KR101000372B1 - Printing stamper for alignment layer, manufacturing method and system therefore - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A stamper for an alignment layer print and a manufacturing method thereof for increasing the accuracy of the print are provided to successively manufacture the stamper for the alignment layer print. CONSTITUTION: A thickness adjusting unit(300) adjusts the thickness of a printing film laminated material. An upper side glass(410) is located in the upper side of the printing film laminated material. A lower side plate is arranged in the lower side of the thickness adjusting plate. A combining member combines the lower side plate and the thickness adjusting plate.

Description

배향막 인쇄용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 및 이의 제조 시스템{PRINTING STAMPER FOR ALIGNMENT LAYER, MANUFACTURING METHOD AND SYSTEM THEREFORE}A stamper for printing an alignment film, a manufacturing method thereof, and a manufacturing system therefor {PRINTING STAMPER FOR ALIGNMENT LAYER, MANUFACTURING METHOD AND SYSTEM THEREFORE}

본 발명은 배향막 인쇄용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 및 이의 제조 시스템에 관한 것으로, 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display Device; LCD)에 사용되는 배향막 인쇄를 위한 스탬퍼의 제품 두께 정밀도와 인쇄 두께 정밀도를 향상시킬 수 있 배향막 인쇄용 스탬퍼와 이의 제조 시스템 그리고, 스탬퍼를 이용하여 제작된 액정 표시 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stamper for printing an alignment film, a method for manufacturing the same, and a manufacturing system thereof, and to improve product thickness precision and print thickness precision of a stamper for printing an alignment film used in a liquid crystal display device (LCD). An alignment film printing stamper, a manufacturing system thereof, and a liquid crystal display device manufactured by using a stamper.

통상, 액정표시소자(Liquid Crystal Display; LCD)는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상이 표시된다.In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image by adjusting the light transmittance of the liquid crystal using an electric field.

이를 위하여, 액정표시소자는 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열된 액정패널과, 이 액정패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다. 액정패널에는 액정셀들 각각에 전계를 인가하기 위한 화소전극들과 공통전극이 마련된다. 통상, 화소전극은 하부기판에 액정 셀 별로 형성되는 반면 공통전극은 상부기판의 전면에 형성된다.To this end, the liquid crystal display device includes a liquid crystal panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix, and a driving circuit for driving the liquid crystal panel. The liquid crystal panel is provided with pixel electrodes and a common electrode for applying an electric field to each of the liquid crystal cells. In general, the pixel electrode is formed for each liquid crystal cell on the lower substrate, while the common electrode is formed on the entire surface of the upper substrate.

하부기판의 화소전극들 각각은 스위칭소자로 사용되는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)에 접속된다. 화소전극은 박막트랜지스터를 통해 공급되는 데이터신호에 따라 공통전극과 함께 액정셀이 구동된다.Each of the pixel electrodes of the lower substrate is connected to a thin film transistor (TFT) used as a switching element. The pixel electrode drives the liquid crystal cell together with the common electrode according to a data signal supplied through the thin film transistor.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 소자의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래의 액정표시소자는 상부기판(11) 상에 순차적으로 형성된 블랙매트릭스(32)와 칼라필터(30) 및 투명전극(28)을 구성으로 하는 상판과, 하부기판(1) 상에 형성된 박막트랜지스터와 화소전극(22)을 구성으로 하는 하판과, 상판과 하판 사이에 형성된 스페이서(26)와, 상판 및 하판과 스페이서(26)에 의해 마련된 내부공간에 주입된 액정(38)을 구비한다.Referring to FIG. 1, a liquid crystal display device according to the related art includes a top plate including a black matrix 32, a color filter 30, and a transparent electrode 28 sequentially formed on an upper substrate 11, and a lower substrate 1. The liquid crystal 38 injected into the inner space provided by the lower plate including the thin film transistor and the pixel electrode 22 formed on the upper layer, the spacer 26 formed between the upper plate and the lower plate, and the upper plate and the lower plate and the spacer 26. ).

상판에서 블랙매트릭스(32)는 상부기판(11) 상에 매트릭스 형태로 형성되어 상부기판(11)의 표면을 칼라필터(30)들이 형성될 다수의 셀 영역들로 분리하고, 인접 셀간의 광간섭을 방지하는 역할을 한다. 이 블랙매트릭스(32)가 형성된 상부기판(1) 상에 적, 녹, 청 삼원색의 칼라필터(30)들이 순차적으로 형성된다. 이 경우, 삼원색의 칼라필터(30) 각각은 블랙매트릭스(32)가 형성된 상부기판(1)의 전면에 백색광원을 흡수하여 특정파장(적색, 녹색, 또는 청색)의 광만을 투과시키는 물질을 도포한 후 패터닝함으로써 형성된다. 블랙매트릭스(32) 및 칼라필터(30)가 형성된 상부기판(1) 상에 그라운드 전위가 공급되는 투명도전막인 투명전극(28)을 도포하여 상판을 완성하게 된다.In the upper plate, the black matrix 32 is formed in a matrix form on the upper substrate 11 to separate the surface of the upper substrate 11 into a plurality of cell regions in which the color filters 30 are to be formed, and optical interference between adjacent cells. Serves to prevent. On the upper substrate 1 on which the black matrix 32 is formed, color filters 30 of red, green, and blue primary colors are sequentially formed. In this case, each of the three primary color filters 30 absorbs a white light source on the front surface of the upper substrate 1 on which the black matrix 32 is formed and applies a material that transmits only a specific wavelength (red, green, or blue) light. It is then formed by patterning. On the upper substrate 1 on which the black matrix 32 and the color filter 30 are formed, a transparent electrode 28, which is a transparent conductive film to which a ground potential is supplied, is coated to complete the top plate.

하판에서 액정셀의 구동을 스위칭하는 박막트랜지스터는 게이트라인 및 데이터라인의 교차부에 형성되며, 데이터라인 및 게이트라인 중 적어도 어느 하나에 중첩되는 화소전극(22)들은 매트릭스형태로 배열되어 하부기판(1) 상에 형성된다. 하부기판(1) 상에 금속막을 도포한 후 패터닝함으로써 게이트라인과 게이트전극을 형성한다. 게이트라인 및 게이트전극을 덮도록 하부기판상에 전면 증착하여 게이트절연막(12)을 형성한다. 게이트절연막(12) 상에 제 1 및 제 2 반도체물질(14, 16)을 순차적으로 증착한 후 패터닝함으로써 활성층(14)과 오믹접촉층(16)을 형성한다. 이어서, 게이트절연막(12) 상에 금속막을 도포한 후 패터닝함으로써 데이터라인, 소스전극(8) 및 드레인전극(10)을 형성한 후, 소정크기의 채널을 형성하기 위해 오믹접촉층(16)을 식각하여 활성층(14)을 노출한다. 그리고, 게이트절연막 상에 유기물 보호막(18)을 스핀코팅에 의해 표면이 평탄하게 증착한 후 패터닝함으로써 드레인전극(10)이 노출되도록 콘텍홀(20)이 형성된다. 다음, 보호층(18)상에 투명전도성물질을 도포하여 패터닝함으로써 드레인전극(10)과 전기적으로 접속되는 화소전극(22)을 형성한다. 화소전극(22)이 형성된 하부기판(1)의 전면에 배향막(24)을 도포한 후 러빙공정을 수행하여 하판이 완성된다.The thin film transistor for switching the driving of the liquid crystal cell on the lower plate is formed at the intersection of the gate line and the data line, and the pixel electrodes 22 overlapping at least one of the data line and the gate line are arranged in a matrix to form a lower substrate ( 1) is formed on. The gate line and the gate electrode are formed by coating and patterning a metal film on the lower substrate 1. The gate insulating layer 12 is formed by depositing the entire surface on the lower substrate to cover the gate line and the gate electrode. The active layer 14 and the ohmic contact layer 16 are formed by sequentially depositing and patterning the first and second semiconductor materials 14 and 16 on the gate insulating layer 12. Subsequently, the data line, the source electrode 8 and the drain electrode 10 are formed by coating and patterning a metal film on the gate insulating film 12, and then the ohmic contact layer 16 is formed to form a channel having a predetermined size. By etching, the active layer 14 is exposed. The contact hole 20 is formed so that the drain electrode 10 is exposed by patterning the surface of the organic protective film 18 by spin coating the gate insulating film and then patterning the organic protective film 18. Next, a transparent conductive material is applied and patterned on the protective layer 18 to form the pixel electrode 22 electrically connected to the drain electrode 10. After the alignment layer 24 is applied to the entire surface of the lower substrate 1 on which the pixel electrode 22 is formed, a rubbing process is performed to complete the lower plate.

이후, 상판과 하판을 정위치시켜 합착한 후 구형상의 스페이서(26)를 산포한 후 액정을 주입하여 봉지함으로써 액정표시소자를 완성하게 된다.Subsequently, the upper plate and the lower plate are bonded to each other, and then the spherical spacers 26 are scattered, and then liquid crystal is injected and sealed to complete the liquid crystal display device.

상기와 같이 완성된 액정표시장치를 광학소자로 활용하기 위해서는 액정분자들을 특정 방향으로 배향시켜야 하는데, 통상의 액정분자들은 국부적으로만 배향한다. 따라서, 액정분자들을 특정 방향으로 배향시키기 위하여 배향막으로 불리는 유기고분자막을 ITO(Indium Tin Oxide) 전극 위에 인위적으로 형성한다. 이를 위해, 배향막은 배향액 예컨대, 폴리 아믹산, 가용성 폴리 이미드 등을 기판 상에 도포하고 경화하여 폴리 이미드화한 후 러빙함으로써 형성된다.In order to utilize the completed liquid crystal display device as an optical element, the liquid crystal molecules should be oriented in a specific direction, and ordinary liquid crystal molecules are only oriented locally. Therefore, in order to align the liquid crystal molecules in a specific direction, an organic polymer film called an alignment film is artificially formed on the indium tin oxide (ITO) electrode. For this purpose, the alignment film is formed by applying an alignment liquid, for example, polyamic acid, soluble polyimide, or the like on a substrate, curing it to polyimide, and then rubbing.

구체적으로, 배향막 인쇄방법은 배향막 인쇄장치를 이용하여 기판 상면에 배향액을 인쇄하고, 상기 배향액을 60℃~80℃정도의 온도로 가열하여 1차 경화한 다음, 좀더 높은 80℃~200℃ 정도의 온도로 가열하여 2차 경화한다. 그 후, 배향액의 표면에 러빙 또는 광조사하여 배향막을 형성한다.Specifically, in the alignment film printing method, the alignment liquid is printed on the upper surface of the substrate by using the alignment film printing apparatus, and the first alignment liquid is first cured by heating the alignment liquid to a temperature of about 60 ° C. to 80 ° C., and then higher 80 ° C. to 200 ° C. Heat to a temperature of about 2 to cure. Thereafter, rubbing or light irradiation is performed on the surface of the alignment liquid to form an alignment film.

도 2는 종래 기술에 따른 배향막 인쇄 장치의 개념도이다. 2 is a conceptual diagram of an alignment film printing apparatus according to the prior art.

도 2를 참조하면, 일반적인 액정표시장치의 배향막 인쇄장치는 배향액을 공급하는 디스펜서(56)와, 인쇄 마스크(52)로 둘러싸여 배향액을 액정표시소자 기판(50) 상면에 인쇄하는 인쇄 롤(51)과, 인쇄 마스크(52)에 배향액을 피착시키는 아니록스 롤(53)과, 디스펜서(56)에서 제공한 배향액을 아니록스 롤(Anilox Roll; 53)에 고루 묻혀주는 닥터 롤(54)과, 액정표시소자 기판(50)이 로딩되어 안착되는 스테이지(58)와, 액정표시소자 기판(50)을 스테이지(58) 상에 로딩시키는 로딩장치(60)와, 배향막이 인쇄된 액정표시소자 기판(50)을 스테이지(58) 상에서 언로딩시키는 언로딩장치(62)를 구비한다.Referring to FIG. 2, an alignment film printing apparatus of a general liquid crystal display device includes a printing roll 56 which is surrounded by a dispenser 56 for supplying an alignment liquid and a print mask 52 and prints the alignment liquid on the upper surface of the liquid crystal display device substrate 50. 51, the anilox roll 53 for depositing the alignment liquid on the printing mask 52, and the doctor roll 54 for evenly applying the alignment liquid provided from the dispenser 56 to the anilox roll 53. ), A stage 58 on which the liquid crystal display device substrate 50 is loaded and seated, a loading device 60 for loading the liquid crystal display device substrate 50 onto the stage 58, and a liquid crystal display on which an alignment film is printed. An unloading device 62 for unloading the device substrate 50 on the stage 58 is provided.

액정표시소자 기판(50)은 로딩장치(60)에 의해 스테이지(58) 상에 로딩된 후, 배향막 인쇄가 완료되면 언로딩장치(62)에 의해 스테이지(58) 상에서 언로딩된다. 스테이지(58)는 도시하지 않은 구동모터에 접속되어 회전하는 구동롤러(59)에 의해 일방향으로 이송된다.The liquid crystal display substrate 50 is loaded on the stage 58 by the loading device 60 and then unloaded on the stage 58 by the unloading device 62 when the alignment film printing is completed. The stage 58 is conveyed in one direction by a driving roller 59 which is connected to a driving motor (not shown) and rotates.

디스펜서(56)는 아니록스 롤(53) 상에 설치되고 도시하지 않은 구동장치에 의해 좌우로 움직여 배향액을 아니록스 롤(53)의 외주면에 공급한다. 닥터 롤(54)은 자신의 외주면이 아니록스 롤(53)의 외주면과 접촉된 상태에서 디스펜서 (56)로부터 공급된 배향액을 아니록스 롤(53)의 외주면에 고르게 펴주는 역할을 한다.The dispenser 56 is installed on the anilox roll 53 and moved left and right by a driving device (not shown) to supply the alignment liquid to the outer peripheral surface of the anilox roll 53. The doctor roll 54 serves to evenly spread the alignment liquid supplied from the dispenser 56 to the outer circumferential surface of the anilox roll 53 in a state in which the outer circumferential surface of the doctor roll 54 is in contact with the outer circumferential surface of the anilox roll 53.

인쇄 마스크(52)는 고무재질로써 인쇄 롤(51)의 외주면에 부착되어진다. 이러한, 인쇄 마스크(52)는 인쇄 롤(51)의 회전에의해 아니록스 롤(53)의 외주면과 접촉됨으로써 아니록스 롤(53)의 외주면에 인쇄된 배향액을 액정표시소자 기판(50) 상에 인쇄한다.The printing mask 52 is attached to the outer circumferential surface of the printing roll 51 as a rubber material. Such a printing mask 52 is brought into contact with the outer circumferential surface of the anilox roll 53 by the rotation of the printing roll 51 so that the alignment liquid printed on the outer circumferential surface of the anilox roll 53 is formed on the liquid crystal display element substrate 50. Print on

이와 같은 종래의 배향막 인쇄장치 및 방법은 좌우로 움직여 배향액을 공급하는 디스펜서(56)에 의하여 배향액, 예컨대, 폴리이미드(polyimide)용액을 닥터 롤(54)과 아니록스 롤(53) 사이에 고인 다음, 닥터 롤(54)과 아니록스 롤(53)의 회전에 의하여 아래로 흘러내린 후, 인쇄 롤(51)의 외주면에 감겨진 인쇄 마스크(52)에 피착된다. 이 때, 인쇄 롤(51)이 회전하기 시작하면, 구동모터에 전원이 인가되어 구동 롤러(59)가 회전하게 된다. 구동롤러(59)의 회전에 의해 액정표시소자 기판(50)이 로딩된 스테이지(58)가 일정속도를 가지며 일방향으로 이송된다. 여기서, 인쇄 롤(51)의 회전속도와 스테이지(57)의 동작속도는 서로 동일하게 설정된다.The conventional alignment film printing apparatus and method as described above are arranged between the doctor roll 54 and the anilox roll 53 with an alignment liquid, for example, a polyimide solution, by a dispenser 56 which moves left and right to supply the alignment liquid. After decay, it flows down by rotation of the doctor roll 54 and the anilox roll 53, and is then deposited on the printing mask 52 wound around the outer circumferential surface of the printing roll 51. At this time, when the printing roll 51 starts to rotate, power is applied to the driving motor to rotate the driving roller 59. By the rotation of the driving roller 59, the stage 58 loaded with the liquid crystal display device substrate 50 is transported in one direction at a constant speed. Here, the rotational speed of the printing roll 51 and the operation speed of the stage 57 are set equal to each other.

배향액을 모두 피착받은 인쇄 마스크(52)는 인쇄 롤(51)의 회전에 의해 회전하면서 스테이지(58)에 의해 이송되는 액정표시소자 기판(50)과 접촉되어 액정표시소자 기판(50)의 표면에 얇은 두께의 배향액을 인쇄한다.The print mask 52 having received all of the alignment liquid is in contact with the liquid crystal display substrate 50 transported by the stage 58 while being rotated by the rotation of the printing roll 51 and thus the surface of the liquid crystal display substrate 50. A thin alignment liquid is printed on the substrate.

액정표시소자 기판(50) 상에 배향막 인쇄가 완료되면, 언로딩장치(62)는 스테이지(58) 상에 안착된 액정표시소자 기판(50)을 외부로 언로딩시키게 된다. 이 때, 스테이지(58)는 언로딩장치(62)에 의해 액정표시소자 기판(50)이 언로딩된 후 구동롤러(59)의 역회전에 의해 로딩장치(60) 쪽으로 후진하여 복귀하게 된다. 이어서, 전술한 바와 같이 과정에 의해 배향액을 다른 기판(50) 상에 인쇄한다.When the alignment film is printed on the liquid crystal display substrate 50, the unloading device 62 unloads the liquid crystal display substrate 50 seated on the stage 58 to the outside. At this time, the stage 58 is unloaded by the unloading device 62, and then is returned to the loading device 60 by the reverse rotation of the driving roller 59. Subsequently, the alignment liquid is printed onto the other substrate 50 by the process as described above.

물론 이외의 다른 방법으로는 배향막을 인쇄 과정을 통해 투명전극과 컬러 필터를 구비한 기판에 인쇄할 수 있다. 플렉소 인쇄와 같이 스탬퍼에 대응하는 배향막이 인쇄되도록 할 수 있다. Of course, in addition to other methods, the alignment layer may be printed on a substrate having a transparent electrode and a color filter through a printing process. The alignment film corresponding to the stamper may be printed, such as flexographic printing.

이러한 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 기술은 다양한 기술이 개발되었다. Various techniques have been developed for the manufacturing technology of such an alignment film printing stamper.

특히 최근에는 UV(ultraviolet) 감광성 수지를 이용하여 배향막을 인쇄하는 스탬퍼 제조 기술이 각광받고 있다. In particular, a stamper manufacturing technology for printing an alignment film using UV (ultraviolet) photosensitive resin has recently been in the spotlight.

이는 제 1 유리 기판에 베이스필름을 깔고, 그 상부에 액상의 UV감광성수지를 도포한 다음 박막의 투명한 커버필름과 투광과 비투광영역을 갖는 이미지 필름을 적층하고, 제 2 유리 기판을 적층한다. The base film is laid on a first glass substrate, a liquid UV photosensitive resin is applied on the first glass substrate, and a transparent cover film of a thin film and an image film having light and non-transmissive regions are laminated, and a second glass substrate is laminated.

이어서, 상기 필름의 외측에서 UV 조사장치를 통해 UV광을 소정시간 조사한다. 이때, UV 조사에 의해 이미지 필름의 투광 영역 내의 UV감광성 수지가 경화되고, 비투광성영역에는 경화되지 않는다. Subsequently, UV light is irradiated for a predetermined time through the UV irradiation device from the outside of the film. At this time, the UV photosensitive resin in the transmissive region of the image film is cured by UV irradiation, and not cured in the non-transmissive region.

이어서, 커버필름과 이미지 필름을 제거하고, 경화되지 않은 수지를 제거하여 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제조한다. Subsequently, the cover film and the image film are removed, and the uncured resin is removed to prepare a stamper for printing an alignment film.

그러나, 이러한 종래의 액정표시소자의 배향막 인쇄용 스탬퍼는 그 크기를 크게할 수 없는 단점이 있다.However, the conventional stamper for printing an alignment film of the liquid crystal display device has a disadvantage in that its size cannot be increased.

또한, 베이스필름과 액상 UV감광성수지 및 커버필름과 이미지필름 등의 재료를 제 1 유리 기판과 제 2 유리 기판 사이에 고정 배치한 상태에서 스탬퍼를 제조하기 때문에, 스탬퍼의 연속제조가 불가능한 문제점이 있었다.In addition, since the stamper is manufactured in a state in which materials such as a base film, a liquid UV photosensitive resin, a cover film, and an image film are fixedly disposed between the first glass substrate and the second glass substrate, there is a problem that continuous manufacture of the stamper is impossible. .

또한, 두 유리 기판 사이에서 제품이 경화되면서 그 두께가 결정된다. 하지만, 현재의 유리 가공 기술에서는 유리 두장 사이의 간격이 ±30㎛의 오차를 줄이지 못하고 있는 실정이다.
In addition, the thickness is determined as the product is cured between two glass substrates. However, in the current glass processing technology, the gap between two glass sheets does not reduce an error of ± 30 μm.

따라서, 본 발명은 상기의 제반 문제를 해결하기 위하여 창출된 것으로, 기존의 시스템을 탈피하여 재료공급, 하면노광, 두께 조정, 상면노광 및 분산 처리하는 시스템을 통해 제품의 인출 방법으로 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제조함으로 인해 스탬퍼를 연속 제조할 수 있는 배향막 인쇄용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 및 이의 제조 시스템을 제공하는 것이다. Therefore, the present invention was created in order to solve the above problems, and to remove the existing system through the system of supplying material, lower surface exposure, thickness adjustment, upper surface exposure and dispersion treatment system for the alignment film printing stamper using It is to provide an alignment film printing stamper and a method for manufacturing the same and a manufacturing system thereof capable of continuously manufacturing a stamper due to manufacturing.

또한, 본 발명은 두께 조정부에 두께 조정을 위한 미세 조정부를 설치하고, 상면 노광부를 통해 제품의 크기 및 두께 정밀도를 향상시킬 수 있는 배향막 인쇄용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 및 이의 제조 시스템을 제공하는 것이다.
In addition, the present invention is to provide an alignment film printing stamper and a manufacturing method thereof and a manufacturing system thereof, which is provided with a fine adjustment unit for thickness adjustment in the thickness adjustment unit, and can improve the size and thickness precision of the product through the upper surface exposure unit.

본 발명에 따른 롤 형태의 베이스 필름과 롤 형태의 네가티브 필름 사이에 감광성 수지를 적층하는 재료 공급부; 상기 적층된 부위 중 베이스 필름 부위를 UV경화시키는 하면 노광부; 상기 적층되어 하면 노광된 부위의 두께를 조절하는 두께 조정부; 상기 두께를 조정한 부위를 미세 조정하여 정밀한 두께를 유지시켜주고 UV 광선으로 패턴을 경화하여주는 상면 노광부; 상기 각부분을 일정한 속도로 인출하여주는 제품 인출부를 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템을 제공한다.A material supply unit for laminating the photosensitive resin between the roll-shaped base film and the roll-type negative film according to the present invention; A lower surface exposing portion for UV curing the base film portion of the laminated portion; A thickness adjusting unit configured to adjust the thickness of the exposed portions when the layers are stacked; An upper surface exposing unit for fine-adjusting a portion where the thickness is adjusted to maintain a precise thickness and curing the pattern with UV rays; It provides an alignment film printing stamper manufacturing system characterized in that the product withdrawal for drawing out the respective parts at a constant speed.

상기 상면 노광부는 상기 인쇄 필름 적층물의 상면에 위치하는 상면 유리와, 상기 상면 유리 상측에 위치하는 상면 UV 조사 장치와, 상기 인쇄 필름 적층물의 하면에 위치하여 상기 상면 유리와의 간격 조정을 통해 제품 두께를 결정하는 두께 조정판과, 상기 두께 조정판의 일부 영역 높이 미세 조정을 통해 상기 상면 유리와 두께 조정판 간의 평탄도를 조절하는 평탄도 미세 조절부를 구비한다. The upper surface exposure portion is a product thickness by adjusting the gap between the upper surface glass positioned on the upper surface of the print film laminate, the upper surface UV irradiation device positioned on the upper surface of the upper glass, and the lower surface of the printed film laminate. And a flatness adjusting part for adjusting a flatness between the upper surface glass and the thickness adjusting plate through fine adjustment of a height of a portion of the thickness adjusting plate.

상기 평탄도 조절부는 상기 두께 조정판의 하측에 배치되는 하측판; 상기 하측판과 두께 조정판 간을 결합시키는 결합부재; 및 상기 하측판을 관통하여 상기 두께 조정판의 하측면에 밀착된 변형부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. The flatness adjusting portion is a lower plate disposed below the thickness adjusting plate; Coupling member for coupling between the lower plate and the thickness adjustment plate; And through the lower plate characterized in that it comprises a deformation member in close contact with the lower side of the thickness adjustment plate.

상기 결합 부재와 상기 변형부재로 볼트 또는 너트를 사용하고, 상기 변형 부재는 ㎛ 단위로 상승 및 하강하는 것을 특징으로 한다. A bolt or a nut is used as the coupling member and the deforming member, and the deforming member is raised and lowered in a micrometer unit.

상기 상면 UV 조사 장치는 연장된 봉형태의 다수의 UV 램프를 포함하고, 상기 UV 램프의 연장 방향 축과, 상기 인쇄 필름 적층물의 이동 방향 축 간의 사이 각도가 30 내지 85도인 것을 특징으로 한다. The upper surface UV irradiation apparatus includes a plurality of UV lamps in the form of an elongated rod, and the angle between the extension direction axis of the UV lamp and the movement direction axis of the print film stack is 30 to 85 degrees.

또한, 본 발명은 롤 형태의 베이스 필름과 롤 형태의 네가티브 필름 사이에 감광성 수지가 도포된 인쇄 필름 적층물을 공급하는 재료 공급부; 상기 인쇄 필름 적층물의 두께를 조정하는 두께 조정부; 상기 인쇄 필름 적층물의 상면에 위치하는 유리 고정판과, 상기 유리 고정판 상측에 위치하는 다수의 봉 타입의 UV 램프를 구비하고, 상기 UV 램프가 상기 인쇄 필름 적층물의 인출 방향에 대하여 비스듬하게 배치된 상면 UV 조사 장치와, 상기 인쇄 필름 적층물의 하면에 위치하여 상기 유리 고정판과의 간격 조정을 통해 제품 두께를 결정하는 두께 조정판과, 상기 두께 조정판의 일부 영역 높이 미세 조정을 통해 상기 유리 고정판과 두께 조정판 간의 평탄도를 조절하는 평탄도 조절부를 구비하는 상면 노광부를 포함하고, 상기 인쇄 필름 적층물이 재료 공급부에서 상면 노광부로 인출되는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템을 제공한다. In addition, the present invention is a material supply unit for supplying a printed film laminate coated with a photosensitive resin between the roll-shaped base film and the roll-shaped negative film; A thickness adjusting unit for adjusting a thickness of the printed film laminate; A glass fixing plate positioned on the upper surface of the printing film stack, and a plurality of rod-type UV lamps positioned above the glass fixing plate, wherein the UV lamp is disposed obliquely with respect to the drawing direction of the printing film stack. A thickness adjusting plate positioned on a lower surface of the printing film stack and determining a product thickness by adjusting an interval between the glass fixing plate, and a flatness between the glass fixing plate and the thickness adjusting plate through fine adjustment of the height of a portion of the thickness adjusting plate. It provides an upper surface exposure portion having a flatness adjusting portion for adjusting the degree, wherein the printed film laminate is drawn from the material supply portion to the upper surface exposure portion provides a stamper manufacturing system for printing an alignment film.

상기 UV 램프의 연장 방향 축과, 상기 인쇄 필름 적층물의 이동 방향 축 간의 사이 각도가 30 내지 85도인 것을 특징으로 한다. The angle between the extending direction axis of the UV lamp and the moving direction axis of the print film stack is characterized in that 30 to 85 degrees.

상기 재료 공급부로부터 제공된 상기 베이스 필름 인접 영역의 감광성 수지 일부를 노광하는 하면 노광부와, 상기 상면 노광부로부터 인출된 제품을 인출하는 인출부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. And a lower surface exposing portion for exposing a portion of the photosensitive resin in the region adjacent to the base film provided from the material supply portion, and a drawing portion for extracting the product drawn out from the upper surface exposing portion.

베이스 필름과 네가티브 필름 사이에 감광성 수지가 위치하는 제품의 두께 오차가 ±30㎛ 이내인 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제공한다. Provided is a stamper for printing an alignment film, wherein a thickness error of a product in which the photosensitive resin is positioned between the base film and the negative film is within ± 30 μm.

상기 두께 오차가 ±5㎛ 내지 ±10㎛인 것을 특징으로 한다. The thickness error is characterized in that ± 5㎛ to ± 10㎛.

베이스 필름상에 감광성 수지를 도포하고, 감광성 수지상에 네가티브 필름을 배치하는 단계; 상기 베이스 필름의 하측에서 베이스 필름 방향으로 UV 광을 조사하여 베이스 필름 상면에 위치한 감광성 수지 일부를 경화시키는 단계; 상기 베이스 필름과 네가티브 필름을 가압하여 두께를 조절하는 단계; 및 상기 네가티브 필름 상측 영역에서 UV 광을 조사하여 경화되지 않은 감광성 수지를 경화시키되, 네가티브 필름의 상측을 유리판으로 가압하고, 베이스 필름을 금속성의 판으로 가압하여 목표로 하는 제품 두께가 되도록 상기 금속성 판의 일부의 높이를 조절하고, UV 광을 발산하는 UV 램프를 필름들의 이동 방향축에 대하여 비스듬하게 배치하여 UV 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법을 제공한다.
Applying a photosensitive resin on the base film and disposing a negative film on the photosensitive resin; Irradiating UV light from the lower side of the base film toward the base film to cure a portion of the photosensitive resin disposed on the upper surface of the base film; Adjusting the thickness by pressing the base film and the negative film; And curing the uncured photosensitive resin by irradiating UV light in the upper region of the negative film, pressing the upper side of the negative film with a glass plate, and pressing the base film with a metal plate to obtain a target product thickness. Adjusting the height of a portion of the, and providing a UV lamp for emitting UV light by arranging obliquely with respect to the moving direction axis of the film to provide a method of manufacturing a stamper for printing an alignment film comprising the step of irradiating UV light.

상술한 바와 같이 본 발명은 재료공급, 하면노광, 상면노광 및 두께 조정을 분산 처리하는 시스템을 통해 제품의 인출 방법으로 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제조하여 스탬퍼를 연속으로 만들 수 있다. As described above, the present invention can make a stamper continuously by manufacturing a stamper for printing an alignment film by a method of extracting a product through a system for distributing material supply, bottom exposure, top exposure, and thickness adjustment.

또한, 노광시 두께를 조정하는 미세 조정부를 설치하고, 상면 노광부의 램프 위치 조정을 통해 제품의 크기 및 두께 정밀도를 향상시킬 수 있다.
Further, by providing a fine adjustment unit for adjusting the thickness at the time of exposure, it is possible to improve the size and thickness accuracy of the product by adjusting the lamp position of the upper surface exposure portion.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 소자의 단면도.
도 2는 종래 기술에 따른 배향막 인쇄 장치의 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템의 도면.
도 4는 일 실시예에 따른 하면 노광부의 도면.
도 5는 일 실시예에 따른 두께 조절부의 도면.
도 6은 일 실시예에 따른 상면 노광부의 도면.
도 7은 일 실시예에 따른 상면 노광부의 개념도.
도 8은 일 실시예에 따른 상면 노광부의 두께 미세 조정판과 평탄도 조절부 간의 연결관계를 설명하기 위한 일부 평면도.
도 9는 일 실시예에 따른 상면 UV 조사 장치의 사시도.
도 10은 일 실시예에 따른 상면 UV 조사 장치에 대한 평면 개념도.
1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device according to the prior art.
2 is a conceptual diagram of an alignment film printing apparatus according to the prior art.
Figure 3 is a view of a stamper manufacturing system for printing an alignment film according to an embodiment of the present invention.
4 is a view of a lower surface exposure unit according to an embodiment.
5 is a view showing a thickness adjusting unit according to an embodiment.
6 is a view of an upper surface exposure unit according to an embodiment.
7 is a conceptual diagram of an upper surface exposure unit according to an embodiment.
8 is a partial plan view illustrating a connection relationship between a thickness fine adjusting plate of an upper surface exposure unit and a flatness adjusting unit according to an exemplary embodiment.
9 is a perspective view of a top surface UV irradiation device according to one embodiment.
10 is a top conceptual view of a top surface UV irradiation device according to one embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템의 도면이고, 도 4는 일 실시예에 따른 하면 노광부의 도면이고, 도 5는 일 실시예에 따른 두께 조절부의 도면이고, 도 6은 일 실시예에 따른 상면 노광부의 도면이고, 도 7은 일 실시예에 따른 상면 노광부의 개념도이고, 도 8은 일 실시예에 따른 상면 노광부의 두께 미세 조정판과 평탄도 조절부 간의 연결관계를 설명하기 위한 일부 평면도이다. 도 9는 일 실시예에 따른 상면 UV 조사 장치의 사시도이고, 도 10은 일 실시예에 따른 상면 UV 조사 장치에 대한 평면 개념도이다. 3 is a view illustrating a stamper manufacturing system for printing an alignment film according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a view of a lower surface exposure unit according to an embodiment, FIG. 5 is a view of a thickness adjusting unit according to one embodiment, and FIG. 6. 7 is a diagram illustrating a top surface exposure unit according to an embodiment, FIG. 7 is a conceptual view illustrating a top surface exposure unit according to one embodiment, and FIG. 8 is a view illustrating a connection relationship between a thickness fine adjustment plate and a flatness control unit according to an embodiment. It is a partial plan view to make. 9 is a perspective view of a top surface UV irradiation apparatus according to an embodiment, and FIG. 10 is a plan view of the topside UV irradiation apparatus according to the embodiment.

도 3 내지 도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 액정표시소자의 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템은 인라인 시스템으로 롤 타입의 제품 인출 방법으로 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제작한다. 이러한 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템은 재료 공급부(100), 하면 노광부(200), 두께 조정부(300), 상면 노광부(400) 및 제품 인출부(500)가 순차적으로 배열된다. 3 to 10, the alignment film printing stamper manufacturing system of the liquid crystal display device according to the present invention is an inline system to produce a stamper for printing the alignment film by a roll-type product withdrawal method. In the alignment film printing stamper manufacturing system, the material supply unit 100, the lower surface exposure unit 200, the thickness adjusting unit 300, the upper surface exposure unit 400, and the product extraction unit 500 are sequentially arranged.

재료 공급부(100)는 롤 형태의 베이스 필름(102)과 롤 형태의 네가티브 필름(104) 사이에 감광성 수지(103)가 도포된 인쇄 필름 적층물(101)을 하면 노광부(200)에 공급한다. The material supply unit 100 supplies the exposed film 200 to the exposed film 200 when the printed film laminate 101 coated with the photosensitive resin 103 is applied between the roll-shaped base film 102 and the roll-shaped negative film 104. .

상기 재료 공급부(100)는 도 3에 도시된 바와 같이 베이스 필름(102)이 권취되어 있는 베이스 필름 공급롤(110)과, 상기 베이스 필름(102)을 이동시키는 공급 베이스(120)와, 상기 이동하는 베이스 필름(102) 상에 감광성 수지(103)를 공급하는 수지 공급통(130)과, 상기 감광성 수지(103) 상면에 올려지는 네가티브 필름(104)이 권치되어 있는 네가티브 필름 공급롤(140)을 구비한다. As shown in FIG. 3, the material supply unit 100 includes a base film supply roll 110 on which the base film 102 is wound, a supply base 120 for moving the base film 102, and the movement. The negative film supply roll 140 in which the resin supply cylinder 130 which supplies the photosensitive resin 103 on the base film 102 to which it is made, and the negative film 104 put on the upper surface of the said photosensitive resin 103 are wound. It is provided.

이와 같이 재료 공급부(100)는 베이스 필름(102)과 네가티브 필름(104) 사이에 감광성 수지(103)를 위치시켜 인쇄 필름 적층물(101)을 제작하고 동시에 제품 인출부(500) 방향으로 이를 이동시킨다. 즉, 베이스 필름(102)이 롤로부터 풀리면서 제품 인출부(500) 방향으로 이동하고, 그 상부에 감광성 수지(103)가 도포되고, 다시 감광성 수지(103) 상부에 네가티브 필름(104)이 풀리면서 제품 인출 방향으로 이동하게 된다. In this way, the material supply unit 100 places the photosensitive resin 103 between the base film 102 and the negative film 104 to produce the printed film stack 101 and simultaneously move it toward the product outlet 500. Let's do it. That is, while the base film 102 is unrolled from the roll, it moves in the direction of the product lead part 500, the photosensitive resin 103 is applied on the upper portion thereof, and the negative film 104 is pulled on the photosensitive resin 103 upper portion again. While moving in the direction of product withdrawal.

물론 도 1에 도시된 바와 같이 재료 공급부(100)는 회전 롤러 등과 같은 공급 베이스(120)가 다양한 위치에 다양한 방법으로 배치된다.  Of course, as shown in FIG. 1, the material supply unit 100 may be disposed in various ways in which a supply base 120 such as a rotating roller is disposed at various positions.

여기서, 수지 공급통(130)은 이동하는 베이스 필름(102) 상면에 수지를 공급하고, 베이스 필름(102) 상면에 수지가 균일하게 공급되도록 할 수 있다. 이를 위해 수지 공급통(130)의 수지 배출구의 폭이 베이스 필름(102)의 폭과 같거나 유사한 것이 효과적이다. Here, the resin supply cylinder 130 may supply resin to the upper surface of the moving base film 102, and may uniformly supply resin to the upper surface of the base film 102. To this end, it is effective that the width of the resin outlet of the resin supply container 130 is the same as or similar to the width of the base film 102.

하면 노광부(200)는 재료 공급부(100)로부터 공급되는 인쇄 필름 적층물(101) 내의 베이스 필름(102)와 인접한 영역의 감광성 수지(103) 일부를 1차 노광시킨다. 이를 통해 베이스 필름(102) 영역의 일정 두께의 수지가 경화된다. The lower surface exposure unit 200 firstly exposes a portion of the photosensitive resin 103 in a region adjacent to the base film 102 in the printed film stack 101 supplied from the material supply unit 100. Through this, the resin having a predetermined thickness in the region of the base film 102 is cured.

하면 노광부(200)는 도 4에 도시된 바와 같이 인쇄 필름 적층물(101)의 베이스 필름(102)이 접하는 하면 유리판(210)과, 상기 하면 유리판(210)의 하측에 위치하여 상기 베이스 필름(102) 방향으로 UV 광을 조사하는 하면 UV 조사 장치(220)를 포함한다. As shown in FIG. 4, the lower surface exposing part 200 is positioned below the lower glass plate 210 and the lower glass plate 210 which the base film 102 of the printed film stack 101 contacts. The lower surface UV irradiation apparatus 220 which irradiates UV light to the (102) direction is included.

하면 유리판(210)은 베이스 필름(102)의 폭보다 큰 폭을 갖는 것이 효과적이다. 이를 통해 제품 인출부(500)로 이동하는 베이스 필름(102)의 전면이 상기 하면 유리판(210)을 지나도록 할 수 있다. The lower glass plate 210 is effective to have a width larger than the width of the base film 102. Through this, the front surface of the base film 102 moving to the product outlet 500 may pass through the lower glass plate 210.

하면 UV 조사 장치(220)는 도면에서와 같이 다수의 UV 램프를 포함하는 것이 효과적이다. 다수의 UV 램프가 내부가 비어 있고, 상부가 개방된 박스 형태의 공간에 배치될 수 있다. 그리고, 박스의 내부에는 광을 반사하는 반사막이 위치할 수도 있다. 물론 박스의 상부에 투광성의 판이 배치될 수도 있다. The lower surface UV irradiation device 220 is effective to include a plurality of UV lamps as shown in the figure. A plurality of UV lamps may be disposed in a box-shaped space with an empty interior and an open top. In addition, a reflective film that reflects light may be located inside the box. Of course, a translucent plate may be arranged on top of the box.

여기서, 상기 UV 램프는 바타입의 램프를 사용하는 것이 효과적이다. 그리고, 이때, UV 램프의 연장 방향이 상기 베이스 필름의 이동 방향에 대하여 수직하게 배치되는 것이 바람직하다. 물론 이에 한정되지 않고, 후술하는 상면 노광부에서 언급한 바와 같은 배치도 가능하다. Here, the UV lamp is effective to use a bar type lamp. At this time, it is preferable that the extending direction of the UV lamp is disposed perpendicular to the moving direction of the base film. Of course, the present invention is not limited thereto, and the arrangement as described in the upper surface exposure section described later is also possible.

상기 UV 램프의 UV 광에 의해 감광성 수지(103)가 경화되어(도 4의 A 영역 참조) 베이스 필름(102)에 부착 고정된다. 그리고, 나머지 상부 영역의 감광성 수지는 액상 상태를 유지하면서 하면 노광부(200)를 지나가게 된다. The photosensitive resin 103 is cured by the UV light of the UV lamp (see area A in FIG. 4) and fixed to the base film 102. Then, the photosensitive resin of the remaining upper region passes through the exposed portion 200 while maintaining the liquid state.

두께 조정부(300)는 인쇄 필름 적층물(101)의 두께를 1차 조절한다. 즉, 두께 조정부(300)는 목표로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 두께에 대응되도록 인쇄 필름 적층물(101)을 가압한다.The thickness adjusting unit 300 primarily adjusts the thickness of the print film stack 101. That is, the thickness adjusting unit 300 presses the print film stack 101 so as to correspond to the thickness of the target alignment film printing stamper.

두께 조정부(300)는 도 5에 도시된 바와 같이 소정 두께 즉, 배향막 인쇄용 스탬퍼의 두께에 대응하는 두께로 상하로 이격된 제 1 및 제 2 두께 조절 수단(311, 312)과, 상기 제 1 및 제 2 두께 조절 수단(311, 312)의 간격을 조절하는 간격 조절 장치(320)를 구비한다. As shown in FIG. 5, the thickness adjusting unit 300 includes first and second thickness adjusting means 311 and 312 spaced up and down by a predetermined thickness, that is, a thickness corresponding to the thickness of the alignment film printing stamper. It is provided with a gap adjusting device 320 for adjusting the interval of the second thickness adjusting means (311, 312).

본 실시예에서는 도 5에서와 같이 상기 인쇄 필름 적층물(101)의 이동 방향으로 전후에 한쌍의 제 1 및 제 2 두께 조절 수단(311, 312)이 위치한다. In this embodiment, as shown in FIG. 5, a pair of first and second thickness adjusting means 311 and 312 are positioned before and after in the moving direction of the print film stack 101.

제 1 및 제 2 두께 조절 수단(311, 312)은 원형의 봉형태로 제작되는 것이 효과적이다. 이때, 상기 봉의 길이는 인쇄 필름 적층물(101)의 폭과 동일하거나 폭보다 큰 것이 효과적이다. 이를 통해 인쇄 필름 적층물(101)의 전면을 균일하게 가압할 수 있다. 이때, 제 1 두께 조절 수단(311)은 인쇄 필름 적층물(101)의 베이스 필름(102)에 접속하고, 제 2 두께 조절 수단(312)은 네가티브 필름(104)에 접속된다. It is effective that the first and second thickness adjusting means 311 and 312 are manufactured in a circular rod shape. In this case, it is effective that the length of the rod is equal to or larger than the width of the print film stack 101. Through this, the entire surface of the print film stack 101 may be uniformly pressed. At this time, the first thickness adjusting means 311 is connected to the base film 102 of the print film stack 101, and the second thickness adjusting means 312 is connected to the negative film 104.

간격 조절 장치(320)는 인쇄 필름 적층물(101)을 기준으로 하측과 상측에 각기 고정된 제 1 및 제 2 고정 몸체(321, 322)와, 한쌍의 제 1 두께 조절 수단(311)을 각기 지지하는 제 1 지지몸체(323)와, 한쌍의 제 2 두께 조절 수단(312)을 각기 지지하는 제 2 지지몸체(324)와, 상기 제 1 지지몸체(323)와 제 1 고정 몸체(321)에 접속되어 상기 제 1 지지몸체(323)의 높이를 미세 조정하는 제 1 간격 조절 몸체(325)와, 상기 제 2 지지몸체(324)와 제 2 고정 몸체(323)에 접속되어 상기 제 2 지지 몸체(324)의 높이를 조절하는 제 2 간격 조절 몸체(326)를 구비한다. The gap adjusting device 320 includes first and second fixing bodies 321 and 322 fixed to the lower side and the upper side, respectively, based on the print film stack 101, and a pair of first thickness adjusting means 311, respectively. A second support body 324 for supporting a first support body 323 for supporting, a pair of second thickness adjusting means 312, and the first support body 323 and a first fixed body 321, respectively. A first spacing adjusting body 325 connected to the first spacing adjusting body 325 for fine-adjusting the height of the first supporting body 323, and a second supporting body 324 and a second fixing body 323 connected to the second supporting body 323. And a second gap adjusting body 326 for adjusting the height of the body 324.

여기서, 간격 조절 몸체(325, 326)와 지지몸체(323, 324)는 나사산 구조로 결합되고, 간격 조절 몸체(325, 326)의 회전에 따라 나사산 구조에 의해 지지 몸체(323, 324)가 하강한다. 물론 이에 한정되지 않고, 이 몸체들은 래크와 피니언 등의 구조 또는 상하슬라이딩 구조 등 다양한 상하 이동 구조로 제작할 수 있다. 또한, 이를 자동 또는 수동 구동 방식을 적용하여 제어할 수 있다. Here, the space adjusting body (325, 326) and the support body (323, 324) is coupled to the thread structure, the support body (323, 324) is lowered by the thread structure in accordance with the rotation of the space adjusting body (325, 326) do. Of course, the present invention is not limited thereto, and the bodies may be manufactured in various vertical moving structures, such as a rack and pinion structure or a vertical sliding structure. In addition, this may be controlled by applying an automatic or manual driving method.

여기서, 간격 조절 장치(320)에 의한 제 1 및 제 2 두께 조절 수단의 간격은 ㎛ 단위로 미세 조정된다. Here, the interval between the first and second thickness adjusting means by the gap adjusting device 320 is finely adjusted in units of μm.

상면 노광부(400)에 의해 인쇄 필름 적층물(101) 내의 감광성 수지(103)가 완전히 경과된다. 이때, 감광성 수지(103) 상측의 네가티브 필름(104)에 의해 일부 영역은 UV에 의해 노광 및 경화되지 않는다. 그리고, 상면 노광부(400)에서 인쇄용 스탬퍼가 제작되고, 그 최종 두께가 결정된다. 따라서, 그 표면 두께의 정밀도를 매우 정밀하게 가져가야 한다. 종래 기술에 언급한 바와 같이 종래에는 제품 두께의 오차를 ±30㎛ 이내로 줄이지 못한 실정이다. 이에 본 출원인은 상면 노광부(400)의 제어를 통해 이의 오차를 ±30㎛ 이내로 줄이는 제품을 출시하였다. The photosensitive resin 103 in the printing film laminated body 101 passes completely by the upper surface exposure part 400. FIG. At this time, some areas are not exposed and cured by UV by the negative film 104 above the photosensitive resin 103. And the stamper for printing is produced in the upper surface exposure part 400, and the final thickness is determined. Therefore, the precision of the surface thickness must be taken very precisely. As mentioned in the prior art, conventionally, an error in product thickness cannot be reduced to within ± 30 μm. Thus, the present applicant has released a product that reduces the error within ± 30㎛ through the control of the upper surface exposure unit 400.

하기에서는 이러한 상면 노광부에 관해 도 6 내지 도 10의 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, such an upper surface exposure unit will be described with reference to the drawings of FIGS. 6 to 10.

상면 노광부(400)는 인쇄 필름 적층물(101)의 상면에 위치하는 상면 유리(410)와, 상기 상면 유리(410) 상측에 위치하는 상면 UV 조사 장치(420)와, 상기 인쇄 필름 적층물(101)의 하면에 위치하여 상면 유리(410)와의 간격 조정을 통해 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제품 두께를 결정하는 두께 조정판(430)과, 상기 두께 조정판(430)의 미세 조정을 통해 상기 상면 유리(410)와 두께 조정판(430) 간의 평탄도를 조절하는 평탄도 미세 조절부(440)를 포함한다. The upper surface exposure unit 400 includes an upper surface glass 410 positioned on the upper surface of the print film stack 101, an upper surface UV irradiation device 420 positioned on the upper surface of the upper glass 410, and the printed film stack. Located on the lower surface of the 101 and the thickness adjusting plate 430 to determine the product thickness of the alignment film printing stamper by adjusting the gap with the upper surface glass 410, and the upper surface glass 410 through fine adjustment of the thickness adjusting plate 430 ) And the flatness fine control unit 440 to adjust the flatness between the thickness adjusting plate 430.

상면 유리(410)는 도 7에 도시된 바와 같이 결합된 두께 조정판(430)과 평탄도 미세 조절부(440)와 일정 간격 이격되어 있다. 이때, 상기 간격은 실제 목표로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 두께와 동일하다. 여기서, 상면 유리(410)는 별도의 고정 수단에 의해 상기 두께 조정판(430)의 상측 영역에 고정된다. 상면 유리(410)는 인쇄 필름 적층물(101)의 네가티브 필름(104)에 접촉되는 것이 바람직하다. 이를 통해 그 상측에서 조사되는 UV 광이 인쇄 필름 적층물(101) 내에 조사되도록 할 수 있다. The upper glass 410 is spaced apart from the thickness adjusting plate 430 and the flatness fine control unit 440 coupled as shown in FIG. 7. At this time, the interval is the same as the thickness of the stamper for printing the alignment film as the actual target. Here, the upper glass 410 is fixed to the upper region of the thickness adjusting plate 430 by a separate fixing means. The top glass 410 is preferably in contact with the negative film 104 of the print film stack 101. Through this, UV light irradiated from the upper side may be irradiated into the print film stack 101.

상기 상면 유리(410)의 하측에는 두께 조정판(430)이 위치한다. 두께 조정판(430)은 인쇄 필름 적층물(101)의 베이스 필름 부분에 접속된다. 본 실시예에서는 두께 조정판(430)으로 철판을 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 다양한 형태의 판형상의 물질을 사용할 수 있다. 그리고, 그 표면 가공을 통해 표면 평탄도가 매우 우수한 금속판을 사용하는 것이 바람직하다. The thickness adjusting plate 430 is positioned below the upper glass 410. The thickness adjusting plate 430 is connected to the base film portion of the print film stack 101. In this embodiment, an iron plate is used as the thickness adjusting plate 430. Of course, the present invention is not limited thereto, and various types of plate-shaped materials may be used. And it is preferable to use the metal plate which is very excellent in surface flatness through the surface processing.

그리고, 상기 두께 조정판(430)의 하측에는 두께 조정판(430)을 고정하고, 두께 조정판(430)과 상면 유리(410)들 간의 표면 평탄도를 일치시키기 위한 미세 조절부(440)가 마련된다. In addition, a fine adjusting part 440 is provided below the thickness adjusting plate 430 to fix the thickness adjusting plate 430 and to match the surface flatness between the thickness adjusting plate 430 and the upper glass 410.

미세 조절부(440)는 상기 두께 조정판(430)의 하측에 배치되는 하측 판(441)과, 상기 하측판(441)과 두께 조정판(430) 간을 결합시키는 결합부재(442)와, 상기 하측판(441)을 관통하여 두께 조정판(430)의 하측면에 국부적인 압력을 가하여 두께 조정판(430)의 평탄도를 국부적으로 변형시키는 변형부재(443)를 구비한다. 도 6에 도시된 바와 같이 미세 조절부(440)는 상기 각 부재를 지지하는 하부 제품 유도부(444)를 구비한다. Fine adjustment unit 440 is a lower plate 441 disposed on the lower side of the thickness adjusting plate 430, a coupling member 442 for coupling between the lower plate 441 and the thickness adjusting plate 430, and the lower The deformation member 443 penetrates the side plate 441 and applies a local pressure to the lower side of the thickness adjusting plate 430 to locally deform the flatness of the thickness adjusting plate 430. As shown in FIG. 6, the fine control unit 440 includes a lower product guide unit 444 supporting the respective members.

이때, 상기 하측판(441)으로는 앞선 두께 조정판(430)과 동일한 재질의 철판을 사용하거나, 다른 금속판을 사용할 수 있다. 여기서는 상기 하측판(441)의 두께가 두께 조정판(430)의 두께보다 두꺼운 것이 효과적이다. 이를 통해 하측판(441)이 두께 조정판(430)을 효과적으로 지지하고, 두께 조정판(430)의 변형에 대한 탄성력을 잡아줄 수 있다. In this case, the lower plate 441 may use an iron plate of the same material as that of the preceding thickness adjusting plate 430 or another metal plate. It is effective here that the thickness of the lower plate 441 is thicker than the thickness of the thickness adjusting plate 430. Through this, the lower plate 441 may effectively support the thickness adjusting plate 430, and may hold an elastic force against deformation of the thickness adjusting plate 430.

상기 결합부재(442)는 볼트 및/또는 너트를 사용하는 것이 효과적이다. 이와 같은 결합부재(442) 사용을 위해 도 8에 도시된 바와 같이 두께 조정판(430)에는 상기 결합부재(442)가 결합 고정되는 홈(예를 들어 고정 볼트 구멍 및 고정 너트 구멍)이 마련된다. 그리고, 도 8에서와 같이 상기 하측판(441)에는 결합부재(442)가 관통하는 관통홈이 마련된다. The coupling member 442 is effective to use a bolt and / or nut. As shown in FIG. 8, the thickness adjusting plate 430 is provided with a groove (eg, a fixing bolt hole and a fixing nut hole) to which the coupling member 442 is fixed to use the coupling member 442 as described above. As shown in FIG. 8, the lower plate 441 is provided with a through groove through which the coupling member 442 penetrates.

변형부재(443)는 하측판(441)을 관통하여 두께 조정판(430)의 하측면에 밀착된 볼트 또는 너트를 사용하는 것이 효과적이다. 변형 부재(443)는 하측판(441)의 전면에 균일하게 분포되는 것이 효과적이다. 이를 통해 두께 조정판(430)의 전면에 걸쳐 그 평면도를 조절할 수 있다. 즉, 변형 부재(443)가 상승하면, 변형부재(443)와 밀착되어 있던 두께 조정판(430) 영역이 상승하게 된다. 또한, 변형 부재(443)가 하강하면 이와 밀착되었던 두께 조정판(430) 영역이 상대적으로 하강하게 된다. 이와 같이 변형부재(443)로 사용되는 너트의 조정을 통해 두께 조정판(430)의 평면도를 상면 유리(410)에 맞도록 조정할 수 있다. 즉, 이를 통해 상부에 있는 두께 조정판(430)이 휘어지면서 유리와의 간격 오차를 최소화할 수 있게 된다. The deforming member 443 penetrates the lower plate 441, and it is effective to use a bolt or nut that is in close contact with the lower surface of the thickness adjusting plate 430. It is effective that the deforming member 443 is uniformly distributed on the entire surface of the lower plate 441. Through this, the flatness can be adjusted over the entire surface of the thickness adjusting plate 430. That is, when the deformation member 443 rises, the area of the thickness adjusting plate 430 in close contact with the deformation member 443 rises. In addition, when the deformable member 443 descends, the area of the thickness adjusting plate 430 which is in close contact with the deformable member 443 is relatively lowered. As such, the plan view of the thickness adjusting plate 430 may be adjusted to match the upper surface glass 410 by adjusting the nut used as the deforming member 443. That is, through this, the thickness adjusting plate 430 on the upper side can be bent to minimize the gap error with the glass.

이때, 변형 부재(443)는 ㎛ 단위로 상승 및 하강한다. 이를 통해 두께 조정판(430)의 해당 영역의 평면도를 마이크로 미터 단위로 조정할 수 있다. 따라서 이러한 변형 부재(443)를 통해 상면 유리(410)와 두께 조정판(430) 간의 평탄도 오차를 ±10㎛ 까지 달성할 수 있다. At this time, the deforming member 443 is raised and lowered in units of μm. Through this, the plan view of the corresponding region of the thickness adjusting plate 430 may be adjusted in units of micrometers. Therefore, the flatness error between the upper surface glass 410 and the thickness control plate 430 can be achieved up to ± 10 μm through the deformable member 443.

현재 유리 가공 기술로는 유리 표면의 평탄도의 오차 범위를 ±30㎛이내로 조절하는 것을 실질적으로 불가능하다. 따라서, 기존의 배향막 인쇄용 스탬퍼의 두께 평탄화 오차는 ±30㎛까지 적용되었다. 하지만, 본 실시예에서는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 두께 평탄화의 오차를 ±10㎛까지 적용시킬 수 있다. With current glass processing techniques it is virtually impossible to control the error range of the flatness of the glass surface to within ± 30 μm. Therefore, the thickness flattening error of the conventional alignment film printing stamper was applied up to ± 30㎛. However, in this embodiment, the error of thickness flattening of the alignment film printing stamper can be applied up to ± 10 μm.

여기서, 하측판(441)에는 상기 변형부재(443)가 관통하고, 결합되는 미세조절 나사 구멍이 마련되는 것이 효과적이다. 이때, 구멍의 내측면에는 변형부재(443)에 대응하는 나사산이 형성되어 있는 것이 효과적이다. Here, it is effective that the lower plate 441 is provided with a fine adjustment screw hole through which the deformation member 443 penetrates and is coupled. At this time, it is effective that a screw thread corresponding to the deforming member 443 is formed on the inner side surface of the hole.

배향막 인쇄시의 인쇄 두께 정밀도는 제품 두께 정밀도가 30%를 차지하고, 제품 표면의 망점(dot)의 크기와 균일 배열성이 70%를 차지한다. The printing thickness precision at the time of alignment film printing takes 30% of product thickness precision, and the size and uniformity of the dot of a product surface occupy 70%.

따라서, 앞서 언급한 바와 같은 평탄도 조절부를 통해 제품 두께 정밀도는 종래에 비하여 향상시킬 수 있다. Therefore, the product thickness precision through the flatness control unit as mentioned above can be improved compared to the prior art.

또한, 본 실시예에서는 제품 표면의 망점의 크기와 배열의 균일성을 향상시키기 위해 인쇄 필름 적층물(101)에 조사되는 UV 광량을 전체 면에 균일하게 조사하였다. 이를 위해 상면 UV 조사 장치(420) 내의 UV 램프의 배열을 변화시켰다. In addition, in this embodiment, in order to improve the uniformity of the size and arrangement of the dot on the surface of the product, the amount of UV light irradiated onto the printed film laminate 101 was uniformly irradiated on the entire surface. To this end, the arrangement of the UV lamps in the top UV irradiation device 420 is changed.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 상면 UV 조사 장치(420)는 복수의 UV 램프(421)와 복수의 UV 램프(421)를 지지하는 UV 램프 박스(422)를 포함한다. As shown in FIGS. 9 and 10, the upper surface UV irradiation device 420 includes a plurality of UV lamps 421 and a UV lamp box 422 supporting the plurality of UV lamps 421.

도면에 도시된 바와 같이 UV 램프 박스(422)는 인쇄 필름 적층물(101)의 이동 방향으로 길게 연장된 사각형 형태를 갖는다. 그리고, UV 램프 박스(422)는 상기 상명 유리(410)의 상측에 고정 장착된다. 물론 상기 상면 유리(410)가 상기 UV 램프 박스(422)에 고정될 수도 있다. As shown in the figure, the UV lamp box 422 has a rectangular shape extending in the moving direction of the print film stack 101. In addition, the UV lamp box 422 is fixedly mounted on the upper side of the name glass 410. Of course, the upper glass 410 may be fixed to the UV lamp box 422.

UV 램프(421)은 도면에서와 같이 일 방향으로 길게 연장된 바 타입(bar type)으로 제작된다. 본 실시예에서는 인쇄 필름 적층물(101)의 이동 방향에 대하여 수평하게 연장된 연장 기준 축에 대하여 상기 UV 램프(421)가 비스듬하게 배치되는 것이 효과적이다. 이때, UV 램프(421)의 연장 길이와 평행한 축과 상기 연장 기준축이 이루는 일 사이 각(θ)이 20 내지 85도가 되는 것이 효과적이다. 바람직하게는 상기 사이각(θ)이 30 내지 45도인 것이 효과적이다.The UV lamp 421 is manufactured in a bar type extending in one direction as shown in the figure. In this embodiment, it is effective that the UV lamp 421 is disposed obliquely with respect to the extended reference axis extending horizontally with respect to the moving direction of the print film stack 101. At this time, the angle θ between the axis parallel to the extension length of the UV lamp 421 and the extension reference axis is effective to be 20 to 85 degrees. Preferably it is effective that the said angle angle (theta) is 30-45 degree.

이를 통해 UV 램프로부터 조사되는 광의 광량을 일정하게 하여 망점의 크기와 배열의 균일성을 향상시킬 수 있다. 상기 범위보다 작을 경우에는 광이 미치지 않는 영역이 발생하게 되고, 상기 범위보다 클 경우에는 종래의 수직 방향과의 차이 없이 광량이 중앙 영역에 집중되는 현상이 발생한다. Through this, the amount of light irradiated from the UV lamp can be constant to improve the size of the dot and the uniformity of the arrangement. If it is smaller than the above range, an area where light does not reach is generated, and if it is larger than the above range, a phenomenon in which the amount of light is concentrated in the center area without a difference from the conventional vertical direction occurs.

이에 상기와 같이 인쇄 필름 적층물(101)의 이동 방향 축에 대하여 UV 램프를 비스듬하게 조사할 때와 UV 램프를 수직으로 배치할 경우의 위치별 광량과 위치별 배향막 인쇄 두께를 측정하였다. As described above, the light amount for each position and the alignment film printing thickness for each position when the UV lamp was irradiated obliquely with respect to the moving direction axis of the print film laminate 101 and when the UV lamps were arranged vertically were measured.

이때, 이동 방향 축과 UV 램프가 이루는 각은 30도인 본 발명의 경우와, 이동 방향 축과 램프가 이루는 각이 0도인 경우의 UV 조사 장치(즉, 노광기) 위치별 광량을 측정하였다. At this time, the angle formed by the movement direction axis and the UV lamp was 30 degrees, and when the angle formed by the movement direction axis and the lamp was 0 degrees, the amount of light for each position of the UV irradiation apparatus (that is, the exposure machine) was measured.

도 11 및 도 12는 UV 조사 장치의 위치별 광량을 설명하기 위한 도면이다. 11 and 12 are views for explaining the amount of light for each position of the UV irradiation device.

도 11은 이동 방향축과 램프의 각도가 0도인 경우의 각 위치를 나타내고, 도 12는 이동 방향축과 램프의 각도가 30도인 경우의 각 위치를 나타낸다. FIG. 11 shows each position when the angle of the movement direction axis and the ramp is 0 degrees, and FIG. 12 shows each position when the angle of the movement direction axis and the ramp is 30 degrees.

도 11 및 도 12에서와 같이 인쇄 필름 적층물(101)의 이동에 따라 UV 조사 장치는 유입부, 배출부 및 중간부로 분리된다. As shown in FIGS. 11 and 12, the UV irradiation apparatus is separated into an inlet, an outlet, and an intermediate part as the print film stack 101 moves.

먼저 도 11에서와 같이 이동 방향축과 램프의 각도가 0도인 경우, 인쇄 필름 적층물(101) 상부에는 8개의 램프가 배치된다. 물론 이에 한정되지 않고, 이보다 많거나 적을 수 있다. 이때, 유입부에서의 램프 영역과 램프 사이 간격에 각기 순차적으로 1번부터 15번까지 번호를 부여한다. 그리고, 중간부에도 램프 영역과 램프 사이 간격에 각기 순차적으로 16번부터 30번까지 번호를 부여한다. 또한, 배출부에도 램프 영역과 램프 사이 간격 영역에 31번부터 45번까지 번호를 부여한다. 해당 번호가 부여된 영역을 중심으로 노광기 즉, UV 조사 장치에 의한 광량을 측정하고, 이를 하기 표 1과 같이 정리하였다. First, as shown in FIG. 11, when the angle of the movement direction axis and the lamp is 0 degrees, eight lamps are disposed on the printed film stack 101. Of course, it is not limited to this, and may be more or less than this. In this case, numbers 1 to 15 are sequentially numbered in the interval between the lamp area and the lamp at the inlet. In addition, the intermediate portion is sequentially numbered 16 to 30 in the interval between the lamp area and the lamp. Also, the discharge part is numbered 31 to 45 in the lamp area and the gap area between the lamps. The amount of light by the exposure apparatus, that is, the UV irradiation apparatus, was measured based on the region to which the number was given, and the results were summarized as in Table 1 below.

위치location 1One 22 33 44 55 66 77 88 99 1010 광량Quantity of light 1.41.4 1.451.45 1.51.5 1,471,47 1.451.45 1.531.53 1.61.6 1.551.55 1.51.5 1.451.45 위치location 1111 1212 1313 1414 1515 1616 1717 1818 1919 2020 광량Quantity of light 1.41.4 1.451.45 1.51.5 1.551.55 1.61.6 2.02.0 2.12.1 2.22.2 2.182.18 2.152.15 위치location 2121 2222 2323 2424 2525 2626 2727 2828 2929 3030 광량Quantity of light 2.182.18 2.212.21 2.22.2 2.182.18 2.242.24 2.32.3 2.232.23 2.162.16 2.182.18 2.22.2 위치location 3131 3232 3333 3434 3535 3636 3737 3838 3939 4040 광량Quantity of light 1.61.6 1.531.53 1.451.45 1.51.5 1.51.5 1.451.45 1.41.4 1.51.5 1.61.6 1.551.55 위치location 4141 4242 4343 4444 4545 광량Quantity of light 1.51.5 1.531.53 1.551.55 1.531.53 1.51.5

이어서, 도 12에서와 같이 이동 방향축과 램프의 각도가 30도인 경우, 인쇄 필름 적층물(101) 상부에는 9개 내지 10개의 램프가 배치된다. 물론 각도와 램프 간격에 따라 이보다 많거나 적을 수 있다. 이때, 램프간의 간격은 앞선 0도와 동일하다. 유입부에는 약 9개의 램프가 배치된다. 이에 램프 영역과 램프 사이 간격에 각기 순차적으로 1번부터 18번까지 번호를 부여한다. 중간부와 배출부에는 약 10개의 램프가 배치된다. 따라서, 중간부에는 램프 영역과 램프 사이 영역에 각기 순차적으로 19번부터 36번까지 번호를 부여하고, 배출부에는 38번부터 56번까지 번호를 부여한다. 그리고, 해당 번호가 부여된 영역에서의 노광기에 의한 광량을 측정하고, 이를 표 2와 같이 정리하였다. Subsequently, as shown in FIG. 12, when the moving direction axis and the angle of the lamp are 30 degrees, nine to ten lamps are disposed on the printed film stack 101. Of course, this may be more or less depending on the angle and ramp spacing. At this time, the interval between the lamps is equal to the preceding 0 degrees. About nine lamps are arranged at the inlet. Therefore, numbers 1 to 18 are sequentially numbered in the interval between the lamp area and the lamp. About 10 lamps are arranged in the middle part and the discharge part. Therefore, the intermediate part is sequentially numbered 19 to 36 in the lamp area and the area between the lamps, and the discharge part is numbered 38 to 56. And the light quantity by the exposure machine in the area | region to which the said number was given was measured, and it summarized as shown in Table 2.

위치location 1One 22 33 44 55 66 77 88 99 1010 1111 1212 1313 1414 광량Quantity of light 1.41.4 1.381.38 1.551.55 1.481.48 1.61.6 1.51.5 1.61.6 1.481.48 1.551.55 1.451.45 1.551.55 1.431.43 1.51.5 1.451.45 위치location 1515 1616 1717 1818 1919 2020 2121 2222 2323 2424 2525 2626 2727 2828 광량Quantity of light 1.61.6 1.41.4 1.41.4 1.51.5 2.12.1 2.32.3 2.172.17 2.242.24 2.052.05 2.052.05 2.032.03 2.22.2 2.092.09 2.182.18 위치location 2929 3030 3131 3232 3333 3434 3535 3636 3737 3838 3939 4040 4141 4242 광량Quantity of light 2.142.14 2.32.3 2.182.18 2.252.25 2.072.07 2.082.08 2.012.01 2.152.15 1.51.5 1.61.6 1.431.43 1.451.45 1.381.38 1.51.5 위치location 4343 4444 4545 4646 4747 4848 4949 5050 5151 5252 5353 5454 5555 5656 광량Quantity of light 1.551.55 1.461.46 1.481.48 1.51.5 1.421.42 1.541.54 1.371.37 1.41.4 1.41.4 1.61.6 1.451.45 1.51.5 1.381.38 1.451.45

도 13은 상부 노광까지 완료된 제품의 개면도이다. Fig. 13 is an open side view of the finished product up to the upper exposure;

도 13에서와 같이 제품을 수평 방향으로 약 13개의 영역으로 분리하고, 이 영역에서의 배향막 인쇄 두께 즉, 코팅 두께를 측정하였다.As shown in Fig. 13, the product was separated into about 13 areas in the horizontal direction, and the alignment film printing thickness in this area, that is, the coating thickness was measured.

먼저, 이동 방향축과 램프의 각도가 0도인 경우는 하기 표 3과 같다. 코팅 두께의 단위는 Å이다. First, when the angle of the movement direction axis and the lamp is 0 degrees is shown in Table 3. The unit of coating thickness is Å.

위치location 1One 22 33 44 55 66 77 88 99 1010 1111 1212 1313 코팅 두께Coating thickness 802802 810810 830830 813813 906906 910910 908908 915915 905905 813813 802802 825825 810810

이어서, 이동 방향축과 램프의 각도가 30도인 경우는 하기 표 4와 같다. Subsequently, when the angle of the movement direction axis and the ramp is 30 degrees, it is shown in Table 4 below.

위치location 1One 22 33 44 55 66 77 88 99 1010 1111 1212 1313 코팅두께Coating thickness 905905 903903 909909 910910 904904 895895 902902 900900 894894 899899 905905 906906 902902

상기 표 3과 표4에서와 같이 이동 방향축과 램프의 각도가 0도인 경우에는 부위별 광량 차이가 크므로 인해 배향막 인쇄 두께의 차이가 113Å이 된다. 하지만, 이동 방향축과 램프의 각도가 30도인 경우에는 부위별 광량 차이가 적음으로 배향막 인쇄 두께의 차이가 15Å으로 매우 작음을 알 수 있다. 이는 배향막의 평탄도가 향상됨을 알 수 있다. 이는 인쇄 균일도가 크게 향상됨을 의미한다. As shown in Tables 3 and 4, when the angle between the direction of movement and the lamp is 0 degrees, the difference in the amount of light for each part is large, resulting in a difference in the print thickness of the alignment film of 113 kW. However, when the angle between the direction of movement axis and the lamp is 30 degrees, the difference in the amount of light for each part is small, and it can be seen that the difference in the thickness of the alignment film printing is very small as 15 μs. It can be seen that the flatness of the alignment layer is improved. This means that printing uniformity is greatly improved.

본 실시예에서는 상술한 상면 노광부(400)를 통해 감광성 수지가 경화된 제품은 수평 상태를 유지하면서 배출될 수 있도록 제품 인출부(500)로 인출된다. In the present exemplary embodiment, the product having the photosensitive resin cured through the above-described upper surface exposure unit 400 is drawn out to the product extraction unit 500 to be discharged while maintaining the horizontal state.

이때, 제품 인출부(500)는 인출롤과 인출롤을 회전시키는 모터를 구비한다. At this time, the product takeout part 500 is provided with a motor for rotating the takeout roll and the takeout roll.

상술한 바와 같이 본 실시예에서는 상기 시스템을 이용하여 베이스 필름과 감광성 수지 및 네가티브 필름이 적층된 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제작할 수 있고, 이때, 스탬퍼의 제품의 두께 오차를 ±30㎛이하로 줄일 수 있다. 바람직하게는 ±20㎛로 줄일 수 있다. 제품 두께 오차가 ±5㎛ 내지 ±10㎛ 범위의 제품을 제작할 수 있다. As described above, in the present embodiment, a stamper for printing an alignment layer on which a base film, a photosensitive resin, and a negative film are laminated may be manufactured using the system, and in this case, the thickness error of the product of the stamper may be reduced to ± 30 μm or less. Preferably it can be reduced to ± 20㎛. Product thickness errors can be manufactured in the range of ± 5㎛ to ± 10㎛.

이러한 배향막 인쇄용 스텀퍼의 제조 방법은 상술한 시스템에 따라 제작된다. 즉, 먼저, 베이스 필름상에 감광성 수지를 도포하고, 감광성 수지상에 네가티브 필름을 배치한다. 베이스 필름의 하측 방향에서 베이스 필름 방향으로 UV 광을 조사하여 베이스 필름 상면에 위치한 감광성 수지 일부를 경화시킨다. 이어서, 베이스 필름과 네가티브 필름을 가압하여 두께를 조절한다. 이어서, 네가티브 필름 상측 영역에서 UV 광을 조사하여 경화되지 않은 감광성 수지를 경화시킨다. 이때, 네가티브 필름의 상측을 유리판으로 가압하고, 베이스 필름을 금속성의 판으로 가압하여 목표로 하는 제품 두께가 되도록 한다. 이때, 유리판과 금속성 판 간의 이격 간격 오차를 줄이기 위해 금속성 판의 일부의 높이를 조절한다. 그리고, UV 광을 발산하는 UV 램프를 필름들의 이동 방향축에 대하여 비스듬하게 배치한다. 이를 통해 인쇄용 스탬퍼의 제품 두께와 인쇄 후의 두께 균일도를 향상시킬 수 있다. The manufacturing method of such an alignment film printing stepper is manufactured according to the system mentioned above. That is, first, a photosensitive resin is apply | coated on a base film, and a negative film is arrange | positioned on a photosensitive resin. UV light is irradiated from the lower direction of the base film toward the base film to cure a portion of the photosensitive resin located on the upper surface of the base film. Next, the thickness is adjusted by pressing the base film and the negative film. Subsequently, UV light is irradiated in the upper region of the negative film to cure the uncured photosensitive resin. At this time, the upper side of the negative film is pressed with a glass plate, and the base film is pressed with a metallic plate so as to have a target product thickness. At this time, the height of a part of the metallic plate is adjusted to reduce the gap between the glass plate and the metallic plate. And the UV lamp which emits UV light is arrange | positioned obliquely with respect to the moving direction axis of films. This can improve the product thickness of the printing stamper and the thickness uniformity after printing.

100 : 재료 공급부 200 : 하면 노광부
300 : 두께 조정부 400 : 상면 노광부
410 : 유리 고정판 420 : 상면 UV 조사 장치
430 : 두께 조정판 440 : 평탄도 조절부
500 : 제품 인출부
100 material supply part 200 lower surface exposure part
300: thickness adjusting unit 400: upper surface exposure unit
410: glass fixing plate 420: top UV irradiation device
430: thickness adjusting plate 440: flatness adjustment unit
500: product outlet

Claims (10)

롤 형태의 베이스 필름과 롤 형태의 네가티브 필름 사이에 감광성 수지가 적층된 인쇄 필름 적층물을 공급하는 재료 공급부;
상기 인쇄 필름 적층물의 두께를 조정하는 두께 조정부;
상기 인쇄 필름 적층물의 상면에 위치하는 상면 유리와,
상기 상면 유리 상측에 위치하고, 연장된 봉 형태의 다수의 UV 램프를 포함하는 상면 UV 조사 장치와,
상기 인쇄 필름 적층물의 하면에 위치하여 상기 상면 유리와의 간격 조정을 통해 배향막 인쇄용 스템퍼 두께를 결정하는 두께 조정판과,
상기 두께 조정판의 일부 영역 높이 미세 조정을 통해 상기 상면 유리와 두께 조정판 간의 평탄도를 조절하는 평탄도 미세 조절부를 구비하는 상면 노광부를 포함하고,
상기 인쇄 필름 적층물이 재료 공급부에서 상면 노광부로 인출되며,
상기 UV 램프의 연장 방향 축과, 상기 인쇄 필름 적층물의 이동 방향 축 간의 사이 각도가 20 내지 85도인 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템.
A material supply unit for supplying a printed film laminate in which a photosensitive resin is laminated between a roll base film and a roll negative film;
A thickness adjusting unit for adjusting a thickness of the printed film laminate;
An upper surface glass positioned on an upper surface of the printed film laminate,
A top UV irradiator disposed on the top glass and including a plurality of UV lamps in the form of elongated rods;
A thickness adjusting plate positioned on a lower surface of the printing film laminate to determine a thickness of the stamper for alignment film printing by adjusting a gap with the upper glass;
A top surface exposure unit having a flatness fine control unit for adjusting the flatness between the top glass and the thickness control plate through fine adjustment of the height of the partial region of the thickness adjustment plate,
The printed film stack is drawn from the material supply portion to the top surface exposure portion,
And an angle between the extension direction axis of the UV lamp and the movement direction axis of the print film stack is 20 to 85 degrees.
제1항 에 있어서, 상기 평탄도 미세 조절부는
상기 두께 조정판의 하측에 배치되는 하측판;
상기 하측판과 두께 조정판 간을 결합시키는 결합부재; 및
상기 하측판을 관통하여 상기 두께 조정판의 하측면에 밀착된 변형부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템.
The method of claim 1, wherein the flatness fine adjustment unit
A lower plate disposed below the thickness adjusting plate;
Coupling member for coupling between the lower plate and the thickness adjustment plate; And
And a deformable member penetrating the lower plate to be in close contact with the lower surface of the thickness adjusting plate.
제2항 에 있어서,
상기 결합 부재와 상기 변형부재로 볼트 또는 너트를 사용하고, 상기 변형 부재는 ㎛단위로 상승 및 하강하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템.
The method of claim 2,
A bolt or a nut is used as the coupling member and the deformable member, and the deformable member is raised and lowered in a micrometer unit.
제1항에 있어서,
상기 UV 램프의 연장 방향 축과, 상기 인쇄 필름 적층물의 이동 방향 축 간의 사이 각도가 30 내지 45도인 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템.
The method of claim 1,
And an angle between the extension direction axis of the UV lamp and the movement direction axis of the print film stack is 30 to 45 degrees.
삭제delete 삭제delete 제1항 내지 제4항 중 어느 한항 에 있어서,
상기 재료 공급부로 부터 제공된 상기 베이스 필름 인접 영역의 감광성 수지 일부를 노광하는 하면 노광부와,
상기 상면 노광부로부터 인출된 배향막 인쇄용 스템퍼를 인출하는 인출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제조 시스템.
The method according to any one of claims 1 to 4,
A lower surface exposing portion for exposing a portion of the photosensitive resin in the region adjacent to the base film provided from the material supply portion;
And a drawing portion for drawing out the alignment film printing stamper drawn out from the upper surface exposure portion.
삭제delete 삭제delete 베이스 필름 상에 감광성 수지를 도포하고, 감광성 수지상에 네가티브 필름을 배치하는 단계;
상기 베이스 필름의 하측에서 베이스 필름 방향으로 UV 광을 조사하여 베이스 필름 상면에 위치한 감광성 수지 일부를 경화시키는 단계;
상기 베이스 필름과 네가티브 필름을 가압하여 두께를 조절하는 단계; 및
상기 네가티브 필름 상측 영역에서 UV 광을 조사하여 경화되지 않은 감광성 수지를 경화시키되, 네가티브 필름의 상측을 유리판으로 가압하고, 베이스 필름을 금속성의 판으로 가압하여 목표로 하는 배향막 인쇄용 스템퍼의 두께가 되도록 상기 금속성 판의 일부의 높이를 조절하고, UV 광을 발산하는 UV 램프의 연장 방향 축을 필름들의 이동 방향축에 대하여 20 내지 85도로 비스듬하게 배치하여 UV 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법.
Applying a photosensitive resin on the base film and disposing a negative film on the photosensitive resin;
Irradiating UV light from the lower side of the base film toward the base film to cure a portion of the photosensitive resin disposed on the upper surface of the base film;
Adjusting the thickness by pressing the base film and the negative film; And
UV light is irradiated from the upper region of the negative film to cure the uncured photosensitive resin, and the upper side of the negative film is pressed with a glass plate, and the base film is pressed with a metallic plate to have a thickness of a target stamping film printing stamper. Adjusting the height of a portion of the metallic plate, and arranging an extension direction axis of the UV lamp that emits UV light at an angle of 20 to 85 degrees with respect to the movement direction axis of the films to irradiate UV light. The manufacturing method of the stamper for orientation film printing.
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