KR20100067758A - 리프트 핀 승강장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의하면, 챔버 저면에 위치되어 리프트 핀을 승강하게 하는 승강부재; 및 상기 승강부재 일측에 구비되어 리프트 핀을 감싸면 챔버 측과 밀폐시키는 실링부재가 구비된 하우징;을 포함하여 이루어진다.
챔버, 리프트 핀, 승강부재, 실링

Description

리프트 핀 승강장치{Lift pin elevating apparatus}
본 발명은 리프트 핀 승강장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 목적은 리프트 핀의 진공 밀폐를 쉽게 실현할 수 있고, 구조가 간단해 유지보수 비용이 최소화할 수 있게 하는 리프트 핀 승강장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 및 LCD에 이용되는 기판은 진공챔버의 플라즈마 공정처리를 통해서 사진, 에칭, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하게 됨으로써, 이들 공정 중 공정 수행을 목적으로 하는 일 기판에 대하여 에칭, 확산, 화학기상증착 및 이에 부수적으로 수행되는 애싱 등의 공정을 수행하는 진공챔버에는 기판을 고정하기 위한 전극부 상부에 고정 위치시킨 상태에서 공정가스로 하여금 기판 상이 소정부위와 반응토록 함으로써 공정이 진행된다.
이러한 반도체 및 LCD의 진공챔버에 있어서, 기판은 외부로부터 로봇 수단에 의해 공정수행을 전극부의 상측으로 이송되고, 이어 전극부에 안착되어 공정을 수행한 후 다시 전극부로부터 승강 위치된 상태에서 로봇 수단에 인계되어 다음 공정으로 이송되게 된다. 여기서, 상술한 바와 같이, 로봇 수단으로부터 인계하는 과정 을 담당하는 기판 리프팅 장치가 구비되며, 이러한 기판 리프팅 장치에 대한 종래 기술에 대하여 첨부된 도 1을 참조하여 설명하기로 한다.
종래의 진공챔버의 기판 리프팅 장치의 구성을 살펴보면, 도 1에 도시된 바와 같이, 내부의 진공상태에서 공정처리가 이루어지는 진공챔버(10)와, 상기 진공챔버(10)내 상측에 마련되어 외부의 공정 가스가 유입되는 상부전극(12)과, 상기 상부전극(12)과 대향 된 하측에 마련되며 기판(S)이 상면에 적재되는 전극부(20)로 구성된다.
상기 기판(S)은 정전원리에 의해 상기 전극부(20)의 위치에 고정토록 설치되고, 상기 전극부(20) 상에는 환봉 형상을 갖는 리프트 핀(31)이 다수개로 형성되어 슬라이딩 승·하강 가능하게 관통 설치된다. 또한, 이들 리프트 핀(31)의 하측 단부는 전극부(20)의 내부에 구획 형성된 부위로부터 승·하강 가능하게 설치되는 핀 플레이트(32)에 고정되며, 상기 핀 플레이트(32)의 센터 부위로부터 전극부(20)의 하부로 관통하여 승·하강 가능하게 연장된 형상을 이루는 실린더 축(33)이 고정된다. 그리고 이 실린더 축(33)의 하측에 마련되어 외부의 제어신호에 따라 실린더 축(33)을 승·하강 위치하도록 하는 하나의 구동수단(30)이 구비된다.
그리고 리프트 핀의 승·하강시 진공챔버와 핀 플레이트 상에 기밀을 유지하기 위한 밸로우즈(40)가 결합 구성되어 있다.
그러나 종래의 밸로우즈의 경우 구조가 복잡하고 리프트 핀의 잦은 동작으로 인해 쉽게 손상되는 단점이 있었으며, 이로 인해 밸로우즈 유지보수 비용이 상승하는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 리프트 핀의 진공 밀폐를 쉽게 실현할 수 있고, 구조가 간단해 유지보수 비용이 최소화할 수 있게 하는 리프트 핀 승강장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 리프트 핀 승강장치는, 챔버 저면에 위치되어 리프트 핀을 승강하게 하는 승강부재; 및 상기 승강부재 일측에 구비되어 리프트 핀을 감싸면 챔버 측과 밀폐시키는 실링부재가 구비된 하우징;을 포함하여 이루어진다.
또한 상기 실링부재는 일측 단부에서 타측 단부로 갈수록 점점 확장된 형태로 구비된다.
그리고 상기 실링부재는 일측 단부에서 타측 단부로 갈수록 곡선진 형태로 점점 확장되게 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 실링부재는 베어링에 의해 지지된 상태로 구비된다.
또한 상기 실링부재는 베어링에 의해 지지된 상태로 구비되게 하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 전체 길이가 가변되는 다수개의 부재를 이용해 정반을 쉽게 정렬할 수 있게 함으로써 기판 정렬에 소요되는 시간을 단축하고 유지보수 비용을 절감할 수 있게 하는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
도 2는 본 발명의 리프트 핀 승강장치를 나타내는 측면도이며, 도 3는 도 2에 도시된 실링부재를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바에 의하면, 본 발명의 리프트 핀 승강장치는 유압 또는 공압에 의해 실린더와 실린더 로드가 동작하게 하는 승강부재(110) 내부에 리프프 핀(130) 일측이 인입된 상태로 승강부재(110) 내부에서의 동작에 의해 리프트 핀을 상하 방향으로 승강하게 하는 구조를 갖고 있으며, 상기 승강부재(110) 상단에는 상기 리프트 핀(130)의 승강시 안내하며, 챔버(미도시) 측과 리프트 핀을 밀폐시키게 하는 하우징(120)이 구비된다. 또한 상기 하우징(120) 내부에는 베어링(121)에 의해 지지되고, 리프트 핀(130) 외주면을 감싼 상태로 밀착되게 구비되는 실링부재(122)가 위치하게 되며, 상기 실링부재(122)는 일측 단부에서 타측 단부로 갈수록 점점 확장된 형태로 구비되거나 또는 일측 단부에서 타측 단부로 갈수 록 곡선진 형태로 점점 확장되게 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 실링부재는 베어링에 의해 지지된 상태로 구비된다.
즉, 상기 리프트 핀(130)은 상기 하우징(120)을 관통 삽입된 상태로 일측이 상기 승강부재(110) 내에 마련되고, 상기 하우징 내에서는 승강시 실링부재에 감싸진 상태로 베어링에 의해 안내되게 된다. 또한 상기 하우징은 챔버 저면 상에 챔버와의 사이를 밀폐시킨 상태로 구비된다. 이때 상기 실링부재는 리프트 핀을 감싼 상태여서 리프트 핀이 승강시 챔버 측과의 진공상태를 유지할 수 있게 된다. 따라서 간단한 구조를 갖고 실링부재 통해 리프프 핀과 챔버 사이를 밀폐시킬 수 있게 함으로써 리프트 핀을 통해 챔버측 진공 누수를 방지할 수 있게 된다.
여기서 상기 실링부재는 진공압, 가스, 고저온 등에서 장시간 탄성력을 가진체 형태를 유지할 수 있는 소재를 이용하는 것이 바람직하다. 이러한 소재는 통상 널리 알려진 소재를 이용할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.
도 1은 종래의 일반적인 리프트 핀 승강장치가 구비된 챔버를 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 리프트 핀 승강장치를 나타내는 측면도.
도 3는 도 2에 도시된 실링부재를 나타내는 부분 확대 단면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 승강부재 120 : 하우징
121 : 베이링 122 : 실링부재
130 : 리프트 핀

Claims (4)

  1. 챔버 저면에 위치되어 리프트 핀을 승강하게 하는 승강부재; 및
    상기 승강부재 일측에 구비되어 리프트 핀을 감싸면 챔버 측과 밀폐시키는 실링부재가 구비된 하우징;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 승강장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 실링부재는 일측 단부에서 타측 단부로 갈수록 점점 확장된 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 승강장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 실링부재는 일측 단부에서 타측 단부로 갈수록 곡선진 형태로 점점 확장되게 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 실링부재는 베어링에 의해 지지된 상태로 구비되게 하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 승강장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 실링부재는 베어링에 의해 지지된 상태로 구비되게 하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 승강장치.
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