KR20100024623A - 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법 - Google Patents

실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20100024623A
KR20100024623A KR1020080083275A KR20080083275A KR20100024623A KR 20100024623 A KR20100024623 A KR 20100024623A KR 1020080083275 A KR1020080083275 A KR 1020080083275A KR 20080083275 A KR20080083275 A KR 20080083275A KR 20100024623 A KR20100024623 A KR 20100024623A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
metal body
silicon oxycarbide
oxycarbide layer
polycarbosilane
producing
Prior art date
Application number
KR1020080083275A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101066014B1 (ko
Inventor
김수룡
김영희
권우택
김정주
Original Assignee
한국세라믹기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국세라믹기술원 filed Critical 한국세라믹기술원
Priority to KR1020080083275A priority Critical patent/KR101066014B1/ko
Publication of KR20100024623A publication Critical patent/KR20100024623A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101066014B1 publication Critical patent/KR101066014B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/73Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C19/00Alloys based on nickel or cobalt
    • C22C19/03Alloys based on nickel or cobalt based on nickel
    • C22C19/05Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/05Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C2222/00Aspects relating to chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive medium
    • C23C2222/20Use of solutions containing silanes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

본 발명은 표면에 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체를 제조하는 방법에 관한 것으로, 금속재질의 금속체를 준비하는 공정과; 상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정과; 상기 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액이 코팅된 금속체를 200~400℃의 온도로 1차 열처리하는 공정과; 상기 1차 열처리된 금속체를 600~1500℃의 온도로 2차 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법을 제공함으로서, 금속체의 표면에 접착력이 우수하면서, 내화학성 및 내마모성이 뛰어나면서 내구성을 유지할 수 있는 두꺼운 실리콘옥시카바이드층을 형성할 수 있다.
폴리카보실란, 금속, 실리콘옥시카바이드, 내산화성, 내알칼리성, 내산성, 내마모성

Description

실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법{Process for metal bodies comprising siliconeoxycarbide(SiOC) layer}
본 발명은 표면에 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체를 제조하는 방법에 관한 것이다.
국내 고온산업공정에서 발생하는 고온 부산물 현열은 에너지로 환산할 때, 약 7.2조kcal/year으로 국내 전체 에너지 소비량의 약 0.2%에 달한다. 이와 같이 대량으로 발생되어 대기 중으로 방출되고 있는 고온 부산물 현열은 화석에너지 사용량 저감 및 지구 온난화 가스 배출 규제에 대응하기 위하여 반드시 회수되어 재활용되어야 한다.
이에, 고온 부산물 현열을 이용하기 위한 에너지 변환 기술에서는 적절한 매체를 이용하는 열교환 반응 장치를 필요로 하며, 이때, 고온, 고압, 고부식 산화 분위기에서의 열적 안정성, 기계적 강도, 내부식성을 가지는 재질을 확보해야한다.
특히, 내부식성이 요구되는 열교환 반응 장치의 재료에 관하여 지금까지 많 은 연구가 이루어져 왔으며, 고 니켈크롬(Ni-Cr)합금 특수강이 주류를 이루고 있다.
그러나, 이러한 금속성분은 약 900℃ 이상의 온도에서 염산 및 황산에 대한 저항성에 한계가 있어 세라믹 성분의 코팅이 요구된다.
이러한 세라믹 소재들로는 알루미나, 실리카 등의 산화물 또는 SiC, SiOC, SiCN, SiCBN 등의 비산화물계 세라믹스가 저온용 재료로부터 초고온용 재료에 이르기까지 다양하게 개발되고 있으며 이러한 특성을 만족시켜 줄 만한 후보 소재중의 하나이지만, 비산화물 세라믹은 용사코팅 등으로 코팅이 불가능하므로 그 뛰어난 특성을 알고 있으면서도 지금까지 금속에의 사용이 제한되어 왔었다.
폴리카보실란 특히, 폴리페닐카보실란 등은 염소를 함유하지 않는 환경 친화형 전구체로서 이를 불활성 분위기하 약 600 ~800℃에서 열처리 할 경우 비정질 실리콘카바이드(SiC)로의 전환이 이루어지며, 또한 상온에서 용제에 녹였을 경우 액상상태로의 존재가 가능하므로 액상을 금속에 코팅하여 열처리 했을 경우 내화학성 및 내마모성이 뛰어난 세라믹인 SiC 코팅막의 형성이 가능하다(Kr-10-0824273, Kr-10-0824275).
그러나 상기 폴리카보실란, 폴리페닐카보실란 등에 의한 코팅 방법은 금속재 질의 표면과의 접착이 불량하여 박리가 일어나기 쉬우며, 1회 코팅에 의하여 약 1μm정도의 얇은 층을 형성하여, 내화학성 및 내마모성이 뛰어나면서 내구성을 유지하기 위한 두께까지 제공하지 못한다는 단점이 있었다.
본 발명은, 금속체의 표면에 접착력이 우수하면서, 내화학성 및 내마모성이 뛰어나면서 내구성을 유지할 수 있는 두꺼운 실리콘옥시카바이드층을 형성할 수 있는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 구현예인 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법은 금속재질의 금속체를 준비하는 공정과, 상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정과, 상기 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액이 코팅된 금속체를 200~400℃의 온도로 1차 열처리하는 공정과, 상기 1차 열처리된 금속체를 600~1500℃의 온도로 2차 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서 실리콘옥시카바이드의 전구체는 특별히 한정되지 않으며, 폴리카보실란, 폴리페닐카보실란, 폴리아릴카보실란, 폴리하이드리도카보실란 등을 이용하여 제조할 수 있다. 그 중 폴리페닐카보실란이 가장 바람직하다.
폴리페닐카보실란은 겔 투과 크로마토 그래피(GPC; Gel Permeation Chromatography)에 의해 측정되는 폴리스티렌 환산 중량평균 분자량(Mw)이 2000~6000인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 2500~4000이다. 폴리페닐카보실란의 분자량은 클수록 열처리 후 두꺼운 실리콘옥시카바이드층을 얻을 수 있으나, 분자량을 6000이하로 함으로서 폴리페닐카보실란이 헥산 등의 유기용매에 균일하게 용해되도록 할 수 있고, 분자량을 2000이상으로 함으로서 산화 방지 효과를 우수하게 하는 실리콘옥시카바이드층을 얻을 수 있다.
본 발명에서 폴리카보실란 용액의 용매로 사용되는 유기용매는 특별히 한정되지는 않으며 헥산, 싸이클로헥산, 테트라하이드로퓨란, 자일렌, 벤젠 등을 사용할 수 있다. 상기 폴리카보실란 용액은 상기 유기용매 중에 20~50% 희석하여 사용하는 것이 바람직하다. 폴리카보실란 용액의 폴리카보실란의 농도를 20% 이상으로 함으로서 1회에 가능한 코팅막의 두께를 두껍게 할 수 있으며, 50% 이하로 함으로서 코팅 및/또는 열처리 후 코팅막에 생기는 균열을 피할 수 있다.
특히, 폴리카보실란 용액은 실리카 나노 분말을 포함함으로서, 폴리카보실란 용액의 점도를 향상시킬 수 있으며, 이로써 금속체의 표면에 폴리카보실란 용액의 코팅 두께를 향상시킬 수 있는 것이다. 특히, 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액의 점도를 5cp이상으로 함으로서, 1회 코팅시의 코팅 두께를 향상시켜 산화 방지 효과를 더욱 우수하게 할 수 있는 실리콘옥시카바이드층을 얻을 수 있 다.
또, 폴리카보실란 용액의 실리카 나노 분말은 1~3wt%의 농도로 첨가하는 것이 바람직하다. 폴리카보실란 용액에 실리카 나노분말을 1wt% 이상 첨가함으로서 코팅에 적절한 코팅용액의 점도를 확보할 수 있으며, 3wt% 이하 첨가함으로서 적절한 고점도를 유지하여 균일한 코팅이 되도록 할 수 있으며, 또한 첨가된 실리카 나노분말이 시간의 경과함에 따른 침하를 방지하여 균질한 코팅용액을 확보할 수 있게 된다.
상기 실리카 나노 분말은 입자크기가 50nm 이하인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 20nm이하이다. 즉, 실리카 나노 분말의 입자크기가 작을수록 균일한 용액을 얻을 수 있으며 입자크기가 50nm이하로 함으로서, 실리카 나노 분말이 용액에 균일하게 분산되도록 할 수 있으며, 특히, 20nm이하로 함으로서 실리카 나노 분말이 용액에 더욱 잘 분산되어 코팅 두께를 전체적으로 균일하게 할 수 있다.
상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정에서 코팅하는 방법은 함침법, 스프레이 코팅법, 스핀코팅법등 공지된 일반적인 코팅방법을 이용할 수 있다.
그리고, 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 사용 용도 및 사용 환경 에 따라서 폴리카보실란의 분자량 및/또는 농도, 실리카 나노 분말의 입자 사이즈 및/또는 농도, 폴리카보실란 용액의 코팅 두께 등을 적당히 조절할 수 있다.
본 발명에서 금속표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅한 뒤, 불용화 공정인 경화 공정으로서, 200℃ ~ 400℃, 더욱 바람직하기로는 250℃ ~ 300℃에서 1차 열처리를 하며, 공기 중에서 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 경화 공정인 1차 열처리 공정 후, 2차 열처리 공정을 통하여 폴리카보실란 고분자가 실리콘카바이드로 변환되는 유·무기전환 반응이 수행된다. 2차 열처리온도는 600℃ ~ 1500℃가 바람직하며 더욱 바람직하기로는 800℃ ~ 1200℃로 함으로서 최종 형성되는 실리콘옥시카바이드층을 결정질로 형성할 수 있다. 이 때, 질소, 아르곤 헬륨 등의 불활성 가스 또는 진공분위기 중에서 이루어지는 것이 바람직하다. 열처리 온도가 600℃ 미만이면 유·무기전환 반응이 완결되지 않으며 1500℃를 초과하면 불필요한 전력의 낭비를 초래하게 된다.
이렇게 제조된 상기 금속체의 표면에 형성된 실리콘옥시카바이드층의 두께는 1.5㎛이상인 것이 바람직하다. 즉, 실리콘옥시카바이드층의 두께를 1.5㎛ 이상으로 함으로서, 실리콘옥시카바이드층의 산화방지 기능을 더욱 향상시킬 수 있는 것이다. 특히, 본 발명의 제조 방법에 의하여 용액의 1회 코팅의 두께를 향상시킴으로서, 최종적으로 얻어지는 실리콘옥시카바이드층의 기능을 더욱 향상시킬 수 있는 것이다.
본 발명에서 사용되는 금속체의 재질은 특별히 제한되지 않으며, 특히, 내부식성이 요구되는 열교환 반응 장치의 재료로서 주로 사용되는 Ni-Cr 합금인 것이 가장 바람직하다 할 수 있다.
이로써, 본 발명은, 금속표면에 접착력이 우수하면서, 고온에서의 내산성 및 내알칼리성 등의 내화학성 및 내마모성이 뛰어나면서 내구성을 유지할 수 있는 두꺼운 실리콘옥시카바이드층을 형성할 수 있는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법을 제공하였다.
이하, 본 발명을 실시예를 통하여 보다 상세히 설명하나, 본 발명의 범위가 하기 실시예로 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
분자량 3,000의 폴리페닐카보실란(polyphenylcarbosilane) 30g을 싸이클로헥산 100g에 녹여 농도 30wt%의 폴리페닐카보실란 용액을 제조하였다. 상기 용액에 20nm 크기의 실리카 나노 분말을 1wt% 분산시켜 균일한 용액을 얻었다. 이 용액은 실리카 나노 분말의 분산이 잘되어 제조 후 1시간 후에도 실리카 나노 분말이 침강 하지 않고 용액의 점도가 일정하였으며, 시간 경과별 용액의 점도치를 표 1에 나타내었다.
준비된 니켈크롬(NiCr) 합금 특수강 재질의 금속체 표면을 에탄올로 세척한 후 80℃에서 30분간 건조하였다. 이를 딥코터를 이용하여 상기의 실리카 나노 입자가 분산된 폴리페닐카보실란 용액 100cc에 5분간 함침시키고 시료를 1mm/sec로 끌어올려 코팅하였다.
이 후, 250℃에서 30분 동안 공기 중에 열경화시키고, 불활성기체 분위기 하에서 800℃에서 60분간 열처리하여 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 니켈크롬 합금 특수강의 금속체를 얻었다.
<실시예 2>
폴리카보실란 용액의 실리카 나노 분말의 농도를 1.5wt%로 한 것 이외에는 상기 실시예 1과 동일하게 하였다.
<비교예 1>
폴리카보실란 용액에 실리콘 나노 분말을 첨가하지 않은 것을 제외하고, 상기 실시예 1과 동일하게 하였다.
상기 실시예1, 2 및 비교예에 의하여 제조된 폴리카보실란 용액에 대한 점도 및 실리콘옥시카바이드층의 두께 평가는 아래와 같이 실시하였다.
(1) 점도 측정
폴리페닐카보실란 용액의 점도는 SV-10(A&D사, 일본) 점도계를 사용하여 매 10분 간격으로 1시간 동안 측정하였다.
(2) FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope) 분석
실리콘옥시카바이드층의 두께 분석은 FE-SEM(JSM-6700F, JEOL, 일본)을 이용하였으며, 그 결과는 도 1, 도 2, 도3에 나타내었다.
(3) XRD 분석
XRD분석은 X-ray 회절분석기(MAC Science Co. Ltd. MO3XMF, 일본)를 이용하여 측정하였다.
본 발명의 실시예 1, 2 및 비교예에서 사용된 폴리카보실란 용액의 점도를 상기 점도 측정 방법에 의하여 시간에 따라 측정한 결과는 아래 표 1과 같다.
시간 30 wt % PPCS 30 wt % PPCS +1 wt % 실리카 나노 분말 30 wt % PPCS +1.5 wt % 실리카 나노 분말
10 분 3.85 cp 7.27 cp 9.85 cp
20 분 3.88 cp 7.22 cp 9.87 cp
30 분 3.89 cp 7.30 cp 9.87 cp
40 분 3.92 cp 7.21 cp 9.87 cp
50 분 3.92 cp 7.19 cp 9.87 cp
60 분 3.92 cp 7.22 cp 9.88 cp
즉, 본 발명의 실시예 1 및 2에서 제조된 실리카 나노 분말이 분산된 폴리페닐카보실란 용액은 시간에 따라 점도가 일정한 것으로 미루어 분산성이 매우 우수함 알 수 있으며, 실리카 나노 분말이 혼합되지 않은 비교예의 경우보다 높은 점도를 나타내고 있다.
그리고, 실시예 1, 2 및 비교예의 최종 실리콘옥시카바이드층의 두께를 FE-SEM을 이용하여 분석한 결과는 도 1 내지 3과 같다.
또, 상기 실시예 2에 사용된 폴리페닐카보실란 용액을 상기 실시예 1의 1차 열처리 및 2차 열처리의 조건으로 수행하여 실리콘옥시카바이드 분말을 수득하여, 그 분말을 X-ray 회절분석기로 측정하여 도 4에 나타내었다. 즉, 상기 실시예 2의 결과 실리콘옥시카바이드 표면층이 형성되었음을 알 수 있으며, 이로부터 실시예 1도 실리콘옥시카바이드 표면층이 형성되었음을 알 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에서 제조된 금속의 단면을 FE-SEM으로 확대하여 촬영한 전자현미경 사진,
도 2는 본 발명의 실시예 2에서 제조된 금속의 단면을 FE-SEM으로 확대하여 촬영한 전자현미경 사진,
도 3은 본 발명의 비교예 1에서 제조된 금속의 단면을 FE-SEM으로 확대하여 촬영한 전자현미경 사진.
도 4는 본 발명의 실시예 2의 실리콘옥시카바이드층의 XRD분석 결과 그래프.

Claims (10)

  1. 금속재질의 금속체를 준비하는 공정과;
    상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정과;
    상기 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액이 코팅된 금속체를 200~400℃의 온도로 1차 열처리하는 공정과;
    상기 1차 열처리된 금속체를 600~1500℃의 온도로 2차 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 2차 열처리하는 공정은 800~1200℃의 온도로 수행되는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정에서 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액의 점도는 5cp이상인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정에서 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액은 폴리카보실란의 농도가 20 ~ 50wt%이고, 실리카 나노분말의 농도가 1~3wt%인것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  5. 제 1항, 제3항, 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 실리카 나노 분말은 입자크기가 50nm 이하인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  6. 제 1항, 제3항, 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 실리카 나노 분말은 입자크기가 20nm 이인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  7. 제 1항, 제3항, 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴리카보실란은 겔 투과 크로마토 그래피(GPC; Gel Permeation Chromatography)에 의해 측정되는 폴리스티렌 환산 중량평균 분자량(Mw)이 2000 ~ 6000인 폴리페닐카보실란인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 2차 열처리 공정은 불활성 가스 또는 진공분위기 중에서 수행되는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 2차 열처리 후, 상기 금속체의 표면에 형성된 실리콘옥시카바이드층의 두께는 1.5㎛이상인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 금속체의 금속재질은 Ni-Cr 합금인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법.
KR1020080083275A 2008-08-26 2008-08-26 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법 KR101066014B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080083275A KR101066014B1 (ko) 2008-08-26 2008-08-26 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080083275A KR101066014B1 (ko) 2008-08-26 2008-08-26 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100024623A true KR20100024623A (ko) 2010-03-08
KR101066014B1 KR101066014B1 (ko) 2011-09-21

Family

ID=42176399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080083275A KR101066014B1 (ko) 2008-08-26 2008-08-26 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101066014B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101297575B1 (ko) * 2010-12-09 2013-08-20 한국세라믹기술원 폴리페닐카보실란을 이용한 수분투과 방지막의 제조방법
CN116639957A (zh) * 2023-05-19 2023-08-25 萍乡市石化填料有限责任公司 一种强耐碱的瓷球及其制备方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101642476B1 (ko) 2014-10-08 2016-07-29 서울시립대학교 산학협력단 고전기전도성 실리콘옥시카바이드, 실리콘옥시카바이드 제조용 조성물 및 실리콘옥시카바이드의 제조방법

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1150136A (ja) * 1997-07-31 1999-02-23 Nippon Carbon Co Ltd 金属熱処理炉用ロール

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101297575B1 (ko) * 2010-12-09 2013-08-20 한국세라믹기술원 폴리페닐카보실란을 이용한 수분투과 방지막의 제조방법
CN116639957A (zh) * 2023-05-19 2023-08-25 萍乡市石化填料有限责任公司 一种强耐碱的瓷球及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101066014B1 (ko) 2011-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hotza et al. Tape casting of preceramic polymers toward advanced ceramics: A review
US9745499B2 (en) Hexagonal boron nitride nanosheet/ceramic nanocomposite powder and producing method of the same, and hexagonal boron nitride nanosheet/ceramic nanocomposite materials and producing method of the same
JP3763077B2 (ja) 多孔体及びその製造方法
KR101634160B1 (ko) 육방정 질화붕소 나노시트/세라믹 나노 복합 분말 및 그의 제조 방법, 및 육방정 질화붕소/세라믹 나노 복합 소재 및 그의 제조 방법
CN108504096B (zh) 一种碳纳米管/聚合物复合材料的制备方法
US20100139226A1 (en) Ceramic nanofibers for liquid or gas filtration and other high temperature (&gt; 1000 °c) applications
KR101954067B1 (ko) 촉매 금속이 담지된 다공질 탄화규소 구조체의 제조방법
Wang et al. Synthesis of ZrC–SiC powders from hybrid liquid precursors with improved oxidation resistance
KR101066014B1 (ko) 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
US20100112231A1 (en) Graphite-silicon carbide composite and making method
JP4761119B2 (ja) 炭化珪素系多孔質成形体の製造方法
KR100951633B1 (ko) 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드 코팅형성방법.
KR101162567B1 (ko) 실리콘카바이드 및 이의 제조방법
KR101331403B1 (ko) 그라파이트 상에 실리콘카바이드를 코팅하는 방법
CN114315405B (zh) 前驱体、多孔介质燃烧器及制法、改善SiC抗氧化方法
JP3888317B2 (ja) セラミックスチューブ製造用コーティング液及びセラミックスチューブの製造法
CN106087112A (zh) 一种表面具有碳层的连续SiC纤维的制备方法
JP2007022822A (ja) 炭化珪素系多孔質成形体及びその製造方法
KR100520436B1 (ko) 탄소/탄소 복합재료의 내산화 복합코팅방법
JP4563322B2 (ja) ガラス状炭素被覆炭素材及びその製造方法
JP2004067480A (ja) 傾斜組成を有するセラミックス薄膜被覆材料及びその製造方法
KR102157442B1 (ko) 내산화성이 향상된 면상발열체의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 면상발열체
JPH04209781A (ja) ガラス状炭素被覆体の製造方法
KR100520435B1 (ko) 탄소/탄소 복합재료의 내산화 코팅방법
KR102215074B1 (ko) 산화안정성이 향상된 코팅층을 가진 탄소재 및 그 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160907

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170912

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180910

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190909

Year of fee payment: 9