KR20100127369A - 탄소나노튜브 투명전극 및 그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

접착력이 우수한 탄소나노튜브(CNT) 투명전극 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판에 탄소나노튜브를 용매에 혼합한 용액을 도포한 탄소나노튜브 박막 및 접착제 용액과 탄소나노튜브 분산용액을 혼합한 용액을 도포한 접착막을 포함하는 탄소나노튜브 투명전극이 제공된다. 이로써, 투명전극의 특성을 가지면서, 접착력이 우수한 탄소나노튜브 투명전극을 제공할 수 있다.

탄소나노튜브, CNT, 접착제, 스틸렌 부타디엔

Description

탄소나노튜브 투명전극 및 그의 제조방법{A transparent carbon nanotube electrode and preparation method thereof}

본 발명은 탄소나노튜브 투명전극 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

디스플레이 소자에서는 투명전극이 필요하고, 일반적인 디스플레이용 투명전극으로 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide, 이하 'ITO'라고 함)이 사용된다. ITO는 현재 가장 많이 쓰이고 있는 재료로 비교적 높은 투명도와 낮은 면저항을 특징으로 한다. 그러나 ITO 박막은 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation) 등과 같은 물리증착방법(Physical Vapor Deposition, 이하 'PVD'라고함)에 의해 형성되므로 박막형성의 원가가 높고, 한정적인 인듐의 공급에 따라 가격이 높아지는 문제가 있다. 또한, ITO 박막을 굽힐 경우 크랙(crack)이 발생하여 저항이 증가하므로 플렉서블한 소자에는 적용하기 어렵다.

따라서, 최근에는 ITO를 대체하는 투명전극 재료 중 하나로 탄소나노튜브(Carbon Nano-Tube, 이하 'CNT'라고 함)가 각광받고 있다. CNT는 전기 전도성과 강도가 우수하며 쉽게 휘어질 수 있는 성질을 가지고 있어, 이를 이용한 투명전극은 LCD, OLED, 터치 스크린 패널(TSP: Touch Screen Panel) 및 페이퍼 유사 디스플 레이(paper like display)와 같은 디스플레이 소자뿐 아니라 태양 전지(solar cell) 및 2차 전지와 같은 에너지 소자에도 전극 물질로서 폭넓게 응용이 가능하다.

본 발명은 CNT를 이용한 투명전극 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 접착체를 이용하여 CNT 투명전극의 기판에 대한 접착력을 향상시키고자 한다.

또한, 본 발명은 CNT 분산용액을 도포한 기판에 접착제와 CNT를 혼합한 용액을 추가 도포하여, 우수한 광 투과도 및 낮은 면저항을 가지면서 접착력이 우수한 CNT 투명전극을 제공하고자 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 CNT 투명전극은,

기판에 탄소나노튜브(CNT)를 유기용매에 분산시킨 CNT 분산용액을 도포한 CNT박막 및 상기 기판에 접착제 용액과 CNT 분산용액을 혼합한 용액을 도포한 접착막을 포함한다.

또한, 상기 접착제 용액은 접착제와 용매의 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 CNT 투명전극이 제공된다.

또한, 상기 접착제는 폴리이미드계(Polyimide), 아크릴수지계(Acrylic resin), 우레탄수지계(Polyuretheane resin), 셀룰로오스(Ethercellulose), 에폭시수지계(Epoxy resin), 염화비닐수지 용제(Polyvinyl Chloride solvent type, PVC), 실리콘계(Silicone adhesives), 스틸렌-부타디엔 고무 수지계(Styrene-butadiene rubber) 또는 이들의 유도체 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 CNT 투명전극이 제공된다.

또한, 상기 접착제와 용매의 혼합비는 1:10 내지 1:30인 것을 특징으로 하는 CNT 투명전극이 제공된다.

또한, 상기 접착제 용액과 CNT 분산용액을 혼합한 용액의 혼합비는 1:20 내지 1:30인 것을 특징으로 하는 CNT 투명전극이 제공된다.

또한, 상기 접착제 용액과 CNT 분산용액을 혼합한 용액을 도포한 접착막은 복수개 인 것을 특징으로 하는 CNT 투명전극이 제공된다.

또한, 상기 기판은 플렉서블한 것을 특징으로 하는 CNT 투명전극이 제공된다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 탄소나노튜브(CNT)를 용매에 분산시킨 CNT 분산용액을 기판 상에 도포하여 CNT 박막을 형성하는 단계; 및 ii) 상기 CNT 분산용액과 접착제 용액을 혼합한 용액을 기판 상에 도포하여 접착막을 형성하는 단계를 포함하는 CNT 투명전극의 제조방법이 제공된다.

또한, 열처리 단계를 더 포함하는 CNT 투명전극의 제조방법이 제공된다.

또한, 상기 박막을 형성하는 단계는 슬릿 코팅, 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 필트레이션 방법 및 바 코팅 방법 중 어느 하나에 의해 수행됨을 특징으로 하는 CNT 투명전극의 제조방법이 제공된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판; 탄소나노튜브(CNT)를 용매에 혼합한 용액을 도포한 CNT박막; 및 접착제 용액과 CNT 분산용액을 혼합한 용액을 도포한 접착막을 포함하는 CNT 투명전극이 제공된다. 이로써, 투명전극의 특성을 유지하면서, 접착력이 우수한 CNT 투명전극을 제공할 수 있다.

이하, 본 발명을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예들이 구현될 수 있고 단지 하기 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 동시에 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 실시를 용이하게 하고자 하는 것이다.

CNT 분산용액 및 접착제 용액의 제조

i) 단계 :

기판과, 탄소나노튜브(CNT), 유기용매, 접착제를 준비한다. 본 발명에 사용되는 재료는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특별히 제한되지 않으며, 시판되는 제품을 구입하여 사용할 수 있다. 여기서, 접착제는 사용하는 재료에 따라 폴리이미드계(Polyimide), 아크릴수지계(Acrylic resin), 우레탄수지계(Polyuretheane resin), 셀룰로오스(Ethercellulose), 에폭시수지계(Epoxy resin), 염화비닐수지 용제(Polyvinyl Chloride solvent type, PVC), 실리콘계(Silicone adhesives), 스틸렌-부타디엔 고무 수지계(Styrene-butadiene rubber) 등의 다양한 계열이 있으 며, 종류에 한정되지는 않는다. 투명전극에 사용되기 위한 투명한 성질을 띄는 재료는 폴리이미드계(Polyimide), 에폭시수지계(Epoxy resin), 스틸렌-부타디엔 고무 수지계(Styrene-butadiene rubber)등이고, 본 발명의 일 실시예에서는 스틸렌-부타디엔 고무 수지계(Styrene-butadiene rubber)를 사용하였다.

ii) 단계 :

본 발명의 일 실시예에 따른 접착력이 우수한 CNT 투명전극을 제조하기 위해서는, 먼저CNT 분산용액과 접착제 용액을 제조하여야 한다. 여기서, CNT 분산용액은 제1용매에 CNT를 일정비율 혼합한 용액으로 정의하고, 접착제 용액은 제2용매에 접착제를 일정비율 혼합한 용액으로 정의한다. 본 실시예에서는 제1용매로 벤젠용액이 사용되었고, 접착제로 스틸렌 부타디엔 고무 수지가 이용되었으며, 제2용매로는 지방족 고리모양 케톤의 하나인 시클로헥사논이 이용되었다. 스틸렌 부타디엔 고무 수지는 SBR (Stylene Butadiene Rubber)계, SBS (Stylene Butadiene Stylene)계, 또는 SIS (Stylene Isoprene Stylene)계 접착제 또는 스틸렌과 부타디엔의 공중합체를 기본 구조로 하는 접착제 일 수 있다.

CNT 분산용액 및 접착제 용액의 최적 비율 산출

CNT 분산용액의 경우, 벤젠에 CNT의 밀도가 높을수록 적은 양의 CNT분산용액으로도 원하는 특성의 투명전극을 형성할 수 있지만, CNT의 밀도가 높을 경우, 벤젠에 CNT의 분산이 잘 이루어지지 않아, 도포시 균일한 막을 형성하기 어렵다. 본 실험에서는 벤젠에 포함되는 CNT의 밀도를 0.05~1mg/l로 하였고, 이경우, 투명전극의 특성을 유지하면서 분산성을 확보할 수 있었다.

이후 접착제 용액의 최적 비율을 산출하기 위한 실험을 진행하였다. 이하에서는 접착제 용액의 용질인 스틸렌 부타디엔 고무 수지와 용매인 시클로헥사논의 비율을 1:10 미만(실험예1), 1:10 ~ 1:30 (실험예 2) 1:30이상(실험예 3)으로 하여, 접착제 용액을 기판에 스프레이(spray) 방법으로 도포하는 실험을 진행하였다. 여기서는 용액 도포방법으로 스프레이 방법이 사용되었으나, 기존에 알려진 슬릿 코팅, 스핀 코팅, 스프레이 코팅 또는 필트레이션 방법 등이 사용될 수도 있다. 각 도포방법은 공지된 것으로 상세한 설명은 생략한다.

(실험예1)

스틸렌 부타디엔 고무 수지:시클로헥사논의 비율이 1:10 미만일 경우, 용질의 양이 과하여 용액의 점도가 증가하므로, 기판 도포시 형성되는 박막은 일부에 섬(island) 형상의 과도포 영역과 주변에 미도포 영역(uncoating)을 포함한다.

섬불량에 관해서는 도 1을 참고하여 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 접착제 용액의 도포시 발생하는 섬(island)불량의 예시도이다. 도 1을 참고하면, 기판에 과도포 영역(100)과 미도포 영역(110)이 도시되어 있다. 섬불량이란 접착제 용액에 용매 대비 용질의 양이 과다하게 많은 경우 용액의 점도가 증가하여 균일한 박막이 형성되지 않고, 섬형상의 과도포 영역(100)과 주변에 미도포 영역(110)이 발생하는 불량이다. 본 실험에서 용질인 스틸렌 부타디엔 고무 수지 대비 용매인 시클로헥사논의 비율이 1:10 미만일 경우, 도1과 같은 섬불량이 발생하였다.

(실험예 2 및 실험예 3)

스틸렌 부타디엔 고무 수지:시클로 헥사논의 비율을 점점 늘려서 1:10 이상인 경우는 용액의 점도가 서서히 감소하면서 균일하게 기판에 도포가 진행되다가, 1:30의 비율을 기점으로 박막의 접착력이 저하되면서 하지막 들뜸 현상이 발생하며 박막이 기판에서 떨어져 나가는 현상이 발생하고 막의 저항이 높아진다.

따라서, 상술한 접착제 용액의 도포실험을 통하여, 용질인 스틸렌 부타디엔 고무 수지와 용제인 시클로헥사논의 최적 비율은 1:10~1:30으로 산출하였다.

접착제 용액과 CNT용액의 최적 비율 산출

이하, 투명전도막으로 사용하기 위하여, 면저항 및 투과율 측면에서 접착제 용액과 CNT 분산용액의 최적 비율을 산출하기 위한 실험을 진행하였다.

여기서 쓰인 CNT분산용액은, 용매 내에서 용질의 분산성을 해지치 않는 범위에서 결정된다. 본 실험에서는 CNT 분산용액으로 0.1mg/ml의 농도로 CNT를 희석한 벤젠용액을 사용하고, 접착제 용액으로 스틸렌 부타디엔 고무 수지와 시클로 핵사논을 1 : 10의 비율로 혼합한 용액을 사용하였다.

이하 도 2의 그래프를 참고하여, 접착제 용액과 CNT 분산용액의 최적 비율에 대해 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 접착제 용액과 CNT 분산용액의 비율에 따른 면저항과 투과율의 변화를 나타낸 그래프이다.

도 2를 살펴보면, CNT 분산용액 대비 접착제 용액의 비율이 증가할수록 투과율과 면저항이 감소하는 경향을 보이는 것을 알 수 있다. 투명한 전극으로 사용하기 위해서는 높은 투과율과 낮은 면저항이 요구된다. 따라서, 접착성질이 우수하면 서도 높은 투과율과 낮은 면저항을 가지는 최적 비율을 산출하여야 한다.

도2의 실험결과를 참고하면, CNT 분산용액 대비 접착제 용액의 비율이 5%인 경우에 면저항 340Ω/sq, 투과율 80%의 특성을 나타냄을 알 수 있다. 전극으로 사용할 경우 면저항이 낮을수록 전극 특성이 좋으나, 투과율이 80% 이하인 경우에는 투명전극으로 사용이 어려우므로, CNT 분산용액 대비 접착제 용액의 비율은 5%정도가 임계수치임을 알 수 있다.

탄소나노튜브 투명전극의 제조

본 발명의 일 실시예에 따른 접착력이 우수한 CNT 투명전극의 제조방법에 대해 설명한다.

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 CNT 투명전극의 제조방법을 나타내는 순서도이다.

도 3을 참고하면, 단계S300에서 기판을 준비하고, 단계 S310에서 준비된 기판 상에 CNT 분산용액을 도포한다. 여기서, CNT 분산용액은 유기 용매에 CNT 를 일정비율 혼합한 용액이다.

단계 S320에서 CNT 분산용액이 도포된 기판상에 접착제 용액과 CNT 분산용액을 혼합한 혼합용액을 도포한다. 여기서, 접착제 용액은 유기용매에 접착제를 일정비율 혼합한 용액이고, 접착제는 스텔렌 부타디엔 고무합성 수지 또는 스틸렌과 부타디엔의 공중합체를 기본 구조로 하는 접착제 일 수 있고, 스텔렌 부타디엔 고무합성 수지는 SBR (Stylene Butadiene Rubber)계, SBS (Stylene Butadiene Stylene)계, 또는 SIS (Stylene Isoprene Stylene)계 등 일 수 있다. 또한, 접착제 용액은 포토 아크릴 성분을 포함하여 패터닝이 가능하도록 제조할 수도 있다.

이후, 단계 S330에서 CNT 분산용액과 접착제 용액의 혼합용액을 도포한 기판을 소정의 온도와 시간으로 열처리한다.

이로써, 낮은 면저항과 우수한 투과율을 가지면서 접착력이 향상된 CNT 투명전극을 제조할 수 있다.

도 3에서는 본 발명의 제 1실시예의 기판구조에 관한 제조방법을 설명하였으나, 이하 제 2, 3 실시예의 기판구조에 따라 CNT 분산용액의 도포 횟수나 도포 순서가 달라질 수 있다.

이하 도 4내지 6의 실시예를 참조하여 각 실시예에 따른 결과에 관해 설명한다.

최적의 도포 조건을 도출하기 위해 접착제 용액의 비율을 조정하여 아래와 같은 실험을 진행하였다. 본 실험에서는 접착제 용액으로 스틸렌 부타디엔 고무합성 수지와 시클로헥사논의 혼합 용액이 사용되었다.

(실험예 1)

a) 0.1mg/ml(CNT의 양/벤젠의 부피)의 밀도를 가지는 CNT 분산용액을 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 20ml 도포한다. 이경우 특성은 투과율 80%, 저항 340Ω/sq으로 측정되었다.

b) 접착제 용액(스틸렌 부타디엔: 시클로 핵사논 = 1 : 10)과 CNT 분산용액(0.1mg/ml)을 1 : 20으로 희석한 용액 1ml를 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 도포한다.

c) 이후, 100℃에서 열처리를 수행한다.

실험예 1의 경우, 도 4에 도시된 기판구조가 생성되고, 이 경우 접착제 용액과 CNT분산용액을 혼합한 용액을 도포한 후 최종 특성치는 투과율 80%, 저항 340Ω/sq으로, 거의 특성 변화가 발생하지 않았다. 또한, 직수크리닝(DI cleaning) 후에도 저항변화 및 투과율 변화가 발생하지 않았다.

(실험예 2)

a) 0.1mg/ml(CNT의 양/벤젠의 부피)의 밀도를 가지는 CNT 분산용액을 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 20ml 도포한다. 이경우 특성은 투과율 80%, 저항 340Ω/sq으로 측정되었다.

b) 접착제 용액(스틸렌 부타디엔 : 시클로 핵사논 = 1 : 10)과 CNT 분산용액(0.1mg/ml)을 1 : 20으로 혼합한 용액 1ml를 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 도포한다.

c) 이후, 100℃에서 열처리를 수행한다. 이 단계는 중간 열처리 단계로 생략될 수 있다.

d) 0.1mg/ml(CNT의 양/벤젠의 부피)의 밀도를 가지는 CNT 분산용액을 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 5ml를 다시 도포한다. 이경우 특성은 투과율 80%, 저항 340Ω/sq으로 유지되었다.

e) 이후, 100℃에서 열처리를 수행한다.

실험예 2의 경우, 도 5에 도시된 기판구조가 생성되고, 실험예 1과 비교해 볼 때, 투과율 및 저항 특성은 비슷하다. 단, 중간 열처리인 c) 단계를 진행할 경 우, 상부 CNT 박막이 직수크리닝 시에 박리되어 특성이 열화되고, 열처리를 하지 않을 경우, CNT 분산용액 도포시, 섬형상의 불량이 발생하게 되어 균일도 측면에서 불리한 특성을 나타낸다.

(실험예 3)

a) 접착제(스틸렌 부타디엔 : 시클로 핵사논 = 1 : 10)와 CNT 분산용액(0.1mg/ml)을 1 : 20으로 혼합한 용액 1ml를 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 도포한다.

b) 이후, 0.1mg/ml(CNT의 양/벤젠의 부피)의 밀도를 가지는 CNT 분산용액을 스프레이 방법 또는 스핀 코팅 방법으로 20ml 도포한다. 이경우 특성은 투과율 80%, 저항 340Ω/sq으로 측정되었다.

c) 이후, 100℃에서 열처리를 한다.

실험예 3의 경우, 도 6에 도시된 기판구조가 생성되고, 상부 CNT 분산용액 도포시, 섬형상의 불량이 발생하게 되어 균일도 측면에서 불리한 특성을 나타낸다.

상술한 세가지 실험예를 통하여, 탄소나노튜브 투명전극을 제조함에 있어, 접착제 용액과 CNT 분산용액을 혼합한 용액을 도포하더라도, 면저항 및 투과율 측면에서 동일한 특성치를 나타냄을 확인할 수 있다.

이로써, 투과율 80% 이상을 가지면서 면저항이 340Ω/sq정도의 우수한 전극특성을 나타내며, 접착력을 향상시킨 CNT투명전극을 생성할 수 있다. 또한, 접착제를 포함하는 CNT 박막을 형성함에 따라 포토식각 공정시 CNT 투명전극의 박리현상을 막을 수 있고, 플렉서블한 기판과의 접착력도 확보할 수 있다. 이로써, LCD 패 널의 투명전극인 ITO 를 대체할 수 있으며, TSP(Touch Screen Panel), 태양전지 전극 등에도 적용할 수 있는 CNT 투명전극을 제작할 수 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 도포시 발생하는 섬불량의 예시 도면이다.

도 2은 본 발명의 일 실시예에 따라 접착체의 비율에 따른 면저항과 투과율의 변화를 나타낸 그래프이다.

도 3은 본 발명의 제 1 실시예로 사용되는 접착성분을 포함하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법을 나타내는 순서도이다.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 적용된 탄소나노튜브 박막을 구비한 제 1 기판구조이다.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 적용된 탄소나노튜브 박막을 구비한 제 2 기판구조이다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 적용된 탄소나노튜브 박막을 구비한 제 3 기판구조이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※

10: 기판 30: 탄소나노튜브 박막

50: 접착막

Claims (16)

1. 기판;

   탄소나노튜브(CNT)를 유기용매에 분산시킨 탄소나노튜브 분산용액을 상기 기판에 도포한 탄소나노튜브박막; 및

   접착제 용액과 상기탄소나노튜브 분산용액을 혼합한 혼합용액을 상기 기판에 도포한 접착막을 포함하는 탄소나노튜브 투명전극.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 접착제 용액은 접착제와 용매의 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 접착제는 폴리이미드계(Polyimide), 아크릴수지계(Acrylic resin), 우레탄수지계(Polyuretheane resin), 셀룰로오스(Ethercellulose), 에폭시수지계(Epoxy resin), 염화비닐수지 용제(Polyvinyl Chloride solvent type, PVC), 실리콘계(Silicone adhesives), 스틸렌-부타디엔 고무 수지계(Styrene-butadiene rubber) 또는 이들의 유도체 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 접착제와 용매의 혼합비는 1:10 내지 1:30인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 접착제 용액과 탄소나노튜브 분산용액을 혼합한 용액의 혼합비는 1:20 내지 1:30인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 접착제 용액과 탄소나노튜브 분산용액을 혼합한 용액을 도포한 접착막은 복수개 인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 기판은 플렉서블한 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극.
8. i) 탄소나노튜브(CNT)를 용매에 분산시킨 탄소나노튜브 분산용액을 기판 상에 도포하여 탄소나노튜브 박막을 형성하는 단계; 및

   ii) 상기 탄소나노튜브 분산용액과 접착제 용액을 혼합한 용액을 기판 상에 도포하여 접착막을 형성하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
9. 제 8항에 있어서,

   열처리 단계를 더 포함하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
10. 제 8항에 있어서,

    상기 박막을 형성하는 단계는 슬릿 코팅, 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 필트레이션 방법 및 바 코팅 방법 중 어느 하나에 의해 수행됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
11. 제 8항에 있어서,

    상기 접착제 용액은 접착제와 용매의 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
12. 제 11항에 있어서,

    상기 접착제는 폴리이미드계(Polyimide), 아크릴수지계(Acrylic resin), 우레탄수지계(Polyuretheane resin), 셀룰로오스(Ethercellulose), 에폭시수지계(Epoxy resin), 염화비닐수지 용제(Polyvinyl Chloride solvent type, PVC), 실리콘계(Silicone adhesives), 스틸렌-부타디엔 고무 수지계(Styrene-butadiene rubber) 또는 이들의 유도체 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
13. 제 12항에 있어서,

    상기 접착제와 용매의 혼합비는 1:10 내지 1:30인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
14. 제 8항에 있어서,

    상기 접착제 용액과 탄소나노튜브 분산용액을 혼합한 용액의 혼합비는 1:20 내지 1:30인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
15. 제 8항에 있어서,

    상기 접착제 용액과 탄소나노튜브 분산용액을 혼합한 용액을 도포한 접착막은 복수개 인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 투명전극의 제조방법.
16. 상기 제 1항 내지 제 7항에 기재된 탄소나노튜브 투명전극을 이용하는 액정디스플레이 장치.

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