KR20100084120A - Coreless linear motor armature and coreless linear motor - Google Patents

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KR20100084120A
KR20100084120A KR1020100000816A KR20100000816A KR20100084120A KR 20100084120 A KR20100084120 A KR 20100084120A KR 1020100000816 A KR1020100000816 A KR 1020100000816A KR 20100000816 A KR20100000816 A KR 20100000816A KR 20100084120 A KR20100084120 A KR 20100084120A
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가즈야 와타나베
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

PURPOSE: A coreless linear motor armature and a coreless linear motor are provided to obtain the identical coefficient of thermal expansion by forming a protrusion with the same material as a molding resin. CONSTITUTION: An armature coil is composed of a plurality of core lines. Cans(2a, 2b) cover the armature coil. A coolant channel is formed between the armature coil and the cans. A coolant passes through the coolant channel and compulsorily cools the surface of the core lines. A molding resin(7) fills a space between coil lines. A flow path narrowing unit partially narrows the cross section of a flow path to the flowing direction of the coolant.

Description

코어리스 리니어 모터 전기자 및 코어리스 리니어 모터{CORELESS LINEAR MOTOR ARMATURE AND CORELESS LINEAR MOTOR}CORELESS LINEAR MOTOR ARMATURE AND CORELESS LINEAR MOTOR

본 발명은 공작 기계, 반도체 제조 장치 및 액정 검사 장치 등에 이용되는, 추력 리플 및 낮은 발열이 요구되는 등속 운동 및 높은 정밀도의 위치 결정용 코어리스 리니어 모터에 관한 것으로, 특히 그 전기자 구조에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a coreless linear motor for constant velocity motion and high precision positioning requiring thrust ripple and low heat generation, and more particularly, to an armature structure.

도 4는 종래 기술을 나타내는 코어리스 리니어 모터의 측단면도이고, 도 5는 도 4의 코어리스 리니어 모터의 사시도이다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 그런데, 종래의 예에서는, 가동자를 구성하는 전기자의 양측에 고정자를 구성하는 계자극을 배치한 자속 관통형 구조의 가동 코일 형태의 리니어 모터의 예를 이용하여 설명한다. 4 is a side cross-sectional view of a coreless linear motor showing the prior art, and FIG. 5 is a perspective view of the coreless linear motor of FIG. 4 (see Patent Document 1, for example). By the way, in the conventional example, it demonstrates using the example of the linear motor of the movable coil type structure of the magnetic flux penetrating structure which arrange | positioned the magnetic pole which comprises the stator on both sides of the armature which comprises a movable body.

도 4에서, 1은 전기자, 2a, 2b는 캔, 3은 프레임, 4는 베이스, 5는 전기자 권선, 6은 결선 기판, 7은 몰드 수지, 8은 계자극, 9는 계자 요크, 10a 및 10b는 영구 자석, 13은 냉매 통로를 나타낸다.In Fig. 4, 1 is armature, 2a, 2b is can, 3 is frame, 4 is base, 5 is armature winding, 6 is wiring board, 7 is mold resin, 8 is field stimulus, 9 is field yoke, 10a and 10b Is a permanent magnet and 13 is a refrigerant passage.

계자극(8)은 디귿(ㄷ)자 단면을 갖는 계자 요크(9)의 양 측면의 내측에 지면과 수직 방향을 향하는 영구 자석(10a 및 10b)을 극성이 서로 다르게 복수 개를 늘어 놓아 배치한 것으로 되어 있다. 전기자(1)는 영구 자석(10a 및 10b)의 자석열과 자기적 공극을 두고 대향 배치되어 있으며, 결선 기판(6)에 정렬되어 권선되어 있는 복수의 코일 예를 갖는 전기자 권선(5)을 배치하여, 코일열와 코일열 사이에 간극부 및 표면에 몰드 수지(7)를 충진하여 고착한 것으로 되어 있다. 또한, 몰드 수지(7)와 캔(2a, 2b)과 프레임(3)으로 둘러싸인 부분에 냉매 통로(13)가 형성되어 있다.The field magnetic pole 8 is arranged by arranging a plurality of permanent magnets 10a and 10b arranged in a direction perpendicular to the ground on both sides of the field yoke 9 having a diagonal cross-section in a row with different polarities. It is supposed to be. The armature 1 is arranged to face the magnetic rows of the permanent magnets 10a and 10b with magnetic voids, and the armature windings 5 having a plurality of coils that are aligned and wound on the wiring board 6 are disposed. The mold resin 7 is filled and adhered to the gap portion and the surface between the coil train and the coil train. In addition, the refrigerant passage 13 is formed in a portion surrounded by the mold resin 7, the cans 2a and 2b, and the frame 3.

이와 같은 구성에 있어서, 리니어 모터의 전기자 권선(1)에 통전하면, 이 전기자(1)와 영구 자석(10a, 10b)의 자속의 전자기 작용에 의해, 전기자 권선(5)이 설치된 전기자(1)가 직선 방향으로 이동한다. 이때, 냉매 통로(13)의 내부에는 냉매를 공급함으로써 전기자 권선(5)을 구성하는 코일열의 표면이 강제로 냉각된다.In such a configuration, when the armature winding 1 of the linear motor is energized, the armature 1 provided with the armature winding 5 is provided by the electromagnetic action of the magnetic flux between the armature 1 and the permanent magnets 10a and 10b. Moves in a straight line direction. At this time, the surface of the coil train constituting the armature winding 5 is forcibly cooled by supplying a coolant into the coolant passage 13.

(선행 기술 문헌)(Prior art technical literature)

일본 특허 제3832556호
Japanese Patent No. 3832556

그러나, 종래의 리니어 모터는 이하의 문제가 있었다.However, the conventional linear motor has the following problems.

(1) 기계 장치의 소형화와 더불어, 리니어 모터의 장착 자세의 다양화가 요구되지만, 장착 자세의 다양화로 인해 임의의 장착 자세에 대한 냉각용 냉매를 항상 냉매 통로 내에 충진하는 것이 필요하다. 종래의 리니어 모터 전기자는 코일열을 덮는 몰드 수지와 캔의 사이에 있는 간극 전부가 냉매 통로를 구성하는 단순한 얇은 두께의 공간이므로, 그 유로의 단면적의 넓이로 인해 냉매의 흐름을 구속할 수 없다. 예를 들어, 모터의 장착 자세가 변한 경우에 냉매가 흐르지 않는 (흐름이 정지하는) 간극부가 발생하는 등의 문제가 있어서, 냉각 성능을 현저하게 저하시키는 요인이 되었다.(1) In addition to miniaturization of the mechanical device, diversification of the mounting posture of the linear motor is required, but due to the diversification of the mounting posture, it is necessary to always fill the refrigerant passage for cooling for any mounting posture in the refrigerant passage. In the conventional linear motor armature, since all of the gap between the mold resin covering the coil row and the can constitutes a refrigerant passage, the space of the cross-sectional area of the flow path cannot restrict the refrigerant flow. For example, when the mounting posture of the motor is changed, there is a problem such that a gap portion in which the refrigerant does not flow (flow stops) occurs, which is a factor that significantly lowers the cooling performance.

(2) 또한, 냉매 통로 내의 냉매를 균일하게 충진시키는 방법으로서, 냉매 통로 내부에 공급하는 냉매 유량을 크게 하는 등의 방법이 필요하지만, 냉매 유량을 크게 하면 냉매 통로 내부의 압력이 상승하여 냉매 통로가 변형되고, 다른 부재와 간섭할 가능성이 있었다. (2) In addition, as a method of uniformly filling the refrigerant in the refrigerant passage, a method of increasing the flow rate of the refrigerant supplied into the refrigerant passage is required, but when the refrigerant flow rate is increased, the pressure inside the refrigerant passage increases and the refrigerant passage is increased. Was deformed and there was a possibility of interfering with another member.

본 발명은, 이와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 모터의 장착 자세가 변화해도 모터 수지와 캔 사이에 위치하는 냉매 통로 내의 간극부에 있어서 냉매의 흐름에 따라 냉매가 고이는 부분의 발생을 억제하여 냉각 성능의 저하를 막고, 냉각 통로의 변형을 최대한 저감할 수 있는 코어리스 리니어 모터 전기자 및 코어리스 리니어 모터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem and, even when the mounting posture of the motor changes, the cooling occurs by suppressing the occurrence of the portion where the refrigerant accumulates as the refrigerant flows in the gap portion in the refrigerant passage located between the motor resin and the can. It is an object of the present invention to provide a coreless linear motor armature and a coreless linear motor capable of preventing a decrease in performance and minimizing deformation of the cooling passage as much as possible.

상기 문제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은, 복수의 코어열로 구성된 전기자 권선과, 상기 전기자 권선을 덮도록 마련된 캔과, 상기 전기자 권선과 상기 캔의 사이에 형성되어 상기 코어열의 표면을 강제 냉각하도록 냉매를 흘리는 냉매 통로를 구비한 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 전기자 권선을 구성하는 코일열과 코일열의 사이의 표면 및 간극부에 충진된 몰드 수지와, 상기 몰드 수지와 상기 캔과의 사이에 위치하고 냉매가 흐르는 방향을 향해 유로 단면적을 부분적으로 좁히는 유로 협부를 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problem, the invention described in claim 1 includes an armature winding composed of a plurality of core rows, a can provided to cover the armature winding, and formed between the armature winding and the can to provide a surface of the core row. A coreless linear motor armature having a coolant passage through which a coolant flows for forced cooling, comprising: a mold resin filled in a surface and a gap portion between a coil train and a coil train constituting the armature winding, and the mold resin and the can It is characterized in that it comprises a flow path narrowing portion which is located between and partially narrows the flow path cross-sectional area in the direction in which the refrigerant flows.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 유로 협부가 해당 몰드 수지의 표면으로부터 해당 캔의 내벽을 향해 돌출하는 돌기인 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 2 is characterized in that in the coreless linear motor armature according to claim 1, the passage narrow portion is a protrusion that protrudes from the surface of the mold resin toward the inner wall of the can.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 돌기가 평면적으로 볼 때, 상기 전기자 권선과 인접하는 코일열과 코일열의 사이 또는 해당 코일열의 인접부를 따라 형성되고, 상기 냉매 통로가 평면적으로 볼 때, 코일열을 따라 길고 편평한 유로 단면 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.In the coreless linear motor armature according to claim 2, in the coreless linear motor armature according to claim 2, the projection is formed between the coil row and the coil row adjacent to the armature winding or along the adjacent portion of the coil row, and the refrigerant The passage is characterized in that it has a long and flat flow path cross-sectional shape along the coil row.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 2 또는 3에 기재된 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 돌기는 상기 몰드 수지와 동일 재료로 하는 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 4 is the coreless linear motor armature according to claim 2 or 3, wherein the protrusion is made of the same material as the mold resin.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 2 또는 3에 기재된 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 돌기를 몰드 수지와 일체 성형한 것을 특징으로 한다.Invention of Claim 5 WHEREIN: The coreless linear motor armature of Claim 2 or 3 WHEREIN: The said processus was shape | molded integrally with mold resin, It is characterized by the above-mentioned.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 2 또는 3에 기재된 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 돌기는, 상기 캔과의 사이에 끼워져 지지되어, 상기 돌기와 상기 캔과의 사이의 간극을 기밀하는 밀봉 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to the sixth aspect of the present invention, in the coreless linear motor armature of the second or third aspect, the projection is sandwiched between the can and supported, and a sealing member for hermetically sealing a gap between the projection and the can. It further comprises.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 6에 기재된 코어리스 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 밀봉 부재는 고무 탄성체인 것을 특징으로 한다.Invention of Claim 7 is the coreless linear motor armature of Claim 6 WHEREIN: The said sealing member is a rubber elastic body, It is characterized by the above-mentioned.

청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 전기자와, 상기 전기자와 자기적 공극을 두고 배치되어 있고, 서로 극성이 다른 복수의 영구 자석을 배열한 계자극을 포함하고, 상기 전기자와 상기 계자극 중 어느 한쪽을 고정자로 하고, 다른 한쪽을 가동자로 하여 상대적으로 주행하도록 한 코어리스 리니어 모터를 특징으로 한다.The invention according to claim 8 includes an armature according to any one of claims 1 to 3, a field magnetic pole arranged with a magnetic gap between the armature and a plurality of permanent magnets having different polarities, It is characterized by a coreless linear motor in which one of the armature and the field stimulus is used as a stator and the other is used as a mover.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 8에 기재된 코어리스 리니어 모터를 포함하는 장치인 것을 특징으로 한다.
The invention according to claim 9 is an apparatus including the coreless linear motor according to claim 8.

청구항 1 내지 청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 코일열을 덮는 몰드 수지와 캔과의 사이의 간극부에 몰드 수지의 표면으로부터 캔의 내벽을 향해 돌출하고 냉매가 흐르는 방향 쪽으로 유로 단면적을 부분적으로 좁히는 유로 협부를 구성하는 돌기를 마련하여, 냉매 통로의 내부에 있어서 냉매에 대한 임의의 유로를 만들어 낼 수 있으며, 또한 돌기의 형상 및 수량에 따라 냉매의 흐름을 임의로 제어하는 것이 가능하므로, 항상 냉매를 냉매 통로 내에 충진시켜 일정의 냉매를 흐르게 하는 것이 가능하다. 그 결과, 모터의 설치 자세가 변화해도 몰드 수지와 캔의 사이의 냉매 통로 내의 간극부에 있어서 냉매의 흐름에 따라 냉매가 고이는 것을 억제하고, 냉각 성능의 저하를 방지함과 더불어, 냉매 통로의 변형을 최대한 저감하는 것이 가능하다.According to the invention of Claims 1 to 3, a flow path for projecting toward the inner wall of the can from the surface of the mold resin and partially narrowing the flow path cross-sectional area in the gap portion between the mold resin covering the coil train and the can and toward the inner wall of the can. By providing projections constituting the narrow portion, an arbitrary flow path for the refrigerant can be made inside the refrigerant passage, and the flow of the refrigerant can be arbitrarily controlled in accordance with the shape and quantity of the projection, so that the refrigerant is always refrigerant. It is possible to fill a passage so that a constant refrigerant flows. As a result, even if the installation posture of the motor changes, the coolant is prevented from accumulating in accordance with the flow of the coolant in the gap portion in the coolant passage between the mold resin and the can, and the deterioration of the coolant passage is prevented. It is possible to reduce as much as possible.

청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 돌기의 재질을 몰드 수지와 동일하게 함으로써 열팽창 계수를 동일하게 할 수 있으며, 온도 상승에 동반하는 열 변형에 대해 동일한 열변형량으로 되기 때문에 돌기부에 인가되는 열응력을 최소로 억제하는 것이 가능하게 되며, 돌기의 박리 등이 잘 일어나지 않게 되어 신뢰성이 향상된다.According to the invention of claim 4, the thermal expansion coefficient can be made the same by making the material of the projection the same as that of the mold resin, and the thermal stress applied to the projection is minimized because the thermal deformation is the same for the thermal deformation accompanying the temperature rise. This can be suppressed, and the peeling of the protrusions hardly occurs and the reliability is improved.

청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 전기자 권선의 절연 및 고정을 위해 행하는 몰드 공정과 동시에 돌기를 제작할 수 있으므로 공정의 수를 줄일 수 있으며, 작업성이 개선되고 비용을 삭감할 수 있다. 또한, 몰드 형에 의해 항상 같은 위치와 크기로 돌기를 배치하는 것이 가능하게 되므로, 냉매의 흐름을 일정하게 관리하는 것이 가능하고, 열전달에 대한 제품의 편차를 억제하는 것이 가능하게 되어 신뢰성이 향상된다.According to the invention of claim 5, since the projection can be produced simultaneously with the mold process performed for insulation and fixing of the armature winding, the number of processes can be reduced, the workability can be improved, and the cost can be reduced. In addition, since the protrusions can be arranged at the same position and size at all times by the mold type, the flow of the refrigerant can be managed constantly, and the variation of the product with respect to heat transfer can be suppressed, thereby improving reliability. .

청구항 6 및 7에 기재된 발명에 의하면, 돌기와 캔을 직접 접촉시키지 않고 고무계 탄성체를 통해 구성하므로, 돌기 높이 크기의 편차에 의해 발생하는 캔에 대한 접촉 응력을 탄성체에서 흡수하는 것이 가능하므로, 캔의 변형량을 억제하는 것이 가능하게 되어, 캔의 변형에 의한 다른 부품과의 간섭을 억제할 수 있기 때문에 신뢰성이 향상된다.According to the inventions of Claims 6 and 7, since the protrusions and the cans are configured through the rubber-based elastic body, the elastic body can absorb the contact stresses caused by the deviation of the height of the protrusions. It is possible to suppress the interference, and the interference with other parts due to deformation of the can can be suppressed, so that the reliability is improved.

청구항 8 및 9에 기재된 발명에 의하면, 가동 코일형 또는 가동 자석형의 어느 모터 형태에 있어서도 임의의 방향으로 설치가 가능한 코어리스 리니어 모터를 제공하는 것이 가능하다.
According to invention of Claim 8 and 9, it is possible to provide the coreless linear motor which can be installed in arbitrary directions also in any motor form of a movable coil type or a movable magnet type.

도 1은 본 발명의 실시예를 나타내는 리니어 모터의 측단면도,
도 2는 도 1의 리니어 모터 전기자에 있어서 코일열의 표면을 덮는 몰드 수지와 돌기의 배치 관계를 도시한 사시도,
도 3은 도 2의 리니어 모터 전기자를 평면 방향으로 90도 회전한 상태(도 2의 화살표 A 방향)에서, 돌기와 캔의 사이에 탄성체를 배치한 부분을 확대한 측단면도,
도 4는 종래 기술을 도시한 리니어 모터의 측단면도,
도 5는 도 4의 코어리스 리니어 모터의 사시도이다.1 is a side cross-sectional view of a linear motor showing an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a perspective view showing an arrangement relationship between a mold resin and a protrusion covering the surface of the coil train in the linear motor armature of FIG. 1;
3 is an enlarged side cross-sectional view of a portion in which the linear motor armature of FIG. 2 is rotated 90 degrees in a planar direction (arrow A direction in FIG. 2) in which an elastic body is disposed between the protrusion and the can;
4 is a side cross-sectional view of a linear motor showing the prior art,
FIG. 5 is a perspective view of the coreless linear motor of FIG. 4. FIG.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1은 본 발명의 실시예를 나타내는 리니어 모터 전기자의 측단면도, 도 2는 도 1의 리니어 모터 전기자에 있어서 코일열의 표면을 덮는 몰드 수지와 돌기의 배치 관계를 도시한 사시도로서, 도 1, 도 2 모두 계자극의 도시를 생략하고 있다. 도 3은 도 2의 리니어 모터 전기자를 평면 방향으로 90도 회전한 상태(도 2의 화살표 A 방향)에서, 돌기와 캔의 사이에 탄성체를 배치한 부분을 확대한 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view of a linear motor armature showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the arrangement relationship between the mold resin and the projections covering the surface of the coil train in the linear motor armature of FIG. Both omit the illustration of field stimulation. FIG. 3 is an enlarged side cross-sectional view of a portion in which the linear motor armature of FIG. 2 is rotated 90 degrees in the planar direction (in the direction of arrow A in FIG. 2) in which an elastic body is disposed between the protrusion and the can.

도면에 있어서, 11a 및 11b는 몰드 수지에 마련된 돌기이고, 12는 밀봉 부재이다.In the figure, 11a and 11b are protrusions provided in mold resin, and 12 is a sealing member.

본 실시예에서는, 가동자를 구성하는 전기자의 양측에 고정자를 구성하는 계자극을 배치한 자속 관통형 구조의 가동 코일형 코어리스 리니어 모터의 예를 이용하여 설명하고 있고, 전기자의 냉각을 위해 프레임(3) 및 캔(2a, 2b)에 냉매 통로(13)를 구성하고 있다. In this embodiment, an example of a moving coil-type coreless linear motor having a magnetic flux through-type structure in which field magnetic poles constituting a stator are arranged on both sides of the armature constituting the mover is described. 3) and the refrigerant passage 13 is formed in the cans 2a and 2b.

즉, 전기자 권선(5)을 구성하는 코일열과 코일열의 사이의 표면 및 간극부에는 몰드 수지(7)를 충진하고, 몰드 수지(7)는 캔(2a, 2b)과의 사이에 위치하는 간극부에 해당 몰드 수지(7)의 표면으로부터 해당 캔(2a, 2b)의 내벽을 향해 돌출되고, 냉각 통로(13)에 있어서 냉매가 흐르는 방향으로 향하는 유로 단면적을 부분적으로 좁히는 유로 협부를 구성하는, 돌기(11a, 11b)를 형성하고 있다.That is, the mold resin 7 is filled in the surface and the gap portion between the coil train constituting the armature winding 5 and the coil train, and the mold resin 7 is located between the cans 2a and 2b. The projection which protrudes from the surface of the said mold resin 7 toward the inner wall of the said can 2a, 2b, and comprises the flow path narrowing part which narrows the flow path cross section area toward the direction which a refrigerant | coolant flows in the cooling path 13 partly. (11a, 11b) are formed.

또한, 돌기(11a, 11b)가 평면적으로 볼 때, 전기자 권선(5)과 인접하는 코일열과 코일열의 사이 또는 해당 코일열의 인접부를 따라 형성되고, 냉매 통로(13)가 평면적으로 볼 때, 코일열을 따라 길고 편평한 형상을 갖도록 되어 있고, 냉매가 돌기(11a, 11b)를 따라 일정한 방향(도 2의 화살표(B)의 방향)으로 흐르게 된다. Further, when the projections 11a and 11b are viewed in plan, the coil rows adjacent to the armature winding 5 and the coil rows are formed along or adjacent to the coil rows, and when the refrigerant passage 13 is viewed in plan, the coil rows It is designed to have a long and flat shape, and the refrigerant flows along the protrusions 11a and 11b in a constant direction (the direction of the arrow B in FIG. 2).

또한 돌기(11a, 11b)는 몰드 수지와 동일 재료로 하거나, 몰드 수지와 일체 성형하도록 구성해도 좋다.The protrusions 11a and 11b may be made of the same material as the mold resin or may be configured to be integrally molded with the mold resin.

또한 돌기(11a, 11b)는 캔(2a, 2b)과의 사이에 끼워져 지지되는 고무계 탄성체를 구비하고, 고무계 탄성체는 캔(2a, 2b)에 하중이 더해지면 압축 변형하여 돌기(11a, 11b)와 캔(2a, 2b)의 사이의 간극을 기밀하는 밀봉 부재(12)로 한다.Further, the projections 11a and 11b include a rubber-based elastic body that is sandwiched and supported between the cans 2a and 2b, and the rubber-based elastic body compresses and deforms when the load is added to the cans 2a and 2b, and the projections 11a and 11b. And the gap between the cans 2a and 2b is a sealing member 12 that is airtight.

본 발명의 실시예는 도 1, 도 2에 도시된 것과 같이, 몰드 수지(7)에 돌기를 배치한 것으로, 종래, 유로를 제어하는 것이 곤란하였던 냉매 통로 대신 유로의 제어를 가능하게 하는 구조가 되어, 모터의 임의의 설치 자세에 대해서 모터 설치가 가능하게 된다. As shown in Figs. 1 and 2, an embodiment of the present invention is provided with protrusions in the mold resin 7, and has a structure that enables control of the flow path instead of the refrigerant passage, which has conventionally been difficult to control the flow path. Thus, the motor can be mounted in any mounting posture of the motor.

또한, 돌기(11a, 11b)는 몰드 수지와 동일 재료 및 일체 성형함으로써, 열에 의한 돌기의 변형 및 응력을 완화할 수 있어, 신뢰성이 향상되며, 위치 결정이 높은 정밀도로 재현될 수 있으므로, 열저항의 편차를 억제할 수 있기 때문에 신뢰성이 향상된다. In addition, the projections 11a and 11b are formed of the same material and integrally molded with the mold resin, so that the deformation and stress of the projections due to heat can be alleviated, so that the reliability can be improved and the positioning can be reproduced with high precision. Since the deviation of can be suppressed, reliability improves.

또한, 돌기(11a, 11b)와 캔(2a, 2b)을 직접 접촉시키지 않고, 탄성체를 통하는 구성으로 함으로써, 돌기(11a, 11b)의 높이의 편차에 의해 발생하는 캔에 대한 접촉 응력을 탄성체가 흡수할 수 있으므로, 캔(2a, 2b)의 변형량을 억제하는 것이 가능하게 되어, 캔(2a, 2b)의 변형에 의해 다른 부품과의 간섭을 억제할 수 있어 신뢰성이 향상된다.In addition, the structure is configured to pass through the elastic body without directly contacting the protrusions 11a and 11b with the cans 2a and 2b, so that the elastic body has a contact stress with respect to the can caused by the deviation of the height of the protrusions 11a and 11b. Since it can absorb, it becomes possible to suppress the deformation amount of the cans 2a and 2b, and the interference with other components can be suppressed by the deformation of the cans 2a and 2b and the reliability is improved.

한편, 본 실시예에서는 고정자로 구성된 계자극을 가동자로 구성된 전기자의 양측에 배치한 자속 관통형 구조의 리니어 모터의 예를 들어 설명하였지만, 가동자를 계자극으로 하고, 전기자를 고정자로 하여 고정자의 한쪽에 배치한, 갭 대향형 구조로 바꾸어 구성하여도 좋다.On the other hand, in the present embodiment, an example of the linear motor of the magnetic flux through-type structure in which the field magnetic pole composed of the stator is arranged on both sides of the armature constituted by the mover has been described. It may be configured by changing to a gap facing structure arranged in the gap.

또한, 본 실시예에서는 돌기가 몰드 수지(7)로부터 캔(2a, 2b)의 내벽을 향해 돌출하는 예를 들어 설명하였지만, 돌기가 냉매가 흐르는 방향으로 유로 단면적을 부분적으로 좁히는 유로 협부를 구성하는 것이라면, 돌기는 캔(2a, 2b)의 내벽으로부터 몰드 수지(7)를 향해 돌출하는 구성으로 해도 좋다.In addition, in this embodiment, although the protrusion protrudes from the mold resin 7 toward the inner wall of the can 2a, 2b, it demonstrated, but the processus | protrusion constitutes the flow path narrow part which narrows a flow path cross-sectional area partially in the direction through which a refrigerant flows. If it is, the projection may be configured to protrude toward the mold resin 7 from the inner walls of the cans 2a and 2b.

또한, 전술한 실시예는 본 발명을 설명하기 위한 목적으로 설명한 것이며, 본 발명이 상술한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해진다. 또한 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서의 변경 및 변형이 본 발명의 특허청구범위에 속하는 것임은 자명하다.
In addition, the above-described embodiment is described for the purpose of illustrating the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, the scope of the present invention is defined by the appended claims. It is also apparent that changes and modifications within the scope of the present invention fall within the scope of the claims of the present invention.

(산업상 이용가능성)(Industrial applicability)

이상 설명한 것과 같이, 임의의 설치 자세에서 설치 가능한 리니어 모터를 제공할 수 있으므로, 장치의 소형화가 필요한 공작 기계, 반도체 제조 장치, 액정 검사 장치 등에 적용가능하다.
As described above, since the linear motor which can be installed in any installation posture can be provided, it can be applied to machine tools, semiconductor manufacturing apparatuses, liquid crystal inspection apparatuses, and the like which require miniaturization of the apparatus.

1 : 전기자 2a, 2b : 캔
3 : 프레임 4 : 베이스
5 : 전기자 권선 6 : 결선 기판
7 : 몰드 수지 8 : 계자극
9 : 요크 10a, 10b : 영구자석
11a, 11b : 돌기 12 : 탄성체(밀봉 부재)
13 : 냉매 통로1: Armature 2a, 2b: Can
3: frame 4: base
5 armature winding 6 wiring board
7: mold resin 8: field stimulation
9: yoke 10a, 10b: permanent magnet
11a, 11b: projection 12: elastic body (sealing member)
13: refrigerant passage

Claims (9)

복수의 코어열로 구성된 전기자 권선과,
상기 전기자 권선을 덮도록 마련된 캔과,
상기 전기자 권선과 상기 캔의 사이에 형성되어 상기 코어열의 표면을 강제 냉각하도록 냉매를 흘리는 냉매 통로와,
상기 전기자 권선을 구성하는 코일열과 코일열의 사이의 표면 및 간극부에 충진되는 몰드 수지와,
상기 몰드 수지와 상기 캔과의 사이에 위치하여, 냉매가 흐르는 방향을 향해 유로 단면적을 부분적으로 좁히는 유로 협부
를 포함하는 것을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.
An armature winding consisting of a plurality of core rows,
A can provided to cover the armature winding;
A coolant passage formed between the armature winding and the can to flow a coolant to forcibly cool the surface of the core row;
A mold resin filled in the surface and the gap portion between the coil train and the coil train constituting the armature winding;
Located between the mold resin and the can, the flow path narrow portion that partially narrows the flow path cross-sectional area in the direction in which the refrigerant flows.
Coreless linear motor armature comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 유로 협부는 해당 몰드 수지의 표면으로부터 해당 캔의 내벽을 향해 돌출하는 돌기인 것을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.
The method of claim 1,
And the passage narrowing portion is a protrusion projecting from the surface of the mold resin toward the inner wall of the can.
제 2 항에 있어서,
상기 돌기는 평면적으로 볼 때, 상기 전기자 권선과 인접하는 코일열과 코일열의 사이 또는 해당 코일열의 인접부를 따라 형성되고,
상기 냉매 통로는 평면적으로 볼 때, 코일열을 따라 길고 편평한 유로 단면 형상을 갖는 것
을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.
The method of claim 2,
The projection is formed in plan view, between the coil train and the coil train adjacent to the armature winding or along the adjacent portion of the coil train,
The refrigerant passage has a long flat passage cross-sectional shape along the coil row when viewed in plan view.
Coreless linear motor armature characterized in that.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 돌기는 상기 몰드 수지와 동일 재료로 하는 것을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.
The method of claim 2 or 3,
And said projection is made of the same material as said mold resin.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 돌기는 몰드 수지와 일체 성형된 것을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.
The method of claim 2 or 3,
And said projection is integrally molded with a mold resin.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 돌기와 상기 캔과의 사이에 끼워져 지지되어, 상기 돌기와 상기 캔과의 사이에 간극을 기밀하는 밀봉 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.The method of claim 2 or 3,
And a sealing member sandwiched between the protrusion and the can, the sealing member sealing a gap between the protrusion and the can. 제 6 항에 있어서,
상기 밀봉 부재는 고무 탄성 부재인 것을 특징으로 하는 코어리스 리니어 모터 전기자.
The method according to claim 6,
And the sealing member is a rubber elastic member.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 전기자와,
상기 전기자와 자기적 공극을 두고 배치되어 있고, 서로 극성이 다른 복수의 영구 자석을 배열한 계자극을 포함하고,
상기 전기자와 상기 계자극 중 어느 한쪽을 고정자로 하고, 다른 한쪽을 가동자로 하여 상대적으로 주행하도록 한
코어리스 리니어 모터.
The armature according to any one of claims 1 to 3,
A magnetic pole arranged in the magnetic gap with the armature, and arranged with a plurality of permanent magnets having different polarities;
One of the armature and the field stimulus is used as a stator, and the other is used as a mover so as to travel relatively.
Coreless Linear Motors.
청구항 8의 코어리스 리니어 모터를 포함하는 장치.An apparatus comprising the coreless linear motor of claim 8.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102510204B1 (en) * 2022-06-15 2023-03-16 주식회사 져스텍 Water-cooled linear motor systems

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102931769A (en) * 2011-08-12 2013-02-13 大银微系统股份有限公司 Fluid cooling mechanism of iron-core-free coil
JP5609921B2 (en) * 2012-05-30 2014-10-22 株式会社安川電機 Linear motor armature and linear motor
JP6214991B2 (en) * 2013-10-03 2017-10-18 日本航空電子工業株式会社 motor
TW201616793A (en) * 2014-10-22 2016-05-01 鴻海精密工業股份有限公司 Linear motor
CN111082614B (en) * 2019-08-02 2022-01-07 大族激光科技产业集团股份有限公司 Magnet mounting equipment for secondary stator of motor and using method thereof

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004180361A (en) * 2002-11-25 2004-06-24 Nikon Corp Linear motor and method for manufacturing the same, and stage device and aligner
JP2004260941A (en) * 2003-02-26 2004-09-16 Nikon Corp Linear motor, stage device, and aligner
WO2004091079A1 (en) * 2003-04-07 2004-10-21 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Canned linear motor armature and canned linear motor
WO2008152876A1 (en) * 2007-06-13 2008-12-18 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Canned linear motor armature and canned linear motor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102510204B1 (en) * 2022-06-15 2023-03-16 주식회사 져스텍 Water-cooled linear motor systems
WO2023243889A1 (en) * 2022-06-15 2023-12-21 주식회사 져스텍 Water-cooled linear motor system

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