KR20100118180A - 테이프 부착 장치 - Google Patents

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KR20100118180A
KR20100118180A KR1020090036877A KR20090036877A KR20100118180A KR 20100118180 A KR20100118180 A KR 20100118180A KR 1020090036877 A KR1020090036877 A KR 1020090036877A KR 20090036877 A KR20090036877 A KR 20090036877A KR 20100118180 A KR20100118180 A KR 20100118180A
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tape
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adhesive film
roll cutter
unit
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KR1020090036877A
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조현석
김영필
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주식회사 휘닉스 디지탈테크
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape

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Abstract

테이프 부착장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 롤커터를 이용하여 웨이퍼가 장착되는 링프레임에 테이프를 부착하는 장치는, 테이프를 공급하는 언와인더와 상기 테이프에서 분리된 보호필름을 감아 고정하는 제1와인더가 장착되는 테이프 장착부, 상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프의 상기 보호필름을 제외한 접착필름부분에, 상기 링프레임에 부착하기에 알맞은 형상으로 칼자국을 내어 용이하게 분리될 수 있도록 형성된 링프레임용 접착필름을 만드는 롤커터부, 상기 롤커터부에서 공급되는 상기 테이프에서 상기 링프레임용 접착필름을 제외한 접착필름부분을 분리하여 감아 고정하는 제2와인더와, 상기 링프레임용 접착필름이 남아있는 상기 테이프의 텐션을 조절하여 배출하도록 일정한 간격으로 배치되어 상기 테이프가 걸쳐지는 하나 이상의 텐션롤러들로 구성되는 버퍼부 및 상기 버퍼부에서 공급되는 상기 테이프의 상기 링프레임용 접착필름을 상기 보호필름으로부터 분리함과 동시에 미리 대기하고 있는 상기 링프레임에 부착하는 부착부를 구비한다.

Description

테이프 부착 장치{Tape mounter}
본 발명은 테이프 부착장치에 관한 것으로서, 롤커터를 이용하여 웨이퍼가 장착되는 링프레임에 테이프를 부착하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 알려지고 있는 반도체 패키지 제조방법은 여러 단위 공정을 거쳐 제조된 웨이퍼 상태의 반도체 칩을 개개로 분리하는 소잉(sawing)공정에 앞서 웨이퍼에 테이프를 부착하는 웨이퍼 마운팅 공정이 진행된다.
이러한 웨이퍼 마운팅 공정은 작업대 위에 웨이퍼와 웨이퍼 프레임을 정렬하여 놓고, 그 위에 테이프를 일정간격으로 이격되도록 공급한 다음 그 테이프를 상부에서 접착롤러를 이용하여 누름으로써 웨이퍼에 테이프를 부착시키고 테이프를 프레임에 크기에 맞추어 회전하는 커터날로 자르는 방법이 이용된다.
그런데, 테이프를 프레임 크기에 맞추어 회전하는 커터날로 자를 경우, 커터날이 둥그런 링프레임의 외주면을 따라 곡선구간을 커팅하므로 커터날이 쉽게 부러지거나 금방 마모되는 문제가 있다.
또한, 테이프를 부착하고 커터날로 찍어눌러 테이프를 자르는 과정에서 링프레임이 손상되고 사용횟수가 증가할 수록 링프레임이 받는 손상의 정도가 커지는 문제가 있다.
그리고, 테이프가 웨이퍼 프레임위에 접촉한 상태에서 잘라내야 되기 때문에 항상 여분의 테이프량이 필요하게되어 테이프 소모량이 불필요하게 증가되고, 이는 원가가 높아지는 문제로 연결된다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 하는 링프레임에 테이프를 부착하는 장치의 개발이 요구된다.
본 발명의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는, 링프레임에 부착되기 전에 미리 테이프로부터 링프레임용 접착필름을 분리하고 분리된 링프레임용 접착필름을 링프레임에 붙일 수 있는 테이프 부착장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 롤커터를 이용하여 웨이퍼가 장착되는 링프레임에 테이프를 부착하는 장치는,
테이프를 공급하는 언와인더와 상기 테이프에서 분리된 보호필름을 감아 고정하는 제1와인더가 장착되는 테이프 장착부 ; 상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프의 상기 보호필름을 제외한 접착필름부분에, 상기 링프레임에 부착하기에 알맞은 형상으로 칼자국을 내어 용이하게 분리될 수 있도록 형성된 링프레임용 접착필름을 만드는 롤커터부 ; 상기 롤커터부에서 공급되는 상기 테이프에서 상기 링프레임용 접착필름을 제외한 접착필름부분을 분리하여 감아 고정하는 제2와인더와, 상기 링프레임용 접착필름이 남아있는 상기 테이프의 텐션을 조절하여 배출하도록 일정한 간격으로 배치되어 상기 테이프가 걸쳐지는 하나 이상의 텐션롤러들로 구성되는 버퍼부 ; 상기 버퍼부에서 공급되는 상기 테이프의 상기 링프레임용 접착필름을 상기 보호필름으로부터 분리함과 동시에 미리 대기하고 있는 상기 링프레임에 부착하는 부착부를 구비한다.
상기 롤커터부는, 1회전할때마다 상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프에 상기 링프레임용 접착필름을 하나씩 형성하기 위하여 외면에 양각으로 칼날이 형성되는 제1롤커터 ; 상기 제1롤커터의 하부에 위치하며 상기 제1롤커터와 함께 회전하며 상기 테이프를 바쳐주는 제1받침롤러 : 및 상기 제1롤커터를 하방으로 눌러주어 상기 칼날이 상기 테이프에 접촉하여 상기 링프레임용 접착필름이 형성되도록 하는 제1가압롤러가 장착되는 제1커팅부를 구비하고, 상기 테이프는 상기 제1롤커터와 상기 제1받침롤러 사이를 통과하면서 상기 링프레임용 접착필름이 형성된다.
상기 제1롤커터의 회전속도를 조절함으로써, 상기 테이프에 형성되는 상기 링프레임용 접착필름 사이의 간격이 조절된다.
롤커터부는, 상기 제1롤커터의 직경과 상이한 직경을 가지며 1회전할때마다 상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프에 상기 링프레임용 접착필름을 하나씩 형성하기 위하여 외면에 양각으로 칼날이 형성되는 제2롤커터; 상기 제2롤커터 하부에 위치하며 상기 제2롤커터와 함께 회전하며 상기 테이프를 바쳐주는 제2받침롤러 : 및 상기 제2롤커터를 하방으로 눌러주어 상기 칼날이 상기 테이프에 접촉하여 상기 링프레임용 접착필름이 형성되도록 하는 제2가압롤러가 장착되는 제2커팅부를 더 구비하고, 상기 제2커팅부는 상기 제1커팅부에 이웃하여 배치되고, 상기 링프레임의 크기에 따라 상기 제1커팅부 또는 상기 제2커팅부가 선택적으로 동작한다.
상기 제2롤커터의 회전속도를 조절함으로써, 상기 테이프에 형성되는 상기 링프레임용 접착필름 사이의 간격이 조절된다.
상기 부착부는, 상기 롤커터부 하부에 배치되며, 벨트에 물려 수평으로 좌우이동하고, 하단에 상기 버퍼부에서 공급되는 상기 테이프의 상기 링프레임용 접착필름을 상기 보호필름으로부터 분리시키기 위한 분리부가 형성되는 좌우이동부 ; 상승 및 하강이 가능하고, 상기 좌우이동부 측면에 상기 좌우이동부와 연결되어 함께 이동하는 상하이동부로서, 상기 보호필름에서 분리된 상기 링프레임용 접착필름을 상기 링프레임에 부착시키는 상기 상하이동부 ; 및 상기 좌우이동부가 물려있는 벨트를 구동시키는 벨트구동롤러들을 구비하고, 상기 좌우이동부가 상기 링프레임 위를 이동할 때 상기 상하이동부가 하강하여 상기 분리된 링프레임용 접착필름을 압착하여 상기 링프레임에 부착시킨다.
상기 좌우이동부는, 상기 부착부의 프레임에 설치된 가이드레일을 따라 가이드되어 좌우로 이동하며, 상기 벨트를 물어 상기 벨트가 이동함에 따라 상기 좌우이동부가 이동하도록 하는 벨트연결부 ; 및 상기 테이프가 걸쳐져서 이동되도록 하는 복수개의 이동롤러들이 설치되고, 상기 분리부는 상기 좌우이동부의 측면 하단부에 돌출되는 칼날이다.
상기 상하이동부는, 상승 및 하강이 가능하고, 상기 분리부 측면에 형성되어 상기 분리부에 의해서 분리되는 상기 링프레임용 접착필름을 상기 링프레임에 부착 시키기는 부착롤러 ; 및 상기 좌우이동부에 연결되며 상기 부착롤러를 상승 및 하강시키는 실린더부를 구비한다.
상기 링프레임을 상면에 안착시킨 후, 상기 부착부의 하부로부터 일정간격 떨어진 위치까지 상기 링프레임을 상승시켜 상기 링프레임용 접착필름이 상기 링프레임에 부착되도록 상기 링프레임을 안착시키는 링프레임제공부를 더 구비한다.
상기 링프레임제공부는, 상기 링프레임이 안착되는 안착부 ; 및 상기 안착부 아래에서 상기 안착부를 지탱하며, 실린더를 이용하여 상기 안착부를 상승 및 하강시키는 지지부를 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 테이프 부착장치는 링프레임에 테이프가 부착되기 전에 테이프로부터 링프레임에 맞도록 링프레임용 접착필름을 분리시켜 놓은 후, 분리된 링프레임용 접착필름을 링프레임에 롤러를 이용하여 붙임으로써 커터날이 상하게 되는 문제를 제거할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 테이프의 절단을 기존의 회전칼날의 방식이 아닌 외면에 양각의 칼날이 형성된 롤러를 사용하여 롤러 사이를 테이프가 통과하고 적절한 힘으로 눌러줌으로써 원하는 모양의 링프레임용 접착필름을 칼날의 파손 위험 없이 안정적으로 절단할 수 있다.
또한, 칼날이 형성된 롤러가 한바퀴를 회전하는 속도를 조절함으로써 테이프에 형성되는 링프레임용 접착필름 사이의 간격을 줄임으로 해서 버려지는 테이프의 낭비를 막을 수 있다.
그리고, 링프레임과 칼날이 접촉되어 링프레임과 칼날이 손상될 가능성을 완전히 제거함으로써 칼날 마모량을 줄일 수 있고, 링프레임 또한 보호할 수 있는 장점이 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 테이프 부착장치와 링프레임제공부의 전체구조를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 테이프 부착장치의 상세구조를 설명하는 정면도이다.
도 3은 도 2의 테이프 부착장치의 부착부의 상세구조를 설명하는 정면도이다.
도 4는 도 2의 테이프 부착장치의 사시도이다.
도 5는 테이프의 구조를 설명하는 측면도이다.
도 6(a)는 테이프에 링프레임용 접착필름이 형성된 모습을 나타내는 도면이다.
도 6(b)는 테이프에서 링프레임용 접착필름을 제외한 나머지 접착필름이 제 거된 모습을 나타내는 도면이다.
도 1에는 본 발명의 실시예에 따른 테이프 부착장치(110)와 링프레임 제공부(200)가 결합된 전체구조(100)가 개시된다.
테이프 부착장치(110)는 테이프로부터 링프레임의 크기와 모양에 알맞은 링프레임용 접착필름을 먼저 분리하고, 분리된 링프레임용 접착필름을 링프레임 제공부(200)가 제공하는 링프레임에 롤러를 이용하여 압착 부착함으로써 테이프 부착장치(110)에 이용되는 칼날의 마모와 링프레임의 손상을 방지할 수 있다.
테이프 부착장치(110)는 테이프 장착부(120), 롤커터부(140), 버퍼부(160) 및 부착부(180)를 구비한다.
테이프 장착부(120)는 테이프(FT)를 공급하는 언와인더(121)와 테이프(FT)에서 분리된 보호필름(F)을 감아 고정하는 제1와인더(123)가 장착된다. 롤커터부(140)는 언와인더(121)에서 공급되는 테이프(FT)의 보호필름(F)을 제외한 접착필름(T) 부분에, 링프레임(미도시)에 부착하기에 알맞은 형상으로 칼자국(D)을 내어 용이하게 분리될 수 있도록 형성된 링프레임용 접착필름(RFT)을 만든다.
버퍼부(160)는 롤커터부(140)에서 공급되는 테이프(FT)에서 링프레임용 접착필름(RFT)을 제외한 접착필름부분(RT)을 분리하여 감아 고정하는 제2와인더(161)와, 링프레임용 접착필름(RFT)이 남아있는 테이프(FT)의 텐션을 조절하여 배출하도록 일정한 간격으로 배치되어 테이프(FT)가 걸쳐지는 하나 이상의 텐션롤러들(163)로 구성된다.
부착부(180)는 버퍼부(160)에서 공급되는 테이프(FT)의 링프레임용 접착필 름(RFT)을 보호필름(F)으로부터 분리함과 동시에 미리 대기하고 있는 링프레임(미도시)에 부착한다.
이하, 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 테이프 부착장치의 동작이 상세히 설명된다.
도 5를 참조하면, 웨이퍼(미도시)에 부착되는 테이프(FT)는 보호필름(F)과 보호필름(F) 상면에 부착된 접착필름(T)으로 구성된다. 접착필름(T)은 웨이퍼에 부착되는 부분이고, 보호필름(F)은 접착필름(T)을 보호하는 필름이다.
테이프 장착부(120)는 테이프(FT)를 공급하는 언와인더(121)와 테이프(FT)에서 분리된 보호필름(F)을 감아 고정하는 제1와인더(123)가 장착된다. 언와인더(121)에 테이프(FT)가 장착되고 테이프(FT)가 롤커터부(140)로 공급되며, 모든 공정이 끝나고 남은 보호필름(F)이 제1와인더(123)에 감겨진다.
롤커터부(140)는 언와인더(121)에서 공급되는 테이프(FT)의 보호필름(F)을 제외한 접착필름(T) 부분에, 링프레임(미도시)에 부착하기에 알맞은 형상으로 칼자국(D)을 내어 용이하게 분리될 수 있도록 형성된 링프레임용 접착필름(RFT)을 만든다.
도 5에 칼자국(D)이 표시되어 있고, 도 6(a)에 링프레임용 접착필름(RFT)이 도시된다. 도 6(a)에서처럼, 테이프(FT)의 상면인 접착필름(T) 부분에 링프레임의 크기와 모양에 알맞도록 칼자국을 낸다. 칼자국에 의해서 링프레임용 접착필름(RFT)은 쉽게 분리될 수 있다.
롤커터부(140)는, 제1커팅부(141)를 구비한다. 제1커팅부(141)는 1회전할때 마다 언와인더(121)에서 공급되는 테이프(FT)에 링프레임용 접착필름(RFT)을 하나씩 형성하기 위하여 외면에 양각으로 칼날이 형성되는 제1롤커터(143)와, 제1롤커터(143)의 하부에 위치하며, 제1롤커터(143)와 함께 회전하며 테이프를 바쳐주는 제1받침롤러(145) 및 제1롤커터(143)를 하방으로 눌러주어 칼날이 테이프(FT)에 접촉하여 링프레임용 접착필름(RFT)이 형성되도록 하는 제1가압롤러(147)를 구비한다.
언와인더(121)에서 공급되는 테이프(FT)가 제1롤커터(143)와 제1받침롤러(145) 사이를 통과하면서 링프레임용 접착필름(RFT)이 형성된다.
제1롤커터(143)는 마그네틱 롤러로 만들어지며, 마그네틱 롤러의 외면에 양각으로 칼날이 형성된다. 제1가압롤러(147)는 양각으로 형성된 칼날 부분 이외의 제1롤커터(143)의 부분을 적절한 압력으로 눌러준다. 그러면, 칼날에 의하여, 제1롤커터(143)와 제1받침롤러(145) 사이를 통과하는 테이프(FT)의 접착필름(T)에 링프레임용 접착필름(RFT)이 형성된다. 도 5에는 링프레임용 접착필름(RFT)이 형성된 경우의 테이프(FT)를 옆에서 바라본 그림이 개시된다. 칼자국(D)부분이 링프레임용 접착필름(RFT)이다.
칼날은 제1받침롤러(145)와 직접적으로 접촉하지 않도록 제1롤커터(143)와 제1받침롤러(145) 사이에는 약간의 간격이 벌어진다. 따라서, 칼날이 손상되지 아니한다.
제1롤커터(143)의 회전속도를 조절하면, 테이프(FT)에 형성되는 링프레임용 접착필름(RFT) 사이의 간격을 조절할 수 있으며, 링프레임용 접착필름(RFT) 사이의 간격을 작게함으로써 불필요한 테이프의 손실을 방지할 수 있다.
롤커터부(140)는 제1롤커터(143)의 직경과 상이한 직경을 가지는 롤커터를 가지는 제2커팅부(151)를 더 구비한다. 즉, 웨이퍼의 크기가 다양하므로, 웨이퍼의 크기에 따라(링프레임의 크기에 따라) 링프레임용 접착필름(RFT)의 크기가 달라져야 한다. 이를 위하여 롤커터부(140)는 제1롤커터(143)의 직경과 상이한 직경을 가지는 롤커터를 가지는 제2커팅부(151)를 더 구비한다. 제 3, 제 4 커팅부도 더 존재할 수 있다.
제2커팅부(151)는 제1롤커터(143)의 직경과 상이한 직경을 가지며 1회전할때마다 언와인더(121)에서 공급되는 테이프(FT)에 링프레임용 접착필름(RFT)을 하나씩 형성하기 위하여 외면에 양각으로 칼날이 형성되는 제2롤커터(153)와, 제2롤커터(153) 하부에 위치하며 제2롤커터(153)와 함께 회전하며 테이프(FT)를 바쳐주는 제2받침롤러(155) 및 제2롤커터(153)를 하방으로 눌러주어 칼날이 테이프(FT)에 접촉하여 링프레임용 접착필름(RFT)이 형성되도록 하는 제2가압롤러(157)가 장착된다. 제2커팅부(151)는 제1커팅부(141)에 이웃하여 배치되고, 링프레임의 크기에 따라 제1커팅부(141) 또는 제2커팅부(151)가 선택적으로 동작한다.
제2커팅부(151)의 동작은 제1커팅부(141)와 동일하므로 상세한 설명을 생략한다. 롤커터부(140)를 통과한 테이프(FT)는 도 6(a)와 같은 모습이 된다.
버퍼부(160)는 롤커터부(140)에서 공급되는 테이프(FT)에서 링프레임용 접착필름(RFT)을 제외한 접착필름부분(RT)을 분리하여 감아 고정하는 제2와인더(161)와, 링프레임용 접착필름(RFT)이 남아있는 테이프(FT)의 텐션을 조절하여 배출하도 록 일정한 간격으로 배치되어 테이프(FT)가 걸쳐지는 하나 이상의 텐션롤러들(163)로 구성된다.
제2와인더(161)에는 테이프(FT)의 끝부분을 미리 장착시켜 놓아 링프레임용 접착필름(RFT)을 제외한 접착필름부분(RT)이 자연스럽게 분리되어 감기도록 한다. 도 5에 도시된것처럼, 링프레임용 접착필름(RFT)은 접착필름층보다 조금 더 깊게 보호필름층에까지 형성되어 있으므로, 링프레임용 접착필름(RFT)을 제외한 접착필름부분(RT)은 링프레임용 접착필름(RFT)만을 보호필름(F)위에 남겨놓고 쉽게 분리될 수 있다.
텐션롤러들(163)은 보호필름(F) 위에 링프레임용 접착필름(RFT)만 남아있는 테이프의 텐션을 조절하면서 테이프(FT)를 부착부(180)로 제공한다. 버퍼부(160)를 통과한 테이프의 모습은 도 6(b)와 같은 모습이다.
부착부(180)의 구조는 도 3에서 좀 더 상세히 설명된다.
부착부(180)는 롤커터부(140) 하부에 배치되며 좌우이동부(181), 상하이동부(190) 및 벨트구동롤러들(195)을 구비한다.
좌우이동부(181)는 벨트(B)에 물려 수평으로 좌우이동하고, 하단에 버퍼부(160)에서 공급되는 테이프(FT)의 링프레임용 접착필름(RFT)을 보호필름(F)으로부터 분리시키기 위한 분리부(187)가 형성된다.
상하이동부(190)는 상승 및 하강이 가능하고, 좌우이동부(181) 측면에 좌우이동부(181)와 연결되어 함께 이동하며, 보호필름(F)에서 분리된 링프레임용 접착필름(RFT)을 링프레임에 부착시킨다.
벨트구동롤러(195)는 좌우이동부(181)가 물려있는 벨트(B)를 구동시킨다.
좌우이동부(181)가 링프레임 위를 이동할 때 상하이동부(190)가 하강하여 분리된 링프레임용 접착필름(RFT)을 압착하여 링프레임에 부착시킨다.
좀 더 설명하면, 좌우이동부(181)는, 부착부(180)의 프레임에 설치된 가이드레일(GL)을 따라 가이드되어 좌우로 이동하며, 벨트(B)를 물어 벨트(B)가 이동함에 따라 좌우이동부(181)가 이동하도록 하는 벨트연결부(183)와, 테이프(FT)가 걸쳐져서 이동되도록 하는 복수개의 이동롤러들(185))이 설치된다. 분리부(187)는 좌우이동부(181)의 측면 하단부에 돌출되는 칼날이다.
상하이동부(190)는, 상승 및 하강이 가능하고, 분리부(187) 측면에 형성되어 분리부(187)에 의해서 분리되는 링프레임용 접착필름(RFT)을 링프레임(미도시)에 부착시키기는 부착롤러(192) 및 좌우이동부(181)에 연결되며 부착롤러(192)를 상승 및 하강시키는 실린더부(193)를 구비한다. 부착롤러(192)는 실린더부(193)와 롤러부착판(191)에 의해서 연결된다.
부착부(180)의 양단에는 벨트구동롤러들(195)이 형성되고 벨트구동롤러들(195)은 벨트(B)로 연결된다.
좌우이동부(181)는 벨트연결부(183)를 구비하며, 벨트연결부(183)가 벨트(B)에 강하게 물려있어 벨트(B)가 이동할 경우, 벨트(B)의 이동을 따라 좌우이동부(181)가 좌우로 수평이동하게 된다. 좌우이동부(181)는 또한 버퍼부(160)로부터 공급되는 테이프(FT)를 이동시키는 복수개의 이동롤러들(185)을 구비한다. 좌우이동부(181)의 하단 측면에는 칼날로 이루어지는 분리부(187)가 형성되는데, 분리 부(187)는 도 6(b)에 도시된 상태의 테이프(FT)가 걸쳐져서 이동하면서 보호필름(F)으로부터 링프레임용 접착필름(RFT)이 분리된다.
분리부(187)에 의해서 링프레임용 접착필름(RFT)이 보호필름(F)으로부터 분리됨과 동시에 좌우이동부(181)가 링프레임(미도시) 상측에서 수평이동한다. 이 때, 상하이동부(190)의 부착롤러(192)가 아래로 하강하여 좌우이동부(181)의 수평이동에 의해서 수평으로 이동하면서 링프레임 상부면에 링프레임용 접착필름(RFT)을 압착시키면서 부착시킨다.
이와 같은 방법에 의해서 보호필름(F)에서 분리된 링프레임용 접착필름(RFT)이 링프레임위에 부착된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 테이프 부착장치(110) 아래에 링프레임 제공부(200)가 배치될 수 있다.
도 7을 참조하면, 링프레임 제공부(200)는 링프레임(미도시)을 상면에 안착시킨 후, 부착부(180)의 하부로부터 일정간격 떨어진 위치까지 링프레임을 상승시켜 링프레임용 접착필름(RFT)이 링프레임에 부착되도록 링프레임을 안착시킨다.
좀 더 설명하면, 링프레임 제공부(200)는 링프레임이 안착되는 안착부(210) 및 안착부(210) 아래에서 안착부(210)를 지탱하며, 실린더(230)를 이용하여 안착부(210)를 상승 및 하강시키는 지지부(220)를 구비한다.
지지부(220)는 샤프트(240)에 의해서 지지되고, 실린더(230)가 상면에 장착되어 상부에 위치한 안착부(210)를 상승 및 하강시킨다. 안착부(210)는 링프레임을 안착시킨 후 부착부(180) 하부에 링프레임을 제공한다.
이러한 구조를 이용하여 테이프 부착장치(110)는 링프레임과 칼날의 손상 없이 테이프를 링프레임 위에 부착시킬 수 있다.
이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 테이프 부착장치와 링프레임제공부의 전체구조를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 테이프 부착장치의 상세구조를 설명하는 정면도이다.
도 3은 도 2의 테이프 부착장치의 부착부의 상세구조를 설명하는 정면도이다.
도 4는 도 2의 테이프 부착장치의 사시도이다.
도 5는 테이프의 구조를 설명하는 측면도이다.
도 6(a)는 테이프에 링프레임용 접착필름이 형성된 모습을 나타내는 도면이다.
도 6(b)는 테이프에서 링프레임용 접착필름을 제외한 나머지 접착필름이 제거된 모습을 나타내는 도면이다.
도 7은 링프레임제공부를 설명하는 정면도이다.

Claims (10)

  1. 롤커터를 이용하여 웨이퍼가 장착되는 링프레임에 테이프를 부착하는 장치에 있어서,
    테이프를 공급하는 언와인더와 상기 테이프에서 분리된 보호필름을 감아 고정하는 제1와인더가 장착되는 테이프 장착부 ;
    상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프의 상기 보호필름을 제외한 접착필름부분에, 상기 링프레임에 부착하기에 알맞은 형상으로 칼자국을 내어 용이하게 분리될 수 있도록 형성된 링프레임용 접착필름을 만드는 롤커터부 ;
    상기 롤커터부에서 공급되는 상기 테이프에서 상기 링프레임용 접착필름을 제외한 접착필름부분을 분리하여 감아 고정하는 제2와인더와, 상기 링프레임용 접 착필름이 남아있는 상기 테이프의 텐션을 조절하여 배출하도록 일정한 간격으로 배치되어 상기 테이프가 걸쳐지는 하나 이상의 텐션롤러들로 구성되는 버퍼부 ;
    상기 버퍼부에서 공급되는 상기 테이프의 상기 링프레임용 접착필름을 상기 보호필름으로부터 분리함과 동시에 미리 대기하고 있는 상기 링프레임에 부착하는 부착부를 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 롤커터부는,
    1회전할때마다 상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프에 상기 링프레임용 접착필름을 하나씩 형성하기 위하여 외면에 양각으로 칼날이 형성되는 제1롤커터 ;
    상기 제1롤커터의 하부에 위치하여, 상기 제1롤커터와 함께 회전하며 상기 테이프를 바쳐주는 제1받침롤러 : 및
    상기 제1롤커터를 하방으로 눌러주어 상기 칼날이 상기 테이프에 접촉하여 상기 링프레임용 접착필름이 형성되도록 하는 제1가압롤러가 장착되는 제1커팅부를 구비하고,
    상기 테이프는 상기 제1롤커터와 상기 제1받침롤러 사이를 통과하면서 상기 링프레임용 접착필름이 형성되는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1롤커터의 회전속도를 조절함으로써, 상기 테이프에 형성되는 상기 링프레임용 접착필름 사이의 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장 치.
  4. 제2항에 있어서, 롤커터부는,
    상기 제1롤커터의 직경과 상이한 직경을 가지며 1회전할때마다 상기 언와인더에서 공급되는 상기 테이프에 상기 링프레임용 접착필름을 하나씩 형성하기 위하여 외면에 양각으로 칼날이 형성되는 제2롤커터;
    상기 제2롤커터 하부에 위치하며 상기 제2롤커터와 함께 회전하며 상기 테이프를 바쳐주는 제2받침롤러 : 및
    상기 제2롤커터를 하방으로 눌러주어 상기 칼날이 상기 테이프에 접촉하여 상기 링프레임용 접착필름이 형성되도록 하는 제2가압롤러가 장착되는 제2커팅부를 더 구비하고,
    상기 제2커팅부는 상기 제1커팅부에 이웃하여 배치되고, 상기 링프레임의 크기에 따라 상기 제1커팅부 또는 상기 제2커팅부가 선택적으로 동작하는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제2롤커터의 회전속도를 조절함으로써, 상기 테이프에 형성되는 상기 링프레임용 접착필름 사이의 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 부착부는,
    상기 롤커터부 하부에 배치되며,
    벨트에 물려 수평으로 좌우이동하고, 하단에 상기 버퍼부에서 공급되는 상기 테이프의 상기 링프레임용 접착필름을 상기 보호필름으로부터 분리시키기 위한 분리부가 형성되는 좌우이동부 ;
    상승 및 하강이 가능하고, 상기 좌우이동부 측면에 상기 좌우이동부와 연결되어 함께 이동하는 상하이동부로서, 상기 보호필름에서 분리된 상기 링프레임용 접착필름을 상기 링프레임에 부착시키는 상기 상하이동부 ; 및
    상기 좌우이동부가 물려있는 벨트를 구동시키는 벨트구동롤러들을 구비하고,
    상기 좌우이동부가 상기 링프레임 위를 이동할 때 상기 상하이동부가 하강하여 상기 분리된 링프레임용 접착필름을 압착하여 상기 링프레임에 부착시키는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 좌우이동부는,
    상기 부착부의 프레임에 설치된 가이드레일을 따라 가이드되어 좌우로 이동하며,
    상기 벨트를 물어 상기 벨트가 이동함에 따라 상기 좌우이동부가 이동하도록 하는 벨트연결부 ; 및
    상기 테이프가 걸쳐져서 이동되도록 하는 복수개의 이동롤러들이 설치되고,
    상기 분리부는 상기 좌우이동부의 측면 하단부에 돌출되는 칼날인 것을 특징 으로 하는 테이프 부착장치.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 상하이동부는,
    상승 및 하강이 가능하고, 상기 분리부 측면에 형성되어 상기 분리부에 의해서 분리되는 상기 링프레임용 접착필름을 상기 링프레임에 부착시키기는 부착롤러 ; 및
    상기 좌우이동부에 연결되며 상기 부착롤러를 상승 및 하강시키는 실린더부를 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 링프레임을 상면에 안착시킨 후, 상기 부착부의 하부로부터 일정간격 떨어진 위치까지 상기 링프레임을 상승시켜 상기 링프레임용 접착필름이 상기 링프레임에 부착되도록 상기 링프레임을 안착시키는 링프레임제공부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 링프레임제공부는,
    상기 링프레임이 안착되는 안착부 ; 및
    상기 안착부 아래에서 상기 안착부를 지탱하며, 실린더를 이용하여 상기 안착부를 상승 및 하강시키는 지지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 부착장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190101106A (ko) * 2018-02-22 2019-08-30 에스케이하이닉스 주식회사 라미네이팅 장치 및 방법
KR20230076358A (ko) 2021-11-24 2023-05-31 주식회사 두오텍 다이싱 테이프 마운터 장치

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