JP6771207B2 - Multipoint diamond tool and its manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのマルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a multipoint diamond tool for scribing a brittle material substrate such as a glass substrate or a silicon wafer by a diamond point, and a method for manufacturing the same.

従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献1,2にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献3にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。 Conventionally, in order to scribe a glass substrate or a silicon wafer, a scribing wheel or a tool using a diamond point made of a single crystal diamond has been used. For glass substrates, scribing wheels that roll with respect to the substrate have been mainly used, but due to the advantages of improving the strength of the substrate after scribe, the use of diamond points, which are fixed blades, has also been considered. It's coming. Patent Documents 1 and 2 propose a point cutter for scribing a substrate having a high hardness such as a sapphire wafer or an alumina wafer. In these patent documents, a tool having a cut point on the ridgeline of a pyramid and a tool having a conical tip are used. Further, Patent Document 3 proposes a scribe device using a glass scriber having a conical tip for scribing a glass plate.

特開2003−183040号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-183040 特開2005−079529号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-079529 特開2013−043787号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-043787

従来の固定刃であるツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。角錐形や円錐形のツールでは使用可能な頂点となるポイントは2箇所又は最大で4箇所である。従って2箇所又は4箇所のポイントを変更するとツールを交換する必要があり、交換頻度が高くなるという問題点があった。また、ツールによるスクライブにおいては、ポイントが基板に対して適切な角度で接触する必要がある。しかし、従来のツールでは、ポイントを変更する場合ツールを軸方向に回転させる必要があり、この接触角度を精度良く調整することが容易ではなかった。 It is necessary to change the point because the point wears as the scribe is advanced with the tool that is a conventional fixed blade. With a pyramidal or conical tool, there are two or up to four vertex points that can be used. Therefore, if the points at two or four points are changed, it is necessary to replace the tool, and there is a problem that the replacement frequency becomes high. Also, in scribe with a tool, the points need to come into contact with the substrate at an appropriate angle. However, with the conventional tool, it is necessary to rotate the tool in the axial direction when changing the point, and it is not easy to adjust this contact angle with high accuracy.

そこで図1に示すように角柱状のツールの各頂点を両側面より重なり合うように研磨して傾斜面を形成し、傾斜面の交線の両側をポイントP1,P2・・・としたスクライビングツール100が考えられる。このようなスクライビングツールを用い、図1(a)に示すように稜線を先行させポイントP1を基板101に押し当ててスクライブする場合には、基板の端部を通過するようにスクライブする、いわゆる外切りで基板101にスクライブを終了した場合であっても隣接する他方のポイントP2には損傷を与えることはない。 Therefore, as shown in FIG. 1, the vertices of the prismatic tool are polished so as to overlap each other from both side surfaces to form an inclined surface, and the scribing tool 100 has points P1, P2 ... On both sides of the line of intersection of the inclined surfaces. Can be considered. When such a scribing tool is used and the ridge line is preceded and the point P1 is pressed against the substrate 101 to scribe as shown in FIG. 1A, the scribe is performed so as to pass through the edge of the substrate, so-called outside. Even when scribe to the substrate 101 is completed by cutting, the other adjacent point P2 is not damaged.

しかし図1(b)に示すように、ポイントP2を用いて稜線を後方とするように前方に傾けて外切りスクライブをする場合には、外切りを終了したときに使用していないポイントP1も基板101の面に接触し損傷する可能性があるという問題点がある。 However, as shown in FIG. 1 (b), when the point P2 is used and the ridgeline is tilted forward so as to be backward and the scribe is performed, the point P1 that is not used when the outer cut is completed is also included. There is a problem that the surface of the substrate 101 may come into contact with the surface and be damaged.

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブに使用しているポイントが摩耗しても容易にポイント位置を変更して交換頻度を少なくすることができ、スクライブを外切りで終了した場合もツールの隣接する他のポイントに損傷を与えることのないダイヤモンドツール及びその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and even if the point used for the scribe is worn, the point position can be easily changed to reduce the replacement frequency, and the scribe is removed. It is an object of the present invention to provide a diamond tool and a method for manufacturing the diamond tool, which does not damage other points adjacent to the tool even when finished by cutting.

この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、2つの側面と複数の外周面を有するベースと、少なくとも前記ベースの第1の外周面と隣接する第2の外周面との間に設けられた、互いに隣接する第1,第2の天面と、前記第1の天面と、前記ベースの一側面と、前記第1の外周面に挟まれるように設けられた第1の傾斜面と、前記第2の天面と、前記ベースの一側面と、前記第2の外周面に挟まれるように設けられた第2の傾斜面と、前記第1の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第1の外周面に挟まれるように設けられた第3の傾斜面と、前記第2の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第2の外周面に挟まれるように設けられた第4の傾斜面と、前記第1,第3の傾斜面の交線である第1の稜線と、前記第2,第4の傾斜面の交線である第2の稜線と、を有し、前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、前記第1の天面と第1の稜線、及び第2の天面と第2の稜線で形成される点をポイントとするものである。 In order to solve this problem, the multipoint diamond tool of the present invention is a prism having a predetermined thickness, a base having two side surfaces and a plurality of outer peripheral surfaces, and at least the first outer peripheral surface of the base. The first and second top surfaces adjacent to each other , the first top surface, one side surface of the base, and the first outer circumference provided between the surface and the adjacent second outer peripheral surface. A first inclined surface provided so as to be sandwiched between the surfaces, the second top surface, one side surface of the base, and a second inclined surface provided so as to be sandwiched between the second outer peripheral surfaces. If the the first top surface, and other aspects of the base, and a third inclined surface provided so as to be sandwiched between the first outer peripheral surface of said second top surface, said base A fourth inclined surface provided so as to be sandwiched between the other side surface and the second outer peripheral surface , a first ridge line which is an intersection of the first and third inclined surfaces, and the second It has a second ridge line which is a line of intersection of the fourth inclined surfaces, and at least the outer peripheral surface of the base is formed of diamond, and the first top surface, the first ridge line, and the second The point is the point formed by the top surface and the second ridgeline.

上記のマルチポイントダイヤモンドツールは、少なくとも第1の外周面について隣り合う第2の外周面との間に第1の天面を形成し、前記第2の外周面について前記第1の天面との間に第2の天面を形成し、前記第1の外周面及び前記第1の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第1の傾斜面を形成し、前記第2の外周面及び前記第2の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第2の傾斜面を形成し、前記第1の外周面及び前記第1の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第3の傾斜面を形成し、前記第2の外周面及び前記第2の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第4の傾斜面を形成することにより製造するものである。 The multipoint diamond tool forms a first top surface between a second outer peripheral surface adjacent to the first outer peripheral surface at least, and the second outer peripheral surface with the first top surface. A second top surface is formed between them, and the area between the first outer peripheral surface and the first top surface is polished toward one side surface to form a first inclined surface, and the second top surface is formed. The outer peripheral surface and the second top surface are polished toward one side surface to form a second inclined surface, and the other is between the first outer peripheral surface and the first top surface. Polishing toward the side surface to form a third inclined surface, and polishing between the second outer peripheral surface and the second top surface toward the other side surface to form a fourth inclined surface. It is manufactured by.

この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、2つの側面と複数の外周面を有するベースと、前記ベースの少なくとも第1の外周面と隣接する第2の外周面との間に設けられた第1,第2の天面と、前記第1,第2の天面と、前記ベースの一側面と、前記第1,第2の外周面に挟まれるように設けられた第1,第2の傾斜面と、前記第1,第2の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第1,第2の外周面に挟まれるように設けられた第3,第4の傾斜面と、前記第1,第3の傾斜面の交線である第1の稜線と、前記第2,第4の傾斜面の交線である第2の稜線と、前記第1,第2の傾斜面と第1,第2の天面の間に設けられた第5の傾斜面と、前記第3,第4の傾斜面と第1,第2の天面の間に設けられた第6の傾斜面と、を有し、前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、前記第1の天面と第1の稜線、及び第2の天面と第2の稜線で形成される点をポイントとするものである。 In order to solve this problem, the multipoint diamond tool of the present invention is a prism having a predetermined thickness, a base having two side surfaces and a plurality of outer peripheral surfaces, and at least the first outer peripheral surface of the base. The first and second top surfaces provided between the surface and the adjacent second outer peripheral surface, the first and second top surfaces, one side surface of the base, and the first and second top surfaces. On the first and second inclined surfaces provided so as to be sandwiched between the outer peripheral surfaces of the above, the first and second top surfaces, the other side surfaces of the base, and the first and second outer peripheral surfaces. At the intersection of the third and fourth inclined surfaces provided so as to be sandwiched, the first ridge line which is the intersection of the first and third inclined surfaces, and the intersection of the second and fourth inclined surfaces. A second ridge line, a fifth inclined surface provided between the first and second inclined surfaces and the first and second top surfaces, and the third and fourth inclined surfaces and the first , A sixth inclined surface provided between the second top surfaces, at least the outer peripheral surface of the base is formed of diamond, the first top surface and the first ridge line, and The point is the point formed by the second top surface and the second ridge line.

上記のマルチポイントダイヤモンドツールは、前記ベースの厚みの一方の1/2以内の範囲で隣接する第1,第2の外周面と一方の側面との間に、前記第1,第2の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第5の傾斜面を形成し、前記ベースの厚みの他方の1/2以内の範囲で前記第1,第2の外周面と他方の側面との間に、前記第1,第2の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第6の傾斜面を形成し、少なくとも前記第1の外周面について前記第2の外周面、前記第5の傾斜面および前記第6の傾斜面との間に第1の天面を形成し、前記第2の外周面について前記第1の天面、前記第5の傾斜面および前記第6の傾斜面との間に第2の天面を形成し、前記第1の外周面、前記第1の天面及び前記第5の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第1の傾斜面を形成し、前記第2の外周面、前記第2の天面及び前記第5の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第2の傾斜面を形成し、前記第1の外周面、前記第1の天面及び前記第6の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第3の傾斜面を形成し、前記第2の外周面、前記第2の天面及び前記第6の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第4の傾斜面を形成することにより製造するものである。 In the multipoint diamond tool, the first and second outer peripheral surfaces are located between the adjacent first and second outer peripheral surfaces and one side surface within a range of one half of the thickness of the base. A fifth inclined surface is formed by polishing toward the intersecting ridgeline of the base, and between the first and second outer peripheral surfaces and the other side surface within the range of the other 1/2 of the thickness of the base. , The first and second outer peripheral surfaces are polished toward the intersecting ridges to form a sixth inclined surface, and at least the first outer peripheral surface is the second outer peripheral surface and the fifth inclined surface. A first top surface is formed between the top surface and the sixth inclined surface, and the second outer peripheral surface is between the first top surface, the fifth inclined surface, and the sixth inclined surface. A second top surface is formed on the surface, and the area between the first outer peripheral surface, the first top surface, and the fifth inclined surface is polished toward one side surface to form a first inclined surface. Then, the second outer peripheral surface, the second top surface, and the fifth inclined surface are polished toward one side surface to form a second inclined surface, and the first outer peripheral surface is formed. The first top surface and the sixth inclined surface are polished toward the other side surface to form a third inclined surface, and the second outer peripheral surface, the second top surface and the second inclined surface are formed. It is manufactured by polishing the surface with the sixth inclined surface toward the other side surface to form the fourth inclined surface.

このような特徴を有する本発明によれば、ダイヤモンドツールの側面の両側にポイントを設けることができる。従って1つのポイントが摩耗しても別の新たなポイントを使用することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができるという効果が得られる。又天面を先とし、稜線を後となるようにダイヤモンドツールを走行させてスクライブし、スクライブを外切りで終了した場合であっても、ダイヤモンドツールの他のポイントに損傷を与えることがないという効果が得られる。 According to the present invention having such a feature, points can be provided on both sides of the side surface of the diamond tool. Therefore, even if one point is worn, another new point can be used, and the effect that the frequency of replacement of the diamond tool can be reduced can be obtained. Also, even if the diamond tool is run and scribed with the top surface first and the ridgeline behind, and the scribe is finished with an outer cut, other points of the diamond tool will not be damaged. The effect is obtained.

図1は角柱状で幅方向に2つのポイントを持つダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing a scribe using a diamond tool that is prismatic and has two points in the width direction. 図2は本発明の第1の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの製造過程を示す側面図及び正面図である。FIG. 2 is a side view and a front view showing a manufacturing process of the multipoint diamond tool according to the first embodiment of the present invention. 図3は本発明の第1の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。FIG. 3 is a side view and a front view of the multipoint diamond tool according to the first embodiment of the present invention. 図4は第1の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing a scribe using the multipoint diamond tool according to the first embodiment. 図5は本発明の第2の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの製造過程を示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing a manufacturing process of the multipoint diamond tool according to the second embodiment of the present invention. 図6は本発明の第2の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。FIG. 6 is a side view and a front view of the multipoint diamond tool according to the second embodiment of the present invention. 図7は本発明の第3の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの平面図、側面図及び正面図である。FIG. 7 is a plan view, a side view, and a front view of the multipoint diamond tool according to the third embodiment of the present invention.

次に本発明の第1の実施の形態について説明する。図2は本実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツール(以下、単にダイヤモンドツールという)10の製造過程を示す側面図及び正面図、図3は加工を終えたダイヤモンドツール10の側面図及び正面図である。このダイヤモンドツール10は一定の厚さで任意の数の辺から成る多角形の角柱をベース11とする。この実施の形態では、一定厚さの正四角形のベース11を単結晶ダイヤモンドにより構成している。ベース11は厚さ方向に垂直な軸(図2(a)については紙面に垂直な軸)に平行な四方の外周面13a〜13dと、軸に垂直な側面14a,14bを有している。 Next, the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a side view and a front view showing a manufacturing process of the multipoint diamond tool (hereinafter, simply referred to as a diamond tool) 10 according to the present embodiment, and FIG. 3 is a side view and a front view of the processed diamond tool 10. .. The diamond tool 10 is based on a polygonal prism having a certain thickness and consisting of an arbitrary number of sides. In this embodiment, a regular quadrangular base 11 having a constant thickness is made of single crystal diamond. The base 11 has four outer peripheral surfaces 13a to 13d parallel to an axis perpendicular to the thickness direction (an axis perpendicular to the paper surface in FIG. 2A), and side surfaces 14a and 14b perpendicular to the axis.

さて本実施の形態では、ベース11に対して図2(b)に示すように1つの外周面13aについて外周面13aより隣接する外周面13bに向けて研磨してベースの角部に第1の天面15aを形成する。続いて、外周面13bより隣接する外周面13aに形成された第1の天面15aに向けて研磨して第2の天面15bを形成する。第1の天面15a、第2の天面15bは外周面13a,13bに挟まれた角部に隣接して形成される。同様にして外周面13bより隣接する外周面13cに向けて研磨して第1の天面15cを形成し、外周面13cより外周面13bに形成された隣接する第1の天面15cに向けて研磨して、第2の天面15dを形成する。図2(b)に示されていないが、同様にして外周面13cから隣接する外周面13dに向けて研磨して第1の天面15eを形成し、外周面13dより外周面13bに形成された隣接する第1の天面15eに向けて研磨して、第2の天面15fを形成する。同様に外周面13dと外周面13aとの間についても天面15g,15hを形成する。これにより、四角柱の各外周面に挟まれた各角部に、互いに隣接する第1,第2の天面が形成される。 In the present embodiment, as shown in FIG. 2B, one outer peripheral surface 13a is polished toward the outer peripheral surface 13b adjacent to the outer peripheral surface 13a with respect to the base 11, and the first outer peripheral surface 13a is formed on the corner portion of the base. The top surface 15a is formed. Subsequently, the second top surface 15b is formed by polishing toward the first top surface 15a formed on the outer peripheral surface 13a adjacent to the outer peripheral surface 13b. The first top surface 15a and the second top surface 15b are formed adjacent to the corners sandwiched between the outer peripheral surfaces 13a and 13b. Similarly, the outer peripheral surface 13b is polished toward the adjacent outer peripheral surface 13c to form the first top surface 15c, and the outer peripheral surface 13c is directed toward the adjacent first top surface 15c formed on the outer peripheral surface 13b. Polish to form a second top surface 15d. Although not shown in FIG. 2B, in the same manner, polishing is performed from the outer peripheral surface 13c toward the adjacent outer peripheral surface 13d to form the first top surface 15e, which is formed on the outer peripheral surface 13b from the outer peripheral surface 13d. Polishing toward the adjacent first top surface 15e forms the second top surface 15f. Similarly, top surfaces 15g and 15h are formed between the outer peripheral surface 13d and the outer peripheral surface 13a. As a result, first and second top surfaces adjacent to each other are formed at each corner portion sandwiched between the outer peripheral surfaces of the square pillar.

次に図3(a)に示すように外周面13aと天面15aとの間を側面14aに向けて研磨して第1の傾斜面16aを形成する。同様に外周面13bと天面15bとの間を側面14aに向けて研磨して第2の傾斜面16bを形成する。他方の側面14bについても、外周面13aと天面15aの間、外周面13bと天面15bとの間を、側面14bに向けて研磨して第3,第4の傾斜面17a,17bを形成する。このとき第1,第3の傾斜面16aと17aは互いに交わるように研磨し、第2,第4の傾斜面16bと17bは互いに交わるように研磨する。こうすれば外周面13aについて傾斜面16aと17aが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは図3(b)に示すように中央位置に、側面に対して平行な第1の稜線18aが形成される。同様にして傾斜面16bと17bが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、側面に対して平行な第2の稜線18bが形成されることとなる。これにより、外周面13a、外周面13bに挟まれる角部には、第1,第3の傾斜面16aと17aにより形成される第1の稜線18aと、天面15aからなるポイントP1が形成される。同様に、第2,第4の傾斜面16bと17bにより形成される第2の稜線18bと、天面15bからなるポイントP2が形成される。 Next, as shown in FIG. 3A, the area between the outer peripheral surface 13a and the top surface 15a is polished toward the side surface 14a to form the first inclined surface 16a. Similarly, the space between the outer peripheral surface 13b and the top surface 15b is polished toward the side surface 14a to form the second inclined surface 16b. Regarding the other side surface 14b, the space between the outer peripheral surface 13a and the top surface 15a and the space between the outer peripheral surface 13b and the top surface 15b are polished toward the side surface 14b to form the third and fourth inclined surfaces 17a and 17b. To do. At this time, the first and third inclined surfaces 16a and 17a are polished so as to intersect each other, and the second and fourth inclined surfaces 16b and 17b are polished so as to intersect each other. In this way, the inclined surfaces 16a and 17a intersect with respect to the outer peripheral surface 13a, and the first ridge line 18a parallel to the side surface is located in the middle of the thickness direction of the base 11, preferably at the center position as shown in FIG. 3 (b). Is formed. Similarly, the inclined surfaces 16b and 17b intersect to form a second ridge line 18b parallel to the side surface in the middle, preferably at the center position, in the thickness direction of the base 11. As a result, at the corners sandwiched between the outer peripheral surface 13a and the outer peripheral surface 13b, a first ridge line 18a formed by the first and third inclined surfaces 16a and 17a and a point P1 composed of the top surface 15a are formed. To. Similarly, a second ridge line 18b formed by the second and fourth inclined surfaces 16b and 17b and a point P2 composed of a top surface 15b are formed.

次に外周面13b、外周面13cと天面15c,15dとの間を側面14aから研磨して第1,第2の傾斜面16c,16dを形成する。又他方の側面14bからも外周面13b、外周面13cと天面15c,15dとの間を研磨して第3,第4の傾斜面17c,17dを形成する。このとき傾斜面16cと17cは互いに交わるように研磨し、傾斜面16dと17dは互いに交わるように研磨する。こうすれば外周面13bについて、第1,第3の傾斜面16cと17cが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは図3(b)に示すように中央位置に、側面に対して平行な第1の稜線18cが形成される。同様にして第2,第4の傾斜面16dと17dが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、側面に対して平行な第2の稜線18dが形成されることとなる。 Next, the outer peripheral surface 13b and the space between the outer peripheral surface 13c and the top surfaces 15c and 15d are polished from the side surface 14a to form the first and second inclined surfaces 16c and 16d. Further, from the other side surface 14b, the outer peripheral surface 13b, the outer peripheral surface 13c and the top surface 15c, 15d are polished to form the third and fourth inclined surfaces 17c, 17d. At this time, the inclined surfaces 16c and 17c are polished so as to intersect each other, and the inclined surfaces 16d and 17d are polished so as to intersect each other. In this way, with respect to the outer peripheral surface 13b, the first and third inclined surfaces 16c and 17c intersect and are intermediate in the thickness direction of the base 11, preferably at the center position as shown in FIG. 3B, with respect to the side surface. A parallel first ridge 18c is formed. Similarly, the second and fourth inclined surfaces 16d and 17d intersect to form a second ridge line 18d parallel to the side surface in the middle, preferably at the center position, in the thickness direction of the base 11. ..

同様に外周面13c、外周面13dと天面15e,15fとの間を側面14aより研磨して第1,第2の傾斜面16e,16fを形成する。外周面13c、外周面13dと天面15e,15fとの間を側面14bから研磨して第3,第4の傾斜面17e,17fを形成する。この場合も傾斜面16eと17eは互いに交わるように研磨し、傾斜面16fと17fは互いに交わるように研磨する。こうすれば外周面13cについて、第1,第3の傾斜面16eと17eが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第1の稜線18eが形成される。同様にして第2,第4の傾斜面16fと17fが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第2の稜線18fが形成されることとなる。 Similarly, the outer peripheral surfaces 13c and the outer peripheral surfaces 13d and the top surfaces 15e and 15f are polished from the side surfaces 14a to form the first and second inclined surfaces 16e and 16f. The outer peripheral surface 13c, the outer peripheral surface 13d and the top surfaces 15e and 15f are polished from the side surface 14b to form the third and fourth inclined surfaces 17e and 17f. Also in this case, the inclined surfaces 16e and 17e are polished so as to intersect each other, and the inclined surfaces 16f and 17f are polished so as to intersect each other. In this way, with respect to the outer peripheral surface 13c, the first ridge line 18e is formed at the intersection of the first and third inclined surfaces 16e and 17e and at the middle, preferably the center position, in the thickness direction of the base 11. Similarly, the second and fourth inclined surfaces 16f and 17f intersect to form the second ridge line 18f in the middle, preferably at the center position, in the thickness direction of the base 11.

同様に外周面13d、外周面13aと天面15g,15hとの間を側面14aより研磨して第1,第2の傾斜面16g,16hを形成し、側面14bより研磨して第3,第4の傾斜面17g,17hを形成する。この場合も傾斜面16gと17g、16hと17hが互いに交わるように研磨する。同様にして外周面13dについても第1,第3の傾斜面16gと17gが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第1の稜線18gが形成される。同様にして第2,第4の傾斜面16hと17hが交わってベース11の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第2の稜線18hが形成されることとなる。 Similarly, the outer peripheral surface 13d, the space between the outer peripheral surface 13a and the top surface 15g, 15h is polished from the side surface 14a to form the first and second inclined surfaces 16g, 16h, and the first and second inclined surfaces 16g, 16h are polished from the side surface 14b to form the third and third surfaces. The inclined surfaces 17g and 17h of No. 4 are formed. Also in this case, polishing is performed so that the inclined surfaces 16g and 17g and 16h and 17h intersect with each other. Similarly, with respect to the outer peripheral surface 13d, the first ridge line 18 g is formed at the middle, preferably at the center position, in the thickness direction of the base 11 at the intersection of the first and third inclined surfaces 16 g and 17 g. Similarly, the second ridge line 18h is formed at the intersection of the second and fourth inclined surfaces 16h and 17h in the middle, preferably at the center position, in the thickness direction of the base 11.

このように外周面と天面との間を両側面14a,14bからそれぞれ研磨して一対の傾斜面と稜線18a〜18hを形成する。こうすれば外周面13aと外周面13bに挟まれる角部において、天面15aと稜線18aで形成される交点がポイントP1となり、天面15bと稜線18bの交点がポイントP2となる。外周面13bと外周面13cの間の角部においても、天面15cと稜線18cで形成される交点がポイントP3となり、天面15dと稜線18dの交点がポイントP4となる。他の外周面についても同様である。ここではベース11は四方に外周面を有するため、各角部毎にポイントを夫々2つ、8箇所のポイントP1〜P8を形成することができる。 In this way, the space between the outer peripheral surface and the top surface is polished from the side surfaces 14a and 14b, respectively, to form a pair of inclined surfaces and ridge lines 18a to 18h. In this way, at the corner portion sandwiched between the outer peripheral surface 13a and the outer peripheral surface 13b, the intersection formed by the top surface 15a and the ridge line 18a becomes the point P1, and the intersection of the top surface 15b and the ridge line 18b becomes the point P2. Also at the corner between the outer peripheral surface 13b and the outer peripheral surface 13c, the intersection formed by the top surface 15c and the ridge line 18c is the point P3, and the intersection of the top surface 15d and the ridge line 18d is the point P4. The same applies to the other outer peripheral surfaces. Here, since the base 11 has outer peripheral surfaces on all sides, it is possible to form eight points P1 to P8 with two points for each corner.

このような傾斜面はレーザ加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、稜線を形成する部分をより精密な研磨面としてもよい。 Such an inclined surface can be easily formed by laser processing. Further, after the laser processing, further mechanical polishing may be performed to make the portion forming the ridge line a more precise polished surface.

次にこの実施の形態のダイヤモンドツール10を用いてスクライブする場合について、図4を用いて説明する。基板30をスクライブする際には、図4(a)に示すように稜線と基板30に対するダイヤモンドツール10の角度が垂直から反時計方向となり、且つ紙面に垂直な方向からダイヤモンドツール10を少し傾け、1つのポイントP1を基板30に対して接するように固定してダイヤモンドツール10を図示の矢印A方向に移動させ、スクライブを行う。このときポイントP1の天面15aが進行方向前方となり、稜線18aが後方となるようにスクライブを行う。このスクライブの間にダイヤモンドツール10は転動させないので、同じポイントP1でスクライブすることとなる。そして基板30の端部までダイヤモンドツールを走行させて外切りでスクライブを終了しても、同じ角部に形成された他のポイントP2は先行しているため、ダイヤモンドツール10が基板30の位置から図示のように離れても他のポイントP2を損傷することはない。 Next, a case of scribe using the diamond tool 10 of this embodiment will be described with reference to FIG. When scribing the substrate 30, as shown in FIG. 4A, the angle between the ridgeline and the diamond tool 10 with respect to the substrate 30 is from vertical to counterclockwise, and the diamond tool 10 is slightly tilted from the direction perpendicular to the paper surface. One point P1 is fixed so as to be in contact with the substrate 30, and the diamond tool 10 is moved in the direction of arrow A in the figure to perform scribing. At this time, scribe is performed so that the top surface 15a of the point P1 is in the front in the traveling direction and the ridge line 18a is in the rear. Since the diamond tool 10 does not roll during this scribe, it will scribe at the same point P1. Then, even if the diamond tool is run to the end of the substrate 30 and the scribe is finished by cutting outside, the other points P2 formed at the same corners are ahead, so that the diamond tool 10 is moved from the position of the substrate 30. The other point P2 is not damaged even if it is separated as shown in the figure.

天面を先行させて稜線は後となるようにスクライブを行う場合には、スクライブ荷重など種々の条件を広い範囲でとることができ有効である。又基板に垂直クラックを伴わないスクライブラインを形成する場合に、外切りでスクライブを終了させることで基板の端部を基点にスクライブライン直下にクラックを発生させるなどの効果を得ることもできる。本実施の形態によればこの場合にも他のポイントに損傷を与えることなく外切りが実行できる。 When scribe is performed so that the top surface is ahead and the ridgeline is behind, various conditions such as scribe load can be taken in a wide range, which is effective. Further, when forming a scribe line without vertical cracks on the substrate, it is possible to obtain an effect such as generating a crack directly under the scribe line with the edge of the substrate as a base point by terminating the scribe with an outer cut. According to the present embodiment, the outer cutting can be performed in this case as well without damaging other points.

ここでは図4(a)に示すように天面を先行させ稜線を後となるようにスクライブしているが、図4(b)に示すようにダイヤモンドツール10を逆方向に傾け、ポイントP2を用いてスクライブしてよいことはいうまでもない。この場合にはポイントP1が損傷する可能性があるので、外切りでスクライブを終了させないようにする。 Here, as shown in FIG. 4A, the top surface is preceded and the ridgeline is scribed later. However, as shown in FIG. 4B, the diamond tool 10 is tilted in the opposite direction to set the point P2. It goes without saying that you can use it to scribe. In this case, the point P1 may be damaged, so do not end the scribe by cutting outside.

基板30に接しているポイントP1が摩耗により劣化した場合には、ダイヤモンドツール10を90°回転させ、ポイントP3を基板30に接触させて同様にしてスクライブを行う。この場合も天面15cが進行方向となり、稜線18cが後方となるようにスクライブを行う場合に、外切りでスクライブを終了してもポイントP6を損傷することがない。又ダイヤモンドツール10を90°回転させても、刃先の稜線が基板に接触する角度は変わらないため、ポイント交換時の基板に対する接触角度を設定することが容易である。 When the point P1 in contact with the substrate 30 deteriorates due to wear, the diamond tool 10 is rotated by 90 °, the point P3 is brought into contact with the substrate 30, and scribe is performed in the same manner. In this case as well, when the scribe is performed so that the top surface 15c is the traveling direction and the ridge line 18c is the rear side, the point P6 is not damaged even if the scribe is finished by the outer cutting. Further, even if the diamond tool 10 is rotated by 90 °, the angle at which the ridgeline of the cutting edge contacts the substrate does not change, so that it is easy to set the contact angle with respect to the substrate at the time of point exchange.

又ポイントP1,P3,P5,P7の4箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール10を反転させ、稜線と脆性材料基板との所定の角度となるよう再度固定して他方の側面のポイントP2,P4,P6,P8を順次接触させてスクライブを行う。こうすれば更に4回ポイント位置を変化させてスクライブを行うことができ、合計8回ポイントを交換してスクライブを行うことができる。 When all four points P1, P3, P5, and P7 are worn, the diamond tool 10 is inverted and fixed again so that the ridge line and the brittle material substrate are at a predetermined angle, and points P2 on the other side surface. Scribing is performed by sequentially contacting P4, P6, and P8. In this way, the point position can be changed four more times to perform scribe, and points can be exchanged a total of eight times to perform scribe.

次に本発明の第2の実施の形態によるダイヤモンドツール40について説明する。図5はこの実施の形態の製造過程を示す正面図、図6はダイヤモンドツール40の側面図及び正面図であり、第1の実施の形態と同一部分は同一符号を付している。この第2の実施の形態では、まず図5(a)に示すように側面14aから外周面13a,13bの交差する稜線に向けて研磨してベースの厚さ1/2以内の範囲で第5の傾斜面41aを形成する。次にこれと対称に側面14bから外周面13a,13bの交差する稜線に向けてベースの厚さの1/2以内の範囲で第6の傾斜面42aを形成する。次に側面14aから外周面13b,13cの交差する稜線に向けて研磨してベースの厚さ1/2以内の範囲で第5の傾斜面41bを形成する。次にこれと対称に側面14bから外周面13b,13cの交差する稜線に向けてベースの厚さの1/2以内の範囲で第6の傾斜面42bを形成する。又側面14aから外周面13c,13dの交差する稜線に向けて研磨してベースの厚さ1/2以内の範囲で第5の傾斜面41cを形成する。次にこれと対称に側面14bから外周面13c,13dに向けてベースの厚さの1/2以内の範囲で第6の傾斜面42cを形成する。更に側面14aから外周面13d,13aに向けて研磨してベースの厚さ1/2以内の範囲で第5の傾斜面41dを形成する。次にこれと対称に側面14bから外周面13d,13aに向けてベースの厚さの1/2以内の範囲で第6の傾斜面42dを形成する。 Next, the diamond tool 40 according to the second embodiment of the present invention will be described. 5 is a front view showing the manufacturing process of this embodiment, FIG. 6 is a side view and a front view of the diamond tool 40, and the same parts as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals. In this second embodiment, first, as shown in FIG. 5A, polishing is performed from the side surface 14a toward the intersecting ridges of the outer peripheral surfaces 13a and 13b, and the thickness of the base is within 1/2 of the thickness of the base. The inclined surface 41a of the above is formed. Next, symmetrically with this, a sixth inclined surface 42a is formed within a range within 1/2 of the thickness of the base from the side surface 14b toward the intersecting ridge line of the outer peripheral surfaces 13a and 13b. Next, polishing is performed from the side surface 14a toward the intersecting ridges of the outer peripheral surfaces 13b and 13c to form a fifth inclined surface 41b within a range of the thickness of the base within 1/2. Next, symmetrically with this, a sixth inclined surface 42b is formed within a range within 1/2 of the thickness of the base from the side surface 14b toward the intersecting ridge line of the outer peripheral surfaces 13b and 13c. Further, the fifth inclined surface 41c is formed within a range of the thickness of the base within 1/2 by polishing from the side surface 14a toward the intersecting ridges of the outer peripheral surfaces 13c and 13d. Next, symmetrically with this, the sixth inclined surface 42c is formed within a range within 1/2 of the thickness of the base from the side surface 14b toward the outer peripheral surfaces 13c and 13d. Further, polishing is performed from the side surface 14a toward the outer peripheral surfaces 13d and 13a to form a fifth inclined surface 41d within a range of the thickness of the base within 1/2. Next, symmetrically with this, the sixth inclined surface 42d is formed within a range within 1/2 of the thickness of the base from the side surface 14b toward the outer peripheral surfaces 13d and 13a.

次いで前述した第1の実施の形態と同じく図5(b)に示すように、1つの外周面13aから隣接する外周面13bに向けて第1の天面15aを形成する。続いて、前述した第1の実施の形態と同様に天面15b〜15hを形成する。次に図6(b)に示すように外周面13aと天面15a、第5の傾斜面41aとの間を側面14aに向けて研磨して第1の傾斜面16aを形成する。続いて外周面13aと天面15a、第6の傾斜面42aとの間を側面14bに向けて研磨して第2の傾斜面17aを形成し、第1の傾斜面16aと第2の傾斜面17aとの交線を稜線18aとする。他の天面15b〜15hについても同様に、第1の傾斜面16b〜16h、第2の傾斜面17b〜16h、稜線18b〜18hを形成する。 Next, as shown in FIG. 5B as in the first embodiment described above, the first top surface 15a is formed from one outer peripheral surface 13a toward the adjacent outer peripheral surface 13b. Subsequently, the top surfaces 15b to 15h are formed in the same manner as in the first embodiment described above. Next, as shown in FIG. 6B, the outer peripheral surface 13a, the top surface 15a, and the fifth inclined surface 41a are polished toward the side surface 14a to form the first inclined surface 16a. Subsequently, the outer peripheral surface 13a, the top surface 15a, and the sixth inclined surface 42a are polished toward the side surface 14b to form the second inclined surface 17a, and the first inclined surface 16a and the second inclined surface are formed. The line of intersection with 17a is the ridge line 18a. Similarly, for the other top surfaces 15b to 15h, the first inclined surface 16b to 16h, the second inclined surface 17b to 16h, and the ridge line 18b to 18h are formed.

こうすれば各天面15a〜15hは第1の実施の形態と比較して小さな面積の五角形となる。天面は精密に加工することが必要であるため、面積が小さいほど天面の研磨時間、研磨量を少なくすることができ、ダイヤモンドツール40の製造工程を合理化することができる。 In this way, each of the top surfaces 15a to 15h becomes a pentagon having a smaller area than that of the first embodiment. Since the top surface needs to be precisely processed, the smaller the area, the shorter the polishing time and the amount of polishing of the top surface, and the more rationalized the manufacturing process of the diamond tool 40.

ダイヤモンドツール40のポイントP1を用いてスクライブする場合も、ポイントP1が摩耗により劣化すると、ダイヤモンドツール10を90°ずつ回転させてポイントP3,P5,P7を順次用いる。4箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール10を反転させる。そして稜線と脆性材料基板がなす角度が一定となるようにポイントP2,P4,P6,P8を順次接触させ、反転後も計4回ポイント位置を変化させてスクライブを行う。このようにすると合計8回ポイントを変化させてスクライブを行うことができる。 Even when scribing using the point P1 of the diamond tool 40, if the point P1 deteriorates due to wear, the diamond tool 10 is rotated by 90 ° and the points P3, P5, and P7 are sequentially used. When all four points are worn, the diamond tool 10 is inverted. Then, the points P2, P4, P6, and P8 are sequentially brought into contact with each other so that the angle formed by the ridge line and the brittle material substrate is constant, and the point position is changed a total of four times even after inversion to perform scribe. In this way, the scribe can be performed by changing the points a total of 8 times.

次に本発明の第3の実施の形態について説明する。前述した第1,2の実施の形態では正四角形のベースを用いているが、任意の辺数の多角形をベースとしてもよい。また夫々のベースの周囲に8箇所のポイントを設けているが、少なくとも多角形の1つの角において、対向する外周面にそれぞれ1個のポイントを有するものであればよい。第3の実施の形態では、図7に示すように三角形のベース61を用いている。ベース61は軸に垂直な三方の外周面63a,63b,63cと側面64a,64bを有している。そして外周面63aに前述した第1,第2の実施の形態と同様に、第1の天面65a,第1の傾斜面66a,第3の傾斜面67aと、第1の稜線68aを形成する。又外周面63bに第2の天面65b,第2の傾斜面66b,第4の傾斜面67b,第2の稜線68bを形成する。こうすれば2つのポイントP1,P2のみを有するダイヤモンドツール60を形成することができる。 Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the first and second embodiments described above, a regular quadrangle base is used, but a polygon having any number of sides may be used as the base. Further, although eight points are provided around each base, at least one corner of the polygon may have one point on the opposite outer peripheral surfaces. In the third embodiment, a triangular base 61 is used as shown in FIG. The base 61 has three outer peripheral surfaces 63a, 63b, 63c and side surfaces 64a, 64b perpendicular to the axis. Then, the first top surface 65a, the first inclined surface 66a, the third inclined surface 67a, and the first ridge line 68a are formed on the outer peripheral surface 63a in the same manner as in the first and second embodiments described above. .. Further, a second top surface 65b, a second inclined surface 66b, a fourth inclined surface 67b, and a second ridge line 68b are formed on the outer peripheral surface 63b. In this way, the diamond tool 60 having only two points P1 and P2 can be formed.

前述した第1,第2の実施の形態では周囲に8箇所のポイントを設けているが、必ずしも全ての角に傾斜面とポイントを設ける必要はない。しかし隣接するポイントが互いに干渉しない範囲で外周部にはなるべく多くのポイントを設けておくことが好ましい。これにより各ポイントが摩耗したときダイヤモンドツールを回転させるだけでポイントを交換することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができる。また、ベースの形状は三角形や四角形に限られず、六角形や八角形など任意の多角形とすることができる。 In the first and second embodiments described above, eight points are provided around the periphery, but it is not always necessary to provide inclined surfaces and points at all corners. However, it is preferable to provide as many points as possible on the outer peripheral portion within a range where adjacent points do not interfere with each other. As a result, when each point is worn, the points can be exchanged simply by rotating the diamond tool, and the frequency of exchanging the diamond tool can be reduced. Further, the shape of the base is not limited to a triangle or a quadrangle, and can be any polygon such as a hexagon or an octagon.

又前述した実施の形態ではベース全体を単結晶ダイヤモンドで構成しているが、脆性材料基板と接触する表面部分がダイヤモンドであれば足りるため、超硬合金や焼結ダイヤモンド製を用いて形成されたベースの外周面及び稜線の表面に多結晶ダイヤモンド層を形成し、これをさらに精密に研磨してポイントを形成してもよい。また、ボロン等の不純物をドープし、導電性を持たせた単結晶または多結晶ダイヤモンドを使用してもよい。導電性を有するダイヤモンドを用いることで、放電加工により傾斜面や貫通孔を容易に形成することができる。 Further, in the above-described embodiment, the entire base is composed of single crystal diamond, but since it is sufficient if the surface portion in contact with the brittle material substrate is diamond, it is formed by using cemented carbide or sintered diamond. A polycrystalline diamond layer may be formed on the outer peripheral surface of the base and the surface of the ridgeline, and this may be polished more precisely to form points. Further, single crystal or polycrystalline diamond which is doped with impurities such as boron and has conductivity may be used. By using a diamond having conductivity, an inclined surface and a through hole can be easily formed by electric discharge machining.

又、前述した実施の形態ではダイヤモンドツールを各ポイントにおいて天面を先行させて稜線は後となるようにスクライブすることとしているが、各ポイントの稜線を先行させ天面が後となるようにスクライブしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the diamond tool is scribed so that the top surface is preceded at each point and the ridgeline is behind, but the ridgeline of each point is preceded and the top surface is behind. You may.

本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に用いることができ、特にダイヤモンドツールの摩耗が多くなる硬度の高いスクライブ対象にも有効に使用することができる。 The multipoint diamond tool of the present invention can be used in a scribing device for scribing a brittle material substrate, and can be effectively used especially for a scribing object having a high hardness in which the diamond tool wears a lot.

10,40,60 マルチポイントダイヤモンドツール
11 ベース
13a〜13d,63a〜63c 外周面
14a,14b,64a,64b 側面
15a,15c,15e,15g,65a 第1の天面
15b,15d,15f,15h,65b 第2の天面
16a,16c,16e,16g,66a 第1の傾斜面
16b,16d,16f,16h,66b 第2の傾斜面
17a,17c,17e,17g,67a 第3の傾斜面
17b,17d,17f,17h,67b 第4の傾斜面
18a,18c,18e,18g,68a 第1の稜線
18b,18d,18f,18h,68b 第2の稜線
41a〜41d 第5の傾斜面
42a〜42d 第6の傾斜面
P1〜P8 ポイント
10, 40, 60 Multipoint diamond tool 11 base 13a to 13d, 63a to 63c Outer surface 14a, 14b, 64a, 64b Side surface 15a, 15c, 15e, 15g, 65a First top surface 15b, 15d, 15f, 15h, 65b Second top surface 16a, 16c, 16e, 16g, 66a First inclined surface 16b, 16d, 16f, 16h, 66b Second inclined surface 17a, 17c, 17e, 17g, 67a Third inclined surface 17b, 17d, 17f, 17h, 67b Fourth inclined surface 18a, 18c, 18e, 18g, 68a First ridge line 18b, 18d, 18f, 18h, 68b Second ridge line 41a to 41d Fifth inclined surface 42a to 42d Inclined surface of 6 P1 to P8 points

Claims (4)

所定の厚さを有する角柱状であって、2つの側面と複数の外周面を有するベースと、
少なくとも前記ベースの第1の外周面と隣接する第2の外周面との間に設けられた、互いに隣接する第1,第2の天面と、
前記第1の天面と、前記ベースの一側面と、前記第1の外周面に挟まれるように設けられた第1の傾斜面と、
前記第2の天面と、前記ベースの一側面と、前記第2の外周面に挟まれるように設けられた第2の傾斜面と、
前記第1の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第1の外周面に挟まれるように設けられた第の傾斜面と、
前記第2の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第2の外周面に挟まれるように設けられた第4の傾斜面と、
前記第1,第3の傾斜面の交線である第1の稜線と、
前記第2,第4の傾斜面の交線である第2の稜線と、を有し、
前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、
前記第1の天面と第1の稜線、及び第2の天面と第2の稜線で形成される点をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。
A base that is prismatic with a predetermined thickness and has two side surfaces and a plurality of outer peripheral surfaces.
At least the first and second top surfaces adjacent to each other provided between the first outer peripheral surface and the adjacent second outer peripheral surface of the base , and
Said first top surface, and one side of the base, a first inclined surface provided so as to be sandwiched between the first outer peripheral surface of
A second top surface, one side surface of the base, and a second inclined surface provided so as to be sandwiched between the second outer peripheral surface.
A first top surface, another side surface of the base, and a third inclined surface provided so as to be sandwiched between the first outer peripheral surface.
A fourth inclined surface provided so as to be sandwiched between the second top surface, the other side surface of the base, and the second outer peripheral surface.
The first ridge line, which is the line of intersection of the first and third inclined surfaces,
It has a second ridge line, which is a line of intersection of the second and fourth inclined surfaces.
At least the outer peripheral surface of the base is made of diamond.
A multi-point diamond tool whose points are points formed by the first top surface and the first ridge line, and the second top surface and the second ridge line.
所定の厚さを有する角柱状であって、2つの側面と複数の外周面を有するベースと、
前記ベースの少なくとも第1の外周面と隣接する第2の外周面との間に設けられた第1,第2の天面と、
前記第1,第2の天面と、前記ベースの一側面と、前記第1,第2の外周面に挟まれるように設けられた第1,第2の傾斜面と、
前記第1,第2の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第1,第2の外周面に挟まれるように設けられた第3,第4の傾斜面と、
前記第1,第3の傾斜面の交線である第1の稜線と、
前記第2,第4の傾斜面の交線である第2の稜線と、
前記第1,第2の傾斜面と第1,第2の天面の間に設けられた第5の傾斜面と、
前記第3,第4の傾斜面と第1,第2の天面の間に設けられた第6の傾斜面と、を有し、
前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、
前記第1の天面と第1の稜線、及び第2の天面と第2の稜線で形成される点をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。
A base that is prismatic with a predetermined thickness and has two side surfaces and a plurality of outer peripheral surfaces.
The first and second top surfaces provided between at least the first outer peripheral surface of the base and the adjacent second outer peripheral surface, and
The first and second top surfaces, one side surface of the base, and the first and second inclined surfaces provided so as to be sandwiched between the first and second outer peripheral surfaces.
The first and second top surfaces, the other side surfaces of the base, and the third and fourth inclined surfaces provided so as to be sandwiched between the first and second outer peripheral surfaces.
The first ridge line, which is the line of intersection of the first and third inclined surfaces,
The second ridge line, which is the intersection of the second and fourth inclined surfaces,
A fifth inclined surface provided between the first and second inclined surfaces and the first and second top surfaces, and
It has a sixth inclined surface provided between the third and fourth inclined surfaces and the first and second top surfaces.
At least the outer peripheral surface of the base is made of diamond.
A multi-point diamond tool whose points are points formed by the first top surface and the first ridge line, and the second top surface and the second ridge line.
請求項1記載のマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法であって、
少なくとも第1の外周面について隣り合う第2の外周面との間に第1の天面を形成し、
前記第2の外周面について前記第1の天面との間に第2の天面を形成し、
前記第1の外周面及び前記第1の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第1の傾斜面を形成し、
前記第2の外周面及び前記第2の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第2の傾斜面を形成し、
前記第1の外周面及び前記第1の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第3の傾斜面を形成し、
前記第2の外周面及び前記第2の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第4の傾斜面を形成するマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法。
The method for manufacturing a multipoint diamond tool according to claim 1.
A first top surface is formed between the second outer peripheral surface adjacent to the first outer peripheral surface at least.
A second top surface is formed between the second outer peripheral surface and the first top surface.
The area between the first outer peripheral surface and the first top surface is polished toward one side surface to form a first inclined surface.
The area between the second outer peripheral surface and the second top surface is polished toward one side surface to form a second inclined surface.
The area between the first outer peripheral surface and the first top surface is polished toward the other side surface to form a third inclined surface.
A method for manufacturing a multipoint diamond tool for forming a fourth inclined surface by polishing between the second outer peripheral surface and the second top surface toward the other side surface.
請求項2記載のマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法であって、
前記ベースの厚みの一方の1/2以内の範囲で隣接する第1,第2の外周面と一方の側面との間に、前記第1,第2の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第5の傾斜面を形成し、
前記ベースの厚みの他方の1/2以内の範囲で前記第1,第2の外周面と他方の側面との間に、前記第1,第2の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第6の傾斜面を形成し、
少なくとも前記第1の外周面について前記第2の外周面、前記第5の傾斜面および前記第6の傾斜面との間に第1の天面を形成し、
前記第2の外周面について前記第1の天面、前記第5の傾斜面および前記第6の傾斜面との間に第2の天面を形成し、
前記第1の外周面、前記第1の天面及び前記第5の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第1の傾斜面を形成し、
前記第2の外周面、前記第2の天面及び前記第5の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第2の傾斜面を形成し、
前記第1の外周面、前記第1の天面及び前記第6の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第3の傾斜面を形成し、
前記第2の外周面、前記第2の天面と前記第6の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第4の傾斜面を形成するマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法。
The method for manufacturing a multipoint diamond tool according to claim 2.
Polishing toward the intersecting ridges of the first and second outer peripheral surfaces between the adjacent first and second outer peripheral surfaces and one side surface within one half of the thickness of the base. To form a fifth inclined surface,
Polishing toward the intersecting ridges of the first and second outer peripheral surfaces between the first and second outer peripheral surfaces and the other side surface within the other 1/2 of the thickness of the base. Form a sixth inclined surface,
A first top surface is formed between the second outer peripheral surface, the fifth inclined surface, and the sixth inclined surface at least for the first outer peripheral surface.
Regarding the second outer peripheral surface, a second top surface is formed between the first top surface, the fifth inclined surface, and the sixth inclined surface.
The first outer peripheral surface, the first top surface, and the fifth inclined surface are polished toward one side surface to form the first inclined surface.
The second outer peripheral surface, the second top surface, and the fifth inclined surface are polished toward one side surface to form a second inclined surface.
The area between the first outer peripheral surface, the first top surface, and the sixth inclined surface is polished toward the other side surface to form a third inclined surface.
A method for manufacturing a multipoint diamond tool for forming a fourth inclined surface by polishing the second outer peripheral surface, between the second top surface and the sixth inclined surface toward the other side surface.
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