KR20100052819A - 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 공정이 수행되는 공간을 제공하는 공정 챔버;상기 공정 챔버의 압력을 측정하는 압력 센서;상기 공정 챔버 내부로 기체를 주입하여 하향기류를 형성하는 복수의 팬을 구비한 팬 필터 유닛부; 및상기 팬 필터 유닛을 제어하는 제어부를 포함하며,상기 제어부는 상기 각 복수의 팬에 부착된 온도 센서를 이용하여 상기 각각의 팬을 제어하는 온도 제어부를 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 온도 제어부는소정의 팬의 온도가 임계 온도 이상인 경우에, 해당 팬에 전달되는 전류를 자동적으로 차단시키는 차단부를 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제어부는상기 압력 센서의 값이 임계치 이하로 떨어지거나 또는 압력 센서의 변동 값이 임계치를 초과하는 경우에 상기 복수의 팬의 출력을 제어하는 출력 제어부를 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 출력 제어부는상기 PID 제어기법에 의하여 상기 복수의 팬의 출력을 제어하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 공정 챔버의 내부의 압력 데이터 및 상기 팬 필터 유닛부의 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집부를 더 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 5항에 있어서,상기 데이터 수집부는 상기 수집된 데이터를 상기 제어부에 전달하며,상기 제어부는 상기 수집된 데이터를 바탕으로 상기 각각의 팬의 출력을 제어하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
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