 반출 이동된 바구니(40)를 액체(22) 예컨대, 물(H2O)이 저장된 적어도 하나의 정제수조(21)에 투입하여 바구니(40)에 담긴 금속 실리콘(50)을 정제시킨다. 정제부(20)는 바구니(40)가 정제수조(21)로부터 반출될 시 바구니(40) 내에 액체(72)를 분사하는 분사기(71)를 더 포함한다. 정제부(20)로 이동된 바구니(40)는 정제수조(21)에 투입 및 반출된다. 바구니(40)는 정제수조(21)의 상하 방향으로 투입 및 반출을 적어도 1회 이상 반복할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 이러한 과정에서 분사기(71)는 정제수조(21)로부터 반출되어 상부 방향으로 올라온 바구니(40)에 액체(72) 예컨대, 물을 분사할 수 있다. 정제수조(21)는 저장된 액체(22)가 배출될 수 있도록 배수부(81)에 연결된다.
고액분리부(30)는 정제부(20)로부터 반출 이동된 바구니(40)가 로딩된다. 고액분리부(30)는 바구니(40)의 내부를 감압 및 흡입한다. 이를 위해, 고액분리부(30)는 바구니(40)가 로딩되는 흡기부(31)와 흡기부(31)에 로딩된 바구니(40)의 내부를 감압 및 흡입하는 펌프부(32)를 포함한다. 펌프부(32)는 흡입된 물질이 배출될 수 있도록 배수부(81)에 연결된다.
위의 설명에서, 바구니(40)는 상하좌우 이동하는 유동장치에 의해 홀드 되어 교반부(10), 정제부(20) 및 고액분리부(30)로 이동될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
이하, 바구니(40)의 구조에 대해 설명한다.
도 2는 실시예에 따른 바구니를 나타낸 도면이고, 도 3 및 도 4는 바구니에 결합된 부속물을 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 바구니(40)는 밑면에 마련된 홀(hole)(H1)이 포함된다. 홀(H1)은 금속 실리콘의 입자보다 작은 크기로 형성될 수 있다. 실시예에서는 바구니(40)의 밑면에 홀(H1)이 형성된 것을 일례로 하였으나 홀(H1)은 바구니(40)의 측면 또는 바구니(40)의 밑면과 측면에 형성될 수도 있다. 홀(H1)의 지름은 대략 500 mm 이상이 되는 입자를 걸러낼 수 있도록 형성될 수 있다.
바구니(40)는 밑면에 그물 형태의 필터(43)가 착탈식으로 설치될 수 있다. 이 경우, 바구니(40)는 밑면에 위치하는 필터(43)를 고정하는 결합부(45)가 포함된다. 필터(43)의 그물은 대략 500 ㎛ 이상이 되는 입자를 걸러낼 수 있도록 형성될 수 있고, 결합부(45)는 바구니(40)의 밑면에 마련된 홀(H1)과 같은 형태의 홀(H2)이 포함된다. 실시예에서는 바구니(40)의 밑면에 필터(43)가 착탈식으로 설치된 것을 일례로 하였으나 필터(43)는 바구니(40)의 측면 또는 바구니(40)의 밑면과 측면에 형성될 수도 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 장치를 이용한 금속 실리콘의 불순물 제거 방법에 대해 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 실리콘의 불순물 제거 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 금속 실리콘의 불순물 제거 방법은 금속 실리콘 준비 단계(S101), 바구니 내에 금속 실리콘을 담는 단계(S103), 교반부에 바구니를 투입하는 단계(S105), 1차교반 단계(S107), 바구니 반출 용액 분리 단계(S109), 정제부에 바구니를 투입하는 단계(S111), 2차교반 단계(S113), 바구니 반출 및 용액 분리 단계(S115), 고액분리부에 바구니를 로딩하는 단계(S117) 및 실리콘 건조 단계(S119)를 포함한다.
금속 실리콘(50) 준비 단계(S101)는 아크로(arc furnace) 등을 통해 얻어진 저 순도의 금속 실리콘(50)을 준비하는 단계이다. 저 순도의 금속 실리콘(50)은 많은 불순물이 포함되어 있다.
바구니(40) 내에 금속 실리콘(50)을 담는 단계(S103)는 준비된 저 순도의 금속 실리콘(50)을 바구니(40) 내에 담는 단계이다. 바구니(40)는 앞서 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같은 형태를 이용할 수 있다.
교반부(10)에 바구니(40)를 투입하는 단계(S105)는 혼합 용액이 저장된 교반수조에 바구니(40)를 투입하는 단계이다. 바구니(40)는 실시예와 같이 제1혼합 용액(12)이 저장된 제1교반수조(11)와 제2혼합 용액(16)이 저장된 제2교반수조(15)에 순서대로 투입될 수 있다.
제1교반수조(11) 내에 저장된 제1혼합 용액(12)은 가열부(13)에 의해 일정 온도로 승온 되어 있는 상태이다. 제1교반수조(11)에 저장된 제1혼합 용액(12)과 제2교반수조(15)에 저장된 제2혼합 용액(16)은 동일한 농도 또는 다른 농도로 이루어진 산(acid) 혼합 용액일 수 있다.
1차교반 단계(S107)는 바구니(40)에 단긴 금속 실리콘(50) 산 혼합 용액(12, 16)이 담긴 제1교반수조(11) 및 제2교반수조(15) 내에서 교반하는 단계이다. 교반 공정 시, 바구니(40)에 단긴 금속 실리콘(50)은 산 혼합 용액(12, 16)과 함께 스터링(stirring), 에어 블로윙(air blowing), 초음파 등으로 구성된 교반기(61)에 의해 교반된다.
바구니(40) 반출 및 용액 분리 단계(S109)는 1차교반시 투입된 바구니(40)를 교반부(10)로부터 반출하여 바구니(40) 내에 존재하는 용액을 분리하는 단계이다.
정제부(20)에 바구니(40)를 투입하는 단계(S111)는 교반부(10)로부터 반출된 바구니(40)를 액체 예컨대, 물이 저장된 정제수조(21)에 투입하여 금속 실리콘(50)을 정제시키는 단계이다.
2차교반 단계(S113)는 정제수조(21)에 바구니(40)를 투입하고 교반기(61)를 이용하여 바구니(40)에 담긴 금속 실리콘(50)을 액체(22)와 함께 교반하는 단계이다. 2차교반 단계(S113)에서 정제수조(21)에 투입된 바구니(40)는 교반기(61)에 의해 교반되지 않고 정제수조(21) 내에 투입만 될 수도 있다.
바구니(40) 반출 및 용액 분리 단계(S115)는 2차교반시 투입된 바구니(40)를 정제부(20)로부터 반출하여 바구니(40) 내에 존재하는 용액을 분리하는 단계이다. 여기서, 바구니(40)는 정제수조(21)의 상하 방향으로 투입 및 반출을 적어도 1회 이상 반복할 수 있다. 이 과정에서 분사기(71)는 정제수조(21)로부터 반출되어 상부 방향으로 올라온 바구니(40)에 액체(72) 예컨대, 물을 분사함으로써 바구니(40) 내에 존재하는 용액을 분리할 수 있다.
고액분리부(30)에 바구니(40)를 로딩하는 단계(S117)는 정제부(20)로부터 반 출된 바구니(40)를 흡기부(31) 상에 로딩하고 펌프부(32)를 가동하여 바구니(40)의 내부를 감압 및 흡입하는 단계이다. 이와 같이, 바구니(40)의 내부를 감압 및 흡입하면, 바구니(40) 내에 잔존하는 물질이 빠르게 배출된다.
실리콘 건조 단계(S119)는 위와 같은 일련의 과정을 통해 금속 실리콘(50) 내에 포함된 불순물을 제거하고 난후 정제된 실리콘을 건조하는 단계이다.
실시예는 위와 같이 정제 공정을 진행할 때, 교반수조 내에 저장된 산 혼합 용액의 온도를 일정 온도로 증온한 후 금속 실리콘(50)과 교반하였다. 실험에 따르면 금속 실리콘(50) 내에 포함된 불순물의 제거 효율은 온도와 상관관계가 있음이 밝혀졌다.
이하, 교반수조 내에 저장된 산 혼합 용액의 온도별 불순물 농도에 대해 설명한다.
도 6은 산 혼합 용액의 온도별 불순물 농도의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 교반수조 내에 저장된 산 혼합 용액의 온도는 금속 실리콘 내에 포함된 불순물(Al, Ca, Fe)의 농도와 상관관계가 있음을 알 수 있다. 도시된 그래프에 의하면, 비록 금속 실리콘 내에 포함된 모든 불순물(Al, Ca, Fe)이 침출전 대비 산 혼합 용액의 온도와 동일한 상관관계를 성립하며 제거되진 않지만 산 혼합 용액의 온도가 대략 60℃ 이상 유지될 경우 많은 양의 불순물(Al, Ca, Fe)이 제거될 수 있는 것으로 나타났다. 따라서, 실시예와 같이 교반수조 내에 저장된 산 혼합 용액의 온도를 일정 온도로 증온한 상태에서 교반을 실시하면 더욱 효과적으로 불순물을 제거할 수 있게 된다.
이상 본 발명은 고액분리의 용이성을 도모하고 설비의 자유도를 높여 금속 실리콘의 불순물을 효율적으로 침출할 수 있는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치를 제공하는 효과가 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 실리콘의 불순물 제거 장치의 개략적인 구성도.
도 2는 실시예에 따른 바구니를 나타낸 도면.
도 3 및 도 4는 바구니에 결합된 부속물을 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 실리콘의 불순물 제거 방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 6은 산 혼합 용액의 온도별 불순물 농도의 관계를 설명하기 위한 그래프.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
10: 교반부 20: 정제부
30: 고액분리부 11: 제1교반수조
12: 제1혼합 용액 15: 제2교반수조
16: 제2혼합 용액 13: 가열부
21: 정제수조 40: 바구니
50: 금속 실리콘 61: 교반기

Claims (8)

  1. 바구니에 담긴 금속 실리콘을 혼합 용액이 저장된 적어도 하나의 교반수조에 투입하여 교반시키는 교반부; 및
    상기 교반부로부터 반출 이동된 상기 바구니를 액체가 저장된 적어도 하나의 정제수조에 투입하여 정제시키는 정제부를 포함하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 금속 실리콘의 불순물 제거 장치는,
    상기 정제부로부터 반출 이동된 상기 바구니가 로딩되는 고액분리부를 더 포함하며,
    상기 고액분리부는 상기 바구니의 내부를 감압 및 흡입하는 것을 특징으로 하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 정제부는,
    상기 바구니가 상기 정제수조로부터 반출될 시 상기 바구니에 액체를 분사하는 분사기를 더 포함하며,
    상기 바구니는 적어도 1회 이상 상기 정제수조에 투입 및 반출되는 것을 특 징으로 하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 바구니는,
    밑면 및 측면 중 하나 이상에 마련된 홀(hole)을 포함하며,
    상기 홀은 상기 금속 실리콘의 입자보다 작은 것을 특징으로 하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 바구니는,
    밑면 및 측면 중 하나 이상에 그물 형태의 필터가 착탈식 또는 일체형으로 설치된 것을 특징으로 하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 교반부는,
    제1혼합 용액이 저장된 제1교반수조와,
    제2혼합 용액이 저장된 제2교반수조를 포함하며,
    상기 제1혼합 용액과 상기 제2혼합 용액은 동일한 농도 또는 다른 농도로 이루어진 산 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1교반수조는,
    상기 제1혼합 용액을 가열하는 가열부를 포함하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 교반부는,
    상기 바구니에 담긴 상기 금속 실리콘을 상기 혼합 용액과 교반시키는 교반기를 포함하며,
    상기 교반기는 상기 교반수조의 내/외로 이동하는 것을 특징으로 하는 금속 실리콘의 불순물 제거 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110255566A (zh) * 2019-05-15 2019-09-20 扬州盈航硅业科技有限公司 一种金属硅冶炼用深度除杂装置
CN113353938A (zh) * 2021-07-07 2021-09-07 湖北麦格森特新材料科技有限公司 一种高纯硅的提纯工艺方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110255566A (zh) * 2019-05-15 2019-09-20 扬州盈航硅业科技有限公司 一种金属硅冶炼用深度除杂装置
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