KR20100045135A - 기판 절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법 - Google Patents

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KR20100045135A
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Abstract

기판 절단 장치는 모기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버, 컷팅 마크의 위치값을 출력하는 촬상부, 및 스크라이버의 컷팅 위치를 설정하는 제어부를 구비한다. 제어부는 촬상부로부터 출력된 각 컷팅 마크의 위치값에 근거하여 스크라이버의 컷팅 위치를 셋팅한다. 이와 같이, 기판 절단 장치는 스크라이버의 컷팅 위치를 자동 설정하므로, 공정 시간을 단축시키고, 공정 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법{SUBSTRATE SCRIBING APPARATUS AND METHOD OF SCRIBING SUBSTRATE USING THE SAME}
본 발명은 평판표시패널 제조에 사용되는 절단 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시패널용 모기판을 절단하기 위한 절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 영상을 표시하기 위한 평판표시패널은 대형 패널, 즉, 모기판을 이용하여 한번에 다수매씩 제조된다. 구체적으로, 평판표시패널은 서로 마주하는 상부 기판과 하부 기판을 구비한다. 상부 기판과 하부 기판은 각기 다른 모기판을 통해 형성된다. 즉, 상부 기판용 모기판과 하부 기판용 모기판은 각각 다수의 단위 영역이 구획된다. 상부 기판용 모기판의 각 단위 영역에는 상부 기판을 형성하기 위한 박막층들로 이루어진 상부셀이 형성된다. 하부 기판용 모기판의 각 단위 영역에는 하부 기판을 형성하기 위한 박막층들로 이루어진 하부셀이 형성된다.
각각 박막층들이 형성된 상부 기판용 모기판과 하부 기판용 모기판은 서로 마주하게 결합되며, 상부 기판용 모기판의 단위 영역들과 하부 기판용 모기판의 단위 영역들은 서로 일치한다. 서로 마주하는 하부셀과 상부셀은 하나의 단위셀을 구 성하며, 하나의 단위셀은 하나의 평판표시패널을 구성한다. 서로 결합된 두 개의 모기판은 각 단위셀 별로 절단되고, 이에 따라, 다수의 평판표시패널이 제조된다.
이와 같이, 대형 모기판을 이용하여 다수의 평판표시패널을 제조하기 위해서는 결합된 두 개의 모기판을 단위셀별로 절단하는 과정이 필요하다. 일반적으로, 모기판을 절단하는 컷팅 장치로는 레이저 빔을 이용하여 절단하는 컷팅 장치와 스크라이브 휠(scribe wheel)을 이용한 컷팅 장치가 있다.
이러한 컷팅 장치가 모기판을 절단하는 과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 모기판에 형성된 컷팅 마크의 위치를 확인한 후, 작업자가 컷팅 위치를 일일이 수작없으로 셋팅한다. 이어, 셋팅된 컷팅 위치에 따라 컷팅 장치가 모기판 어셈블리에 스크라이브 라인을 형성한다. 이어, 모기판에 물리적인 충격을 가하면, 스크라이브 라인을 따라 크랙이 전파되어 단위셀 별로 분리된다.
이와 같이, 종래의 컷팅 과정은 컷팅 위치를 수작업으로 일일이 입력해야 하므로, 공정 시간이 증가되고, 컷팅 정확성이 저하된다.
본 발명의 목적은 공정 시간을 단축시키고 컷팅 정확성을 향상시킬 수 있는 기판 절단 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 기판 절단 장치를 이용하여 기판을 절단하는 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 절단 장치는 지지 유닛, 스크라이버, 촬상부 및 제어부로 이루어진다.
지지유닛에는 평판표시패널 형성용 모기판이 안착된다. 스크라이버는 상기 지지유닛에 안착된 모기판을 상기 평판표시패널을 형성하는 각 단위셀별로 컷팅하기 위해 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성한다. 촬상부는 수평 이동 가능하며, 상기 모기판에 형성된 컷팅 위치를 나타내는 각 컷팅 마크를 촬상하여 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 출력한다. 제어부는 상기 촬상부로부터 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 수신하고, 상기 각 컷팅 마크의 위치값에 근거하여 상기 스크라이버의 컷팅 위치를 셋팅한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 절단 방법은 다음과 같다.
먼저, 평판표시패널 형성용 모기판을 지지유닛에 안착시킨다. 상기 모기판에 형성된 각 컷팅 마크를 인지하여 컷팅 위치를 자동으로 셋팅한다. 설정된 컷팅 위치에 스크라이버를 배치시킨다. 상기 스크라이버가 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성한다.
상기 컷팅 위치를 셋팅하는 과정을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 상기 모기판의 상부에 촬상부를 배치시킨다. 상기 촬상부를 수평이동시키면서 상기 각 컷팅 마크를 촬상하여 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 생성한다. 상기 각 컷팅 마크의 위치값에 근거하여 상기 스크라이버의 컷팅 위치를 자동으로 셋팅하는 단계를 포함한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 절단 방법은 다음과 같다. 먼저, 평판표시패널 형성하기 위한 단위셀들이 형성된 모기판을 지지유닛에 안착시킨다. 상기 지지유닛에 안착된 모기판의 단위셀들의 배치 구조 및 크기가 이전 모기판의 단위셀들과 서로 다른지 판단한다. 상기 판단 결과, 상기 지지유닛에 안착된 모기판의 단위셀들의 배치 구조 및 크기가 이전 모기판의 단위셀들과 서로 다를 경우, 상기 모기판에 형성된 각 컷팅 마크를 인지하여 컷팅 위치를 자동으로 셋팅한 후, 새로 설정된 컷팅 위치에 스크라이버를 배치시킨다. 상기 판단 결과, 상기 지지유닛에 안착된 모기판의 단위셀들의 배치 구조 및 크기가 이전 모기판의 단위셀들과 서로 동일할 경우, 기 설정된 컷팅 위치에 상기 스크라이버를 배치시킨다. 상기 스크라이버가 상기 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성한다.
상술한 본 발명에 따르면, 촬상부에서 생성된 컷팅 마크의 위치값에 따라 스크라이버의 컷팅 위치가 자동 설정되므로, 공정 시간이 단축되고, 공정 효율 및 생산성이 향상될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 본 실시예에서는 절단 대상물로 액정표시패널용 모기판을 일례로 하여 설명하나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며 다른 종류의 대상물도 가능하다. 또한, 도면에서의 요소의 표현은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되게 표현되었다.
도 1은 액정표시패널용 모기판 어셈블리를 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 'A'부분을 확대하여 나타낸 평면도이며, 도 3는 액정표시패널을 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 모기판 어셈블리(100)는 제1 및 제2 모기판(110, 120)을 포할 수 있고, 상기 제1 및 제2 모기판(110, 120)은 서로 마주하게 결합되어 다수의 단위셀(UC)을 형성한다.
상기 다수의 단위셀(UC)은 매트릭스 형태로 배치되고, 각 단위셀(UC)은 하나의 액정표시패널을 형성한다. 상기 모기판 어셈블리(100)에는 컷팅 위치를 나타내는 다수의 컷팅 마크(CM)가 형성된다. 상기 컷팅 마크(CM)는 상기 단위셀(UC)의 각 모서리에 형성되고, 기판 절단 장치는 상기 컷팅 마크(CM)를 감지하여 컷팅 위치를 설정한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 컷팅 마크(CM)는 동일한 크기로 이루어진 네 개의 사각형들이 2행 2열로 배치된 구조를 갖는다. 상기 네 개의 사각형들은 서로 이격되어 위치하며, 어느 한 개만 상기 단위셀(UC)이 형성된 영역안에 위치한다. 스크라이빙 공정시, 스크라이브 라인(SL)은 상기 컷팅 마크(CM)의 행들 사이 및 열들 사이를 지나간다.
상기 모기판 어셈블리(100)는 상기 스크라이빙 공정에 의해 상기 단위셀(UC)별로 절단되고, 상기 모기판 어셈블리(100)로부터 상기 단위셀(UC)별로 분리되어 형성된 단위 패널들은 각각 도 3에 도시된 바와 같은 액정표시패널(DP)로서 제공된다. 여기서, 상기 액정표시패널(DP)은 하부 기판(DP1)보다 상부 기판(DP)의 크기가 작게 절단되어 상기 하부 기판(DP1)의 소오스측 단부와 게이트측 단부를 외부로 노출시킨다. 상기 하부 기판(DP1)의 소오스측 단부에는 소오스 신호를 출력하는 소오스 구동부가 결합되고, 게이트측 단부에는 게이트 신호를 출력하는 게이트 구동부가 결합된다.
이 실시예에 있어서, 상기 액정표시패널(DP)은 게이트측 단부와 소오스측 단부가 노출되나, 소오스측 단부만 노출될 수도 있다.
이하, 도면을 참조하여 상기 모기판 어셈블리(100)를 각 단위셀(UC)별로 절단하는 기판 절단 장치의 구성에 대해 구체적으로 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 기판 절단 장치(600)는 지지 유닛(200), 컷팅 유닛(300), 티칭 카메라(400) 및 제어부(500)를 포함할 수 있다. 상기 지지 유닛(200)은 상기 모기판 어셈블리(100)가 안착되고, 상기 컷팅 유닛(300)은 상기 모기판 어셈블리(100)를 컷팅한다. 본 발명의 일례로, 상기 지지 유닛(200)은 지면에 대해 수평 이동이 가능하다.
상기 컷팅 유닛(300)은 스크라이버(310), 가압 부재(320), 전공 레귤레이터(330), 결합 플레이트(340) 및 이동부(350)를 포함할 수 있다.
상기 스크라이버(310)는 상기 지지 유닛(200)의 상부에 설치되고, 상기 모기판 어셈블리(100)의 표면에 스크라이브 라인(SL)을 형성한다. 구체적으로, 상기 스크라이버(310)는 컷팅 휠(311), 진동 헤드(312) 및 홀더(313)를 포함한다.
상기 컷팅 휠(311)은 회전 가능하고, 대체로 원 판 형상을 가지며, 중앙에 원형의 통공이 형성된다. 본 발명의 일례로, 상기 컷팅 휠(311)은 다이아몬드 재질로 이루어진다. 상기 컷팅 휠(311)은 상기 모기판 어셈블리(100)의 표면을 가압하면서 회전하여 상기 모기판 어셈블리(100)의 표면에 크랙을 발생시켜 스크라이브 라인(SL)을 형성한다. 상기 모기판 어셈블리(100)는 상기 스크라이브 라인(SL)을 따라 절단되어 상기 단위셀(UC)(도 1 참조) 별로 분리된다.
상기 컷팅 휠(311)의 상부에는 상기 진동 헤드(312)가 설치된다. 상기 진동 헤드(312)는 스크라이빙 공정시 초음파를 이용하여 진동을 발생시키고, 상기 진동을 상기 컷팅 휠(311)에 인가한다. 상기 컷팅 휠(311)은 상기 초음파 진동자(321)로부터 전달된 진동에 의해 상/하 방향으로 진동하여 상기 모기판 어셈블리(110)의 표면에 상기 스크라이브 라인(SL)을 형성한다. 본 발명의 일 례로, 상기 진동 헤드(312)는 초음파 진동자(megasonic transducer)를 내장할 수 있다.
상기 진동 헤드(312)의 아래에는 상기 홀더(313)가 설치되고, 상기 홀더(313)는 상기 컷팅 휠(311)을 상기 진동 헤드(312)의 하부에 고정시킨다. 상기 홀더(313)의 상단부는 상기 진동 헤드(312)의 하면에 고정 결합되고, 하면에는 상기 컷팅 휠(311)의 일부분이 삽입되는 홈이 형성된다. 상기 홈에는 상기 컷팅 휠(311)의 중앙부에 형성된 통공을 관통하는 축핀이 설치된다. 상기 축핀은 원기둥 형상을 갖고, 상기 컷팅 휠(311)을 상기 홀더(313)에 고정시킨다. 스크라이빙 공정시, 상기 축핀이 고정된 상태에서 상기 컷팅 휠(311)만 회전하며, 상기 진동 헤드(312)의 진동이 상기 홀더(313)를 통해 상기 컷팅 휠(311)에 전달된다.
상기 스크라이버(310)의 상부에는 상기 가압부재(320)가 구비된다. 상기 가압 부재(320)는 상기 스크라이빙 공정시 상기 컷팅 휠(311)이 상기 모기판 어셈블리(100)의 표면을 적정한 힘으로 누를수 있도록 상기 스크라이버(310)를 상기 지지 유닛(200) 측으로 가압한다. 본 발명의 일례로, 상기 가압부재(320)로는 실린더가 이용될 수 있으며, 상기 실린더는 공압을 이용하여 상기 스크라이버(310)를 가압한다.
상기 가압부재(320)는 상기 전공 레귤레이터(330)와 연결된다. 상기 전공 레귤레이터(330)는 전기적 신호를 입력받아 상기 가압부재(320)의 공압, 즉, 상기 가압부재에 입력되는 입력 압력을 조절한다.
상기 스크라이버(310)와 상기 가압부재(320)는 상기 결합 플레이트(340)의 제1 면에 결합되고, 상기 결합 플레이트(340)는 상기 스크라이버(310)와 상기 가압부재(320)의 일측에 설치된다.
상기 제1 면과 마주하는 상기 결합 플레이트(340)의 제2 면에는 상기 이동부(350)가 결합된다. 상기 이동부(350)는 수직 이동이 가능한 수직 이동부(351) 및 수평 이동이 가능하는 수평 이동부(355)를 포함할 수 있다. 상기 수직 이동부(351)는 상기 결합 플레이트(340)의 제2 면에 결합되고, 상기 결합 플레이트(340)의 수직 이동시킨다. 이에 따라, 상기 스크라이버(310)의 수직 위치가 조절된다. 상기 수직 이동부(351)는 상기 수평 이동부(355)에 결합된다. 상기 수평 이동부(355)는 상기 지지 유닛(200)의 상면에 대해 수평 방향으로 이동하여 상기 지지 유닛(200)에 대한 상기 스크라이버(310)의 상대적인 수평 위치를 조절한다.
이 실시예에 있어서, 상기 기판 절단 장치(600)는 상기 컷팅 휠(310)을 상기 모기판 어셈블리(100)에 물리적으로 가압하여 스크라이브 라인을 형성하는 컷팅 유닛(300)을 구비하나, 레이져 빔을 조사하여 상기 스크라이브 라인을 형성하는 컷팅 유닛을 구비할 수도 있다.
한편, 상기 티칭 카메라(400)는 상기 지지 유닛(200)의 상부에 배치된다. 상기 티칭 카메라(400)는 상기 지지 유닛(200)에 안착된 모기판 어셈블리(100)(도 1 참조)의 각 컷팅 마크(CM)(도 1 참조)를 촬상하고, 촬상된 영상을 통해 상기 각 컷팅 마크(CM)의 위치값을 생성하여 출력한다.
이 실시예에 있어서, 상기 기판 절단 장치(600)는 하나의 티칭 카메라(400)를 구비하나, 상기 티칭 카메라(400)의 개수는 작업 효율 및 상기 모기판 어셈블리(100)의 크기에 따라 증가할 수도 있다.
상기 제어부(500)는 상기 티칭 카메라(400)로부터 상기 각 컷팅 마크(CM)의 위치값을 수신하고, 이를 근거로하여 상기 스크라이버(310)의 컷팅 위치를 자동 셋팅한다. 상기 스크라이버(310)는 상기 제어부(500)의해 설정된 컷팅 위치에 따라 모기판 어셈블리(100)에 대한 상대적인 수평 위치가 설정되고, 설정된 컷팅 위치에서 스크라이빙 실시한다.
이와 같이, 상기 컷팅 유닛(300)의 컷팅 위치가 상기 티칭 카메라(400)에서 인지된 컷팅 마크(CM)의 위치값에 근거하여 상기 제어부(500)에 의해 자동 설정된다. 이에 따라, 상기 기판 절단 장치(600)은 상기 모기판 어셈블리(100)의 컷팅 위치를 작업자가 수작업으로 일일이 셋팅할 필요가 없으므로, 작업 능률을 향상시키고, 공정 시간을 단축하며, 생산성을 향상시킬 수 있다.
특히, 상기 모기판 어셈블리(100)는 제조하고자 하는 액정표시패널의 크기에 따라 단위셀들의 개수 및 각 단위셀(UC)의 크기가 달라진다. 즉, 상기 모기판 어셈블리(100)는 제조하고자하는 액정표시패널의 제조 모델에 따라 단위셀의 크기와 개수가 변경된다. 제조 모델이 변경될 경우, 상기 모기판 어셈블리(100)에 형성된 각 컷팅 마크(CM)의 위치 또한 변경된다. 상기 기판 절단 장치(600)는 상기 티칭 카메라(400)를 통해 상기 각 컷팅 마크(CM)의 위치를 인식하여 상기 스크라이버(310)의 컷팅 위치를 자동으로 셋팅하므로, 제조 모델이 변경되더라도 컷팅 위치의 설정이 용이하다.
또한, 제조 모델이 동일한 모기판 어셈블리들도 공정과정에서의 공차로 인해 단위셀의 위치가 조금씩 다르다. 상기 기판 절단 장치(600)는 컷팅할 모기판 어셈블리(100)에 형성된 각 컷팅 마크(CM)의 위치 인식을 통해 상기 컷팅 위치를 자동 설정하므로, 컷팅의 정확성 및 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 상기 기판 절단 장치(400)가 스크라이빙 공정을 진행하는 과정을 구체적으로 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 과정을 나타낸 흐름도이고, 도 6은 도 4에 도시된 티칭 카메라가 모기판 어셈블리의 각 컷팅 마크를 인지하는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 7은 도 4에 도시된 스크라이버가 모기판 어셈블리를 스크라이빙하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 먼저, 모기판 어셈블리(100)를 지지 유닛(200)에 안착시키고(단계 S110), 상기 모기판 어셈블리(100)의 상부에 티칭 카메라(400)를 배치시킨다(단계 S120).
상기 티칭 카메라(400)는 수평 방향, 즉, 상기 모기판 어셈블리(100)에 형성된 단위셀들의 행들이 배치된 방향(D1) 및 열들이 배치된 방향(D2)으로 이동하면서 상기 모기판 어셈블리(100)에 형성된 각 컷팅 마크(MC)를 촬상하여 상기 각 컷팅 마크(CM)의 위치값을 출력한다(단계 S130)
이 실시예에 있어서, 하나의 티칭 카메라(400)가 상기 모기판 어셈블리(100)의 컷팅 마크들을 촬상하여 위치값들을 생성하나, 다수의 티칭 카메라가 이용될 수도 있다.
도 5 및 도 7을 참조하면, 상기 제어부(500)는 상기 티칭 카메라(400)로부터 출력된 상기 커팅 마크들의 위치값들에 근거하여 스크라이버(310)의 컷팅 위치를 설정한다(단계 S140).
상기 모기판 어셈블리(100)이 상부에서 상기 제어부(500)에 의해 설정된 컷팅 위치에 스크라이버(310)를 배치시킨 후, 스크라이빙을 실시한다(단계 S150). 이에 따라, 상기 모기판 어셈블리(100)는 단위셀(UC)(도 1 참조)별로 절단된다.
상기 티칭 카메라(400)가 상기 각 컷팅 마크(CM)의 위치값을 생성하여 상기 제어부가 상기 컷팅 위치를 자동 설정하는 과정(단계 S130 ~ S140)은 모기판 어셈블리를 컷팅할때 마다 이루어질 수도 있고, 제조 모델이 변경될 경우에만 이루어질 수도 있다.
제조 모델이 변경되는 경우에만 컷팅 위치를 자동 설정하는 경우, 먼저, 상기 지지유닛(200)에 안착된 모기판 어셈블리(100)가 이전 모기판 어셈블리의 제조 모델과 동일한지를 판단한다. 상기 판단 결과, 이전 모기판 어셈블리와 동일한 모델이면, 컷팅 위치를 설정하는 과정(단계 S130 ~ S140)을 생략하고, 상기 스크라이버(310)는 기설정된 컷팅 위치에 따라 스크라이브 라인(SL)을 형성한다(단계 S150). 상기 판단 결과, 이전 모기판 어셈블리와 서로 다른 모델이면, 컷팅 위치를 설정하고(단계 S130 ~ S140), 상기 스크라이버(310)는 재 설정된 컷팅 위치에 따라 스크라이브 라인(SL)을 형성한다(단계 S140).
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 액정표시패널용 모기판 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 'A'부분을 확대하여 나타낸 평면도이다.
도 3는 액정표시패널을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 6은 도 4에 도시된 티칭 카메라가 모기판 어셈블리의 각 컷팅 마크를 인지하는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7은 도 4에 도시된 스크라이버가 모기판 어셈블리를 스크라이빙하는 과정을 나타낸 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 모기판 어셈블리 200 : 지지 유닛
300 : 컷팅 유닛 310 : 스크라이버
320 : 가압 부재 330 : 전공 레귤레이터
340 : 결합 플레이트 350 : 이동부
400 : 티칭 카메라 500 : 제어부
600 : 기판 절단 장치

Claims (7)

  1. 평판표시패널 형성용 모기판이 안착되는 지지유닛;
    상기 지지유닛에 안착된 모기판을 상기 평판표시패널을 형성하는 각 단위셀별로 컷팅하기 위해 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버;
    수평 이동 가능하며, 상기 모기판에 형성된 컷팅 위치를 나타내는 각 컷팅 마크를 촬상하여 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 출력하는 촬상부; 및
    상기 촬상부로부터 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 수신하고, 상기 각 컷팅 마크의 위치값에 근거하여 상기 스크라이버의 컷팅 위치를 셋팅하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 컷팅 마크는 상기 단위셀의 각 모서리에 형성된 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 스크라이버는,
    회전 가능하고, 스크라이빙 공정시 상기 모기판에 접촉된 상태로 회전하여 상기 모기판의 표면에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 컷팅 휠;
    상기 컷팅 휠의 상부에 설치되고, 진동을 발생하여 상기 컷팅 휠을 진동시키는 진동 헤드; 및
    상기 컷팅 휠 및 상기 진동 헤드와 결합하고, 상기 컷팅 휠을 상기 진동 헤 드에 고정시키는 홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  4. 평판표시패널 형성용 모기판을 지지유닛에 안착시키는 단계;
    상기 모기판에 형성된 각 컷팅 마크를 인지하여 컷팅 위치를 자동으로 셋팅하는 단계;
    설정된 컷팅 위치에 스크라이버를 배치시키는 단계; 및
    상기 스크라이버가 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 컷팅 위치를 셋팅하는 단계는,
    상기 모기판의 상부에 촬상부를 배치시키는 단계;
    상기 촬상부를 수평이동시키면서 상기 각 컷팅 마크를 촬상하여 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 생성하는 단계; 및
    상기 각 컷팅 마크의 위치값에 근거하여 상기 스크라이버의 컷팅 위치를 자동으로 셋팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
  6. 평판표시패널 형성하기 위한 단위셀들이 형성된 모기판을 지지유닛에 안착시키는 단계;
    상기 지지유닛에 안착된 모기판의 단위셀들의 배치 구조 및 크기가 이전 모기판의 단위셀들과 서로 다른지 판단하는 단계;
    상기 판단 결과, 상기 지지유닛에 안착된 모기판의 단위셀들의 배치 구조 및 크기가 이전 모기판의 단위셀들과 서로 다를 경우, 상기 모기판에 형성된 각 컷팅 마크를 인지하여 컷팅 위치를 자동으로 셋팅한 후, 새로 설정된 컷팅 위치에 스크라이버를 배치시키는 단계;
    상기 판단 결과, 상기 지지유닛에 안착된 모기판의 단위셀들의 배치 구조 및 크기가 이전 모기판의 단위셀들과 서로 동일할 경우, 기 설정된 컷팅 위치에 상기 스크라이버를 배치시키는 단계; 및
    상기 스크라이버가 상기 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 컷팅 위치를 셋팅하는 단계는,
    상기 모기판의 상부에 촬상부를 배치시키는 단계;
    상기 촬상부를 수평이동시키면서 상기 각 컷팅 마크를 촬상하여 상기 각 컷팅 마크의 위치값을 생성하는 단계; 및
    상기 각 컷팅 마크의 위치값에 근거하여 상기 스크라이버의 컷팅 위치를 자동으로 셋팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101240712B1 (ko) * 2009-01-29 2013-03-11 도요타 고세이 가부시키가이샤 기판 절단 방법 및 전자소자의 제조 방법

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