KR20210072349A - 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 팬 필터 유닛은 하우징의 일 측면에 형성되어 외부 기체를 흡입하는 흡입구, 흡입구에 설치되어 흡입구를 개방 또는 폐쇄하는 통풍 조절판, 통풍 조절판을 회전시켜 흡입구가 개방 또는 폐쇄되도록 구동하는 구동부, 하우징에 건조용 기체를 공급하는 건조 기체 공급부, 흡입구를 통해 공급되는 외부 기체 또는 건조 기체 공급부를 통해 공급되는 건조용 기체를 회전시켜 하강 기류를 생성하는 팬 및 팬에 의해 생성된 하강 기류를 필터링하여 이물질을 제거하는 필터를 포함한다.
본 발명에 따르면, 약액을 이용하여 기판을 처리한 후, 이 기판을 건조하는 과정에서 공정 챔버의 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 신속하게 조절하여 기판 건조 시간을 단축하고 건조 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{FAN FILTER UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS COMPRISING THE SAME}
본 발명은 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 약액을 이용하여 기판을 처리한 후, 이 기판을 건조하는 과정에서 공정 챔버의 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 신속하게 조절하여 기판 건조 시간을 단축하고 건조 효율을 향상시킬 수 있는 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자가 고밀도, 고집적화, 고성능화됨에 따라 회로 패턴의 미세화가 급속히 진행되고 있으며, 기판 표면에 잔류하는 파티클(particle), 유기 오염물, 금속 오염물, 약액(liquid chemical) 등에서 기인하는 흄(fume) 등의 오염 물질은 소자의 특성과 생산 수율에 큰 영향을 미치게 된다.
이 때문에 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 반도체 제조 공정에서 매우 중요하게 대두되고 있으며, 반도체를 제조하는 각 단위 공정의 전후 단계에서 기판을 세정 처리하는 공정이 실시되고 있다.
현재 반도체 제조 공정에서 사용되는 세정 방법은 크게 건식 세정(Dry Cleaning)과 습식 세정(Wet Cleaning)으로 구분되며, 습식 세정은 기판을 약액에 침지하여 화학적 용해 등에 의해서 오염 물질을 제거하는 배스(bath) 타입의 방식과, 스핀 척(spin chuck) 위에 기판을 놓고 기판을 회전시키는 동안 기판의 표면에 약액을 공급하여 오염 물질을 제거하는 스핀(spin) 타입의 방식으로 구분된다.
이 중에서 스핀 타입의 방식은 스핀 척이 설치된 세정 챔버 내에서 공정이 진행되며, 공정이 진행되는 동안 세정 챔버의 상부에 설치된 팬 필터 유닛(fan filter unit)에 의해 이물질이 필터링되어 제거된 청정 기류가 형성되어 상부에서 하부로 흐르고, 청정 기류는 배기 포트를 통해 외부로 배기된다.
한편, 이러한 스핀 타입의 습식 세정 공정의 마지막 단계는 기판을 건조하는 공정이며, 건조 속도 및 효율을 높이기 위하여 수단으로 챔버 내부를 청정 상태로 유지하기 위한 외기 공급 외에 추가로 챔버 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 떨어뜨리기 위한 건조용 기체를 공급할 수 있다.
이러한 건조용 기체를 공급하는 과정에서 외기 공급은 차단되어야 하기 때문에, 팬 필터 유닛을 구성하는 팬에 공급되던 전원을 차단하지만, 전원 공급이 차단되어도 팬은 관성에 의해 상당한 시간 무전원 상태 회전을 하여 건조 공정이 지체되는 문제점이 있다. 예를 들어, 팬의 회전속도가 200RPM인 경우 팬이 정지되기 까지 약 25초의 시간이 소요되며, 이러한 시간은 건조 공정 시간을 불필요하게 늘리는 요인이 된다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2010-0059336호(공개일자: 2010년 06월 04일, 명칭: 팬 필터 유닛과, 이를 구비한 기판 처리 장치) 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0052819호(공개일자: 2010년 05월 20일, 명칭: 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치) 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0059460호(공개일자: 2010년 06월 04일, 명칭: 팬 필터 유닛 제어 시스템 및 기류 공급 방법)
본 발명의 기술적 과제는 약액을 이용하여 기판을 처리한 후, 이 기판을 건조하는 과정에서 공정 챔버의 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 신속하게 조절하여 기판 건조 시간을 단축하고 건조 효율을 향상시킬 수 있는 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
이러한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은 기판에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버의 상부에 설치되어 상기 공정 챔버 내에 하강 기류가 형성되도록 기체를 공급하는 팬 필터 유닛으로서, 하우징, 상기 하우징의 일 측면에 형성되어 외부 기체를 흡입하는 흡입구, 상기 흡입구에 설치되어 상기 흡입구를 개방 또는 폐쇄하는 통풍 조절판, 상기 통풍 조절판을 회전시켜 상기 흡입구가 개방 또는 폐쇄되도록 구동하는 구동부, 상기 하우징에 건조용 기체를 공급하는 건조 기체 공급부, 상기 흡입구를 통해 공급되는 외부 기체 또는 상기 건조 기체 공급부를 통해 공급되는 건조용 기체를 회전시켜 하강 기류를 생성하는 팬 및 상기 팬에 의해 생성된 하강 기류를 필터링하여 이물질을 제거하는 필터를 포함한다.
본 발명에 따른 팬 필터 유닛에 있어서, 상기 공정 챔버로 상기 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 외부 기체 공급 모드에서, 상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 개방되도록 구동하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 팬 필터 유닛에 있어서, 상기 공정 챔버로 상기 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 건조 기체 공급 모드에서, 상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 폐쇄되도록 구동하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버 및 상기 공정 챔버의 상부에 설치되어 상기 공정 챔버 내에 하강 기류가 형성되도록 기체를 공급하는 팬 필터 유닛을 포함하고, 상기 팬 필터 유닛은, 하우징, 상기 하우징의 일 측면에 형성되어 외부 기체를 흡입하는 흡입구, 상기 흡입구에 설치되어 상기 흡입구를 개방 또는 폐쇄하는 통풍 조절판, 상기 통풍 조절판을 회전시켜 상기 흡입구가 개방 또는 폐쇄되도록 구동하는 구동부, 상기 하우징에 건조용 기체를 공급하는 건조 기체 공급부, 상기 흡입구를 통해 공급되는 외부 기체 또는 상기 건조 기체 공급부를 통해 공급되는 건조용 기체를 회전시켜 하강 기류를 생성하는 팬 및 상기 팬에 의해 생성된 하강 기류를 필터링하여 이물질을 제거하는 필터를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 상기 팬 필터 유닛이 상기 공정 챔버로 상기 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 외부 기체 공급 모드에서, 상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 개방되도록 구동하고, 상기 흡입구를 통해 흡입된 외부 기체는 상기 팬과 상기 필터를 거쳐 상기 제1 하강 기류의 형태로 상기 공정 챔버로 공급되어 상기 공정 챔버를 청정 상태로 유지시키면서 상기 공정 챔버 외부로 배출되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 상기 팬 필터 유닛이 상기 공정 챔버로 상기 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 건조 기체 공급 모드에서, 상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 폐쇄되도록 구동하고, 상기 건조 기체 공급부를 통해 공급된 건조용 기체는 상기 팬과 상기 필터를 거쳐 상기 제2 하강 기류의 형태로 상기 공정 챔버로 공급되어 상기 공정 챔버에 배치된 기판을 건조시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 약액을 이용하여 기판을 처리한 후, 이 기판을 건조하는 과정에서 공정 챔버의 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 신속하게 조절하여 기판 건조 시간을 단축하고 건조 효율을 향상시킬 수 있는 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치가 제공되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 팬 필터 유닛을 포함하는 기판 처리 장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 팬 필터 유닛이 공정 챔버로 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 외부 기체 공급 모드의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 팬 필터 유닛이 공정 챔버로 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 건조 기체 공급 모드의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에" 와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 팬 필터 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 팬 필터 유닛은 기판 처리 장치의 부품이기 때문에, 기판 처리 장치에 대한 설명을 통해 팬 필터 유닛도 설명된다는 점을 밝혀 둔다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 팬 필터 유닛을 포함하는 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 팬 필터 유닛(fan filter unit, 20)을 포함하는 기판 처리 장치(1)는 공정 챔버(10) 및 팬 필터 유닛(20)을 포함하고, 팬 필터 유닛(20)은 하우징(210), 흡입구(220), 통풍 조절판(230), 구동부(240), 건조 기체 공급부(250), 팬(fan, 260) 및 필터(filter, 270)를 포함하여 구성된다.
공정 챔버(10)는 공정 룸(process room) 내부에 설치되어 있으며 기판에 대한 정해진 반도체 처리 공정이 수행되는 구성요소이다. 공정 챔버(10)에서 수행되는 반도체 처리 공정의 예로서는 린스 공정(rinse process), 건조 공정(dry process)을 포함하는 세정 공정(cleaning process)이 있으나, 공정 챔버(10)에서 수행되는 반도체 처리 공정이 이에 한정되지는 않는다.
예를 들어, 공정 챔버(10)는 상단부에 원형의 개구(opening)가 형성된 일종의 컵(cup) 형상을 갖는 복수개의 반응 용기를 포함하여 구성될 수 있으며, 이 반응 용기들의 내부에는 기판이 배치되는 척(chuck), 척을 회전 구동하는 스핀들(spindle)을 포함하는 척 구동계 등이 구비될 수 있다.
후술하겠지만, 흡입구(220)를 통해 공급되는 외부 기체 및 건조 기체 공급부(250)를 통해 공급되는 건조용 기체는 공정 챔버(10)에 구비된 배출 포트를 통해 외부로 배출될 수 있다.
팬 필터 유닛(20)은 공정 챔버(10)의 상부에 설치되어 공정 챔버(10) 내에 하강 기류가 형성되도록 기체를 공급한다.
이러한 팬 필터 유닛(20)은, 하우징(210), 흡입구(220), 통풍 조절판(damper, 230), 구동부(240), 건조 기체 공급부(250), 팬(260) 및 필터(270)를 포함하여 구성된다.
하우징(210)은 팬 필터 유닛(20)의 외관을 이루며 다른 구성요소들이 내장되거나 설치되는 베이스이다.
흡입구(220)는 하우징(210)의 일 측면에 형성되어 외부 기체를 흡입하는 구성요소이다. 예를 들어, 하우징(210)이 육면체 형상을 갖는 경우, 흡입구(220)는 이 육면체의 네 측면 중에서 한 측면의 일부 영역에 구비된 장방형의 개구(opening)일 수 있으며, 외부 기체 흡입 효율을 높이기 위하여 흡입구(220)를 구성하는 개구는 외부를 향하여 소정의 각도로 벌어진 형상을 갖도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 외부 기체는 팬 필터 유닛(20) 주변의 공기일 수 있으나, 외부 기체가 이에 한정되지는 않는다.
통풍 조절판(230)은 흡입구(220)에 설치되어 흡입구(220)를 개방 또는 폐쇄하는 기능을 수행하고, 구동부(240)는 통풍 조절판(230)을 회전시켜 흡입구(220)가 개방 또는 폐쇄되도록 구동하는 기능을 수행한다.
예를 들어, 구동부(240)는 도시하지 않은 모터에 의해 회전하는 실린더이고, 통풍 조절판(230)은 이 실린더에 결합되어 회전하는 판상의 부재일 수 있다.
건조 기체 공급부(250)는 하우징(210)에 건조용 기체를 공급하는 기능을 수행한다. 예를 들어, 건조 기체 공급부(250)가 하우징(210)으로 공급하는 건조용 기체는 압축 건조 공기(Compressed Dry Air, CDA)일 수 있으며, 이 경우, 건조 기체 공급부(250)는 팬 필터 유닛(20) 주변의 공기를 흡입하고, 흡입된 공기에서 수분을 제거하면서 압축하여 하우징(210)에 분사하도록 구성될 수 있으며, 건조 기체 공급부(250)의 종단부, 즉, 건조용 기체가 분사되는 부분은 슬릿(slit) 형상 또는 샤워 헤드(shower head) 형상을 갖도록 구성될 수 있다.
팬(260)은 흡입구(220)를 통해 공급되는 외부 기체 또는 건조 기체 공급부(250)를 통해 공급되는 건조용 기체를 회전시켜 하강 기류를 생성하고, 이 하강 기류를 공정 챔버(10)로 공급하는 기능을 수행한다.
필터(270)는 팬(260)에 의해 생성된 하강 기류를 필터링하여 이물질을 제거하는 기능을 수행한다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 추가로 참조하여 본 발명의 일 실시 예의 동작을 외부 기체 공급 모드와 건조 기체 공급 모드로 구분하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 팬 필터 유닛(20)이 공정 챔버(10)로 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 외부 기체 공급 모드의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 추가로 참조하면, 외부 기체 공급 모드는 팬 필터 유닛(20)이 공정 챔버(10)로 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 동작 상태이다.
이러한 외부 기체 공급 모드에서, 팬 필터 유닛(20)을 구성하는 구동부(240)는 흡입구(220)에 설치된 통풍 조절판(230)을 제1 방향으로 회전시켜 흡입구(220)가 개방되도록 구동한다.
개방 상태의 흡입구(220)를 통해 흡입된 외부 기체는 팬(260)과 필터(270)를 거쳐 제1 하강 기류의 형태로 변환되고, 제1 하강 기류는 공정 룸에 설치되어 있는 공정 챔버(10)의 전체 부분을 향하도록 팬(260)의 회전속도에 대응하는 속도로 공급된다.
공정 챔버(10)로 공급된 제1 하강 기류가 공정 챔버(10)를 청정 상태로 유지시키면서 공정 챔버(10)의 하단부에 구비된 배출 포트를 통하여 외부로 배출되는 사이클이 반복적으로 수행된다.
예를 들어, 이러한 외부 기체 공급 모드는 기판에 대한 특정 반도체 공정을 수행하기 위한 약액의 공급과 함께 또는 약액의 공급 이후에 또는 공정 챔버(10)에서 진행되던 반도체 공정이 종료된 이후의 상태, 즉, 장비 유휴 상태에서도 수행될 수 있으며, 이러한 외부 기체 공급에 따라 공정 챔버(10)의 내부 상태는 흄(fume), 파티클(particle) 등의 이물질이 존재하지 않는 청정상태로 유지된다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 팬 필터 유닛(20)이 공정 챔버(10)로 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 건조 기체 공급 모드의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 추가로 참조하면, 건조 기체 공급 모드는 팬 필터 유닛(20)이 공정 챔버(10)로 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 동작 상태이다.
이러한 건조 기체 공급 모드에서, 팬 필터 유닛(20)을 구성하는 구동부(240)는 흡입구(220)에 설치된 통풍 조절판(230)을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 회전시켜 흡입구(220)가 폐쇄되도록 구동한다.
건조 기체 공급 모드는 통풍 조절판(230)에 의해 흡입구(220)가 폐쇄된 상태이기 때문에 흡입구(220)를 통한 외부 공기 흡입은 차단되고, 건조용 기체가 건조 기체 공급부(250)를 통해 하우징(210)으로 공급된다.
건조 기체 공급부(250)를 통해 공급된 건조용 기체는 팬(260)과 필터(270)를 거쳐 제2 하강 기류의 형태로 변환되고, 제2 하강 기류는 공정 룸에 설치되어 있는 공정 챔버(10)의 전체 부분을 향하도록 팬(260)의 회전속도에 대응하는 속도로 공급되어 공정 챔버(10)에 배치된 기판을 건조시킨다. 이 과정에서 공정 챔버(10)의 내부 습도는 기판 건조에 적합하도록 빠르게 조절되며, 이와 같은 공정 챔버(10)로 공급된 제2 하강 기류가 공정 챔버(10)의 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 조절하여 기판을 건조시키면서 공정 챔버(10)의 하단부에 구비된 배출 포트를 통하여 외부로 배출되는 사이클은 반복적으로 수행된다.
예를 들어, 이러한 건조 기체 공급 모드는 세정 공정을 구성하는 린스 공정 이후에 수행되는 건조 공정에서 수행될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 약액을 이용하여 기판을 처리한 후, 이 기판을 건조하는 과정에서 공정 챔버의 내부 습도를 건조에 적합한 수준으로 신속하게 조절하여 기판 건조 시간을 단축하고 건조 효율을 향상시킬 수 있는 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치가 제공되는 효과가 있다.
1: 기판 처리 장치
10: 공정 챔버
20: 팬 필터 유닛
210: 하우징
220: 흡입구
230: 통풍 조절판
240: 구동부
250: 건조 기체 공급부
260: 팬
270: 필터
W: 기판

Claims (6)

  1. 기판에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버의 상부에 설치되어 상기 공정 챔버 내에 하강 기류가 형성되도록 기체를 공급하는 팬 필터 유닛으로서,
    하우징;
    상기 하우징의 일 측면에 형성되어 외부 기체를 흡입하는 흡입구;
    상기 흡입구에 설치되어 상기 흡입구를 개방 또는 폐쇄하는 통풍 조절판;
    상기 통풍 조절판을 회전시켜 상기 흡입구가 개방 또는 폐쇄되도록 구동하는 구동부;
    상기 하우징에 건조용 기체를 공급하는 건조 기체 공급부;
    상기 흡입구를 통해 공급되는 외부 기체 또는 상기 건조 기체 공급부를 통해 공급되는 건조용 기체를 회전시켜 하강 기류를 생성하는 팬; 및
    상기 팬에 의해 생성된 하강 기류를 필터링하여 이물질을 제거하는 필터를 포함하는, 팬 필터 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공정 챔버로 상기 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 외부 기체 공급 모드에서,
    상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 개방되도록 구동하는 것을 특징으로 하는, 팬 필터 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 공정 챔버로 상기 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 건조 기체 공급 모드에서,
    상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 폐쇄되도록 구동하는 것을 특징으로 하는, 팬 필터 유닛.
  4. 기판 처리 장치로서,
    기판에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버; 및
    상기 공정 챔버의 상부에 설치되어 상기 공정 챔버 내에 하강 기류가 형성되도록 기체를 공급하는 팬 필터 유닛을 포함하고,
    상기 팬 필터 유닛은,
    하우징;
    상기 하우징의 일 측면에 형성되어 외부 기체를 흡입하는 흡입구;
    상기 흡입구에 설치되어 상기 흡입구를 개방 또는 폐쇄하는 통풍 조절판;
    상기 통풍 조절판을 회전시켜 상기 흡입구가 개방 또는 폐쇄되도록 구동하는 구동부;
    상기 하우징에 건조용 기체를 공급하는 건조 기체 공급부;
    상기 흡입구를 통해 공급되는 외부 기체 또는 상기 건조 기체 공급부를 통해 공급되는 건조용 기체를 회전시켜 하강 기류를 생성하는 팬; 및
    상기 팬에 의해 생성된 하강 기류를 필터링하여 이물질을 제거하는 필터를 포함하는, 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛이 상기 공정 챔버로 상기 외부 기체에 의한 제1 하강 기류를 공급하는 외부 기체 공급 모드에서,
    상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 개방되도록 구동하고,
    상기 흡입구를 통해 흡입된 외부 기체는 상기 팬과 상기 필터를 거쳐 상기 제1 하강 기류의 형태로 상기 공정 챔버로 공급되어 상기 공정 챔버를 청정 상태로 유지시키면서 상기 공정 챔버 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛이 상기 공정 챔버로 상기 건조용 기체에 의한 제2 하강 기류를 공급하는 건조 기체 공급 모드에서,
    상기 구동부는 상기 통풍 조절판을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 회전시켜 상기 흡입구가 폐쇄되도록 구동하고,
    상기 건조 기체 공급부를 통해 공급된 건조용 기체는 상기 팬과 상기 필터를 거쳐 상기 제2 하강 기류의 형태로 상기 공정 챔버로 공급되어 상기 공정 챔버에 배치된 기판을 건조시키는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
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