KR20100131384A - Breaking bar - Google Patents

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KR20100131384A
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켄이치로 이케다
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A breaking bar is provided to allow a user to easily select the length of an edge according to scribe line by rotating a break bar along a rotation shaft. CONSTITUTION: A pair of rotary shafts(11a,11b) is formed in both ends of a break bar(10). The breaking part(12) of a pillar shape is interposed between rotary shafts. The breaker bar has a plurality of blade edges(14a,15a) which have different properties and are parallel with each other. The edge of the blade has grooves(14b,14c,15b,15c).

Description

브레이크 바{BREAKING BAR}Brake bar {BREAKING BAR}

본 발명은 원형의 부재를 세밀하게 절단 가공하는 공정 등의 절단 공정에서 이용되는 브레이크 바에 관한 것이다.The present invention relates to a brake bar used in a cutting step such as a step of finely cutting a circular member.

반도체의 제조에 있어서 원판 형상의 웨이퍼를 다수의 사각형 형상으로 분단(dividing)하는 공정에 있어서는, 통상 웨이퍼를 다이싱 시트(dicing sheet)에 고정하고, 얇은 다이싱 소(dicing saw)를 이용하여 다이싱 소를 회전시켜 칩의 사이를 주사함으로써 사각형 형상으로 다수의 칩을 형성하고 있다.In the process of dividing a disk-shaped wafer into a number of square shapes in the manufacture of a semiconductor, the wafer is usually fixed to a dicing sheet, and a die is used using a thin dicing saw. The chips are rotated to scan the chips to form a plurality of chips in a rectangular shape.

또한 특허문헌 1에는, 반도체 웨이퍼를 칩 형상으로 절단할 때에, 웨이퍼의 표면을 스크라이브(scribe)하고, 벽개면(facet)을 따라 브레이크함으로써 다수의 칩으로 분단하는 반도체 웨이퍼 가공 장치가 제안되고 있다.In addition, Patent Document 1 proposes a semiconductor wafer processing apparatus for slicing a plurality of chips by scribing the surface of the wafer and breaking it along a cleaved face when cutting the semiconductor wafer into a chip shape.

일본공개특허공보 평2003-282485호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-282485

그러나 특허문헌 1에서는, 웨이퍼의 표면의 정방형(square) 형상의 영역을 스크라이브 및 브레이크하여 칩으로 절단 가공하고 있다. 도 1(a)는 반도체 웨이퍼의 다이싱 공정의 평면도이고, 도 1(b), (c)는 각각 A-A선, B-B선 단면도이다. 도 1에 있어서, 도너츠 형상의 다이싱 링(101)에 다이싱 시트(102)를 붙이고, 그 점착면상에 웨이퍼(워크;103)를 부착한다. 이 경우에 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 워크(103)의 정방형 형상의 부분에 다수의 격자 형상의 스크라이브 라인을 형성해 두고, 도 1(b), (c)에 나타내는 바와 같이 이 스크라이브 라인을 따라 일정한 길이의 브레이크 바(104, 105)를 이용하여 브레이크할 필요가 있다.However, in patent document 1, the square area | region of the surface of a wafer is scribed and braked, and it cuts into chips. 1A is a plan view of a dicing step of a semiconductor wafer, and FIGS. 1B and C are cross-sectional views taken along lines A-A and B-B, respectively. In FIG. 1, the dicing sheet 102 is stuck to the donut-shaped dicing ring 101, and the wafer (work) 103 is stuck on the adhesive surface. In this case, as shown to FIG. 1 (a), many scribe lines of the grid | lattice form are formed in the square-shaped part of the workpiece | work 103, and this scribe line is shown to FIG. 1 (b), (c). Therefore, it is necessary to brake using the brake bars 104 and 105 of constant length.

여기에서 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(103)의 원형의 거의 모든 영역으로부터 칩을 잘라낼 수 있으면, 낭비 없이 칩이 얻어지기 때문에, 효율이 좋아진다. 그러나 이 경우는 스크라이브 라인의 길이는 일정하지 않게 된다. 도 2(b)에 A-A선 단면도를 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(103)의 반경과 거의 동일한 긴 브레이크 바(106, 107)를 이용한 경우에는, A-A선의 부분은 브레이크할 수 있다. 그러나 다이싱 링(101)의 두께는 예를 들면 1.2∼2.0mm와 웨이퍼(103)의 두께(약 0.8mm)보다도 두껍기 때문에, 도 2(c)에 B-B선 단면도를 나타내는 바와 같이, B-B선 부분에서는 브레이크 바(107)가 다이싱 링(101)에 접촉해 버려, 브레이크할 수 없었다. 따라서 스크라이브 라인의 길이에 따라서 브레이크 바를 교환할 필요가 있다는 결점이 있었다.As shown in Fig. 2 (a), if the chip can be cut out from almost all the circular regions of the wafer 103, the chip can be obtained without waste, so that the efficiency is improved. In this case, however, the length of the scribe line is not constant. As shown in the sectional view along the line A-A in Fig. 2B, when the long brake bars 106 and 107 which are almost the same as the radius of the wafer 103 are used, portions of the line A-A can be braked. However, since the thickness of the dicing ring 101 is larger than, for example, 1.2 to 2.0 mm and the thickness of the wafer 103 (about 0.8 mm), the BB line portion is shown in FIG. In this case, the brake bar 107 is in contact with the dicing ring 101 and cannot be braked. Therefore, there is a drawback that the brake bar needs to be replaced depending on the length of the scribe line.

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 브레이크 바의 날끝의 길이를 용이하게 변경할 수 있는 브레이크 바를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.This invention is made | formed in view of such a conventional problem, and makes it a technical subject to provide the brake bar which can easily change the length of the blade tip of a brake bar.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 브레이크 바는, 양단(兩端)에 형성된 한 쌍의 회전축과, 상기 회전축의 사이에 형성된 기둥 형상의 브레이크부를 가지며, 상기 브레이크부는 상기 기둥 형상의 외주면에, 상기 회전축의 중심축에 평행하게 복수의 상이한 특성을 갖는 날끝을 형성한 것이다. In order to solve this problem, the brake bar of the present invention has a pair of rotary shafts formed at both ends and a columnar brake portion formed between the rotary shafts, and the brake portion is provided on the outer peripheral surface of the columnar shape, A blade tip having a plurality of different characteristics is formed parallel to the central axis of the rotation axis.

여기에서 상기 브레이크부는 다각 기둥 형상이고, 상기 브레이크부는 상기 다각 기둥 형상의 각 능선부를 각각 날끝으로 하여, 각 능선마다 날끝의 사양을 상이하게 하도록 해도 좋다.Here, the brake portion may have a polygonal pillar shape, and the brake portion may have each of the ridge portions of the polygonal pillar shape as a blade tip, so that the specifications of the blade tip differ for each ridgeline.

여기에서 상기 다각 형상부의 능선은, 각각 양단에 절결(cut-away)을 가지며, 그 사이를 날끝으로 함과 함께, 각 능선마다 날끝의 길이를 상이하게 하도록 해도 좋다.Here, each of the ridges of the polygonal shape may have cut-aways at both ends thereof, and the length of the blade tip may be different for each ridge line between the blade tips therebetween.

여기에서 상기 브레이크부의 길이 방향에 있어서의 날끝의 중앙부를 동일 위치로 해도 좋다.Here, the center part of the blade edge | tip in the longitudinal direction of the said brake part may be made into the same position.

여기에서 상기 브레이크부의 날끝은, 각각 선단에 홈을 갖도록 해도 좋다.Here, the blade edges of the brake portion may have grooves at their respective ends.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 브레이크 바를 회전축을 따라 회전시키는 것만으로 브레이크 바의 날끝의 길이를 용이하게 변경할 수 있다. 따라서 브레이크해야 하는 워크의 스크라이브 라인의 길이에 따른 날끝을 용이하게 선택하여 브레이크할 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the present invention having such a feature, the length of the blade tip of the brake bar can be easily changed only by rotating the brake bar along the rotation axis. Therefore, the effect that the blade tip according to the length of the scribe line of the workpiece to be braked can be easily selected and braked is obtained.

도 1은 종래의 웨이퍼 가공 장치를 이용하여 다이싱 링상의 워크를 브레이크하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 길이가 긴 브레이크 바를 이용하여 다이싱 링상의 워크를 브레이크하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 8은 본 발명의 제6 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 9은 본 발명의 제7 실시 형태에 따른 브레이크 바를 나타내는 사시도 및 측면도이다.
도 10은 본 발명의 각 실시 형태에 따른 브레이크 바의 날끝의 변형예를 나타내는 부분 단면도이다.
도 11은 본 발명을 이용하여 브레이크할 때의 워크의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 브레이크 바를 이용하여 워크를 절단하는 상태를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the state which brakes the workpiece | work on a dicing ring using the conventional wafer processing apparatus.
2 is a view showing a state of braking a work on a dicing ring using a long brake bar.
3 is a perspective view and a side view of the brake bar according to the first embodiment of the present invention.
4 is a perspective view and a side view illustrating a brake bar according to a second embodiment of the present invention.
5 is a perspective view and a side view illustrating a brake bar according to a third embodiment of the present invention.
6 is a perspective view and a side view illustrating a brake bar according to a fourth embodiment of the present invention.
7 is a perspective view and a side view illustrating a brake bar according to a fifth embodiment of the present invention.
8 is a perspective view and a side view illustrating a brake bar according to a sixth embodiment of the present invention.
9 is a perspective view and a side view illustrating a brake bar according to a seventh embodiment of the present invention.
10 is a partial cross-sectional view showing a modification of the blade tip of the brake bar according to each embodiment of the present invention.
Fig. 11 is a diagram showing an example of a workpiece when breaking using the present invention.
It is a figure which shows the state which cuts a workpiece | work using the brake bar of this invention.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form to carry out invention)

도 3(a)는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 브레이크 바의 일 예를 나타내는 사시도이고, 도 3(b)는 그 측면도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 제1 실시 형태의 브레이크 바(10)는 삼각 기둥 형상을 가지며, 양단에는 원형의 회전축(11a, 11b)이 형성되어 있다. 그리고 중앙의 삼각 기둥 형상의 부분을 브레이크부(12)로 한다. 여기에서 하나의 능선의 중앙부를 날끝(13a)으로 하고, 능선의 양단은 도시와 같이 절결(13b, 13c)로 하고 있다. 브레이크부(12)의 다른 능선도 동일하게 중앙 부분이 날끝(14a, 15a)으로 되어 있으며, 능선의 회전축에 가까운 양단에 절결(14b, 14c, 15b, 15c)을 형성한다. 날끝(13a, 14a, 15a)은 브레이크 바의 길이 방향의 중심점에 대하여 좌우 대칭이고, 그리고 그 길이는 서로 상이하며, 날끝(13a)이 가장 짧고, 날끝(15a)이 가장 긴 것으로 한다.Fig. 3A is a perspective view showing an example of a brake bar according to the first embodiment of the present invention, and Fig. 3B is a side view thereof. As shown in these figures, the brake bar 10 of the first embodiment has a triangular column shape, and circular rotary shafts 11a and 11b are formed at both ends. And the center triangular columnar part is used as the brake part 12. As shown in FIG. Here, the center of one ridge is the blade tip 13a, and both ends of the ridge are cut outs 13b and 13c as shown. Similarly in the other ridges of the brake portion 12, the center portions are the blade tips 14a and 15a, and the notches 14b, 14c, 15b and 15c are formed at both ends close to the rotation axis of the ridgeline. The blade tips 13a, 14a, and 15a are symmetrical with respect to the center point in the longitudinal direction of the brake bar, and their lengths are different from each other, and the blade tips 13a are shortest and the blade tips 15a are longest.

도 4(a)는 제2 실시 형태에 따른 브레이크 바(20)를 나타내는 사시도이고, 도 4(b)는 그 측면도이다. 이 실시 형태의 브레이크 바(20)는 양단에 회전축(21a, 21b)을 갖고 있으며, 그 중앙부가 사각 기둥 형상의 브레이크부(22)로 되어 있다. 브레이크부(22)의 각 능선의 중앙 부분이 날끝(23a, 24a, 25a, 26a)으로 되어 있고, 회전축에 가까운 부분에는 제1 실시 형태와 동일한 절결(23b, 23c, 24b, 24c, 25b, 25c 및 26b, 26c)이 형성된다. 이 경우에도 중앙의 능선의 날끝(23a∼26a)의 길이는 각각 상이하며, 날끝(23a)이 가장 짧고, 날끝(24a), 날끝(25a), 날끝(26a)으로 순차 길어지도록 한다.FIG. 4A is a perspective view of the brake bar 20 according to the second embodiment, and FIG. 4B is a side view thereof. The brake bar 20 of this embodiment has the rotation shaft 21a, 21b in the both ends, and the center part becomes the brake part 22 of square pillar shape. The center part of each ridgeline of the brake part 22 is the blade tip 23a, 24a, 25a, 26a, and the part which is close to a rotating shaft has the same notch 23b, 23c, 24b, 24c, 25b, 25c similar to 1st Embodiment. And 26b, 26c) are formed. Also in this case, the lengths of the blade tips 23a to 26a of the center ridges are different, and the blade tips 23a are shortest, and the blade tips 24a, blade tips 25a, and blade tips 26a are sequentially lengthened.

도 5(a)는 제3 실시 형태에 따른 브레이크 바(30)를 나타내는 사시도이고, 도 5(b)는 그 측면도이다. 이 실시 형태의 브레이크 바(30)도 양단에 회전축(31a, 31b)을 갖고 있으며, 그 중앙부가 오각 기둥 형상의 브레이크부(32)로 되어 있다. 브레이크부(32)의 각 능선의 중앙 부분이 날끝(33a, 34a, 35a, 36a, 37a)으로 되어 있고, 회전축에 가까운 부분에는 제1 실시 형태와 동일한 절결(33b, 33c, 34b, 34c, 35b, 35c, 36b, 36c 및 37b, 37c)이 형성된다. 이 경우에도 중앙의 능선의 날끝(33a∼37a)의 길이는 각각 상이하며, 날끝(33a)이 가장 짧고, 날끝(34a), 날끝(35a), 날끝(36a), 날끝(37a)으로 순차 길어지도록 한다.FIG. 5A is a perspective view illustrating the brake bar 30 according to the third embodiment, and FIG. 5B is a side view thereof. The brake bar 30 of this embodiment also has rotation shafts 31a and 31b at both ends, and its center portion is a pentagonal columnar brake portion 32. The center part of each ridgeline of the brake part 32 is the blade edge | tip 33a, 34a, 35a, 36a, 37a, and in the part near a rotating shaft, the same notch 33b, 33c, 34b, 34c, 35b similar to 1st Embodiment is provided. , 35c, 36b, 36c and 37b, 37c) are formed. Also in this case, the lengths of the blade tips 33a to 37a of the center ridges are different, and the blade tips 33a are shortest, and the blade tips 34a, the blade tips 35a, the blade tips 36a, and the blade tips 37a are sequentially lengthened. To lose.

도 6(a)는 제4 실시 형태에 따른 브레이크 바(40)를 나타내는 사시도이고, 도 6(b)는 그 측면도이다. 이 실시 형태의 브레이크 바(40)도 양단에 회전축(41a, 41b)을 갖고 있으며, 그 중앙부가 육각 기둥 형상의 브레이크부(42)로 되어 있다. 브레이크부(42)의 각 능선의 중앙 부분이 날끝(43a, 44a, 45a, 46a, 47a, 48a)으로 되어 있고, 회전축에 가까운 부분에는 제1 실시 형태와 동일한 절결(43b, 43c, 44b, 44c, 45b, 45c, 46b, 46c, 47b, 47c 및 48b, 48c)이 형성된다. 이 경우에도 중앙의 능선의 날끝(43a∼48a)의 길이는 각각 상이하며, 날끝(43a)이 가장 짧고, 날끝(44a), 날끝(45a), 날끝(46a), 날끝(47a), 날끝(48a)으로 순차 길어지도록 한다.FIG. 6A is a perspective view of the brake bar 40 according to the fourth embodiment, and FIG. 6B is a side view thereof. The brake bar 40 of this embodiment also has rotation shafts 41a and 41b at both ends, and the center part is the brake part 42 of a hexagonal columnar shape. The center part of each ridgeline of the brake part 42 is a blade edge 43a, 44a, 45a, 46a, 47a, 48a, and the part not close to a rotating shaft has the same notches 43b, 43c, 44b, 44c similar to 1st Embodiment. , 45b, 45c, 46b, 46c, 47b, 47c and 48b, 48c) are formed. Also in this case, the lengths of the blade tips 43a to 48a of the central ridges are different, and the blade tips 43a are shortest, the blade tips 44a, the blade tips 45a, the blade tips 46a, the blade tips 47a, and the blade tips ( To 48a).

도 7(a), 도 8(a)는 각각 제5, 제6 실시 형태의 브레이크 바(50, 60)를 나타내는 사시도이고, 도 7(b), 도 8(b)는 그 측면도이다. 이들 실시 형태에 있어서 브레이크부가 칠각 기둥, 팔각 기둥인 점을 제외하고 전술한 실시 형태와 동일하여, 상세한 설명을 생략한다. 이들 다각형의 브레이크부를 갖는 브레이크 바에 대해서도 동일하게 능선이 날끝으로 되어 있고, 그 능선의 길이가 각각 능선마다 상이하다. 또한 다각형의 각수(角數)는 임의로 설정할 수 있고, 또한 정다각형으로 한정되는 것도 아니다.7 (a) and 8 (a) are perspective views showing the brake bars 50 and 60 of the fifth and sixth embodiments, respectively, and FIGS. 7 (b) and 8 (b) are side views thereof. In these embodiments, the details are the same as in the above-described embodiment except that the brake portion is a seven-pole column and an octagonal column, and detailed description thereof is omitted. Similarly with respect to the brake bar which has these polygonal brake parts, a ridgeline becomes a blade edge | tip, and the length of the ridgeline differs for every ridgeline, respectively. The number of polygons can be arbitrarily set and is not limited to regular polygons.

또한 각기둥에 한하지 않고, 도 9에 나타내는 바와 같이 원기둥 형상 부재의 표면에 날끝 부분을 돌출시키는 바와 같은 구조로 할 수도 있다. 이 브레이크 바(70)는 양단에 한 쌍의 회전축(71a, 71b)을 갖고 있으며, 중앙의 원기둥 부분이 브레이크부(72)로 되어 있다. 그리고 중앙의 브레이크부(72)에는, 길이 방향의 중심을 공통으로 하여 중심으로부터 대칭으로 날끝(73, 74…76)이 표면에 형성된다. 이들 날끝의 길이는 상이하지만, 모두 회전축(71a, 71b)의 축에 평행으로 형성되어 있다. 또한 날끝의 수는 임의로 선택할 수 있다.Moreover, it is not limited to a prism, It can also be set as the structure which protrudes a blade edge part on the surface of a cylindrical member as shown in FIG. The brake bar 70 has a pair of rotary shafts 71a and 71b at both ends, and a central cylindrical portion serves as the brake portion 72. In the center brake portion 72, blade edges 73, 74, and 76 are formed on the surface symmetrically from the center with the center in the longitudinal direction in common. Although the length of these blade tips differs, they are all formed in parallel with the axis of the rotating shafts 71a and 71b. In addition, the number of blade tips can be selected arbitrarily.

다음으로 날끝의 형상의 변형예에 대해서 추가로 설명한다. 전술한 각 실시 형태에서는, 날끝의 형상은 단면(斷面)이 삼각형 형상인 것이었지만, 워크를 상하의 날끝으로 브레이크하는 경우에, 어느 한쪽을 단면이 삼각형 형상인 날끝으로 하고, 다른 한쪽을 홈 부착의 날끝으로 하도록 해도 좋다. 도 10은 홈 부착의 날끝을 측면으로부터 확대하여 본 부분 단면도이다. 육각 기둥 형상의 브레이크 바(40)를 예로 들어 설명하면, 그 각 날끝은 도 6의 삼각형 형상의 날끝, 예를 들면 날끝(43a)을 대신하여, 도 10(a)에 나타내는 바와 같이 능선을 따라 가느다란 홈을 갖는 날끝(43a-1)으로 한다. 이 홈은 날끝의 전(全) 영역에 형성되며, 홈의 폭은 워크의 스크라이브 피치보다 좁아지도록 선택하는 것으로 한다. 다른 날끝에 대해서도 동일하게 한다.Next, the modification of the shape of the blade tip is further demonstrated. In each of the above-described embodiments, the shape of the blade tip is triangular in cross section. However, when the work is braked by the upper and lower blade tips, one of the blade tips is a blade tip having a triangular cross section, and the other is provided with a groove. You may end the day. It is a fragmentary sectional view which expanded the blade edge | tip of a groove attachment from the side. When the hexagonal bar-shaped brake bar 40 is described as an example, each of the blade tips replaces the triangular blade tips of FIG. 6, for example, the blade tips 43a, along the ridge lines as shown in FIG. 10 (a). It is set as the blade tip 43a-1 which has a thin groove. This groove is formed in the entire region of the blade tip, and the width of the groove is selected to be narrower than the scribe pitch of the workpiece. Do the same for the other blade ends.

또한 홈 부착의 날끝에 있어서 도 10(b)에 날끝(43a-2)을 나타내는 바와 같이, 홈의 저면(底面)에 평행하게 홈의 단부(端部)를 절결하도록 해도 좋다. 또한 도 10(c)에 날끝(43a-3)을 나타내는 바와 같이, 홈의 부분을 돌출시켜 홈을 형성하도록 해도 좋다. 모두 다른 날끝에 대해서도 동일하게 한다.In addition, at the blade edge with a groove, as shown by the blade edge | tip 43a-2 in FIG. 10 (b), the edge part of a groove | channel may be cut out parallel to the bottom surface of a groove | channel. As shown in Fig. 10 (c), the blade tip 43a-3 may protrude a portion of the groove to form the groove. Do the same for all other blade ends.

또한 전술한 실시 형태에서는, 다각 기둥의 각 능선 또는 원기둥의 표면에 형성한 날끝의 길이를 상이하게 하고 있지만, 예를 들면, 비(非)정다각형의 각 능선을 날끝으로서 이용하는 경우나, 도 9에 나타내는 바와 같은 원기둥의 표면에 날끝을 형성하는 경우에는, 날끝마다 날끝 단면 각도(수속(收束) 각도)를 변화시키는 것으로 해도 좋고, 또한, 도 10에 나타내는 바와 같은 홈 부착의 날끝의 경우에는, 날끝마다 홈의 폭이나 깊이를 변화시키는 것으로 해도 좋다.In addition, although the length of the blade edge | tip formed in each ridgeline of a polygonal column or the surface of a cylinder differs in embodiment mentioned above, for example, when using each non-constant polygonal ridgeline as a blade edge | edge or in FIG. In the case of forming the blade tip on the surface of the cylinder as shown, the blade tip cross-sectional angle (procedure angle) may be changed for each blade tip, and in the case of the blade tip with grooves as shown in FIG. The width and depth of the grooves may be changed at each blade tip.

다음으로 본 발명의 브레이크 바를 이용하여 원형의 워크를 브레이크하는 경우의 동작에 대해서 설명한다. 도 11(a)에 평면도, 도 11(b)에 중앙 종단면도를 나타내는 바와 같이, 다이싱 링(101)의 저면에 다이싱 시트(102)를 부착하고, 그 상면에 원형의 워크(110)를 붙인다. 이 원형의 워크(110)에는 미리 격자 형상으로 전체적으로 거의 원형이 되는 스크라이브 라인이 형성되어 있다. 도 12(a)는 이 워크(110)의 절단 공정의 입면도(立面圖)이고, 도 12(b), (c)는 각각 A-A선, B-B선 단면도이다. 여기에서는 전술한 육각 기둥 형상의 브레이크부(42)를 갖는 브레이크 바(40)를 이용하여 브레이크하는 것으로 하고, 도 12에 나타내는 바와 같이 워크의 상하에 한 쌍의 브레이크 바를 배치한다. 여기에서 라인(L1∼L6)은 브레이크할 때의 브레이크 바의 날끝의 길이를 나타낸다. 즉 라인(L1)은 가장 짧은 날끝(43a)을 이용하여 브레이크할 때의 날끝이 접촉하는 라인이다. 이 경우에 도 12에 나타내는 바와 같이, 상하 동일한 브레이크 바(40)를 이용하여 어느 한쪽, 예를 들면 하방만의 브레이크 바(40)를 도면 중 상방향으로 밀어올려 브레이크한다. 이렇게 하면 상방의 브레이크 바(40)는 다이싱 링(101)의 면에 접촉하는 일 없이 브레이크할 수 있다. 그리고 워크를 스크라이브 라인의 피치분만큼 시프트시킨다.Next, the operation | movement at the time of breaking a circular workpiece | work using the brake bar of this invention is demonstrated. As shown in a plan view in Fig. 11 (a) and a central longitudinal cross-sectional view in Fig. 11 (b), the dicing sheet 102 is attached to the bottom surface of the dicing ring 101, and the circular workpiece 110 is formed on the upper surface thereof. Attach. The circular workpiece 110 is formed with a scribe line which is almost circular in a lattice shape beforehand. Fig. 12A is an elevation view of the cutting step of the work 110, and Figs. 12B and 12C are sectional views taken on line A-A and line B-B, respectively. Here, the brake bar 40 having the above-described hexagonal columnar brake portion 42 is used for braking, and a pair of brake bars are arranged above and below the work as shown in FIG. 12. Here, the lines L1 to L6 represent the length of the blade tip of the brake bar at the time of braking. In other words, the line L1 is a line to which the blade tip contacts when braking using the shortest blade tip 43a. In this case, as shown in FIG. 12, the brake bar 40 of only one side, for example, below, is pushed up and brakes using the same brake bar 40 up and down. In this way, the upper brake bar 40 can brake without contacting the surface of the dicing ring 101. The work is then shifted by the pitch of the scribe lines.

다음으로 이보다 근소하게 긴 라인(L2)을 브레이크 하는 경우에는, 상하의 브레이크 바(40)를 60° 회전시키고, 다음으로 짧은 날끝(44a)을 이용하여 브레이크를 행한다. 이하 동일하게 하여, 라인(L3, L4, L5, L6)에는 각각 45a, 46a, 47a, 48a를 이용하여 브레이크를 행한다. 이렇게 하면 브레이크 바를 회전하는 것만으로 소망하는 길이의 날끝을 선택할 수 있기 때문에, 브레이크 바를 그 날끝의 길이에 따라 바꿀 필요가 없고, 제조 공정을 간략화하여, 제조 시간을 단축할 수 있다.Next, when braking the longer line L2 slightly than this, the upper and lower brake bars 40 are rotated by 60 degrees, and the braking is then performed using the short blade tip 44a. In the same manner below, the lines L3, L4, L5, and L6 are braked using 45a, 46a, 47a, and 48a, respectively. In this case, since the blade tip of the desired length can be selected only by rotating the brake bar, it is not necessary to change the brake bar according to the length of the blade tip, and the manufacturing process can be simplified and the manufacturing time can be shortened.

또한 이 실시 형태에서는 상하에 동일한 브레이크 바를 이용하여 브레이크하는 공정을 나타내고 있지만, 어느 한쪽에만 도 3∼도 8에 나타내는 브레이크 바를 이용하고, 다른 한쪽에는 단면이 도 10에 나타내는 홈 부착의 날끝을 갖는 브레이크 바를 이용해도 좋다.In addition, in this embodiment, although the process of braking using the same brake bar up and down is shown, the brake bar shown in FIGS. 3-8 is used only on one side, and the brake which has the blade edge with a groove shown in FIG. 10 on the other side is used. You can also use the bar.

본 발명은 원형의 부재를 절단 가공하는 공정에서 이용되며, 스크라이브 라인의 길이를 따라 부여되어 브레이크 바의 날끝을 용이하게 변경할 수 있어, 절단 가공에 유용하다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used in the process of cutting a circular member, and is provided along the length of the scribe line so that the blade tip of the brake bar can be easily changed, which is useful for cutting.

10, 20, 30, 40, 50, 60, 70 : 브레이크 바
11a, 11b, 21a, 21b, 31a, 31b, 41a, 41b, 71a, 71b : 회전축
13a, 14a, 15a, 23a, 24a, 25a, 26a, 33a, 34a, 35a, 36a, 37a, 42a, 43a, 44a, 46a, 47a, 48a, 73, 74…76 : 날끝
13b, 13c, 14b, 14c, 15b, 15c, 23b, 23c, 24b, 24c, 25b, 25c, 26b, 26c, 33b, 33c, 34b, 34c, 35b, 35c, 36b, 36c, 37b, 37c, 42b, 42c, 43b, 43c, 44b, 44c, 46b, 46c, 47b, 47c, 48b, 48c : 절결10, 20, 30, 40, 50, 60, 70: brake bar
11a, 11b, 21a, 21b, 31a, 31b, 41a, 41b, 71a, 71b: axis of rotation
13a, 14a, 15a, 23a, 24a, 25a, 26a, 33a, 34a, 35a, 36a, 37a, 42a, 43a, 44a, 46a, 47a, 48a, 73, 74... 76: end of blade
13b, 13c, 14b, 14c, 15b, 15c, 23b, 23c, 24b, 24c, 25b, 25c, 26b, 26c, 33b, 33c, 34b, 34c, 35b, 35c, 36b, 36c, 37b, 37c, 42b, 42c, 43b, 43c, 44b, 44c, 46b, 46c, 47b, 47c, 48b, 48c

Claims (5)

양단(兩端)에 형성된 한 쌍의 회전축과,
상기 회전축의 사이에 형성된 기둥 형상의 브레이크부를 가지며,
상기 브레이크부는 상기 기둥 형상의 외주면에, 상기 회전축의 중심축에 평행하게 복수의 상이한 특성을 갖는 날끝을 형성한 브레이크 바.A pair of rotation shafts formed at both ends,
It has a columnar brake portion formed between the rotating shaft,
The brake part is a brake bar having a blade tip having a plurality of different characteristics parallel to the central axis of the rotating shaft on the outer peripheral surface of the columnar shape. 제1항에 있어서,
상기 브레이크부는 다각 기둥 형상이고,
상기 브레이크부는 상기 다각 기둥 형상의 각 능선부를 각각 날끝으로 하여, 각 능선마다 날끝의 사양을 상이하게 한 브레이크 바.The method of claim 1,
The brake portion is a polygonal pillar shape,
The brake part is a brake bar in which each of the polygonal columnar ridges has a blade tip, and the blade tip is different for each ridgeline. 제2항에 있어서,
상기 다각 형상부의 능선은, 각각 양단에 절결을 가지며, 그 사이를 날끝으로 함과 함께, 각 능선마다 날끝의 길이를 상이하게 한 브레이크 바.The method of claim 2,
The ridge line of the said polygonal shape part has the notch at both ends, and makes the blade edge between them, and makes the length of the blade tip different for each ridge line. 제4항에 있어서,
상기 브레이크부의 길이 방향에 있어서의 날끝의 중앙부를 동일 위치로 한 브레이크 바.The method of claim 4, wherein
The brake bar which made the center part of the blade edge | tip in the longitudinal direction of the said brake part the same position. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 브레이크부의 날끝은, 각각 선단에 홈을 갖는 브레이크 바.
The method according to any one of claims 1 to 4,
The blade end of each said brake part has a groove | bar in a front end, respectively.
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