KR20100059131A

KR20100059131A - 기판 이송장치

Info

Publication number: KR20100059131A
Application number: KR1020080117790A
Authority: KR
Inventors: 박우열
Original assignee: 에프엔에스테크 주식회사
Priority date: 2008-11-26
Filing date: 2008-11-26
Publication date: 2010-06-04
Also published as: KR101006459B1

Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내함으로써 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 상기 이송수단에 고정설치되는 프레임; 상기 프레임의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 상부에 설치되어 기판을 지지하는 지지부; 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트에 상승압력을 부여하는 부양수단; 및 상기 지지플레이트의 승강을 안내하는 안내부재;를 포함한다.

기판. 이송. 기립. 완충. 스프링. 안내부재.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}

일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다.

통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.

따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다.

도시된 바와 같이, 컨베이어밸트(10)와, 상기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 지지하는 지지장치(20)로 구성된다.

상기 기판 지지장치(20)는 상기 컨베이어밸트에 고정설치되는 프레임(21)과, 상기 프레임(21)의 내부 하면에 구비되는 자석(23)과, 상기 자석(23)과 같은 극성의 자석을 구비하는 지지플레이트(22)와, 상기 지지플레이트(22)의 상부에 연결되는 기판 지지부(24)로 구성된다.

이러한 지지장치(20)는 기판에 상하방향의 충격이 전달되면, 자력에 의해 부양되어 있는 상태의 상기 지지플레이트가 하강하면서 충격이 완화되어 기판을 보호할 수 있는 것이다.

그러나 이러한 종래의 기판 지지장치의 경우, 상기 지지플레이트의 하강 또는 원위치로의 상승시, 상기 지지플레이트의 형태를 일정하게 유지할 수 없다. 즉, 수평상태로 유지되지 않은 채 지지플레이트가 상승 또는 하강하는 경우가 빈번하다. 이 경우, 지지부에 의해 지지되는 기판에 2차 충격을 가하게 되어 기판을 손상시키는 원인이 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내함으로써 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 상기 이송수단에 고정설치되는 프레임; 상기 프레임의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 상부에 설치되어 기판을 지지하는 지지부; 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트에 상승압력을 부여하는 부양수단; 및 상기 지지플레이트의 승강을 안내하는 안내부재;를 포함한다.

또한 상기 안내부재는 상기 지지플레이트의 단부에 설치되어 상기 프레임의 내측벽에 구름접촉하는 롤러인 것이 바람직하다.

또한 상기 롤러는 상기 지지플레이트의 양측 단부에 각각 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 프레임의 내측벽에는 상기 롤러를 안내하는 안내홈이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 부양수단은 상기 지지부에 가해지는 상하방향의 충격을 완화시키는 것이 바람직하다.

또한 상기 부양수단은 상기 프레임의 하면과 지지플레이트에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석인 것이 바람직하다.

또한 상기 부양수단은 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트를 지지하는 압축스프링인 것이 바람직하다.

또한 상기 부양수단은 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 공기부양시키는 에어블로워인 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부는 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내하기 때문에 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 제1실시예(100)는 이송수단인 컨베이어밸트와, 상기 컨베이어밸트에 고정설치되는 프레임(110)과, 상기 프레임(110)의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트(130)와, 기립상태의 기판(S)을 지지하는 홈(121)이 형성된 지지부(120)와, 상기 프레임(110)의 내부에서 상기 지지플레이트(130)에 상승압력을 부여하는 부양수단(111,132)을 포함한다. 상기 지지플레이 트(130)는 상기 프레임(110)의 내부에 수납되어 이탈되지 못하도록 구속된다. 반면 상기 지지부(120)는 상기 프레임(110)의 개구부를 통해 프레임(110)의 외부로 돌출되어 기판을 지지하는 것이다. 상기 부양수단(111,132)은 상기 지지부(120)에 가해지는 상햐방향의 충격을 완화시키는 것이다. 본 실시예에서 상기 부양수단은 상기 프레임(110)의 하면과 지지플레이트(130)에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석(111,132)으로 구성된다.

특히, 상기 지지플레이트(130)의 양단부에는 상기 지지플레이트(130)의 승강을 안내하도록 상기 프레임(110)의 내측벽에 구름접촉하는 롤러(131)가 각각 한쌍씩 구비된다.

또한 상기 프레임(110)의 내측벽에는 상기 롤러(131)를 안내하는 안내홈(미도시)이 형성된다.

이와 같이 구성된 본 실시예(100)는 컨베이어벨트를 타고 기립된 상태의 기판을 이송하는 중에, 외부환경 또는 이송장치 자체적으로 발생하는 진동이 가해지면, 지지플레이트(130)가 상하방향으로 승강하게 되며, 이 때, 상기 롤러(131)가 프레임(110)의 내측벽에 형성된 안내홈을 따라 구름접촉하면서 이동하게 되는 것이며, 이로 인해 상하방향의 외부충격 또는 진동이 완화되어 기판(S)을 보호할 수 있는 것이다.

도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 제2실시예(200)는 안내부재로서 상기 지지플레이트(230)의 양단부에는 상기 지지플레이트(230)의 승강을 안내하도록 상기 프레임(210)의 내측벽에 구름접촉하는 롤러(231)가 각각 한쌍씩 구비되고, 또한 상기 프레임(210)의 내측벽에는 상기 롤러(231)를 안내하는 안내홈(미도시)이 형성된다는 점에서는 제1실시예와 동일하다.

다만, 부양수단으로서 서로 같은 극성의 자석 대신에 프레임(210)의 내부에서 지지플레이트(230)를 지지하는 압축스프링(240)으로 대체한 것이다.

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 제3실시예(300)는 안내부재로서 상기 지지플레이트(330)의 양단부에는 상기 지지플레이트(330)의 승강을 안내하도록 상기 프레임(310)의 내측벽에 구름접촉하는 롤러(331)가 각각 한쌍씩 구비되고, 또한 상기 프레임(310)의 내측벽에는 상기 롤러(331)를 안내하는 안내홈(미도시)이 형성된다는 점에서는 제1실시예(100)와 동일하다.

다만, 부양수단으로서 서로 같은 극성의 자석 대신에 프레임(310)의 내부에서 지지플레이트(330)를 공기부양하는 에어블로워(340)로 대체한 것이다.

도 1은 종래 기판 이송장치를 나타낸 것이다.

도 2는 종래 기판 지지장치를 나타낸 것이다.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 서로 다른 실시예를 나타낸 것이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

100: 제1실시예

110: 프레임 111: 자석

120: 지지부 121: 홈

130: 지지플레이트 131: 롤러

132: 자석

200: 제2실시예

210: 프레임 220: 지지부

221: 홈 230: 지지플레이트

231: 롤러 240: 압축스프링

300: 제3실시예

310: 프레임 320: 지지부

321: 홈 330: 지지플레이트

331: 롤러 340: 에어블로워

Claims

이송수단;

상기 이송수단에 고정설치되는 프레임;

상기 프레임의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트;

상기 지지플레이트의 상부에 설치되어 기판을 지지하는 지지부;

상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트에 상승압력을 부여하는 부양수단; 및

상기 지지플레이트의 승강을 안내하는 안내부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 안내부재는 상기 지지플레이트의 단부에 설치되어 상기 프레임의 내측벽에 구름접촉하는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제2항에 있어서,

상기 롤러는 상기 지지플레이트의 양측 단부에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제2항에 있어서,

상기 프레임의 내측벽에는 상기 롤러를 안내하는 안내홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 지지부에 가해지는 상하방향의 충격을 완화시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제5항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 프레임의 하면과 지지플레이트에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제5항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트를 지지하는 압축스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제5항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 공기부양시키는 에어블로워인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 지지부는 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제9항에 있어서,

상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.