JP2011056374A - Coating apparatus - Google Patents

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雅史 森田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating apparatus for forming a coating film on a substrate by ejecting ink from its slit nozzle thereonto, capable of forming a uniform and stable coating film. <P>SOLUTION: The coating apparatus including a blade that is made to contact the tip of its slit nozzle, a holder for holding the blade, and a travelling mechanism capable of causing the holder to travel throughout the whole range of a coating area on a substrate to be coated, is characterized in that the blade is allowed to travel in a state of contacting the tip of the slit nozzle by the travelling mechanism. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガラスなどの被塗布基板に対し均一に塗布膜を形成するための塗布装置に関するものである。   The present invention relates to a coating apparatus for uniformly forming a coating film on a substrate to be coated such as glass.

プラズマディスプレイパネルや液晶パネルなどの製造プロセスにおいて、基板上に各種被膜や洗浄液などを形成するために塗布装置が使用される。   In a manufacturing process of a plasma display panel, a liquid crystal panel, and the like, a coating apparatus is used to form various coatings and cleaning liquids on a substrate.

その際、技術的によく課題となるのが、塗布の開始時(以下、始端部)の出来栄えである。始端の出来栄えは、最初にインクが基板に接するときのスリットノズル先端の状態に大きく左右されるからである。例えば、ノズル先端に前回塗布したインクの残液が付着していた場合、その部分のビード量が過大となり、結果として膜厚異常や乾燥異常などのムラが発生する可能性がある。また先端に付着したインクが乾燥して固形分が先端付近に固着してしまった場合には、その部分でインクをはじいたり吸い寄せたりしてビード形成が不均一になり、塗布ムラを引き起こす可能性がある。   At that time, what is often a technical problem is the quality at the start of application (hereinafter referred to as the start end). This is because the quality of the start end is greatly influenced by the state of the tip of the slit nozzle when the ink first contacts the substrate. For example, when the remaining liquid of the ink applied last time is attached to the tip of the nozzle, the bead amount in that portion becomes excessive, and as a result, there is a possibility that unevenness such as film thickness abnormality or drying abnormality may occur. Also, if the ink adhering to the tip dries and the solid matter sticks near the tip, the ink may be repelled or sucked in that portion, resulting in uneven bead formation, which may cause uneven coating. There is.

以上のような不具合を回避するため、スリットノズル先端をいかに清浄に保つかということが、近年のデバイスの微細化の影響でより注目されるようになってきている。   In order to avoid the above-described problems, how to keep the tip of the slit nozzle clean has attracted more attention due to the recent miniaturization of devices.

近年では、スリットノズル先端の余剰インクをかきとるための部材をノズル長尺方向に移動させて先端を洗浄する方法が一般的であり、例えば特許文献1や2に示されるように、洗浄液を供給しながら洗浄する方法や、エアを吹き付けて乾燥する方法などが提案されている。   In recent years, a method for cleaning the tip by moving a member for removing excess ink at the tip of the slit nozzle in the longitudinal direction of the nozzle is generally used. For example, as shown in Patent Documents 1 and 2, a cleaning liquid is supplied. There have been proposed a method of cleaning while spraying and a method of drying by blowing air.

特開2007−237122号公報JP 2007-237122 A 特開2008−149224号公報JP 2008-149224 A

一方で、塗布するインクにおいても、近年はデバイスの微細化や複雑化に伴い、より不純物の少ない、また低温で除去可能な材料が求められており、樹脂や分散剤を必要最低限もしくは全く用いない場合もある。そのようなインクを用いる場合、インクが乾燥しやすく、またインク中の固形分の沈降や凝集が激しいため、特にスリットノズル先端が汚れやすく、除去しにくい傾向がある。   On the other hand, in recent years, with the miniaturization and complexity of devices, there has been a demand for materials that have fewer impurities and that can be removed at low temperatures. Sometimes it is not. When such an ink is used, the ink tends to dry and the sediment and aggregation of solids in the ink are severe, so that the tip of the slit nozzle tends to become dirty and difficult to remove.

また、スリットノズル洗浄ユニットとスリットノズル先端部の位置関係について、厳密な位置精度を確保しようとすると、設備コストの増大や処理タクトへの影響などが懸念されるため、通常は厳密な位置決め精度は要求されないが、上記のようなインクを用いる場合、ノズル先端部での回り込みや液ダレが起こりやすく、わずかな位置ずれでも洗浄不備になりやすい傾向がある。   In addition, with regard to the positional relationship between the slit nozzle cleaning unit and the slit nozzle tip, strict positioning accuracy is usually required because there is concern about increased equipment costs and processing tact when trying to ensure strict positional accuracy. Although not required, when the ink as described above is used, the nozzle tip is likely to wrap around and sag, and even a slight misalignment tends to be deficient in cleaning.

さらに、スリットノズル先端に接触する部材については、先端部を傷つける可能性があるため通常やわらかい材質のものが使用されるが、その場合長期的に使用すると変形やへたりなどが起こり、徐々にノズル先端部に対する接触が不十分になっていくため、頻繁な部材交換が必要になりやすい。   Furthermore, as for the member that contacts the tip of the slit nozzle, a soft material is usually used because it may damage the tip. Since contact with the tip portion becomes insufficient, frequent member replacement is likely to be required.

そのような状況に対し、前述の特許文献1や2に記載の方法では、スリットノズル先端の余剰液や付着固形分を完全に除去できず、始端部の塗布ムラなどの不具合を起こしてしまう場合があった。   For such a situation, the methods described in the above-mentioned Patent Documents 1 and 2 cannot completely remove the excess liquid and attached solid content at the tip of the slit nozzle, causing problems such as coating unevenness at the start end. was there.

そこで、本発明では、上記課題に鑑み、均一な塗布膜、特に始端部の膜形成安定性を向上させることのできる塗布装置を提供することを目的とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a coating apparatus capable of improving the uniform coating film, particularly the film formation stability of the starting end.

上記の目的を達成するために、本発明の塗布装置は、スリットノズルから塗布インクを吐出させて被塗布基板上に被膜形成を行う塗布装置において、スリットノズル先端に接触させるブレードと、ブレードを保持するホルダーと、ホルダーを被塗布基板上の塗布領域全域を可動な走行機構とを有し、走行機構によって、ブレードがスリットノズル先端に接触した状態で、可動することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a coating apparatus according to the present invention is a coating apparatus that forms a film on a substrate to be coated by ejecting coating ink from a slit nozzle, and holds a blade that contacts the tip of the slit nozzle and the blade And a travel mechanism that can move the entire region of the coating region on the substrate to be coated, and the travel mechanism allows the blade to move in contact with the slit nozzle tip.

また、ここでブレードが弾性機構によって、ホルダーもしくは走行機構に、間接的または直接的に保持されていることが望ましく、さらにスリットノズル先端の蓋をする部材を有し、かつ塗布インクを充填するタンクと、スリットノズルに塗布インクを送るポンプと、ポンプはタンクおよびスリットノズルと、塗布インクを配送する配管によって接続されることが望ましい。   Here, it is desirable that the blade is indirectly or directly held by the holder or the traveling mechanism by an elastic mechanism, and further has a member that covers the tip of the slit nozzle, and a tank that is filled with coating ink. It is desirable that the pump for feeding the coating ink to the slit nozzle and the pump be connected to the tank and the slit nozzle by a pipe for delivering the coating ink.

本発明によれば、スリットノズルからインクを吐出させて基板上に被膜形成を行う塗布装置において、スリットノズル先端の汚れを抑制し、安定した塗布始端部を形成することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, in the coating device which discharges ink from a slit nozzle and forms a film on a board | substrate, it becomes possible to suppress the stain | pollution | contamination of a slit nozzle tip and to form the stable application | coating start end part.

本発明の実施の形態における塗布装置を示す概略図Schematic which shows the coating device in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるスリットノズル洗浄装置の断面図Sectional drawing of the slit nozzle washing | cleaning apparatus in embodiment of this invention 本発明の実施の形態における循環機構を有する塗布装置を示す概略図Schematic which shows the coating device which has a circulation mechanism in embodiment of this invention.

以下、本発明の一実施の形態について図面を用いて説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明の実施の形態における塗布装置のスリットノズル及びその洗浄装置のみを抽出して示した図である。図1において、スリットノズル1は、図には示していないが昇降機構によって上下に昇降することができる。そしてスリットノズル1の先端の洗浄装置は、以下のように構成される。   FIG. 1 is a diagram showing only the slit nozzle of the coating apparatus and its cleaning device in the embodiment of the present invention. In FIG. 1, the slit nozzle 1 can be moved up and down by an elevating mechanism (not shown). And the washing | cleaning apparatus of the front-end | tip of the slit nozzle 1 is comprised as follows.

スリットノズル1の先端に接触して余剰インクや汚れなどをかきとるためのブレード2が、ホルダー3に固定されており、ホルダー3はガイドレール4を介して走行ベース5と接続されている。このため、ホルダー3は走行ベース5上で、矢印B方向に移動することができる。また、走行ベース5は、走行ガイド6により矢印C方向に移動することができる。このように走行機構であるガイドレール4、走行ベース5、走行ガイド6によってホルダー3は被塗布基板の塗布領域全域を可動する。   A blade 2 for contacting the tip of the slit nozzle 1 and scraping off excess ink and dirt is fixed to a holder 3, and the holder 3 is connected to a traveling base 5 via a guide rail 4. For this reason, the holder 3 can move in the arrow B direction on the traveling base 5. The traveling base 5 can be moved in the direction of arrow C by the traveling guide 6. As described above, the holder 3 can be moved over the entire coating region of the substrate to be coated by the guide rail 4, the traveling base 5, and the traveling guide 6 which are traveling mechanisms.

以上のような構成でスリットノズル1の先端部を洗浄する手順について、以下に説明する。まず、被塗布基板にインクを塗布する前に、スリットノズル1がブレード2の直上位置になるように、スリットノズル1もしくは洗浄ユニットを移動させる。続いて、スリットノズル1を、先端がブレード2に接する位置まで矢印A方向に降下させる。   The procedure for cleaning the tip of the slit nozzle 1 with the above configuration will be described below. First, before the ink is applied to the substrate to be coated, the slit nozzle 1 or the cleaning unit is moved so that the slit nozzle 1 is positioned immediately above the blade 2. Subsequently, the slit nozzle 1 is lowered in the direction of arrow A to a position where the tip is in contact with the blade 2.

このとき、多少位置精度にずれがあっても、ガイドレール4によりホルダー3が可動なため、スリットノズル1の先端部の位置にあわせて移動し、ブレード2が適正な接触状態となるように制御される。   At this time, since the holder 3 is movable by the guide rail 4 even if there is some deviation in positional accuracy, the holder 3 is moved according to the position of the tip of the slit nozzle 1 and controlled so that the blade 2 is in an appropriate contact state. Is done.

続いて、走行ベース5を走行ガイド6によりスリットノズル1の長尺方向に移動させ、ブレード2によりノズル先端の状態を整えることができる。   Subsequently, the traveling base 5 is moved in the longitudinal direction of the slit nozzle 1 by the traveling guide 6, and the state of the nozzle tip can be adjusted by the blade 2.

このとき、走行ガイド6の走行方向と、スリットノズル1の長尺方向に、多少のずれがあっても、ホルダー3がガイドレール4上を移動することで、そのずれを自動で補正しながら矢印C方向に移動できるため、ブレード2とノズル先端の適正な接触を維持したまま洗浄が可能となる。   At this time, even if there is a slight deviation between the running direction of the running guide 6 and the longitudinal direction of the slit nozzle 1, the holder 3 moves on the guide rail 4 so that the deviation is corrected automatically. Since it can move in the C direction, cleaning is possible while maintaining proper contact between the blade 2 and the nozzle tip.

以上のようにスリットノズル1の先端部を適正な状態に保つことで、塗布開始時の液ムラを抑制し、より均一な膜面を得ることができる。   As described above, by maintaining the tip portion of the slit nozzle 1 in an appropriate state, liquid unevenness at the start of coating can be suppressed, and a more uniform film surface can be obtained.

また、図2はスリットノズル1とその先端部の洗浄装置を横からみた断面図であるが、ブレード2を保持したホルダー3が、走行ベース5とバネ機構7で接続されており、走行ベース5に対してホルダー3の水平方向の移動に対して負荷がかかるような構成になっている。このようなバネ機構7による接続以外にも、弾性機構であってブレード2がホルダー3または走行ベース5に対して、間接的または直接的に接続される機構であればよい。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the slit nozzle 1 and the cleaning device at the tip thereof viewed from the side. The holder 3 holding the blade 2 is connected by a traveling base 5 and a spring mechanism 7. On the other hand, a load is applied to the movement of the holder 3 in the horizontal direction. In addition to the connection by the spring mechanism 7 as described above, any elastic mechanism may be used as long as the blade 2 is indirectly or directly connected to the holder 3 or the traveling base 5.

図2のような構成にすることで、スリットノズル1が降下してブレード2に接触した際、バネ機構7によりブレード2をスリットノズル1先端部に押し付ける力が働き、より確実に先端部の洗浄を行うことができ効果的である。   With the configuration shown in FIG. 2, when the slit nozzle 1 descends and comes into contact with the blade 2, the spring mechanism 7 exerts a force to press the blade 2 against the tip of the slit nozzle 1, thereby cleaning the tip more reliably. Can be effective.

また、図3は上記のような本発明の塗布装置において、スリットノズル1の先端の洗浄ユニットを有する塗布装置の一部を抽出して示している。このように本発明の塗布装置は、インクの充填されたタンク8、スリットノズル1からタンク8への戻り配管9、インクを循環させるためのポンプ10、そしてスリットノズル1の先端を封止するための蓋部材(シール部材)11を有している。   FIG. 3 shows an extracted part of the coating apparatus having a cleaning unit at the tip of the slit nozzle 1 in the coating apparatus of the present invention as described above. Thus, the coating apparatus of the present invention seals the tank 8 filled with ink, the return pipe 9 from the slit nozzle 1 to the tank 8, the pump 10 for circulating ink, and the tip of the slit nozzle 1. The lid member (seal member) 11 is provided.

このような循環システムを有する場合、インクを循環するために、スリットノズル1はシール部材11上に移動、降下してノズルを封止しなければならないため、循環動作後にスリットノズル1先端部は特にインクや固形分の付着による汚れが顕著となる。   In the case of having such a circulation system, in order to circulate ink, the slit nozzle 1 must move and descend onto the seal member 11 to seal the nozzle. Stain due to adhesion of ink and solid content becomes remarkable.

この汚れを従来の洗浄装置構成で安定して除去することは極めて困難であり、本発明による効果が特に大きくなる。   It is extremely difficult to stably remove this dirt with a conventional cleaning apparatus configuration, and the effect of the present invention is particularly great.

なお、図1から図3において、ブレード2の形状をノズル先端にあわせたV字型としているがこの限りではなく、直線状、アーチ状などノズル先端に接触する形状であれば問題ない。またブレードの取り付け角度についても同様であり本図の限りではない。   1 to 3, the shape of the blade 2 is a V-shape matching the nozzle tip. However, the shape is not limited to this, and there is no problem as long as the shape contacts the nozzle tip, such as a straight shape or an arch shape. The same applies to the attachment angle of the blade and is not limited to this figure.

また、図1のホルダー3の移動機構について、本図ではガイドレール4を用いて示しているがこの限りではなく、走行方向とは別の方向にホルダーが可動となるような機構であれば問題ない。また図1では水平方向のみの移動となっているが、ホルダー3が鉛直方向に可動する機構とし、ノズルの長尺方向と走行ガイド6の走行方向の鉛直方向のずれを補正できるような構成も可能である。   In addition, the movement mechanism of the holder 3 in FIG. 1 is shown by using the guide rail 4 in this figure, but this is not a limitation, and there is no problem if the mechanism is such that the holder can move in a direction different from the traveling direction. Absent. Further, in FIG. 1, the movement is only in the horizontal direction, but the structure in which the holder 3 is movable in the vertical direction and the vertical displacement between the longitudinal direction of the nozzle and the traveling direction of the traveling guide 6 can be corrected. Is possible.

また、図2でホルダー3と走行ベース5を接続するバネ機構としてリング状のバネを用いているがこの限りではなく、板バネまたは磁気や圧縮気体を用いる方法などの弾性機構であれば本発明の効果は奏することが可能である。   Further, in FIG. 2, a ring-shaped spring is used as a spring mechanism for connecting the holder 3 and the traveling base 5, but the present invention is not limited thereto, and any elastic mechanism such as a method using a leaf spring or magnetism or compressed gas may be used. The effect of can be produced.

また、図3で循環の配管経路をスリットノズル1中央からインクが流入して配管9方向に流出する構成としているがこの限りではなく、タンク8からスリットノズル1までのインクを循環できるような構成であれば問題ない。   In FIG. 3, the circulation piping path is configured such that ink flows in from the center of the slit nozzle 1 and flows out in the direction of the piping 9. However, the configuration is not limited to this, and the configuration can circulate ink from the tank 8 to the slit nozzle 1. If so, no problem.

また、本発明には直接関係がないので、図の複雑化を避けるため、一般に塗布装置としては必須であるが、スリットノズルの保持機構やステージ、配管など一部省略して記載している。   Since the present invention is not directly related to the present invention, it is generally indispensable as a coating apparatus in order to avoid complication of the drawing. However, the slit nozzle holding mechanism, stage, piping, etc. are partially omitted.

以上のように本発明は、均一かつ安定な塗布始端部を実現する上で有用な発明である。   As described above, the present invention is useful for realizing a uniform and stable coating start end.

1 スリットノズル
2 ブレード
3 ホルダー
4 ガイドレール
5 走行ベース
6 走行ガイド
1 slit nozzle 2 blade 3 holder 4 guide rail 5 travel base 6 travel guide

Claims (3)

スリットノズルから塗布インクを吐出させて被塗布基板上に被膜形成を行う塗布装置において、
前記スリットノズル先端に接触させるブレードと、前記ブレードを保持するホルダーと、前記ホルダーを前記被塗布基板上の塗布領域全域を可動な走行機構とを有し、
前記走行機構によって、前記ブレードが前記スリットノズル先端に接触した状態で、可動することを特徴とする塗布装置。
In a coating apparatus that forms a film on a substrate to be coated by ejecting coating ink from a slit nozzle,
A blade that contacts the tip of the slit nozzle, a holder that holds the blade, and a travel mechanism that moves the holder over the entire coating region on the substrate to be coated;
The coating apparatus, wherein the blade is movable in a state where the blade is in contact with the tip of the slit nozzle by the traveling mechanism.
前記ブレードが弾性機構によって、前記ホルダーもしくは前記走行機構に、間接的または直接的に保持されていることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 1, wherein the blade is held indirectly or directly by the holder or the traveling mechanism by an elastic mechanism. 前記スリットノズル先端の蓋をする部材を有し、かつ前記塗布インクを充填するタンクと、前記スリットノズルに前記塗布インクを送るポンプと、前記ポンプは前記タンクおよび前記スリットノズルと、前記塗布インクを配送する配管によって接続されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の塗布装置。 A tank having a lid at the tip of the slit nozzle and filled with the coating ink; a pump for feeding the coating ink to the slit nozzle; and the pump receiving the tank, the slit nozzle, and the coating ink. The coating apparatus according to claim 1, wherein the coating apparatus is connected by a delivery pipe.
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