KR20100046023A

KR20100046023A - 진공 흡착 제어 기구 장치, 필름 부착 장치, 표시 장치

Info

Publication number: KR20100046023A
Application number: KR1020107003817A
Authority: KR
Inventors: 히데키 고데라
Original assignee: 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디.
Priority date: 2007-09-04
Filing date: 2008-08-20
Publication date: 2010-05-04
Also published as: TW200925727A; CN101795849A; CN101795849B; WO2009031440A1; JP5151326B2; TWI410323B; JP2009062108A; KR101267625B1; US8767138B2; US20100214504A1

Abstract

본 발명의 과제는, 구조가 단순하고, 또한 필름을 양호한 정밀도로 피부착물에 부착할 수 있는 진공 흡착 제어 기구 장치를 제공하는 것에 있다. 본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치는 내부에 공간을 갖는 부착 헤드와, 상기 부착 헤드의 표면으로부터 내부의 상기 공간으로 관통하도록 형성되고, 필름을 흡착하는 복수의 흡착 구멍과, 상기 공간의 내부를, 상기 흡착 구멍과 접촉하면서 상기 부착 헤드에 대하여 상대적으로 이동하도록 형성되고, 상기 공간을 2 개의 영역으로 구분하는 이동체와, 2 개의 상기 영역 중 하나인 제 1 영역에 형성되고, 감압원에 접속할 수 있는 접속부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치이다.

Description

진공 흡착 제어 기구 장치, 필름 부착 장치, 표시 장치{VACUUM ADSORPTION CONTROL MECHANISM DEVICE, FILM APPLYING DEVICE, AND DISPLAY DEVICE}

본 발명은, 진공 흡착 제어 기구 장치, 진공 흡착 제어 기구 장치를 갖는 필름 부착 장치, 및 필름 부착 장치에 의해 제조된 표시 장치에 관한 것이다.

액정 등을 사용한 표시 장치는, 표시용 전극을 갖는 1 쌍의 유리 등의 기판 사이에 액정 등을 충전시키고, 일방의 면 상에 편광 필름을 부착함으로써 형성된다.

기판 상에 필름을 부착하는 장치로는 여러 가지 구조의 것이 있지만, 특허문헌 1 에 나타내는 표면에 흡착 구멍을 갖는 부착부 (부착 헤드) 를 사용한 것이 있다.

구체적으로는, 일본 공개특허공보 2001-42315호 (특허문헌 1) 의 단락 번호 〔0028〕에 기재되어 있는 바와 같이, 필름 지지체 (22) 의 만곡 형상을 갖는 흡착면을, 복수의 흡착 구멍이 천공된 플레이트로 구성하고, 흡착 구멍에 흡착 밸브를 접속한다.

그리고, 단락 번호 〔0037〕에 기재된 바와 같이, 필름 지지체 (22) 를 회전시켜 필름을 공급하는 공급 장치 (A) 측으로 이동시키고, 흡착 밸브를 전환하여 흡착 구멍으로부터 탈기시킴으로써 필름을 흡착한다.

필름을 흡착시킨 후, 필름 지지체 (22) 를 회전시켜 기판 (액정 패널) 상으로 이동시켜 기판 상에 필름을 부착한다.

그 후, 흡착 밸브를 전환하여 급기시킴으로써 흡착을 해제하여, 필름 지지체 (22) 를 기판 상으로부터 떼어낸다.

또한, 단락 번호 〔0046〕에 기재된 바와 같이, 필름 부착시의 위치 어긋남을 방지하기 위해서, 부착시에 에어를 필름에 분사하고 있다.

그러나, 이와 같이 진공 흡착을 이용하여 필름을 부착하는 구조에서는, 흡착 구멍의 흡착을 흡착 밸브에 의해 제어하고 있기 때문에, 흡착 구멍의 수에 따른 수의 밸브를 준비할 필요가 있어, 구조가 복잡해진다는 문제가 있었다.

또한, 흡착이나 부착시에 에어를 분사하는 구조로 함으로써, 장치의 구조가 복잡해지고, 또한, 에어의 분사에 의해 티끌이나 공기가 부착면에 혼입되어, 부착 정밀도를 저하시킬 우려가 있다는 문제가 있었다.

본 발명은, 이와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 구조가 단순하고, 또한 필름을 양호한 정밀도로 피부착물에 부착할 수 있는 진공 흡착 제어 기구 장치를 제공하는 것에 있다.

전술한 목적을 달성하기 위해서, 제 1 발명은, 내부에 공간을 갖는 부착 헤드와, 상기 부착 헤드의 표면으로부터 내부의 상기 공간으로 관통하도록 형성되고, 필름을 흡착하는 복수의 흡착 구멍과, 상기 공간의 내부를, 상기 흡착 구멍과 접촉하면서 상기 부착 헤드에 대하여 상대적으로 이동하도록 형성되고, 상기 공간을 2 개의 영역으로 구분하는 이동체와, 2 개의 상기 영역 중 하나인 제 1 영역에 형성되고, 감압원에 접속할 수 있는 접속부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치이다.

제 2 발명은, 제 1 발명에 기재된 진공 흡착 제어 기구 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치이다.

제 3 발명은, 제 2 발명에 기재된 필름 부착 장치를 사용하여 피부착물에 필름을 부착함으로써 제조된 것을 특징으로 하는 표시 장치이다.

제 4 발명은, 제 2 발명에 기재된 필름 부착 장치를 사용한 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법이다.

본 발명에 의하면, 구조가 단순하고, 또한 필름을 양호한 정밀도로 피부착물에 부착할 수 있는 진공 흡착 제어 기구 장치를 제공할 수 있다.

도 1 은 필름 부착 장치 (1) 를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 도 1 에 있어서 부착 헤드 (3) 를 점선으로 나타낸 도면이다.
도 3 은 도 2 의 측면도로서, 부착 헤드 (3) 를 3-3 단면도로 나타낸 도면이다.
도 4 는 도 3 에 있어서 부착 헤드 (3) 를 4-4 단면도로 나타낸 도면이다.
도 5a 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 부착 헤드 (3) 에 흡착시키는 순서를 나타내는 도면이다.
도 5b 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 부착 헤드 (3) 에 흡착시키는 순서를 나타내는 도면이다.
도 6a 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 부착 헤드 (3) 에 흡착시키는 순서를 나타내는 도면이다.
도 6b 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 부착 헤드 (3) 에 흡착시키는 순서를 나타내는 도면이다.
도 7a 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 순서를 나타내는 도면이다.
도 7b 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 순서를 나타내는 도면이다.
도 8a 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 순서를 나타내는 도면이다.
도 8b 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 순서를 나타내는 도면이다.
도 9 는 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 편광판을 액정 패널에 부착하여 제조한 표시 장치를 나타내는 도면이다.

이하, 도면에 기초하여 본 발명에 바람직한 실시형태를 상세히 설명한다.

먼저, 도 1 ∼ 도 4 를 참조하여, 본 발명의 실시형태에 관련된 필름 부착 장치 (1) 의 개략 구성을 설명한다.

여기서는, 필름 부착 장치 (1) 로서, 피부착물로서의 액정 표시 장치의 유리 기판에, 필름으로서의 가요성을 갖는 편광 필름을 부착하기 위한 필름 부착 장치가 예시되어 있다.

도 1 ∼ 도 3 에 나타내는 바와 같이, 진공 흡착 제어 기구 장치로서의 필름 부착 장치 (1) 는 부착 헤드 (3), 부착 정반 (15) 및 부착 보조구로서의 부착 롤러 (21) 를 갖고 있다.

여기서는, 부착 보조구를 구비한 예로서, 부착 롤러 (21) 를 예시하여 설명하지만, 부착 롤러 (21) 대신에 바 형상의 스퀴지를 사용해도 되고, 부착 헤드 (3) 의 단부 (端部) 를 스퀴지로서 이용하여 부착 보조구의 역할을 하게 해도 된다.

도 1 ∼ 도 3 에 나타내는 바와 같이, 필름 부착 장치 (1) 는 후술하는 필름 (17) 을 흡착하는 블록 형상의 부착 헤드 (3) 를 갖고 있다.

부착 헤드 (3) 를 구성하는 재료는 특별히 한정되지 않지만, 적어도 필름 (17) 과 접하는 부위는 탄성을 갖는 재료인 것이 바람직하고, 경도가 SRIS 0101 규격으로 20 ∼ 40 도의 고무나 수지인 것이 보다 바람직하다.

부착 헤드 (3) 를 이와 같은 재료로 구성함으로써, 유리 기판 (19) 상에 필름 (17) 을 부착할 때에 균등하게 부착 압력이 발생하기 때문에, 부착 압력이 국소적으로 집중되어 유리가 깨지는 것을 방지할 수 있어, 유리 기판 (19) 의 박판화가 가능해진다.

또한, 균등하게 부착 압력이 발생하기 때문에, 부착시에 부착면에 기포가 혼입되는 것을 방지할 수 있어, 유리 기판 (19) 의 재료로서 평탄도가 나쁜 저급 유리의 사용이 가능해진다.

또한, 부착 헤드 (3) 는 도시되지 않은 액추에이터에 의해, 도 3 의 C1, C2, F1, F2 방향으로 이동할 수 있다.

또한, 부착 헤드 (3) 의 표면 (3a) 과 대향하도록 하여, 피부착물을 유지하는 평판 형상의 부착 정반 (15) 이 형성되어 있다.

부착 정반 (15) 은 도 3 의 C1, C2, F1, F2 방향으로 이동할 수 있게 형성되어 있어도 된다. 또한, 부착 정반의 수평도를 조정하는 θ 의 방향도 조정할 수 있는 구조로 해도 된다.

부착 정반 (15) 을 구성하는 재료는 특별히 한정되지 않지만, 부착 헤드 (3) 와 동일하게, 탄성을 갖는 재료인 것이 바람직하고, 경도가 SRIS 0101 규격으로 20 ∼ 40 도의 고무나 수지인 것이 보다 바람직하다.

부착 정반 (15) 을 이와 같은 재료로 구성함으로써, 부착 헤드 (3) 를 이와 같은 재료로 구성한 경우와 동일한 효과를 나타낸다.

또한, 부착 정반 (15) 의 상면 (15a) 과 대향하도록 하여, 부착시에 필름 (17) 을 누르기 위한 원통 형상의 부착 롤러 (21) 가 형성되어 있다.

또한, 부착 롤러 (21) 는 회전할 수 있어도 되고, 도 2 의 C1, C2, F1, F2 방향으로 이동할 수 있게 형성되어 있어도 된다.

다음으로, 부착 헤드 (3) 의 상세한 구조에 대하여, 도 2 ∼ 도 4 를 사용하여 설명한다.

도 2 ∼ 도 4 에 나타내는 바와 같이, 부착 헤드 (3) 의 내부에는 공간 (11) 이 형성되어 있다.

부착 헤드 (3) 의 표면 (3a) 에는, 복수의 흡착 구멍 (9) 이, 표면 (3a) 으로부터 공간 (11) 으로 관통하여 형성되어 있다.

공간 (11) 내에는 이동체 (5) 가 형성되어 있다.

이동체 (5) 는 공간 (11) 의 내부를 제 1 영역 (11a) 및 제 2 영역 (11b) 으로 구분하도록 형성되어 있고, 흡착 구멍 (9) 에 접촉하면서 도 2 의 D1, D2 의 방향으로 이동할 수 있다.

또한, 부착 헤드 (3) 는, 제 1 영역 (11a) 의 내벽으로부터 부착 헤드 (3) 의 측면 (3b) 으로 관통하여 형성된 접속부 (13) 를 갖고 있다.

접속부 (13) 에는 도시되지 않은 진공 펌프 등의 감압원이 접속되어 있다.

여기서, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 복수의 흡착 구멍 (9) 중, 제 1 영역 (11a) 과 접촉하는 흡착 구멍인 흡착 구멍군 (9a) 의 각 흡착 구멍은, 제 1 영역 (11a) 을 통해 접속부 (13) 와 접속되기 때문에, 감압원과 접속된다.

이 상태에서 감압원을 가동하면, 흡착 구멍군 (9a) 의 각 흡착 구멍 안이 배기되어, 필름 (17) 을 흡착할 수 있다.

한편, 흡착 구멍군 (9a) 이외의 흡착 구멍, 구체적으로는 제 2 영역 (11b) 또는 이동체 (5) 와 접촉하는 흡착 구멍은, 접속부 (13) 와의 접속이 이동체 (5) 에 의해 절단되기 때문에, 감압원과 접속되지 않는다.

이 상태에서는, 이들 흡착 구멍 (9) 안은 배기되지 않기 때문에, 필름 (17) 을 흡착할 수 없고, 이미 필름 (17) 을 흡착하고 있었던 경우에는, 필름 (17) 이 이들 흡착 구멍 (9) 으로부터 떨어진다.

이와 같이, 필름 부착 장치 (1) 는, 제 1 영역 (11a) 과 접촉하는 흡착 구멍과 감압원을 접속한다.

또한, 부착 헤드 (3) 는, 표면 (3a) 이 부착 정반 (15) 의 상면 (15a) 에 대하여 소정의 경사 각도 (

) 가 되도록 형성되어 있다. 또한 부착 헤드 (3) 는, E1, E2 방향으로 이동할 수 있고, 이동에 의해 경사 각도 (

) 를 변경할 수 있다.

다음으로, 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 순서에 대하여, 도 5a ∼ 도 8b 를 사용하여 설명한다.

필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하기 위해서는, 필름 (17) 을 부착 헤드 (3) 에 흡착시키는 공정과, 부착 헤드 (3) 상의 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 공정이 필요하다.

먼저, 필름 (17) 을 부착 헤드 (3) 에 흡착시키는 공정에 대하여, 도 5a ∼ 도 6b 를 사용하여 설명한다.

처음에, 도 5a 에 나타내는 바와 같이, 부착 정반 (15) 상에 필름 (17) 을 탑재하여 고정시킨다.

필름 (17) 은 대지 (臺紙) (19a) 에 부착되어 있고, 대지 (19a) 와의 접촉면에는 도시되지 않은 점착층이 형성되어 있다.

또한, 필름 (17) 의 고정 수단으로는 공지된 수단을 사용할 수 있고, 예를 들어 진공 흡착이나 클램프에 의해 고정시킨다.

다음으로, 부착 헤드 (3) 의 이동체 (5) 를 도 5a 의 D1 방향으로 이동시켜, 모든 흡착 구멍 (9) 이 제 2 영역 (11b) 또는 이동체 (5) 와 접촉하는 위치로 세트한다.

또한, 이동체 (5) 는, 부착 헤드 (3) 에 대하여 상대 이동하면 되기 때문에, 이동체 (5) 가 아니라, 부착 헤드 (3) 를 이동시켜도 된다.

이로써, 모든 흡착 구멍 (9) 이 흡착력을 상실한다.

다음으로, 이 상태에서, 부착 헤드 (3) 혹은 부착 정반 (15) 을 도 3 의 C1, C2, F1, F2 방향으로 이동시키고, 또한 부착 헤드 (3) 를 E2 방향으로 이동시켜, 도 5b 에 나타내는 바와 같이 모든 흡착 구멍 (9) 을 필름 (17) 의 표면에 접촉시키고, 도시되지 않은 감압원을 배기한다.

또한, 흡착 구멍 (9) 을 필름 (17) 의 표면에 접촉시킬 때에는, 도 5b 에 나타내는 바와 같이, 필름 (17) 의 단부가 약간 부착 헤드 (3) 의 우단보다 돌출되도록 한다. 이것은, 부착시에 부착 롤러 (21) 에 텐션을 가하기 위함이다.

또한, 이동시에는 도시되지 않은 센서나 카메라 등에 의해 필름 (17) 의 위치를 특정하고, 그 위치에 기초하여, 도시되지 않은 액추에이터를 구동하여 부착 헤드 (3) 혹은 부착 정반 (15) 을 이동시킨다.

다음으로, 도 5b 의 상태로부터, 이동체 (5) 를 D2 방향으로 이동시킨다.

그렇게 하면, 흡착 구멍 (9) 은 도 5b 의 우단의 흡착 구멍으로부터 차례대로 제 1 영역 (11a) 과 접촉하고, 제 1 영역 (11a) 과 접촉한 순으로 감압원과 접속되고 배기되어, 필름 (17) 을 흡착한다.

또한, 이동체 (5) 가 아니라, 부착 헤드 (3) 및 부착 정반 (15) 을 이동시켜도 된다.

예를 들어 도 6a 는 흡착 도중을 나타내는 도면이지만, 제 1 영역 (11a) 과 접촉하는 흡착 구멍인 흡착 구멍군 (9a) 의 각 흡착 구멍은, 제 1 영역 (11a) 을 통해 접속부 (13) 와 접속되기 때문에, 감압원과 접속되어 필름 (17) 을 흡착하고 있다.

또한 흡착력은, 필름 (17) 의 표면 거칠기나 가요성에 의존하는데, 본 실시형태와 같은 액정 패널용 편광 필름이면, 2.0 × 10⁴ ㎩ ∼ 4.9 × 10⁴ ㎩ 정도가 바람직하다.

그리고, 도 6b 에 나타내는 바와 같이, 이동체 (5) 가 좌단으로 이동하여, 모든 흡착 구멍 (9) 이 제 1 영역 (11a) 과 접촉하면, 부착 헤드 (3) 를 도 3 의 E1 방향으로 경사지게 하여 원래의 경사 각도 (

) (도 3 참조) 로 되돌리고, 부착 헤드 (3) 혹은 부착 정반 (15) 을 도 3 의 C1, C2, F1, F2 방향으로 이동시켜, 부착 헤드 (3) 를 부착 정반 (15) 으로부터 떨어드린다.

이와 같이 필름 부착 장치 (1) 는, 필름 (17) 을 흡착할 때에, 제 1 영역 (11a) 과 접촉한 흡착 구멍으로부터 차례대로 감압원과 접속되고, 필름 (17) 을 흡착한다.

그 때문에, 흡착시에 필름 (17) 이 어긋나는 경우가 없고, 필름 (17) 을 양호한 정밀도로 흡착할 수 있다.

다음으로, 흡착한 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 상에 부착하는 공정에 대하여, 도 7a ∼ 도 8b 를 사용하여 설명한다.

처음에, 도 7a 에 나타내는 바와 같이 부착 정반 (15) 상에, 유리 기판 (19) 을 고정시킨다. 고정 수단은 필름 (17) 을 고정시키는 경우와 동일하다.

다음으로, 필름 (17) 을 흡착한 부착 헤드 (3) 혹은 부착 정반 (15) 을 도 3 의 C1, C2, F1, F2 방향으로 이동시켜, 필름 (17) 의 우단을 유리 기판 (19) 의 원하는 위치에 접촉시킨다.

또한, 필름 (17) 의 우단을 부착 롤러 (21) 로 누른다.

또한, 원하는 위치로의 얼라이먼트는 도시되지 않은 센서나 카메라 등에 의해 유리 기판 (19) 의 원하는 위치를 특정하고, 그 위치에 기초하여, 도시되지 않은 액추에이터를 구동하여 부착 헤드 (3) 혹은 부착 정반 (15) 을 이동시킴으로써 실시한다.

그리고, 부착 정반 (15) 을 C1 방향으로 이동시키고, 또한 이동과 동기하도록 이동체 (5) 를 도 7a 의 D1 방향으로 이동시킨다.

또한, 부착 헤드 (3) 및 부착 롤러 (21) 는 이동시키지 않는다.

그렇게 하면, 필름 (17) 은 부착 롤러 (21) 의 가압에 의해, 우단으로부터 유리 기판 (19) 에 부착되는데, 이 때, 흡착 구멍 (9) 은 좌단으로부터 차례대로 제 1 영역 (11a) 과의 접촉이 해제되어 흡착력을 상실한다.

그 때문에, 필름 (17) 은 부착 헤드 (3) 의 표면 (3a) 에 흡착된 상태에서 텐션을 유지하면서, 부착 헤드 (3) 의 표면을 D1 방향으로 이동하면서 유리 기판 (19) 에 부착된다.

예를 들어 도 7b 및 도 8a 는 부착 도중을 나타내는 도면이지만, 제 1 영역 (11a) 과 접촉하는 흡착 구멍인 흡착 구멍군 (9a) 의 각 흡착 구멍은, 제 1 영역 (11a) 을 통해 접속부 (13) 와 접속되기 때문에, 감압원과 접속되어 필름 (17) 을 흡착하고 있다.

도 8b 에 나타내는 바와 같이, 필름 (17) 의 부착이 완료되면, 부착 정반 (15) 의 이동을 정지한다.

이와 같이 하여, 유리 기판 (19) 에 필름 (17) 이 부착되고, 액정 패널이 완성된다.

참고로, 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 편광판을 액정 패널에 부착하여 제조한 표시 장치 (27) 를 도 9 에 나타낸다.

도 9 에 나타내는 표시 장치 (27) 에 있어서, 편광판 (25) 은, 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 액정 패널 (26) 에 부착되어 있다.

이와 같이 필름 부착 장치 (1), 필름 (17) 을 유리 기판 (19) 에 부착할 때에, 흡착 구멍 (9) 의 좌단으로부터 차례대로 흡착력을 상실하도록 이동체 (5) 가 이동하고, 필름 (17) 은 부착 헤드 (3) 의 표면 (3a) 에 흡착된 상태에서, 부착 헤드 (3) 의 표면을 D1 방향으로 이동하면서 유리 기판 (19) 에 부착된다.

그 때문에, 부착시에 필름 (17) 이 어긋나거나, 공기나 티끌이 혼입되는 경우가 없어, 필름 (17) 을 양호한 정밀도로 부착할 수 있다.

이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 필름 부착 장치 (1) 는 복수의 흡착 구멍 (9) 및 공간 (11) 을 갖는 부착 헤드 (3) 와, 공간 (11) 내를 2 개의 영역으로 구분하는 이동체 (5) 를 갖고, 제 1 영역 (11a) 과 접하는 흡착 구멍 (9) 과 감압원이 접속, 절단된다.

따라서, 필름 부착 장치 (1) 는 흡착의 제어를 위해서 복수의 밸브를 형성할 필요가 없어, 구조가 단순하다.

또한, 에어의 분사가 불필요하기 때문에, 부착시에 필름 (17) 이 어긋나거나, 공기나 티끌이 혼입되는 경우가 없어, 필름 (17) 을 양호한 정밀도로 부착할 수 있다.

또한, 필름 부착 장치 (1) 를 사용하여 유리 기판 (19) 상에 필름 (17) 을 부착하여 표시 장치를 제조함으로써, 제조된 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.

실시예

이하, 실시예에 기초하여 본 발명을 구체적으로 설명한다.

본 발명의 실시예로서, 도 1 에 나타내는 필름 부착 장치 (1) 를 준비하고, 대각 2 인치 ∼ 60 인치의 유리 기판 (19) 에 편광 필름의 부착을 실시하였다.

또한, 부착에 사용한 편광 필름의 표면 거칠기는 0.3 ㎛

Ra

3.0 ㎛, 두께는 0.1 ∼ 0.5 ㎜ 이다.

또한 부착시의 각 흡착 구멍의 흡착력은 2.0 × 10⁴ ㎩ ∼ 4.9 × 10⁴ ㎩ 정도로 하였다.

그 결과, 부착시에 편광 필름이 부착 헤드 (3) 로부터 낙하하지 않고, 또한 부착시의 편광 필름의 슬라이드에도 문제가 없는 것이 확인되었다.

상기한 실시형태에서는, 본 발명을, 액정 표시 기판에 편광 필름을 부착하는 장치에 적용한 경우에 대하여 설명했지만, 본 발명은 전혀 이것에 한정되지 않고, 피부착물에 필름을 부착하는 모든 장치에 적용할 수 있다.

즉, 본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 이동체는, 부착시에 상기 부착 헤드에 대하여 이동할 수 있게 형성되어 있어도 된다.

본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 부착 헤드는, 부착시에 상기 이동체에 대하여 이동할 수 있게 형성되어 있어도 된다.

본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 진공 흡착 제어 기구는, 피부착물을 유지하는 부착 정반을 추가로 갖고, 상기 부착 헤드와 상기 부착 정반의 상대 위치를 변화시킬 수 있어도 된다.

본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 상대 위치의 변화가 부착 헤드 또는 부착 정반의 이동에 의한 것이어도 된다.

본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 부착 헤드 및/또는 상기 부착 정반은 탄성을 가져도 된다.

본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 부착 정반과 대향하도록 형성되고, 부착시에 필름을 누르기 위한 보조구를 추가로 가져도 된다.

본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 보조구는 회전할 수 있는 부착 롤러여도 되고, 바 형상의 스퀴지여도 된다.

또한, 본 발명의 표시 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 필름은 가요성을 가져도 된다.

본 발명의 표시 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 필름은 광학 필름이고, 상기 피부착물은, 가시광을 투과시키는 기판이어도 된다.

본 발명의 표시 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 광학 필름은 편광 필름이고, 상기 표시 장치는 액정 표시 장치여도 된다.

본 발명의 표시 장치의 다른 실시형태에 의하면, 상기 피부착물은 유리여도 된다.

상기한 실시형태에서는 진공 흡착 제어 기구 장치가, 부착 헤드 내부의 공간을 2 개의 영역으로 구분하는 이동체를 구비하고 있고, 이동체가 구분하는 영역의 일방인 제 1 영역과 접하는 흡착 구멍만이 흡착력을 갖는다.

그 때문에, 필름을 부착할 때에, 이동체의 이동만으로 흡착의 제어를 할 수 있어, 구조가 단순하고, 또한 필름의 어긋남이나 티끌, 공기의 혼입을 초래하지 않아, 필름을 양호한 정밀도로 피부착물에 부착할 수 있다.

또한, 본 발명의 표시 장치의 실시형태에 의하면, 표시 장치가 본 발명의 진공 흡착 제어 기구 장치를 사용하여 제조되기 때문에, 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.

또한 본 출원은, 2007년 9월 4일에 출원된, 일본 특허 출원 제2007-229159호로부터의 우선권을 기초로 하여 그 이익을 주장하는 것으로서, 그 개시는 여기에 전체적으로 참고 문헌으로서 도입한다.

1 : 필름 부착 장치
3 : 부착 헤드
5 : 이동체
9 : 흡착 구멍
9a : 흡착 구멍군
11a : 제 1 영역
11b : 제 2 영역
13 : 접속부
15 : 부착 정반
15a : 상면
17 : 필름
19 : 유리 기판
19a : 대지
21 : 부착 롤러
25 : 편광판
26 : 액정 패널
27 : 표시 장치

Claims

내부에 공간을 갖는 부착 헤드와,
상기 부착 헤드의 표면으로부터 내부의 상기 공간으로 관통하도록 형성되고, 필름을 흡착하는 복수의 흡착 구멍과,
상기 공간의 내부를, 상기 흡착 구멍과 접촉하면서 상기 부착 헤드에 대하여 상대적으로 이동하도록 형성되고, 상기 공간을 2 개의 영역으로 구분하는 이동체와,
2 개의 상기 영역 중 하나인 제 1 영역에 형성되고, 감압원에 접속할 수 있는 접속부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 이동체는, 부착시에 상기 부착 헤드에 대하여 이동할 수 있게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 부착 헤드는, 부착시에 상기 이동체에 대하여 이동할 수 있게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 3 항에 있어서,
피부착물을 유지하는 부착 정반을 추가로 갖고,
상기 부착 헤드와 상기 부착 정반의 상대 위치를 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 상대 위치의 변화가, 부착 헤드 또는 부착 정반의 이동에 의한 것인 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 부착 헤드 및/또는 상기 부착 정반은 탄성을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 부착 정반과 대향하도록 형성되고, 부착시에 필름을 누르기 위한 보조구를 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 보조구는, 회전할 수 있는 부착 롤러 또는 바 형상의 스퀴지인 것을 특징으로 하는 진공 흡착 제어 기구 장치.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 진공 흡착 제어 기구 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
제 9 항에 기재된 필름 부착 장치를 사용하여 피부착물에 필름을 부착함으로써 제조된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 필름은 가요성을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 필름은 광학 필름이고,
상기 피부착물은, 가시광을 투과시키는 기판인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 광학 필름은 편광 필름이고, 상기 표시 장치는 액정 표시 장치인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 피부착물은 유리인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제 9 항에 기재된 필름 부착 장치를 사용한 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법.