KR20100061380A - 도전성 볼 탑재 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 도전성 볼 탑재 장치는, 기판을 지지하는 스테이지; 스테이지를 소정 방향으로 이동시키는 반송(搬送) 유닛; 상기 소정 방향에 직교하는 방향으로 이동 가능한 이동체를 구비하고, 상기 스테이지에 의해 지지된 기판에 플럭스를 도포하는 플럭스 도포 유닛; 및 도전성 볼을 기판에 탑재하는 볼 탑재 유닛을 포함한다. 상기 도전성 볼 탑재 장치는, 플럭스 도포 유닛을 이용하여 기판의 소정 위치에 플럭스를 도포한 후에, 볼 탑재 유닛을 이용하여 기판에 도전성 볼을 탑재한다. 상기 이동체는, 인쇄 마스크를 통해 플럭스를 인쇄하는 스크린 인쇄 기구; 및 전사(轉寫) 핀에 의해 플럭스를 기판에 부착시키는 전사 기구를 포함한다.

Description

도전성 볼 탑재 장치{CONDUCTIVE BALL MOUNTING APPARATUS}

본 출원은 2008년 11월 28일자로 출원한 일본 특허 출원 제2008-304537호를 우선권으로 주장하며, 이 일본 특허 출원의 전체 내용은 본원에 참조로 인용되어 있다.

본 발명은, 플럭스를 기판에 도포한 후에 도전성 볼을 탑재하는 도전성 볼 탑재 장치의 개량에 관한 것이고, 구체적으로는 플럭스 도포 유닛에 특징이 있는 도전성 볼 탑재에 관한 것이다.

솔더 볼 등과 같은 도전성 볼을 위한 탑재 장치에서는, 솔더 볼 등을 기판에 탑재하기에 앞서 플럭스를 기판에 도포할 필요가 있다. 따라서, 도전성 볼 탑재 장치에는 플럭스 도포 기구가 마련되었다.

종래의 이러한 타입의 플럭스 도포 기구로서는, 일본 공개 특허 공보 제2001-7125호와 일본 특허 제4045517호에 나타나 있는 바와 같이, 전사(轉寫) 헤드에 마련된 전사 핀에 플럭스를 부착시키고 이 전사 핀을 기판에 접촉시켜서 플럭스를 기판에 도포하는 핀 전사 방식의 플럭스 도포 기구와, 일본 공개 특허 공보 제2001-35871호와 일본 공개 특허 공보 제2002-224884호에 나타나 있는 바와 같이, 인쇄 헤드에 마련된 인쇄 마스크에 플럭스를 공급하여 이 인쇄 마스크를 통해 플럭스를 기판에 도포하는 스크린 인쇄 방식의 플럭스 도포 기구가 제안되어 있다.

전술한 핀 전사 방식의 플럭스 도포 기구는, 처리 속도가 스크린 인쇄 방식의 플럭스 도포 기구에 비해 월등히 빠르다는 장점을 갖고 있다. 한편, 스크린 인쇄 방식의 플럭스 도포 기구는, 도전성 볼이 매우 작은 볼 직경을 갖고 탑재 피치가 좁은 도전성 볼 탑재 장치에 채용된다면, 핀 전사 방식의 플럭스 도포 기구에 비해, 플럭스를 정확한 위치에 도포할 수 있다는 장점을 갖고 있다.

따라서, 도전성 볼이 탑재되는 대상물에 따라 상기 두 플럭스 도포 기구를 구분하여 사용하는 것이 이상적이다. 그러나, 상기 두 플럭스 도포 기구를 단순히 조합한다면, 상기 두 플럭스 도포 기구는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같은 레이아웃으로 세팅된다. 도 5a에 도시된 바와 같은 레이아웃의 경우, 설치 면적이 커지고 반송(搬送) 거리가 길어진다는 문제가 있다. 한편, 도 5b에 도시된 바와 같은 레이아웃의 경우, 반송 거리의 연장을 방지할 수 있지만, 설치 면적이 넓어지고, 핀 전사 방식을 이용하여 플럭스를 도포할 때 접촉 시간이 길어진다는 택트(tact) 시간이 길어진다는 문제가 있다.

본 발명은, 도전성 볼 탑재 장치가 핀 전사 방식의 플럭스 도포 기구와 스크린 인쇄 방식의 플럭스 도포 기구를 모두 구비하더라도, 설치 면적의 확대, 반송 거리의 연장 및 택트 시간의 연장을 방지할 수 있는 도전성 볼 탑재 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 문제를 해결하기 위해, 제1 양태에 따른 본 발명은 도전성 볼 탑재 장치에 후술하는 수단을 채용한다.

즉, 본 발명의 제1 양태에 따르면, 기판을 지지하는 스테이지; 스테이지를 소정 방향으로 이동시키는 반송 유닛; 상기 소정 방향에 직교하는 방향으로 이동 가능한 이동체를 구비하며, 상기 기판에 플럭스를 도포하는 플럭스 도포 유닛; 및 도전성 볼을 기판에 탑재하는 볼 탑재 유닛을 포함하는 도전성 볼 탑재 장치로서, 이 도전성 볼 탑재 장치는, 상기 스테이지에 의해 지지된 기판의 소정 위치에 상기 플럭스 도포 유닛을 이용하여 플럭스를 도포한 후에, 상기 스테이지에 의해 지지된 기판에 상기 볼 탑재 유닛을 이용하여 도전성 볼을 탑재하고, 상기 이동체는, 인쇄 마스크를 통해 플럭스를 인쇄하는 스크린 인쇄 기구; 및 전사 핀에 의해 플럭스를 기판에 부착시키는 전사 기구를 구비하는 것인 도전성 볼 탑재 장치가 제공된다.

본 발명의 제2 양태에 따르면, 상기 도전성 볼 탑재 장치에서, 상기 스크린 인쇄 기구와 상기 전사 기구는 동일 이동체에 마련된다.

본 발명의 제3 양태에 따르면, 상기 도전성 볼 탑재 장치에서, 도전성 볼 탑재 장치는, 서로 평행하게 마련된 복수의 반송 유닛을 포함하고, 상기 스테이지는 상기 복수의 반송 유닛 각각에 마련되며, 상기 플럭스 도포 유닛은 각 스테이지 상의 기판에 플럭스를 차례대로 도포한다.

본 발명에 따르면, 도전성 볼 탑재 장치의 플럭스 도포 유닛은 반송 유닛에 직교하는 방향으로 이동 가능한 이동체를 포함한다. 이 이동체는, 인쇄 마스크를 통해 플럭스를 인쇄하는 스크린 인쇄 기구와, 전사 핀에 의해 플럭스를 부착시키는 전사 기구를 포함한다. 따라서, 본 발명은, 두 기구(즉, 스크린 인쇄 기구와 전사 기구)를 모두 구비하더라도, 설치 면적의 확대, 반송 거리의 연장 및 택트 시간의 연장을 방지할 수 있는 도전성 볼 탑재 장치를 제공한다.

또한, 제2 양태에 따르면, 스크린 인쇄 기구 및 전사 기구가 동일(공통) 이동체에 설치되므로, 두 기구를 하나의 이동체에 의해 이동시킬 수 있다. 따라서, 스크린 인쇄 기구와 전사 기구의 구동축 구성을 간략화할 수 있고, 그 설치 면적 등과 같은 공간을 절약할 수 있다.

또한, 제3 양태에 따르면, 복수의 반송 유닛이 마련되어, 각 반송 유닛에 의해 반송되는 기판에 차례대로 플럭스를 도포한다. 따라서, 도전성 볼 탑재 장치의 생산 속도를 향상시킬 수 있다.

이하에서는, 도면을 참조로 하여, 실시예와 함께 본 발명의 실시형태를 설명 한다.

실시예는 솔더 볼을 도전성 볼로서 사용하는 솔더 볼 탑재 장치에 관한 것이다. 솔더 볼 탑재 장치는, 기판(11) 상에 소정 배열 패턴으로 형성된 각 전극에 플럭스를 도포하고, 솔더 볼을 각 전극에 탑재한다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 솔더 볼 탑재 장치는, 기판 공급 유닛(1), 플럭스 도포 유닛(2), 볼 탑재 유닛(3) 및 기판 반출(搬出) 유닛(4)을 포함한다. 이 솔더 볼 탑재 장치에서는, 기판(11)이 탑재되는 기판 스테이지(5)를 반송하기 위한 반송로가, 기판 공급 유닛(1)으로부터 볼 탑재 유닛(3)까지 형성된다. 기판 스테이지(5)에 탑재된 기판(11)을 기판 공급 유닛(1)으로부터 플럭스 도포 유닛(2)을 지나 볼 탑재 유닛(3)까지 반송하도록 구성된 반송 유닛(6 및 61)이, 반송로에 마련된다.

기판 공급 유닛(1)은 반입 컨베이어(7)와 반입용 픽-앤-플레이스(pick-and-place)를 포함한다. 반입 컨베이어는 기판(11)을 한장씩 공급한다. 반입용 픽-앤-플레이스(8)는, 각 기판(11)을 반입 컨베이어(7)로부터 픽업하여, 기판(11)을 각 기판 스테이지(5) 상에 놓는다. 또한, 각 반송로의 위에서 기판 스테이지(5) 상의 기판(11)을 촬상하는 데 사용되는 제2 위치 인식 카메라(29)가, 반입용 픽-앤-플레이스(8)에 장착되어 있다. 제2 위치 인식 카메라(29)에 의하여, 기판(11)의 정렬 마크나 볼 탑재 위치를 정확하게 인식할 수 있다.

본 발명에서 스테이지[즉, 기판 스테이지(5)]를 반송로(도 2의 수평방향)를 따라 이동시키는 2개의 반송 유닛(6 및 61)은, 본 실시예에서 서로 평행하게 마련 되어 있으며, 좌우의 반송 유닛(6 및 61) 각각에 기판 스테이지(5)가 마련되어 있다. 2개의 반송 유닛(6 및 61)을 사용하는 이유는, 생산 속도를 증가시키기 위해서이다. 따라서, 1개의 반송 유닛이 마련될 수도 있고, 또는 복수의 반송 유닛이 마련될 수도 있음은 물론이다.

기판 스테이지(5)의 상면에는 기판 배치면(9)이 형성되어 있다. 기판 스테이지(5)는 흡착 유닛과 회전 장치(10)를 구비한다. 흡착 유닛은 기판 배치면(9)에 놓인 기판(11)을 흡착한다. 회전 장치(10)는 기판(11)을 θ축 방향(즉, 회전방향)으로 구동한다.

후술하는 전사 기구(12), 인쇄 기구(13) 및 볼 탑재 헤드(30)를 촬상하기 위한 제1 위치 인식 카메라(19)가, 기판 스테이지(5)에 장착되어 있다. 제1 위치 인식 카메라(19)는 적어도 하나의 기판 스테이지(5)에 설치되고, 제1 위치 인식 카메라(19)에 의한 전사 기구(12), 인쇄 기구(13) 및 볼 탑재 헤드(30)의 촬상은, 각 기구(12 및 13)의 사양 변경 후의 생산 개시 이전에만 행해지면 충분하다..

제1 위치 인식 카메라(19)에 의하여, 전사 기구(12)의 정렬 마크나 전사 핀의 위치, 또는 인쇄 기구(13)의 인쇄 마스크(18)의 정렬 마크나 플럭스가 통과하는 관통 구멍의 위치를 인식할 수 있다. 이에 따라, 제2 위치 인식 카메라(29)로부터의 이미지를 함께 이용하여, 플럭스 도포를 정확하게 행할 수 있게 된다.

본 발명의 특징은 플럭스 도포 유닛(2)에 있다. 전사 기구(12) 및 인쇄 기구(13)가 설치되는 이동체(14)와, 이동체(14)를 위한 이동체 이동 장치(15)가, 도 3에 도시된 바와 같이, 플럭스 도포 유닛(2)의 상측에 마련되어 있다. 즉, 전사 기구(12) 및 인쇄 기구(13)는 동일(공통) 이동체(14)에 설치되어 있다.

이동체(14)의 하측에는, 전사 기구(12)에 대한 플럭스 공급 유닛(16)이 일측에 마련되어 있고, 인쇄 기구(13)의 인쇄 마스크(18)를 세정하기 위한 세정 유닛(17)이 타측에 마련되어 있어, 기판 스테이지(5)용의 2열의 반송로가 사이에 끼어있게 된다(예를 들어 도 2와 도 3 참조). 즉, 반송 유닛(6 및 61)의 반송로에 직교하는 방향(즉, 도 4의 수평 방향)의 일측에는 전사 기구(12)에 대한 플럭스 공급 유닛(16)이 배치되어 있고, 타측에는 인쇄 기구(13)의 인쇄 마스크(18)용의 세정 유닛(17)이 배치되어 있다.

전사 기구(12)에는, 플럭스를 기판(11)에 전사하기 위한 전사 핀이 마련되어 있다. 전사 핀은 기판(11)의 전극 패턴에 맞추어 배열되어 있다. 또한, 전사 기구(12)는 전사 기구 승강 장치(20)를 포함한다. 또한, 플럭스를 전사 기구(12)의 전사 핀에 공급하는 플럭스 공급 유닛(16)은, 전사 핀 배치 영역의 크기에 대응하는 크기로 형성된다.

인쇄 기구(13)에는, 플럭스를 기판(11)에 인쇄하기 위한 인쇄 마스크(18)가 장착되어 있다. 기판(11) 상의 전극 패턴에 맞춰 배치된 복수의 관통 구멍이 인쇄 마스크(18)에 형성되어 있고, 인쇄 마스크(18)는 형틀에 붙여져 있다. 이 형틀은 마스크 지지 장치(28)에 의해 지지되어 있다. 마스크 지지 장치(28)는 인쇄 기구 승강 장치(21)를 통해 이동체(14)에 설치되어 있다. 또한, 인쇄 기구(13)에는, 적당량의 플럭스를 인쇄 마스크(18)에 공급하도록, 플럭스 공급 장치(도시 생략)가 마련되어 있다.

인쇄 기구(13)에 의한 플럭스의 인쇄는, 2개의 스퀴즈(24); 각각의 스퀴즈를 각각 지지하여 그 상하방향의 위치를 변경하는 2개의 에어 실린더(22); 및 스퀴즈(24)를 에어 실린더(22)를 통해 수평방향으로 이동시키는 스퀴즈 이동 장치(23)에 의해 행해진다.

인쇄 기구(13)에 의한 플럭스의 기판(11)으로의 인쇄는, 스퀴즈(24)를 인쇄 마스크(18)의 상면을 따라 미끄럼 이동하도록 이동시키는 것에 의해 행해진다. 즉, 스퀴즈(24)에 의해 인쇄 마스크(18)를 위에서부터 아래로 눌러서, 플럭스를 인쇄 마스크의 관통 구멍에 압인하고, 플럭스를 관통 구멍을 통해 기판(11)의 전극 상에 공급한다.

인쇄 마스크(18)의 상면에서 미끄럼 이동하는 스퀴즈(24)는 고무, 합성 수지, 금속 등으로 제조된다. 스퀴즈(24)는, 인쇄 마스크(18)에 있어서 관통 구멍이 형성되는 영역의 폭보다는 넓게 형성되고, 인쇄 마스크(18)의 폭보다는 좁게 형성된다.

인쇄 마스크(13)의 세정 유닛(17)에서는, 급송 롤러(26)와 권취 롤러(27) 사이에 세정 시트(25)가 걸려 있다. 세정 유닛(17)은, 인쇄 마스크(18)를 세정 시트(25)에 밀어붙여 세정 시트(25)를 미끄럼 이동시킴으로써 세정을 행한다.

이동체(14)는, 이동체 이동 장치(15)에 설치되어 있다. 이동체 이동 장치(15)는, 반송 유닛(6 및 61)에 직교하는 방향으로 이동체(14)를 이동시킨다. 전사 기구(12)는, 플럭스 공급 유닛(16)과 전사 위치인 기판 스테이지(5) 상의 기판(11) 사이에서 이동체(14)의 이동 방향으로 왕복 운동한다. 인쇄 기구(13)는, 기판(11)과 세정 유닛(17) 사이에서 이동체(14)의 이동 방향으로 왕복 운동한다.

볼 탑재 유닛(3)의 상측에서는, 볼 탑재 헤드(30)와 이미 탑재되어 있는 기판(11)에 대한 취출용 픽-앤-플레이스(31)가, 동일(공통) 탑재 헤드 이동 장치(32)에 장착되어 있어, 볼 탑재 헤드(30)와 취출용 픽-앤-플레이스(31)는 전후방향(즉, 도 3의 상하방향)으로 개별적으로 이동 가능하다. 다수의 솔더 볼이 저장되어 있는 볼 공급 유닛(33)과, 솔더 볼이 볼 탑재 헤드(30)에 적절히 흡착되었는지의 여부를 검사하는 흡착 검사 유닛(34)이, 볼 탑재 헤드(30)의 하측에 설치되어 있다.

이하에서는, 솔더 볼 탑재 장치의 작동을 설명한다. 먼저, 제1 위치 인식 카메라(19)는, (a) 다음에 사용되는 전사 기구(12) 및 인쇄 기구(13)의 정렬 마크; 또는 (b) 전사 기구(12)의 전사 핀 및 인쇄 기구(13)의 인쇄 마스크(18)의 관통 구멍을 촬상하고, 또한 볼 탑재 헤드(30)를 촬상하여, 각각의 위치를 측정한다.

반입 컨베이어(7)에 의해 반입된 기판(11)은 반입용 픽-앤-플레이스(8)에 의해 반입 컨베이어(7)로부터 취출된다. 그 후에, 기판(11)은 기판 공급 유닛(1)에서 대기하고 있는 각각의 기판 스테이지(5)에 번갈아 놓인다.

반입용 픽-앤-플레이스(8)에 장착되어 있는 제2 위치 인식 카메라(29)가, 기판 스테이지(5)에 높인 기판(11)에 대하여, 기판(11)에 표시된 정렬 마크 또는 볼 탑재 위치를 촬상하여, 기판(11)의 위치를 측정한다. 그 후에, 기판(11)은 기판 스테이지(5)의 이동에 의해 플럭스 도포 유닛(2)으로 반송된다.

플럭스를 전사 기구(12)에 의해 도포하는 경우에는, 우선, 기판(11)을 플럭스 도포 유닛(2)으로 반송하기 이전에, 스퀴즈에 의해 플럭스 공급 유닛(16)의 플 럭스를 고르게 하여, 두께를 균일화한다. 그 후에, 플럭스 공급 유닛(16)의 위에 위치하여 있는 전사 기구(12)를 전사 기구 승강 장치(20)에 의해 하강시켜, 플럭스를 전사 핀의 선단에 부착시킨다.

기판(11)을 플럭스 도포 유닛(2)으로 반송할 때, 전사 기구(12)가 이동체(14)용 이동 장치(15)에 의해 기판(11)의 상측으로 이동하고, 이와 더불어 기판 스테이지(5)용 회전 장치(10)가 회전하여, 제1 위치 인식 카메라(19) 및 제2 위치 인식 카메라(29)의 촬상에 기초한 기판(11) 및 전사 기구(12)의 정렬이 수행된다. 이어서, 전사 기구 승강 장치(20)에 의해 전사 기구(12)를 하강시켜, 플럭스를 기판(11)에 부착시킨다. 이와 같이 하여, 플럭스를 도포한 후에는, 다음 전사에 대비하여 전사 기구(12)를 전사 기구 승강 장치(20)에 의해 들어올리고, 또한 전사 기구(12)를 이동체(14)용 이동 장치(15)에 의해 플럭스 도포 유닛(16)으로 이동시킨다. 또한, 전사 동작 동안에 플럭스 공급 유닛(16)에서는, 스퀴즈에 의해 플럭스를 고르게 하는 동작이 수행된다.

플럭스를 인쇄 기구(13)에 의해 도포하는 경우에는, 기판(11)을 플럭스 도포 유닛(2)으로 반송할 때, 인쇄 기구(13)가 이동체(14)용 이동 장치(15)에 의해 기판(11)의 상측으로 이동하고, 이와 더불어 기판 스테이지(5)용 회전 장치(10)가 회전하여, 제1 위치 인식 카메라(19) 및 제2 위치 인식 카메라(29)의 촬상에 기초한 기판(11) 및 인쇄 기구(13)의 정렬이 수행된다. 이어서, 기판(11)의 상면과 인쇄 마스크(18)의 하면이 소정의 거리를 두는 위치까지, 인쇄 기구(13)를 인쇄 기구 승강 장치(21)에 의해 하강시킨다. 그 후, 한쪽 스퀴지(24)를 하강시켜 인쇄 마스 크(18)를 아래로 밀어붙이고, 이 스퀴즈를 횡방향으로 이동시켜 플럭스를 인쇄 마스크(18)의 관통 구멍에 압인한다. 그 후, 플럭스를 기판(11)에 인쇄한다. 그 후, 스퀴즈(24)를 들어올린다.

그 후, 인쇄 기구(13)를, 인쇄 기구 승강 장치(21)에 의해 들어올리고, 이동체(14)용 이동 장치(15)에 의해 세정 유닛(17)으로 이동시켜, 인쇄 마스크(18)의 세정을 수행한다. 또한, 매번 세정을 수행할 필요는 없으며, 필요할 때 세정을 수행하면 충분하다. 다음 기판(11)이 플럭스 도포 유닛(2)으로 반송될 때, 인쇄 기구(13)를 기판(11)의 상측으로 이동시켜, 다른쪽 스퀴즈(24)에 의해 동일한 방식으로 인쇄를 수행한다. 또한, 기판(11)은 각 반송 유닛(6 및 61)에 의해 번갈아 플럭스 도포 유닛(2)으로 반송되므로, 기판의 반송 순서대로 전사 동작 또는 인쇄 동작이 번갈아 수행된다.

본 실시예서는 플럭스 도포 유닛(2)에서 전사 기구(12)와 인쇄 기구(13)가 공통 이동체(14)에 설치되어 있어, 두 기구는 이동체(14)용 이동 장치(15)에 의해 일체적으로 수평 이동된다. 그러나, 전사 기구(12)와 인쇄 기구(13)는 분리되어 있으며, 공통의 이동로를 따라 이동 가능하도록 설치될 수 있다.

플럭스 도포 유닛(2)에서 플럭스의 도포가 완료된 기판(11)은, 기판 스테이지(5)의 이동에 의해 볼 탑재 유닛(3)으로 반송된다. 이 때, 제1 위치 인식 카메라(19)로 촬상한 볼 탑재 헤드(30)의 위치와 제2 위치 인식 카메라(29)로 촬상한 기판(11)의 위치에 기초하여, 기판(11)과 볼 탑재 헤드(30)의 정렬을 수행하도록, 기판(11)과 볼 탑재 헤드(30)는 탑재 헤드 이동 장치(32)와 회전 장치(10)에 의해 이동된다. 이어서, 솔더 볼은 볼 탑재 헤드(30)에 의해 기판(11) 상에 탑재된다.

볼 탑재 유닛(3)에서 볼 탑재 헤드(30)에 의해 솔더 볼의 탑재가 완료된 기판(11)은, 취출용 픽-앤-플레이스(31)에 의해 취출되어, 탑재 검사 유닛(35)으로 이송된다. 솔더 볼 탑재 검사가 완료된 기판(11)에 대해서는, 기판 반출 유닛(4)에서, 반출용 픽-앤-플레이스(38)에 의해 정상 탑재 기판(11)은 반출 컨베이어(36)로 이송하고, 비정상 탑재 기판(11)은 수집 유닛(37)으로 이송한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 솔더 볼 탑재 장치의 전체를 보여주는 개략적인 정면도.

도 2는 솔더 볼 탑재 장치의 헤드 유닛을 생략한 상태의 평면 설명도.

도 3은 솔더 볼 탑재 장치의 헤드 유닛을 보여주는 평면 설명도.

도 4는 솔더 볼 탑재 장치의 플럭스 도포 유닛의 측면도.

도 5a와 도 5b는 종래예에서의 각 유닛의 레이아웃을 보여주는 설명도로서, 도 5a는 플럭스 도포 유닛의 스크린 인쇄 유닛과 핀 전사 유닛이 기판의 이동 방향에 있어서 볼 탑재 유닛의 앞에 마련되어 있는 레이아웃을 보여주며, 도 5b는 플럭스 도포 유닛의 스크린 인쇄 유닛이 기판의 이동 방향에 있어서 볼 탑재 유닛의 앞에 마련되어 있고, 핀 전사 유닛이 볼 탑재 유닛에 마주하도록 마련되어 있는 레이아웃을 보여준다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 기판 공급 유닛

2 : 플럭스 도포 유닛

3 : 볼 탑재 유닛

4 : 기판 반출 유닛

5 : 기판 스테이지

6, 61 : 반송 유닛

7 : 반입 컨베이어

8 : 반입용 픽-앤-플레이스

9 : 기판 배치면

10 : 회전 장치

11 : 기판

12 : 전사 기구

13 : 인쇄 기구

14 : 이동체

15 : 이동체 이동 기구

16 : 플럭스 공급 유닛

17 : 세정 유닛

18 : 인쇄 마스크

19 : 제1 위치 인식 카메라

20 : 전사 기구 승강 장치

21 : 인쇄 기구 승강 장치

22 : 에어 실린더

23 : 스퀴즈 이동 장치

24 : 스퀴즈

25 : 세정 시트

26 : 급송 롤러

27 : 권취 롤러

28 : 마스크 지지 장치

29 : 제2 위치 인식 카메라

30 : 볼 탑재 헤드

31 : 취출용 픽-앤-플레이스

32 : 탑재 헤드 이동 장치

33 : 볼 공급 유닛

34 : 흡착 검사 유닛

35 : 탑재 검사 유닛

36 : 반출 컨베이어

37 : 수집 유닛

38 : 반출용 픽-앤-플레이스

Claims (3)

1. 기판을 지지하는 스테이지;

   스테이지를 미리 정해놓은 방향으로 이동시키는 반송(搬送) 유닛;

   상기 미리 정해놓은 방향에 직교하는 방향으로 이동 가능한 이동체를 구비하며, 상기 기판에 플럭스를 도포하는 플럭스 도포 유닛; 및

   도전성 볼을 기판에 탑재하는 볼 탑재 유닛

   을 포함하는 도전성 볼 탑재 장치로서,

   이 도전성 볼 탑재 장치는, 상기 스테이지에 의해 지지된 기판의 미리 정해놓은 위치에 상기 플럭스 도포 유닛을 이용하여 플럭스를 도포한 후에, 상기 스테이지에 의해 지지된 기판에 상기 볼 탑재 유닛을 이용하여 도전성 볼을 탑재하고,

   상기 이동체는,

   인쇄 마스크를 통해 플럭스를 인쇄하는 스크린 인쇄 기구; 및

   전사(轉寫) 핀에 의해 플럭스를 기판에 부착시키는 전사 기구

   를 구비하는 것인 도전성 볼 탑재 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 스크린 인쇄 기구와 상기 전사 기구는 동일 이동체에 마련되는 것인 도전성 볼 탑재 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 도전성 볼 탑재 장치는, 서로 평행하게 마련된 복수의 반송 유닛을 포함하고,

   상기 스테이지는 각각의 반송 유닛에 마련되며,

   상기 플럭스 도포 유닛은 각 스테이지 상의 기판에 플럭스를 차례대로 도포하는 것인 도전성 볼 탑재 장치.

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