KR102279275B1 - Printing Apparatus and Method for Forming Patterns Using the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 미경화 불량을 방지하고 패턴 형성된 층간 정렬의 정확성을 꾀한 인쇄 장치 및 이를 이용한 패턴 형성 방법에 관한 것으로, 본 발명의 인쇄 장치는 내부에 발광부를 갖고, 표면이 투명한 실린더 형상의 인쇄 롤과, 상기 인쇄 롤 표면에 장착되며, 돌출 패턴을 구비한 롤 몰드와, 상기 인쇄 롤과 인접하며, 상기 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤과의 사이에 이송된 기재와 접하는 백업 롤과, 상기 기재의 진행 방향에서 상기 인쇄 롤에 앞서 상기 롤 몰드와 상기 기재의 면접촉 여부를 조절하는 접촉 제어 롤 및 상기 롤 몰드 주변에 위치한 검사 카메라를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a printing apparatus that prevents uncured defects and achieves accuracy of pattern-formed interlayer alignment, and a pattern formation method using the same. , a backup roll mounted on the surface of the printing roll, a roll mold having a protruding pattern, adjacent to the printing roll, and in contact with the substrate transferred between the printing roll on which the roll mold is mounted, and the progress of the substrate It characterized in that it comprises a contact control roll for controlling whether the surface contact between the roll mold and the substrate prior to the printing roll in the direction and an inspection camera located around the roll mold.

Description

인쇄 장치 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 {Printing Apparatus and Method for Forming Patterns Using the Same}Printing Apparatus and Method for Forming Patterns Using the Same}

본 발명은 인쇄 장치에 관한 것으로, 특히 미경화 불량을 방지하고 패턴 형성된 층간 정렬의 정확성을 꾀한 인쇄 장치 및 이를 이용한 패턴 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printing apparatus, and more particularly, to a printing apparatus which prevents uncured defects and achieves accuracy of pattern-formed interlayer alignment, and a pattern formation method using the same.

최근 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비 전력화의 우수한 성능을 지닌 여러가지 다양한 평판 표시 장치 (Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(CRT: Cathode Ray Tube)을 빠르게 대체하고 있다.Recently, as we enter the information age in earnest, the field of display that visually expresses electrical information signals has developed rapidly, and in response to this, various flat display devices with excellent performance of thinness, light weight, and low power consumption have been developed. It has been developed and is rapidly replacing the existing cathode ray tube (CRT).

이 같은 평판 표시 장치의 구체적인 예로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel Device: PDP), 전계방출 표시 장치(Field Emission Display Device: FED), 전기발광 표시 장치 (Electro Luminescence Display Device: ELD) 등을 들 수 있는데, 이들은 공통적으로 화상을 구현하는 평판 표시 패널을 필수적인 구성요소로 하는 바, 평판 표시패널은 고유의 발광 또는 광학 이방성을 갖는 물질층을 사이에 두고 한쌍의 투명 절연기판을 대면 합착시킨 구성을 갖는다.Specific examples of such flat panel display devices include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (FED), an electroluminescence display ( Electro Luminescence Display Device (ELD), etc., which commonly use a flat panel display panel that implements an image as an essential component, and the flat panel display panel is a pair of flat panel display panels with a material layer having inherent light emission or optical anisotropy interposed therebetween. It has a structure in which a transparent insulating substrate of

이러한 평판 표시 장치는 증착(코팅) 공정, 마스크를 이용하는 노광 공정, 현상 공정 및 식각 공정 등을 포함하는 포토리소그래피 방식에 의해 형성되는 다수의 박막으로 이루어진다. 그러나, 이러한 포토리소그래피 방식은 제조 공정이 복잡하여 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다. 이에 따라, 근래에는 포토리소그래피 방식과 달리 마스크의 사용을 배제하는 인쇄 방식이 제안되고 있다.The flat panel display includes a plurality of thin films formed by a photolithography method including a deposition (coating) process, an exposure process using a mask, a developing process, and an etching process. However, the photolithography method has a problem in that the manufacturing process is complicated and thus the manufacturing cost is increased. Accordingly, in recent years, a printing method excluding the use of a mask, unlike the photolithography method, has been proposed.

본 발명의 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것이며 특히 인쇄 장치에 대해 안출한 것으로 미경화 불량을 방지하고 패턴 형성된 층간 정렬의 정확성을 꾀한 인쇄 장치 및 이를 이용한 패턴 형성 방법에 관한 것이다.In order to solve the above problems of the present invention, and in particular, it is devised for a printing device, and relates to a printing device which prevents uncured defects and achieves accuracy of pattern-formed interlayer alignment, and a pattern formation method using the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 인쇄 장치는 내부에 발광부를 갖고, 표면이 투명한 실린더 형상의 인쇄 롤과, 상기 인쇄 롤 표면에 장착되며, 돌출 패턴을 구비한 롤 몰드와, 상기 인쇄 롤과 인접하며, 상기 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤과의 사이에 이송된 기재와 접하는 백업 롤과, 상기 기재의 진행 방향에서 상기 인쇄 롤에 앞서 상기 롤 몰드와 상기 기재의 면접촉 여부를 조절하는 접촉 제어 롤 및 상기 롤 몰드 주변에 위치한 검사 카메라를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 따라서, 패턴 형성시 기재의 면접촉이 가능하며, 검사 카메라를 통해 복수층이 있을 때, 이전 층의 패턴에 대응되어 형성될 패턴의 위치를 검사하며 패턴 형성이 이루어질 수 있어, 층별 패턴의 정렬의 정확성이 얻어진다.The printing apparatus of the present invention for achieving the above object includes a printing roll having a light emitting part therein and having a transparent surface, a roll mold mounted on the surface of the printing roll and having a protruding pattern, and the printing roll A backup roll adjacent to and in contact with the substrate transferred between the printing roll equipped with the roll mold, and a contact controlling whether the roll mold and the substrate are in surface contact before the printing roll in the moving direction of the substrate It characterized in that it comprises a control roll and an inspection camera located around the roll mold. Therefore, the surface contact of the substrate is possible during pattern formation, and when there are multiple layers through the inspection camera, the pattern formation can be made by inspecting the position of the pattern to be formed corresponding to the pattern of the previous layer, so that the alignment of the pattern by layer can be achieved. Accuracy is obtained.

또한, 상술한 인쇄 장치를 이용한 패턴 형성 방법은, 기판 상에 제 1 패턴 형성층을 포함한 기재를 준비하는 단계와, 표면이 투명한 실린더 형상이며, 상기 표면에 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤과, 백업롤 사이에 들어오도록, 상기 기재를 이송시키는 단계 및 상기 기재의 진행 방향에서 상기 인쇄 롤에 앞서 있는 접촉 제어 롤을 이용하여 상기 기재를 들어올려, 상기 롤 몰드와 접하는 상기 제 1 패턴 형성층을 면접촉시키며, 면접촉 부위의 제 1 패턴 형성층을 임프린트시키고, 광조사하여 경화된 제 1 패턴을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 기본적인 특징으로 한다.In addition, the pattern forming method using the above-described printing apparatus includes the steps of preparing a substrate including a first pattern forming layer on a substrate, a printing roll having a transparent cylindrical shape and mounting a roll mold on the surface, and a backup roll Lifting the substrate using a contact control roll that precedes the printing roll in the step of transferring the substrate and the moving direction of the substrate to surface-contact the first pattern forming layer in contact with the roll mold, , imprinting the first pattern forming layer of the surface contact portion, and light-irradiated to form a cured first pattern.

또한, 상기 패턴 형성 방법에 이어, 상기 제 1 패턴을 형성하는 단계 후, 상기 인쇄 롤에 장착된 롤 몰드를 제 2 패턴 형성용으로 교체하는 단계와, 상기 제 1 패턴을 포함한 상기 기판 상에 제 2 패턴 형성층을 코팅하는 단계와, 상기 제 2 패턴 형성층을 갖는 상기 기판 상의 얼라인 키를, 상기 인쇄 롤 주변의 카메라를 통해 조사하여 상기 기판과 상기 인쇄 롤을 정렬시키는 단계 및 상기 인쇄 롤에 장착된 제 2 패턴 형성용 롤 몰드를 이용하여 백업 롤 사이에 상기 제 2 패턴 형성층을 임프린트 및 광조사하여 제 2 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하도록 하여, 제 1 패턴 형성 후 제 2 패턴 형성시 제 1 패턴의 위치를 카메라를 통해 파악하며 패턴 형성이 이루어질 수 있어, 층별 패턴의 정렬의 정확성이 얻어진다.In addition, following the pattern forming method, after forming the first pattern, replacing a roll mold mounted on the printing roll for forming a second pattern, and forming the first pattern on the substrate including the first pattern 2 coating the pattern forming layer, irradiating an alignment key on the substrate having the second pattern forming layer through a camera around the print roll to align the substrate and the print roll, and mounting on the print roll The method further comprises the step of forming a second pattern by imprinting and irradiating the second pattern forming layer between the backup rolls using a roll mold for forming the second pattern, so that the second pattern is formed after the first pattern is formed. 1 The position of the pattern can be grasped through the camera and the pattern can be formed, so the accuracy of aligning the pattern for each layer is obtained.

상기와 같은 본 발명의 인쇄 장치 및 이를 이용한 패턴 형성 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The printing apparatus and the pattern forming method using the same of the present invention as described above have the following effects.

본 발명의 인쇄 장치는 기판(기재)의 진행 방향에서 인쇄 롤에 앞서 상기 기판(기재)를 들어올릴 수 있는 접촉 제어 롤을 구비하여, 인쇄 롤과 기판간의 면접촉을 유도하여, 인쇄 롤 내부에서 나오는 광이 골고루 면접촉된 기판 상의 패턴 형성층에 전달되어 형성되는 패턴의 균일성을 꾀할 수 있다.The printing apparatus of the present invention is provided with a contact control roll capable of lifting the substrate (substrate) prior to the printing roll in the advancing direction of the substrate (substrate), to induce surface contact between the printing roll and the substrate, and to The emitted light is uniformly transmitted to the pattern forming layer on the surface-contacted substrate to achieve uniformity of the formed pattern.

또한, 본 발명의 인쇄 장치는 검사 카메라를 인쇄 롤 주변에 구비하고, 이를 인쇄 롤과 함께 이동시켜, 이전 층의 패턴 형성 후, 그 위치 정보를 다음 층의 패턴 형성시 이용하게 하여, 복수층 형성시 패턴간 정렬의 정확성이 얻어진다.In addition, the printing apparatus of the present invention includes an inspection camera around the printing roll, and moves it together with the printing roll, so that after the pattern of the previous layer is formed, the position information is used when the pattern of the next layer is formed, thereby forming a plurality of layers Accuracy of alignment between time patterns is obtained.

또한, 본 발명의 인쇄 장치는 인쇄 롤의 X축, Y축, Z축 이동 및 Θ각 보정이 가능하게 하여, 이전 층의 패턴 형성 후, 다음층의 패턴 형성층의 영역의 정위치에서 벗어났을 경우, 상기 인쇄 롤의 위치를 조정하여, 인쇄 롤에 대응된 다음층의 패턴 형성층과 정상 정렬을 유도할 수 있다.In addition, the printing apparatus of the present invention enables X-axis, Y-axis, Z-axis movement and Θ angle correction of the printing roll, so that, after pattern formation of the previous layer, when the area of the pattern formation layer of the next layer deviates from the original position , by adjusting the position of the printing roll, it is possible to induce normal alignment with the pattern forming layer of the next layer corresponding to the printing roll.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤을 나타낸 단면도 및 사시도
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 패터닝 방법을 나타낸 개략도
도 3a 및 도 3b는 인쇄 장치를 이용한 패턴의 경화시 부분 미경화 상태와 완전 경화 상태를 나타낸 사진
도 4는 본 발명의 인쇄 장치를 위에서 바라본 도면
도 5는 도 4의 인쇄 롤 및 이의 축과 연결부를 나타낸 상면도
도 6은 도 4의 사시도
도 7은 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 패턴 형성 방법을 나타낸 공정 순서도
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 인쇄 장치를 이용하여 제 1 층 인쇄시를 나타낸 평면도 및 단면도
도 9a 및 도 9b는 제 1 실시예에 따른 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 제 2층 인쇄 전 정렬 상태를 나타낸 도면
도 10a 및 도 10b는 제 2 실시예에 따른 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 제 2층 인쇄 전 정렬 상태를 나타낸 도면
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 제 2 층 인쇄시를 나타낸 평면도 및 단면도
1A and 1B are a cross-sectional view and a perspective view showing a printing roll equipped with a roll mold of the present invention;
2A and 2B are schematic views showing a patterning method using the printing apparatus of the present invention;
3a and 3b are photographs showing a partially uncured state and a fully cured state when a pattern is cured using a printing device;
4 is a view from above of the printing apparatus of the present invention;
5 is a top view showing the printing roll of FIG. 4 and its axis and connection part;
Figure 6 is a perspective view of Figure 4
7 is a process flow chart showing a pattern forming method using the printing apparatus of the present invention.
8A and 8B are a plan view and a cross-sectional view showing the first layer printing using the printing apparatus of the present invention;
9A and 9B are views showing an alignment state before printing the second layer using the printing apparatus of the present invention according to the first embodiment;
10A and 10B are views showing an alignment state before printing the second layer using the printing apparatus of the present invention according to the second embodiment;
11A and 11B are a plan view and a cross-sectional view showing the second layer printing using the printing apparatus of the present invention;

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 인쇄 장치 및 이를 이용한 패터닝 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a printing apparatus of the present invention and a patterning method using the same will be described with reference to the accompanying drawings.

이하 설명하는 인쇄 장치는 기본적으로 기재(기판 또는 패턴 형성층이 코팅된 기판)의 이송을 제어하는 제어부를 포함하고, 패턴 형성층 재료를 공급하는 재료 공급부 및 상기 제어부를 작업자가 동작시키도록 특정 키를 포함한 작업 패널을 포함하나, 이들 구성은 통상의 구성은 따른 것으로 생략하며, 주로 패턴 형성층과의 인쇄 롤간의 접촉 정도를 제어할 수 있으며, 또한, 복수의 패턴층들간의 정렬 정도를 분석할 수 있는 인쇄 롤과 그 주변 구성을 구체적으로 살펴본다.The printing apparatus described below basically includes a control unit for controlling the transfer of a substrate (a substrate or a substrate on which a pattern forming layer is coated), a material supply unit for supplying a pattern forming layer material, and a specific key so that an operator operates the control unit. Although the operation panel is included, these configurations are omitted as following the conventional configuration, and can mainly control the degree of contact between the pattern forming layer and the printing roll, and can also analyze the degree of alignment between the plurality of pattern layers. A detailed look at the roll and its surrounding configuration.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤을 나타낸 단면도 및 사시도이다.1A and 1B are cross-sectional and perspective views showing a printing roll mounted with a roll mold of the present invention.

도 1a 및 도 1b와 같이, 본 발명의 인쇄 롤(100)은, 일 방향으로 긴 실린더(cylinder) 형상이며, 실린더의 안쪽에 실린더의 길이의 방향으로 배치된 어레이 상의 발광부(150)를 갖는다. 그리고, 상기 발광부(150)는 하나 이상의 LED 또는 발광 램프가 이격되어 배치되며, 기판 상의 패턴 형성층(미도시)으로 광을 조사(irradiation)할 수 있도록 특정의 조사각 범위(α)를 갖는다. 또한, 상기 발광부(150)의 광원(150a)은 광 조사 영역에서 균일한 에너지의 광 전달을 위해 일정한 이격 간격으로 복수개 구비되는 것이 바람직하다.1A and 1B, the printing roll 100 of the present invention has the shape of a long cylinder in one direction, and has light-emitting portions 150 on an array disposed inside the cylinder in the longitudinal direction of the cylinder. . In addition, the light emitting unit 150 has one or more LEDs or light emitting lamps spaced apart, and has a specific irradiation angle range α to irradiate light to a pattern forming layer (not shown) on the substrate. In addition, it is preferable that a plurality of light sources 150a of the light emitting unit 150 are provided at regular intervals in order to transmit light of uniform energy in the light irradiation area.

여기서, 상기 인쇄 롤(100)의 표면과 롤 몰드(110)는 투명하여, 상기 발광부(150)에서 나오는 광이 조사각 범위에서 인접한 기판(도 2a의 200 참조) 상의 패턴 형성층(도 2a의 210 참조)에 전달된다. Here, the surface of the printing roll 100 and the roll mold 110 are transparent, so that the light emitted from the light emitting unit 150 is emitted from the pattern forming layer (see 200 of FIG. 2A ) on the adjacent substrate (see 200 of FIG. 2A ) in the irradiation angle range. 210)).

그리고, 상기 인쇄 롤(100)의 표면에는, 투명하며, 베이스 필름(110a)과 상기 베이스 필름(110a)으로부터 일정 두께 돌출된 돌출 패턴(110b)으로 이루어진 롤 몰드(110)가 장착되어 있다.A roll mold 110 is mounted on the surface of the printing roll 100 , which is transparent and includes a base film 110a and a protruding pattern 110b protruding from the base film 110a to a predetermined thickness.

또한, 상기 발광부(150)는 온/오프가 제어 가능하며, 패턴 형성층과 롤 몰드(110) 사이의 일정 면적 이상 면접촉을 가질 때, 온 상태를 유지하는 것이 바람직하다. In addition, the light emitting unit 150 can be turned on/off, and it is preferable to maintain the on state when the light emitting unit 150 has surface contact over a predetermined area between the pattern forming layer and the roll mold 110 .

상기 발광부(150)가 조사하는 광은 자외선 광으로, 패턴 형성층은 자외선 경화성 수지를 포함하며, 상기 발광부(150)의 발광 조건은 상기 자외선 경화성 수지의 재질 및 두께에 따라 조절될 수 있다.The light irradiated by the light emitting unit 150 is ultraviolet light, the pattern forming layer includes an ultraviolet curable resin, and the light emitting condition of the light emitting unit 150 may be adjusted according to the material and thickness of the ultraviolet curable resin.

상기 롤 몰드(110)는 또한 플렉서블하며, 상기 인쇄 롤(100)에 탈착이 가능하다. 그리고, 롤 몰드(110)는 대면된 패턴 형성층에 패턴을 정의하기 위한 특정의 돌출 패턴(110)이 구비되기 때문에, 기판 상에 만일 복수층의 다른 패턴을 갖는 층들이 형성된다면, 각 층들에 대해 서로 다른 (돌출) 패턴을 갖는 롤 몰드(110)가 구비될 수 있다. 따라서, 복수층을 동일 인쇄 롤(100)을 이용하여 패턴을 형성한다면, 각 층별 패턴 형성층을 코팅 후, 동일한 인쇄 롤(100)에 해당 패턴을 정의하기 위한 롤 몰드(110)로 교체하여 서로 다른 형상의 복수층의 패턴을 형성 가능하다. 그리고, 상기 롤 몰드(110)의 교체는 이전 층의 패턴을 형성 후 다음 층의 패턴 형성층의 코팅된 면이 공급되기 전까지 사이에 이루어진다.The roll mold 110 is also flexible and detachable from the printing roll 100 . And, since the roll mold 110 is provided with a specific protruding pattern 110 for defining a pattern on the facing pattern forming layer, if layers having a plurality of different patterns are formed on the substrate, for each layer Roll molds 110 having different (protruding) patterns may be provided. Therefore, if a plurality of layers are formed using the same printing roll 100 to form a pattern, the pattern forming layer for each layer is coated, and then replaced with a roll mold 110 for defining the corresponding pattern on the same printing roll 100 and different from each other. It is possible to form a pattern of multiple layers of a shape. And, the replacement of the roll mold 110 is performed between forming the pattern of the previous layer and before the coated surface of the pattern forming layer of the next layer is supplied.

상기 롤 몰드(110)가 갖는 돌출 패턴(110b)은 일예에 한한 것이며, 돌출 패턴(110b)의 간격 및 폭은 1nm ~10mm 단위로 변경 가능 가능하며, 돌출 패턴(110)의 두께는 형성하고자 하는 패턴의 두께에 따라 달라질 수 있다.The protrusion pattern 110b of the roll mold 110 is limited to one example, and the spacing and width of the protruding pattern 110b can be changed in units of 1 nm to 10 mm, and the thickness of the protruding pattern 110 is limited to the desired It may vary depending on the thickness of the pattern.

이하, 본 발명의 인쇄 롤을 이용하여 패터닝 하는 방법에 대해 살펴본다.Hereinafter, a patterning method using the printing roll of the present invention will be described.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 패터닝 방법을 나타낸 개략도이다.2A and 2B are schematic views showing a patterning method using the printing apparatus of the present invention.

도 2a와 같이, 인쇄 롤(100)은, 백업 롤(300)과 인접하게 배치되어, 상기 인쇄 롤(100)과 백업 롤(300) 사이로 기판(200) 상에 패턴 형성층(210)을 포함한 기재가 들어온다. 여기서, 상기 패턴 형성층(210)은 경화되지 않은 재료로 상기 인쇄 롤(100)에 장착된 롤 몰드(110)와 접하여, 대향면에서, 상기 롤 몰드(110)의 돌출 패턴(110b)이 임프린트(imprint)되며, 나머지 재료가 롤 몰드(110)의 요부로 채워져 패턴이 정의된다. 즉, 상기 패턴 형성층(210)에 롤 몰드(110)가 접촉시 패턴 형성층(210)의 미경화 재료는 롤 몰드(110)의 요부에 해당하는 베이스 필름(110a)의 표면까지 닿도록 채워지며, 롤 몰드(110)의 요부에 패턴 형성층(210)의 재료가 채워진 접촉된 상태로 인쇄 롤(100) 내부 발광부(150)의 광조사를 받아 패턴의 정의와 광경화가 함께 진행되는 것이다.As shown in FIG. 2A , the printing roll 100 is disposed adjacent to the backup roll 300 and includes a pattern forming layer 210 on the substrate 200 between the printing roll 100 and the backup roll 300 . comes in Here, the pattern forming layer 210 is an uncured material and is in contact with the roll mold 110 mounted on the printing roll 100, and on the opposite surface, the protruding pattern 110b of the roll mold 110 is imprinted ( imprint), and the remaining material is filled with the recesses of the roll mold 110 to define a pattern. That is, when the roll mold 110 is in contact with the pattern forming layer 210, the uncured material of the pattern forming layer 210 is filled to reach the surface of the base film 110a corresponding to the main portion of the roll mold 110, In a state in which the material of the pattern forming layer 210 is filled in the recesses of the roll mold 110 and in contact with the light irradiation from the light emitting part 150 inside the printing roll 100, the definition of the pattern and the photocuring are performed together.

이러한 패턴 정의 과정에서, 상기 기판(200)의 배면은 상기 백업 롤(300)과 만난다. 상기 백업 롤(300)과 인쇄 롤(100)은 상하 이동(Z축 이동) 및 X,Y축 이동이 가능한 것으로, 패턴 형성층(210)이 코팅된 기판(200)이 공급될 때, 이격되어 있던 백업 롤(300)과 인쇄 롤(100) 사이가 각각 상하 이동을 통해 서로 인접하게 되며, 그 사이에 패턴 형성층(210)이 코팅된 기판(200)이 통과될 수 있는 수준으로 인접하게 유지한다.In this pattern definition process, the back surface of the substrate 200 meets the backup roll 300 . The backup roll 300 and the printing roll 100 are movable up and down (Z-axis movement) and X, Y-axis movement, and when the substrate 200 coated with the pattern forming layer 210 is supplied, spaced apart The backup roll 300 and the printing roll 100 are adjacent to each other through vertical movement, respectively, and the substrate 200 coated with the pattern forming layer 210 therebetween is kept adjacent to a level through which it can pass.

이 경우, 상기 기판(200) 및 패턴 형성층(210)은 일체형으로 인쇄 롤(100)과 백업 롤(300) 사이에 들어오게 되며, 인쇄 롤(100)과 백업 롤(300)이 위 아래에서 접촉 및 압력을 가하며 상기 돌출 패턴(110b) 사이 사이에 채워져 상기 패턴 형성층(210)에 패턴이 정의된다.In this case, the substrate 200 and the pattern forming layer 210 are integrally inserted between the print roll 100 and the backup roll 300, and the print roll 100 and the backup roll 300 are in contact from above and below. and a pressure is applied and filled between the protrusion patterns 110b to define a pattern in the pattern forming layer 210 .

여기서, 상기 기판(200)은 폴리머, 금속, 혹은 얇은 유리 기판이거나 복합 구조물일 수 있으며, 0.01mm 내지 1mm 의 두께 수준에서, 롤투롤(roll-to-roll)로 공급될 수 있는 것이면 된다. 또한, 상기 패턴 형성층(210) 역시 미경화 상태이며, 이는 기판 상에 형성될 수 있는 어느 한 층이 되는 것으로, 1nm 에서 100㎛의 두께로 코팅될 수 있다.Here, the substrate 200 may be a polymer, metal, thin glass substrate, or a composite structure, and may be supplied in a roll-to-roll manner at a thickness level of 0.01 mm to 1 mm. In addition, the pattern forming layer 210 is also in an uncured state, which is any one layer that can be formed on the substrate, and can be coated with a thickness of 1 nm to 100 μm.

그리고, 상기 백업 롤(300)은 상기 인쇄 롤(100)과의 사이의 기재(기판+패턴 형성층)가 맞물려지도록, 인쇄 롤(100)의 형상과 유사한 실린더 상으로 인쇄 롤(100)과 평행하게 길게(지면을 관통하는 방향으로) 형성된다.In addition, the backup roll 300 is parallel to the printing roll 100 on a cylinder similar to the shape of the printing roll 100 so that the substrate (substrate + pattern forming layer) is engaged with the printing roll 100 . It is formed long (in a direction penetrating the ground).

한편, 상기 백업 롤(300)은 상기 기판(200)의 배면에 접촉되는 것으로, 기판(200) 배면에 닿았을 때, 충격이나 손상을 방지하도록 고무 또는 실린더 성분의 블랭킷(310)이 표면에 감겨 있다.On the other hand, the backup roll 300 is in contact with the rear surface of the substrate 200, and when it touches the rear surface of the substrate 200, a blanket 310 of rubber or cylinder component is wound on the surface to prevent impact or damage. have.

그런데, 도 2a는 상기 패턴 형성층(210)이 코팅된 기판(200)의 초입부에 해당하는 것으로 상기 롤 몰드(100)의 돌출 패턴(110b) 사이의 베이스 필름(110a)과 단일의 패턴(210a)이 접하여 있는 상태를 나타내고 있다 (도면을 일 단면으로 단일의 패턴(210a)만 도시된 상태가 나타나 있으나, 상기 인쇄 롤(100)의 길이 방향에 위치한 패턴(210a)이 선상으로 접하여 있다).However, FIG. 2A shows the base film 110a and the single pattern 210a between the protruding patterns 110b of the roll mold 100 as corresponding to the beginning of the substrate 200 coated with the pattern forming layer 210 . ) indicates a state in which only a single pattern 210a is shown in one cross-section of the drawing, but the pattern 210a located in the longitudinal direction of the printing roll 100 is in contact with a line).

이는 평탄하게 들어오는 기판(200) 및 패턴 형성층(210)에 대비하여, 상기 인쇄 롤(100) 및 롤 몰드(110)는 단면상으로 원형이기 때문에, 단면상으로 점 접촉이며, 실린더 형상의 입체 형상으로 고려하면 길이 방향의 선 접촉이 이루어진다.This is in contrast to the substrate 200 and the pattern forming layer 210 coming in flat, since the printing roll 100 and the roll mold 110 are circular in cross-section, they are point contact in cross-section, and are considered as a three-dimensional shape of a cylinder shape. A line contact in the longitudinal direction is made.

만일 패턴 형성층(210)이 코팅된 기판(200)이 도 2b와 같이, 우측 방향으로 진행하고 있다면, 백업 롤(300)과 이격되며 기판 진행 방향에서, 상기 백업 롤(300)에 앞서 위치한 접촉 제어 롤(400)을 승강시켜 상기 기판(200)을 들어올려 상기 패턴 형성층(210)과 상기 롤 몰드(110)의 돌출 패턴(110b)이 일정 면적 이상의 면접촉으로 맞물리도록 하여 상기 발광부(150)가 면접촉된 범위에 고르게 광을 전달하여 면접촉된 부위에서 임프린팅(imprinting-패턴 형성층의 누름) 및 광경화를 동시에 행할 수 있다.If the substrate 200 coated with the pattern forming layer 210 is moving in the right direction, as shown in FIG. 2B , it is spaced apart from the backup roll 300 and is located in front of the backup roll 300 in the substrate moving direction. The light emitting part 150 by lifting the roll 400 to raise the substrate 200 so that the pattern forming layer 210 and the protruding pattern 110b of the roll mold 110 are engaged with a surface contact of a predetermined area or more. By evenly transmitting light to the surface-contacted area, imprinting (pressing the pattern forming layer) and photocuring can be performed simultaneously in the surface-contacted area.

이로써, 상기 패턴 형성층(210)에 미경화된 부분없이 패턴(210a)을 형성할 수 있다.Accordingly, the pattern 210a may be formed on the pattern forming layer 210 without an uncured portion.

만일 상기 접촉 제어 롤(400)의 승강 동작이 없다면, 도 2a와 같이, 롤 몰드(110)를 장착한 인쇄 롤(100)에 대해 패턴 형성층(210)이 선접촉되어, 발광부(150)에서 접촉되어 패턴이 정의된 영역 외에 비접촉 영역까지 조사가 이루어질 수 있어, 임프린트되지 않은 패턴 형성층(210)의 부위까지 경화될 수 있는 문제가 있다. 혹은 발광부(150)의 조사각을 임프린트된 영역에 한하도록 한 경우에는 패턴 형성층과 롤 몰드가 접촉 영역과 비접촉 상태가 혼재된 영역으로 조사되기 때문에, 영역별 균일성이 확보되지 않아 경화가 균일하게 이루어지지 못하는 문제가 있다. 이 경우 미경화된 부분은 얼룩으로 작용할 수 있다. 그리고, 선접촉만 있는 상태로 발광부(150)의 광조사가 이루어진다면 형성된 패턴의 두께 차나 잔막을 유발할 수 있는 문제도 있다.If there is no lifting operation of the contact control roll 400 , as shown in FIG. 2A , the pattern forming layer 210 is in line contact with the printing roll 100 on which the roll mold 110 is mounted, and in the light emitting unit 150 . There is a problem in that the non-imprinted region of the pattern forming layer 210 may be cured because it may be irradiated to the non-contact region in addition to the region where the pattern is defined by contact. Alternatively, when the irradiation angle of the light emitting unit 150 is limited to the imprinted region, since the pattern forming layer and the roll mold are irradiated to the region in which the contact region and the non-contact state are mixed, uniformity of each region is not ensured, so that curing is uniform. There is a problem that cannot be done. In this case, the uncured part can act as a stain. In addition, if the light emitting unit 150 is irradiated with light in a state where there is only line contact, there is a problem that may cause a difference in thickness of the formed pattern or a residual film.

즉, 본 발명의 패턴 형성 방법에 있어서는, 도 2b와 같이, 발광부(150)의 조사가 롤 몰드(110)를 장착한 인쇄 롤(100)이 패턴 형성층(210)가 충분히 면접촉한 상태에서 이루어지게 하여, 패턴의 정의와 광조사를 동시에 적용하여 패턴 형성의 균일성을 확보할 수 있게 한다.That is, in the pattern forming method of the present invention, as shown in FIG. 2b , irradiation of the light emitting unit 150 is performed in a state in which the printing roll 100 equipped with the roll mold 110 is in sufficient surface contact with the pattern forming layer 210 . It is possible to secure the uniformity of pattern formation by simultaneously applying the definition of the pattern and the light irradiation.

여기서, 상기 패턴 형성층(210)이 롤 몰드(100)에 면 접촉하는 경우, 세로 길이 방향에서는 선접촉에서와 같이, 상기 롤 몰드(100)의 길이 방향을 따르는 것으로 동일하겠지만, 도 2b와 같이, 가로 길이 방향에서는 10mm~100mm의 수준으로 면접촉을 가져, 동시에 복수개의 패턴(210a)을 형성할 수 있게 된다. 즉, 롤 몰드(110)의 복수개의 요부에 패턴 형성층(210)이 대응되어, 패턴(210a)의 정의와 경화가 동시에 이루어질 수 있다. 이 때, 상기 패턴(210a)이 형성되는 부위의 면접촉 영역을 커버할 수 있을 정도로, 충분히 발광부(150)의 조사가 이루어질 수 있다.Here, when the pattern forming layer 210 is in surface contact with the roll mold 100, it will be the same in the longitudinal direction as in the line contact, as in the longitudinal direction of the roll mold 100, but as shown in FIG. 2b, In the horizontal and longitudinal direction, it is possible to form a plurality of patterns 210a at the same time by having a surface contact at a level of 10 mm to 100 mm. That is, the pattern forming layer 210 corresponds to the plurality of recesses of the roll mold 110 , so that the pattern 210a can be defined and cured at the same time. In this case, the light emitting part 150 may be sufficiently irradiated to cover the surface contact area of the portion where the pattern 210a is formed.

한편, 상기 접촉 제어 롤(400)은 특정의 승강 동작을 수행하기 위해 백업 롤과 이격하여 별도로 구비할 수도 있고, 혹은 인쇄 장치 내의 기재의 진행을 제어하는 가이드 롤 중 상기 백업 롤 주위에 있는 가이드 롤에 선택적 승강 동작을 겸하도록 하여 특정 시점에만 가이드 롤을 접촉 제어 롤로 이용할 수도 있다.On the other hand, the contact control roll 400 may be provided separately from the backup roll in order to perform a specific lifting operation, or a guide roll located around the backup roll among guide rolls for controlling the progress of the substrate in the printing apparatus. It is also possible to use the guide roll as a contact control roll only at a specific point in time by allowing it to also serve as a selective lifting operation.

도 3a 및 도 3b는 인쇄 장치를 이용한 패턴의 경화시 부분 미경화 상태와 완전 경화 상태를 나타낸 사진이다.3A and 3B are photographs showing a partially uncured state and a fully cured state when a pattern is cured using a printing device.

도 3a는 접촉 제어 롤을 이용하지 않아 롤 몰드에 대해 패턴 형성층에 선접촉만 있을 때, 패턴이 미경화된 부분이 기포 상으로 나타내고 있으며, 도 3b는 접촉 제어 롤을 이용하여, 상기 기판(200) 하면에 접하여 상기 기판(200)을 들어올려, 상기 롤 몰드의 일정한 면적이 상기 기재와의 사이에 틈없이 접촉하며, 광조사가 이루어졌을 때, 미경화된 부분없이 형성된 패턴의 완전 경화가 이루어짐을 나타낸다. 3A shows the uncured portion of the pattern as a bubble when there is only line contact with the pattern forming layer with respect to the roll mold without using the contact control roll, and FIG. 3B shows the substrate 200 using the contact control roll. ) by lifting the substrate 200 in contact with the lower surface, a certain area of the roll mold is in contact with the substrate without gaps, and when light is irradiated, the pattern formed without an uncured part is completely cured. indicates

도 4는 본 발명의 인쇄 장치를 위에서 바라본 도면이며, 도 5는 도 4의 인쇄 롤 및 이의 축과 연결부를 나타낸 상면도이고, 도 6은 도 4의 사시도이다.4 is a view of the printing apparatus of the present invention viewed from above, FIG. 5 is a top view showing the printing roll of FIG. 4 and its shaft and connection part, and FIG. 6 is a perspective view of FIG.

도 4 내지 도 6과 같이, 본 발명의 인쇄 장치의 인쇄 롤(100)은 자신의 회전과, X축, Y축, Z축 이동 및 Θ각 보정이 가능한 것으로, 인쇄 롤(100)을 관통하는 축(160)이 양단에 제 1, 제 2 받침대(170a, 170b)와 연결되어, X축 이동 및 Y축 이동을 수행한다. 4 to 6 , the printing roll 100 of the printing apparatus of the present invention is capable of its rotation, X-axis, Y-axis, Z-axis movement, and Θ angle correction, and passes through the printing roll 100 . The shaft 160 is connected to the first and second pedestals 170a and 170b at both ends to perform X-axis movement and Y-axis movement.

그리고, 상기 축(160)은 모터부(180)와 연결되어, 상하 이동, 즉, Z축 이동을 수행하며, 기판이 인쇄 롤(100)과 백업 롤(300) 사이에 이송시 인쇄 롤(100)의 회전도 함께 수행한다.In addition, the shaft 160 is connected to the motor unit 180 to perform vertical movement, that is, Z-axis movement, and when the substrate is transferred between the print roll 100 and the backup roll 300 , the print roll 100 ) is also rotated.

그리고, 제 1, 제 2 받침대(170a, 170b)는 각각 X축 방향에서의 레일, Y축 방향의 승강 조절부를 구비하여, X축 이동과 Y축 이동을 함께 수행한다.In addition, the first and second pedestals 170a and 170b are provided with a rail in the X-axis direction and an elevation control unit in the Y-axis direction, respectively, and perform X-axis movement and Y-axis movement together.

그리고, 상기 인쇄 롤(100) 및 백업 롤(300)의 위치 정렬에 따라 도 4 및 도 5의 도면에서와 같이, 위에서 바라볼 때 직사각형의 형상의 정위치에 있는 경우뿐만 아니라, Θ각을 갖고 틀어지는 보정이 가능한 것으로, 이는 X축 이동과 Y축 이동을 위한 레일 및 승강 조절부를 함께 조절하여 수행한다.And, according to the alignment of the positions of the printing roll 100 and the backup roll 300, as in the drawings of FIGS. 4 and 5, when viewed from above, it has a Θ angle as well as when it is in a rectangular shape when viewed from above. It is possible to correct the distortion, which is performed by adjusting the rail and the lifting control unit for the X-axis movement and the Y-axis movement together.

한편, 상기 인쇄 롤(100) 하측에는 백업 롤(300)이 구비되며, 함께 제 1, 제 2 받침대(170a, 170b)에 인쇄 롤(100)과 백업 롤(300)이 함께 연결되어 있다.On the other hand, a backup roll 300 is provided below the print roll 100 , and the print roll 100 and the backup roll 300 are connected together to the first and second pedestals 170a and 170b.

그리고, 도 6과 같이, 패턴 형성층이 코팅된 기판와 같은 기재가 상기 인쇄 롤(100) 및 백업 롤(300) 사이로 공급된다.And, as shown in FIG. 6 , a substrate such as a substrate coated with a pattern forming layer is supplied between the printing roll 100 and the backup roll 300 .

도 4의 인쇄 장치의 상면을 보면, 인쇄롤(100) 양쪽에 카메라(C1, C2, C3, C4)가 위치함을 알 수 있다. 도면 상에는 카메라가 좌우로, 각각 2개씩 구비됨을 나타내나 이에 한하지 않고, 각 변에 3개 이상 구비될 수도 있다.Looking at the upper surface of the printing apparatus of FIG. 4 , it can be seen that cameras C1 , C2 , C3 , and C4 are positioned on both sides of the printing roll 100 . Although it is shown in the drawing that two cameras are provided on the left and right, respectively, the present invention is not limited thereto, and three or more cameras may be provided on each side.

상기 카메라는 기판 상부에서 관찰이 가능하도록 기판 상측에 위치하며, 상기 인쇄 롤(100)을 사이에 두고, 인쇄 롤(100)과 평행한 제 1, 제 2 바(190a, 190b)에 고정될 수 있다. 상기 제 1, 제 2 바(190a, 190b)는 상기 제 1, 제 2 받침대(170a, 170b)와 교차하여 만나며, 고정된다.The camera is located on the upper side of the substrate so that it can be observed from the upper side of the substrate, and with the printing roll 100 therebetween, it can be fixed to the first and second bars 190a and 190b parallel to the printing roll 100 . have. The first and second bars 190a and 190b intersect with the first and second pedestals 170a and 170b, and are fixed.

상기 카메라(C1, C2, C3, C4)는 상기 기판 상에 구비된 얼라인 키를 조사(inspection) 하는 기능을 하는 것으로, 화각의 조절이 가능하여, 대응 부위에서 얼라인 키를 인지하여 기판과의 정렬을 꾀한다.The cameras C1, C2, C3, and C4 function to inspect the alignment key provided on the substrate, and the angle of view can be adjusted. try to sort

그리고, 상기 카메라(C1, C2, C3, C4)는 상기 인쇄 롤(100)의 이동을 따라 함께 이동하는 것으로, 인쇄 롤(100)이 움직여도, 상기 카메라(C1, C2, C3, C4)간의 수평적 이격 정도는 동일하기에, 기판과 인쇄 롤(100)간의 정렬을 카메라(C1, C2, C3, C4)를 통해 평가할 수 있는 것이다.In addition, the cameras C1, C2, C3, and C4 move together with the movement of the print roll 100, and even if the print roll 100 moves, the cameras C1, C2, C3, and C4 are horizontal between the cameras C1, C2, C3, and C4. Since the degree of separation is the same, the alignment between the substrate and the printing roll 100 can be evaluated through the cameras C1, C2, C3, and C4.

만일 기판이 인쇄 롤(100)에 대해 틀어져 있다면, 인쇄 롤의 X, Y, Z축 혹은 Θ각 보정을 가능하게 하는 인쇄 롤 구동부인, 제 1, 제 2 받침대(170a, 170b), 모터부(180)를 통해 기판에 정렬하도록 인쇄 롤(100)을 이동시킬 수 있다.If the substrate is misaligned with respect to the print roll 100, the first and second pedestals 170a and 170b, the motor unit, which are print roll driving units that enable X, Y, Z axis or Θ angle correction of the print roll, 180 may move the print roll 100 to align with the substrate.

한편, 본 발명의 인쇄 장치는 도 4와 같이, 인쇄 롤 주변의 카메라(C1~C4)를 통해 기판에 대한 인쇄 롤의 정렬 정도를 판단하고, 도 5 및 도 6과 같이, 판단된 정렬 정도에 따라 상기 인쇄 롤을 X축, Y축, Z축 이동 및 Θ각 보정하여 최종적으로 상기 기판과 인쇄 롤간의 정렬을 꾀한다.On the other hand, the printing apparatus of the present invention determines the alignment degree of the printing roll with respect to the substrate through the cameras C1 to C4 around the printing roll as shown in FIG. 4, and as shown in FIGS. 5 and 6, the determined alignment degree is Accordingly, the X-axis, Y-axis, Z-axis movement and θ angle correction of the printing roll is finally achieved to align the substrate and the printing roll.

이하, 상기 인쇄 장치를 이용한 복수층의 패터닝 방법을 설명한다. 대표적으로 2층의 패터닝 방법을 설명하나, 본 발명의 인쇄 장치는 2층의 패터닝에 한하지 않고, 3층 이상의 패터닝도 적용 가능하며, 하층에 구비된 얼라인 키를 이용하여 카메라를 이용하여 다음 층의 위치 정렬 후 패턴 형성이 이루어진다.Hereinafter, a method for patterning a plurality of layers using the printing apparatus will be described. Typically, a two-layer patterning method will be described, but the printing apparatus of the present invention is not limited to two-layer patterning, and three or more layers of patterning are applicable. After alignment of the layers, pattern formation takes place.

*제 1 실시예**First embodiment*

도 7은 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 패턴 형성 방법을 나타낸 공정 순서도이다. 또한, 도 8a 및 도 8b는 본 발명의 인쇄 장치를 이용하여 제 1 층 인쇄시를 나타낸 평면도 및 단면도이며, 도 9a 및 도 9b는 제 1 실시예에 따른 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 제 2층 인쇄 전 정렬 상태를 나타낸 도면이다.7 is a process flowchart illustrating a pattern forming method using the printing apparatus of the present invention. 8A and 8B are a plan view and a cross-sectional view showing the first layer printing using the printing apparatus of the present invention, and FIGS. 9A and 9B are the second layer using the printing apparatus of the present invention according to the first embodiment. It is a drawing showing the alignment state before printing.

도 7 및 도 8a 및 도 8b와 같이, 먼저, 기판(500)상에 제 1 패턴 형성층(510)을 포함한 기재를 준비한다(100S).As shown in FIGS. 7 and 8A and 8B , first, a substrate including the first pattern forming layer 510 on the substrate 500 is prepared ( 100S).

이어, 표면이 투명한 실린더 형상이며, 상기 표면에 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤(100)과, 백업롤(300) 사이에 들어오도록, 상기 기판(500)을 이송시킨다(110S).Next, the substrate 500 is transferred so that the surface has a transparent cylindrical shape and is inserted between the printing roll 100 having a roll mold mounted on the surface and the backup roll 300 ( 110S).

그리고, 도 7b와 같이, 상기 인쇄 롤(100)은 표면에 제 1 패턴 형성용의 제 1 롤 몰드(1100)를 끼워 장착한다.And, as shown in FIG. 7B , the printing roll 100 is mounted by sandwiching the first roll mold 1100 for forming the first pattern on the surface.

이어, 도 2b와 같이, 상기 기재의 진행 방향에서 상기 인쇄 롤(100)에 앞서 있는 접촉 제어 롤(400)을 이용하여 상기 기판(500)을 들어올려, 상기 롤 몰드(110)와 접하는 상기 제 1 패턴 형성층(510)을 면접촉시키며, 면접촉 부위의 제 1 패턴 형성층을 임프린트시키고, 광조사하여 경화된 제 1 패턴을 형성한다(130S).Next, as shown in FIG. 2B , the substrate 500 is lifted by using the contact control roll 400 that precedes the printing roll 100 in the moving direction of the substrate, and the second product in contact with the roll mold 110 is The first pattern-forming layer 510 is surface-contacted, the first pattern-forming layer is imprinted on the surface-contacted portion, and a cured first pattern is formed by irradiation with light (130S).

도 8a의 도면은 상기 인쇄 롤(100)을 경계로 상측이 제 1 패턴 형성 전, 하측이 제 1 패턴 형성 후를 나타낸 것으로, 상기 제 1 패턴(510a) 형성시 상기 기판(500)의 가장 자리에 얼라인 키(550)가 함께 형성된다.The drawing of FIG. 8A shows the upper side before forming the first pattern and the lower side after forming the first pattern with the printing roll 100 as a boundary, and the edge of the substrate 500 when the first pattern 510a is formed. The align key 550 is formed together.

경우에 따라, 상기 얼라인 키(550)는 미리 기판(500)에 마련된 상태로 이송될 수도 있다.In some cases, the alignment key 550 may be transferred in a state previously provided on the substrate 500 .

상기 제 1 패턴의 형성시, 상기 인쇄 롤(100)은 축(160)을 경계로 회전하며, 상기 인쇄 롤(100) 표면에 장착된 제 1 롤 몰드(1100)의 제 1 돌출 패턴(110b) 사이의 요부에 제 1 패턴 형성층의 물질이 채워지며, 채워진 제 1 패턴 형성층 물질이 광경화되며 제 1 패턴(510a)이 형성된다.When the first pattern is formed, the printing roll 100 rotates about the axis 160 as a boundary, and the first protruding pattern 110b of the first roll mold 1100 mounted on the surface of the printing roll 100 is formed. The material of the first pattern forming layer is filled in the recessed portion between the first pattern forming layer materials, and the filled first pattern forming layer material is photocured to form a first pattern 510a.

한편, 상기 인쇄 롤(100) 주변은 카메라 C1~C4가 구비되는 것으로, 기판(500) 상에 코팅된 제 1 패턴 형성층(510)의 영역 위치를 상기 카메라(C1~C4)가 검사하며, 제 1 패턴(510a)이 형성된다.On the other hand, cameras C1 to C4 are provided around the printing roll 100 , and the cameras C1 to C4 inspect the position of the region of the first pattern forming layer 510 coated on the substrate 500 , One pattern 510a is formed.

그리고, 상기 도 8b의 도면은 도 8a의 인쇄 롤과 주변의 카메라 C1, C3의 지나는 선상의 단면도를 나타낸 것으로, 단면 상에서 상기 인쇄 롤(100) 하측에 백업 롤(300)이 배치된 상태가 나타나 있다.And, the drawing of FIG. 8B shows a cross-sectional view on a line passing through the print roll of FIG. 8A and the surrounding cameras C1 and C3, in which the backup roll 300 is disposed below the print roll 100 on the cross-section. have.

한편, 설명되지 않은 410, 420은 기판(500)을 지지하며, 이송을 제어하는 가이드 롤로, 상기 가이드 롤도 일부가 접촉 제어 롤로 이용될 수도 있다.Meanwhile, 410 and 420, which are not described, support the substrate 500 and are guide rolls for controlling transport, and some of the guide rolls may also be used as contact control rolls.

이어, 도 9a 및 도 9b와 같이, 상기 인쇄 롤(100)에 표면에 있는 롤 몰드를 제 2 패턴 형성용의 제 2 롤 몰드(1200)로 교체한다. 상기 제 2 롤 몰드(1200)로의 교체는 제 1 패턴(510a) 형성 후, 다시 제 1 패턴(510a) 상에 형성된 제 2 패턴 형성층(520)이 상기 인쇄 롤(100)에 대응되기 전까지 가능한 것으로, 제 2 패턴 형성층(520)을 코팅하기 직전에 진행하여도 좋고, 제 2 패턴 형성층(520)을 코팅한 후에 진행할 수도 있다.Next, as shown in FIGS. 9A and 9B , the roll mold on the surface of the printing roll 100 is replaced with a second roll mold 1200 for forming a second pattern. The replacement with the second roll mold 1200 is possible until the second pattern forming layer 520 formed on the first pattern 510a again corresponds to the printing roll 100 after the first pattern 510a is formed. , may be performed immediately before coating the second pattern forming layer 520 , or may proceed after coating the second pattern forming layer 520 .

이어, 상기 제 1 패턴을 포함한 기판(500) 상에 제 2 패턴 형성층(520)을 코팅한다 (140S). Next, a second pattern forming layer 520 is coated on the substrate 500 including the first pattern (140S).

상기 제 2 패턴 형성층(520)을 코팅하는 것은, 상기 기판(500)이 제 1 패턴(510a)을 형성한 상태로 이송되어, 다시 제 1 패턴(510a)의 형성 부위가 제 2 패턴 형성 물질 공급부에 대응되었을 때 이루어진다. In the coating of the second pattern forming layer 520 , the substrate 500 is transferred in a state in which the first pattern 510a is formed, and the portion where the first pattern 510a is formed is again the second pattern forming material supply unit. This is done when responding to

이어, 인쇄 롤(100) 주변의 카메라로 검사하여 기판(500) 상의 얼라인 키(550)와 대응시켜 기판(500)에 대한 인쇄 롤(100)의 위치를 정렬시킨다 (150S). 도 9a 및 도 9b는 카메라 C1, C2가 얼라인 키(550)와 대응된 상태를 나타내고 있다.Next, the print roll 100 is inspected with a camera around the print roll 100 to correspond to the alignment key 550 on the substrate 500 to align the position of the print roll 100 with respect to the substrate 500 ( 150S). 9A and 9B show a state in which the cameras C1 and C2 correspond to the alignment key 550 .

이어, 정렬되어 제 2 롤 몰드(1200)를 장착한 인쇄 롤(100)을 이용하여 제 2 패턴 형성층(520)과 제 2 롤 몰드(1200)를 면접촉시키며 광경화를 동시에 진행하여 제 2 패턴(520a)을 형성한다(160S).Then, the second pattern forming layer 520 and the second roll mold 1200 are surface-contacted using the printing roll 100 arranged and mounted with the second roll mold 1200, and photocuring is simultaneously performed to form the second pattern. Form 520a (160S).

여기서, 제 2 패턴(520a)의 형성은 기판(500)의 얼라인 키(550)와 인쇄 롤(100)과 정렬을 인쇄 장비에 구비된 카메라로 분석하여 수행하기 때문에, 제 1 패턴(510a)과 이어 형성될 제 2 패턴(520a)의 위치를 정확히 대응시키며 이루어지며, 제 1, 제 2 패턴(510a, 520a)간 미스얼라인이 없어, 수율 향상의 근거가 될 수 있다. Here, since the formation of the second pattern 520a is performed by analyzing the alignment key 550 of the substrate 500 and the printing roll 100 with a camera provided in the printing equipment, the first pattern 510a This is done by accurately matching the positions of the second patterns 520a to be formed thereafter, and there is no misalignment between the first and second patterns 510a and 520a, which can serve as a basis for improving the yield.

상기 제 2 패턴(520a) 형성 과정에도 접촉 제어 롤(도 2b의 400 참조)을 승강시켜 제 2 패턴 형성층과 제 2 롤 몰드(1200)과의 접촉 면적을 늘린 상태로, 면접촉된 부위에 광조사하여 이루어질 수 있다.Even in the process of forming the second pattern 520a, the contact control roll (see 400 in FIG. 2B ) is raised and lowered to increase the contact area between the second pattern forming layer and the second roll mold 1200 , and light is applied to the surface-contacted portion. This can be done by investigation.

이어, 상기 접촉 제어 롤(400)은 기판(500)의 배면 측에서 하강시켜 원래의 자리로 복귀한다.Then, the contact control roll 400 is lowered from the back side of the substrate 500 to return to its original position.

*제 2 실시예**Second embodiment*

도 10a 및 도 10b는 제 2 실시예에 따른 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 제 2층 인쇄 전 정렬 상태를 나타낸 도면이며, 도 11a 및 도 11b는 본 발명의 인쇄 장치를 이용한 제 2 층 인쇄시를 나타낸 평면도 및 단면도이다.10A and 10B are views showing an alignment state before printing the second layer using the printing apparatus of the present invention according to the second embodiment, and FIGS. 11A and 11B are views illustrating the second layer printing using the printing apparatus of the present invention. A plan view and a cross-sectional view are shown.

도 7 내지 도 8b와 같이, 제 2 실시예는 앞서 설명한 제 1 실시예의 제 1 패턴(510a)을 형성하는 방식을 그대로 따른다 (100S~130S). 7 to 8B, the second embodiment follows the method of forming the first pattern 510a of the first embodiment described above (100S to 130S).

이어, 상기 제 1 패턴(510a)을 포함한 기판(500) 상에 제 2 패턴 형성층(520)을 코팅한다 (140S).Next, a second pattern forming layer 520 is coated on the substrate 500 including the first pattern 510a (140S).

이어, 도 10a 및 도 10b와 같이, 상기 인쇄 롤(100)을 기판의 진행 방향과 역 방향으로 옮겨 상기 제 1 패턴(510a)의 형성 부위와 완전히 상기 인쇄 롤(100)이 오버랩하게 한다.Then, as shown in FIGS. 10A and 10B , the printing roll 100 is moved in a direction opposite to the moving direction of the substrate so that the printing roll 100 completely overlaps with the portion where the first pattern 510a is formed.

이 경우, 인쇄 롤(100)과 함께, 인쇄 롤(100) 주변의 카메라 C1~C4도 함께 기판의 진행 방향의 역방향으로 이동하며, 따라서, 상기 카메라 C1~C4 모두는 제 1 패턴(510a)의 형성시 함께 형성된 얼라인 키(550)와 각각 대응될 수 있다. 이러한 제 2 실시예는 얼라인 정확성을 보다 향상시키기 위한 것이다.In this case, along with the printing roll 100 , the cameras C1 to C4 around the printing roll 100 also move in the opposite direction to the moving direction of the substrate, and therefore, all of the cameras C1 to C4 are of the first pattern 510a. It may correspond to the alignment key 550 formed together at the time of formation. This second embodiment is for further improving the alignment accuracy.

상기 카메라 C1~C4를 이용한 검사로써, 얼라인 키(550)의 위치에 대해 상기 제 2 패턴 형성층(520)의 영역을 파악할 수 있다.Through the inspection using the cameras C1 to C4 , the region of the second pattern forming layer 520 can be identified with respect to the position of the alignment key 550 .

한편, 도 10a, 10b에 있어서는, 상기 인쇄 롤(100)에 제 2 롤 몰드 없이, 얼라인 키에 대비된 제 2 패턴 형성층(520)의 얼라인을 꾀했지만, 이에 한하지 않고, 이러한 얼라인 과정을 상기 인쇄 롤(100)에 제 2 롤 몰드(1200)를 장착한 상태로 진행할 수 있다.On the other hand, in FIGS. 10A and 10B , the alignment of the second pattern forming layer 520 compared to the alignment key was attempted without the second roll mold on the printing roll 100 , but the alignment is not limited thereto. The process may be performed while the second roll mold 1200 is mounted on the printing roll 100 .

이어, 도 11a 및 도 11b와 같이, 상기 인쇄 롤(100)을 원 위치로 돌아오게 한 후, 얼라인 키(550)에 대한 제 2 패턴 형성층(520)을 영역 정보를 이용하며, 상기 인쇄 롤(100)에 제 2 롤 몰드(1200)를 장착한 후, 제 2 패턴 형성층(520)에 제 2 패턴(520a)을 형성할 수 있다(160S).Next, as shown in FIGS. 11A and 11B , after returning the printing roll 100 to its original position, the second pattern forming layer 520 for the align key 550 uses area information, and the printing roll After the second roll mold 1200 is mounted on the 100 , a second pattern 520a may be formed on the second pattern forming layer 520 ( 160S).

여기서, 제 2 패턴(520a)의 형성은 기판(500)의 얼라인 키(550)와 인쇄 롤(100)과 정렬을 인쇄 장비에 구비된 카메라로 분석하여 수행하기 때문에, 제 1 패턴(510a)과 이어 형성될 제 2 패턴(520a)의 위치를 정확히 대응시키며 이루어지며, 제 1, 제 2 패턴(510a, 520a)간 미스얼라인이 없어, 수율 향상의 근거가 될 수 있다. Here, since the formation of the second pattern 520a is performed by analyzing the alignment key 550 of the substrate 500 and the printing roll 100 with a camera provided in the printing equipment, the first pattern 510a This is done by accurately matching the positions of the second patterns 520a to be formed thereafter, and there is no misalignment between the first and second patterns 510a and 520a, which can serve as a basis for improving the yield.

상기 제 2 패턴(520a) 형성 과정에도 접촉 제어 롤(도 2b의 400 참조)을 승강시켜 제 2 패턴 형성층과 제 2 롤 몰드(1200)과의 접촉 면적을 늘린 상태로, 면접촉된 부위에 광조사하여 이루어질 수 있다.Even in the process of forming the second pattern 520a, the contact control roll (see 400 in FIG. 2B ) is raised and lowered to increase the contact area between the second pattern forming layer and the second roll mold 1200 , and light is applied to the surface-contacted portion. This can be done by investigation.

이어, 상기 접촉 제어 롤(400)은 기판(500)의 배면 측에서 하강시켜 원래의 자리로 복귀한다.Then, the contact control roll 400 is lowered from the back side of the substrate 500 to return to its original position.

한편, 상술한 방식의 인쇄 방식은 상기 기판 상에 패턴 형성층을 형성한 상태에, 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤을 회전시켜 롤 몰드 내에 몰드 내에 패턴 형성층의 재료가 채워지게 하여 패턴을 정의하는 방식에 대해 설명하였으나, 이에 한하지 않고, 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤을 준비한 후, 상기 롤 몰드의 요부 내에 잉크를 채운 후 이를 기판 상에 전사시키는 방식으로 대체하여도 무방하다. 어느 경우나 인쇄 롤과 기판이 대응될 수 있으므로, 본 발명의 인쇄 장치는 인쇄 롤과 기판의 접촉 면적을 늘릴 수 있도록 인쇄 롤의 진행에 앞서 기판을 들어올릴 수 있는 접촉 제어 롤을 이용하는 것이다.On the other hand, the above-described printing method is a method of defining a pattern by rotating a printing roll equipped with a roll mold in a state in which the pattern forming layer is formed on the substrate so that the material of the pattern forming layer is filled in the mold in the roll mold. However, the present invention is not limited thereto, and after preparing a printing roll equipped with a roll mold, ink may be filled in the recess of the roll mold and then transferred to a substrate may be substituted. In any case, since the printing roll and the substrate may correspond to each other, the printing apparatus of the present invention uses a contact control roll capable of lifting the substrate prior to the progress of the printing roll so as to increase the contact area between the printing roll and the substrate.

또한, 인쇄 장치 내에 인쇄 롤과 일정한 이격 간격을 가지며 인쇄 롤의 움직임에도 함께 움직일 수 있는 카메라를 구비하여, 패턴 형성층간의 정렬 정도를 검사할 수 있게 하며, 미스얼라인 정도가 클 경우 인쇄 롤의 위치를 보정할 수 있도록 각 축(X축, Y축, Z축)별 및 Θ각 보정이 가능하도록 인쇄 롤 구동부를 구비하는 것에 의의가 있다. In addition, a camera is provided in the printing device that is spaced apart from the printing roll and can move along with the movement of the printing roll, so that the degree of alignment between the pattern forming layers can be checked, and when the degree of misalignment is large, the position of the printing roll It is meaningful to provide a print roll driving unit so that each axis (X-axis, Y-axis, Z-axis) and Θ angle can be corrected so as to correct .

또한, 상술한 패턴 형성 방법은 롤투롤 방식으로 적용될 수 있는 모든 패턴 형성 방식에 적용할 수 있으며, 플렉서블 디스플레이의 백플레인과 같이, 기판 상의 전체 층이 플렉서블한 재료로 이루어지는 분야에 특히 유용하나 이에 한하지 않고, 필름형으로 제조될 수 있는 디스플레이나 광학 필름 혹은 도광판 등의 패턴 정의에도 적용 가능하다.In addition, the above-described pattern forming method can be applied to all pattern forming methods that can be applied in a roll-to-roll method, and is particularly useful in fields such as the backplane of a flexible display where the entire layer on the substrate is made of a flexible material, but is not limited thereto. It is also applicable to the definition of a pattern such as a display, an optical film, or a light guide plate that can be manufactured in the form of a film.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those of ordinary skill in the art.

100: 인쇄 롤 110: 롤 몰드
110a: 베이스 필름 110b: 돌출 패턴
160: 축 170a, 170b: 받침대
180: 모터부 190a, 190b: 바
200: 기판 210: 패턴 형성층
300: 백업 롤 310: 블랭킷
320: 백업 롤 축 400: 접촉 제어 롤
500: 기판 510: 제 1 패턴 형성층
510a: 제 1 패턴 520: 제 2 패턴 형성층
520a: 제 2 패턴 550: 얼라인 키
1100: 제 1 롤 몰드 1200: 제 2 롤 몰드
100: print roll 110: roll mold
110a: base film 110b: protrusion pattern
160: axis 170a, 170b: pedestal
180: motor unit 190a, 190b: bar
200: substrate 210: pattern forming layer
300: backup roll 310: blanket
320: backup roll axis 400: contact control roll
500: substrate 510: first pattern forming layer
510a: first pattern 520: second pattern forming layer
520a: second pattern 550: align key
1100: first roll mold 1200: second roll mold

Claims (17)

내부에 발광부를 갖고, 표면이 투명한 실린더 형상의 인쇄 롤;
상기 인쇄 롤 표면에 장착되며, 돌출 패턴을 구비한 롤 몰드;
상기 인쇄 롤과 인접하며, 상기 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤과의 사이에 이송된 기재와 접하는 백업 롤;
상기 기재의 진행 방향에서 상기 인쇄 롤에 앞서 상기 롤 몰드와 상기 기재의 면접촉 여부를 조절하는 접촉 제어 롤; 및
상기 롤 몰드 주변에 위치한 검사 카메라를 포함하여 이루어지며,
상기 인쇄 롤은 실린더의 길이 방향의 Y축 이동, 상기 Y축 이동에 수직한 X축 이동, 높이 방향으로 Z축 이동 및 틸트 각 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
a printing roll having a light emitting part therein and having a transparent surface;
a roll mold mounted on the printing roll surface and having a protruding pattern;
a backup roll adjacent to the printing roll and in contact with the substrate transferred between the printing roll and the printing roll on which the roll mold is mounted;
a contact control roll for controlling whether surface contact between the roll mold and the substrate is made prior to the printing roll in the moving direction of the substrate; and
and an inspection camera located around the roll mold,
The printing roll is a printing apparatus, characterized in that the Y-axis movement in the longitudinal direction of the cylinder, the X-axis movement perpendicular to the Y-axis movement, the Z-axis movement and the tilt angle movement in the height direction are possible.
제 1항에 있어서,
상기 롤 몰드는 투명하며 플렉서블한 재질인 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
The method of claim 1,
The roll mold is a printing apparatus, characterized in that the transparent and flexible material.
제 1항에 있어서,
상기 접촉 제어 롤이 조절하는 상기 롤 몰드와 상기 기재간의 접촉 면적은 상기 발광부의 조사각 범위 내인 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
The method of claim 1,
The printing apparatus, characterized in that the contact area between the roll mold and the substrate controlled by the contact control roll is within an irradiation angle range of the light emitting part.
제 1항에 있어서,
상기 발광부는 상기 인쇄 롤의 길이 방향으로 복수개 이격된 LED 를 포함한 광원 어레이로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
The method of claim 1,
The light emitting part is a printing apparatus, characterized in that made of a light source array including a plurality of spaced apart LED in the longitudinal direction of the printing roll.
제 1항에 있어서,
상기 접촉 제어 롤은 상기 백업 롤과 함께, 상기 기재의 하면에 위치하며, 상기 백업 롤과 이격하며, 상기 기재 하면에 접하여 상기 기재를 들어올려, 상기 롤 몰드의 일정한 면적이 상기 기재와의 사이에 틈없이 접촉하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
The method of claim 1,
The contact control roll is located on the lower surface of the substrate together with the backup roll, is spaced apart from the backup roll, and lifts the substrate in contact with the lower surface of the substrate, so that a certain area of the roll mold is formed between the substrate and the substrate. A printing device, characterized in that contact without gaps.
제 1항에 있어서,
상기 기재는 기판과, 상기 기판 상의 패턴 형성층을 포함한 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
The method of claim 1,
The substrate is a printing apparatus, characterized in that it comprises a substrate and a pattern forming layer on the substrate.
제 6항에 있어서,
상기 패턴 형성층이 상기 롤 몰드와 대면하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
7. The method of claim 6,
The printing apparatus, characterized in that the pattern forming layer faces the roll mold.
제 6항에 있어서,
상기 검사 카메라는 적어도 상기 기판 상의 얼라인 키를 조사하도록, 상기 기판의 가장 자리에 대응하여 상기 인쇄 롤 주변의 길이 방향으로 복수개 놓여진 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
7. The method of claim 6,
The printing apparatus according to claim 1, wherein a plurality of inspection cameras are placed in a longitudinal direction around the printing roll to correspond to an edge of the substrate so as to irradiate at least an alignment key on the substrate.
삭제delete 기판 상에 제 1 패턴 형성층을 포함한 기재를 준비하는 단계;
표면이 투명한 실린더 형상이며, 상기 표면에 롤 몰드를 장착한 인쇄 롤과, 백업롤 사이에 들어오도록, 상기 기재를 이송시키는 단계; 및
상기 기재의 진행 방향에서 상기 인쇄 롤에 앞서 있는 접촉 제어 롤을 이용하여 상기 기재를 들어올려, 상기 롤 몰드와 접하는 상기 제 1 패턴 형성층을 면접촉시키며, 면접촉 부위의 제 1 패턴 형성층을 임프린트시키고, 광조사하여 경화된 제 1 패턴을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지고,
상기 인쇄 롤은 실린더의 길이 방향의 Y축 이동, 상기 Y축 이동에 수직한 X축 이동, 높이 방향으로 Z축 이동 및 틸트 각 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
preparing a substrate including a first pattern forming layer on the substrate;
transferring the substrate so that the surface has a transparent cylindrical shape and is inserted between a printing roll having a roll mold mounted on the surface and a backup roll; and
Lifting the substrate using a contact control roll preceding the printing roll in the moving direction of the substrate to surface-contact the first pattern-forming layer in contact with the roll mold, imprinting the first pattern-forming layer in the surface-contacting portion, , comprising the step of forming a cured first pattern by irradiation with light,
The printing roll is a pattern forming method, characterized in that the Y-axis movement in the longitudinal direction of the cylinder, the X-axis movement perpendicular to the Y-axis movement, the Z-axis movement and the tilt angle movement in the height direction are possible.
제 10항에 있어서,
상기 제 1 패턴을 형성하는 단계에서의 광조사는 상기 인쇄 롤 내부의 발광부를 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
11. The method of claim 10,
Light irradiation in the step of forming the first pattern is a pattern forming method, characterized in that using the light emitting portion inside the printing roll.
제 11항에 있어서,
상기 발광부는 상기 인쇄 롤의 길이 방향으로 복수개 이격된 LED를 포함한 광원 어레이인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
12. The method of claim 11,
The light emitting part is a pattern forming method, characterized in that the light source array including a plurality of spaced apart LED in the longitudinal direction of the printing roll.
제 11항에 있어서,
상기 발광부의 조사각 범위는 상기 제 1 패턴 형성층의 면접촉 부위를 커버하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
12. The method of claim 11,
The irradiation angle range of the light emitting part is a pattern forming method, characterized in that to cover the surface contact portion of the first pattern forming layer.
제 10항에 있어서,
상기 제 1 패턴을 형성하는 단계에서 상기 기판 상의 가장자리에 복수개의 얼라인 키가 함께 형성된 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
11. The method of claim 10,
In the forming of the first pattern, a plurality of alignment keys are formed together on an edge of the substrate.
제 10항에 있어서,
상기 제 1 패턴을 형성하는 단계 후, 상기 인쇄 롤에 장착된 롤 몰드를 제 2 패턴 형성용으로 교체하는 단계;
상기 제 1 패턴을 포함한 상기 기판 상에 제 2 패턴 형성층을 코팅하는 단계;
상기 제 2 패턴 형성층을 갖는 상기 기판 상의 얼라인 키를, 상기 인쇄 롤 주변의 카메라를 통해 조사하여 상기 기판과 상기 인쇄 롤을 정렬시키는 단계; 및
상기 인쇄 롤에 장착된 제 2 패턴 형성용 롤 몰드를 이용하여 백업 롤 사이에 상기 제 2 패턴 형성층을 임프린트 및 광조사하여 제 2 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
11. The method of claim 10,
after forming the first pattern, replacing a roll mold mounted on the printing roll for forming a second pattern;
coating a second pattern forming layer on the substrate including the first pattern;
irradiating an alignment key on the substrate having the second pattern forming layer through a camera around the printing roll to align the substrate and the printing roll; and
The method further comprising the step of forming a second pattern by imprinting and light-irradiating the second pattern forming layer between backup rolls using a roll mold for forming a second pattern mounted on the printing roll.
제 15항에 있어서,
상기 기판과 상기 인쇄 롤을 정렬시키는 단계는, 상기 인쇄 롤 주변의 카메라로 검사하며 상기 기판 상의 얼라인 키와 상기 카메라를 대응시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
16. The method of claim 15,
The step of aligning the substrate and the printing roll is performed by inspecting with a camera around the printing roll, and matching an alignment key on the substrate with the camera.
제 15항에 있어서,
상기 기판과 상기 인쇄 롤을 정렬시키는 단계는, 상기 기재의 진행 방향과 역방향으로 상기 인쇄 롤을 이동시켜 상기 인쇄 롤 주변의 모든 카메라가 얼라인 키와 대응되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
16. The method of claim 15,
The step of aligning the substrate and the printing roll may further include moving the printing roll in a direction opposite to the moving direction of the substrate so that all cameras around the printing roll correspond to the alignment key. How to form a pattern.
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