KR20100040690A - Coating apparatus, printing plate manufacturing apparatus, and coating method - Google Patents

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KR20100040690A
KR20100040690A KR1020090096234A KR20090096234A KR20100040690A KR 20100040690 A KR20100040690 A KR 20100040690A KR 1020090096234 A KR1020090096234 A KR 1020090096234A KR 20090096234 A KR20090096234 A KR 20090096234A KR 20100040690 A KR20100040690 A KR 20100040690A
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히로유키 기타자와
다케히코 사이츠
요시쿠니 다케이치
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다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A coating apparatus, a printing plate manufacturing apparatus, and a coating method are provided, which enable formation of the unevenness pattern having high aspect rate. CONSTITUTION: A coating apparatus(1) comprises a base plate, a rotating plate(11), a resin supply unit, a grinding unit, a feeding unit, and a moving unit. The base plate is loaded with a substrate in the state of turning upward one side of the substrate. The rotating plate has a circumferential side of a cylindrical shape and revolves around the centered axis which is the center of the circumferential side. The resin supply unit supplies resin to the circumferential side of the rotating plate. The resin supply unit forms a resin layer on the circumferential side. The grinding unit grinds the surface of the resin layer based on the axis center.

Description

도포 장치, 인쇄판 제조 장치, 및 도포 방법 {COATING APPARATUS, PRINTING PLATE MANUFACTURING APPARATUS, AND COATING METHOD}Coating device, printing plate manufacturing device, and coating method {COATING APPARATUS, PRINTING PLATE MANUFACTURING APPARATUS, AND COATING METHOD}

본 발명은, 도포 장치, 인쇄판 제조 장치, 및 도포 방법에 관한 것이며, 보다 특정적으로는, 스테이지 상에 얹어 놓은 기판에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치 및 도포 방법, 및 당해 인쇄 도포에 이용되는 인쇄판을 제조하는 인쇄판 제조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus, a printing plate manufacturing apparatus, and a coating method, and more specifically, a coating apparatus and a coating method for printing and applying a coating liquid to a substrate placed on a stage, and used for the printing application. A printing plate manufacturing apparatus which manufactures a printing plate.

유기 EL 디바이스가 조명이나 디스플레이에 이용되는 움직임이 활발하게 되어 있다. 이들 유기 EL 디바이스를 제조할 때에는, 기판에 대해서 비교적 큰 사이즈의 박막 형상으로 유기 EL 재료, 정공(正孔) 수송 재료, 전자 수송 재료 등을 도포하거나, 적, 녹, 및 청색 발광의 유기 EL 재료를 미세한 스트라이프 형상으로 나누어 바르거나 할 필요가 생긴다. 이들 도포 작업을 반복하여 층을 포갬으로써, 유기 EL 디바이스의 발광층, 정공 수송층, 및 전자 수송층 등이 형성된다.The movement which an organic EL device uses for illumination and a display is active. When manufacturing these organic EL devices, an organic EL material, a hole transport material, an electron transport material, etc. are apply | coated to the board | substrate in the shape of a comparatively large size thin film, or the organic EL material of red, green, and blue light emission is carried out. It may be necessary to apply the coating to a fine stripe shape. By repeating these application | coating operations and laminating | stacking a layer, the light emitting layer, a hole transport layer, an electron carrying layer, etc. of an organic EL device are formed.

또, 각종 인쇄법이나 특수한 도포 방법을 이용해, 유기 EL 재료의 박막을 기판 상에 형성하는 제조 방법이 시도되고 있다. 예를 들면, 일본국 특허공개 2008-6705호 공보(이하, 특허 문헌 1이라고 기재한다)에는, 판동(版胴)에 감아 설치된 인쇄판을 이용해 유기 EL 재료를 기판에 인쇄 도포하여, 유기 EL 재료의 박막을 형성하는 인쇄 장치가 개시되어 있다.Moreover, the manufacturing method which forms the thin film of organic electroluminescent material on a board | substrate using various printing methods and a special coating method is tried. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-6705 (hereinafter referred to as Patent Document 1) prints and coats an organic EL material on a substrate using a printing plate wound around a plate ridge. A printing apparatus for forming a thin film is disclosed.

여기서, 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치를 이용해 전자 부품(예를 들면, 유기 EL 재료)을 플렉소 인쇄법으로 형성하는 경우, 판동에 감아 설치된 인쇄판 표면의 진원도를 고정밀도(예를 들면, ±10㎛정도)로 할 필요가 있다. 그러나, 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치에서는, 완성한 인쇄판을 판동에 감아 설치할 때의 인쇄판의 변형 등도 고려할 필요도 있기 때문에, 필요한 인쇄판 표면의 정밀도를 확보할 수 없는 경우가 있다.Here, when the electronic component (for example, organic EL material) is formed by the flexographic printing method using the printing apparatus disclosed in the above Patent Document 1, the roundness of the surface of the printing plate wound around the plate is installed with high precision (for example, ± About 10 μm). However, in the printing apparatus disclosed in the patent document 1, it is also necessary to consider deformation of the printing plate and the like when the finished printing plate is wound around the plate and installed, so that the required precision of the surface of the printing plate may not be secured.

그러므로, 본 발명의 목적은, 높은 표면 정밀도를 가지는 인쇄판을 형성하는 도포 장치, 인쇄판 제조 장치, 및 도포 방법을 제공하는 것이다.Therefore, it is an object of the present invention to provide a coating apparatus, a printing plate manufacturing apparatus, and a coating method for forming a printing plate having high surface accuracy.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 이하에 설명하는 특징을 가지고 있다.In order to achieve the said objective, this invention has the characteristics demonstrated below.

제1의 국면은, 기판 상에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치이다. 도포 장치는, 재치대, 판동, 수지 공급 수단, 연삭 수단, 패턴 형성 수단, 도포액 공급 수단, 및 상대 이동 수단을 구비한다. 재치대는, 기판의 한쪽의 면을 위로 향하게 한 상태로 당해 기판을 얹어 놓는다. 판동은, 원통 형상의 원주 측면을 가지며, 당해 원주 측면의 중심이 되는 축심을 중심으로 회전한다. 수지 공급 수단은, 판동의 원주 측면에 수지를 공급하여, 당해 원주 측면 상에 수지층을 형성한다. 연삭 수단은, 수지층의 표면을, 축심을 기준으로 연삭한다. 패턴 형성 수단은, 연삭 수단이 연삭한 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성한다. 도포액 공급 수단은, 요철 패턴이 형성된 수지층의 표면에 도포액을 공급한다. 상대 이동 수단은, 기판의 한쪽의 면과 요철 패턴이 형성된 수지층의 표면을 근접시키거나 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태로, 축심을 중심으로 판동을 회전시키면서 재치대와 판동을 상대 이동시킨다.The first aspect is a coating apparatus for printing and applying a coating liquid onto a substrate. The coating device includes a mounting table, a plate copper, a resin supplying means, a grinding means, a pattern forming means, a coating liquid supplying means, and a relative moving means. The placing table places the said board | substrate in the state which the one surface of the board | substrate was facing upward. The plate cylinder has a cylindrical circumferential side surface and rotates about an axis center serving as the center of the circumferential side surface. The resin supply means supplies resin to the circumferential side of the plate copper to form a resin layer on the circumferential side. A grinding means grinds the surface of a resin layer with respect to an axial center. The pattern forming means forms an uneven pattern on the surface of the resin layer ground by the grinding means. A coating liquid supply means supplies a coating liquid to the surface of the resin layer in which the uneven | corrugated pattern was formed. The relative movement means relatively moves the mounting table and the plate plate while rotating the plate plate around the shaft center in a state in which one surface of the substrate and the surface of the resin layer on which the uneven pattern is formed are brought into close contact or abutment.

제2의 국면은, 상기 제1의 국면에 있어서, 수지 경화 수단을 더 구비한다. 수지 경화 수단은, 수지 공급 수단에 의해 판동의 원주 측면에 공급된 수지를 경화시킨다.The second aspect further includes resin curing means in the first aspect. The resin curing means cures the resin supplied to the circumferential side of the plate by the resin supply means.

제3의 국면은, 상기 제2의 국면에 있어서, 상기 수지 공급 수단은, 판동의 원주 측면에 광경화성 수지를 공급한다. 수지 경화 수단은, 광경화성 수지를 경화시키는 광을, 수지 공급 수단에 의해 판동의 원주 측면에 공급된 광경화성 수지에 조사한다. In a third aspect, in the second aspect, the resin supply means supplies the photocurable resin to the circumferential side of the plate cylinder. Resin hardening means irradiates the photocurable resin supplied to the circumferential side of a plate by the resin supply means with the light which hardens a photocurable resin.

제4의 국면은, 상기 제2의 국면에 있어서, 수지 공급 수단은, 판동의 원주 측면에 열경화성 수지를 공급한다. 수지 경화 수단은, 열경화성 수지를 경화시키는 열량을, 수지 공급 수단에 의해 판동의 원주 측면에 공급된 열경화성 수지에 더한다. In a fourth aspect, in the second aspect, the resin supply means supplies the thermosetting resin to the circumferential side surface of the plate copper. The resin curing means adds the amount of heat to cure the thermosetting resin to the thermosetting resin supplied to the circumferential side of the plate by the resin supply means.

제5의 국면은, 상기 제1 또는 제2의 국면에 있어서, 절삭 수단은 흡인 수단을 포함한다. 흡인 수단은 수지층의 표면을 연삭함으로써 생기는 절삭 찌꺼기를 흡인한다. In a fifth aspect, in the first or second aspect, the cutting means includes suction means. The suction means sucks cutting debris generated by grinding the surface of the resin layer.

제6의 국면은, 상기 제1 또는 제2의 국면에 있어서, 패턴 형성 수단은 레이저 조사 수단을 포함한다. 레이저 조사 수단은 연삭 수단이 연삭한 수지층의 표면의 일부에 레이저광을 요철 패턴에 따라 조사하여, 당해 표면을 절삭 가공한다. 패턴 형성 수단은, 축심을 중심으로 판동을 회전시키면서 레이저 조사 수단으로부터 출력된 레이저광을 수지층의 표면의 일부에 조사하여, 레이저 조사 수단을 축심 방향으로 이동시킴으로써, 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성한다. In a sixth aspect, in the first or second aspect, the pattern forming means includes laser irradiation means. A laser irradiation means irradiates a part of the surface of the resin layer with which the grinding means was ground according to the uneven pattern, and cuts the surface. The pattern forming means irradiates the laser beam output from the laser irradiation means to a part of the surface of the resin layer while rotating the plate around the shaft center, and moves the laser irradiation means in the axial center direction, thereby providing an uneven pattern on the surface of the resin layer. Form.

제7의 국면은, 상기 제6의 국면에 있어서, 패턴 형성 수단은 흡인 수단을 포 함한다. 흡인 수단은 레이저 조사 수단이 발생시킨 애블레이션(ablation)에 의해 수지층의 표면이 기화한 기체를 흡인한다. In a seventh aspect, in the sixth aspect, the pattern forming means includes a suction means. The suction means sucks gas vaporized from the surface of the resin layer by ablation generated by the laser irradiation means.

제8의 국면은, 상기 제1의 국면에 있어서, 수지 공급 수단, 절삭 수단, 및 상기 패턴 형성 수단은, 각각 도포 장치에 대해서 착탈 가능하게 구성된다. 8th aspect is a 1st aspect, WHEREIN: A resin supply means, a cutting means, and the said pattern formation means are each comprised so that attachment or detachment is possible with respect to a coating apparatus.

제9의 국면은, 상기 제1의 국면에 있어서, 수지 공급 수단은, 당해 수지 공급 수단 전체를 판동에 대해서 접리(接離)시키는 제1 접리 수단을 포함한다. 절삭 수단은, 당해 절삭 수단 전체를 판동에 대해서 접리시키는 제2 접리 수단을 포함한다. 패턴 형성 수단은, 당해 패턴 형성 수단 전체를 판동에 대해서 접리시키는 제3 접리 수단을 포함한다. 도포액 공급 수단은, 당해 도포액 공급 수단 전체를 판동에 대해서 접리시키는 제4 접리 수단을 포함한다. In a ninth aspect, in the first aspect, the resin supply means includes first folding means for sliding the entire resin supply means with respect to the plate plate. The cutting means includes second folding means for folding the entire cutting means with respect to the plate. The pattern forming means includes third folding means for folding the entire pattern forming means with respect to the plate. The coating liquid supplying means includes a fourth folding means for folding the entire coating liquid supplying means with respect to the plate copper.

제10의 국면은, 상기 제1 또는 제2의 국면에 있어서, 수지 공급 수단은, 상기 판동의 원주 측면에 발액성을 가지는 수지를 공급하여 상기 수지층을 형성한 후, 당해 수지층의 표면에 친액화 처리를 행한다. In the tenth aspect, in the first or second aspect, the resin supply means supplies a resin having liquid repellency to the circumferential side of the plate copper to form the resin layer, and then to the surface of the resin layer. A lyophilization process is performed.

제11의 국면은, 상기 제1 또는 제2의 국면에 있어서, 수지 공급 수단은, 판동의 원주 측면에 발액성을 가지는 수지를 공급하여 상기 수지층의 하층부를 형성한 후, 당해 하층부의 표층으로서 친액성을 가지는 수지를 공급하여 수지층의 표층부를 형성한다. In the eleventh aspect, in the first or second aspect, the resin supply means supplies a resin having liquid repellency to the circumferential side surface of the plate copper to form a lower layer portion of the resin layer, and then serves as a surface layer of the lower layer portion. The resin having lyophilic is supplied to form the surface layer portion of the resin layer.

제12의 국면은, 상기 제1 또는 제2의 국면에 있어서, 상대적으로 폭이 넓은 볼록부 상에 상대적으로 폭이 좁은 볼록부가 포개진 계단식 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 수지층의 표면에 형성한다. In a twelfth aspect, in the first or second aspect, a concave-convex pattern including a stepped convex portion having a relatively narrow convex portion overlapped on a relatively wide convex portion is formed on the surface of the resin layer. .

제13의 국면은, 기판 상에 도포액을 인쇄 도포하기 위한 인쇄판을 형성하는 인쇄판 제조 장치이다. 인쇄판 제조 장치는, 판동, 수지 공급 수단, 연삭 수단, 및 패턴 형성 수단을 구비한다. 판동은, 원통 형상의 원주 측면을 가지며, 당해 원주 측면의 중심이 되는 축심을 중심으로 회전한다. 수지 공급 수단은, 판동의 원주 측면에 수지를 공급하여, 당해 원주 측면 상에 수지층을 형성한다. 연삭 수단은, 수지층의 표면을 축심을 기준으로 연삭한다. 패턴 형성 수단은, 연삭 수단이 연삭한 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성한다. A thirteenth aspect is a printing plate manufacturing apparatus for forming a printing plate for printing and coating a coating liquid on a substrate. The printing plate manufacturing apparatus is equipped with a plate copper, a resin supply means, a grinding means, and a pattern formation means. The plate cylinder has a cylindrical circumferential side surface and rotates about an axis center serving as the center of the circumferential side surface. The resin supply means supplies resin to the circumferential side of the plate copper to form a resin layer on the circumferential side. Grinding means grinds the surface of a resin layer with respect to an axial center. The pattern forming means forms an uneven pattern on the surface of the resin layer ground by the grinding means.

제14의 국면은, 기판 상에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 방법이다. 도포 방법은, 수지층을 형성하는 공정, 연삭하는 공정, 요철 패턴을 형성하는 공정, 도포액을 공급하는 공정, 및 전사하는 공정을 포함한다. 수지층을 형성하는 공정은, 축심을 중심으로 회전하는 판동이 가지는 원통 형상의 원주 측면에 수지를 공급하여, 당해 원주 측면 상에 수지층을 형성한다. 연삭하는 공정은, 수지층의 표면을, 축심을 기준으로 연삭한다. 요철 패턴을 형성하는 공정은, 연삭한 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성한다. 도포액을 공급하는 공정은, 요철 패턴이 형성된 수지층의 표면에 도포액을 공급한다. 전사하는 공정은, 기판의 한쪽의 면과 요철 패턴이 형성된 수지층의 표면을 근접시키거나, 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태로, 축심을 중심으로 판동을 회전시키면서 기판과 판동을 상대 이동시켜 기판의 한쪽의 면에 도포액을 전사한다.A 14th aspect is an application | coating method which print-coats a coating liquid on a board | substrate. The coating method includes a step of forming a resin layer, a step of grinding, a step of forming an uneven pattern, a step of supplying a coating liquid, and a step of transferring. In the step of forming the resin layer, the resin is supplied to the cylindrical circumferential side surface of the plate cylinder rotating around the shaft center to form a resin layer on the circumferential side surface. In the step of grinding, the surface of the resin layer is ground based on the shaft center. In the step of forming the uneven pattern, the uneven pattern is formed on the surface of the ground resin layer. The process of supplying a coating liquid supplies a coating liquid to the surface of the resin layer in which the uneven | corrugated pattern was formed. In the transferring step, the substrate and the plate are moved relative to each other while rotating the plate around the shaft center in a state in which one surface of the substrate and the surface of the resin layer on which the uneven pattern is formed are brought into close contact or are in contact with each other. The coating liquid is transferred to one surface.

상기 제1의 국면에 의하면, 판동의 원주 측면 상에 인쇄판이 직접 형성되기 때문에, 완성한 인쇄판을 판동에 감아 설치할 때의 인쇄판의 변형 등을 고려할 필요가 없고, 고정밀의 인쇄판을 판동 상에 형성할 수 있다. 또, 판동의 원주 측면 상에 인쇄판을 형성할 때, 판동에 대해 직접 수지를 도포하고, 그 후에 연삭 및 패터닝(제판)이 행해진다. 즉, 강체로 구성되는 판동의 원주 측면 상에 직접 형성된 수지층에 대한 가공이 되기 때문에, 수지층 표면을 가공할 때에 수지의 탄성에 의한 형상 변형을 최소한으로 억제할 수 있고, 그 표면 형상이 매우 고정밀인 진원도가 된다.According to the first aspect, since the printing plate is directly formed on the circumferential side of the plate, it is not necessary to consider the deformation of the printing plate when the finished plate is wound around the plate and installed, and a high precision plate can be formed on the plate. have. Moreover, when forming a printing plate on the circumferential side surface of a copper plate, resin is apply | coated directly to a copper plate, and grinding and patterning (plate making) are performed after that. That is, since processing is performed on the resin layer formed directly on the circumferential side surface of the plate-like steel body, when the surface of the resin layer is processed, the shape deformation due to the elasticity of the resin can be minimized, and the surface shape thereof is extremely High precision roundness.

상기 제2~제4의 국면에 의하면, 판동의 원주 측면 상에 직접 도포된 수지를 신속하게 완전 경화시킬 수 있고, 인쇄판을 형성하는 시간 단축과 더불어 가공 정밀도의 향상을 기대할 수 있다.According to the second to fourth aspects, the resin directly applied on the circumferential side of the plate can be completely cured quickly, and the improvement of processing accuracy can be expected while reducing the time for forming the printing plate.

상기 제5의 국면에 의하면, 도포 장치 내에 절삭 찌꺼기가 잔존하는 것을 방지할 수 있고, 도포액을 도포할 때의 품질 향상으로 연결된다.According to the fifth aspect, the cutting residues can be prevented from remaining in the coating device, leading to the improvement in quality when the coating liquid is applied.

상기 제6의 국면에 의하면, 수지층의 표면에 엣지 각도가 급준한 홈을 형성할 수 있고, 고애스팩트비를 가지는 요철 패턴의 형성이 가능해진다.According to the sixth aspect, it is possible to form grooves with a sharp edge angle on the surface of the resin layer, and to form an uneven pattern having a high aspect ratio.

상기 제7의 국면에 의하면, 예를 들면 애블레이션에 의해 수지층 표면이 증발/침식하여 기화한 기체가 도포 장치 내에 잔존하는 것을 방지할 수 있고, 도포액을 도포할 때의 품질 향상으로 연결된다.According to the seventh aspect, for example, the surface of the resin layer is evaporated / eroded by ablation, and the vaporized gas can be prevented from remaining in the coating apparatus, leading to quality improvement when applying the coating liquid. .

상기 제8의 국면에 의하면, 기판에 도포액을 도포할 때는, 수지 공급 수단, 절삭 수단, 및 패턴 형성 수단에 관련하는 장치를 떼어낼 수 있으므로, 도포 작업 중의 작업 스페이스를 넓게 확보할 수 있다.According to the eighth aspect, when the coating liquid is applied to the substrate, the apparatuses related to the resin supply means, the cutting means, and the pattern forming means can be detached, thereby ensuring a wide working space during the coating operation.

상기 제9의 국면에 의하면, 수지층을 형성할 때, 연삭할 때, 요철 패턴을 형성할 때, 도포액을 공급할 때에, 각각 불필요해지는 장치를 판동으로부터 이간할 수 있으므로, 각 공정에 있어서 불필요한 장치가 수지층에게 주는 영향을 배제할 수 있다.According to the ninth aspect, since unnecessary devices can be separated from the plate copper when the resin layer is formed, when grinding, when the uneven pattern is formed, and when the coating liquid is supplied, the unnecessary devices in each step are unnecessary. Can influence the resin layer.

상기 제10 및 제11의 국면에 의하면, 인쇄판의 표면 부분 및 홈 부분에 있어서 발액성/친액성의 차이가 생기기 때문에, 인쇄판의 표면과 도포액의 접촉각을 제어할 수 있다. According to the tenth and eleventh aspects, since the liquid repellency / liquidity difference occurs in the surface portion and the groove portion of the printing plate, the contact angle between the surface of the printing plate and the coating liquid can be controlled.

상기 제12의 국면에 의하면, 인쇄판에 미세한 볼록부를 형성한 경우, 당해 볼록부에 더하는 응력 등에 의해 당해 볼록부가 쓰러지는 현상이 생기지만, 계단식 볼록부로 함으로써, 하단부의 강성이 강화되기 때문에 볼록부의 쓰러짐 현상을 방지할 수 있고, 또한 고정밀한 인쇄판의 형성이 가능해진다.According to the twelfth aspect, in the case where a fine convex portion is formed on the printing plate, a phenomenon occurs in which the convex portion collapses due to stress, etc. added to the convex portion. Can be prevented and a high precision printing plate can be formed.

본 발명의 인쇄판 제조 장치 및 도포 방법에 의하면, 상술한 도포 장치와 같은 효과를 얻을 수 있다. According to the printing plate manufacturing apparatus and application | coating method of this invention, the same effect as the above-mentioned coating apparatus can be acquired.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 국면, 효과는, 첨부 도면과 조합하여, 이하의 상세한 설명에서 한층 분명해질 것이다. These and other objects, features, aspects, and effects of the present invention will become more apparent from the following detailed description when combined with the accompanying drawings.

이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일실시 형태에 관련되는 도포 장치(1)에 대해 설명한다. 설명을 구체적으로 하기 위해서, 도포 장치(1)가 유기 EL 재료를 용해한 용액을 도포액으로서 이용하는 유기 EL 디바이스를 제조하는 도포 장치에 적용된 예를 이용하여, 이하의 설명을 행한다. 또한, 본 명세서에 있어서의 유기 EL 재료는, 유기 EL 디바이스에 있어서의 유기층(정공 주입층, 정공 수송층, 적색 발광, 녹색 발광, 청색 발광의 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 등 중에서 유기물을 포함하는 층)을 형성하는 재료이며, 예를 들면, 유기층을 형성하는 재료 중에서 용매에 가용인 재료이다. 도포 장치(1)는, 예를 들면 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을, 스테이지 상에 얹어 놓여진 피도포체(예를 들면, 유리 기판) 상에 소정의 패턴 형상으로 인쇄 도포함으로써 유기층을 형성하여 유기 EL 디바이스를 제조하는 것이다. 또, 도포 장치(1)는, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 복수 종류 이용하는 것도 가능하지만, 그것들의 대표로서 발광층을 형성하는 유기 EL 재료를 용해한 용액을 도포액으로서 이용하는 예로서 설명한다. 또한, 도 1은, 도포 장치(1)의 요부 개략 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 1에 나타낸 도포 장치(1)는, 인쇄판(12)을 형성하기 위한 각종 기구가 짜넣어져 있다. 또, 이하의 설명에 있어서는, 유기 EL 재료를 용해한 용액을, 간단히 유기 EL 재료라고 기재하는 경우가 있다.Hereinafter, with reference to FIG. 1, the coating device 1 which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated. In order to make description concretely, the following description is given using the example applied to the coating apparatus which manufactures the organic electroluminescent device which uses the solution which melt | dissolved the organic EL material as a coating liquid. In addition, the organic EL material in this specification contains an organic substance in the organic layer (hole injection layer, hole transport layer, red light emission, green light emission, blue light emission layer, electron transport layer, electron injection layer, etc.) in an organic EL device. Layer), and is, for example, a material soluble in a solvent among the materials for forming an organic layer. The coating device 1 forms, for example, an organic layer by printing and applying a coating liquid containing an organic EL material in a predetermined pattern onto a to-be-coated body (for example, a glass substrate) placed on a stage. It is to manufacture an organic EL device. In addition, although the coating apparatus 1 can also use two or more types of coating liquid containing an organic EL material, it demonstrates as an example which uses the solution which melt | dissolved the organic EL material which forms a light emitting layer as those representatives as a coating liquid. 1 is a perspective view which shows schematic structure of the principal part of the coating device 1. As shown in FIG. In addition, in the coating device 1 shown in FIG. 1, various mechanisms for forming the printing plate 12 are incorporated. In addition, in the following description, the solution which melt | dissolved organic electroluminescent material may be described simply as an organic electroluminescent material.

도 1에 있어서, 도포 장치(1)는, 대략적으로, 인쇄판(12)이 원주 표면 상에 형성된 판동(11), 도포액 공급부(20), 수지 도포부(30), 연삭 묘화부(40), 기판 반송 기구(50), 및 승강 기구(60)를 구비하고 있다. 도 1에서는, 도포액 공급부(20)의 구성의 일부로서, 슬릿 노즐(22), 제1 모터(28), 및 제2 모터(29)가 도시되어 있다. 수지 도포부(30)의 구성의 일부로서 제3 모터(31) 및 제4 모터(32)가 도시되어 있다. 연삭 묘화부(40)의 구성의 일부로서 제5 모터(41) 및 제6 모터(42)가 도시되어 있다. 기판 반송 기구(50)는, 기대(51), 한 쌍의 반송 가이드 부재(52), 반송 구동부(53), 및 반송 테이블(54)을 구비하고 있다. 그리고, 승강 기구(60)는, 승강 테이블(61), 한 쌍의 승강 가이드 부재(62), 승강 구동부(63), 및 지지 측판(64)을 구비하고 있다.In FIG. 1, the coating device 1 is roughly characterized by a plate copper 11 having a printing plate 12 formed on a circumferential surface thereof, a coating liquid supply part 20, a resin coating part 30, and a grinding drawing part 40. , The substrate transfer mechanism 50, and the lifting mechanism 60 are provided. In FIG. 1, the slit nozzle 22, the 1st motor 28, and the 2nd motor 29 are shown as a part of the structure of the coating liquid supply part 20. As shown in FIG. The third motor 31 and the fourth motor 32 are shown as part of the configuration of the resin application part 30. The fifth motor 41 and the sixth motor 42 are shown as part of the configuration of the grinding drawing unit 40. The board | substrate conveyance mechanism 50 is equipped with the base 51, the pair of conveyance guide members 52, the conveyance drive part 53, and the conveyance table 54. As shown in FIG. And the lifting mechanism 60 is equipped with the lifting table 61, a pair of lifting guide members 62, the lifting drive part 63, and the support side plate 64. As shown in FIG.

한 쌍의 반송 가이드 부재(52)는, 판동(11)의 축심에 대해서 수직인 수평 방향으로 연장 설치되어 기대(51)의 상면에 고정된다. 반송 구동부(53)는, 한 쌍의 반송 가이드 부재(52)의 연장 설치 방향을 구동 방향으로 하는, 예를 들면 리니어 모터로 구성된다. 반송 테이블(54)은, 그 상면에 피도포체의 일례인 기판(P)을 얹어 놓는다. 그리고, 반송 테이블(54)은, 한 쌍의 반송 가이드 부재(52) 및 반송 구동부(53)와 연결되어 있고, 반송 구동부(53)의 구동력을 받아, 판동(11)의 축심과 수직인 수평 방향으로, 기판(P)을 얹어 놓고 왕복 이동한다.The pair of conveyance guide members 52 extend in the horizontal direction perpendicular to the axis of the plate cylinder 11 and are fixed to the upper surface of the base 51. The conveyance drive part 53 is comprised, for example with a linear motor which makes the extension installation direction of a pair of conveyance guide member 52 a drive direction. The conveyance table 54 places the board | substrate P which is an example of a to-be-coated object on the upper surface. And the conveyance table 54 is connected with the pair of conveyance guide member 52 and the conveyance drive part 53, receives the driving force of the conveyance drive part 53, and is a horizontal direction perpendicular | vertical to the axis center of the plate | board 11 Thus, the substrate P is placed and reciprocated.

지지 측판(64)은, 승강 테이블(61)에 대해서 좌우 한 쌍으로 구성되고, 각각 승강 테이블(61)에 고정 설치된다. 한편, 기대(51)에는, 각각 한 쌍의 승강 가이드 부재(62)가 연직 방향으로 연장 설치된다. 승강 구동부(63)는, 승강 가이드 부재(62)의 연장 설치 방향을 구동 방향으로 하고, 예를 들면 당해 연장 설치 방향으로 설치된 볼나사와 당해 볼나사를 회전시키는 모터에 의해 구성된다. 승강 테이블(61)에는, 판동(11), 도포액 공급부(20), 수지 도포부(30), 및 연삭 묘화부(40)가 탑재된다. 그리고, 승강 테이블(61)에 고정 설치된 지지 측판(64)은, 이것들의 승강 가이드 부재(62)와 승강 구동부(63)와 연결되고, 승강 구동부(63)로부터의 구동력을 받아 승강 가이드 부재(62)에 따라 승강 가능해진다. 따라서, 판동(11), 도포액 공급부(20), 수지 도포부(30), 및 연삭 묘화부(40)는, 승강 구동부(63)의 구동력을 받아 승강 테이블(61)과 더불어 승강 가능해진다. 또, 제1 모터(28) 및 제2 모터(29)는, 그들의 구동에 따라, 슬릿 노즐(22)을 승강시킨다. 또, 제3 모터(31) 및 제4 모터(32)는, 그들의 구동에 따라, 수지 도포부(30) 전체를 승강시킨다. 제5 모터(41) 및 제6 모터(42)는, 그들의 구동에 따라, 연삭 묘화부(40) 전체를 전후(예를 들면, 반송 가이드 부재(52)의 연장 설치 방향)로 이동시킨다.The support side plate 64 is comprised by a pair of left and right with respect to the lifting table 61, and is fixedly attached to the lifting table 61, respectively. On the other hand, the base 51 is provided with a pair of lifting guide members 62 extending in the vertical direction, respectively. The lifting lowering drive unit 63 is constituted by a ball screw provided in the extension mounting direction and a motor for rotating the ball screw, for example, with the extension installation direction of the lifting guide member 62 as the driving direction. The plate 11, the coating liquid supply part 20, the resin application part 30, and the grinding drawing part 40 are mounted in the lifting table 61. As shown in FIG. And the support side plate 64 fixedly attached to the elevating table 61 is connected with these elevating guide members 62 and the elevating drive part 63, and receives the driving force from the elevating drive part 63, and the elevating guide member 62 is carried out. It is possible to get on and off according to). Therefore, the plate | board 11, the coating liquid supply part 20, the resin coating part 30, and the grinding drawing part 40 receive a drive force of the lifting drive part 63, and can be raised and lowered with the lifting table 61. FIG. Moreover, the 1st motor 28 and the 2nd motor 29 raise and lower the slit nozzle 22 according to these drive. Moreover, the 3rd motor 31 and the 4th motor 32 raise and lower the whole resin coating part 30 according to these drive. The 5th motor 41 and the 6th motor 42 move the whole grinding drawing part 40 back and forth (for example, the extension installation direction of the conveyance guide member 52) according to these drive.

다음에, 도 2를 참조하여, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)의 기본적인 구성에 대해서 설명한다. 또한, 도 2는, 도포 장치(1)의 요부를 나타내는 개요도이다.Next, with reference to FIG. 2, the basic structure of the plate | board 11 and the coating liquid supply part 20 is demonstrated. 2 is a schematic diagram which shows the principal part of the coating device 1.

도 2에 있어서, 판동(11)의 원주 외면에는 인쇄판(12)이 원주 표면 상에 형성되어 고정되고, 그 축심이 수평 방향으로 배치된다. 인쇄판(12)의 표면에는, 기판(P)에 전사하는 도포액의 패턴이 볼록 형상으로 형성되어 있다.In FIG. 2, the printing plate 12 is formed and fixed on the circumferential surface of the circumferential outer surface of the plate cylinder 11, and the axial center is arrange | positioned in the horizontal direction. On the surface of the printing plate 12, the pattern of the coating liquid transferred to the board | substrate P is formed in convex shape.

판동(11)은, 인쇄판(12)이 원주 측면에 형성된 상태로 축심을 중심으로 도시 화살표 A방향으로 회전 가능하게 설치되고, 도시를 생략하는 회전 구동 기구로부터의 구동력을 받아 소정의 회전 속도로 회전한다. 판동(11)의 하방 공간에는 반송 테이블(54)이 설치된다. 상술한 바와 같이, 반송 테이블(54)의 상면에는 기판(P)이 얹어 놓여져 수평 이동 가능하게 구성되어 있고, 반송 구동부(53)로부터의 구동력을 받아 소정의 이동 속도로 수평 이동한다. 그리고, 반송 테이블(54)은, 도시 화살표 B방향으로 수평 이동함으로써 판동(11)의 하부 공간을 통과한다. 이 때, 미리 반송 테이블(54)에 얹어 놓여진 기판(P)과 판동(11)에 고정된 인쇄판(12)의 사이에 생기는 간극 또는 기판(P)에 대한 압입량이 소정의 범위 내가 되도록, 승강 테이블(61)(도 1 참조)의 위치가 조정된다.The plate 11 is rotatably installed in the direction of the arrow A centered on the shaft center in a state where the printing plate 12 is formed on the circumferential side, and is rotated at a predetermined rotational speed by receiving a driving force from a rotation driving mechanism (not shown). do. The conveyance table 54 is provided in the space below the plate cylinder 11. As mentioned above, the board | substrate P is mounted on the upper surface of the conveyance table 54, and it is comprised so that horizontal movement is possible, and it receives a drive force from the conveyance drive part 53, and moves horizontally at a predetermined movement speed. And the conveyance table 54 passes through the lower space of the plate | board 11 by horizontally moving to the arrow B direction shown. At this time, the elevating table so that the gap between the substrate P placed on the conveying table 54 and the printing plate 12 fixed to the plate 11 or the press-fitting amount to the substrate P is within a predetermined range. The position of 61 (refer FIG. 1) is adjusted.

또한, 상기 간극 또는 압입량은, 예를 들면 반송 테이블(54)에 설치된 레이저 변위계(55)(도 8 참조)로부터 얻어지는 데이터에 기초하여 행해진다. 레이저 변위계(55)는, 기판(P)을 얹어 놓는 반송 테이블(54)의 상면으로부터 인쇄판(12)의 표면까지의 높이를 계측하여, 도포 장치(1)의 제어부(도시 생략)에 당해 높이를 나타내는 데이터를 출력한다. 그리고, 상기 제어부는, 레이저 변위계(55)로부터 출력된 데이터를 이용하여, 상기 간극 또는 압입량이 소정의 길이가 되도록 승강 테이블(61)의 위치를 조정한다.In addition, the said clearance gap or indentation amount is performed based on the data obtained from the laser displacement meter 55 (refer FIG. 8) installed in the conveyance table 54, for example. The laser displacement meter 55 measures the height from the upper surface of the transfer table 54 on which the substrate P is placed to the surface of the printing plate 12, and adjusts the height to a control unit (not shown) of the coating device 1. Output the data indicated. And the said control part uses the data output from the laser displacement meter 55, and adjusts the position of the lifting table 61 so that the said gap or indentation amount may become a predetermined length.

도포 장치(1)의 제어부는, 반송 구동부(53)를 제어함에 따라 기판(P)을 얹어 놓은 반송 테이블(54)을 도시 화살표 B방향으로 수평 이동시켜 판동(11)의 하부 공간을 통과시킬 때, 상기 회전 구동 기구를 제어함으로써 반송 테이블(54)의 수평 이동 속도에 따라서 서로 속도 차가 생기지 않도록 도시 화살표 A방향으로 판동(11)을 회전시킨다. 이로 인해, 반송 테이블(54)에 얹어 놓여진 기판(P)과 인쇄판(12)이 소정의 간극 또는 압입량을 유지하여 대향하면서, 인쇄판(12)에 공급된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 기판(P)에 전사되어 간다.When the control part of the coating device 1 controls the conveyance drive part 53, when the conveyance table 54 which mounted the board | substrate P is horizontally moved to the arrow B direction shown in the figure, and passes the lower space of the plate | board 11, By controlling the rotation drive mechanism, the plate 11 is rotated in the direction indicated by the arrow A so that a speed difference does not occur in accordance with the horizontal movement speed of the conveyance table 54. For this reason, the coating liquid containing the organic electroluminescent material supplied to the printing plate 12 is a board | substrate, while the board | substrate P put on the conveyance table 54 and the printing plate 12 oppose each other, maintaining a predetermined | prescribed clearance gap or indentation amount. Transferred to (P).

도포액 공급부(20)는, 도 1에서 도시된 구성 외에, 도포액 공급 롤러(21), 세정 기구(23), 및 공급원(24)을 구비하고 있다. 도포액 공급 롤러(21)는, 그 축심이 판동(11)의 축심과 평행하게 배치된다. 예를 들면, 도포액 공급 롤러(21)는, 그 원주 측면이 평활한 평롤러로 구성된다. 그리고, 도포액 공급 롤러(21)는, 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 인쇄판(12)에 맞닿게 하면서 서로 반대 방향(도시 화살표 C방향)으로 회전함으로써, 인쇄판(12)의 표면에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 공급한다.The coating liquid supply part 20 is equipped with the coating liquid supply roller 21, the washing | cleaning mechanism 23, and the supply source 24 in addition to the structure shown in FIG. The coating liquid supply roller 21 has the shaft center parallel to the shaft center of the plate cylinder 11. For example, the coating liquid supplying roller 21 is comprised with the flat roller whose circumferential side surface is smooth. Then, the coating liquid supplying roller 21 rotates in the opposite direction (shown in the arrow C direction) while contacting the printing plate 12 formed on the circumferential side surface of the plate 11, thereby inducing organic matter on the surface of the printing plate 12. A coating liquid containing an EL material is supplied.

공급원(24)은, 기판(P)에 인쇄 도포하는 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 저류하여, 소정량의 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 슬릿 노즐(22)에 공급한다. 슬릿 노즐(22)은, 도포액 공급 롤러(21)의 축심 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(22)은, 공급원(24)으로부터 공급되는 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을, 슬릿으로부터 도포액 공급 롤러(21)의 원주 측면 상에 소정의 유량으로 토출하여, 당해 원주 측면 상에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 박막을 형성한다. 또한, 슬릿 노즐(22)의 슬릿으로부터 도포액 공급 롤러(21)의 원주 측면까지는 소정의 거리만큼 이간하고 있고, 그 거리가 제1 모터(28) 및 제2 모터(29)를 각각 구동함으로써 조정된다. 그리고, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 원주 측면은, 세정 기구(23)에 의해 세정된다. 또한, 세정 기구(23)의 구조예에 대해서는 후술한다. 또, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 기판(P)에 전사한 후의 인쇄판(12)의 표면도, 세정 기구(도시 생략)에 의해 세정해도 상관없다.The supply source 24 stores the coating liquid containing the organic EL material printed and coated on the substrate P, and supplies the coating liquid containing the predetermined amount of the organic EL material to the slit nozzle 22. The slit nozzle 22 has the slit which makes the axial direction of the coating liquid supply roller 21 the longitudinal direction. And the slit nozzle 22 discharges the coating liquid containing the organic EL material supplied from the supply source 24 from a slit at the predetermined flow volume on the circumferential side of the coating liquid supply roller 21, and the said circumferential side A thin film of a coating liquid containing an organic EL material is formed on the surface. The slit of the slit nozzle 22 is spaced apart by a predetermined distance from the slit to the circumferential side of the coating liquid supply roller 21, and the distance is adjusted by driving the first motor 28 and the second motor 29, respectively. do. And the circumferential side surface of the coating liquid supply roller 21 after supplying the coating liquid containing organic electroluminescent material to the surface of the printing plate 12 is wash | cleaned by the washing | cleaning mechanism 23. As shown in FIG. In addition, the structural example of the washing | cleaning mechanism 23 is mentioned later. Moreover, you may wash | clean the surface of the printing plate 12 after transferring the coating liquid containing organic electroluminescent material to the board | substrate P with a washing | cleaning mechanism (not shown).

이와 같이, 도포 장치(1)에 있어서는, 슬릿 노즐(22)로부터 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 공급되고, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 박막이 형성된다. 그리고, 이 유기 EL 재료를 포함하는 도포액은, 인쇄판(12)에 형성된 볼록 형상의 패턴에 전사되고, 인쇄판(12) 상에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 박막 패턴이 형성된다. 이 인쇄판(12) 상에 형성된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 박막 패턴이, 기 판(P) 상에 인쇄 도포된다. 예를 들면, 인쇄판(12)에 미세한 스트라이프 형상의 볼록 형상 패턴을 형성함으로써, 기판(P) 상에 있어서 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 미세한 스트라이프 형상으로 나누어 바를 수 있다. In this manner, in the coating device 1, a coating liquid containing an organic EL material is supplied from the slit nozzle 22 to the surface of the coating liquid supply roller 21, and the organic solvent is supplied to the surface of the coating liquid supply roller 21. A thin film of a coating liquid containing an EL material is formed. The coating liquid containing the organic EL material is transferred to the convex pattern formed on the printing plate 12, and a thin film pattern of the coating liquid containing the organic EL material is formed on the printing plate 12. The thin film pattern of the coating liquid containing the organic EL material formed on the printing plate 12 is printed and coated on the substrate P. FIG. For example, by forming a fine stripe convex pattern on the printing plate 12, the coating liquid containing an organic EL material on the substrate P can be divided into fine stripe shapes.

또한, 도포액 공급 롤러(21)는, 좌우 한 쌍의 롤러 지지부에 의해 축지지되어 있고, 다른 도포액 공급부(20)(슬릿 노즐(22), 세정 기구(23), 및 공급원(24))도 롤러지지부에 의해 지지되어 있다. 또, 판동(11)도, 좌우 한 쌍의 판동 지지부에 의해 축지지되어 있다. 그리고, 롤러 지지부가 판동 지지부에 대해서 접리 가능한 구성으로 됨으로써, 도포액 공급부(20) 전체가 판동(11)에 대해서 접리 가능한 구성으로 되어 있다. 예를 들면, 도포액 공급부(20) 전체는, 승강 테이블(61)(도 1 참조)을 기준으로 하여 수평 이동 가능하게 구성되지만, 기대(51)를 기준으로 하여 수평 이동 가능하게 구성되어도 상관없다.In addition, the coating liquid supplying roller 21 is axially supported by a pair of left and right roller supporting portions, and the other coating liquid supplying portion 20 (slit nozzle 22, cleaning mechanism 23, and supply source 24). It is also supported by the roller support part. In addition, the plate 11 is also axially supported by a pair of left and right plate plate support parts. And since the roller support part becomes a structure which can be folded with respect to a plate | board support, the whole coating liquid supply part 20 becomes a structure which can be folded with respect to the plate | board 11. For example, although the whole coating liquid supply part 20 is comprised so that horizontal movement is possible with respect to the elevation table 61 (refer FIG. 1), you may be comprised so that horizontal movement may be possible with respect to the base 51. As shown in FIG. .

다음에, 도 3을 참조하여, 세정 기구(23)의 구성예에 대해 설명한다. 또한, 도 3은, 세정 기구(23)의 일례를 나타내는 개요도이다.Next, with reference to FIG. 3, the structural example of the washing | cleaning mechanism 23 is demonstrated. 3 is a schematic diagram which shows an example of the washing | cleaning mechanism 23. FIG.

도 3에 있어서, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 잔존한 경우, 또한 그 위로부터 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 슬릿 노즐(22)로부터 공급된다. 이 경우, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 있어서의 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 막두께가 증가하여 불균일해지고, 결과적으로 균일성이 뒤떨어지는 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 기판(P)에 인쇄 도포되어 버린다. 이러한 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 불균일을 방지하기 위해서, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤 러(21)의 표면은, 세정 기구(23)에 의해 세정된다. 세정 기구(23)는, 세정액 용기(231), 제1 블레이드(232), 제2 블레이드(233), 및 회수 관로(234)를 구비하고 있다. In FIG. 3, when the coating liquid containing an organic EL material remains on the surface of the coating liquid supply roller 21, the coating liquid containing an organic EL material is further supplied from the slit nozzle 22 from above. In this case, the film thickness of the coating liquid containing the organic EL material on the surface of the coating liquid supplying roller 21 increases and becomes uneven, and as a result, the coating liquid containing the organic EL material which is inferior in uniformity to the substrate ( It is printed and coated on P). In order to prevent the nonuniformity of the coating liquid containing such an organic EL material, the surface of the coating liquid supply roller 21 after supplying the coating liquid containing the organic EL material to the surface of the printing plate 12 is a cleaning mechanism ( 23). The cleaning mechanism 23 includes a cleaning liquid container 231, a first blade 232, a second blade 233, and a recovery conduit 234.

제1 블레이드(232)는, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 주된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 떨어뜨린다. 그리고, 회수 관로(234)는, 제1 블레이드(232)에 의해 떨어진 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 회수한다. 또한, 제1 블레이드(232)에 의해 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 떨어뜨리기 전에, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 린스액(예를 들면, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 용매)을 공급해도 상관없다. 이 경우, 제1 블레이드(232)는, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 주된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 린스액과 더불어 떨어뜨리게 되고, 회수 관로(234)가 제1 블레이드(232)에 의해 떨어진 유기 EL 재료를 포함하는 도포액 및 린스액을 회수한다. 이와 같이 린스액을 공급함으로써, 잔존하는 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 고체화를 방지할 수 있다.The first blade 232 drops the coating liquid containing the main organic EL material remaining on the surface of the coating liquid supplying roller 21 after supplying the coating liquid containing the organic EL material to the surface of the printing plate 12. Drop. Then, the recovery conduit 234 recovers the coating liquid containing the organic EL material separated by the first blade 232. Further, before the coating liquid containing the organic EL material is dropped by the first blade 232, the coating liquid supplying roller 21 after the coating liquid containing the organic EL material is supplied to the surface of the printing plate 12. You may supply a rinse liquid (for example, the solvent of the coating liquid containing organic electroluminescent material) to the surface. In this case, the first blade 232 drops the coating liquid containing the main organic EL material remaining on the surface of the coating liquid supply roller 21 together with the rinse liquid, and the recovery conduit 234 becomes the first blade. The coating liquid and the rinse liquid containing the organic EL material separated by 232 are recovered. By supplying the rinse liquid in this way, the solidification of the coating liquid containing the remaining organic EL material can be prevented.

세정액 용기(231)는, 상면이 개방된 용기이며, 그 내부에 세정액 CF(예를 들면, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액의 용매)를 저류한다. 그리고, 세정액 용기(231)는, 제1 블레이드(232)에 의해 주된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 떨어진 후가 되는 도포액 공급 롤러(21)의 표면의 일부(구체적으로는, 최하부 표면)를, 세정액CF 내에 침지시킨다. 그리고, 제2 블레이드(233)는, 세정액 CF에 침지 된 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 세정액 C를 떨어뜨린다.The cleaning liquid container 231 is a container in which an upper surface is opened, and stores the cleaning liquid CF (for example, a solvent of a coating liquid containing an organic EL material) therein. And the cleaning liquid container 231 is a part of the surface of the coating liquid supply roller 21 (specifically, the lowest surface) after which the coating liquid containing the main organic EL material fell by the 1st blade 232. Is immersed in the cleaning liquid CF. Then, the second blade 233 drops the cleaning liquid C remaining on the surface of the coating liquid supplying roller 21 after being immersed in the cleaning liquid CF.

다음에, 도 4 및 도 5를 참조하여, 수지 도포부(30) 및 연삭 묘화부(40)의 기본적인 구성에 대해서 설명한다. 또한, 도 4는, 판동(11), 도포액 공급부(20), 수지 도포부(30), 및 연삭 묘화부(40)의 요부의 일례를 나타내는 개요도이다. 도 5는, 수지 도포부(30)의 슬릿 노즐(33)과, 연삭 묘화부(40)의 묘화 헤드(43) 및 연삭 헤드(44)의 구성의 일례를 나타내는 사시도이다.Next, with reference to FIG. 4 and FIG. 5, the basic structure of the resin coating part 30 and the grinding drawing part 40 is demonstrated. 4 is a schematic diagram which shows an example of the principal part of the plate | board 11, the coating liquid supply part 20, the resin coating part 30, and the grinding drawing part 40. As shown in FIG. FIG. 5: is a perspective view which shows an example of the structure of the slit nozzle 33 of the resin coating part 30, the drawing head 43 of the grinding drawing part 40, and the grinding head 44. As shown in FIG.

도 4에 있어서, 도포 장치(1)에는, 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)을 형성하기 위한 각종 기구(수지 도포부(30) 및 연삭 묘화부(40))가 짜넣어져 있다. 수지 도포부(30)는, 슬릿 노즐(33) 및 수지 경화부(34)를 구비하고 있다. 또, 연삭 묘화부(40)는, 묘화 헤드(43), 연삭 헤드(44), 흡인 기구(45), 및 베이스(46)(도 5)를 구비하고 있다. In FIG. 4, various mechanisms (resin coating part 30 and the grinding drawing part 40) for forming the printing plate 12 on the circumferential side of the plate 11 are incorporated in the coating device 1, have. The resin application part 30 is provided with the slit nozzle 33 and the resin hardening part 34. Moreover, the grinding drawing part 40 is provided with the drawing head 43, the grinding head 44, the suction mechanism 45, and the base 46 (FIG. 5).

수지 도포부(30)는, 인쇄판(12)의 원료가 되는 수지를 공급원에 저류하고, 소정량의 수지를 슬릿 노즐(33)에 공급한다. 여기서, 인쇄판(12)의 원료가 되는 수지는, 도포 장치(1)에서 이용하는 도포액에 대해서 충분한 내성을 가지는 것이 이용되고, 예를 들면 광(자외선) 경화성 수지가 이용된다. 또한, 인쇄판(12)의 원료가 되는 수지는, 열경화성 수지(예를 들면, 에폭시계 수지), 2액경화성 수지, 또는 자연경화성 수지 등이어도 상관없다.The resin application part 30 stores resin used as a raw material of the printing plate 12 in a supply source, and supplies a predetermined amount of resin to the slit nozzle 33. Here, as resin used as the raw material of the printing plate 12, what has sufficient tolerance with respect to the coating liquid used by the coating device 1 is used, for example, light (ultraviolet) curable resin is used. In addition, the resin used as the raw material of the printing plate 12 may be a thermosetting resin (for example, an epoxy resin), a two-liquid curing resin, a natural curing resin, or the like.

슬릿 노즐(33)은, 판동(11)의 축심 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(33)은, 판동(11)이 소정의 회전 속도로 회전하고 있는 상태로, 수지 도포부(30)의 공급원으로부터 공급되는 수지를 상기 슬릿으로부터 판동(11)의 원주 측면 상에 소정의 유량으로 토출하여, 당해 원주 측면 상에 상기 수지의 층을 형성한다. 그리고, 판동(11)의 원주 측면 상에 공급된 수지는, 수지 경화부(34)에 의해 경화된다. 예를 들면, 슬릿 노즐(33)로부터 광(자외선)경화성 수지가 공급되는 경우, 수지 경화부(34)는, 광(자외선)경화성 수지가 원주 측면 상에 공급된 판동(11)에 대해서 당해 수지가 경화하는 광(자외선)을 조사함으로써, 광(자외선)경화성 수지를 판동(11)의 원주 측면 상에서 경화시킨다. 또, 슬릿 노즐(33)로부터 열경화성 수지가 공급되는 경우, 수지 경화부(34)는, 열경화성 수지가 원주 측면 상에 공급된 판동(11)에 대해서 소정의 열량을 더함으로써, 열경화성 수지를 판동(11)의 원주 측면 상에서 경화시킨다. 또, 슬릿 노즐(33)로부터 2액경화성 수지가 공급되는 경우, 수지 경화부(34)는, 판동(11)의 원주 측면 상에 도포된 2액경화성 수지에 대해서 당해 수지를 경화시키기 위한 액체(경화제)를 공급함으로써, 2액경화성 수지를 판동(11)의 원주 측면 상에서 경화시킨다. 또한, 슬릿 노즐(33)로부터 자연경화성 수지가 공급되는 경우는 수지 경화부(34)가 불필요해지고, 자연경화성 수지가 경화할 때까지 판동(11)을 소정의 회전 속도로 회전시킴으로써, 원주 측면 상의 자연경화성 수지를 경화시키면 된다. The slit nozzle 33 has a slit which makes the axial center direction of the plate | board 11 the longitudinal direction. And the slit nozzle 33 is made from the said slit on the circumferential side of the plate 11 by resin supplied from the supply source of the resin application part 30 in the state in which the plate 11 is rotating at the predetermined rotational speed. It discharges at a predetermined | prescribed flow volume, and forms the said layer of resin on the said circumferential side surface. And the resin supplied on the circumferential side surface of the plate 11 is hardened by the resin hardening part 34. For example, when the light (ultraviolet) curable resin is supplied from the slit nozzle 33, the resin hardening part 34 has the said resin with respect to the plate | board 11 with which the light (ultraviolet) curable resin was supplied on the circumferential side surface. By irradiating the light (ultraviolet ray) to harden | cure, the light (ultraviolet ray) curable resin is hardened on the circumferential side surface of the plate | board 11. Moreover, when thermosetting resin is supplied from the slit nozzle 33, the resin hardening part 34 adds predetermined | prescribed heat quantity with respect to the plate 11 in which the thermosetting resin was supplied on the circumferential side surface, and thus, the thermosetting resin was plated ( Cure on the circumferential side of 11). In addition, when the two-liquid curable resin is supplied from the slit nozzle 33, the resin curing unit 34 is a liquid for curing the resin with respect to the two-liquid curable resin coated on the circumferential side of the plate 11. By supplying a curing agent), the two-liquid curable resin is cured on the circumferential side of the plate 11. In addition, when the natural curable resin is supplied from the slit nozzle 33, the resin hardened part 34 becomes unnecessary, and by rotating the plate 11 at a predetermined rotational speed until the natural curable resin hardens, What is necessary is just to harden a natural curable resin.

또한, 슬릿 노즐(33)의 슬릿으로부터 판동(11)의 원주 측면까지는 소정의 거리만큼 이간하고 있고, 그 거리가 제3 모터(31) 및 제4 모터(32)(도 1 참조)를 각각 구동함으로써 조정된다. 또, 제3 모터(31) 및 제4 모터(32)를 구동함으로써, 수지 도포부(30) 전체가 도시 E방향으로 판동(11)에 대해서 접리 가능한 구성으로 되어 있다. 예를 들면, 수지 도포부(30) 전체는, 승강 테이블(61)(도 1 참조)을 기준으로 하여 승강 가능하게 구성되지만, 기대(51)를 기준으로 하여 승강 가능하게 구성되어도 상관없다. The slit of the slit nozzle 33 is separated from the slit by the circumferential side of the plate 11 by a predetermined distance, and the distance drives the third motor 31 and the fourth motor 32 (see FIG. 1), respectively. By adjusting. Moreover, by driving the 3rd motor 31 and the 4th motor 32, the whole resin coating part 30 becomes the structure which can be folded with respect to the plate | board 11 in the E direction. For example, although the whole resin coating part 30 is comprised so that elevation is possible based on the elevation table 61 (refer FIG. 1), you may be comprised so that elevation may be performed based on the base 51. As shown in FIG.

연삭 헤드(44)는, 예를 들면 소정의 회전 속도로 회전하는 원주형 툴을 가지며, 수지 도포부(30)가 수지를 공급하여 경화시킴으로써 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면 전체에 당해 원주형 툴의 원주 측면을 맞닿게 함으로써, 수지층 표면을 연삭/연마한다. 연삭 헤드(44)는, 수지층의 표면 전체를 연삭/연마함으로써 판동(11)의 원주 측면 상에 균일한 두께(0.1~3.0㎜ 정도)의 수지층에 가공함과 동시에, 수지층의 표면 전체의 진원도 정밀도를 향상시킨다(예를 들면,±10㎛ 이내). 또, 연삭 헤드(44)는, 수지층의 표면 전체에 대한 연마 거칠기를 조정함으로써 수지층의 표면 전체의 표면 거칠기를 조정하여, 인쇄판(12)의 표면과 도포액의 접촉각을 제어할 수 있다. 예를 들면, 인쇄판(12)의 표면 거칠기가 경면 상태에서는 상기 접촉각이 커지고, 인쇄판(12)의 표면 거칠기가 거칠어지면 상기 접촉각이 작아지는 경향이 있다. 다만, 이들 접촉각은, 도포 장치(1)가 이용하는 도포액의 종류에 따라서도 변화한다.The grinding head 44 has, for example, a cylindrical tool that rotates at a predetermined rotational speed, and the surface of the resin layer formed on the circumferential side of the plate 11 by the resin application part 30 supplying and curing the resin. The surface of the resin layer is ground / polished by making the entire circumferential side surface of the cylindrical tool abut. The grinding head 44 is processed into a resin layer having a uniform thickness (about 0.1 to 3.0 mm) on the circumferential side of the plate 11 by grinding / grinding the entire surface of the resin layer, and at the same time, the entire surface of the resin layer. Improve the roundness accuracy of (for example, within ± 10㎛). Moreover, the grinding head 44 can adjust the surface roughness of the whole surface of the resin layer by adjusting the polishing roughness with respect to the whole surface of a resin layer, and can control the contact angle of the surface of the printing plate 12 and a coating liquid. For example, when the surface roughness of the printing plate 12 is mirrored, the contact angle increases, and when the surface roughness of the printing plate 12 becomes rough, the contact angle tends to decrease. However, these contact angles change also according to the kind of coating liquid which the coating device 1 uses.

묘화 헤드(43)는, 연삭 헤드(44)가 연삭한 판동(11) 상의 수지층의 표면에, 소정의 요철 패턴을 묘화한다. 예를 들면, 묘화 헤드(43)는, 레이저(예를 들면, CO2 레이저) 묘화 장치에 의해 구성된다. 그리고, 묘화 헤드(43)는, 도포 장치(1)의 제어부의 제어에 따라서 레이저를 수지층의 표면에 조사함으로써, 당해 표면에 애블레이션을 발생시켜 소정의 요철 패턴을 묘화한다.The drawing head 43 draws a predetermined uneven | corrugated pattern on the surface of the resin layer on the plate | board 11 with which the grinding head 44 was ground. For example, imaging head 43, the laser is constituted by a (for example, CO 2 laser) imaging device. And the drawing head 43 irradiates the surface of a resin layer with a laser under the control of the control part of the coating device 1, and produces an ablation on the said surface, and draws a predetermined uneven | corrugated pattern.

또한, 묘화 헤드(43)를 레이저 묘화 장치로 구성함으로써, 상기 수지층의 표면에 엣지 각도가 급준한 홈을 형성할 수 있고, 고애스팩트비를 가지는 요철 패턴의 형성이 가능하다. 또한, 묘화 헤드(43)를 구성하는 레이저 묘화 장치의 레이저 변조 방식은, 형성된 수지층에 대한 가공 적응성에 따라서 선택하면 되고, CO2 레이저 등의 각종 변조 방식의 레이저 장치를 이용할 수 있다.Moreover, by forming the drawing head 43 with a laser drawing apparatus, the groove | channel of which edge angle is steep can be formed in the surface of the said resin layer, and the uneven | corrugated pattern which has a high aspect ratio is possible. Further, rendering the laser modulation method of the laser drawing apparatus that make up the head 43, and when selected according to the adaptive processing of the resin layer is formed, it is possible to use laser devices of various modulation methods such as CO 2 laser.

또, 제5 모터(41) 및 제6 모터(42)(도 1 참조)를 각각 구동함으로써, 연삭 묘화부(40) 전체가 도시 F방향으로 판동(11)에 대해서 접리 가능한 구성으로 되어 있다. 예를 들면, 연삭 묘화부(40) 전체는, 승강 테이블(61)(도 1 참조)을 기준으로 하여 수평 이동 가능하게 구성되지만, 기대(51)를 기준으로 하여 수평 이동 가능하게 구성되어도 상관없다.Moreover, by driving the 5th motor 41 and the 6th motor 42 (refer FIG. 1), respectively, the grinding drawing part 40 is the structure which can be folded with respect to the plate | board 11 in the F direction. For example, although the whole grinding drawing part 40 is comprised so that horizontal movement is possible with respect to the elevation table 61 (refer FIG. 1), you may be comprised so that horizontal movement may be possible with respect to the base 51. As shown in FIG. .

도 5에 나타내는 바와 같이, 묘화 헤드(43) 및 연삭 헤드(44)는, 베이스(46) 상에 설치되어 있다. 베이스(46)는, 도포 장치(1)의 제어부의 제어에 따라서, 판동(11)의 축심에 대해서 수직인 수평 방향(도시 F방향) 및 판동(11)의 축심에 대해서 평행한 수평 방향(도시 G방향)으로 각각 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 베이스(46)에는, 흡인 기구(45)도 설치되지만, 도 5에 있어서는 도시를 생략하고 있다.As shown in FIG. 5, the drawing head 43 and the grinding head 44 are provided on the base 46. Under the control of the control part of the coating apparatus 1, the base 46 is a horizontal direction (FIG direction F) perpendicular | vertical with respect to the axial center of the plate | board 11, and the horizontal direction parallel to the axial center of the plate | board 11 (shown). It is comprised so that each movement in G direction) is possible. In addition, although the suction mechanism 45 is provided in the base 46, illustration is abbreviate | omitted in FIG.

판동(11) 표면에 형성된 수지층 표면을 연삭/연마할 때, 상기 제어부는, 연삭 헤드(44)의 원주형 툴을 판동(11) 표면에 형성된 수지층에 맞닿게 하여, 수지층이 소정의 연삭(연마) 깊이로 연삭(연마)되는 위치까지, 베이스(46)를 도시 F방향 으로 이동시켜 판동(11)에 접근한다. 그리고, 상기 제어부는, 판동(11) 표면에 수지층을 형성한 상태로 축심을 중심으로 판동(11)을 주주사 방향(X)으로 회전시키면서, 베이스(46)를 주주사 방향(X)과 직교하는 부주사 방향(도시 G방향)으로 이동시킴으로써, 원하는 연삭(연마) 깊이로 판동(11) 표면에 형성된 수지층 표면이 연삭/연마된다. 이러한 연삭/연마 동작을 몇 번인가 반복함으로써, 판동(11)의 원주 측면 상에 균일한 두께의 수지층이 가공됨과 동시에, 수지층의 표면 전체의 진원도 정밀도가 향상한다. 또한, 흡인 기구(45)는, 그 흡인구가 연삭 헤드(44)의 연삭 위치 부근에 설치되어 있고, 연삭 헤드(44)에 의한 연삭 가공 중에 있어서 당해 흡인구로부터 연삭 위치 부근의 기체를 흡인한다.When grinding / polishing the resin layer surface formed on the surface of the plate 11, the said control part makes the columnar tool of the grinding head 44 abut the resin layer formed in the surface of the plate 11, and the resin layer is predetermined. The base 46 is moved in the direction shown by the direction F to the position where the grinding is performed (grinding) to the depth of grinding (polishing) to approach the plate 11. And the said control part makes the base 46 orthogonal to the main scanning direction X, rotating the plate 11 in the main scanning direction X centering on an axial center in the state which formed the resin layer on the surface of the plate 11. By moving in the sub-scanning direction (G direction shown), the surface of the resin layer formed on the surface of the plate 11 at the desired grinding (polishing) depth is ground / polished. By repeating such grinding / polishing operations several times, the resin layer of uniform thickness is processed on the circumferential side surface of the plate 11, and the roundness precision of the whole surface of the resin layer improves. In addition, the suction mechanism 45 is provided with the suction port near the grinding position of the grinding head 44, and sucks the gas in the vicinity of the grinding position from the suction port during the grinding process by the grinding head 44. .

다음에, 상기 제어부는, 표면이 연삭/연마된 수지층에 대해서, 요철 패턴을 형성한다. 구체적으로는, 상기 제어부는, 표면이 연삭/연마된 수지층이 형성된 상태로 축심을 중심으로 판동(11)을 주주사 방향(X)으로 회전시키면서, 당해 회전 동작과 동기시켜 묘화 헤드(43)로부터 상기 요철 패턴을 형성하기 위한 레이저를 당해 수지층 표면에 조사하여, 당해 표면에 애블레이션을 발생시킨다. 그리고, 상기 제어부는, 판동(11)을 주주사 방향(X)으로 회전하는 회전 동작과 동기시켜 베이스(46)를 상기 부주사 방향(도시 G방향)으로 이동시킴으로써, 원하는 요철 패턴을 수지층 표면에 형성한다. 또한, 흡인 기구(45)는, 묘화 헤드(43)가 애블레이션을 발생시키는 위치 부근에 그 흡인구가 설치되어 있고, 묘화 헤드(43)에 의한 묘화 가공 중에 있어서 당해 흡인구로부터 애블레이션을 발생시키는 위치 부근의 기체를 흡인한다.Next, the said control part forms an uneven | corrugated pattern with respect to the resin layer with which the surface was ground / polished. Specifically, the control section rotates the plate 11 in the main scanning direction X around the shaft center in a state where the resin layer is ground / polished from the drawing head, and is synchronized with the rotation operation from the drawing head 43. A laser for forming the uneven pattern is irradiated to the surface of the resin layer to cause ablation on the surface. Then, the control unit moves the base 46 in the sub-scanning direction (G direction) in synchronization with the rotational operation of rotating the plate 11 in the main scanning direction X to move the desired uneven pattern to the resin layer surface. Form. Moreover, the suction mechanism 45 is provided with the suction port in the vicinity of the position where the drawing head 43 produces ablation, and generate | occur | produces ablation from the said suction port during the drawing process by the drawing head 43. FIG. The gas in the vicinity of the position to be sucked in is sucked.

다음에, 도 6을 참조하여, 도포 장치(1)가 인쇄판(12)을 판동(11) 상에 형성하는 동작 및 형성된 인쇄판(12)을 이용해 도포액을 도포하는 동작에 대해 설명한다. 또한, 도 6은, 도포 장치(1)가 인쇄판(12)을 판동(11) 상에 형성하여 도포액을 도포하는 동작의 일례를 나타내는 플로차트이다. 또한, 도 6에 나타내는 도포 장치(1)의 동작은, 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)이 형성되어 있지 않고, 도포액 공급부(20), 수지 도포부(30), 및 연삭 묘화부(40)가 각각 판동(11)으로부터 소정의 간극을 두고 이간되어 있는 상태로 개시되는 것으로 한다.Next, with reference to FIG. 6, the operation | movement which the coating device 1 forms the printing plate 12 on the plate 11, and the operation | movement which apply | coats a coating liquid using the formed printing plate 12 are demonstrated. 6 is a flowchart which shows an example of the operation | movement which the coating device 1 forms the printing plate 12 on the plate 11, and apply | coats a coating liquid. In addition, in the operation | movement of the coating device 1 shown in FIG. 6, the printing plate 12 is not formed on the circumferential side surface of the plate 11, and the coating liquid supply part 20, the resin coating part 30, and grinding are carried out. It is assumed that the drawing unit 40 is started in a state in which the drawing unit 40 is separated from the plate 11 by a predetermined gap.

도 6에 있어서, 도포 장치(1)의 제어부는, 제3 모터(31) 및 제4 모터(32)를 구동시켜, 수지 도포부(30) 전체를 하강시켜, 슬릿 노즐(33)의 슬릿과 판동(11)의 원주 측면을 근접시킨다(단계 S51). 예를 들면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도포 장치(1)의 제어부는, 수지 도포부(30) 전체를 도시 E-방향으로 하강시킴으로써, 슬릿 노즐(33)의 슬릿을 판동(11)의 원주 측면과 대향시켜 근접시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 판동(11)을 소정의 회전 속도로 회전시키면서, 수지 도포부(30)의 공급원으로부터 공급되는 수지를 상기 슬릿으로부터 판동(11)의 원주 측면 상에 소정의 유량으로 토출하여, 당해 원주 측면 상에 균일하게 수지를 도포해 간다(단계 S52). 즉, 판동(11)의 원주 측면에, 직접 슬릿 노즐(33)로부터 토출되는 수지가 도포되게 된다.In FIG. 6, the control part of the coating device 1 drives the 3rd motor 31 and the 4th motor 32, the whole resin coating part 30 is lowered, and the slit of the slit nozzle 33 and The circumferential side of the plate 11 is brought close (step S51). For example, as shown in FIG. 7, the control part of the coating device 1 lowers the whole resin coating part 30 to the E-direction of illustration, and makes the slit of the slit nozzle 33 the circumference | surroundings of the plate | board 11 Proximity to the side. And the control part of the coating device 1 rotates the plate | board 11 at the predetermined rotational speed, and predetermined | prescribed resin supplied from the supply source of the resin application | coating part 30 on the circumferential side surface of the plate | board 11 from the said slit. It discharges at the flow volume of and apply | coats resin uniformly on the said circumferential side surface (step S52). That is, the resin discharged directly from the slit nozzle 33 is applied to the circumferential side of the plate 11.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 수지 경화부(34)에 의한 수지 경화 처리를 개시시켜, 판동(11)의 원주 측면 상에 도포된 수지를 경화시킨다(단계 S53). 예를 들면, 판동(11)의 원주 측면 상에 자외선 경화성 수지가 도포되어 있는 경우, 수지 경화부(34)는, 도포된 자외선 경화성 수지에 대해서 자외선을 조사함으로써, 자외선 경화성 수지를 판동(11)의 원주 측면 상에서 경화시킨다. 또한, 상기 단계 S53의 동작은, 상기 단계 S52의 동작과 동시에 개시해도 되고, 상기 단계 S52의 동작이 완료된 후에 개시해도 상관없다. Next, the control part of the coating device 1 starts the resin hardening process by the resin hardening part 34, and hardens resin apply | coated on the circumferential side of the plate 11 (step S53). For example, when ultraviolet curable resin is apply | coated on the circumferential side of the plate 11, the resin hardening part 34 irradiates an ultraviolet-ray to the apply | coated ultraviolet curable resin, and thus, the ultraviolet curable resin is plated 11 It is cured on the circumferential side of. The operation of step S53 may be started simultaneously with the operation of step S52 or may be started after the operation of step S52 is completed.

상기 단계 S51~단계 S53의 동작에 의해, 판동(11)의 원주 측면 상에, 슬릿 노즐(33)로부터 토출된 수지의 층이 형성된다. 예를 들면, 도 10a에 나타내는 바와 같이, 상기 단계 S51~단계 S53의 동작 전은, 판동(11)의 원주 측면 상에는 아무것도 없는 상태이다. 그리고, 도 10b에 나타내는 바와 같이, 상기 단계 S51~단계 S53의 동작에 의해, 판동(11)의 원주 측면 상에 수지층 RL이 형성된다.By the operation of the above steps S51 to S53, a layer of the resin discharged from the slit nozzle 33 is formed on the circumferential side surface of the plate cylinder 11. For example, as shown to FIG. 10A, before operation | movement of the said step S51-step S53, there is nothing on the circumferential side surface of the plate 11. And as shown in FIG. 10B, the resin layer RL is formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 by the operation | movement of said step S51-step S53.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 제3 모터(31) 및 제4 모터(32)를 구동시켜, 수지 도포부(30) 전체를 상승시키고, 슬릿 노즐(33)의 슬릿과 판동(11)의 원주 측면을 이간시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 제5 모터(41) 및 제6 모터(42)를 구동시켜, 연삭 묘화부(40) 전체를 이동시키고, 연삭 헤드(44)와 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층을 근접시킨다(단계 S54). 예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 도포 장치(1)의 제어부는, 수지 도포부(30) 전체를 도시 E＋방향으로 상승시킴으로써, 슬릿 노즐(33)과 판동(11)을 이간시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 연삭 묘화부(40) 전체를 도시 F-방향으로 수평 이동시킴으로써, 연삭 헤드(44)와 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층을 근접시킨다.Next, the control part of the coating device 1 drives the 3rd motor 31 and the 4th motor 32, raises the whole resin coating part 30, and the slit of the slit nozzle 33 and plate | board | tube ( Space the circumferential side of 11). And the control part of the coating device 1 drives the 5th motor 41 and the 6th motor 42, moves the grinding drawing part 40 whole, and the grinding head 44 and the plate | board 11 of The resin layer formed on the circumferential side is brought close (step S54). For example, as shown in FIG. 8, the control part of the coating device 1 separates the slit nozzle 33 and the plate 11 by raising the whole resin coating part 30 to the direction E +. And the control part of the coating device 1 moves the grinding drawing part 40 whole horizontally to the F-direction shown, and makes the grinding | polishing head 44 and the resin layer formed on the circumferential side of the plate 11 close.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 연삭 헤드(44)를 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면에 맞닿게 하여, 당해 표면을 조(粗)연삭한다(단계 S55). 예를 들면, 도포 장치(1)의 제어부는, 수지층이 형성된 판동(11) 및 연삭 헤드(44)의 원주형 툴을 소정의 회전 속도로 회전시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 베이스(46)(도 5 참조)를 이동시켜, 소정의 조연삭량이 되도록 연삭 헤드(44)를 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면에 맞닿게 한 상태로, 베이스(46)를 부주사 방향으로 이동시킴으로써, 원하는 연삭 깊이로 판동(11) 표면을 조연삭한다. 또한, 도포 장치(1)의 제어부는, 상기 단계 S55에 있어서의 조연삭을 개시할 때, 흡인 기구(45)에 의한 흡인 동작을 개시시키고, 상기 조연삭에 의해 발생하는 연삭 찌꺼기 등을 포함하는 기체를 흡인시킨다.Next, the control part of the coating device 1 makes the grinding head 44 abut the surface of the resin layer formed on the circumferential side surface of the plate 11, and roughly grinds the surface (step S55). . For example, the control part of the coating device 1 rotates the cylinder 11 of the resin layer in which the resin layer was formed, and the cylindrical tool of the grinding head 44 at a predetermined rotational speed. And the control part of the coating device 1 moves the base 46 (refer FIG. 5), and the surface of the resin layer in which the grinding head 44 was formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 so that a predetermined rough grinding amount may be carried out. The base plate 11 is roughly ground to a desired grinding depth by moving the base 46 in the sub-scan direction while being in contact with it. Moreover, the control part of the coating device 1 starts a suction operation by the suction mechanism 45 when starting rough grinding in said step S55, and includes the grinding residue etc. which generate | occur | produce by the said rough grinding. Aspirate the gas.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면을 계측(예를 들면, 수지층의 두께를 계측)하여, 당해 계측 결과에 기초하여 연삭/연마량을 산출한다(단계 S56). 예를 들면, 도포 장치(1)의 제어부는, 레이저 변위계(55)로부터 얻어지는 반송 테이블(54)의 상면으로부터 수지층 표면까지의 높이를 나타내는 데이터를 이용하여, 또한 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층을 정(精)연삭/연마하는 연삭/연마량을 산출한다. 또한, 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면을 계측하는 계측부는, 레이저 변위계(55)가 아니어도 상관없다. 예를 들면, 도포 장치(1)에 이미 설치되어 있는 다른 계측 장치를 이용해도 되고, 단계 S56의 동작 시에 도포 장치(1)에 계측 기기를 새롭게 설치하여, 당해 계측 기기에 의해 계측된 데이터를 이용해도 상관없다.Next, the control part of the coating device 1 measures the surface of the resin layer formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 (for example, measures the thickness of a resin layer), and grinds / based on the said measurement result. The polishing amount is calculated (step S56). For example, the control part of the coating device 1 uses the data which shows the height from the upper surface of the conveyance table 54 obtained from the laser displacement meter 55 to the resin layer surface, and is also on the circumferential side surface of the plate cylinder 11. The grinding / polishing amount which grinds / polishs the resin layer formed in this is computed. In addition, the measurement part which measures the surface of the resin layer formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 may not be the laser displacement meter 55. For example, another measuring apparatus already installed in the coating apparatus 1 may be used, and the measuring apparatus is newly installed in the coating apparatus 1 at the time of operation of step S56, and the data measured by the said measuring apparatus is changed. You may use it.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는 연삭 헤드(44)를 이용하여 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면을 정연삭/연마한다(단계 S57). 예를 들면, 도 포 장치(1)의 제어부는, 수지층이 형성된 판동(11) 및 연삭 헤드(44)의 원주형 툴을 소정의 회전 속도로 회전시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 베이스(46)를 이동시켜, 최종적으로 상기 단계 S56에서 산출된 연삭/연마량이 되도록 연삭 헤드(44)를 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면에 맞닿게 한 상태로, 베이스(46)를 부주사 방향으로 이동시킴으로써, 판동(11) 표면을 정연삭/연마한다. 또한, 도포 장치(1)의 제어부는, 상기 단계 S57에 있어서의 정연삭/연마를 개시할 때, 흡인 기구(45)에 의한 흡인 동작을 개시시키고, 상기 정연삭/연마에 의해 발생하는 연삭 찌꺼기 등을 포함하는 기체를 흡인시킨다. Next, the control part of the coating device 1 grinds / grinds the surface of the resin layer formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 using the grinding head 44 (step S57). For example, the control part of the coating apparatus 1 rotates the plate-shaped 11 and the cylindrical tool of the grinding head 44 in which the resin layer was formed at predetermined rotational speed. And the control part of the coating device 1 moves the base 46, and the resin layer in which the grinding head 44 was formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 so that the grinding / polishing amount calculated by the said step S56 finally may be carried out. The surface of the plate 11 is polished / polished by moving the base 46 in the sub-scanning direction while being in contact with the surface of the surface. Moreover, the control part of the coating device 1 starts the suction operation | movement by the suction mechanism 45, when starting the normal grinding / polishing in the said step S57, and the grinding dregs which generate | occur | produce by the said normal grinding / polishing. A gas containing the back is sucked up.

상기 단계 S54~단계 S57의 동작에 의해, 판동(11)의 원주 측면 상에, 그 표면이 정연삭/연마된 수지층이 형성된다. 예를 들면, 도 10c에 나타내는 바와 같이, 상기 단계 S54~단계 S57의 동작에 의해, 판동(11)의 원주 측면 상에 표면이 정연삭/연마된 수지층 RL이 형성된다. 또한, 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층 RL은, 강체로 구성되는 판동(11)의 원주 측면 상에 직접 박막 형성되어 있기 때문에, 그 표면을 연삭 헤드(44)에 의해 조연삭→정연삭/연마할 때에 수지의 탄성에 의한 형상 변형을 최소한으로 억제할 수 있고, 그 표면 형상에 있어서 매우 고정밀인 진원도가 된다. 또, 상기 단계 S56에 있어서, 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층 RL의 두께를 계측한 후에 연삭/연마량을 결정하고 있기 때문에, 판동(11)의 원주 측면 상에 균일한 두께의 수지층 RL을 형성할 수 있다.By the operation of said step S54-step S57, the resin layer by which the surface was ground / polished on the circumferential side surface of the plate | board 11 is formed. For example, as shown in FIG. 10C, the resin layer RL whose surface was ground / polished on the circumferential side surface of the plate | board 11 by the operation of said step S54-step S57 is formed. In addition, since the resin layer RL formed on the circumferential side of the plate 11 is formed directly on the circumferential side of the plate 11 formed of a rigid body, the surface is roughly ground by the grinding head 44. The shape deformation by elasticity of resin can be suppressed to the minimum at the time of normal grinding / polishing, and it becomes a very high precision roundness in the surface shape. In addition, since the grinding / polishing amount is determined after measuring the thickness of the resin layer RL formed on the circumferential side of the plate 11 in the step S56, the thickness of the uniformity on the circumferential side of the plate 11 Resin layer RL can be formed.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 묘화 헤드(43)를 이용하여 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 수지층의 표면을 패터닝(제판)한다(단계 S58). 예를 들면, 도포 장치(1)의 제어부는, 축심을 중심으로 판동(11)을 주주사 방향(X)(도 5 참조)으로 회전시키면서, 당해 회전 동작과 동기시켜 묘화 헤드(43)로부터 요철 패턴을 형성하기 위한 레이저를 정연삭/연마된 수지층 표면에 조사하여, 당해 수지층 표면을 절삭 가공한다. 예를 들면, 묘화 헤드(43)는, 레이저를 수지층 표면에 조사함으로써, 당해 표면에 애블레이션을 발생시켜 절삭 가공한다. 그리고, 상기 제어부는, 판동(11)을 주주사 방향(X)으로 회전하는 회전 동작과 동기시켜 베이스(46)를 부주사 방향으로 이동시킴으로써, 원하는 요철 패턴을 수지층 표면에 형성한다. 또한, 도포 장치(1)의 제어부는, 상기 단계 S58에 있어서의 패터닝을 개시할 때, 흡인 기구(45)에 의한 흡인 동작을 개시시키고, 상기 애블레이션에 의해 수지층 표면이 증발/침식하여 기화한 기체를 흡인시킨다.Next, the control part of the coating device 1 patterns (making) the surface of the resin layer formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 using the drawing head 43 (step S58). For example, the control part of the coating device 1 rotates the plate | board 11 in the main scanning direction X (refer FIG. 5) centering on an axial center, and synchronizes with the said rotational motion from the drawing head 43 in the uneven | corrugated pattern. A laser for forming a film is irradiated to the surface of the resin layer that has been polished / polished to cut the surface of the resin layer. For example, the drawing head 43 generates an ablation on the surface of the resin layer by irradiating the laser to the surface of the resin layer and performs cutting. And the said control part forms a desired uneven | corrugated pattern on the resin layer surface by moving the base 46 to a sub scanning direction in synchronization with the rotation operation | movement which rotates the plate 11 in the main scanning direction X. As shown in FIG. Moreover, when the control part of the coating device 1 starts the patterning in the said step S58, it starts the suction operation by the suction mechanism 45, and the surface of the resin layer evaporates and erodes by the said ablation, and vaporizes it. A gas is aspirated.

상기 단계 S58의 동작에 의해, 판동(11)의 원주 측면 상에, 그 표면에 요철 패턴이 형성된 수지층이 형성된다. 예를 들면, 도 10d에 나타내는 바와 같이, 상기 단계 S58의 동작에 의해, 판동(11)의 원주 측면 상에 소정의 패턴으로 홈 가공된 수지층 RL이 형성된다.By the operation of said step S58, the resin layer in which the uneven | corrugated pattern was formed in the surface is formed on the circumferential side surface of the plate | board 11. For example, as shown in FIG. 10D, the resin layer RL grooved in a predetermined pattern is formed on the circumferential side surface of the plate 11 by the operation of the step S58.

또한, 묘화 헤드(43)가 레이저 묘화 장치로 구성되는 경우, 상대적으로 폭이 넓은 볼록부 상에 상대적으로 폭이 좁은 볼록부가 포개진 계단식 볼록부를 수지층에 형성하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 10e에 나타내는 바와 같이, 높이 0.5~3.0㎜, 폭 100㎛ 이상의 볼록부 상에, 높이 10~100㎛, 폭 30~50㎛의 볼록부를 더 형성한 계단식 볼록부를 형성하는 것이 가능해진다. 일반적으로, 인쇄판(12)에 미세한 볼록부를 형성한 경우, 당해 볼록부에 더해지는 응력 등에 의해 당해 볼록 부가 쓰러지는 현상이 생긴다. 그러나, 도 10e에 나타내는 바와 같은 계단식 볼록부로 함으로써, 하단부의 강성이 강화되기 때문에 상술한 볼록부의 쓰러짐 현상을 방지할 수 있고, 또한 고정밀인 인쇄판(12)의 형성이 가능해진다.In addition, when the drawing head 43 is comprised by the laser drawing apparatus, it is also possible to form the stepped convex part by which the relatively narrow convex part was overlapped on the relatively wide convex part in the resin layer. For example, as shown to FIG. 10E, it is possible to form the stepped convex part which further provided the convex part of height 10-100 micrometers, width 30-50 micrometers on the convex part of height 0.5-3.0 mm and width 100 micrometers or more. Become. Generally, when the fine convex part is formed in the printing plate 12, the phenomenon which the said convex part falls by the stress etc. which are added to the said convex part arises. However, by using the stepped convex portion as shown in Fig. 10E, the rigidity of the lower end portion is strengthened, so that the above-described collapse phenomenon of the convex portion can be prevented and a high precision printing plate 12 can be formed.

또, 상기 단계 S58의 동작에서는, 판동(11)의 원주 측면 상의 수지층에 홈 가공함으로써, 요철 패턴을 형성했지만, 여러가지 구조의 요철 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 예를 들면, 판동(11)의 원주 측면 상의 수지층에 메쉬 구조, 허니컴 구조, 또는 파선 형상 패턴 등의 요철 패턴을 형성할 수 있다.Moreover, in the operation | movement of said step S58, although the uneven | corrugated pattern was formed by groove-processing in the resin layer on the circumferential side surface of the plate | board 11, the uneven | corrugated pattern of various structures can be formed. For example, an uneven pattern, such as a mesh structure, a honeycomb structure, or a dashed pattern, can be formed in the resin layer on the circumferential side surface of the plate copper 11.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 제5 모터(41) 및 제6 모터(42)를 구동시켜, 연삭 묘화부(40) 전체를 이동시키고, 연삭 묘화부(40) 전체를 판동(11)으로부터 이간시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 도포액 공급부(20) 전체를 이동시켜, 도포액 공급 롤러(21)와 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 인쇄판(12)을 맞닿게 한다(단계 S59). 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 도포 장치(1)의 제어부는, 연삭 묘화부(40) 전체를 도시 F＋방향으로 수평 이동시킴으로써, 연삭 묘화부(40) 전체와 판동(11)을 이간시킨다. 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 도포액 공급부(20) 전체를 도시 D-방향으로 수평 이동시킴으로써, 도포액 공급 롤러(21)와 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 인쇄판(12)을 맞닿게 한다. Next, the control part of the coating device 1 drives the 5th motor 41 and the 6th motor 42, moves the grinding drawing part 40 whole, and drives the whole grinding drawing part 40 to the plate | board ( 11). And the control part of the coating device 1 moves the whole coating liquid supply part 20 and abuts the coating liquid supply roller 21 and the printing plate 12 formed on the circumferential side of the plate 11 (step) S59). For example, as shown in FIG. 9, the control part of the coating device 1 separates the whole grinding drawing part 40 and the plate | board 11 by horizontally moving the grinding drawing part 40 to the F + direction. Let's do it. And the control part of the coating device 1 moves the whole coating liquid supply part 20 horizontally to the D-direction shown, and the printing plate 12 formed on the circumferential side surface of the coating liquid supply roller 21 and the plate cylinder 11 is carried out. To touch.

다음에, 도포 장치(1)의 제어부는, 피도포체가 되는 기판(P)을 상면에 얹어 놓은 반송 테이블(54)을 화살표 B방향(도 2)으로 수평 이동시켜, 판동(11)의 하부 공간에 기판(P)을 공급한다(단계 S60). 그리고, 도포 장치(1)의 제어부는, 판동(11)의 원주 측면 상에 형성된 인쇄판(12)을 이용하여, 공급된 기판(P)에 대해서 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하고(단계 S61), 당해 플로차트에 의한 처리를 종료한다. 구체적으로는, 도포 장치(1)의 제어부는, 슬릿 노즐(22) 및 도포액 공급 롤러(21)를 통해, 공급원(24)에 저류된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을, 인쇄판(12)에 형성된 볼록 형상의 패턴으로 전사한다. 그리고, 상기 제어부는, 기판(P)을 얹어 놓은 반송 테이블(54)을 화살표 B 방향으로 수평 이동시켜 판동(11)의 하부 공간을 통과시킬 때, 반송 테이블(54)의 수평 이동 속도에 따라서 서로 속도차가 생기지 않도록 화살표 A방향으로 판동(11)을 회전시킨다. 이로 인해, 반송 테이블(54)에 얹어 놓여진 기판(P)과 인쇄판(12)이 소정의 간극 또는 압입량을 유지하여 대향하면서, 인쇄판(12)에 공급된 유기 EL 재료를 포함하는 도포액이 상기 볼록 형상 패턴 형상으로 기판(P)에 인쇄 도포되어 간다.Next, the control part of the coating device 1 horizontally moves the conveyance table 54 which mounted the board | substrate P used as a to-be-coated object on the upper surface in the arrow B direction (FIG. 2), and lowers the plate 11 The substrate P is supplied to the space (step S60). And the control part of the coating device 1 print-paints the coating liquid containing organic electroluminescent material with respect to the supplied board | substrate P using the printing plate 12 formed on the circumferential side surface of the plate | board 11 ( Step S61), the process by the flowchart ends. Specifically, the control part of the coating device 1 prints the coating liquid containing the organic EL material stored in the supply source 24 via the slit nozzle 22 and the coating liquid supply roller 21. Transfer to a convex pattern formed in the. And the said control part mutually moves according to the horizontal movement speed of the conveyance table 54, when the conveyance table 54 on which the board | substrate P was mounted is moved horizontally in the arrow B direction, and passes through the lower space of the plate | board 11. The plate 11 is rotated in the direction of arrow A so that a speed difference does not occur. For this reason, the coating liquid containing the organic electroluminescent material supplied to the printing plate 12, while the board | substrate P put on the conveyance table 54 and the printing plate 12 opposes maintaining the predetermined | prescribed clearance gap or indentation amount, is mentioned above. Printing is apply | coated to the board | substrate P in convex pattern shape.

이와 같이, 본 실시 형태와 관련되는 도포 장치(1)에서는, 판동(11)에 대해서 인쇄판(12)이 직접 형성되기 때문에, 완성된 인쇄판을 판동에 감아 설치할 때의 인쇄판의 변형 등을 고려할 필요가 없고, 고정밀인 인쇄판(12)을 판동(11) 상에 형성할 수 있다. 또, 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)을 형성할 때, 판동(11)에 대해서 직접 수지를 도포하여 경화시키고, 그 후에 연삭/연마 공정 및 패터닝(제판) 공정이 행해진다. 즉, 강체로 구성되는 판동(11)의 원주 측면 상에 직접 박막 형성된 수지층에 대한 가공이 되기 때문에, 수지층 표면을 가공할 때에 수지의 탄성에 의한 형상 변형을 최소한으로 억제할 수 있고, 그 표면 형상이 매우 고정밀인 진원도가 된다.Thus, in the coating apparatus 1 which concerns on this embodiment, since the printing plate 12 is directly formed with respect to the plate 11, it is necessary to consider the deformation | transformation of the printing plate, etc. at the time of winding up and installing a completed printing plate in a plate cylinder. The high precision printing plate 12 can be formed on the plate 11. Moreover, when forming the printing plate 12 on the circumferential side surface of the plate 11, resin is apply | coated directly to the plate 11, and it hardens, and a grinding / polishing process and a patterning (plate making) process are performed after that. That is, since processing is performed on the resin layer formed directly on the circumferential side of the plate 11 made of a rigid body, the shape deformation due to the elasticity of the resin can be minimized when the surface of the resin layer is processed. The surface shape has a very high precision roundness.

또한, 상술한 바와 같이 인쇄판(12)이 형성된 판동(11)에 대해서, 다른 인쇄 판을 형성하고자 하는 경우, 이미 형성되어 있는 인쇄판(12)을 판동(11)으로부터 제거한다. 예를 들면, 인쇄판(12)이 원주 측면 상에 형성된 판동(11)의 원주 측면 전면을 절삭 가공함으로써, 이미 형성되어 있는 인쇄판(12)을 판동(11)으로부터 제거해도 상관없다. 이 경우, 이미 형성되어 있는 인쇄판(12)을 제거한 판동(11)에 대해서, 상술한 인쇄판 형성 동작을 행함으로써, 판동(11)의 원주 측면 상에 새로운 인쇄판(12)을 형성할 수 있다.In addition, when it is desired to form another printing plate with respect to the plate 11 on which the printing plate 12 is formed as described above, the printing plate 12 already formed is removed from the plate 11. For example, the printing plate 12 may be removed from the plate 11 by cutting the entire circumferential side surface of the plate 11 formed on the side of the plate. In this case, a new printing plate 12 can be formed on the circumferential side of the plate 11 by performing the above-described printing plate forming operation on the plate 11 with the printing plate 12 already formed.

또, 상술한 설명에서는, 기판(P)에 도포액을 도포하는 기구를 구비한 도포 장치(1)에 인쇄판(12)을 형성하는 각종 기구를 짜넣은 모양을 이용했지만, 다른 모양의 장치로 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)을 형성해도 상관없다. 예를 들면, 기판(P)에 도포액을 도포하기 위한 기구(도포액 공급부(20), 기판 반송 기구(50), 승강 기구(60) 등)를, 상술한 도포 장치(1)로부터 제외한 장치여도, 똑같이 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)을 형성할 수 있는 것은 말할 것도 없다. 이 경우, 상기 장치는, 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)을 형성하는 인쇄판 제조 장치로서 기능하고, 당해 인쇄판 제조 장치에 의해 인쇄판(12)이 형성된 판동(11)을, 기판(P)에 도포액을 도포하는 기구를 구비한 장치에 장착함으로써, 고정밀인 인쇄 도포가 가능해진다.Moreover, in the above-mentioned description, although the shape which incorporated the various mechanism which forms the printing plate 12 in the coating device 1 equipped with the mechanism which apply | coats a coating liquid to the board | substrate P was used, it is a copper plate by the apparatus of another shape. You may form the printing plate 12 on the circumferential side surface of (11). For example, the apparatus which removed the mechanism (coating liquid supply part 20, the board | substrate conveyance mechanism 50, the lifting mechanism 60, etc.) for apply | coating a coating liquid to board | substrate P from the coating apparatus 1 mentioned above. It goes without saying that the printing plate 12 can be similarly formed on the circumferential side of the plate 11. In this case, the said apparatus functions as a printing plate manufacturing apparatus which forms the printing plate 12 on the circumferential side surface of the plate 11, and uses the board | plate 11 with the printing plate 12 by the said printing plate manufacturing apparatus in a board | substrate ( By attaching to the apparatus provided with the mechanism which apply | coats a coating liquid to P), high precision printing application | coating is attained.

또, 상술한 도포 장치(1)에 있어서, 인쇄판(12)을 형성하기 위한 기구(수지 도포부(30) 및 연삭 묘화부(40))를 착탈 가능하게 구성해도 상관없다. 이 경우, 판동(11)의 원주 측면 상에 인쇄판(12)을 형성할 때에 수지 도포부(30) 및 연삭 묘화부(40)를 도포 장치(1)에 장착하고, 기판(P)에 도포액을 인쇄 도포할 때에 수지 도포부(30) 및 연삭 묘화부(40)를 도포 장치(1)로부터 떼어내 이용된다.In addition, in the coating apparatus 1 mentioned above, you may comprise the mechanism (resin application part 30 and the grinding drawing part 40) for forming the printing plate 12 so that attachment or detachment is possible. In this case, when forming the printing plate 12 on the circumferential side surface of the plate 11, the resin coating part 30 and the grinding drawing part 40 are attached to the coating device 1, and the coating liquid is applied to the substrate P. The resin coating part 30 and the grinding drawing part 40 are removed from the coating device 1 at the time of carrying out printing application | coating of this, and are used.

또, 상술한 설명에서는, 묘화 헤드(43)를 레이저 묘화 장치로 구성하고, 레이저 애블레이션에 의해 판동(11)의 원주 측면에 형성된 수지층을 패터닝(제판)하는 일례를 이용했지만, 다른 묘화 방식으로 패터닝해도 상관없다. 예를 들면, 판동(11)의 원주 측면에 형성된 수지층을 절삭 가공함으로써 깍아 만들어 패터닝해도 상관없다. 또, 판동(11)의 원주 측면에 광변성하는 감광성 재료에 의해 수지층을 형성하여, 당해 감광성 재료를 소정의 요철 패턴에 따라 노광함으로써, 패터닝해도 상관없다.In addition, in the above-mentioned description, although the drawing head 43 was comprised by the laser drawing apparatus and the resin layer formed in the circumferential side surface of the plate | board 11 by laser ablation was used, the example of another drawing system was used. You may pattern with. For example, you may carve and pattern the resin layer formed in the circumferential side surface of the plate 11 by cutting. Moreover, you may pattern by forming a resin layer by the photosensitive material photodenatured on the circumferential side surface of the plate 11, and exposing the said photosensitive material according to a predetermined uneven | corrugated pattern.

또, 상술한 설명에서는 인쇄판(12)을 단일의 수지 재료로 구성하는 일례를 이용했지만, 복수의 재료에 의해 인쇄판(12)을 구성해도 상관없다. 예를 들면, 수지 도포부(30)가 판동(11)의 원주 측면 상에 수지를 공급할 때, 하층부에 발액성을 가지는 재료(예를 들면, 불소 탄소 수지, 실리콘계 수지 등)를 공급하고, 표층부에 친액성을 가지는 재료(예를 들면, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트), 폴리이미드 수지, 금속 증착막 등)을 공급하여, 다른 재료로 구성되는 층 형상으로 수지층을 형성해도 상관없다. 이 경우, 인쇄판(12)의 표면 부분 및 홈 부분에 있어서 발액성/친액성의 차이가 생기기 때문에, 인쇄판(12)의 표면과 도포액의 접촉각을 제어할 수 있다.In addition, in the above-mentioned description, although the example which comprises the printing plate 12 by the single resin material was used, you may comprise the printing plate 12 by the some material. For example, when the resin application part 30 supplies resin on the circumferential side surface of the plate 11, it supplies the material (for example, fluorocarbon resin, silicone type resin etc.) which has liquid repellency to a lower layer part, and provides a surface layer part. The resin layer may be formed in a layer shape composed of another material by supplying a material having a lyophilic property (for example, PET (polyethylene terephthalate), a polyimide resin, a metal vapor deposition film, and the like). In this case, since the liquid repellency / liquidity difference arises in the surface part and groove part of the printing plate 12, the contact angle of the surface of the printing plate 12 and application liquid can be controlled.

또, 수지 도포부(30)가 판동(11)의 원주 측면 상에 수지를 공급할 때, 상술한 발액성을 가지는 재료를 공급하여 수지층을 형성한 후, 그 표면을 친수화 처리해도 상관없다. 구체적으로는, 발액성 수지(PFA(tetra fluoro ethylene-perfluoro alkylvinyl ether copolymer), PTFE(poly tetra fluoro ethylene) 등의 불소 탄소 수지 등)로 수지층을 형성하고, 당해 수지층의 표면을 연마한다. 그리고, 연마된 수지층을 표면 개질(플라즈마 처리나 약액 처리 등)을 행함으로써, 수지층의 표면을 친수화한다. 이 경우도, 인쇄판(12)의 표면 부분 및 홈 부분에 있어서 발액성/친액성의 차이가 생기기 때문에, 인쇄판(12)의 표면과 도포액의 접촉각을 제어할 수 있다.In addition, when the resin application part 30 supplies resin on the circumferential side surface of the plate 11, after supplying the material which has the above-mentioned liquid repellency, and forming a resin layer, you may hydrophilize the surface. Specifically, a resin layer is formed of a liquid-repellent resin (such as fluorocarbon resins such as tetrafluoro ethylene-perfluoro alkylvinyl ether copolymer (PFA) and poly tetra fluoro ethylene (PTFE)), and the surface of the resin layer is polished. Then, the surface of the resin layer is made hydrophilic by subjecting the polished resin layer to surface modification (plasma treatment, chemical liquid treatment or the like). Also in this case, since the liquid repellency / liquidity difference arises in the surface part and the groove part of the printing plate 12, the contact angle of the surface of the printing plate 12 and coating liquid can be controlled.

또, 상술한 실시 형태에 있어서는, 발광층을 형성하는 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 도포 장치(1)가 기판(P)에 인쇄 도포하는 예를 이용했지만, 적색 발광의 유기 EL 재료, 녹색 발광의 유기 EL 재료, 및 청색 발광의 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 각각 인쇄 도포할 수 있는 것은 말할 것도 없다. 또, 본 발명의 도포 장치는, 유기 발광층 재료 외에, 정공 수송층 재료, 정공 주입층 재료, 전자 수송층 재료, 및 전자 주입층 재료 등의 다른 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하는 경우에도 이용할 수 있다.Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the coating apparatus 1 printed-coated to the board | substrate P the coating liquid containing the organic electroluminescent material which forms a light emitting layer, the organic electroluminescent material of red light emission, green light emission was used. It goes without saying that the coating liquid containing the organic EL material and the organic EL material of blue light emission can be applied for printing. Moreover, the coating apparatus of this invention is used also when printing-coating coating liquid containing other organic electroluminescent materials, such as a hole transport layer material, a hole injection layer material, an electron carrying layer material, and an electron injection layer material, in addition to an organic light emitting layer material. Can be.

구체적으로는, 상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가, 적, 녹, 및 청색 발광 중, 적색 발광의 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하는 경우, 이 도포 공정은, 유기 EL 디바이스를 제조하는 도중 공정이다. 유기 EL 디바이스를 제조하는 경우, 정공 주입층 재료 인쇄 도포, 정공 수송 재료(예를 들면, PEDOT 등) 인쇄 도포, 적색 발광의 유기 EL 재료 인쇄 도포, 녹색 발광의 유기 EL 재료 인쇄 도포, 청색 발광의 유기 EL 재료 인쇄 도포, 전자 수송 재료 인쇄 도포, 전자 주입층 재료 인쇄 도포 등의 도포 공정이 있지만, 본 발명의 도포 장치는, 어느 인 쇄 도포 공정에서도 이용할 수 있다.Specifically, when the coating apparatus 1 in the above-mentioned embodiment prints and apply | coats the coating liquid containing the red electroluminescent organic EL material among red, green, and blue light emission, this application | coating process is organic It is a process in the manufacture of an EL device. When manufacturing an organic EL device, the hole injection layer material printing application | coating, the hole transport material (for example, PEDOT etc.) printing application | coating, the red light emission organic EL material printing application | coating, the green light emission organic EL material printing application | coating, and the blue light emission Although there exist application | coating processes, such as organic electroluminescent material printing application | coating, electron transport material printing application | coating, and electron injection layer material printing application | coating, the coating apparatus of this invention can be used also in any printing application | coating process.

또, 상술한 실시 형태에서는, 피도포체의 일례로서 유리 기판을 이용했지만, 다른 부재를 피도포체로 할 수도 있다. 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)나 폴리카보네이트(PC) 등으로 구성되는 유연성을 가진 기판을, 도포 장치(1)의 피도포체로 해도 상관없다.Moreover, in embodiment mentioned above, although the glass substrate was used as an example of a to-be-coated body, another member can also be made into a to-be-coated body. For example, a flexible substrate composed of polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), or the like may be used as the coated object of the coating device 1.

상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가 이용하는 적, 녹, 청, 및 백색 발광의 유기 발광 재료로서는, 예를 들면, 퀴놀리놀계 금속 착체, 벤조퀴놀리놀계 금속 착체, 벤조옥사졸계 금속 착체, 프탈로시아닌류, 폴리페린류, 아조메틴계 금속 착체, 페난트롤린유로퓸 착체, 스티릴 및 디스티릴 화합물, 피렌, 루브렌, 코로넨, 크리센, 디페닐안트라센 등의 축합 방향족 화합물, 옥사디아졸류, 티아디아졸류, 트리아졸류 등의 헤테로 방향족 화합물, 퀴나크리돈류, 쿠마린류 등의 헤테로 축합환 화합물, 폴리페닐렌, 폴리피리딘, 폴리티오펜, 폴리플루오닐렌, 폴리페닐렌비닐렌 등의 π공역계 화합물 등을 이용할 수 있고, 인쇄판(12)을 구성하는 수지 재료로서 이들 재료에 대한 내성을 가지는 것이 이용된다. 그러나, 도포 장치(1)에서 이용하는 유기 발광 재료로서는, 예시한 이들 재료에 한정되는 것은 아니고, 인쇄판(12)이 내성을 가지는 다른 재료를 이용해도 상관없다.As an organic light emitting material of red, green, blue, and white light emission used by the coating apparatus 1 in the above-mentioned embodiment, for example, a quinolinol-based metal complex, a benzoquinolinol-based metal complex, and a benzoxazole-based metal Complexes, phthalocyanines, polyferins, azomethine-based metal complexes, phenanthroline europium complexes, styryl and distyryl compounds, condensed aromatic compounds such as pyrene, rubrene, coronene, chrysene, diphenylanthracene, and oxadia Heteroaromatic compounds such as sols, thiadiazoles and triazoles, heterocondensed cyclic compounds such as quinacridones and coumarins, polyphenylene, polypyridine, polythiophene, polyfluorylene, and polyphenylenevinylene (pi) conjugated compound, etc. can be used, and the resin material which comprises the printing plate 12 has what is tolerance to these materials. However, as the organic light emitting material used in the coating apparatus 1, it is not limited to these materials illustrated, You may use the other material which the printing plate 12 has tolerance.

또, 상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가 이용하는 정공 수송 재료로서는, 예를 들면, 폴리비닐카바졸 및 그 유도체, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리페닐렌 및 그 유도체, 폴리페닐렌비닐렌 및 그 유도체, 트리아릴아민 골격을 가지는 폴리올레핀, 폴리아크릴, 폴리아릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리 아미드, 폴리우레탄, 폴리이미드 등을 이용할 수 있고, 인쇄판(12)을 구성하는 수지 재료로서 이들 재료에 대한 내성을 가지는 것이 이용된다. 그러나, 도포 장치(1)에서 이용하는 정공 수송 재료로서는, 예시한 이들 재료에 한정되는 것은 아니고, 인쇄판(12)이 내성을 가지는 다른 재료를 이용해도 상관없다.Moreover, as a hole-transport material used by the coating device 1 in above-mentioned embodiment, For example, polyvinylcarbazole and its derivative (s), polythiophene and its derivative (s), polyphenylene and its derivative (s), polyphenylene Polyolefins, polyacryl, polyarylates, polycarbonates, polyesters, polyamides, polyurethanes, polyimides and the like having vinylene and derivatives thereof and triarylamine skeletons can be used, and resin materials constituting the printing plate 12. As the material having resistance to these materials is used. However, as the hole transporting material used in the coating device 1, it is not limited to these materials illustrated, You may use the other material which the printing plate 12 has tolerance.

또, 상술한 실시 형태에서는, 도포액으로서 유기 EL 재료를 포함하는 도포액으로 한 유기 EL 표시 장치의 제조 장치를 일례로 하여 설명했지만, 본 발명은 다른 도포 장치에도 적용할 수 있다. 예를 들면, 레지스터액이나 SOG(Spin On Glass)액이나 PDP(플라즈마 디스플레이 패널)을 제조하는데 사용되는 형광 재료를 박막 전사 도포하는 장치에도 적용할 수 있다. 또, TFT(Thin Film Transistor) 배선 패턴이나, 액정 칼라 디스플레이를 칼라 표시하기 위해서 액정 셀 내에 구성되는 칼라필터를 제조하기 위해 사용되는 색재의 스트라이프 패턴을 박막 전사 도포하는 장치에도 적용할 수 있다.Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the manufacturing apparatus of the organic electroluminescence display which used as the coating liquid containing organic electroluminescent material as a coating liquid was demonstrated as an example, this invention is applicable also to another coating apparatus. For example, the present invention can also be applied to an apparatus for thin film transfer coating of a fluorescent material used for producing a resist liquid, a spin on glass (SOG) liquid, or a plasma display panel (PDP). Further, the present invention can also be applied to a thin film transfer coating apparatus for a TFT (Thin Film Transistor) wiring pattern or a stripe pattern of a color material used for producing a color filter configured in a liquid crystal cell in order to color display a liquid crystal color display.

또, 상술한 실시 형태에서는, 인쇄판(12)을 이용해 박막 인쇄 도포를 볼록판 인쇄(플렉소 인쇄)하는 예를 이용하고 있지만, 본 발명은 다른 인쇄 방식에서도 적용할 수 있다. 예를 들면, 박막 인쇄 도포를 그라비아 인쇄 등의 오목판 인쇄, 즉 새겨진 홈부에서 도포액을 유지하여 당해 도포액을 전사하는 양태에 있어서도, 본 발명을 적용할 수 있다.In addition, in the above-mentioned embodiment, although the example which uses convex plate printing (flexo printing) for thin-film printing application using the printing plate 12 is used, this invention can be applied also to another printing system. For example, this invention can be applied also to the aspect which transfers the said coating liquid by applying thin-film printing application into recess plate printing, such as gravure printing, ie, holding a coating liquid in the engraved groove part.

또, 상술한 설명에서는, 기판(P)을 얹어 놓는 반송 테이블(54)을 수평 이동시키면서 판동(11)을 회전시켜 인쇄 도포를 행하고 있지만, 반송 테이블(54)을 고정하여 판동(11) 자체를 상기 수평 이동 방향과는 반대의 수평 방향으로 이동시키 면서 회전시켜도 상관없다. 판동(11)과 반송 테이블(54) 중 적어도 한쪽이 상대적으로 수평 방향으로 이동하면, 같은 인쇄 도포가 가능한 것은 말할 것도 없다.In addition, in the above-mentioned description, although the plate | board 11 is rotated and printing application | coating while horizontally moving the conveyance table 54 on which the board | substrate P is mounted, the conveyance table 54 is fixed and the plate | board 11 is fixed. You may rotate, moving in the horizontal direction opposite to the said horizontal movement direction. It goes without saying that the same print application is possible when at least one of the plate 11 and the conveyance table 54 moves in a relatively horizontal direction.

또, 상술한 실시 형태에 있어서는, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 도포액을 공급하기 위한 노즐로서, 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지는 슬릿 노즐(22)을 이용하고 있다. 또, 판동(11)의 원주 측면에 수지를 공급하는 노즐로서, 판동(11)의 축선 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지는 슬릿 노즐(33)을 이용하고 있다. 이들 슬릿 노즐(22) 및 슬릿 노즐(33)은, 다른 구조의 노즐을 이용해도 상관없다. 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 대해 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향을 따라 소정 유량의 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 공급할 수 있는 것이면, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 이용해도 상관없다. 예를 들면, 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향으로 다수의 토출구가 줄지어 설치된 노즐을 이용해도 상관없다. 또, 판동(11)의 원주 측면에 대해 판동(11)의 축선 방향을 따라 소정 유량의 수지를 공급할 수 있는 것이면, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 이용해도 상관없다. 예를 들면, 판동(11)의 축선 방향으로 다수의 토출구가 줄지어 설치된 노즐을 이용해도 상관없다.Moreover, in embodiment mentioned above, the slit nozzle 22 which has a slit which makes the axial direction of the coating liquid supply roller 21 the longitudinal direction as a nozzle for supplying a coating liquid to the surface of the coating liquid supply roller 21. ) Is used. Moreover, as a nozzle which supplies resin to the circumferential side surface of the plate | board 11, the slit nozzle 33 which has a slit which makes the axial direction of the plate | board 11 the longitudinal direction is used. These slit nozzle 22 and the slit nozzle 33 may use the nozzle of another structure. As long as it is possible to supply a coating liquid containing an organic EL material with a predetermined flow rate along the axial direction of the coating liquid supply roller 21 to the surface of the coating liquid supply roller 21, a nozzle having a plurality of discharge ports may be used. none. For example, you may use the nozzle in which many discharge ports were lined up in the axial direction of the coating liquid supply roller 21. Moreover, as long as resin of predetermined flow volume can be supplied with respect to the circumferential side surface of the plate 11 along the axial direction of the plate 11, you may use the nozzle which has several discharge ports. For example, you may use the nozzle in which many discharge ports were lined up in the axial direction of the plate | board 11.

본 발명에 관련되는 도포 장치, 인쇄판 제조 장치, 및 도포 방법은, 높은 표면 정밀도를 가지는 인쇄판을 형성할 수 있고, 유기 EL 디바이스를 제조하는 장치나 방법이나, 액정 기판 및 반도체 제조 장치 등에 있어서 레지스터를 도포하는 장치나 방법 등으로서 유용하다.The coating apparatus, the printing plate manufacturing apparatus, and the coating method which concern on this invention can form the printing plate which has a high surface precision, and a resistor is used in the apparatus and method which manufacture an organic EL device, a liquid crystal substrate, a semiconductor manufacturing apparatus, etc. It is useful as an apparatus or method to apply | coat.

이상, 본 발명을 상세하게 설명해 왔지만, 상술의 설명은 모든 점에 있어서 본 발명의 예시에 지나지 않고, 그 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 본 발명의 범위를 일탈하는 일 없이 여러 가지의 개량이나 변형을 행할 수 있는 것은 말할 것도 없다. 본 발명은, 특허 청구의 범위에 의해서만 그 범위가 해석되어야 하는 것이 이해된다. 또, 당업자는, 본 발명의 구체적인 실시 형태의 기재로부터, 본 발명의 기재 및 기술 상식에 기초하여 등가인 범위를 실시할 수 있는 것이 이해된다. 또, 본 명세서에 있어서 사용되는 용어는, 특별히 언급하지 않는 한, 당해 분야에서 통상 이용되는 의미로 이용되는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 따로 정의되지 않는 한, 본 명세서 중에서 사용되는 모든 전문 용어 및 기술 용어는, 본 발명이 속하는 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 같은 의미를 가진다. 모순되는 경우, 본 명세서(정의를 포함해)가 우선한다.As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail, the above description is only the illustration of this invention in all the points, Comprising: It does not intend to limit the range. It goes without saying that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention. It is understood that the scope of the present invention should be interpreted only by the claims. Moreover, it is understood that those skilled in the art can implement equivalent ranges based on description of this invention and technical common sense from description of specific embodiment of this invention. In addition, it is to be understood that the terminology used in the present specification is used in the meaning commonly used in the art unless otherwise specified. Accordingly, unless otherwise defined, all jargon and technical terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. In case of conflict, the present specification, including definitions, will control.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 관련되는 도포 장치(1)의 요부 개략 구성을 나타내는 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows schematic structure of the principal part of the coating device 1 which concerns on one Embodiment of this invention.

도 2는, 도 1의 도포 장치(1)의 요부를 나타내는 개요도.FIG. 2 is a schematic diagram showing main parts of the coating device 1 of FIG. 1.

도 3은, 도 2의 세정 기구(23)의 일례를 나타내는 개요도.FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of the cleaning mechanism 23 of FIG. 2.

도 4는, 도 1의 도포 장치(1)의 판동(11), 도포액 공급부(20), 수지 도포부(30), 및 연삭 묘화부(40)의 요부의 일례를 나타내는 개요도.FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of main parts of the plate 11 of the coating apparatus 1 of FIG. 1, the coating liquid supply unit 20, the resin coating unit 30, and the grinding drawing unit 40.

도 5는, 도 4의 수지 도포부(30)의 슬릿 노즐(33)과, 연삭 묘화부(40)의 묘화 헤드(43) 및 연삭 헤드(44)의 구성의 일례를 나타내는 사시도.FIG. 5: is a perspective view which shows an example of a structure of the slit nozzle 33 of the resin coating part 30 of FIG. 4, the drawing head 43 of the grinding drawing part 40, and the grinding head 44. FIG.

도 6은, 도포 장치(1)가 인쇄판(12)을 판동(11) 상에 형성하여 도포액을 도포하는 동작의 일례를 나타내는 플로차트.6 is a flowchart showing an example of an operation in which the coating device 1 forms the printing plate 12 on the plate 11 to apply the coating liquid.

도 7은, 수지 도포부(30) 전체가 하강하여 판동(11)에 접근하는 일례를 설명하기 위한 설명도.FIG. 7: is explanatory drawing for demonstrating an example in which the whole resin coating part 30 descend | falls and approaches the plate | board 11. FIG.

도 8은, 수지 도포부(30) 전체가 상승하여 판동(11)과 이간하고, 연삭 묘화부(40) 전체가 수평 이동하여 판동(11)에 접근하는 일례를 설명하기 위한 설명도.FIG. 8: is explanatory drawing for demonstrating an example in which the whole resin coating part 30 raises and spaces apart from the plate | board 11, and the whole grinding drawing part 40 moves horizontally, and approaches the plate | board 11. FIG.

도 9는, 연삭 묘화부(40) 전체가 수평 이동하여 판동(11)과 이간하고, 도포액 공급부(20) 전체가 수평 이동하여 판동(11)에 접근하는 일례를 설명하기 위한 설명도.9 is an explanatory diagram for explaining an example in which the entire grinding drawing unit 40 moves horizontally to be spaced apart from the plate 11, and the entire coating liquid supply unit 20 moves horizontally to approach the plate 11.

도 10a는, 원주 측면 상에 아무것도 없는 판동(11)의 원주 측면의 일부를 나타내는 도면.FIG. 10A shows a part of the circumferential side of the plate 11 with nothing on the circumferential side; FIG.

도 10b는, 수지층 RL이 형성된 판동(11)의 원주 측면의 일부를 나타내는 도면. 10B is a view showing a part of the circumferential side surface of the plate copper 11 on which the resin layer RL is formed.

도 10c는, 표면이 정연삭/연마된 수지층 RL이 형성된 판동(11)의 원주 측면의 일부를 나타내는 도면.Fig. 10C is a diagram showing a part of the circumferential side surface of the plate copper 11 on which the resin layer RL whose surface is ground / polished is formed.

도 10d는, 소정의 패턴으로 홈 가공된 수지층 RL이 형성된 판동(11)의 원주 측면의 일부를 나타내는 도면.10D is a view showing a part of the circumferential side surface of the plate copper 11 in which the resin layer RL grooved in a predetermined pattern is formed.

도 10e는, 계단식 홈 가공된 수지층 RL이 형성된 판동(11)의 원주 측면의 일부를 나타내는 도면.FIG. 10E is a diagram showing a part of the circumferential side surface of the plate plate 11 on which the stepped grooved resin layer RL is formed. FIG.

Claims (14)

기판 상에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치로서,A coating device for printing and coating a coating liquid on a substrate, 상기 기판의 한쪽 면을 위로 향하게 한 상태로 당해 기판을 얹어 놓는 재치(載置)대와,A mounting table on which the substrate is placed with one side of the substrate facing upwards; 원통 형상의 원주 측면을 가지며, 당해 원주 측면의 중심이 되는 축심을 중심으로 회전하는 판동(版胴)과,A plate cylinder having a cylindrical circumferential side and rotating about an axis center which is the center of the circumferential side; 상기 판동의 원주 측면에 수지를 공급하여, 당해 원주 측면 상에 수지층을 형성하는 수지 공급 수단과, Resin supply means for supplying resin to the circumferential side of the plate copper to form a resin layer on the circumferential side; 상기 수지층의 표면을, 상기 축심을 기준으로 연삭하는 연삭 수단과,Grinding means for grinding the surface of the resin layer based on the axis; 상기 연삭 수단이 연삭한 상기 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성하는 패턴 형성 수단과, Pattern forming means for forming an uneven pattern on the surface of the resin layer ground by the grinding means; 상기 요철 패턴이 형성된 상기 수지층의 표면에 상기 도포액을 공급하는 도포액 공급 수단과,Coating liquid supplying means for supplying the coating liquid to the surface of the resin layer on which the uneven pattern is formed; 상기 기판의 한쪽 면과 상기 요철 패턴이 형성된 상기 수지층의 표면을 근접시키거나 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태로, 상기 축심을 중심으로 상기 판동을 회전시키면서 상기 재치대와 상기 판동을 상대 이동시키는 상대 이동 수단을 구비하는, 도포 장치.Relative to relatively move the mounting table and the plate while rotating the plate around the shaft center in a state in which one surface of the substrate and the surface of the resin layer on which the uneven pattern is formed are brought into close contact or abutment. An application apparatus comprising a moving means. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 수지 공급 수단에 의해 상기 판동의 원주 측면에 공급된 수지를 경화시키는 수지 경화 수단을 더 구비하는, 도포 장치.And a resin curing means for curing the resin supplied to the circumferential side of the plate by the resin supply means. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 수지 공급 수단은, 상기 판동의 원주 측면에 광경화성 수지를 공급하고,The resin supply means supplies a photocurable resin to the circumferential side surface of the plate copper, 상기 수지 경화 수단은, 상기 광경화성 수지를 경화시키는 광을, 상기 수지 공급 수단에 의해 상기 판동의 원주 측면에 공급된 광경화성 수지에 조사하는, 도포 장치.The said resin curing means is a coating apparatus which irradiates the photocurable resin which hardened the said photocurable resin to the photocurable resin supplied to the circumferential side of the said plate by the said resin supply means. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 수지 공급 수단은, 상기 판동의 원주 측면에 열경화성 수지를 공급하고,The resin supply means supplies a thermosetting resin to the circumferential side of the plate copper, 상기 수지 경화 수단은, 상기 열경화성 수지를 경화시키는 열량을, 상기 수지 공급 수단에 의해 상기 판동의 원주 측면에 공급된 열경화성 수지에 더하는, 도포 장치.The said resin hardening means adds the amount of heat which hardens the said thermosetting resin to the thermosetting resin supplied to the circumferential side of the said plate by the said resin supply means. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 절삭 수단은, 상기 수지층의 표면을 연삭함으로써 생기는 절삭 찌꺼기를 흡인하는 흡인 수단을 포함하는, 도포 장치.The said cutting means is a coating device containing the suction means which attracts the cutting waste which arises by grinding the surface of the said resin layer. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 패턴 형성 수단은, 상기 연삭 수단이 연삭한 상기 수지층의 표면의 일부에 레이저광을 상기 요철 패턴에 따라 조사하여, 당해 표면을 절삭 가공하는 레이저 조사 수단을 포함하고, The pattern forming means includes laser irradiation means for irradiating a part of the surface of the resin layer ground by the grinding means according to the uneven pattern to cut the surface. 상기 패턴 형성 수단은, 상기 축심을 중심으로 상기 판동을 회전시키면서 상기 레이저 조사 수단으로부터 출력된 레이저광을 상기 수지층의 표면의 일부에 조사하여, 상기 레이저 조사 수단을 상기 축심 방향으로 이동시킴으로써, 상기 수지층의 표면에 상기 요철 패턴을 형성하는, 도포 장치.The said pattern forming means irradiates the laser beam output from the said laser irradiation means to a part of the surface of the said resin layer, rotating the said plate center about the said axial center, and moving the said laser irradiation means to the said axial center direction, The coating device which forms the said uneven | corrugated pattern on the surface of a resin layer. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 패턴 형성 수단은, 상기 레이저 조사 수단이 발생시킨 애블레이션(ablation)에 의해 상기 수지층의 표면이 기화한 기체를 흡인하는 흡인 수단을 포함하는, 도포 장치.And said pattern forming means includes suction means for sucking gas vaporized by the surface of said resin layer by ablation generated by said laser irradiation means. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 수지 공급 수단, 상기 절삭 수단, 및 상기 패턴 형성 수단은, 각각 상기 도포 장치에 대해서 착탈 가능하게 구성되는, 도포 장치.The said resin supply means, the said cutting means, and the said pattern formation means are each comprised so that attachment and detachment with respect to the said coating apparatus are possible. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 수지 공급 수단은, 당해 수지 공급 수단 전체를 상기 판동에 대해서 접리(接離)시키는 제1 접리 수단을 포함하고,The said resin supply means includes the 1st folding means which folds the said resin supply means whole with respect to the said board | plate copper, 상기 절삭 수단은, 당해 절삭 수단 전체를 상기 판동에 대해서 접리시키는 제2 접리 수단을 포함하고, The cutting means includes a second folding means for folding the entire cutting means with respect to the plate copper, 상기 패턴 형성 수단은, 당해 패턴 형성 수단 전체를 상기 판동에 대해서 접리시키는 제3 접리 수단을 포함하고,The pattern forming means includes third folding means for folding the entire pattern forming means with respect to the plate copper, 상기 도포액 공급 수단은, 당해 도포액 공급 수단 전체를 상기 판동에 대해서 접리시키는 제4 접리 수단을 포함하는, 도포 장치.The said coating liquid supply means is an application | coating device containing a 4th folding means which folds the whole said coating liquid supply means with respect to the said board | plate. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 수지 공급 수단은, 상기 판동의 원주 측면에 발액성을 가지는 수지를 공급하여 상기 수지층을 형성한 후, 당해 수지층의 표면에 친액화 처리를 행하는, 도포 장치.The said resin supply means supplies a resin which has liquid repellency to the circumferential side surface of the said plate copper, and forms the said resin layer, and then performs a lyophilic process on the surface of the said resin layer. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 수지 공급 수단은, 상기 판동의 원주 측면에 발액성을 가지는 수지를 공급하여 상기 수지층의 하층부를 형성한 후, 당해 하층부의 표층으로서 친액성을 가지는 수지를 공급하여 상기 수지층의 표층부를 형성하는, 도포 장치.The resin supply means supplies a resin having liquid repellency to the circumferential side surface of the plate copper to form a lower layer portion of the resin layer, and then supplies a resin having lyophilic as a surface layer of the lower layer portion to form a surface layer portion of the resin layer. Application device. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 패턴 형성 수단은, 상대적으로 폭이 넓은 볼록부 상에 상대적으로 폭이 좁은 볼록부가 포개진 계단식 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 상기 수지층의 표면에 형성하는, 도포 장치.The said pattern formation means forms the uneven | corrugated pattern which consists of the stepped convex part which the relatively narrow convex part overlapped on the relatively wide convex part on the surface of the said resin layer. 기판 상에 도포액을 인쇄 도포하기 위한 인쇄판을 형성하는 인쇄판 제조 장치로서,A printing plate manufacturing apparatus for forming a printing plate for printing and coating a coating liquid on a substrate, 원통 형상의 원주 측면을 가지며, 당해 원주 측면의 중심이 되는 축심을 중심으로 회전하는 판동과,A pan cylinder having a cylindrical circumferential side and rotating about an axis center which is a center of the circumferential side; 상기 판동의 원주 측면에 수지를 공급하여, 당해 원주 측면 상에 수지층을 형성하는 수지 공급 수단과, Resin supply means for supplying resin to the circumferential side of the plate copper to form a resin layer on the circumferential side; 상기 수지층의 표면을, 상기 축심을 기준으로 연삭하는 연삭 수단과,Grinding means for grinding the surface of the resin layer based on the axis; 상기 연삭 수단이 연삭한 상기 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성하는 패턴 형성 수단을 구비하는, 인쇄판 제조 장치.The printing plate manufacturing apparatus provided with the pattern formation means which forms an uneven | corrugated pattern on the surface of the said resin layer by which the said grinding means was ground. 기판 상에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 방법으로서,As a coating method which print-coats a coating liquid on a board | substrate, 축심을 중심으로 회전하는 판동이 가지는 원통 형상의 원주 측면에 수지를 공급하여, 당해 원주 측면 상에 수지층을 형성하는 공정과,Supplying a resin to the cylindrical circumferential side of the plate rotating with an axis and forming a resin layer on the circumferential side; 상기 수지층의 표면을, 상기 축심을 기준으로 연삭하는 공정과,Grinding the surface of the resin layer based on the axis; 연삭한 상기 수지층의 표면에 요철 패턴을 형성하는 공정과,Forming a concave-convex pattern on the surface of the ground resin layer; 상기 요철 패턴이 형성된 상기 수지층의 표면에 상기 도포액을 공급하는 공 정과,A process of supplying the coating liquid to the surface of the resin layer on which the uneven pattern is formed; 상기 기판의 한쪽 면과 상기 요철 패턴이 형성된 상기 수지층의 표면을 근접시키거나 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태로, 상기 축심을 중심으로 상기 판동을 회전시키면서 상기 기판과 상기 판동을 상대 이동시켜 상기 기판의 한쪽 면에 상기 도포액을 전사하는 공정을 포함하는, 도포 방법.One side of the substrate and the surface of the resin layer on which the uneven pattern is formed are brought into close proximity or abutment to face each other, and the substrate and the plate are moved relative to each other while rotating the plate around the axis. A coating method comprising the step of transferring the coating liquid to one side of the substrate.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5473858B2 (en) * 2010-10-22 2014-04-16 阪本 順 Printing apparatus and printing method
CN104216230B (en) * 2013-06-05 2018-06-05 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 The apparatus for coating and coating method of cylindrical shape mask plate
CN104614943B (en) * 2013-11-05 2019-03-12 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 The apparatus for coating and coating method of cylinder-shaped mask plate
JP2015184396A (en) * 2014-03-24 2015-10-22 富士ゼロックス株式会社 lens array manufacturing apparatus and lens array manufacturing method
LU92574B1 (en) 2014-10-16 2016-04-18 Windmöller & Hölscher Kg METHOD FOR PRODUCING A PRINT IMAGE STRUCTURE
CN114751653A (en) * 2022-02-08 2022-07-15 曲面超精密光电(深圳)有限公司 Large-scale curved surface glass cover plate precision coating equipment and technology thereof

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003107686A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Fuji Photo Film Co Ltd Manufacturing method for planographic printing plate and planographic printing plate
JP2003316025A (en) * 2002-04-25 2003-11-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Laser plate making method
ATE512388T1 (en) * 2003-07-09 2011-06-15 Asahi Kasei Chemicals Corp METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A RELIEF PRINTING PLATE TERMINAL FOR SEAMLESS PRINTING
KR100631015B1 (en) 2004-04-30 2006-10-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 A method for fabricating printing roll and method for forming pattern using the same
JP2006178470A (en) * 2004-12-23 2006-07-06 Heidelberger Druckmas Ag Method for imaging on plate
JP2008006705A (en) * 2006-06-29 2008-01-17 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Printing press
JP2008075129A (en) 2006-09-21 2008-04-03 Toppan Printing Co Ltd Method for producing cylindrical member, and transferred material using the same
KR100842931B1 (en) 2007-06-28 2008-07-02 한국기계연구원 Fabricating method of roll stamp using imprint lithography

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