KR20100067344A - Apparatus for removing foreign matter on surface of glass-substrate - Google Patents

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최윤옥
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삼성코닝정밀소재 주식회사
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Abstract

PURPOSE: An apparatus for removing a foreign material of glass substrate surface is provided to minimize fault by defect by removing defect on the glass substrate surface. CONSTITUTION: An apparatus(20) for removing a foreign material of glass substrate surface comprises: a transfer part(21) which transfers a glass substrate and a removing part(23) which removes a foreign material attached on the glass substrate surface. The removing part for foreign materials of the glass substrate surface is a carbon structure. The removing part comprises: a sensor(22) sensing the glass substrate, a moving unit(232) which moves the removing part upward or downward, and a controller(24) which controls operation of the moving unit.

Description

유리기판 표면의 이물질 제거 장치{APPARATUS FOR REMOVING FOREIGN MATTER ON SURFACE OF GLASS-SUBSTRATE}A foreign substance removal device on the surface of a glass substrate {APPARATUS FOR REMOVING FOREIGN MATTER ON SURFACE OF GLASS-SUBSTRATE}

본 발명은 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 패널 등에 사용되는 디스플레이용 유리기판의 표면에 존재하는 주석을 포함하는 이물질을 제거하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for removing foreign substances including tin present on the surface of a glass substrate for a display used in a liquid crystal display, a plasma display panel and the like.

현재 유리기판의 주요한 제조방법은 플로트법이다. 이것은, 용융 금속욕이라고 불리는 용융 금속 주석을 채운 욕면 상에 용융 유리를 연속적으로 흐르게 하여 유리리본을 형성하고, 이 유리리본을 용융 금속욕면을 따라 띄우면서 전진시켜서 판을 형성하는 방법으로, 평탄성이 높은 유리기판을 대량으로 생산하는 데 매우 우수하다.At present, the main manufacturing method of glass substrate is float method. This is a method of forming a glass ribbon by continuously flowing molten glass on a bath surface filled with molten metal tin called a molten metal bath, and advancing the glass ribbon while floating along the molten metal bath surface to form a plate. Excellent for mass production of glass substrates.

그러나, 이 플로트법에서는 용융 주석과 접하는 유리리본의 하면측에 보텀 스펙(bottom speck)이라고 불리는 주석을 포함한 이물질, 보다 구체적으로는 주석 금속 또는 주석 산화물을 주성분으로 하는 이물질(이하, "결점"이라고도 함) 이 발생한다. 이 보텀 스펙은, 후술하는 톱 스펙보다도 큰 이물로서 유리기판에 부착되는 경우도 있다.However, in this float method, a foreign substance containing tin, called a bottom speck, on the lower surface side of the glass ribbon in contact with molten tin, more specifically, a foreign substance mainly composed of tin metal or tin oxide (hereinafter also referred to as "defect"). Occurs). This bottom specification may be attached to a glass substrate as a foreign material larger than the top specification mentioned later.

또, 플로트법에서는 유리리본의 상면측에도 용융 금속 주석에 의한 톱 스펙을 피할 수 없다. 톱 스펙이란 용융 금속욕으로부터 증발된 주석 성분이 욕 상부인 천장부나 벽부에 응축되고, 응축물 또는 이 응축물이 금속 상태로 환원된 것이 유리기재 상에 소립(小粒)으로서 낙하하여 유리리본의 상면에 수 ㎛ ∼ 수 10 ㎛ 의 크기를 한 결점으로서 부착된 것이다.Moreover, in the float method, the top spec by molten metal tin cannot be avoided also on the upper surface side of the glass ribbon. The top spec is that the tin component evaporated from the molten metal bath is condensed on the ceiling or wall of the upper part of the bath, and the condensate or the condensate is reduced to a metal state as small particles on the glass substrate. It adheres as a fault which made size of several micrometers-several 10 micrometers.

종래 유리기판 생산 업체에서는 제조된 유리기판에서 육안으로 관찰할 수 있는 크기의 결점이 발견된 경우, 유리기판의 결점을 포함하는 부분은 결함품으로서 처분하고 있다. In the conventional glass substrate producer, when a defect of a size that can be observed with the naked eye is found in the manufactured glass substrate, the part including the defect of the glass substrate is disposed of as a defective product.

그러나, 최근에는 패널 디스플레이용 유리기판의 표면에 존재하는 결점의 크기에 관한 기준이 보다 엄격해지고 있다. 이에 육안으로는 식별할 수 없는 결점이 부착된 유리기판에 세정, 코팅, 필름 접합 등의 일련의 공정을 처리한 후, 최종 검사를 하는 중에 결점으로 인해 불량 처리되는 사례가 발생하고 있다. 이 같은 결점으로 인한 불량 처리는 유리기판 손실, 필름손실, 작업공정의 증가로 이어져 결국 생산성 저하의 요인이 되고 있다. However, in recent years, the standard regarding the magnitude | size of the defect which exists in the surface of the glass substrate for panel displays becomes more stringent. Therefore, after a series of processes such as cleaning, coating, film bonding, etc. are performed on glass substrates with defects that are not visible to the naked eye, there are cases where defects are processed due to defects during final inspection. Such defects due to such defects lead to glass substrate loss, film loss, and increase of work processes, which in turn causes a decrease in productivity.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 유리기판을 세정기에 투입하기 전에 유리기판의 표면에 존재하는 결점을 제거할 수 있는 이물질 제거 장치를 제공하는 것이다. The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a foreign matter removal apparatus that can remove the defects present on the surface of the glass substrate before the glass substrate is put into the cleaner.

또한, 본 발명의 다른 목적은 결점 제거 시 유리기판의 표면에 긁힘을 최소 화할 수 있는 이물질 제거 장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a foreign matter removal device that can minimize the scratch on the surface of the glass substrate when removing the defect.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 양상에 따른 이물질 제거 장치는, 유리기판을 이송하는 이송부와, 이송부에 의해 이송되는 유리기판 표면에 밀착되어 유리기판 표면에 부착된 이물질을 제거하는 유리기판표면 이물질 제거부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the foreign material removing apparatus according to an aspect of the present invention, the glass for transporting the glass substrate and the foreign matter adhered to the surface of the glass substrate conveyed by the conveying unit to remove the foreign matter attached to the glass substrate surface It is characterized in that it comprises a substrate surface foreign material removal.

본 발명에서 유리기판표면 이물질 제거부는 유리기판 표면에 긁힘이 없으며 내모성이 우수한 재질로 구현되는 것이 바람직하며, 일례로 본 발명에서 유리기판표면 이물질 제거부는 카본(Carbon) 구조체로 구현되는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the glass substrate surface foreign material removing unit is preferably made of a material having excellent scratch resistance without scratching the glass substrate surface, for example, the glass substrate surface foreign material removing unit in the present invention is characterized in that the carbon (Carbon) structure do.

본 발명에 따른 이물질 제거 장치는, 이송부에 의해 이송되는 유리기판을 감지하는 센서부와, 유리기판표면 이물질 제거부를 상하로 이동시키는 이동부와, 센서부로부터 입력되는 유리기판 감지신호에 따라 이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The foreign material removing apparatus according to the present invention includes a sensor unit for detecting a glass substrate conveyed by the transfer unit, a moving unit for moving the glass substrate surface foreign matter removing unit up and down, and a moving unit according to a glass substrate detection signal input from the sensor unit. It further comprises a control unit for controlling the operation.

본 발명에 따른 이물질 제거 장치는, 유리기판표면 이물질 제거부에 의해 유리기판 표면에서 제거된 결점을 공기 분사를 통해 외부로 제거하는 공기 분사부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The foreign material removing apparatus according to the present invention is characterized in that it further comprises an air jet unit for removing defects removed from the surface of the glass substrate by the glass substrate surface foreign material removing unit to the outside through the air injection.

본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 유리기판을 세정기에 투입하기 전에 유리기판의 표면에 존재하는 결점을 제거하도록 구현됨으로써, 유리기판에 세정, 코팅, 필름 접합 등의 일련의 공정을 처리한 후, 최종 검사를 하는 중에 결점으로 인 해 불량을 최소화할 수 있는 유용한 효과가 있다.The foreign material removing apparatus according to the present invention is implemented to remove defects on the surface of the glass substrate before the glass substrate is put into the cleaner, thereby treating the glass substrate with a series of processes such as cleaning, coating, and film bonding. Defects during testing have a useful effect of minimizing defects.

또한, 본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 유리기판표면 이물질 제거부가 유리기판 표면에 밀착되어 유리기판 표면에 부착된 이물질을 제거하도록 구현됨으로써, 결점 제거율이 높은 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 유리기판표면 이물질 제거부가 카본(Carbon) 구조체로 구현됨으로써, 유리기판의 표면에 긁힘을 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, the foreign matter removal apparatus according to the present invention is implemented to remove the foreign matter adhered to the glass substrate surface is in close contact with the glass substrate surface foreign matter removal portion, there is a high effect of removing defects. In addition, the foreign matter removal apparatus according to the present invention is implemented by the carbon foreign material removal portion of the glass substrate surface, there is an effect that can minimize the scratch on the surface of the glass substrate.

본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 센서 감지 신호에 따라 자동으로 결점 제거 공정이 이루어지도록 구현됨으로써, 본 발명에 따른 결점 제거공정을 포함한 세정, 코팅, 필름 접합 등 일련의 공정을 자동화할 수 있는 효과가 있다. The foreign material removal apparatus according to the present invention is implemented to automatically perform a defect removal process according to a sensor detection signal, and has an effect of automating a series of processes such as cleaning, coating, and film bonding including the defect removal process according to the present invention. have.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail to enable those skilled in the art to easily understand and reproduce.

도 1 은 유리기판 표면에 존재하는 결점을 제거하기 위한 본 발명의 이물질 제거 장치를 설명하기 위한 예시도이고, 도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거 장치에 관한 구성 블록도이다.1 is an exemplary view for explaining the foreign matter removing apparatus of the present invention for removing the defects present on the surface of the glass substrate, Figure 2 is a block diagram of a foreign material removing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 유리기판(1)의 표면에 존재하는 결점을 제거하기 위한 본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 유리기판(1)을 세정기(100)로 이송하는 롤러(10)와, 롤러(10)에 의해 이송되는 유리기판(1)을 감지하는 1차 센서(11) 및 2차 센서(12)와, 유리기판(1)의 표면에 존재하는 결점을 제거하는 이물질 제거부(13)를 포함한다. As shown in FIG. 1, the foreign material removing apparatus according to the present invention for removing defects existing on the surface of the glass substrate 1 includes a roller 10 for transferring the glass substrate 1 to the cleaner 100, and The primary sensor 11 and the secondary sensor 12 for detecting the glass substrate 1 conveyed by the roller 10, and the foreign matter removing unit 13 for removing defects existing on the surface of the glass substrate 1. ).

이 같이 본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 유리기판(1)을 세정기(100)에 투입하기 전에 유리기판(1)의 표면에 존재하는 결점을 제거하도록 구현된다. 이하, 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 구성을 설명하기로 한다. As described above, the foreign material removing apparatus according to the present invention is implemented to remove defects existing on the surface of the glass substrate 1 before the glass substrate 1 is introduced into the cleaner 100. Hereinafter, with reference to Figure 2 will be described the configuration of the foreign material removal apparatus according to the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 유리기판의 표면에 존재하는 결점을 제거하기 위한 본 발명에 따른 이물질 제거 장치(20)는 이송부(21)와, 센서부(22)와, 이물질 제거부(23), 및 제어부(24)를 포함한다. As shown in FIG. 2, the foreign matter removing device 20 according to the present invention for removing defects present on the surface of the glass substrate may include a conveying part 21, a sensor part 22, and a foreign material removing part 23. , And a control unit 24.

이송부(21)는 유리기판을 이송시키는 수단으로서, 롤러와 롤러 구동부로 구현될 수 있다. 센서부(22)는 이송부(21)에 의해 이송되는 유리기판을 감지하는 수단으로서, 1차 센서(221)와, 2차 센서(222)를 포함한다. 여기서, 2차 센서(222)는 1차 센서(221)와 유리기판이 이송되는 방향으로 소정 간격만큼 이격되게 설치된다. The transfer part 21 is a means for transferring the glass substrate, and may be implemented as a roller and a roller driving part. The sensor unit 22 is a means for sensing a glass substrate conveyed by the transfer unit 21, and includes a primary sensor 221 and a secondary sensor 222. Here, the secondary sensor 222 is installed to be spaced apart by a predetermined interval in the direction in which the primary sensor 221 and the glass substrate is transferred.

이물질 제거부(23)는 제어부(24)로부터 입력되는 제어신호에 따라 유리기판 표면에 존재하는 결점을 제거한다. 일 실시예에 있어서, 본 발명의 이물질 제거부(23)는 유리기판표면 이물질 제거부(231)와 이동부(232)를 포함한다. The foreign material removing unit 23 removes defects present on the surface of the glass substrate according to a control signal input from the control unit 24. In one embodiment, the foreign material removing unit 23 of the present invention includes a glass substrate surface foreign material removing unit 231 and the moving unit 232.

유리기판표면 이물질 제거부(231)는 이송부(21)에 의해 이송되는 유리기판 표면에 밀착되어 유리기판 표면에 부착된 이물질을 제거한다. 이동부(232)는 이동부(232)는 제어부(24)로부터 입력되는 제어신호에 따라 유리기판표면 이물질 제거부(231)를 상하로 이동시킨다.The glass substrate surface foreign matter removing unit 231 is in close contact with the surface of the glass substrate conveyed by the transfer unit 21 to remove the foreign matter attached to the glass substrate surface. The moving unit 232 moves the glass substrate surface foreign matter removing unit 231 up and down according to the control signal input from the control unit 24.

유리기판표면 이물질 제거부(231)는 유리기판 표면에 밀착되어 결점을 제거하기 때문에 내마모성이 우수하고, 결점 제거시 유리기판에 긁힘을 최소화할 수 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 일례로 본 발명의 유리기판표면 이물질 제거 부(231)는 카본(Carbon) 구조체로 구현된다. Since the glass substrate surface foreign material removing unit 231 is in close contact with the surface of the glass substrate to remove defects, it is preferable to use those having excellent wear resistance and minimizing scratches on the glass substrate when removing the defects. In one example, the glass substrate surface foreign material removing unit 231 of the present invention is implemented as a carbon structure.

제어부(23)는 전체 시스템을 제어하며, 센서부(22)로부터 유리기판을 감지하는 신호가 입력되면 이물질 제거를 위한 제어신호를 출력한다. 제어부(23)는 1차 센서(221)로부터 유리기판 감지신호가 입력되면 이물질 제거부(23)의 이동부(232)로 유리기판표면 이물질 제거부(231)를 아래로 이동시키도록 하는 제어신호를 출력한다. 제어부(23)는 1차 센서(221) 및 2차 센서(222)로부터 유리기판 통과 신호가 입력되면 이물질 제거부(23)의 이동부(232)로 유리기판표면 이물질 제거부(231)를 위로 이동시키도록 하는 제어신호를 출력한다. The control unit 23 controls the entire system, and outputs a control signal for removing foreign matters when a signal for detecting a glass substrate is input from the sensor unit 22. The control unit 23 controls the glass substrate surface foreign matter removing unit 231 to move downward when the glass substrate detection signal is input from the primary sensor 221 to the moving unit 232 of the foreign material removing unit 23. Outputs When the glass substrate passing signal is input from the primary sensor 221 and the secondary sensor 222, the controller 23 moves the foreign matter removing unit 231 of the glass substrate surface upward to the moving unit 232 of the foreign substance removing unit 23. Outputs a control signal for movement.

추가적인 실시예에 있어서, 본 발명의 이물질 제거부(23)는 유리기판표면 이물질 제거부(231)에 의해 유리기판 표면에서 제거된 결점과 기타 이물질을 공기 분사를 통해 외부로 제거하는 공기 분사부(233)를 더 포함한다. 공기 분사부(233)는 공기 압축기와, 공기 압축기로부터 공급되는 공기를 유리기판 표면을 향하여 분사하는 제1 분사노즐부와, 공기 압축기로부터 공급되는 공기를 유리기판표면 이물질 제거부(231)를 향하여 분사하는 제2 분사노즐부를 포함하여 구현될 수 있다. 여기서, 제1, 제2 분사노즐부는 라인 형태로 유리기판이 진행하는 방향과 수직한 방향으로 설치될 수 있다.In a further embodiment, the foreign matter removing unit 23 of the present invention is an air jet unit for removing defects and other foreign matters removed from the surface of the glass substrate by the foreign matter removing unit 231 of the glass substrate to the outside through air injection ( 233). The air injector 233 includes an air compressor, a first injection nozzle unit for injecting air supplied from the air compressor toward the glass substrate surface, and air supplied from the air compressor toward the glass substrate surface foreign material removing unit 231. It may be implemented including a second injection nozzle unit for injecting. Here, the first and second injection nozzles may be installed in a direction perpendicular to the direction in which the glass substrate proceeds in a line form.

도 3 은 본 발명에 따른 이물질 제거 장치에서 이루어지는 이물질 제거 방식을 설명하기 위한 예시도이다.Figure 3 is an exemplary view for explaining a foreign matter removal method made in the foreign matter removal apparatus according to the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명의 이물질 제거 장치는 유리기판(1)을 롤러(31)를 통해 세정기(100)로 이동시키는 중에 1차 센서(32)에서 유리기판(1)을 감지하면, 유리기판표면 이물질 제거부(35)를 이동부(36, 37, 38)를 통해 아래로 이동시켜 유리기판(1) 표면에 존재하는 결점(2)을 유리기판표면 이물질 제거부(35)를 통해 제거한다. As illustrated, the foreign material removal apparatus of the present invention detects the glass substrate 1 by the primary sensor 32 while moving the glass substrate 1 to the cleaner 100 through the roller 31. The surface foreign matter removing unit 35 is moved downward through the moving parts 36, 37, and 38 to remove defects 2 present on the surface of the glass substrate 1 through the glass substrate surface foreign matter removing unit 35. .

여기서, 이동부는 제어부(도2의 참조번호 24)로부터 입력되는 제어신호에 따라 실린더(37)를 구동하는 실린더 구동부(38)와, 일측이 실린더(37)에 장착되고, 타측이 유리기판표면 이물질 제거부(35)를 고정하는 고정부(36)를 포함하여 구현될 수 있다. 바람직한 실시예에 있어서, 고정부(36)는 그 외주면에 완충부(361)가 설치될 수 있다. 완충부(361)는 와이어 스프링으로 구현되며, 유리기판표면 이물질 제거부(35)가 이동부에 의해 유리기판(1)에 밀착될 때 유리기판(1)에 의해 발생되는 충격을 완화해주는 역할을 한다. Here, the moving unit is a cylinder drive unit 38 for driving the cylinder 37 in accordance with a control signal input from the control unit (reference numeral 24 of FIG. 2), one side is mounted to the cylinder 37, the other side is foreign matter on the glass substrate surface It may be implemented to include a fixing portion 36 for fixing the removal portion 35. In a preferred embodiment, the fixing portion 36 may be provided with a buffer portion 361 on the outer peripheral surface. The buffer part 361 is implemented by a wire spring, and serves to mitigate the shock generated by the glass substrate 1 when the glass substrate surface foreign matter removing unit 35 is in close contact with the glass substrate 1 by the moving unit. do.

도 4 는 도 2에 도시된 본 발명에 따른 이물질 제거 장치의 동작 흐름도이다. 본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 이송부와, 1차 센서 및 2차 센서와, 유리기판표면 이물질 제거부, 이동부, 공기 분사부 및 제어부를 포함한다. 4 is an operation flowchart of the foreign matter removing apparatus according to the present invention shown in FIG. The foreign matter removing apparatus according to the present invention includes a conveying unit, a primary sensor and a secondary sensor, a glass substrate surface foreign substance removing unit, a moving unit, an air spray unit, and a control unit.

본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 사용자의 조작에 따라 이물질 제거 동작 개시신호가 입력되면 유리기판을 세정기로 이송하는 이송부가 동작된다. 제어부는 1차 센서로부터 유리기판 감지신호가 입력되면(S41), 유리기판표면 이물질 제거부를 아래로 이동시키도록 하는 제어신호를 이동부로 출력한다(S42). 제어부는 공기 분사부를 구동할 수 있다(S43). 이에 유리기판표면 이물질 제거부에 의해 유리기판 표면에서 제거된 결점과 기타 이물질들은 공기 분사를 통해 외부로 제거된다.In the foreign material removing apparatus according to the present invention, when a foreign material removing operation start signal is input according to a user's operation, a transfer unit for transferring the glass substrate to the cleaner is operated. When the glass substrate detection signal is input from the primary sensor (S41), the controller outputs a control signal to the moving unit to move the foreign matter removing unit below the glass substrate surface (S42). The controller may drive the air jet unit (S43). Therefore, the defects and other foreign matters removed from the glass substrate surface by the foreign matter removing unit of the glass substrate surface are removed to the outside through the air blowing.

제어부는 1차 센서 및 2차 센서로부터 유리기판 통과 신호가 입력되면(S44) 유리기판표면 이물질 제거부를 위로 이동시키도록 하는 제어신호를 이동부로 출력한다.(S45) 이때 제어부는 공기 분사부를 구동하여 유리기판표면 이물질 제거부에 부착된 결점을 포함하는 이물질을 제거할 수 있다.  When the glass substrate pass signal is input from the primary sensor and the secondary sensor (S44), the controller outputs a control signal to the moving unit to move the foreign matter removing unit on the glass substrate surface upward (S45). It is possible to remove foreign substances including defects attached to the foreign matter removing portion of the glass substrate surface.

지금까지, 본 명세서에는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 지닌 자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 도면에 도시한 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에 통상의 지식을 지닌 자라면 본 발명의 실시예들로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Thus far, the present specification has been described with reference to the embodiments shown in the drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily understand and reproduce the present invention. Those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from the embodiments of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined only by the appended claims.

도 1 은 유리기판 표면에 존재하는 결점을 제거하기 위한 본 발명의 이물질 제거 장치를 설명하기 위한 예시도,1 is an exemplary view for explaining the foreign matter removing apparatus of the present invention for removing defects present on the surface of a glass substrate;

도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거 장치에 관한 구성 블록도,2 is a block diagram illustrating a foreign substance removing apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 3 은 본 발명에 따른 이물질 제거 장치에서 이루어지는 이물질 제거 방식을 설명하기 위한 예시도,Figure 3 is an exemplary view for explaining a foreign matter removal method made in the foreign matter removal apparatus according to the present invention,

도 4 는 본 발명에 따른 이물질 제거 장치의 동작 흐름도이다. 4 is an operation flowchart of the foreign matter removing apparatus according to the present invention.

Claims (8)

유리기판 표면에 존재하는 결점을 제거하는 이물질 제거 장치에 있어서, 상기 이물질 제거 장치가 : In the foreign material removing apparatus for removing defects present on the surface of a glass substrate, the foreign material removing apparatus includes: 상기 유리기판을 이송하는 이송부; 및A transfer unit for transferring the glass substrate; And 상기 이송부에 의해 이송되는 유리기판 표면에 밀착되어 상기 유리기판 표면에 부착된 이물질을 제거하는 유리기판표면 이물질 제거부;A glass substrate surface foreign matter removing unit which is in close contact with the surface of the glass substrate conveyed by the conveying unit and removes foreign substances adhering to the glass substrate surface; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 유리기판표면 이물질 제거부가 카본(Carbon) 구조체인 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. The foreign matter removing apparatus according to claim 1, wherein the foreign matter removing unit on the glass substrate surface is a carbon structure. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 이물질 제거 장치가 :The apparatus of claim 1 or 2, wherein the debris removing device comprises: 상기 이송부에 의해 이송되는 유리기판을 감지하는 센서부;A sensor unit detecting a glass substrate transferred by the transfer unit; 상기 유리기판표면 이물질 제거부를 상하로 이동시키는 이동부; 및A moving unit for moving the glass substrate surface foreign matter removing unit up and down; And 상기 센서부로부터 입력되는 유리기판 감지신호에 따라 상기 이동부의 동작을 제어하는 제어부; A control unit controlling an operation of the moving unit according to a glass substrate detection signal input from the sensor unit; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device further comprises a. 제 3 항에 있어서, 상기 센서부가 :The method of claim 3, wherein the sensor unit: 상기 이송부에 의해 이송되는 유리기판을 감지하는 1차 센서; 및A primary sensor detecting a glass substrate conveyed by the conveying unit; And 상기 1차 센서를 통과한 유리기판을 감지하며, 상기 1차 센서와 소정 간격만큼 이격되게 설치되는 2차 센서;A secondary sensor configured to sense a glass substrate passing through the primary sensor and be spaced apart from the primary sensor by a predetermined interval; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device comprising a. 제 3 항에 있어서, 상기 이동부가 :The method of claim 3, wherein the moving unit: 상기 제어부로부터 입력되는 제어신호에 따라 실린더를 구동하는 실린더 구동부; 및 A cylinder driver for driving a cylinder according to a control signal input from the controller; And 일측이 상기 실린더에 장착되고, 타측이 상기 유리기판표면 이물질 제거부를 고정하는 고정부;A fixing part having one side mounted to the cylinder and the other side fixing the glass substrate surface foreign material removing unit; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device comprising a. 제 5 항에 있어서, 상기 고정부가 :The method of claim 5, wherein the fixing part: 그 외주면에 상기 유리기판표면 이물질 제거부가 상기 이동부에 의해 유리기판에 밀착될 때 상기 유리기판에 의해 발생되는 충격을 완화하는 완충부;A buffer part for relieving an impact generated by the glass substrate when the glass substrate surface foreign matter removing unit is brought into close contact with the glass substrate by the moving unit; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device further comprises a. 제 3 항에 있어서, 상기 이물질 제거 장치가 :The apparatus of claim 3, wherein the debris removing device comprises: 상기 유리기판표면 이물질 제거부에 의해 유리기판 표면에서 제거된 결점을 공기 분사를 통해 외부로 제거하는 공기 분사부;An air injection unit for removing defects removed from the surface of the glass substrate by the foreign matter removal unit of the glass substrate to the outside through air injection; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device further comprises a. 제 7 항에 있어서, 상기 공기 분사부가 :The method of claim 7, wherein the air injection unit: 공기 압축기로부터 공급되는 공기를 유리기판 표면을 향하여 분사하는 제1 분사노즐부; 및A first injection nozzle unit for injecting air supplied from the air compressor toward the glass substrate surface; And 공기 압축기로부터 공급되는 공기를 상기 유리기판표면 이물질 제거부를 향하여 분사하는 제2 분사노즐부;A second injection nozzle unit for injecting air supplied from an air compressor toward the glass substrate surface foreign material removing unit; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거 장치. Debris removal device comprising a.
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KR101909861B1 (en) * 2018-05-31 2018-10-18 윤남수 Apparatus for transferring of glass panel

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