KR20100055135A - 성형 스크린 및 성형 스크린의 형성 방법, 스크린 인서트, 및 성형 드럼 장치 - Google Patents

성형 스크린 및 성형 스크린의 형성 방법, 스크린 인서트, 및 성형 드럼 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 성형 스크린 및 성형 스크린의 형성 방법, 스크린 인서트, 및 성형 드럼 장치를 제공한다. 성형 스크린은 흡수성 물품을 형성하는 성형 드럼에 장착된다. 성형 스크린은 복수의 제1 관통 홀을 가지는 제1 기판, 및 제1 기판 상에 배치되고 제1 관통홀들보다 작은 크기를 갖는 복수의 제2 관통 홀을 가지는 제2 기판을 포함하되, 제1 관통 홀은 제2 관통 홀과 중첩되도록 배치되고, 제1 기판과 제2 기판은 서로 접착된다.
성형 드럼, 성형 스크린, 스크린 인서드, 내마모성

Description

성형 스크린 및 성형 스크린의 형성 방법, 스크린 인서트, 및 성형 드럼 장치{FORMIG SCREEN AND THE FORMING METHOD OF THE SAME, SCTEEN INSERT, FORMING DRUM APPARATUS}
본 발명은 성형 드럼 장치에 관한 것이다. 더 구체적으로 성형 드럼 장치의 성형 스크린에 관한 것이다.
고흡수성 물품은 성형 드럼을 이용하여 형성될 수 있다. 성형 드럼에는 진공으로 고흡수성 재료를 빨아들이는 성형 스크린이 배치된다. 통상적인 성형 스크린은 매쉬(mesh) 형태를 가지고 있어, 고흡수성 재료의 뭉침 형상이 발생한다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 뭉칭 또는 치우침 현상을 제거한 성형 스크린을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 고흡수성 재료에 의한 내마모상이 향상된 성형 스크린을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 뭉칭 또는 치우침 현상을 제거한 스크린 인서트를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 분해 결합이 용이한 성형 드럼 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린은 흡수성 물품을 형성하는 성형 드럼에 장착된다. 상기 성형 스크린은 복수의 제1 관통 홀을 가지는 제1 기판, 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 상기 제1 관통홀들보다 작은 크기를 갖는 복수의 제2 관통 홀을 가지는 제2 기판을 포함하되, 상기 제1 관통 홀은 상기 제2 관통 홀과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 기판의 내마모성은 상기 제1 기판의 내마모성보다 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제 1 기판은 복수의 제3 관통 홀, 및 상기 제2 기판은 복수의 제4 관통 홀을 더 포함하되, 상기 제 3 관통 홀은 상기 제 4 관통 홀과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 관통 홀 및 상기 제2 관통 홀은 각각 상기 제3 관통 홀 및 제4 관통홀 보다 더 큰 지름을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 관통 홀 및 제3 관통홀은 각각 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열되고, 상기 제 3 관통 홀은 상기 제1 방향 및/또는 상기 제2 방향으로 이웃한 상기 제1 관통홀들 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 관통 홀들이 일정한 간격으로 배열되어 제1 열을 형성하고, 상기 제3 관통 홀들은 일정한 간격으로 배열되어 제2 열을 형성하고, 상기 제1 열 및 상기 제2 열은 서로 어프셋 될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 기판 상에 배치된 제 3 기판을 더 포함하되, 상기 제3 기판은 복수의 제5 관통홀을 더 포함하되, 상기 제1, 제2 및 제 5 관통홀은 서로 정렬될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 관통홀과 상기 제2 관통 홀은 계단형상을 이루고, 상기 제1 관통홀의 단면적은 상기 제2 관통홀의 단면적보다 크고, 상기 제5 관통홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 관통홀, 상기 제2 관통 홀, 및 상기 제5 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제5 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지고, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀의 같은 단면적으로 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제5 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지고, 상기 제2 관통홀의 단면적은 상기 제1 관통홀의 단면적 보다 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지고, 상기 제5 관통홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 증가하도록 테이퍼질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 관통 홀 및 상기 제2 관통 홀은 원형, 또는 다각형일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 기판의 하면은 진공 장치에 연결되고, 상기 제2 기판의 상면은 공정 챔버에 연결되고, 상기 제1 관통홀의 단면적은 상기 제2 관통 홀의 단면적보다 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 관통홀 및 제2 관통 홀 중에서 적어도 하나는 테이퍼질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 제1 방향으로 원호를 형성하는 외곽영역을 가지고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 중심 영역에 케비티(cavity)를 가지고, 상기 제 1 방향을 가로지는 제2 방향에서 평평한 외곽영역을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 기판은 철, 니켈, 아연, 타이타늄, 크롬, 몰리브텐, 텅스텐, 구리, 알루미늄, 금, 은, 플라스틱, 아크릴, 폴리이미드, 유리, 세라믹, 스테인레스 합금, 및 테프론 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 기판은 텅스텐, 텅스텐카바이트, 다이아몬드라이크카본(diamond like carbon), 타이타늄타바이트, 알루미늄산화막, 금속 질화막 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린 형성 방법은 제1 기판 및 제2 기판을 적층하는 단계, 및 상기 제1 기판에 제1 관통홀 및 상기 제2 기판에 제2 관통홀을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제1 관통홀은 상기 제2 관통 홀과 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 기판에 제1 관통홀 및 상기 제2 기판에 제2 관통홀을 형성하는 단계는 습식 식각, 건식 식각, 및 레이저 어블레이션(ablation)중에서 적어도 하나를 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 기판 및 제2 기판을 적층하는 단계는 스핀 코팅, 증착, 용접, 접착, 및 도금 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 인서트는 복수의 제1 관통 홀을 가지는 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀을 가지는 제2 기판을 포함하고, 상기 제1 관통 홀과 상기 제2 관통 홀은 정렬되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된 성형 스크린, 상기 성형 스크린이 고정되고 중심부에 매트릭스 형태의 십자형 판자들이 배치된 성형 스크린 지지부, 상기 성형 스크린 지지부가 배치되는 스크린 몸체부, 상기 성형 스크린 상부에 배치되어 흡수성 물품 의 외형을 형성하는 원형링을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 십자형 판자들은 상기 성형 스크린과 웰딩에 의하여 용접될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 원형링, 상기 성형 스크린, 및 스크린 지지부는 제1 고정 수단에 의하여 서로 고정되고, 상기 스크린 몸체부와 상기 원형링은 제2 고정 수단에 의하여 서로 고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼 장치는 흡수성 물품을 형성하는 성형 드럼 및 상기 성형 트럼의 원주에 배치되는 성형 인서트를 포함할 수 있다.
상기 스크린 인서트는 복수의 제1 관통 홀을 가지는 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀을 가지는 제2 기판을 포함하고, 상기 제1 관통 홀과 상기 제2 관통 홀은 정렬되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된 성형 스크린, 상기 성형 스크린이 고정되고 중심부에 매트릭스 형태의 십자형 판자들이 배치된 성형 스크린 지지부, 상기 성형 스크린 지지부가 배치되는 스크린 몸체부, 및 상기 성형 스크린 상부에 배치되어 흡수성 물품의 외형을 형성하는 원형링을 포함할 수 있다.
 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린은 유연성과 용이 가공 가능한 제1 층과 내마모성이 우수한 제2 층을 포함한다. 이에 따라, 상기 성형 스크린은 도포 균일성 및 내구성을 유지할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼 장치는 분해 결합이 용이하여 흡수성 물품의 형상 변경 시간을 감소시킬 수 있다.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 층(또는 막) 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 또한, 층(또는 막)이 다른 층(또는 막) 또는 기판 "상"에 있다고 언급되어지는 경우에 그것은 다른 층(또는 막) 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 층(또는 막)이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
기저기 및 생리대 등의 흡수성 물품은 고속으로 회전하는 성형 드럼 장치(Forming drum apparatus)에 의하여 형성될 수 있다. 상기 성형 드럼에 장착된 성형 스크린(forming screen)과 상기 성형 스크린의 외곽에 배치된 원형링은 상기 흡수성 물품의 형상을 결정할 수 있다. 상기 흡수성 물품은 펄프 및 고흡수성 재료를 포함할 수 있다. 상기 고흡수성 재료는 실리카 겔(silica gel)을 포함할 수 있다. 상기 성형 스크린은 상기 펄프 및 상기 고흡수성 재료를 균일하게 상기 흡수성 물품에 도포할 필요가 있다. 또한, 상기 성형 스크린은 내구성 및 내마모성을 유지할 필요가 있다.
도 1a 및 도 1b은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다. 도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린의 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 상기 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판(110), 및 상기 제1 기판(110) 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판(120)을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)은 서로 접착된다.
상기 제1 기판(110)은 구부러질 수 있다. 상기 제1 기판의 두께(t1)는 수십 um 내지 수 mm일 수 있다. 상기 제1 기판(110)의 측면과 상기 제2 기판(120)의 측면은 서로 정렬될 수 있다. 상기 성형 스크린(100)의 길이(L) 및 상기 성형 스크린(100)의 폭(W)은 수 센치미터(cm) 내지 수 미터(m)일 수 있다. 상기 제1 기판(110)에 복수의 제1 관통 홀들(112)이 배치될 수 있다. 상기 제1 관통 홀들(112)이 배치되는 영역의 길이(L1) 및 폭(W1)은 수 cm 내지 수 미터일 수 있다. 상기 제1 기판(110)은 철, 니켈, 아연, 타이타늄, 크롬, 몰리브텐, 텅스텐, 구리, 알루미늄, 금, 은, 플라스틱, 아크릴, 폴리이미드, 유리, 세라믹, 스테인레스 스틸, 및 테프론 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 관통 홀(112) 및 상기 제2 관통 홀(122)은 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지는 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
상기 제2 기판(120)은 텅스텐, 텅스텐카바이트, 다이아몬드라이크카본(diamond like carbon), 타이타늄카타바이트, 알루미늄산화막, 금속 질화막 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 기판은 상기 제1 기판보다 내구성 및 내마모성을 가질 수 있다. 상기 제2 기판(120)의 두께는 수 um 내지 수백 um 일 수 있다. 상기 제2 기판(120)의 내마모성은 상기 제1 기판(110)의 내마모성 보다 클 수 있다. 상기 제1 관통 홀(112)과 상기 제2 관통 홀(122)은 서로 중첩되고, 중심축이 서로 일치할 수 있다. 상기 제1 관통홀(112)의 단면적은 상기 제2 관통홀(122)의 단면적보다 클 수 있다. 상기 제2 관통홀들(112)이 배치된 면적(W1*L1)에 대한 상기 제2 관통 홀들(112)의 면적의 비율(개구률)은 30 퍼센트 이상일 수 있다. 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)은 서로 접착될 수 있다.
상기 제1 기판(110)의 하부면(111)은 진공 장치(미도시)에 연결될 수 있다. 상기 제2 기판(120)의 상부면(121)은 고흡수성 재료를 제공하는 공정 챔버(미도시)에 연결될 수 있다. 상기 제1 관통 홀(110)과 상기 제2 관통 홀(120)은 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)의 계면에서 계단 형상을 이룰 수 있다. 상기 성형 스트린(100)은 성형 드럼(미도시)에 장착될 수 있다. 상기 진공 장치는 상기 성형 드럼의 내부에 배치되어 상기 고흡수성 재료 및/또는 펄드 등을 (미도시)를 빨아들일 수 있다. 이에 따라, 상기 고흡수성 재료 및/또는 펄드 등은 상기 성형 스크린(100)의 제2 기판의 상부면(121)에 쌓일 수 있다. 이어서, 상기 성형 스크린에 쌓인 상기 고흡수성 재료 및/또는 펄드 등은 상기 성형 스크린(100)에서 탈착될 수 있다.
상기 제2 관통홀(122)과 이웃한 제2 관통홀(122)의 소정의 거리(S)는 변형될 수 있다. 상기 거리(S) 및 상기 제2 관통홀의 단면적에 의하여 상기 개구율은 의존할 수 있다. 상기 제2 관통홀(122)의 지름(d2) 및 상기 제1 관통홀(112)의 지름(d2)은 수십 um 내지 수백 um일 수 있다. 상기 제2 기판(120) 및 제1 기판의 총 두께(t)는 수십 um 내지 수 mm일 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 관통 홀 및 제2 관통홀의 테이퍼질수 있다.
도 2a 및 도 2b은 본 발명의 다른 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다. 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린의 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 II-II'선을 따라 자른 단면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 상기 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판(110), 및 상기 제1 기판(110) 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판(120)을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)은 서로 접착된다. 상기 제1 관통홀들(112) 및 제2 관통홀들(122)은 제1 방향으로 배치되어 제1 열(101)을 형성할 수 있다. 상기 제1 관통들(112) 및 제2 관통들(122)은 제1 방향으로 오프셋되어 제2 열(102)을 형성할 수 있다. 상기 제1 관통 홀(112)의 지름(d1)은 상기 제2 관통홀(122)의 지름(d2)보다 클 수 있다. 상기 제2 기판(120) 및 제1 기판의 총 두께(t)는 수십 um 내지 수 mm일 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 관통홀 및 제2 관통홀은 테이퍼질수 있다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 평면도들이다.
도 3a를 참조하면, 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판(미도시), 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판(미도시)을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된다. 상기 제1 관통 홀(112) 및 상기 제2 관통 홀(122)은 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지는 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 제1 관통 홀(112)의 단면은 사각형일 수 있다. 상기 제2 관통 홀(122)의 단면은 원형일 수 있다. 상기 제1 관통홀의 단면적은 상기 제2 관통홀의 단면적보다 클 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 관통홀의 단면 및/또는 상기 제2 관통홀의 단면은 타원형, 다각형으로 변형될 수 있다.
도 3b를 참조하면, 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판, 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된다. 상기 제1 관통 홀들(112) 및 제2 관통 홀들(122)은 각각 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 소정의 간격을 가지고 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 제1 관통홀(112) 및 상기 제2 관통홀(122)은 서로 정렬될 수 있다.
상기 제 1 기판은 복수의 제3 관통 홀(113)을 포함할 수 있다. 상기 제2 기판은 복수의 제4 관통 홀(123)을 포함할 수 있다. 상기 제3 관통 홀들(113) 및 제2 관통 홀들(123)은 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지는 제2 방향으로 소정의 간격을 가지고 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 제3 관통홀(113) 및 상기 제4 관통홀(123)은 서로 정렬될 수 있다. 상기 제1 관통 홀들(112) 및 상기 제 3 관통홀들(113)은 제1 방향 및/또는 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 소정의 간격으로 오프셋되어 배치될 수 있다. 상기 제2 관통 홀들(122) 및 상기 제 4 관통홀들(123)은 제1 방향 및/또는 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 소정의 간격으로 오프셋되어 배치될 수 있다.
상기 제1 관통홀(112)의 단면적은 상기 제2 관통홀(122)의 단면적보다 클 수 있다. 상기 제3 관통홀(112)의 단면적은 상기 제4 관통홀(123)의 단면적보다 클 수 있다. 상기 제1 관통홀(112)의 단면적은 상기 제3 관통홀(113)의 단면적보다 클 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 내지 제4 관통홀(112,122,113,123)의 단면은 원형, 타원형, 다각형 등으로 다양하게 변형될 수 있다. 상기 제1 내지 제4 관통홀(112,122,113,123)은 테이퍼질 수 있다.
도 3c를 참조하면, 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판, 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도 록 배치되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된다. 상기 제1 관통홀들(112) 및 제2 관통홀들(122)은 제1 방향으로 배치되어 제1 열(101)을 형성할 수 있다. 상기 제1 관통 홀(112)의 단면적은 상기 제2 관통홀(122)의 단면적보다 클 수 있다.
상기 제1 기판은 제 3 관통홀들(113)을 포함할 수 있다. 상기 제2 기판은 제4 관통홀들(123)을 포함할 수 있다. 상기 제3 관통홀(113)과 상기 제4 관통홀(123)은 중첩되어 배치될 수 있다. 상기 제3 관통홀들(113) 및 제4 관통홀들(123)은 제1 방향으로 배치되어 제2 열(102)을 형성할 수 있다. 상기 제1 열과 상기 제2 열은 서로 오프셋될 수 있다. 상기 제3 관통 홀(113)의 단면적은 상기 제4 관통홀(123)의 단면적보다 클 수 있다. 상기 제1 관통 홀(112)의 단면적은 상기 제3 관통홀(113)의 단면적보다 클 수 있다.
도 4a 및 도 4b은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다. 도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린의 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 III-III'선을 따라 자른 단면도이다. 도 1a 및 도 1b와 중복되는 설명은 생략한다.
성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판(110), 및 상기 제1 기판(110) 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판(120)을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)은 서로 접착된다. 상기 제2 관통홀(122)은 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 매트릭 스 형태로 배열될 수 있다. 상기 제1 관통홀(112)은 3개의 제2 관통홀(122)과 중첩되어 상기 제2 방향으로 연장되어 배치될 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 하나의 상기 제1 관통홀(112)은 복수의 제2 관통홀들(122)과 중첩되어 배치되로록 다양하게 변형될 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 관통홀들(112) 및 상기 제2 관통홀들(122)이 배치되는 형태는 다양하게 변형될 수 있다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 성형 스크린을 설명하는 단면도들이다.
도 5를 참조하면, 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(112)을 가지는 제1 기판(110), 및 상기 제1 기판(110) 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(122)을 가지는 제2 기판(120)을 포함한다. 상기 제1 관통 홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)은 서로 접착된다. 상기 제1 관통홀(112)은 상기 제1 기판(110)에서 제2 기판(120)의 방향으로 단면적이 감소하면서 테이퍼질 수 있다. 상기 제2 관통홀(122)은 상기 제1 기판(110)에서 상기 제2 기판(120)의 방향으로 단면적이 감소하면서 테이퍼질 수 있다. 상기 제1 관통홀(112)과 상기 제2 관통홀(122)은 정렬될 수 있다. 상기 제1 관통홀(112)의 중심축에 대한 상기 제1 관통홀의 면 사이의 제1 경사각(θ1)은 상기 제2 관통홀의 중심축에 대한 상기 제2 관통홀의 면 사이의 제2 경사각(θ2)보다 클 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 관통홀(112) 및/또는 상기 제2 관통홀(122)은 상기 제1 기판(110)의 수직 방향에서 비스듬하게 형성될 수 있다.
도 6를 참조하면, 성형 스크린(200)은 차례로 적층된 제1 기판(210), 제2 기판(220), 및 제 3기판(230)을 포함할 수 있다. 상기 제1 기판(210)은 복수의 제1 관통홀(212)을 포함할 수 있다. 상기 제2 기판(220)은 복수의 제2 관통홀(222)을 포함할 수 있다. 상기 제3 기판(230)은 복수의 제5 관통홀(232)을 포함할 수 있다. 상기 제1,제2, 및 제5 관통홀들(212,222,232)은 서로 정렬될 수 있다. 상기 제1 관통홀(212) 및 상기 제2 관통홀(222)은 상기 제1 기판(210)에서 상기 제2 기판(220)의 방향으로 높이에 따라 단면적이 일정할 수 있다. 상기 제1 관통홀(212)의 단면적은 상기 제2 관통홀(222)의 단면적보다 클 수 있다. 상기 제5 관통홀(232)은 상기 제1 기판에서 상기 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하면서 테이퍼질 수 있다. 상기 제5 관통홀(232)의 중심축에 대한 상기 제5 관통홀(232)의 면 사이의 제3 경사각(θ3)은 0 내지 30도의 범위일 수 있다.
상기 제1 기판(210) 및/또는 상기 제2 기판(220)은 철, 니켈, 아연, 타이타늄, 크롬, 몰리브텐, 텅스텐, 구리, 알루미늄, 금, 은, 플라스틱, 아크릴, 폴리이미드, 유리, 세라믹, 스테인레스 스틸, 및 테프론 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 제3 기판(230)은 텅스텐, 텅스텐카바이트, 다이아몬드라이크카본(diamond like carbon), 타이타늄카타바이트, 알루미늄산화막, 금속 질화막 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 기판(210), 제2 기판(220), 및 제3 기판(230)의 두께는 각각 수 um 내지 수 mm 일 수 있다. 상기 제3 기판(230)의 내마모성은 상기 제1 기판(210) 및/또는 상기 제2 기판(220)의 내마모성 보다 클 수 있다. 상기 제3 기판(230)의 상부면(231)은 고흡수성 재료 또는 펄드 등에 의하여 충격될 수 있다. 상기 제3 기판(230)의 두께(t3)는 상기 제1 기판(210)의 두께(t1) 및/또는 상기 제2 기판(220)의 두께(t2)보다 작을 수 있다. 상기 제1 기판의 하부면(211)은 진공 장치(미도시)에 연결될 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 제1 관통 홀(212)의 직경(d1)은 상기 제2 관통홀(222)의 직경(d2)과 같을 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 제1 관통 홀(212)의 직경(d1)은 상기 제2 관통홀(222)의 직경(d2)보다 클 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 제1 관통 홀(212)의 직경(d1)은 상기 제2 관통홀(222)의 직경(d2)보다 작을 수 있다.
도 7를 참조하면, 성형 스크린(200)은 차례로 적층된 제1 기판(210), 제2 기판(220), 및 제3 기판(230)을 포함할 수 있다. 상기 제1 기판(210)은 복수의 제1 관통홀(212)을 포함할 수 있다. 상기 제2 기판(220)은 복수의 제2 관통홀(222)을 포함할 수 있다. 상기 제3 기판(230)은 복수의 제5 관통홀(232)을 포함할 수 있다. 상기 제1, 제2, 및 제5 관통홀(212,222,232)은 서로 정렬될 수 있다. 상기 제1 관통홀(212) 및 상기 제2 관통홀(222)은 상기 제1 기판(210)에서 상기 제2 기판(220)의 방향으로 단면적이 감소하면서 테이퍼질 수 있다. 상기 제1 관통홀(212)의 단면적은 상기 제2 관통홀(222)의 단면적보다 클 수 있다. 상기 제5 관통홀(232)은 높이에 따라 단면적이 일정할 수 있다. 상기 제1 관통홀(212)의 중심축에 대한 상기 제1 관통홀(212)의 면 사이의 제1 경사각(θ1)은 상기 제2 관통홀(222)의 중심축에 대한 상기 제2 관통홀(222)의 면 사이의 제2 경사각(θ2)보다 클 수 있다. 상기 ㅅ상기 제1 경사각 및 상기 제2 경사각(θ2)은 0 내지 30도일 수 있다.
도 8를 참조하면, 성형 스크린(200)은 차례로 적층된 제1 기판(210), 제2 기판(220), 및 제3 기판(230)을 포함할 수 있다. 상기 제1 기판(210)은 복수의 제1 관통홀(212)을 포함할 수 있다. 상기 제2 기판(220)은 복수의 제2 관통홀(222)을 포함할 수 있다. 상기 제3 기판(230)은 복수의 제5 관통홀(232)을 포함할 수 있다. 상기 제1,제2, 및 제5 관통홀(212,222,232)은 서로 정렬될 수 있다. 상기 제1 관통홀(212) 및 상기 제2 관통홀(222)은 상기 제1 기판(210)에서 제2 기판(220) 방향에 따라 단면적이 감소하면서 테이퍼질 수 있다. 상기 제5 관통홀(232)은 상기 제1 기판에서 제2 기판 방향에 따라 단면적이 증가하면서 테이퍼질 수 있다.
상기 제1 관통홀(212)의 중심축에 대한 상기 제1 관통홀의 면 사이의 제1 경사각(θ1)은 상기 제2 관통홀(222)의 중심축에 대한 상기 제2 관통홀의 면 사이의 제2 경사각(θ2)과 같을 수 있다. 상기 제5 관통홀(232)의 중심축에 대한 상기 제5 관통홀(132)의 면 사이의 제3 경사각(θ3)은 0 내지 30도일 수 있다. 상기 제3 기판(230)의 두께(t3)는 상기 제1 기판(210)의 두께(t1) 또는 상기 제2 기판(220)의 두께(220)보다 작을 수 있다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린의 형성 방법을 설명하는 단면도들이다.
도 9a를 참조하면, 성형 스크린(100)의 형성 방법은 더미 기판(190) 상에 제2 기판(120) 및 제1 기판(110)을 적층하는 단계, 상기 제1 기판(110)에 제1 관통홀(112) 및 상기 제2 기판(120)에 제2 관통홀(122)을 형성하는 단계, 상기 더미 기판(190)을 제거하는 단계를 포함한다. 상기 제1 관통홀(112)은 상기 제2 관통 홀(122)과 중첩되도록 배치될 수 있다.
상기 더미 기판(190)은 플라스틱 기판, 유리 기판, 세라믹 기판, 인쇄회로 기판, 및 금속 기판 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 더미 기판(190) 상에 제2 기판 (120)및 제1 기판(110)을 적층할 수 있다. 상기 제2 기판(120) 및/또는 제1 기판(110)은 스핀 코팅, 증착, 용접, 접착, 및 도금 방법 중에서 적어도 하나를 공정을 통하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 더미 기판(190)은 유리일 수 있다. 상기 더미 기판(190) 상에 제2 기판(120)을 형성할 수 있다. 상기 제2 기판은 텅스텐, 텅스텐카바이트, 다이아몬드라이크카본(diamond like carbon), 타이타늄카타바이트, 알루미늄산화막, 금속 질화막 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 기판(110)은 철, 니켈, 아연, 타이타늄, 크롬, 몰리브텐, 텅스텐, 구리, 알루미늄, 금, 은, 플라스틱, 아크릴, 폴리이미드, 유리, 세라믹, 스테인레스 스틸, 및 테프론 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
도 9b를 참조하면, 상기 제1 기판(110) 상에 포토 레지스를 사용하여 제1 포토 레지스트 패턴(192a)을 형성할 수 있다. 상기 제1 포토 레지스트 패턴(192a)을 식각 마스크로 사용하여 상기 제1 기판(110)을 선택적으로 식각하여 제1 관통홀(112)을 형성할 수 있다. 상기 식각은 습식 식각일 수 있다.
도 9c를 참조하면, 상기 제1 포토 레지스트 패턴(192a)은 제거될 수 있다. 이어서, 상기 제1 기판(110) 상에 포토 레지스를 사용하여 제2 포토 레지스트 패턴(192b)을 형성할 수 있다. 상기 제2 포토 레지스트 패턴(192b)을 식각 마스크로 사용하여 상기 제2 기판(120)을 선택적으로 식각하여 제2 관통홀(122)을 형성할 수 있다. 상기 식각은 습식 식각일 수 있다.
다시 도 1b를 참조하면, 상기 더미 기판(190)을 제거하여 상기 성형 스크린을 형성할 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제1 관통홀 또는 상기 제2 관통홀은 습식 식각, 건식 식각, 및 레이저 증발 중에서 적어도 하나를 사용하여 형성할 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 더미 기판을 사용하지 않고 성형 스크린을 제작할 수 있다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 성형 스크린의 형성 방법을 설명하는 단면도들이다.
도 10a를 참조하면, 성형 스크린(200)의 형성 방법은 제1 기판(210), 제 2 기판(220), 및 제3 기판(230)을 적층할 수 있다. 상기 제3 기판(230) 상에 포토 레지스를 사용하여 제1 포토 레지스트 패턴(294a)을 형성할 수 있다. 상기 제1 포토 레지스트 패턴(294a)을 식각 마스크로 사용하여 상기 제3 기판(230)을 선택적으로 식각하여 상기 제3 기판(230)에 제5 관통홀(232)을 형성할 수 있다.
도 10b를 참조하면, 상기 제1 포토 레지스트 패턴(294a)은 제거될 수 있다. 이어서, 상기 성형 스크린(200)을 뒤집을 수 있다. 상기 제1 기판(210) 상에 포토 레지스를 사용하여 제2 포토 레지스트 패턴(294b)을 형성할 수 있다. 상기 제2 포토 레지스트 패턴(294b)을 식각 마스크로 사용하여 선택적으로 식각하여 상기 제1 기판(210)에 제1 관통홀(212)을 형성할 수 있다. 상기 식각은 습식 식각일 수 있다.
도 10c를 참조하면, 상기 제2 포토 레지스트 패턴(294b)은 제거될 수 있다. 상기 제1 기판(210) 상에 포토 레지스를 사용하여 제3 포토 레지스트 패턴(294c)을 형성할 수 있다. 상기 제3 포토 레지스트 패턴(294c)을 식각 마스크로 사용하여 상기 제2 기판(220)을 선택적으로 식각하여 상기 제2 기판(220)에 제2 관통홀(222)을 형성할 수 있다. 상기 식각은 습식 식각일 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따른 상기 제1 관통홀(212), 제2 관통홀(222), 또는 제5 관통홀(232)은 건식 식각, 습식 식각 및 레이저 증발법(laser ablation) 중에서 적어도 하나를 사용하여 형성될 수 있다.
도 11a 내지 도 11c은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다. 도 11b는 도 11a의 IV-IV' 선을 따라 자른 단면도이다. 도 11b는 도 11a의 V-V' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 11a 내지 도 11c를 참조하면, 성형 스크린(100)은 복수의 제1 관통 홀(미도시)을 포함하고, 제2 관통홀(미도시)을 가지는 제2 기판(120)을 포함한다. 상기 제1 관통홀과 상기 제2 관통은 정렬될 수 있다. 상기 제1 관통홀) 및 상기 제2 관통홀은 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지른 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(120)은 제2 방향으로 원호를 형성하는 제1 외각영역(106)을 가질 수 있다. 상기 제1 외각 영역(106)은 일정한 곡률 반경을 가질 수 있다. 상기 성형 스크린(100)은 중심 부근에 케비티(cavity,109)를 가질 수 있다. 상기 캐비티(109)는 바닥면(107) 및 측면(108)을 포함할 수 있다. 상기 바닥면 (107) 및 상기 측면(108)에 상기 제1, 제2 관통홀들(112,122)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 케비티(cavity)의 외부의 상기 제1 외각 영역(106)은 평탄할 수 있다.
도 12a 및 도 12b은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 인서트를 설명하는 사시도 및 분해도이다.
도 12a 및 도 12b를 참조하면, 상기 스크린 인서트(50)는 성형 스크린(56), 스크린 지지부(54), 스크린 몸체부(52), 및 원형링(58)을 포함할 수 있다.
상기 성형 스크린(56)은 복수의 제1 관통 홀(미도시)을 가지는 제1 기판(미도시) 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀(미도시)을 가지는 제2 기판(미도시)을 포함한다. 상기 제1 관통 홀과 상기 제2 관통 홀은 정렬되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된다. 상기 성형 스크린(56)은 일정한 곡률을 가지고 구부러질 수 있다. 상기 성형 스크린(56)은 스크린 관통홀(56a)을 포 함할 수 있다. 상기 스크린 관통홀은 상기 성형 스크린의 외각에 배치될 수 있다.
상기 성형 스크린(56)은 상기 스크린 지지부(54)에 고정 결합할 수 있다. 상기 스크린 지지부(54)는 중심부에 배치된 매트릭스 형태의 십자형 판자들(53)을 포함할 수 있다. 상기 십자형 판자들은 벌집 모양 또는 사각형 모양을 가질 수 있다. 상기 십자형 판자들(53)은 상기 성형 스크린(56)과 고정 결합할 수 있다. 상기 십자형 판자들(53)은 상기 성형 스크린(56)과 스폿 웰딩에 의하여 용접될 수 있다. 상기 스크린 지지부(54)는 일정한 곡률을 가지고 구부러질 수 있다. 상기 스크린 지지부(54)는 스크린 지지부 관통홀(54a)을 포함할 수 있다. 상기 스크린 지지부 관통홀(54a)은 상기 스크린 지지부(54)의 외각에 배치될 수 있다.
상기 스크린 몸체부(52) 상에 상기 성형 스크린 지지부(54)가 배치된다. 상기 스크린 몸체부는 중심에 관통부(51c)를 포함할 수 있다. 상기 관통부(51c)는 칸막이(51b)에 의하여 상기 스크린 몸체부(52)와 연결될 수 있다. 상기 스크린 지지부(54)는 상기 칸막이(51b) 상에 배치될 수 있다. 상기 스크린 몸체부(52)는 날개부(51a)를 포함할 수 있다. 상기 날개부(51b)는 날개 관통홀(51d)을 포함할 수 있다. 상기 날개(51b)는 제3 고정 수단(미도시) 및 상기 날개 관통홀(51d)을 이용하여 성형 드럼(미도시)과 고정 결합될 수 있다. 상기 스크린 몸체부(52)는 상기 관통부에 인접하여 스크린 몸체부 관통홀(52b)을 포함할 수 있다.
상기 원형링(58)은 상기 성형 스크린(56) 상의 양측에 배치되어 흡수성 물품(미도시)의 외형을 형성할 수 있다. 상기 원형링(58)은 내측 관통홀(58a)과 외측 관통홀(58b)을 포함할 수 있다.
상기 원형링(58), 상기 성형 스크린(56), 및 스크린 지지부(54)는 제1 고정 수단(미도시)에 의하여 서로 고정될 수 있다. 상기 제1 고정 수단은 상기 내측 관통홀(58a), 상기 성형 스크린 관통홀(56a), 및 상기 스크린 지지부 관통홀(54a)를 통과하도록 배치될 수 있다.
상기 스크린 몸체부(52)와 상기 원형링(58)은 제2 고정 수단(미도시)에 의하여 서로 고정 될 수 있다. 상기 제2 고정 수단은 상기 외측 관통홀(58b), 및 스크린 몸체부 관통홀(52b)을 통과하도록 배치될 수 있다.
도 13는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼을 설명하는 사시도이다.
도 13를 참조하면, 성형 드럼(40)이 도시되어 있다. 성형 드럼(40)은 외부면(42)을 갖는다. 상기 스크린 인서트(50)는 상기 성형 드럼(40)의 외부면(42)에 둘러서 배치될 수 있다. 상기 스크린 인서트(50)는 상기 성형 드럼의 외부면의 외각에 고정 수단에 의하여 고정될 수 있다. 상기 성형 드럼은 성형 스크린으로 고흡수성 재질 또는 펄드 등을 흡입하기 위해 내부에 진공을 형성하기 위한 진공 기구(46)를 포함할 수 있다. 상기 진공 기구(46)는 고정될 수 있다. 상기 진공 기구는 진공 펌프(미도시)와 연결되는 배관(44)을 포함할 수 있다. 상기 성형 드럼은 회전 수단에 의하여 회전할 수 있다. 다공성 실린더형 각(cylindrical shell,47)은 상기 성형 드럼(40)의 내부면에 배치될 수 있다. 상기 다공성 실릴더형 각(47)은 진공을 상기 성형 스크린에 상기 진공 기구(46)를 통하여 형성할 수 있다.
도 14은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼 장치를 설명하는 개념도이다.
도 14을 참조하면, 상기 성형 드럼 장치(30)는 공정 챔버(32), 상기 공정 챔버의 일부와 접촉하여 배치되는 성형 드럼(40), 상기 성형 드럼(40)에 진공을 유지시키는 진공 장치(46), 및 상기 성형 드럼(40)에서 형성된 흡수성 물품을 이송하는 콘베이어 장치(39)를 포함할 수 있다. 펄드 등은 공정 챔버 입구(38)를 통하여 공급될 수 있고, 고흡수성 재질은 노즐(34)을 통하여 공급될 수 있다.
상기 공정 챔버(32)는 상기 성형 드럼(40)의 외부면(42)의 일부와 접촉할 수 있다. 상기 성형 드럼(40)의 외부면 상에 흡수성 물품(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 공정 챔버(32)는 입구(31a)와 출구(31b)를 포함할 수 있다. 상기 입구(31a)에서 출구(31b)에 대응하는 상기 성형 드럼(40)은 흡입력을 상기 흡수성 물품에 인가할 수 있다. 상기 진공 장치(46)는 고정되어 있을 수 있다. 상기 진공 장치(46)는 상기 성형 드럼(40)의 외부면의 일부에 흡입력을 인가할 수 있다. 상기 진공 장치(40)가 성형 드럼(40)의 외부면에 흡입력을 인가하는 방법은 다양하게 변형될 수 있다.
상기 콘베이어 장치(39)는 상기 흡입력이 작용하지 않는 상기 성형드럼(40)의 외부면의 일부와 접촉할 수 있다. 이에 따라, 상기 성형드럼(40)에서 형성된 흡수성 물품(70)은 연속적으로 또는 불연속적으로 상기 콘베이어 장치(39)로 전달되어 이송될 수 있다.
스카핑 기구(scarfing mechanism,36)가 상기 공정 챔버(32)의 출구에 배치될 수 있다. 상기 스카핑 기구(36)는 과잉의 흡수성 재료 및/또는 펄프를 제거하도록 회전할 수 있다.
도 15a 및 도 15b은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼을 설명하는 단면도들이다.
도 15a를 참조하면, 상기 성형 드럼(40)의 외부면에 스크린 인서트(50)가 장착된다. 상기 스크린 인서트(50)는 성형 스크린(56), 스크린 지지부(54), 스크린 몸체부(52), 및 원형링(58)을 포함할 수 있다.
상기 성형 드럼(40)의 내부면에 다공성 실린더형 각(cylindrical shell,47)이 배치될 수 있다. 상기 다공성 실린더형 각(47)은 진공 장치(미도시)에 의하여 상기 성형 드럼(40) 및/또는 상기 스크린 인서트(50)에 흡입력을 인가할 수 있다. 상기 성형 스크린(56) 상에 흡수성 물품(70)이 형성될 수 있다.
상기 원형링(58), 상기 성형 스크린(56), 및 스크린 지지부(54)는 제1 고정 수단(59a)에 의하여 서로 고정될 수 있다. 상기 스크린 몸체부(52)와 상기 원형링(58)은 제2 고정 수단(59b)에 의하여 서로 고정될 수 있다. 상기 제3 고정 수단(59c)은 상기 스크린 몸체부(52)와 상기 성형 드럼(40)을 고정할 수 있다.
상기 원형링을 교체하면, 상기 흡수성 물품의 형상을 변경할 수 있다. 상기 원형링의 교체는 제1 고정 수단(159a) 및 제2 고정 수단(159b)을 제거하고 새로운 원형링을 결합하여 용이하게 수행될 수 있다. 이에 따라, 상기 흡수성 물품의 형상의 변경 시간을 현저히 감소시킬 수 있다.
도 15b를 참조하면, 상기 성형 드럼(40)의 외부면에 스크린 인서트(50)가 장착된다. 상기 스크린 인서트(50)는 성형 스크린(56), 스크린 지지부(54), 스크린 몸체부(52), 및 원형링(58)을 포함할 수 있다. 상기 성형 스크린(56)은 캐비티를 포함할 수 있다(도 11a 참조).
도 1a 및 도 1b은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다.
도 2a 및 도 2b은 본 발명의 다른 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 평면도들이다.
도 4a 및 도 4b은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 성형 스크린을 설명하는 단면도들이다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 스크린의 형성 방법을 설명하는 단면도들이다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 성형 스크린의 형성 방법을 설명하는 단면도들이다.
도 11a 내지 도 11c은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 성형 스크린을 설명하는 도면들이다.
도 12a 및 도 12b은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 인서트를 설명하는 사시도 및 분해도이다.
도 13는 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼을 설명하는 사시도이다.
도 14은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼 장치를 설명하는 개념도이다.
도 15a 및 도 15b은 본 발명의 일 실시예에 따른 성형 드럼을 설명하는 단면도들이다.

Claims (24)

  1. 흡수성 물품을 형성하는 성형 드럼에 장착되는 성형 스크린에 있어서,
    복수의 제1 관통 홀들을 가지는 제1 기판; 및
    상기 제1 기판 상에 배치되고 상기 제1 관통홀들보다 작은 크기를 갖는 복수의 제2 관통 홀들을 가지는 제2 기판을 포함하되,
    상기 제1 관통 홀은 상기 제2 관통 홀과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 기판의 내마모성은 상기 제1 기판의 내마모성보다 큰 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제 1 기판은 복수의 제3 관통 홀, 및 상기 제2 기판은 복수의 제4 관통 홀을 더 포함하되,
    상기 제 3 관통 홀은 상기 제 4 관통 홀과 중첩되도록 배치되고, 상기 제1 관통 홀 및 상기 제2 관통 홀은 각각 상기 제3 관통 홀 및 제4 관통홀 보다 더 큰 지름을 가지는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 관통 홀 및 제3 관통홀은 각각 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열되고,
    상기 제 3 관통 홀은 상기 제1 방향 및/또는 상기 제2 방향으로 이웃한 상기 제1 관통홀들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 관통 홀들이 일정한 간격으로 배열되어 제1 열을 형성하고,
    상기 제3 관통 홀들은 일정한 간격으로 배열되어 제2 열을 형성하고,
    상기 제1 열 및 상기 제2 열은 서로 어프셋 되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 기판 상에 배치된 제 3 기판을 더 포함하되,
    상기 제3 기판은 복수의 제5 관통홀을 더 포함하되,
    상기 제1, 제2 및 제 5 관통홀은 서로 정렬되는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제5 관통홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하 는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  8. 제6 항에 있어서,
    제1 관통홀, 상기 제2 관통 홀, 및 상기 제5 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 제5 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지고, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀의 같은 단면적으로 가지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  10. 제6 항에 있어서,
    상기 제5 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지고, 상기 제2 관통홀의 단면적은 상기 제1 관통홀의 단면적 보다 큰 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  11. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통 홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 감소하도록 테이퍼지고,
    상기 제5 관통홀은 상기 제1 기판에서 제2 기판의 방향으로 단면적이 증가하도록 테이퍼지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 관통 홀 및 상기 제2 관통 홀은 원형, 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 기판의 하면은 진공 장치에 연결되고, 상기 제2 기판의 상면은 공정 챔버에 연결되고,
    상기 제1 관통홀의 단면적은 상기 제2 관통 홀의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 관통홀 및 제2 관통 홀 중에서 적어도 하나는 테이퍼진 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  15. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 제1 방향으로 원호를 형성하는 외곽영역을 가지고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 중심 영역에 케비티(cavity)를 가지 고, 상기 제 1 방향을 가로지는 제2 방향에서 평평한 외곽영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 기판은 철, 니켈, 아연, 타이타늄, 크롬, 몰리브텐, 텅스텐, 구리, 알루미늄, 금, 은, 플라스틱, 아크릴, 폴리이미드, 유리, 세라믹, 스테인레스 합금및 테프론 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  17. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 기판은 텅스텐, 텅스텐카바이트, 다이아몬드라이크카본(diamond like carbon), 타이타늄타바이트, 알루미늄산화막, 금속 질화막 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 성형 스크린.
  18. 제1 기판 및 제2 기판을 적층하는 단계; 및
    상기 제1 기판에 제1 관통홀 및 상기 제2 기판에 상기 제1 관통홀들보다 작은 크기를 갖는 제2 관통홀을 형성하는 단계를 포함하되,
    상기 제1 관통홀은 상기 제2 관통 홀과 중첩되도록 배치되는 것을 특징으로하는 성형 스크린 형성 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제1 기판에 제1 관통홀 및 상기 제2 기판에 제2 관통홀을 형성하는 단계는 습식 식각, 건식 식각, 및 레이저 어블레이션(ablation)중에서 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로하는 성형 스크린 형성 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 제1 기판 및 제2 기판을 적층하는 단계는
    스핀 코팅, 증착, 용접, 접착, 및 도금 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 형성 방법.
  21. 복수의 제1 관통 홀을 가지는 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀을 가지는 제2 기판을 포함하고, 상기 제1 관통 홀과 상기 제2 관통 홀은 정렬되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된 성형 스크린;
    상기 성형 스크린이 고정되고 중심부에 매트릭스 형태의 십자형 판자들이 배치된 성형 스크린 지지부;
    상기 성형 스크린 지지부가 배치되는 스크린 몸체부;
    상기 성형 스크린 상부에 배치되어 흡수성 물품의 외형을 형성하는 원형링을 포함하는 스크린 인서트.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 십자형 판자들은 상기 성형 스크린과 웰딩에 의하여 용접된 것을 특징 으로 하는 스크린 인서트.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 원형링, 상기 성형 스크린, 및 스크린 지지부는 제1 고정 수단에 의하여 서로 고정되고,
    상기 스크린 몸체부와 상기 원형링은 제2 고정 수단에 의하여 서로 고정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인서트.
  24. 흡수성 물품을 형성하는 성형 드럼 및 상기 성형 트럼의 원주에 배치되는 성형 인서트를 포함하는 성형 드럼 장치에 있어서,
    상기 스크린 인서트는:
    복수의 제1 관통 홀을 가지는 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고 복수의 제2 관통 홀을 가지는 제2 기판을 포함하고, 상기 제1 관통 홀과 상기 제2 관통 홀은 정렬되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 서로 접착된 성형 스크린;
    상기 성형 스크린이 고정되고 중심부에 매트릭스 형태의 십자형 판자들이 배치된 성형 스크린 지지부;
    상기 성형 스크린 지지부가 배치되는 스크린 몸체부; 및
    상기 성형 스크린 상부에 배치되어 흡수성 물품의 외형을 형성하는 원형링을 포함하는 것을 특징으로 하는 성형 드럼 장치.
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