KR20100132827A

KR20100132827A - 프로브 유닛

Info

Publication number: KR20100132827A
Application number: KR1020090051611A
Authority: KR
Inventors: 이맹열; 이용구
Original assignee: (주)기가레인
Priority date: 2009-06-10
Filing date: 2009-06-10
Publication date: 2010-12-20
Also published as: KR101014780B1

Abstract

프로브유닛이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛은 바디블록, 제1연결부, 제2연결부 및 몸체부를 구비한다. 바디블록은 일측 하단에 검사대상소자에 접촉하는 프로브팁이 장착되는 프로브블록이 착탈가능하게 장착되며, 상면에는 제1및 제2볼트결합홈이 형성되어 상기 제1및 제2볼트결합홈에 각각 체결되는 제1및 제2볼트에 의하여 틸팅(tilting) 조절이 가능하다. 제1연결부는 상기 바디블록이 착탈결합하는 "ㄱ"형상의 틸팅조절부와, 상기 틸팅조절부와 일체로 형성되며 상기 틸팅조절부의 후면에서 돌출되며 중앙에 제1샤프트홀이 형성되는 제1돌출부를 구비하는 제1연결부로서, 상기 틸팅조절부의 상면에는 상기 제1및 제2볼트가 관통하는 제1및 제2볼트관통홀이 형성된다. 상기 제2연결부는 전면 중앙에 상기 제1연결부의 제1돌출부가 삽입되는 중앙홈이 형성되고, 상기 중앙홈의 양측 벽면에는 상기 제1샤프트홀에 대응되는 위치에 제2샤프트홀이 형성되어 제1샤프트가 상기 제1및 제2샤프트홀에 삽입되고, 상기 중앙홈의 양측 벽면에 상기 제1돌출부를 밀거나 당겨 상기 제1연결부의 수평위치를 조절하는 제3볼트가 결합되는 체결부가 형성되며, 후면에서 돌출되는 제2돌출부를 구비한다. 몸체부는 고정플레이트에 일측이 고정되며, 타측이 상기 제2돌출부에 결합되며 상기 몸체부와 상기 제2돌출부는 탄성결합한다.

Description

프로브 유닛{Probe unit}

본 발명은 프로브유닛에 관한 것으로서, 특히 프로브블록의 프로브팁의 좌우 틸팅(tilting) 조절이 가능하며, 수평방향의 얼라인(align)을 맞추기 위한 수평이동이 가능한 프로브유닛에 관한 것이다.

일반적으로, 각종 정보를 사용자에게 표시할 때에는 표시장치가 사용되고 있으며, 최근들어 전자산업의 발달과 정보량의 증가로 인해 대화면 디스플레이 소자의 연구 개발이 활발히 진행되고 있으며, 전력소모가 작고 대화면의 구현이 가능한 PDP(plasma display panel), LCD(liquid crystal display) 또는 유기EL(organic electroluminescence) 등의 평면표시소

자가 개발되었다.

일반적으로, 프로브블록은 반도체 장치나 LCD, PDP 등의 평판디스플레이패널등에 픽셀에러(Pixel error) 없이 정상 작동하는지를 검사하는데 사용된다. 최근들어 반도체장치나 평판디스플레이패널이 고화질화 되어감에 따라 화소의 밀도가 증가하고 있으며 이로 인해 프로브블록의 필요성이 증가하고 있다.

이러한 프로브블록은 프로브유닛에 장착되어 테스트신호를 검사대상소자로 전송한 다.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브유닛의 구조를 설명하는 사시도이고, 도 2는 도 1의 프로브유닛의 끝단에 장착된 프로브팁이 검사대상소자에 접촉하는 모습을 설명하는 도면이다.

종래의 프로브유닛(100)은 고정 플레이트(미도시)의 일측에 장착되고 작업대(195) 위에 얹혀진 검사대상소자(190)의 검사단자(180)와 접속되

는 하나 이상의 프로브팁(170)을 구비한다.

프로브 유닛(100)은 고정 플레이트(미도시)의 일측에 장착되는 몸체부(110)와, 몸체부(110)의 일측에 활주가능하게 장착된 검사부(160)를 포함한다. 검사부(160)는 가동부(130)와 고정부(140)를 포함한다. 몸체부(110)와 가동부(130) 사이에는 리니어 가이드(125)가 설치되어 이동이 안내되고, 고정부(140)의 하단에는 검사대상소자(190)의 검사

단자(180)와 접촉하는 프로브팁(170)이 형성된 프로브 블록(150)이 탈착 가능하게 장착된다. 또한, 고정부(140)에는 프로브 블록(150)의 프로브팁(170)으로 검사신호가 공급될 수 있도록 가요성 회로기판(미도시)이 연결된다. 가요성 회로기판에는 프로브팁(170)으로 공급되는 검사신호를 제어하기 위한 집적회로(IC)가 실장된 테이프 캐리어 패키지(tape

carrier package : TCP) 블록(미도시)이 형성된다.

몸체부(110)와 가동부(130) 사이에는 이들을 완충시키는 스프링을 포함

하는 탄성부재(미도시)가 포함되어 검사대상소자(190)의 검사단자(180)가 프로브 팁(170)에 접촉될 경우에 탄성부재가 접촉충격을 완충시킨다.

그런데, 프로브 유닛(100)에 구비된 복수개의 프로브팁(170)이 검사대상소자(190)의 검사단자(180)에 접촉할 때, 프로브팁(170) 사이에 높이의 차이가 발생하거나 검사대상소자(190)에 형성된 검사단자(180)의 패턴 자체의 두께 차이가 일정하지 않을 경우 일부 프로브팁(170b)은 검사단자(180)에 접촉되지만 일부의 프로브팁(170a)이 검사단자(180)에 접촉되지 못한다. 이를 방지하기 위해 작업eo(195)를 소정 높이만큼 상승시켜 검사단자(180)가 프로브팁(170)에 모두 접촉하도록 하지만 이는 프로브팁(170)에 압력을 주게되어 프로브팁(170) 끝단이 마모되거나 심하면 부러지게되는 문제가 발생될 수 있다.

또한, 프로브팁(170)과 검사단자(180) 사이의 위치가 서로 어긋날 경우 그 위치를 정확히 맞추어야 하는데(수평 얼라인(align)) 프로브블록(150)이 수평방향으로 용이하게 이동하기 어려운 문제가 있다.

따라서, 프로브팁(170)의 높이를 일정하게 유지함과 동시에 프로브팁을 수평방향으로 이동시켜 검사대상소자와의 수평 얼라인을 용이하게 조정할 수 있는 프로브유닛의 개발이 요구된다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 프로브블록의 프로브팁의 좌우 틸팅(tilting) 조절이 가능하며, 수평방향의 얼라인(align)을 맞추기 위한 수평이동이 가능한 프로브유닛을 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛은 바디블록, 제1연결부, 제2연결부 및 몸체부를 구비한다.

바디블록은 일측 하단에 검사대상소자에 접촉하는 프로브팁이 장착되는 프로브블록이 착탈가능하게 장착되며, 상면에는 제1및 제2볼트결합홈이 형성되어 상기 제1및 제2볼트결합홈에 각각 체결되는 제1및 제2볼트에 의하여 틸팅(tilting) 조절이 가능하다.

제1연결부는 상기 바디블록이 착탈결합하는 "ㄱ"형상의 틸팅조절부와, 상기 틸팅조절부와 일체로 형성되며 상기 틸팅조절부의 후면에서 돌출되며 중앙에 제1샤프트홀이 형성되는 제1돌출부를 구비하는 제1연결부로서, 상기 틸팅조절부의 상면에는 상기 제1및 제2볼트가 관통하는 제1및 제2볼트관통홀이 형성된다.

제2연결부는 전면 중앙에 상기 제1연결부의 제1돌출부가 삽입되는 중앙홈이 형성되고, 상기 중앙홈의 양측 벽면에는 상기 제1샤프트홀에 대응되는 위치에 제2샤프트홀이 형성되어 제1샤프트가 상기 제1및 제2샤프트홀에 삽입되고, 상기 중앙홈의 양측 벽면에 상기 제1돌출부를 밀거나 당겨 상기 제1연결부의 수평위치를 조절하는 제3볼트가 결합되는 체결부가 형성되며, 후면에서 돌출되는 제2돌출부를 구비한다.

몸체부는 고정플레이트에 일측이 고정되며, 타측이 상기 제2돌출부에 결합된다. 상기 몸체부와 상기 제2돌출부는 탄성 결합한다.

상기 제1연결부는, 상기 제1및 제2볼트관통홀은 상기 틸팅조절부의 상면의 양측에 각각 형성되며, 상기 바디블록의 상면이 마주보는 상기 틸팅조절부의 하면에는 복수개의 탄성체홈들이 상기 제1및 제2볼트관통홀의 옆에 형성되고, 상기 탄성체홈들에는 탄성체가 삽입되어 상기 바디블록과 상기 틸팅조절부가 탄성 결합된다.

상기 제1볼트 또는 상기 제2볼트를 조정하여 상기 바디블록의 일측을 상승 또는 하강시켜 상기 프로브팁의 좌우틸팅(tilting)을 조절한다.

상기 제1돌출부의 상면에는, 상기 제1돌출부를 상기 제2연결부의 하면과 탄성 결합시키기 위한 제4볼트가 제1탄성부재와 함께 결합되는 제3볼트결합홈이 형성된다.

상기 제2연결부의 상면에는, 상기 제1돌출부의 제3볼트결합홈에 대응되는 위치에 상기 제4볼트가 관통하는 제3볼트관통홀이 형성되고, 상기 3볼트관통홀에는 상기 제4볼트를 둘러싸는 상기 제1탄성부재가 삽입된다.

상기 제2돌출부는 중공을 가지는 한 쌍의 수평암으로 구성되고, 상기 몸체부의 상기 타측 하면에 상기 한 쌍의 수평암의 중공에 슬라이딩 결합되는 가이드부가 형성된다. 상기 제2돌출부에는 상기 몸체부의 상기 타측과 결합하기 위한 적어도 하나 이상의 제2샤프트가 삽입되는 적어도 하나 이상의 제3샤프트홀을 구비하고, 상기 몸체부의 상기 타측 하면은 상기 제2샤프트와 결합한다. 상기 제2연결부의 상기 제2돌출부의 상면중 상기 몸체부와 마주보는 부분에는 적어도 하나 이상의 완충홈이 형성되고, 상기 완충홈에는 제2탄성부재가 삽입되어 상기 제2돌출부가 상기 몸체부의 타측과 결합시 탄성결합이 이루어진다.

상기 제2연결부의 상기 제2돌출부의 상면에는 상기 완충홈에 이웃하여 제5볼트가 결합하는 제5볼트결합홈이 형성되고, 상기 몸체부에는 상기 제5볼트가 관통하는 제4볼트관통홀이 형성된다.

상기 체결부는 상기 제 3볼트가 삽입되기 위한 나사산이 형성되어 있으며, 상기 제3볼트가 상기 제1돌출부를 밀어서 상기 제1연결부의 수평위치를 조절한다.

상기 제1돌출부는, 상기 체결부에 대응되는 위치에 상기 제3볼트가 결합되기 위한 나사산이 형성되는 제4볼트결합홈을 더 구비하며, 상기 제2연결부의 상기 체결부는 나사산이 없는 홀 형태로 형성되어 상기 제3볼트가 관통하여 상기 제1돌출부의 상기 제4볼트결합홈에 삽입되어 상기 제1돌출부를 당겨서 상기 제1연결부의 수평위치를 조절한다.

상기 제1돌출부가 삽입되는 상기 중앙홈의 양측 벽면 사이의 거리는 상기 제1돌출부의 두께보다 커서 상기 제1돌출부가 수평방향으로 이동할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛은 프로브팁의 좌측 또는 우측을 상하로 조정하여 프로브팁의 수평높이를 동일한 높이로 일정하게 유지할 수 있는 장점이 있다.

또한, 프로프팁을 좌우로 수평이동시킬 수있어 프로브팁의 얼라인(align)이 가능한 장점이 있다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브유닛의 구조를 설명하는 사시도이다.

도 4는 도 3의 프로브유닛을 아래에서 바라본 사시도이다.

도 5는 도 3의 프로브유닛의 분해 사시도이다.

도 3내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛(300)은 바디블록(310), 제1연결부(330), 제2연결부(350) 및 몸체부(370)를 구비한다.

바디블록(310)은 일측 하단에 검사대상소자(미도시)에 접촉하는 프로브팁(미도시)이 장착되는 프로브블록(PB)이 착탈 가능하게 장착되며, 상면에는 제1및 제2볼트결합홈(미도시)이 형성되어 제1및 제2볼트결합홈(미도시)에 각각 체결되는 제1및 제2볼트(B1, B2)에 의하여 틸팅(tilting) 조절이 가능하다. 바디블록(310)의 하단후면에는 프로브블록(PB)의 프로브팁과 전기적으로 연결되는 티씨피필름(FL)이 연결된다.

제1연결부(330)는 틸팅조절부(331)와 제1돌출부(333)를 구비한다. 틸팅조절부(331)는 바디블록(310)이 착탈 결합하는 "ㄱ"형상이며, 제1돌출부(333)는 틸팅조절부(331)와 일체로 형성되며 틸팅조절부(331)의 후면에서 돌출되며 중앙에 제1샤 프트홀(SH1)이 형성된다. 틸팅조절부(331)의 상면에는 제1및 제2볼트(B1, B2)가 관통하는 제1및 제2볼트관통홀(BPHL1, BPHL2)이 형성된다.

제2연결부(350)는 전면 중앙에 제1연결부(330)의 제1돌출부가 삽입되는 중앙홈(CHM)이 형성되고, 중앙홈(CHM)의 양측 벽면에는 제1샤프트홀(SH1)에 대응되는 위치에 제2샤프트홀(SH2)이 형성되어 제1샤프트(SFT1)가 제1및 제2샤프트홀(SH1, SH2)에 삽입되고, 중앙홈(CHM)의 양측 벽면에 제1돌출부(333)를 밀거나 당겨 제1연결부(330)의 수평위치를 조절하는 제3볼트(B3)가 결합되는 체결부(CH)가 형성되며, 후면에서 돌출되는 제2돌출부(351)를 구비한다.

몸체부(370)는 고정플레이트(미도시)에 일측이 고정되며, 타측이 제2돌출부(351)에 결합된다. 몸체부(370)와 제2돌출부(351)는 탄성 결합한다.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브유닛(300)의 동작이 상세히 설명된다.

도 3의 프로브유닛(300)은 프로브팁장착된 프로브블록(PB)의 좌우틸팅을 가능하게 함으로써 프로브팁모두 대응되는 검사대상소자에 접촉할 수 있도록 조정한다. 좌우틸팅은 프로브블록(PB)의 좌측과 우측의 높이를 각각 상하방향으로 조절함으로써 프로브팁 사이의 바닥면에서의 수평높이를 균일하게 조정하는 것이다. 좌우틸팅은 제1볼트(B1)와 제2볼트(B2)를 이용하여 이루어진다.

또한, 프로브유닛(300)은 프로브팁이 장착된 프로브블록(PB)이 수평방향으로 이동할 수 있도록 함으로써 프로브팁이 검사대상소자와 일대일로 그 위치가 대응되도록 할 수 있다. 좀 더 정확하게 설명하면, 프로브블록(PB)이 장착되어 있는 제1 연결부(330)가 좌우의 수평방향으로 이동할 수 있도록 설계되어 프로브팁이 수평방향으로 움직이도록 하는 것이다. 이하에서 상기와 같은 동작에 대해서 좀 더 설명한다.

프로브블록(PB)의 끝단에는 프로브팁이 장착된다. 프로브블록(PB)에 장착되는 프로브팁의 구조나 형상에는 제한이 없다. 프로브블록(PB)은 바디블록(310)은 일측 하단에 장착되며 착탈 가능하다. 도면번호 A는 바디블록(310)을 제1연결부(330)에 결합시키는 결합부재이다.

바디블록(310)의 상면에는 제1및 제2볼트결합홈(미도시)이 형성된다. 바디블록(310)은 ㄱ"형상을 가지는 제1연결부(330)의 틸팅조절부(331)의 하면에 결합된다. 틸팅조절부(331)의 상면에는 제1및 제2볼트(B1, B2)가 관통하는 제1및 제2볼트관통홀(BPHL1, BPHL2)이 형성되는데, 바디블록(310)의 제1및 제2볼트결합홈(미도시)과 제1및 제2볼트관통홀(BPHL1, BPHL2)이 마주보며 바디블록(310)이 틸팅조절부(331)에 결합되는 것이다. 그리고, 제1및 제2볼트(B1, B2)가 제1및 제2볼트관통홀(BPHL1, BPHL2)을 통하여 제1및 제2볼트결합홈(미도시)에 삽입됨으로써 바디블록(310)이 제1연결부(330)에 고정된다. 이때, 제1및 제2볼트관통홀(BPHL1, BPHL2)은 틸팅조절부(331)의 상면의 양측에 각각 형성된다.

그리고, 바디블록(310)의 상면이 마주보는 틸팅조절부(331)의 하면에는 복수개의 탄성체홈들(EHM)이 제1및 제2볼트관통홀(BPHL1, BPHL2)의 옆에 형성되고, 탄성체홈들(EHM)에는 탄성체(EL)가 삽입되어 바디블록(310)과 틸팅조절부(331)가 탄성 결합되도록 한다. 탄성체(EL)는 탄성체홈들(EHM)에 삽입되어도 탄성체홈(EHM)의 외측으로 몸체가 일부 튀어나오도록 설계된다. 따라서, 탄성체(EL)가 바디블록(310)과 틸팅조절부(331)의 사이에서 양측에 탄성을 준다. 프로브팁이 검사대상소자에 접촉하여 압력을 받을 때 탄성체(EL)의 탄성에 의해서 그 압력이 완화될 수 있다. 도 5에는 탄성체홈들(EHM)이 4개 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제1볼트(B1) 또는 제2볼트(B2)를 조정하면 바디블록(310)의 일측을 상승 또는 하강시켜 프로브팁의 좌우틸팅(tilting)을 조절할 수 있다. 즉, 제1볼트(B1)를 회전시키면 프로브블록(PB)의 우측부분이 고정된 상태에서 좌측부분이 상승하거나 하강하게 된다. 반대로 제2볼트(B2)를 회전시키면 프로브블록(PB)의 좌측부분이 고정된 상태에서 우측부분이 상승하거나 하강하게 된다. 따라서, 제1볼트(B1) 또는 제2볼트(B2)를 회전시키면서 프로브팁의 수평높이를 조정할 수 있다.

제1연결부(330)의 제1돌출부(333)는 틸팅조절부(331)와 일체로 형성되며 틸팅조절부(331)의 후면에서 돌출되며 중앙에 제1샤프트홀(SH1)이 형성된다.

제2연결부(350)는 전면 중앙에 제1연결부(330)의 제1돌출부(333)가 삽입되는 중앙홈(CHM)이 형성되고, 중앙홈(CHM)의 양측 벽면에는 제1샤프트홀(SH1)에 대응되는 위치에 제2샤프트홀(SH2)이 형성되어 제1샤프트(SFT1)가 제1및 제2샤프트홀(SH1, SH2)에 삽입됨으로써 제1연결부(330)와 제2연결부(350)가 연결된다.

제2연결부(350)의 중앙홈(CHM)의 양측 벽면에 제1돌출부(333)를 밀거나 당겨 제1연결부(330)의 수평위치를 조절하는 제3볼트(B3)가 결합되는 체결부(CH)가 형성된다. 체결부(CH)는 도 5에 도시된 것처럼 제2샤프트홀(SH2)에 이웃하여 형성된다.

제1돌출부(333)의 상면에는, 제1돌출부(333)를 제2연결부(350)의 하면과 탄성 결합시키기 위한 제4볼트(B4)가 제1탄성부재(SP1)와 함께 결합되는 제3볼트결합홈(미도시)이 형성된다. 제2연결부(350)의 상면에는, 제1돌출부(333)의 제3볼트결합홈(미도시)에 대응되는 위치에 제4볼트(B4)가 관통하는 제3볼트관통홀(BPHL3)이 형성되고, 3볼트관통홀(BPHL3)에는 제4볼트(B4)를 둘러싸는 제1탄성부재(SP1)가 삽입된다. 즉, 제1돌출부(333)의 상면에 형성된 제3볼트결합홈(미도시)은 제2연결부의 상면에 형성된 제3볼트관통홀(BPHL3)에 대응되는 위치에 오게되고 제4볼트(B4)가 제3볼트관통홀(BPHL3)을 통하여 제3볼트결합홈(미도시)에 삽입됨으로써 제1연결부(330)가 제2연결부(350)와 연결된다. 제4볼트(B4)는 제1탄성부재(SP1)에 의해서 둘러싸여 있으며 제1탄성부재(SP1)는 제3볼트관통홀(BPHL3)에 삽입된다. 제3볼트관통홀(BPHL3)은 제4볼트(B4)와 제1탄성부재(SP1)가 삽입되더라도 제1연결부(330)가 수평방향으로 이동하는 것을 제한하지 않도록 제4볼트(B4)와 제1탄성부재(SP1)가 결합한 직경보다 그 직경이 넓다. 제4볼트(B4)는 제3볼트결합홈(미도시)에 결합되어 제1연결부(330)가 제2연결부(350)에 확실하게 고정되게 함으로써 제1연결부(330)의 수평이동에 의해 좌우 틸팅(tilting)이 어긋나게 되는 것을 방지한다.

제1탄성부재(SP1)는 탄성을 가지는 다양한 재질과 형상으로 이루어 질 수 있으며 도 5에 도시된 것처럼 스프링 구조로 이루어 질 수도 있다.

체결부(CH)는 제3볼트(B3)가 삽입되기 위한 나사산이 형성되어 있을 수 있다. 즉, 제3볼트(B3)는 나사산이 형성되어 있는 체결부(CH)에 결합되어 회전하면서 제3볼트(B3)의 끝단이 제1돌출부(333)를 밀게 되고 제1연결부(330)의 수평위치가 조절된다. 반대측에 있는 제3볼트(미도시)를 회전시키면 제1돌출부(333)를 이전 방향과 반대방향으로 밀 수 있다. 제1연결부(330)의 수평위치가 조절되면 자동적으로 프로브팁의 수평위치도 조절되게 된다.

또 다른 실시예로서, 체결부(CH)는 나사산이 형성되어 있지 않은 단순한 관통홀일 수 있다. 제1돌출부(333)가, 체결부(CH)에 대응되는 위치에 제3볼트(B3)가 결합되기 위한 나사산이 형성되는 제4볼트결합홈(미도시)을 구비하면, 제2연결부(350)의 체결부(CH)에 나사산이 없더라도 제3볼트(B3)가 체결부(CH)를 관통하여 제4볼트결합홈(미도시)에 삽입된 후, 제3볼트(B3)를 회전시키면 제1돌출부(333)를 당겨서 제1연결부(330)의 수평위치를 조절한다.

이때, 제 1항에 있어서, 제1돌출부(333)가 삽입되는 중앙홈(CHM)의 양측 벽면 사이의 거리는 제1돌출부(333)의 두께보다 커서 제1돌출부(333)가 수평방향으로 이동할 수 있게된다.

제2연결부(350)는 후면에서 돌출되는 제2돌출부(351)를 구비한다.

제2돌출부(351)는 중공(IHL)을 가지는 한 쌍의 수평암(AM)으로 구성된다. 몸체부(370)의 타측 하면에 한 쌍의 수평암(AM)의 중공(IHL)에 슬라이딩 결합되는 가이드부(373)가 형성된다. 가이드부(373)는 도 5에 도시된 것처럼 중공(IHL)에 삽입되기 위하여 돌출된 부분과 수평암(AM)의 양 끝단과 맞물려 일치되도록 안쪽으로 둥글게 파인 구조를 가지는 부분(375)으로 구성되어 가이드부(373)가 수평암(AM)의 내측 중공(IHL)으로 미끄러지듯이 위에서 아래로 슬라이딩 결합될 수 있다.

제2연결부(350)의 제2돌출부(351)의 상면중 몸체부(370)와 마주보는 부분에 는 적어도 하나 이상의 완충홈(미도시)이 형성되고, 완충홈에는 제2탄성부재(SP2)가 삽입되어 제2돌출부(351)가 몸체부(370)의 타측과 결합시 탄성결합이 이루어질 수 있다. 제2탄성부재(SP2)는 프로브팁에 가해지는 압력을 분산시키기 위하여 탄성을 발휘한다. 제2탄성부재(SP2)는 탄성을 가지는 다양한 재질과 형상으로 이루어 질 수 있으며 도 5에 도시된 것처럼 스프링 구조로 이루어 질 수도 있다.

제2연결부(350)의 제2돌출부(351)의 상면에는 완충홈(미도시)에 이웃하여 제5볼트(B5)가 결합하는 제5볼트결합홈(미도시)이 형성되고, 몸체부(370)에는 제5볼트(B5)가 관통하는 제4볼트관통홀(BPHL4)이 형성된다. 제5볼트(B5)는 제4볼트관통홀(BPHL4)을 통하여 제5볼트결합홈(미도시)에 삽입되어 결함됨으로써 제2돌출부(351)와 몸체부(370)를 결합고정시킨다. 또한, 제5볼트(B5)를 회전시켜 제2탄성부재(SP2)에 의하여 탄성이 작용되고 있는 제2돌출부(351)와 몸체부(370) 사이의 거리를 조절함에 의하여 프로브팁의 수평높이를 조절할 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브유닛의 구조를 설명하는 사시도이다.

도 7은 도 6의 프로브유닛의 분해사시도이다.

도 6및 도 7을 참조하면, 프로브유닛(600)은 프로브블록(PB), 제1연결부(330), 제2연결부(650) 및 몸체부(570)를 구비한다.

도 6및 도 7의 프로브유닛(600) 중 프로브블록(PB) 및 제1연결부(330)의 구조 및 연결관계는 앞서 설명된 프로브유닛(300)과 동일하므로 상세한 설명을 생략하며, 구조적인 차이를 가지는 제2연결부(650) 및 몸체부(670)의 구조에 대해서 설 명한다.

제2연결부(650)의 제2돌출부(651)의 구조가 프로브유닛(300)의 제2돌출부(351)의 구조와 상이하다. 제2돌출부(351)는 한 쌍의 수평암(AM)을 가지는 구조이나, 도 6의 제2돌출부(651)는 수평암을 구비하지 않으며, 몸체부(670)의 타측과 결합하기 위한 적어도 하나 이상의 제2샤프트(SFT2)가 삽입되는 적어도 하나 이상의 제3샤프트홀(SH3)을 구비한다.

그리고, 몸체부(670)의 타측 하면은 제2샤프트(SFT2)와 결합한다. 몸체부(670)의 타측 하면이 제2샤프트(SFT2) 결합하는 방법은 다양할 수 있다. 몸체부(670) 타측 하면에 제3샤프트홀(SH3)에 대응되는 적어도 하나 이상의 제4샤프트홀(SH4)을 구비하고 제4샤프트홀(SH4)에 제2샤프트(SFT2)가 삽입됨으로써 제2돌출부(651)와 몸체부(670)가 결합할 수 있다. 또는 제2샤프트(SFT2) 대신 몸체부(670) 타측 하면에 일체로 형성된 샤프트를 형성하고 이 샤프트가 제3샤프트홀(SH3)과 결합할 수 있다. 또는 몸체부(670) 타측 하면에 나사산을 형성하고 제2샤프트(SFT2)의 한쪽에 탭을 형성하여 제2샤프트(SFT2)와 몸체부(670)를 결합시킬 수 있다.

제2연결부(650)의 제2돌출부(651)와 몸체부(670)는 슬라이딩 방식이 아니고, 샤프트에 의하여 연결되는 구조이다. 샤프트에 의하여 연결되는 구조라는 점을 제외하면, 프로브유닛(600)의 구조 및 동작은 프로브유닛(300)의 구조 및 동작과 유사하므로 당업자라면 이해할 수 있으며, 상세한 설명을 생략한다. 이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특 허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브유닛의 구조를 설명하는 사시도이다.

도 2는 도 1의 프로브유닛의 끝단에 장착된 프로브팁이 검사대상소자에 접촉하는 모습을 설명하는 도면이다.

도 4는 도 3의 프로브유닛을 아래에서 바라본 사시도이다.

도 5는 도 3의 프로브유닛의 분해 사시도이다

도 7은 도 6의 프로브유닛의 분해사시도이다.

Claims

프로브 유닛에 있어서,

일측 하단에 검사대상소자에 접촉하는 프로브팁이 장착되는 프로브블록이 착탈가능하게 장착되며, 상면에는 제1및 제2볼트결합홈이 형성되어 상기 제1및 제2볼트결합홈에 각각 체결되는 제1및 제2볼트에 의하여 틸팅(tilting) 조절이 가능한 바디블록 ;

상기 바디블록이 착탈결합하는 "ㄱ"형상의 틸팅조절부와, 상기 틸팅조절부와 일체로 형성되며 상기 틸팅조절부의 후면에서 돌출되며 중앙에 제1샤프트홀이 형성되는 제1돌출부를 구비하는 제1연결부로서, 상기 틸팅조절부의 상면에는 상기 제1및 제2볼트가 관통하는 제1및 제2볼트관통홀이 형성되는 상기 제1연결부 ;

전면 중앙에 상기 제1연결부의 제1돌출부가 삽입되는 중앙홈이 형성되고, 상기 중앙홈의 양측 벽면에는 상기 제1샤프트홀에 대응되는 위치에 제2샤프트홀이 형성되어 제1샤프트가 상기 제1및 제2샤프트홀에 삽입되고, 상기 중앙홈의 양측 벽면에 상기 제1돌출부를 밀거나 당겨 상기 제1연결부의 수평위치를 조절하는 제3볼트가 결합되는 체결부가 형성되며, 후면에서 돌출되는 제2돌출부를 구비하는 제2연결부 ; 및

고정플레이트에 일측이 고정되며, 타측이 상기 제2돌출부에 결합되는 몸체부를 구비하고, 상기 몸체부와 상기 제2돌출부는 탄성결합하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 1항에 있어서, 상기 제1연결부는,

상기 제1및 제2볼트관통홀은 상기 틸팅조절부의 상면의 양측에 각각 형성되며, 상기 바디블록의 상면이 마주보는 상기 틸팅조절부의 하면에는 복수개의 탄성체홈들이 상기 제1및 제2볼트관통홀의 옆에 형성되고,

상기 탄성체홈들에는 탄성체가 삽입되어 상기 바디블록과 상기 틸팅조절부가 탄성 결합되도록 하며,

상기 제1볼트 또는 상기 제2볼트를 조정하여 상기 바디블록의 일측을 상승 또는 하강시켜 상기 프로브팁의 좌우틸팅(tilting)을 조절하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 1항에 있어서, 상기 제1돌출부의 상면에는,

상기 제1돌출부를 상기 제2연결부의 하면과 탄성 결합시키기 위한 제4볼트가 제1탄성부재와 함께 결합되는 제3볼트결합홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 3항에 있어서, 상기 제2연결부의 상면에는,

상기 제1돌출부의 제3볼트결합홈에 대응되는 위치에 상기 제4볼트가 관통하는 제3볼트관통홀이 형성되고,

상기 제3볼트관통홀에는 상기 제4볼트를 둘러싸는 상기 제1탄성부재가 삽입 되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 제2돌출부는 중공을 가지는 한 쌍의 수평암으로 구성되고, 상기 몸체부의 상기 타측 하면에 상기 한 쌍의 수평암의 중공에 슬라이딩 결합되는 가이드부가 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 1항에 있어서, 상기 제2돌출부에는 상기 몸체부의 상기 타측과 결합하기 위한 적어도 하나 이상의 제2샤프트가 삽입되는 적어도 하나 이상의 제3샤프트홀을 구비하고,

상기 몸체부의 상기 타측 하면은 상기 제2샤프트와 결합하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 5항 또는 제 6항에 있어서,

상기 제2연결부의 상기 제2돌출부의 상면중 상기 몸체부와 마주보는 부분에는 적어도 하나 이상의 완충홈이 형성되고,

상기 완충홈에는 제2탄성부재가 삽입되어 상기 제2돌출부가 상기 몸체부의 타측과 결합시 탄성결합이 이루어지지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 7항에 있어서,

상기 제2연결부의 상기 제2돌출부의 상면에는 상기 완충홈에 이웃하여 제5볼트가 결합하는 제5볼트결합홈이 형성되고,

상기 몸체부에는 상기 제5볼트가 관통하는 제4볼트관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 5항 또는 제 6항에 있어서,

상기 체결부는 상기 제 3볼트가 삽입되기 위한 나사산이 형성되어 있으며 상기 제3볼트가 상기 제1돌출부를 밀어서 상기 제1연결부의 수평위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 5항 또는 제 6항에 있어서,

상기 제1돌출부는, 상기 체결부에 대응되는 위치에 상기 제3볼트가 결합되기 위한 나사산이 형성되는 제4볼트결합홈을 더 구비하며,

상기 제2연결부의 상기 체결부는 나사산이 없는 홀 형태로 형성되어 상기 제3볼트가 관통하여 상기 제1돌출부의 상기 제4볼트결합홈에 삽입되어 상기 제1돌출부를 당겨서 상기 제1연결부의 수평위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 제1돌출부가 삽입되는 상기 중앙홈의 양측 벽면 사이의 거리는 상기 제 1돌출부의 두께보다 커서 상기 제1돌출부가 수평방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 프로브유닛.