KR20100091645A - 잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및 가스충전장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및 가스충전장치에 관한 것으로, 회수가 필요한 통상의 가스용기를 뒤집어 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 신속하게 회수하고, 충전용 가스탱크와 연결하여 가스를 충전할 수 있도록 하는데 그 목적 및 효과가 있다.
본 발명은 액체가스로 잔존하는 회수가 필요한 통상의 가스용기로부터 가스를 신속하게 회수하고 충전하기 위하여 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하고, 회전모터를 이용하여 회전시켜 고정된 가스용기를 뒤집어 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하며, 잔여가스 회수가 종료되면 퍼지용 가스를 흘려 깨끗하게 제거하고, 회수된 가스용기를 회전모터를 이용하여 바로 세워서 충전용 가스탱크로부터 가스를 충전하며, 충전종료를 확인하기 위하여 가스용기의 하부에 설치된 저울로 무게를 측정하여 디지털 표시패널에 표시하도록 구성되어 있다.
잔여가스회수방법, 잔여가스회수장치, 가스충전장치

Description

잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및 가스충전장치{The Residue Gas Recovery and Charging Method and, the Residue Gas Recovery Apparatus and the Gas Charging Apparatus}
본 발명은 반도체 및 산업용 가스를 공급하는 통상의 가스용기에서 액체가스로 잔존하는 가스를 신속하게 회수하고 필요한 가스를 충전하기 위하여, 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 설계 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하고, 가스회수 및 충전대에 고정된 가스용기를 회전모터로 회전시켜 일정각도로 뒤집어 회수라인을 가스회수탱크에 연결하여 액체 상태로 존재하는 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하고, 회수가 종료된 후 퍼지용 가스(N2, He, Ar 등 불활성가스)를 흘려 가스용기를 깨끗하게 세척하며, 세척된 가스용기를 회전모터를 이용하여 바로 세워서 충전용 가스탱크와 연결하여 필요한 가스를 충전하고, 회수 및 충전이 이루어지고 있는지 또는 회수 및 충전이 완료되었는지를 확인하기 위하여 용기의 하부에 설치된 저울로 가스용기의 무게를 측정하여 디지털 표시패널에 표시되도록 설계 제작된 잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및 가스충전장치에 관한 것 이다.
종래의 관련 기술들은 충전용 가스탱크로부터의 가스용기에 가스를 충전하는 작업 및 충전이 필요한 통상의 가스용기로부터 잔여가스의 회수를 수행함에 있어서, 각각 별도로 진행하므로 작업효율이 떨어지고, 회수 및 충전을 위한 작업시간이 많이 소요되는 문제점과 이에 따라 작업자들의 인건비가 많이 소요되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 충전방식은 가스용기를 세워진 상태에서 온도를 높여 기화시켜 압력의 증가에 의하여 가스용기 속에 잔존하는 가스를 회수하거나 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 잔여가스를 회수하므로 회수시간이 많이 소요되어 가스의 회수 및 충전비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 반도체 및 산업용 가스를 공급하기 위하여 가스용기를 견고하게 고정하여 일정각도로 회전할 수 있는 가스회수 및 충전대를 구비하고, 액체가스로 잔존하는 가스용기로부터 가스를 신속하게 회수하고 신속하게 충전할 수 있도록 하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 가스회수 및 충전대에 잔여가스 회수 및 충전을 위하여 가스용기를 견고하게 부착 고정하며, 고정된 가스용기를 일정각도로 회전시켜 용이하게 뒤집을 수 있도록 회전모터의 기어와 체결되는 감속기어를 구비하여 회전모터의 용량을 줄이면서 회전력을 증가시킬 수 있도록 설계 제작하고, 신속하고 안전하게 잔여가스를 회수하고 충전하는 작업을 동시에 이루어 작업시간 및 인건비를 최소화하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 가스용기의 상부에 잔여가스의 회수 및 가스 충전을 위한 배관(라인)을 일체로 설계 제작하여 하나의 메인라인으로부터 분지시켜 퍼지라인, 회수라인, 충전라인 및 분석라인으로 구성하고, 각각의 라인에 가스제어밸브를 설치하여 작업자들이 간단하게 가스용기와 연결하여 가스회수 및 충전을 동시에 이룰 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 과제 해결 수단은 반도체 및 산업용 가스를 공급하는 통상의 가스용기에서 액체가스로 잔존하는 가스를 신속하게 회수하고 필요한 가스를 충전하기 위하여, 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 설계 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하고, 가스회수 및 충전대에 고정된 가스용기를 회전모터로 회전시켜 일정각도로 뒤집어 회수라인을 가스회수탱크에 연결하여 액체 상태로 존재하는 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하고, 회수가 종료된 후 퍼지용 가스(불활성가스)를 주입하여 가스용기를 깨끗하게 세척하며, 세척된 가스용기를 가스회수 및 충전대의 회전모터를 이용하여 바로 세워서 충전용 가스탱크와 연결하여 필요한 가스를 충전하고, 회수 및 충전이 이루어지고 있는지 또는 회수 및 충전이 완료되었는지를 확인하기 위하여 가스용기의 하부에 설치된 저울로 가스용기의 무게를 측정하여 디지털 표시패널에 표시되도록 설계 제작된 잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및/또는 가스충전장치를 구현하는데 있다.
본 발명의 또 다른 과제 해결 수단은 가스회수 및 충전대에 잔여가스 회수 및 충전을 위하여 가스용기 고정용 부재가 부착된 유압실린더로 가스용기를 견고하게 고정하고, 안전성을 높이기 위하여 가스용기 고정용 밴드를 가스회수 및 충전대에 고정 설치하며, 고정된 가스용기를 일정각도로 용이하게 회전시켜 뒤집을 수 있도록 회전모터의 회전축에 설치된 기어와 가스회수 및 충전대의 회전축에 설치된 감속기어가 서로 맞물려 회전하도록 구성하므로 가스회수 및 충전대의 회전력이 증대된 잔여가스회수장치 및/또는 가스충전장치를 구현하는데 있다.
본 발명의 또 다른 과제 해결 수단은 가스용기의 상부에 잔여가스의 회수 및 가스를 충전하기 위한 배관을 일체로 설계 제작하여 하나의 배관이 가스용기와 체 결되고, 하나의 배관으로부터 분지되어 퍼지라인, 회수라인, 충전라인 및 분석라인이 설치되며, 각각의 라인에는 가스 공급을 제어할 수 있는 가스제어밸브를 설치하여 잔여가스의 회수, 가스 충전 및 오염물질의 유입여부를 분석하기 위한 각각의 작업을 수행하기 위한 해당밸브를 개폐할 수 있도록 설계 제작되어 작업자들이 용이하고 편리하게 사용할 수 있는 잔여가스회수장치와 가스충전장치를 구현하는데 있다.
본 발명은 반도체 및 산업용 가스를 공급하기 위하여 가스용기를 견고하게 고정하여 일정각도로 회전할 수 있는 가스회수 및 충전대를 구비하고, 액체가스로 잔존하는 회수가 필요한 가스용기로부터 가스를 신속하게 회수하고 신속하게 충전할 수 있는 작용효과가 있다.
본 발명의 또 다른 효과는 가스회수 및 충전대에 잔여가스 회수 및 충전을 위하여 가스용기를 견고하게 부착 고정하며, 고정된 가스용기를 일정각도로 회전시켜 용이하게 뒤집을 수 있도록 회전모터의 기어와 체결되는 감속기어를 구비하여 회전모터의 용량을 줄이면서 회전력을 증가시킬 수 있도록 설계 제작하고, 신속하고 안전하게 잔여가스를 회수하고 충전하는 작업을 동시에 이루어 작업시간 및 인건비를 최소화하는데 있다.
본 발명의 또 다른 효과는 가스용기의 상부에 잔여가스의 회수 및 가스 충전을 위한 배관(라인)을 일체로 설계 제작하여 하나의 메인라인으로부터 분지시켜 퍼지라인, 회수라인, 충전라인 및 분석라인으로 구성하고, 각각의 라인에 가스제어밸 브를 설치하여 작업자들이 간단하게 가스용기와 연결하여 가스회수 및 충전을 동시에 이룰 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용에 대하여 살펴본다. 본 발명은 반도체 및 산업용 가스를 공급하는 통상의 가스용기에서 액체가스로 잔존하는 가스를 신속하게 회수하고 필요한 가스를 충전하기 위하여, 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 설계 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하고, 가스회수 및 충전대에 고정된 가스용기를 회전모터로 회전시켜 일정각도로 뒤집어 회수라인을 가스회수탱크에 연결하여 액체 상태로 존재하는 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하고, 회수가 종료된 후 퍼지용 가스(불활성 가스)를 주입하여 잔여가스를 제거하여 가스용기를 깨끗하게 세척하며, 세척된 가스용기를 회전모터를 작동시켜 바로 세워서 충전용 가스탱크와 충전라인으로 연결하여 필요한 가스를 충전하고, 회수 및 충전이 이루어지고 있는지 또는 회수 및 충전이 완료되었는지를 확인하기 위하여 용기의 하부에 설치된 저울로 가스용기의 무게를 측정하여 디지털 표시패널에 표시되도록 설계 제작된 잔여가스회수장치 및/또는 가스충전장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 잔여가스회수방법은 반도체 및 산업용 가스를 공급하기 위하여 회수되는 가스용기로부터 잔존하는 액체가스를 신속하게 회수하고 신속하게 충전하기 위하여, 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 설계 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하는 단계를 거쳐 서, 가스회수 및 충전대에 고정된 하나 이상의 가스용기를 일정각도로 뒤집어 회수 및 충전라인을 연결하여 회수에 필요한 제어밸브를 열어서 액체 상태로 존재하는 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하는 단계를 거치고, 퍼지라인에 설치된 가스제어밸브를 열어서 퍼지용 가스를 가스용기로 주입하여 잔여가스를 최대한 깨끗하게 제거하는 단계로 이루어진 잔여가스회수방법을 제공하는데 있다.
상기 잔여가스회수방법에 의하여 잔여가스가 회수된 가스용기는 가스회수 및 충전대와 체결된 회전모터를 작동시켜 가스용기를 바로 세워서 충전용 가스탱크와 연결된 해당 가스제어밸브를 열어서 가스를 충전하는 단계 및/또는 상기 가스용기에 충전된 가스의 순도를 측정하기 위하여 분석라인을 연결하여 가스의 순도를 측정하는 단계를 더 부가하여 이루어진 잔여가스회수 및 가스충전방법을 제공하는데 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예의 구성과 작용을 설명하며, 도면에 도시되고 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나 이상의 실시 예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해 상기한 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성, 조성물의 혼합비 및 작용이 제한되지는 않는다.
본 발명의 이해를 용이하게 하는 도면을 살펴본다. 도1은 본 발명에 따라 설계 제작된 가스회수 및 충전대의 측면도이며, 도2는 본 발명에 따라 설계 제작된 가스회수 및 충전대의 정면도이다. 도3은 표1의 데이터를 도표로 나타낸 것이며, 도4는 표2의 데이터를 도표로 나타낸 것이다. 본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 살펴본다.
[실시 예]
본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 도면에 기초하여 살펴본다. 도1은 본 발명에 따라 설계 제작된 가스회수 및 충전대의 측면도이며, 가스용기가 일정각도로 뒤집어진 상태(접선을 표시되어 있음)와 똑바로 세워진 형태를 도시한 것이다.
도2는 회수된 가스용기를 가스회수 및 충전대(14)에 견고하게 고정하고 가스용기(11)에 남은 잔여가스를 회수하고, 가스용기(11)에 가스를 충전하기 위하여 필요한 퍼지라인(33), 충전라인(34), 회수라인(35) 및 분석라인(36)이 메인라인(30)에서 분지되어 연결되며, 회수라인(35) 상에는 회수를 위한 회수펌프 또는 진공장치(43)가 설치되며, 회수를 위하여 가스용기(11)를 일정각도로 뒤집기 위하여 회전축(13)을 회전시키는 회전모터(31)를 동작하기 위한 제어판(44)을 구비한 도면을 도시한 것이다.
종래에는 충전용 가스탱크로부터의 가스를 충전하는 작업 및 충전이 필요한 가스용기로부터 가스의 회수를 수행함에 있어서 각각 별도로 진행하므로 작업효율이 떨어지고, 회수 및 충전을 위한 작업시간이 많이 소요되는 문제점과 작업자들의 인건비가 많이 소요되는 문제점이 있었다.
종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 잔여가스회수 및 가스충전장치의 기술적 구성에 대하여 구체적으로 살펴본다.
통상적으로 반도체 및 산업용 가스를 공급하기 위하여 일정 크기의 가스용기에 가스를 충전한 후 공급하고, 가스용기의 가스가 소모되어 충전이 필요할 경우에 가스용기를 회수하여 가스용기 속에 잔존하는 액체가스를 회수펌프 또는 진공장치(43)를 이용하여 회수하나, 회수에 소요되는 시간이 65분내지 80분 정도가 소요되므로 회수 및 충전에 걸리는 시간 및 인건비가 많이 소요된다.
본 발명은 가스용기로부터 잔여가스를 신속하게 회수하기 위하여 통상의 가스용기를 일정각도로 뒤집거나 완전히 뒤집어서 회수펌프 또는 진공장치(43)를 이용하여 잔여가스를 회수하므로 2분 내지 7분 내에 신속하게 회수할 수 있으므로 회수 및 충전에 걸리는 시간 및 인건비를 크게 줄일 수 있다.
본 발명을 이루기 위하여 가스회수 및 충전대(14)에는 가스용기를 견고하게 고정하여 회전시키기 위하여 가스용기 고정대(12)가 회전축(도2의 46)에 고정 설치되며, 가스용기 고정대(12)의 전면에는 둥근 형상의 홈이 하나 또는 두 개 이상 형성되고, 형성된 홈에 가스회수가 필요한 가스용기를 하나 이상 삽입 고정하여 유압실린더(도2의 37) 및/또는 고정용 밴드(도2의 45)로 견고하게 고정하도록 구성되어 있다. 상기 유압실린더(도2의 37) 및/또는 고정용 밴드(도2의 45)는 도2에서와 같이 가스용기 고정대(12)에 부착 설치되어 있다. 상기 유압실린더(도2의 37)는 가스용기 고정용 부재(도2의 39)와 체결되어 가스용기를 견고하게 고정할 수 있도록 구성되어 있으며, 하나의 가스용기에 하나 또는 2개 이상을 가스용기 고정용 부재(도2의 39)를 설치하여 가스용기(11)를 견고하게 잡아주도록 설계 제작할 수 있다.
하나이상의 가스용기를 고정할 수 있도록 설계 제작된 가스용기 고정대(12)는 도1에서와 같이 잔여가스의 회수를 위하여 일정각도로 뒤집기 위하여 회전모터(도2의 31)에 의하여 회전하는 회전축(도2의 46)에 견고하게 고정 설치되어 있다. 가스용기 고정대(12)가 고정된 회전축(도2의 46)의 일측 가장자리에는 감속기어(도2의 32)가 고정 설치되어 회전모터(도2의 31)의 회전축에 고정 설치된 기어(도2의 38)와 맞물려 회전하도록 설계 제작하므로 작은 용량의 회전모터로 큰 회전력을 얻을 수 있고, 회전모터의 회전수를 감소시켜 안전성을 높이는 역활을 한다.
상기 가스용기 고정대(12)를 회전시키기 위한 회전축을 회전시키는 구성은 감속기어를 회전모터의 회전축에 설치된 기어와 맞물려 회전하도록 구성하거나 또 다른 다양한 형태로 회전모터의 회전력을 가스용기 고정대(12)의 회전축에 전달하여 회전시킬 수 있으며, 또한 작업자가 수동으로 회전시킬 수 있도록 구성할 수 있다.
즉, 본 발명은 가스용기를 고정할 수 있도록 제작된 가스용기 고정대(12)를 구비하며, 상기 가스용기 고정대(12)와 체결되어 가스용기를 지지할 수 있도록 제작된 가스회수 및 충전대(14)와, 상기 가스용기 고정대(12)와 체결되어 가스용기에 남은 잔여가스를 회수하기 위하여 상기 가스용기 고정대(12)를 회전시켜 뒤집을 수 있도록 제작된 회전축을 구비하고, 상기 가스용기와 체결되어 가스를 회수하기 위하여 회수라인 일측에 설치되어 회수탱크로 가스를 회수하기 위한 회수펌프 또는 진공장치를 구비하며, 상기 잔여가스의 회수가 종료된 가스용기를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜 세우고, 충전용 가스탱크로부터 가스를 가스용기에 충전할 수 있는 충전라인 및 충전가스제어밸브를 구비한 구성이면 본 발명의 보호범위에 속한다.
본 발명은 하나이상의 가스용기를 고정할 수 있도록 설계 제작된 가스용기 고정대(12)에 고정된 가스용기의 잔여가스를 회수하고 충전하는 작업을 신속하고 효율적으로 수행하기 위하여 가스용기의 주입구와 체결된 메인라인(도2의 30)에 가스제어밸브(도2의 47)를 설치하고, 도2에서와 같이 메인라인(도2의 30)에서 분지된 퍼지라인(33), 충전라인(34), 회수라인(35) 및 분석라인(36) 상에도 각각의 라인으로 흐르는 가스를 제어할 수 있는 가스제어밸브(도2의 48, 50, 49, 51)가 설치되어 있다. 상기 분석라인(36) 일측에는 분석용 가스제어밸브(도2의 51)를 설치하여 가스용기에 충전된 가스의 순도 및 가스용기 내부의 가스 상태를 분석기와 연동하여 측정할 수 있도록 구성할 수 있다. 상기 라인들과 라인에 설치되는 가스제어밸브는 작업자들의 작업을 용이하게 하고 시간을 절약할 수 있도록 일체로 제작하여 가스용기와 체결할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.
상기 라인들은 통상적으로 가스공급에 사용되는 호스 또는 금속배관을 이용하여 제작되며, 가스용기로부터 잔여가스를 회수할 경우에는 가스용기가 고정된 가스용기 고정대(12)를 도1에서와 같이 회전모터를 동작시켜 뒤집고, 메인가스제어밸브(도2의 47)와 회수용 가스제어밸브(도2의 49)를 열어서 회수펌프 또는 진공장치(43)를 가동하여 신속하게 회수탱크로 잔여가스를 회수하고, 그 다음은 회수용 가스제어밸브(도2의 49)를 닫고, 메인가스제어밸브(도2의 47)와 퍼지용 가스제어밸브(도2의 48)를 열어서 퍼지용 가스를 가스용기로 주입하여 가스용기를 깨끗하게 청소를 할 수 있도록 구성되어 있다. 도2의 40은 회수라인이며, 이는 도2의 상부에 위치한 35 회수라인과 연결된다. 도2의 41은 퍼지라인이며, 이는 도2의 상부에 위치한 33 퍼지라인과 연결된다.
가스용기에 남은 잔여가스를 회수하고 퍼지용 가스(불활성 가스)를 주입하여 잔여가스를 제거하여 세척을 마친 가스용기는 회전모터(31)를 동작시켜 가스용기를 바로 세우고, 메인가스제어밸브(도2의 47)와 충전용 가스제어밸브(도2의 49)를 열어서 충전용가스탱크로부터 가스용기에 충전시키며, 충전의 종료는 가스용기의 하부에 위치한 저울로 무게를 측정하여 제어판 일측에 설치된 디지털 표시패널에 표시된 수치를 확인함에 의하여 이루어지거나 저울과 연동하도록 제작된 부저가 울리거나 및/또는 LED에 불이 켜지도록 구성할 수 있다.
상기 제어판(도2의 44)에는 회전모터(하나의 예로 전기모터)를 동작시키기 위한 제어버튼, 회수펌프 또는 진공장치를 제어하기 위한 제어버튼, 각각의 가스제어밸브를 제어하는 제어버튼 및/또는 디지털표시패널 등이 설치되어 작업자들이 용이하게 회수 및 충전을 위하여 장치를 제어할 수 있도록 구성되어 있다.
본 발명의 가스용기가 위치하는 가스용기 고정대(12)에 형성된 홈의 내측은 고무 또는 마찰력이 우수한 재질을 부착 설치하고 가스용기를 유압실린더로 밀어서 견고하게 고정하여 안전사고를 예방할 수 있도록 구성할 수도 있다.
본 발명에 따른 잔여가스회수 방법은 반도체 및 산업용 가스를 공급하기 위하여 회수되는 가스용기로부터 신속하게 회수하고 충전하기 위하여 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 설계 제작된 가스회수 및 충전대(14)에 가스회수가 필요한 가스용기를 가스용기 고정대(12)에 형성된 홈에 견고하게 고정하는 단계를 거쳐서, 가스회수 및 충전대에 고정된 가스회수가 필요한 하나 이상의 가스용기를 일정각도로 뒤집어 회수 및 충전라인을 연결하여 회수에 필요한 제어밸브를 열어서 액체 상태로 존재하는 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하는 단계를 거치고, 퍼지라인의 밸브를 열어서 퍼지용 가스를 가스용기로 주입하여 잔여가스를 최대한 깨끗하게 제거하는 단계로 이루어진다.
또한, 상기 잔여가스회수방법에 의하여 잔여가스가 회수된 가스용기는 가스회수 및 충전대와 체결된 회전모터를 작동시켜 가스용기를 바로 세워서 충전용 가스탱크와 연결된 충전라인에 설치된 가스제어밸브를 열어서 가스를 충전하는 단계 및/또는 상기 가스용기에 충전된 가스의 순도를 측정하기 위하여 분석라인을 연결하여 가스의 순도를 측정하는 단계를 더 부가하여 이루어진다.
보다 구체적인 실시 예로, NH3 10kg가 들어 있는 가스용기로부터 가스를 회수하는 실험을 종래의 방법인 가스용기가 세워진 상태에서 수행한 결과와 본 발명에 따른 가스회수 및 충전대(14)에 가스용기를 위치시키고, 도1에서와 같이 가스용기를 일정각도로 뒤집어 기울어진 상태에서 실시하였으며, 각각 동일한 회수펌프를 사용하여 회수하였고, 정확한 실험을 위하여 회수 전과 후는 가스용기의 하부에 설치된 저울로 가스용기의 무게를 측정하여 확인하면서 실험을 수행하였다. 표1은 실험을 수행한 결과를 나타낸 것이며, 표1에서 1은 세워진 상태를 나타내고, 2는 본 발명을 이용하여 가스회수 및 충전대(14)에 가스용기를 위치시키고 도1에서와 같이 회전시켜 기울어진 상태에서 회수를 수행한 것을 나타낸 것이다.
표1. NH3 10kg가 들어 있는 가스용기로부터 가스를 회수하데 걸리는 시간
Figure 112009008385502-PAT00001
도3은 표1의 데이터를 도표로 도시한 것으로, 가스용기를 세워서 회수할 경우보다 본 발명에 따라 가스용기를 뒤집어 기울어진 상태에서 회수하는 시간이 훨씬 짧음을 알 수 있다.
다음은 Cl2 10kg가 남은 가스용기로부터 가스를 회수하는 실험을 종래의 방법인 가스용기가 세워진 상태에서 수행한 결과와 본 발명에 따른 가스회수 및 충전대(14)에 가스용기를 위치시키고, 도1에서와 같이 가스용기를 일정각도로 뒤집어 기울어진 상태에서 실시하였으며, 각각 동일한 회수펌프를 사용하여 회수하였고, 정확한 실험을 위하여 회수 전과 후는 가스용기의 하부에 설치된 저울로 가스용기의 무게를 측정하여 확인하면서 실험을 수행하였다. 표2는 실험을 수행한 결과를 나타낸 것이며, 표2에서 1은 세워진 상태를 나타내고, 2는 본 발명을 이용하여 가스회수 및 충전대(14)에 가스용기를 위치시키고 회전시켜 기울어진 상태에서 회수를 수행한 것을 나타낸 것이다.
표2. Cl2 10kg가 남은 가스용기로부터 가스를 회수하데 걸리는 시간
Figure 112009008385502-PAT00002
도4는 표2의 데이터를 도표로 도시한 것으로, 가스용기를 세워서 회수할 경우보다 본 발명에 따라 가스용기를 뒤집어 기울어진 상태에서 회수하는 시간이 훨씬 짧음을 알 수 있다.
본 발명은 반도체 및 산업용 가스를 공급하는 통상의 가스용기에서 액체가스로 잔존하는 가스를 신속하게 회수하고 필요한 가스를 충전하기 위하여, 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 설계 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하고, 가스회수 및 충전대에 고정된 가스용기를 회전모터로 회전시켜 일정각도로 뒤집어 회수라인을 가스회수탱크에 연결하여 액체 상태로 존재하는 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하고, 회수가 종료된 후 퍼지용 가스를 흘려 가스용기를 깨끗하게 세척하며, 세척된 가스용기를 가스회수 및 충전대의 회전모터를 이용하여 바로 세워서 충전용 가스탱크와 연결하여 필요한 가스를 충전하고, 회수 및 충전이 이루어지고 있는지 또는 회수 및 충전이 완료되었는지를 확인하기 위하여 용기의 하부에 설치된 저울로 가스용기의 무게를 측정하여 디지털 표시패널에 표시되도록 설계 제 작된 잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및/또는 가스충전장치를 제공하여 가스용기로부터 가스를 회수하고 충전하는데 걸리는 작업시간 및 인건비를 크게 절약할 수 있으므로 산업상 이용가능성이 매우 높다.
도1 : 본 발명에 따라 설계 제작된 가스회수 및 충전대의 측면을 나타낸 도면
도2 : 본 발명에 따라 설계 제작된 가스회수 및 충전대의 정면을 나타낸 도면
도3 : 표1의 데이터를 도표로 도시한 도면
도4 : 표2의 데이터를 도표로 도시한 도면
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
11; 가스용기 12; 가스용기 고정대
13; 회전축 14; 가스회수 및 충전대
15; 저울 16; 고정용 밴드
17; 유압실린더 18; 가스용기 고정용 부재
19; 가스 회수시 가스용기의 상태 30; 메인라인
31; 회전모터 32; 감속기어
33; 퍼지라인 34; 충전라인
35; 회수라인 36; 분석라인
37; 유압실린더(도1의 17에 해당)
38; 회전축에 고정 설치된 기어(감속기어와 체결됨)
39; 가스용기 고정용 부재(도1의 18에 해당함)
40; 회수라인(35번 회수라인과 연결됨)
41; 퍼지라인(33번 퍼지라인과 연결됨)
42; 저울(도1의 15에 해당함) 43; 회수펌프 또는 진공장치
44; 제어판 45; 고정용 밴드
46; 회전축 47; 메인가스제어밸브
48; 퍼지용 가스제어밸브 49; 회수용 가스제어밸브
50; 충전용 가스제어밸브 51; 분석용 가스제어밸브

Claims (10)

  1. 가스용기로부터 잔여가스를 회수하기 위한 가스회수장치에 있어서,
    하나 이상의 가스용기를 고정할 수 있도록 제작된 가스용기 고정대를 구비하며, 상기 가스용기 고정대와 체결되어 가스용기를 지지할 수 있도록 제작된 가스회수 및 충전대;
    상기 가스회수 및 충전대에 설치되며, 가스용기 고정대와 체결되어 가스용기에 남은 잔여가스를 회수하기 위하여 가스용기 고정대를 회전시켜 뒤집을 수 있도록 제작된 회전축; 및
    상기 가스용기와 체결되어 가스를 회수하기 위하여 회수라인 일측에 설치되어 회수탱크로 가스를 회수하기 위한 회수펌프 또는 진공장치를 구비한 잔여가스회수장치.
  2. 가스용기로부터 잔여가스를 회수 및 충전하기 위한 가스회수 및 가스충전장치에 있어서,
    하나 이상의 가스용기를 고정할 수 있도록 제작된 가스용기 고정대를 구비하며, 상기 가스용기 고정대와 체결되어 가스용기를 지지할 수 있도록 제작된 가스회수 및 충전대;
    상기 가스회수 및 충전대에 설치되며, 가스용기 고정대와 체결되어 가스용기에 남은 잔여가스를 회수하기 위하여 가스용기 고정대를 회전시켜 뒤집을 수 있도 록 제작된 회전축;
    상기 가스용기와 체결되어 가스를 회수하기 위하여 회수라인 일측에 설치되어 회수탱크로 가스를 회수하기 위한 회수펌프 또는 진공장치; 및
    상기 잔여가스의 회수가 종료된 가스용기를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜 세우고, 충전용 가스탱크로부터 가스를 가스용기에 충전할 수 있는 충전라인 및 충전가스제어밸브를 구비한 잔여가스회수 및 가스충전장치.
  3. 청구항1에 있어서,
    상기 회전축 일측에는 회전모터의 회전력을 증가시키고 회전모터의 회전속도를 감속하기 위한 감속기어가 설치되며,
    상기 감속기어는 회전모터의 회전축에 설치된 기어와 맞물려 체결됨을 특징으로 하는 잔여가스회수장치.
  4. 청구항1에 있어서,
    상기 가스회수 및 충전대에는 가스용기를 견고하게 삽입 고정하기 위하여 하나 또는 두 개 이상 형성된 둥근 홈;
    상기 둥근 홈에 들어간 가스용기가 뒤집어 회전할 때에도 이동하지 않도록 가스용기 고정용 부재와 체결되어 견고하게 밀착 고정하기 위하여 가스용기 고정대 일측에 하나 이상 설치된 유압실린더; 및
    가스용기를 견고하게 고정하여 안전성을 높이기 위하여 가스용기 고정대 일 측에 설치된 가스용기 고정용 밴드를 구비한 잔여가스회수장치.
  5. 청구항4에 있어서,
    상기 가스회수장치에는 잔여가스를 회수라인을 통해서 회수하고, 가스용기에 남은 잔여가스를 깨끗하게 제거하기 위하여 퍼지용 가스를 가스용기로 주입하기 위한 퍼지라인을 더 구비한 잔여가스회수장치.
  6. 청구항2에 있어서,
    상기 회전축 일측에는 회전모터의 회전력을 증가시키고 회전모터의 회전속도를 감속하기 위한 감속기어가 설치되며,
    상기 감속기어는 회전모터의 회전축에 설치된 기어와 맞물려 체결되고,
    가스용기 상부에는 가스회수 및 충전을 위하여 메인라인이 설치되며,
    상기 메인라인에서 분지하여 회수라인, 퍼지라인, 충전라인 및 분석라인이 설치되고,
    상기 메인라인 일측에는 가스제어밸브가 설치되고, 회수라인 일측에는 회수용 가스제어밸브가 설치되며, 퍼지라인 일측에는 퍼지용 가스를 제어하기 위한 퍼지용 가스제어밸브가 설치되고, 분석라인 일측에는 분석용 가스를 제어하기 위한 분석용 가스제어밸브가 설치되어 가스용기에 충전된 가스의 순도 및 가스용기 내부의 가스 상태를 측정할 수 있도록 제작된 잔여가스회수 및 가스충전장치.
  7. 청구항6에 있어서,
    상기 가스회수장치에는 회전모터, 회수펌프 또는 진공장치, 메인가스제어밸브, 회수용 가스제어밸브, 퍼지용 가스제어밸브 및 분석용 가스제어밸브를 제어하기 위한 제어버튼과 디지털 표시패널이 설치된 제어판을 더 구비한 잔여가스회수 및 가스충전장치.
  8. 가스용기로부터 잔여가스를 회수하는 잔여가스회수 방법에 있어서,
    가스용기로부터 잔존하는 액체가스를 신속하게 회수하기 위하여 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하는 단계;
    가스회수 및 충전대에 고정된 하나 이상의 가스용기를 일정각도로 뒤집어 회수라인을 연결하여 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 회수하는 단계; 및
    퍼지라인을 이용하여 퍼지용 가스를 가스용기로 주입하여 잔여가스를 깨끗하게 제거하는 단계로 이루어진 잔여가스를 회수하는 잔여가스회수 방법.
  9. 가스용기로부터 잔여가스를 회수하는 잔여가스회수 및 충전방법에 있어서,
    가스용기로부터 잔존하는 액체가스를 신속하게 회수하기 위하여 회전모터와 연결되어 가스용기를 회전할 수 있도록 제작된 가스회수 및 충전대에 가스회수가 필요한 가스용기를 견고하게 고정하는 단계;
    가스회수 및 충전대에 고정된 하나 이상의 가스용기를 일정각도로 뒤집어 회수라인을 연결하여 잔여가스를 회수펌프 또는 진공장치를 이용하여 회수탱크로 신속하게 회수하는 단계;
    퍼지라인을 이용하여 퍼지용 가스를 가스용기로 주입하여 잔여가스를 깨끗하게 제거하는 단계; 및
    가스회수 및 충전대와 체결된 회전모터를 작동시켜 가스용기를 바로 세워서 충전용 가스탱크로부터 가스를 충전하는 단계를 구비한 잔여가스회수 및 가스충전방법.
  10. 청구항9에 있어서,
    상기 가스용기에 충전된 가스의 순도를 측정하기 위하여 분석라인을 연결하여 가스의 순도 및 가스 상태를 측정하는 단계를 더 구비한 잔여가스회수 및 가스충전방법.
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