JP2015184396A - lens array manufacturing apparatus and lens array manufacturing method - Google Patents

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Susumu Yasuda
晋 安田
清水 敬司
Takashi Shimizu
敬司 清水
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens array manufacturing apparatus in which contamination with foreign matter in liquid resin to become a lens is suppressed.SOLUTION: In a lens array manufacturing apparatus, forming means forms partition walls on a substrate, removing means removes foreign matter between the partition walls, and discharge coating means discharges or coats liquid resin to become a lens between the partition walls after the foreign matter is removed by the removing means.

Description

本発明は、レンズアレイ製造装置及びレンズアレイ製造方法に関する。   The present invention relates to a lens array manufacturing apparatus and a lens array manufacturing method.

特許文献1には、予め定めた方向に異方性を有するレンズを製造することができる、レンズ製造装置を提供することを課題とし、加工対象物の表面に切り込みを入れて凹凸部を形成する凹凸形成手段と、加工対象物の表面上にレンズ用樹脂を供給する樹脂供給手段と、供給されたレンズ用樹脂を硬化させる樹脂硬化手段と、凹凸形成手段、樹脂供給手段及び樹脂硬化手段の各々を加工対象物に対して相対移動する移動手段と、予め定めた方向に延びる凹凸部を形成し、隣接する凹凸部間にレンズ用樹脂を供給し、供給されたレンズ用樹脂を硬化させるように、凹凸形成手段、樹脂供給手段、樹脂硬化手段及び移動手段を駆動制御する制御手段と、を有することが開示されている。   In Patent Document 1, an object is to provide a lens manufacturing apparatus capable of manufacturing a lens having anisotropy in a predetermined direction, and a concavo-convex portion is formed by cutting a surface of a workpiece. Each of the unevenness forming means, the resin supply means for supplying the lens resin onto the surface of the workpiece, the resin curing means for curing the supplied lens resin, the unevenness forming means, the resin supply means, and the resin curing means Forming a concavo-convex portion extending in a predetermined direction, supplying a lens resin between adjacent concavo-convex portions, and curing the supplied lens resin. And a control means for driving and controlling the unevenness forming means, the resin supply means, the resin curing means, and the moving means.

特許文献2には、異物による半田付け不良をなくすことを課題とし、チップ部品や抵抗部品がセットされる基板を搬送する搬送コンベヤと、自動半田付け装置と、搬送コンベヤの搬出端と自動半田付け装置の開口部との間に設けられたサブコンベヤとを備え、サブコンベヤの下方にエア吹出孔を有するエアノズルを配置し、エアノズルのエア吹出孔は基板のパターン面に指向していることが開示されている。   In Patent Document 2, it is an object to eliminate a soldering failure due to a foreign object, and a transfer conveyor for transferring a substrate on which chip components and resistance components are set, an automatic soldering device, and an unloading end of the transfer conveyor and automatic soldering. It is disclosed that an air nozzle having an air blowing hole is disposed below the sub conveyor, and the air blowing hole of the air nozzle is directed to the pattern surface of the substrate. Has been.

特開2013−125044号公報JP 2013-125044 A 特開平05−308183号公報JP 05-308183 A

本発明は、レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制するようにしたレンズアレイ製造装置及びレンズアレイ製造方法を提供することを目的としている。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a lens array manufacturing apparatus and a lens array manufacturing method in which foreign matters are prevented from being mixed into a liquid resin serving as a lens.

かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。
請求項1の発明は、基板に隔壁を形成する形成手段と、前記隔壁間における異物を除去する除去手段と、前記除去手段によって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布手段を具備することを特徴とするレンズアレイ製造装置である。
The gist of the present invention for achieving the object lies in the inventions of the following items.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a forming means for forming partition walls on a substrate, a removing means for removing foreign matter between the partition walls, and a liquid resin that becomes a lens between the partition walls after the foreign matter is removed by the removing means. An apparatus for manufacturing a lens array, comprising: a discharge application means for discharging or applying.

請求項2の発明は、前記除去手段、前記形成手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置したことを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイ製造装置である。   According to a second aspect of the present invention, in the lens array manufacturing apparatus according to the first aspect, the removing unit, the forming unit, and the discharge coating unit are arranged in this order.

請求項3の発明は、前記除去手段は、風によって異物を除去し、前記吐出塗布手段を前記除去手段による風から防ぐ防風手段をさらに具備することを特徴とする請求項1又は2に記載のレンズアレイ製造装置である。   The invention according to claim 3 is characterized in that the removing means further comprises a windproof means for removing foreign matter by wind and preventing the discharge applying means from wind by the removing means. This is a lens array manufacturing apparatus.

請求項4の発明は、前記防風手段は、前記形成手段と前記吐出塗布手段の間に配置したことを特徴とする請求項3に記載のレンズアレイ製造装置である。   According to a fourth aspect of the present invention, in the lens array manufacturing apparatus according to the third aspect, the windproof means is disposed between the forming means and the discharge application means.

請求項5の発明は、前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置したことを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイ製造装置である。   A fifth aspect of the present invention is the lens array manufacturing apparatus according to the first aspect, wherein the forming unit, the removing unit, and the discharge coating unit are arranged in this order.

請求項6の発明は、前記除去手段は、風によって異物を除去し、前記除去手段と前記吐出塗布手段の間に配置されており、該吐出塗布手段を該除去手段による風から防ぐ防風手段をさらに具備することを特徴とする請求項5に記載のレンズアレイ製造装置である。   The invention according to claim 6 is characterized in that the removing means removes foreign matter by wind and is disposed between the removing means and the discharge applying means, and a windproof means for preventing the discharge applying means from being blown by the removing means. The lens array manufacturing apparatus according to claim 5, further comprising:

請求項7の発明は、前記防風手段は、平面形状の壁又は前記吐出塗布手段を囲む形状の壁であることを特徴とする請求項3、4、6に記載のレンズアレイ製造装置である。   A seventh aspect of the present invention is the lens array manufacturing apparatus according to any one of the third, fourth, and sixth aspects, wherein the windproof means is a planar wall or a wall surrounding the discharge application means.

請求項8の発明は、前記形成手段によって隔壁を形成する溝における異物を除去する第2の除去手段をさらに具備することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。   The lens array according to any one of claims 1 to 7, further comprising a second removing unit that removes foreign matter in a groove forming a partition wall by the forming unit. It is a manufacturing device.

請求項9の発明は、複数の前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。   A ninth aspect of the present invention is the lens array manufacturing apparatus according to any one of the first to eighth aspects, comprising a plurality of the forming means, the removing means, and the discharge applying means.

請求項10の発明は、前記除去手段は、風を吹き付ける又は風を吸引することによって、異物を除去することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。   The invention according to claim 10 is the lens array manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the removing means removes foreign matter by blowing wind or sucking wind. is there.

請求項11の発明は、前記基板と前記防風手段との間の距離は、前記隔壁の高さ以上であって、レンズ高さ以下であることを特徴とする請求項3、4、6、7、これらの請求項に従属する請求項8から10のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。   According to an eleventh aspect of the present invention, the distance between the substrate and the windproof means is not less than the height of the partition and not more than the lens height. The lens array manufacturing apparatus according to any one of Claims 8 to 10, which is dependent on these claims.

請求項12の発明は、基板に隔壁を形成する形成ステップと、前記隔壁間における異物を除去する除去ステップと、前記除去ステップによって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布ステップを具備することを特徴とするレンズアレイ製造方法である。   According to a twelfth aspect of the present invention, a forming step of forming partition walls on the substrate, a removing step of removing foreign matter between the partition walls, and a liquid resin that becomes a lens between the partition walls after the foreign matter is removed by the removing step. A lens array manufacturing method comprising a discharge application step of discharging or applying.

請求項1のレンズアレイ製造装置によれば、レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the first aspect, it is possible to prevent foreign matters from being mixed into the liquid resin serving as the lens.

請求項2のレンズアレイ製造装置によれば、異物を除去した後に隔壁を形成することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the second aspect, the partition wall can be formed after removing the foreign matter.

請求項3のレンズアレイ製造装置によれば、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the third aspect, the discharge application unit can be prevented from being blown by the removing unit.

請求項4のレンズアレイ製造装置によれば、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the fourth aspect, the discharge application unit can be prevented from being blown by the removing unit.

請求項5のレンズアレイ製造装置によれば、隔壁を形成した後に異物を除去することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the fifth aspect, foreign matters can be removed after the partition walls are formed.

請求項6のレンズアレイ製造装置によれば、異物を除去した後に液体樹脂を吐出又は塗布することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the sixth aspect, the liquid resin can be discharged or applied after removing the foreign matter.

請求項7のレンズアレイ製造装置によれば、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the seventh aspect, the discharge application unit can be prevented from the wind by the removing unit.

請求項8のレンズアレイ製造装置によれば、隔壁を形成する溝における異物を除去することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the eighth aspect, it is possible to remove foreign matters in the grooves forming the partition walls.

請求項9のレンズアレイ製造装置によれば、複数のレンズを生成することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the ninth aspect, a plurality of lenses can be generated.

請求項10のレンズアレイ製造装置によれば、風を吹き付ける又は風を吸引することによって、異物を除去することができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the tenth aspect, foreign matter can be removed by blowing wind or sucking wind.

請求項11のレンズアレイ製造装置によれば、防風手段によって隔壁を破壊せずに、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。   According to the lens array manufacturing apparatus of the eleventh aspect, the discharge applying means can be prevented from the wind by the removing means without destroying the partition wall by the wind preventing means.

請求項12のレンズアレイ製造方法によれば、レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制することができる。   According to the lens array manufacturing method of the twelfth aspect, it is possible to suppress foreign matters from being mixed into the liquid resin to be a lens.

第1の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 1st Embodiment. 第2の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 2nd Embodiment. 基板と風バリアとの間の距離を決定するためのレンズの例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the lens for determining the distance between a board | substrate and a wind barrier. 第3の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 3rd Embodiment. 第4の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 4th Embodiment. 第5の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 5th Embodiment. 第6の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 6th Embodiment. 第7の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 7th Embodiment. 第8の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of arrangement | positioning of each structure in 8th Embodiment. 隔壁を形成して、レンズアレイを製造する方法の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the method of forming a partition and manufacturing a lens array. 曲率制御の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of curvature control.

まず、本実施の形態を説明する前に、その前提となる技術について説明する。なお、この説明は、本実施の形態の理解を容易にすることを目的とするものである。
レンズアレイとは、正立像あるいは倒立像を形成する要素レンズ(レンズエレメント)を複数並列的に配列し、像を重ね合わせて全体で1個の連続像を形成する光学系であり、半円柱のレンズを並べたレンチキュラーレンズ、シリンドリカルレンズ等を含む。例えば、3次元画像(3Dともいう)を表現すること、視線を換えることによって複数の画像を表示すること(チェンジングともいう)ができる。
レンズアレイの作製方法として、隔壁ピン止め方法がある。図10、図11の例を用いて、隔壁ピン止め方法、そして、その隔壁ピン止め方法によるレンズ幅、曲率制御について説明する。
図10は、隔壁を形成して、レンズアレイを製造する方法(隔壁ピン止め方法の原理)の一例を示す説明図である。ここでは、説明を簡単にするために、基板100(例えば、樹脂基板)に対して1つの刃110で隔壁を形成し、1つの樹脂滴下装置1440で樹脂を滴下している。
図10(a1)に例示するように、基板100に対して刃110で切削させる走査を行って溝1032を形成し(基板100に溝1032の切り込みを入れ)、溝1032の両端に隔壁1032a、隔壁1032bを形成する。図10(a2)の例は、刃110が基板100に切り込みを入れた場面の断面を示したものである。
次に、図10(b)に例示するように、刃110をピッチ1430の距離だけ移動させ、切り込みを入れ(溝1034、溝1036)、隔壁1034a、1034b、1036a、1036b等を形成する。ピッチ1430は、隔壁間の距離であり、レンズ幅となる。つまり、ピッチ1430を制御することによって、レンズ幅を制御する。
図10(c)に例示するように、隔壁間(例えば、隔壁1032bと隔壁1034aの間)に、樹脂滴下装置1440によってUV硬化樹脂1062等を吐出(Ejection)する。樹脂の吐出量により曲率制御をする。液状の樹脂として、例えば、UV(UltraViolet radiation)硬化樹脂であるNOA65(Norland Products社製)等がある。なお、UV硬化樹脂とは、紫外線の光エネルギーに反応して液体から固体に化学的に変化する合成樹脂である。また、熱溶融させた高分子(熱可塑性樹脂)であってもよい。
図10(d)に例示するように、図10(c)の例のように吐出又は塗布された液状の樹脂を硬化させることによってレンズを形成する。具体的には、UV硬化樹脂であれば、UV光源1190のUV光照射により硬化させる。熱溶融させた熱可塑性樹脂を用いる場合は、冷却することにより硬化させる。もちろんのことながら、液状の樹脂は硬化させた状態で透明である。
図11は、曲率制御(屈曲面によるピン止め効果)の例を示す説明図である。図11(a)の例に示すように、板状の平らな表面(基板100)にある液体(UV硬化樹脂1062等)の液体界面の接触角をθとする。図11(b)の例に示すように、板状の角(平面となす角の角度α)に液体がある場合は、ピッチ制御によって「接触角>θ+α」を満たすまで移動できない。したがって、基板100の隔壁頂点部の役割として、接触角はθからθ+αまでの任意の角度をとれることとなり、液滴の量により曲率制御を行うことができる(例えば、「J.F.Oliver et al, J.Colloids and interface Sci,59,568(1977)」を参照)。
つまり、この隔壁ピン止め方法は、基板を鋭利な刃で引っ掻くことで隔壁を形成し、その隔壁のピン止め効果により流動性樹脂の流動を抑制する。したがって、所望のレンズピッチで隔壁を形成することで、レンズピッチを規定できる。さらに、その隔壁間に流動性樹脂を吐出することで所望の形状のレンズを形成できる。レンズの曲率(焦点距離)は吐出する流動性樹脂の体積で制御する。
First, before explaining the present embodiment, a technique that is a premise thereof will be described. This description is intended to facilitate understanding of the present embodiment.
A lens array is an optical system in which a plurality of element lenses (lens elements) that form an erect image or an inverted image are arranged in parallel, and the images are overlapped to form a single continuous image as a whole. It includes lenticular lenses, cylindrical lenses, etc. with lenses arranged. For example, a three-dimensional image (also referred to as 3D) can be expressed, and a plurality of images can be displayed (also referred to as changing) by changing the line of sight.
As a manufacturing method of the lens array, there is a partition pinning method. The partition pinning method and lens width and curvature control by the partition pinning method will be described with reference to FIGS. 10 and 11.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of a method of manufacturing a lens array by forming partition walls (principle of partition pinning method). Here, in order to simplify the description, a partition wall is formed with one blade 110 on the substrate 100 (for example, a resin substrate), and the resin is dropped with one resin dropping device 1440.
As illustrated in FIG. 10A1, the substrate 100 is scanned with the blade 110 to form a groove 1032 (a groove 1032 is cut into the substrate 100), and partition walls 1032a are formed at both ends of the groove 1032. A partition wall 1032b is formed. The example of FIG. 10A2 shows a cross section of a scene in which the blade 110 has cut into the substrate 100. FIG.
Next, as illustrated in FIG. 10B, the blade 110 is moved by a distance of a pitch 1430, and incisions are made (groove 1034, groove 1036) to form partition walls 1034a, 1034b, 1036a, 1036b, and the like. The pitch 1430 is a distance between the partition walls and is a lens width. That is, the lens width is controlled by controlling the pitch 1430.
As illustrated in FIG. 10C, between the partition walls (for example, between the partition walls 1032b and 1034a), UV curable resin 1062 and the like are ejected (ejection) by the resin dropping device 1440. Curvature is controlled by the amount of resin discharged. Examples of the liquid resin include NOA65 (manufactured by Norland Products), which is a UV (Ultra Violet radiation) curable resin. The UV curable resin is a synthetic resin that chemically changes from a liquid to a solid in response to light energy of ultraviolet rays. Moreover, the polymer (thermoplastic resin) melted by heat may be used.
As illustrated in FIG. 10D, the lens is formed by curing the discharged or applied liquid resin as in the example of FIG. Specifically, if it is a UV curable resin, it is cured by UV light irradiation of a UV light source 1190. In the case of using a hot-melted thermoplastic resin, it is cured by cooling. Of course, the liquid resin is transparent in a cured state.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of curvature control (pinning effect by a bent surface). As shown in the example of FIG. 11A, the contact angle of the liquid interface of the liquid (such as the UV curable resin 1062) on the flat plate-like surface (substrate 100) is defined as θ. As shown in the example of FIG. 11B, when there is liquid at a plate-like corner (angle α formed with a plane), the liquid cannot move until “contact angle> θ + α” is satisfied by pitch control. Therefore, as the role of the partition wall apex portion of the substrate 100, the contact angle can be any angle from θ to θ + α, and the curvature can be controlled by the amount of droplets (for example, “J. F. Oliver et. al, J. Colloids and interface Sci, 59, 568 (1977) ").
That is, in this partition wall pinning method, the partition wall is formed by scratching the substrate with a sharp blade, and the flow of the fluid resin is suppressed by the pinning effect of the partition wall. Therefore, the lens pitch can be defined by forming the partition walls with a desired lens pitch. Furthermore, a lens having a desired shape can be formed by discharging a fluid resin between the partition walls. The curvature (focal length) of the lens is controlled by the volume of the fluid resin to be discharged.

しかしながら、このレンズ作製方法は、流動性樹脂の表面張力を利用していることから、基板面に吸着した異物(以下、ダストという)があると、レンズ形状の歪みや散乱が生じて、光学特性が劣化してしまう。また、ダストの大きさや基板面の位置によっては、流動性樹脂が隔壁を乗り越えて、ピン止め効果を阻害する可能性もある。このようなダストは、空気中の浮遊物であったり、基板やレンズアレイ製造装置から発生する可能性もある。いずれにせよ、作製するレンズアレイの信頼性を高めるには、基板へのダストの付着を避けることが望ましい。   However, since this lens manufacturing method uses the surface tension of the fluid resin, if there is foreign matter (hereinafter referred to as dust) adsorbed on the substrate surface, the lens shape is distorted and scattered, resulting in optical characteristics. Will deteriorate. In addition, depending on the size of the dust and the position of the substrate surface, the fluid resin may get over the partition wall and hinder the pinning effect. Such dust may be suspended in the air, or may be generated from a substrate or a lens array manufacturing apparatus. In any case, in order to increase the reliability of the lens array to be manufactured, it is desirable to avoid the adhesion of dust to the substrate.

以下、図面に基づき本発明を実現するにあたっての好適な各種の実施の形態の例を説明する。
以下に説明する実施の形態では、基板100に隔壁を形成する刃110と、液体樹脂を吐出する樹脂吐出ノズル130と、ダストを除去するエアブロー120とを近接配置(一体化)させる。前述の隔壁ピン止め方法では、基板100全面に隔壁を形成した後に、液体樹脂を吐出することを行っていたが、刃110と樹脂吐出ノズル130とエアブロー120を一体化させることによって、隔壁を形成しながら液体樹脂を吐出することを行う。
Hereinafter, examples of various preferred embodiments for realizing the present invention will be described with reference to the drawings.
In the embodiment described below, a blade 110 that forms a partition wall on a substrate 100, a resin discharge nozzle 130 that discharges a liquid resin, and an air blow 120 that removes dust are arranged close to each other (integrated). In the above-described partition wall pinning method, the liquid resin is discharged after the partition wall is formed on the entire surface of the substrate 100. However, the partition wall is formed by integrating the blade 110, the resin discharge nozzle 130, and the air blow 120. Then, the liquid resin is discharged.

<第1の実施の形態>
第1の実施の形態のレンズアレイ製造装置は、図1の例に示すように、基板に隔壁を形成する形成部の一例である刃110と、その形成部によって形成された隔壁間における異物を除去する除去部の一例であるエアブロー120と、その除去部によって異物が除去された後に、隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布部の一例である樹脂吐出ノズル130を具備している。また、刃110によって、基板100に隔壁を形成する形成ステップが行われ、エアブロー120によって、隔壁間における異物を除去する除去ステップが行われ、樹脂吐出ノズル130によって、前記除去ステップによって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布ステップが行われる。
<First Embodiment>
As shown in the example of FIG. 1, the lens array manufacturing apparatus according to the first embodiment removes foreign matter between a blade 110 that is an example of a forming unit that forms a partition on a substrate and a partition formed by the forming unit. An air blow 120, which is an example of a removal unit to be removed, and a resin discharge nozzle 130, which is an example of a discharge application unit that discharges or applies a liquid resin serving as a lens between the partition walls after foreign matter is removed by the removal unit. ing. Further, a forming step for forming a partition wall on the substrate 100 is performed by the blade 110, a removing step for removing foreign matter between the partition walls is performed by the air blow 120, and the foreign matter is removed by the removing step by the resin discharge nozzle 130. Thereafter, a discharge application step of discharging or applying a liquid resin to be a lens between the partition walls is performed.

刃110、樹脂吐出ノズル130は、前述した隔壁ピン止め方法におけるものと同等の処理を行う。
エアブロー120は、風を吹き付けるブローによりダストを基板100(特に、レンズを形成する場所である隔壁間)から除去する。さらに、ブローで飛散したダストを集塵(付着や吸引など)する装置を付加してもよい。
図1は、第1の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図1(a)の例は、基板100、刃110、エアブロー120の位置関係を正面から見た図である。エアブロー120は、基板100に形成された隔壁間にあるダストを吹き飛ばすように、刃110の隣(正面から見た場合の隣)に配置されている。
図1(b)の例は、基板100、樹脂吐出ノズル130、刃110、エアブロー120の位置関係を側面から見た図であり、移動方向180は基板100を右から左に移動させるものとした場合である。したがって、隔壁は左から右方向に形成される。なお、基板100を移動させるのではなく、一体となった樹脂吐出ノズル130、刃110、エアブロー120を移動方向180とは逆方向に移動させてもよいし、両者を互いに逆方向に移動させてもよい。つまり、エアブロー120によってダストを除去した後に、樹脂吐出ノズル130によってレンズを形成するのであれば、移動主体、移動方向は問わない。以下の実施の形態についても同様である。
側面から見た場合、エアブロー120、刃110、樹脂吐出ノズル130の順番に並べて配置している。樹脂吐出ノズル130が吐出又は塗布する液体樹脂に対する風の影響を低減させるために、エアブロー120(特に吹き出し口)と樹脂吐出ノズル130(特に樹脂出口)とが離れた状態になるように配置している。
さらに、エアブロー120の吹き出し方向を前方(吐出ノズルから離れる方向)に向けることが望ましい。
The blade 110 and the resin discharge nozzle 130 perform the same processing as that in the partition pinning method described above.
The air blow 120 removes dust from the substrate 100 (particularly, between the partition walls where the lens is formed) by blowing air. Further, a device for collecting (attaching or sucking) dust scattered by blowing may be added.
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component in the first embodiment. The example of FIG. 1A is a view of the positional relationship of the substrate 100, the blade 110, and the air blow 120 as viewed from the front. The air blow 120 is disposed next to the blade 110 (next to the front view) so as to blow away dust existing between the partition walls formed on the substrate 100.
The example of FIG. 1B is a view of the positional relationship of the substrate 100, the resin discharge nozzle 130, the blade 110, and the air blow 120 as viewed from the side, and the moving direction 180 moves the substrate 100 from right to left. Is the case. Therefore, the partition is formed from left to right. Instead of moving the substrate 100, the integrated resin discharge nozzle 130, blade 110, and air blow 120 may be moved in a direction opposite to the moving direction 180, or both may be moved in directions opposite to each other. Also good. That is, as long as the lens is formed by the resin discharge nozzle 130 after the dust is removed by the air blow 120, the moving main body and the moving direction are not limited. The same applies to the following embodiments.
When viewed from the side, the air blow 120, the blade 110, and the resin discharge nozzle 130 are arranged in this order. In order to reduce the influence of the wind on the liquid resin discharged or applied by the resin discharge nozzle 130, the air blow 120 (particularly the blowout port) and the resin discharge nozzle 130 (particularly the resin outlet) are arranged in a separated state. Yes.
Furthermore, it is desirable to direct the blowing direction of the air blow 120 forward (a direction away from the discharge nozzle).

<第2の実施の形態>
図2は、第2の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。なお、第1の実施の形態と同種の部位には同一符号を付し重複した説明を省略する(以下、同様)。
図2(a)の例は、基板100、刃110、エアブロー120、風バリア240の位置関係を正面から見た図である。図2(b)の例は、基板100、樹脂吐出ノズル130、風バリア240、刃110、エアブロー120の位置関係を側面から見た図である。側面から見た場合、エアブロー120、刃110、風バリア240、樹脂吐出ノズル130の順番に並べて配置している。つまり、風バリア240は、刃110と樹脂吐出ノズル130の間に配置されている。風バリア240は、樹脂吐出ノズル130をエアブロー120による風から防ぐ。つまり、エアブロー120による風により、樹脂吐出ノズル130から吐出又は塗布される液体樹脂の位置が影響を受けないように、空気の流れを遮断する風バリア240を具備したものである。
<Second Embodiment>
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component in the second embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the site | part of the same kind as 1st Embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted (hereinafter the same).
The example of FIG. 2A is a view of the positional relationship of the substrate 100, the blade 110, the air blow 120, and the wind barrier 240 as viewed from the front. The example of FIG.2 (b) is the figure which looked at the positional relationship of the board | substrate 100, the resin discharge nozzle 130, the wind barrier 240, the blade 110, and the air blow 120 from the side surface. When viewed from the side, the air blow 120, the blade 110, the wind barrier 240, and the resin discharge nozzle 130 are arranged in this order. That is, the wind barrier 240 is disposed between the blade 110 and the resin discharge nozzle 130. The wind barrier 240 prevents the resin discharge nozzle 130 from being blown by the air blow 120. That is, the wind barrier 240 is provided to block the air flow so that the position of the liquid resin discharged or applied from the resin discharge nozzle 130 is not affected by the air blow 120.

ここでの風バリア240は、平面形状の壁である。
基板100と風バリア240との間の距離は、隔壁の高さ以上であって、レンズ高さ以下であることが望ましい。図2(a)の例に示す、隔壁の頂点から風バリア240の下辺までのギャップ290について説明する。図3は、基板100と風バリア240との間の距離を決定するためのレンズの例を示す説明図である。刃110によって溝340、溝342が形成され、その両側にそれぞれ隔壁340aと隔壁340b、隔壁342aと隔壁342bが形成される。そして、隔壁340bと隔壁342aとの間に液体樹脂を吐出又は塗布してレンズ300を形成する。サグ310は、基板100からレンズ300の頂点までの距離を示している。レンズサイズ320は、隔壁340b(隔壁342b)の頂点からレンズ300の頂点までの距離である。ギャップ290は、レンズサイズ320以下が望ましい。
また、風バリア240の幅(図2(a)における幅)は、溝間隔以下の長さであることが望ましい。基板100と風バリア240との間の距離をレンズ高さ以下とした場合、溝間隔よりも長いと隣接するレンズを破壊してしまう可能性があるからである。
Here, the wind barrier 240 is a planar wall.
The distance between the substrate 100 and the wind barrier 240 is preferably not less than the height of the partition and not more than the lens height. A gap 290 from the top of the partition wall to the lower side of the wind barrier 240 shown in the example of FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating an example of a lens for determining the distance between the substrate 100 and the wind barrier 240. A groove 340 and a groove 342 are formed by the blade 110, and a partition 340a and a partition 340b, and a partition 342a and a partition 342b are formed on both sides thereof. Then, a liquid resin is discharged or applied between the partition wall 340b and the partition wall 342a to form the lens 300. A sag 310 indicates the distance from the substrate 100 to the apex of the lens 300. The lens size 320 is a distance from the vertex of the partition wall 340b (partition wall 342b) to the vertex of the lens 300. The gap 290 preferably has a lens size of 320 or less.
Further, the width of the wind barrier 240 (the width in FIG. 2A) is desirably a length equal to or shorter than the groove interval. This is because if the distance between the substrate 100 and the wind barrier 240 is equal to or smaller than the lens height, the adjacent lens may be destroyed if it is longer than the groove interval.

<第3の実施の形態>
図4は、第3の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図4に示す例は、図1に示す例における刃110とエアブロー120の前後の位置関係を逆にしたものである。
図4(a)の例は、基板100、刃110、エアブロー120の位置関係を正面から見た図である。
図4(b)の例は、基板100、樹脂吐出ノズル130、エアブロー120、刃110の位置関係を側面から見た図であり、移動方向180は基板100を右から左に移動させるものとした場合である。側面から見た場合、刃110、エアブロー120、樹脂吐出ノズル130の順番に並べて配置している。刃110によって発生するダストを除去するために、刃110の後ろにエアブロー120を配置している。
<Third Embodiment>
FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component in the third embodiment. The example shown in FIG. 4 is obtained by reversing the positional relationship between the blade 110 and the air blow 120 in the example shown in FIG.
The example of FIG. 4A is a view of the positional relationship of the substrate 100, the blade 110, and the air blow 120 as seen from the front.
The example of FIG. 4B is a view of the positional relationship of the substrate 100, the resin discharge nozzle 130, the air blow 120, and the blade 110 as viewed from the side, and the moving direction 180 moves the substrate 100 from right to left. Is the case. When viewed from the side, the blade 110, the air blow 120, and the resin discharge nozzle 130 are arranged in this order. In order to remove dust generated by the blade 110, an air blow 120 is disposed behind the blade 110.

<第4の実施の形態>
図5は、第4の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図5に示す例は、図2に示す例における刃110とエアブロー120の前後の位置関係を逆にしたものである。また、図4に示す例における樹脂吐出ノズル130とエアブロー120の間に風バリア240を配置したものである。
図5(a)の例は、基板100、刃110、エアブロー120、風バリア240の位置関係を正面から見た図である。図5(b)の例は、基板100、樹脂吐出ノズル130、風バリア240、エアブロー120、刃110の位置関係を側面から見た図である。側面から見た場合、刃110、エアブロー120、風バリア240、樹脂吐出ノズル130の順番に並べて配置している。つまり、風バリア240は、エアブロー120と樹脂吐出ノズル130の間に配置されている。風バリア240は、樹脂吐出ノズル130をエアブロー120による風から防ぐ。つまり、エアブロー120による風により、樹脂吐出ノズル130から吐出又は塗布される液体樹脂の位置が影響を受けないように、空気の流れを遮断する風バリア240を具備したものである。
<Fourth embodiment>
FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component according to the fourth embodiment. The example shown in FIG. 5 is obtained by reversing the positional relationship between the blade 110 and the air blow 120 in the example shown in FIG. Further, a wind barrier 240 is disposed between the resin discharge nozzle 130 and the air blow 120 in the example shown in FIG.
The example of FIG. 5A is a view of the positional relationship between the substrate 100, the blade 110, the air blow 120, and the wind barrier 240 as viewed from the front. The example of FIG. 5B is a view of the positional relationship among the substrate 100, the resin discharge nozzle 130, the wind barrier 240, the air blow 120, and the blade 110 viewed from the side. When viewed from the side, the blade 110, the air blow 120, the wind barrier 240, and the resin discharge nozzle 130 are arranged in this order. That is, the wind barrier 240 is disposed between the air blow 120 and the resin discharge nozzle 130. The wind barrier 240 prevents the resin discharge nozzle 130 from being blown by the air blow 120. That is, the wind barrier 240 is provided to block the air flow so that the position of the liquid resin discharged or applied from the resin discharge nozzle 130 is not affected by the air blow 120.

<第5の実施の形態>
図6は、第5の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図6に示す例は、図5に示す例における風バリア240を風バリア640にしたものである。風バリア640は、樹脂吐出ノズル130を囲む形状の壁である。この形状として、例えば、矩形形状、矩形の1辺が欠けた形状(コの字形状)、筒形状、図6(c)の例に示すような円弧形状等がある。平面形状よりも風の影響を低減させるものである。
図6(a)の例は、基板100、刃110、エアブロー120、風バリア640の位置関係を正面から見た図である。図6(b)の例は、基板100、樹脂吐出ノズル130、風バリア640、エアブロー120、刃110の位置関係を側面から見た図である。側面から見た場合、刃110、エアブロー120、風バリア640、樹脂吐出ノズル130の順番に並べて配置している。つまり、風バリア640は、エアブロー120と樹脂吐出ノズル130の間に配置されている。風バリア640は、樹脂吐出ノズル130をエアブロー120による風から防ぐ。つまり、エアブロー120による風により、樹脂吐出ノズル130から吐出又は塗布される液体樹脂の位置が影響を受けないように、空気の流れを遮断する風バリア640を具備したものである。図6(c)の例は、樹脂吐出ノズル130、風バリア640、エアブロー120、刃110の位置関係を上面から見た図である。風バリア640は、樹脂吐出ノズル130を囲むような形状であり、少なくともエアブロー120との間に壁を形成している。なお、エアブロー120は、主に隔壁間のダストを除去するために、刃110より上方向に配置されており、樹脂吐出ノズル130とエアブロー120は互いに隔壁間の上にあるため、直線状に配置されている。
また、もちろんのことながら、図3に示す例における風バリア240を風バリア640にしてもよい。
<Fifth embodiment>
FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component according to the fifth embodiment. In the example shown in FIG. 6, the wind barrier 240 in the example shown in FIG. The wind barrier 640 is a wall having a shape surrounding the resin discharge nozzle 130. Examples of this shape include a rectangular shape, a shape in which one side of the rectangle is missing (a U-shape), a cylindrical shape, and an arc shape as shown in the example of FIG. The effect of wind is reduced compared to the planar shape.
The example of FIG. 6A is a view of the positional relationship of the substrate 100, the blade 110, the air blow 120, and the wind barrier 640 as seen from the front. The example of FIG. 6B is a view of the positional relationship among the substrate 100, the resin discharge nozzle 130, the wind barrier 640, the air blow 120, and the blade 110 viewed from the side. When viewed from the side, the blade 110, the air blow 120, the wind barrier 640, and the resin discharge nozzle 130 are arranged in this order. That is, the wind barrier 640 is disposed between the air blow 120 and the resin discharge nozzle 130. The wind barrier 640 prevents the resin discharge nozzle 130 from being blown by the air blow 120. That is, the wind barrier 640 is provided to block the air flow so that the position of the liquid resin discharged or applied from the resin discharge nozzle 130 is not affected by the air blow 120. The example of FIG. 6C is a view of the positional relationship among the resin discharge nozzle 130, the wind barrier 640, the air blow 120, and the blade 110 as viewed from above. The wind barrier 640 has a shape surrounding the resin discharge nozzle 130, and forms a wall at least with the air blow 120. The air blow 120 is disposed above the blade 110 mainly to remove dust between the partition walls, and the resin discharge nozzle 130 and the air blow 120 are disposed between the partition walls, so that they are disposed in a straight line. Has been.
Of course, the wind barrier 240 in the example shown in FIG.

<第6の実施の形態>
図7は、第6の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図7に示す例は、図6に示す例にエアブロー720を付加したものである。つまり、エアブロー720は、刃110によって隔壁を形成する溝における異物を除去する。隔壁間だけでなく、溝における異物についても除去対象としたものである。また、刃110の後ではなく、刃110の前にエアブロー720を配置してもよいし、刃110の前と後の両方にエアブロー720を2つ配置するようにしてもよい。
また、もちろんのことながら、図1から図5に示す例において、刃110の後、前、前と後の両方のいずれかにエアブロー720を配置するようにしてもよい。
<Sixth Embodiment>
FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component in the sixth embodiment. The example shown in FIG. 7 is obtained by adding an air blow 720 to the example shown in FIG. That is, the air blow 720 removes foreign matter in the groove forming the partition wall by the blade 110. Not only between the partition walls but also foreign matters in the grooves are targeted for removal. In addition, the air blow 720 may be disposed in front of the blade 110 instead of after the blade 110, or two air blows 720 may be disposed both in front of and behind the blade 110.
Needless to say, in the example shown in FIGS. 1 to 5, the air blow 720 may be arranged at the rear of the blade 110, at the front, or at both the front and the rear.

<第7の実施の形態>
図8は、第7の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図8に示す例は、図2、図5に示す例を複数(マルチヘッド、アレイ)化したものである。つまり、それぞれ複数の刃110(図8の例では刃810a等)、エアブロー120(図8の例ではエアブローノズル820a等)、樹脂吐出ノズル130があり、1つの風バリア840がある。
なお、第7の実施の形態における風バリア840の幅は、前述のシングルヘッドの場合と同様に、風バリア840の幅Bは1スキャンで作製可能なレンズ幅以下(B≦NΛ)にする。
風バリア840の幅Bは、マルチヘッドの両端の溝間隔(図8の例では、刃810aと刃810dによって生成される溝間隔)と同じであることが望ましい(B=NΛ)。これより大きいと、既に作成された隣接するレンズに接触してしまうからである。なお、前述の式において、溝の周期はΛであり、樹脂ノズル数はNであり、風バリアの幅はBである。
もちろんのことながら、図1、図4に示す例を複数化してもよい。また、図6、図7に示す例を複数化してもよい。この場合、風バリア640も複数化する。
<Seventh embodiment>
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an arrangement example of each component in the seventh embodiment. The example shown in FIG. 8 is obtained by making the examples shown in FIGS. 2 and 5 into a plurality (multihead, array). That is, there are a plurality of blades 110 (blade 810a and the like in the example of FIG. 8), an air blow 120 (air blow nozzle 820a and the like in the example of FIG. 8), a resin discharge nozzle 130, and one wind barrier 840.
Note that the width of the wind barrier 840 in the seventh embodiment is set so that the width B of the wind barrier 840 is equal to or smaller than the lens width that can be produced in one scan (B ≦ NΛ), as in the case of the single head described above.
The width B of the wind barrier 840 is preferably the same as the groove interval between both ends of the multi-head (the groove interval generated by the blade 810a and the blade 810d in the example of FIG. 8) (B = NΛ). If it is larger than this, it will come into contact with the adjacent lens already created. In the above equation, the groove period is Λ, the number of resin nozzles is N, and the width of the wind barrier is B.
Of course, a plurality of examples shown in FIGS. 1 and 4 may be used. Further, a plurality of examples shown in FIGS. 6 and 7 may be provided. In this case, a plurality of wind barriers 640 are also provided.

<第8の実施の形態>
図9は、第8の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。第8の実施の形態は、図5の例に示す第4の実施の形態のエアブロー120を吸引ノズル920にしたものである。他の実施の形態(第1〜3の実施の形態、第5〜7の実施の形態)におけるエアブロー120を吸引ノズル920にしてもよい。吸引ノズル920は、風を吸引することによって、基板100(特に隔壁間)からダストを除去する。エアブロー120に比べてダストの飛散を低減できるため、集塵しやすい。
なお、ダストを除去する方法として、(A)エアブロー120によるブロー、(B)吸引ノズル920による吸引以外に、以下の方法を採用してもよい。
(C)ブラシや粘着シート等を用いた付着除去を用いてもよい。エアブロー120によるブロー、吸引ノズル920による吸引では除去できない付着力の強いダストを除去する。例えば、ローラー状の粘着テープを用いる。また、粘着シート等は、エアブロー120によるブローにより飛散したダストの回収(集塵)にも利用可能である。
(D)静電除去(イオナイザー)を用いてもよい。ダストと基板100との静電的な付着力を低減する。エアブロー120によるブロー、吸引ノズル920による吸引と併用して、ダストを除去しやすくする。
また、(A)と(C)の組み合わせ、(A)と(D)の組み合わせ、(A)と(C)と(D)の組み合わせ、(B)と(C)の組み合わせ、(B)と(D)の組み合わせ、(B)と(C)と(D)の組み合わせ、(C)と(D)の組み合わせとしてもよい。
<Eighth Embodiment>
FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an arrangement example of each component according to the eighth embodiment. In the eighth embodiment, the air nozzle 120 of the fourth embodiment shown in the example of FIG. The air blow 120 in other embodiments (first to third embodiments, fifth to seventh embodiments) may be the suction nozzle 920. The suction nozzle 920 removes dust from the substrate 100 (particularly between the partition walls) by sucking wind. Since dust scattering can be reduced as compared with the air blow 120, it is easy to collect dust.
As a method for removing dust, in addition to (A) blow by air blow 120 and (B) suction by suction nozzle 920, the following method may be adopted.
(C) Adhesion removal using a brush or an adhesive sheet may be used. Dust with strong adhesion that cannot be removed by air blow 120 and suction nozzle 920 is removed. For example, a roller-like adhesive tape is used. The adhesive sheet or the like can also be used for collecting (collecting dust) dust scattered by blowing with the air blow 120.
(D) Electrostatic removal (ionizer) may be used. The electrostatic adhesion force between the dust and the substrate 100 is reduced. In combination with the blow by the air blow 120 and the suction by the suction nozzle 920, dust is easily removed.
Also, a combination of (A) and (C), a combination of (A) and (D), a combination of (A) and (C) and (D), a combination of (B) and (C), (B) and A combination of (D), a combination of (B), (C), and (D), or a combination of (C) and (D) may be used.

なお、前述の実施の形態では、樹脂吐出ノズル130、刃110、エアブロー120(吸引ノズル920)、又は風バリア240を近接配置する例を示したが、さらに、露光装置であるUV光源1190を含めて近接配置するようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the example in which the resin discharge nozzle 130, the blade 110, the air blow 120 (suction nozzle 920), or the wind barrier 240 are disposed close to each other has been described, but the UV light source 1190 that is an exposure apparatus is further included. May be arranged close to each other.

上述した実施の形態は、本発明の実施の形態の一部である。ただし、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。   The above-described embodiments are a part of the embodiments of the present invention. However, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

100…基板
110…刃
120…エアブロー
130…樹脂吐出ノズル
180…移動方向
240…風バリア
290…ギャップ
300…レンズ
310…サグ
320…レンズサイズ
340…溝
340a…隔壁
340b…隔壁
640…風バリア
720…エアブロー
810…刃
820…エアブローノズル
840…風バリア
920…吸引ノズル
1190…UV光源
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Board | substrate 110 ... Blade 120 ... Air blow 130 ... Resin discharge nozzle 180 ... Movement direction 240 ... Wind barrier 290 ... Gap 300 ... Lens 310 ... Sag 320 ... Lens size 340 ... Groove 340a ... Partition 340b ... Partition 640 ... Wind barrier 720 ... Air blow 810 ... Blade 820 ... Air blow nozzle 840 ... Wind barrier 920 ... Suction nozzle 1190 ... UV light source

Claims (12)

基板に隔壁を形成する形成手段と、
前記隔壁間における異物を除去する除去手段と、
前記除去手段によって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布手段
を具備することを特徴とするレンズアレイ製造装置。
Forming means for forming partition walls on the substrate;
Removing means for removing foreign matter between the partition walls;
An apparatus for manufacturing a lens array, comprising: a discharge application unit that discharges or applies a liquid resin to be a lens between the partition walls after foreign substances are removed by the removal unit.
前記除去手段、前記形成手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置した
ことを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the removing unit, the forming unit, and the discharge coating unit are arranged in this order.
前記除去手段は、風によって異物を除去し、
前記吐出塗布手段を前記除去手段による風から防ぐ防風手段
をさらに具備することを特徴とする請求項1又は2に記載のレンズアレイ製造装置。
The removing means removes foreign matter by wind,
The lens array manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising a windproof unit that prevents the discharge application unit from being blown by the removing unit.
前記防風手段は、前記形成手段と前記吐出塗布手段の間に配置した
ことを特徴とする請求項3に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to claim 3, wherein the windproof unit is disposed between the forming unit and the discharge application unit.
前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置した
ことを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the forming unit, the removing unit, and the discharge coating unit are arranged in this order.
前記除去手段は、風によって異物を除去し、
前記除去手段と前記吐出塗布手段の間に配置されており、該吐出塗布手段を該除去手段による風から防ぐ防風手段
をさらに具備することを特徴とする請求項5に記載のレンズアレイ製造装置。
The removing means removes foreign matter by wind,
6. The lens array manufacturing apparatus according to claim 5, further comprising a windproof unit that is disposed between the removing unit and the discharge applying unit and prevents the discharge applying unit from being blown by the removing unit.
前記防風手段は、平面形状の壁又は前記吐出塗布手段を囲む形状の壁である
ことを特徴とする請求項3、4、6に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to claim 3, 4 or 6, wherein the windproof means is a planar wall or a wall surrounding the discharge application means.
前記形成手段によって隔壁を形成する溝における異物を除去する第2の除去手段
をさらに具備することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 7, further comprising: a second removing unit that removes foreign matter in a groove forming a partition wall by the forming unit.
複数の前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段を有する
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising a plurality of the forming unit, the removing unit, and the discharge applying unit.
前記除去手段は、風を吹き付ける又は風を吸引することによって、異物を除去する
ことを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
The lens array manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the removing unit removes foreign matter by blowing wind or sucking wind.
前記基板と前記防風手段との間の距離は、前記隔壁の高さ以上であって、レンズ高さ以下である
ことを特徴とする請求項3、4、6、7、これらの請求項に従属する請求項8から10のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
The distance between the substrate and the windproof means is not less than the height of the partition and not more than the lens height. The claims 3, 4, 6, 7 and dependent on these claims The lens array manufacturing apparatus according to any one of claims 8 to 10.
基板に隔壁を形成する形成ステップと、
前記隔壁間における異物を除去する除去ステップと、
前記除去ステップによって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布ステップ
を具備することを特徴とするレンズアレイ製造方法。
Forming a partition on the substrate;
A removal step of removing foreign matter between the partition walls;
A lens array manufacturing method comprising: a discharge application step of discharging or applying a liquid resin to be a lens between the partition walls after foreign substances are removed by the removal step.
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