KR20100046898A - 약액 분사 장치 및 이를 포함하는 세정 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 약액 탱크로부터 약액을 공급 받아 내부에 상기 약액이 흐르는 노즐 파이프; 및상기 노즐 파이프에 소정의 간격을 가지며 복수 개 결합되어 상기 노즐 파이프로부터 상기 약액을 공급 받아 기판을 향하여 약액을 분사하는 노즐을 포함하는 약액 분사 장치에 있어서,상기 노즐을 개별적으로 회전이 가능한 약액 분사 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 노즐은상기 노즐 파이프에 결합되고 상기 노즐 파이프로부터 상기 약액이 유입되어 흐르는 통로가 형성된 약액 유입부;상기 약액 유입부와 연결되고 토출구를 통해 약액을 분사하는 약액 분사부; 및상기 약액 분사부를 회전시키는 회전부를 포함하는 약액 분사 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 회전부는 상기 약액 유입부의 외측과 상기 약액 분사부의 내측 사이에 삽입되는 베어링을 포함하는데,상기 베어링의 상측면에 임펠러가 형성되고 상기 임펠러를 향하여 분사되는 에어를 통해 상기 베어링을 회전시키는 약액 분사 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 토출구의 형상은 일자형인 약액 분사 장치.
- 내부에 기판을 수용하여 세정 공정이 수행되는 공간을 제공하는 공정 챔버; 및상기 공정 챔버 내부의 상부에서 상기 기판을 향하여 세정액을 분사하는 세정액 분사 모듈을 포함하며,상기 세정액 분사 모듈은세정액 탱크로부터 세정액을 공급 받아 내부에 상기 세정액이 흐르는 노즐 파이프; 및상기 노즐 파이프에 소정의 간격을 가지며 복수 개 결합되어 상기 노즐 파이프로부터 상기 세정액을 공급 받아 상기 기판을 향하여 세정액을 분사하는 노즐을 포함하며,상기 노즐은 개별적으로 회전이 가능한 세정 장치.
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