KR20100011686A - A holder apparatus for specimen in electron probe micro analyzer - Google Patents

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KR20100011686A
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김학진
조영준
안병량
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현대제철 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A sample holder apparatus for an electron-probe micro-analyzer is provided to keep the top surface of a sample horizontal by pressing the top and bottom of the same and to hold any size and thickness of sample. CONSTITUTION: A sample holder apparatus for an electron-probe micro-analyzer comprises a bottom plate(110), a holder body(120), a setting plate, and a top plate(150). The bottom plate is detachably connected to a stage. A sample is accepted in the space of the holder body. The setting plate is arranged to ascend and descend above the bottom plate by a fastener. The top plate is coupled to the upper side of the holder body by a fastener and raised/lowered to partially press and secure the top perimeter of the sample.

Description

전자현미분석기용 시편 홀더장치{A holder apparatus for specimen in electron probe micro analyzer}Specimen holder device for electron microscopy {A holder apparatus for specimen in electron probe micro analyzer}

본 발명은 전자현미분석기용 시편 홀더장치에 관한 것으로서, 특히 단순 구조로 이루어지며 시편의 고정 및 수평 조정작업이 간편해짐과 아울러, 시편의 크기 및 두께에 관계없이 시편의 홀딩작업이 가능하도록 그 구조가 개선된 전자현미분석기용 시편 홀더장치에 관한 것이다.The present invention relates to a specimen holder device for an electron microscope analyzer, and in particular, has a simple structure and facilitates the fixing and horizontal adjustment of the specimen and the holding of the specimen regardless of the size and thickness of the specimen. Relates to an improved specimen holder device for an electron microscope.

일반적으로 시편의 전자 현미분석을 위한 장치로는, 주사전자현미경(SEM:Scanning Elctron Microscope)이나, 고에너지를 갖는 전자선이 시료를 통과해 형광판에 상을 맺는 방식의 TEM(transmission electron microscope), 및 전자현미분석기(EMPA:Electron Probe Micro Analyzer)등이 있다.Generally, a device for electron microscopic analysis of a specimen includes a scanning electron microscope (SEM), a transmission electron microscope (TEM) in which an electron beam having a high energy passes through a sample to form an image on a fluorescent plate, and Electron Microbe (EMPA).

그중 전자현미분석기는 전자총에서 15~30kv로 가속된 전자빔이 1㎛이하의 직경으로 초점 조정되어, 연마된 시료의 표면에 충돌한 후에 시료를 구성하는 원소들로부터 원소별 고유 파장을 갖는 특성 X-선이 발생하게 되며, 이들을 X-선 검출기로 측정하여 시료의 화학 조성을 규명하는 분석장치이다.Among them, the electron microscope analyzes the electron beam accelerated from 15 to 30kv in the electron gun to focus at a diameter of 1 μm or less, and has a characteristic X-specific wavelength from the elements constituting the sample after colliding with the surface of the polished sample. Rays are generated, and these are measured by an X-ray detector to determine the chemical composition of the sample.

기존 분석작업중 정확한 분석을 위해 시료를 갖는 시편의 수평을 유지할 필 요가 있다.During the existing analytical work, it is necessary to level the specimen with the sample for accurate analysis.

이러한 전자현미분석기의 특성상 시료 전처리 요소가 중요하므로, 수평 유지를 위해 분석자의 육안 또는 저배율 광학 현미경을 이용하여 수평을 맞추는 준비작업에 시간이 많이 요구되는 문제점이 있었다.Because of the importance of the sample pretreatment in the nature of the electron microscope analyzer, there was a problem that a lot of time is required for the preparation of the horizontal alignment using the analyzer's naked eye or low magnification optical microscope to maintain the horizontal.

종래에는 시편의 외측을 감싸도록 파지하는 홀더가 구비되어 시편을 고정하도록 되어 있으나, 시편을 고정하기 위해 스크류 나사로 시편의 상,하부 각 4곳을 체결하여 접촉력으로 시편을 지지하고 있다.Conventionally, a holder is provided to hold the outer side of the specimen to fix the specimen, but the four upper and lower portions of the specimen are fastened with screw screws to support the specimen with a contact force to fix the specimen.

이러한 시편 고정작업시 시편의 상부면을 정확하게 수평상태로 유지하도록 조정하면서 시편을 고정한 후에, 앞서와 같이 저배율 광학 현미경을 이용하여 수평을 조정하는 작업이 번거로움이 있다.After fixing the specimen while adjusting the upper surface of the specimen to be accurately leveled during the specimen fixing operation, it is cumbersome to adjust the level using a low magnification optical microscope as described above.

또한, 분석자의 육안으로는 수평을 조정하기 어려울 뿐만 아니라, 특히 시편 자체가 수평이 아닌 경우에는 수평을 맞추기가 더욱 어려워지게 되므로, 이 경우에는 X선의 강도가 달라지게 되어 성분 분석에 오류를 발생시키는 문제점이 있었다. In addition, it is not only difficult to adjust the level with the naked eye, but especially when the specimen itself is not level, it becomes more difficult to level. In this case, the intensity of X-rays is changed, which causes errors in component analysis. There was a problem.

또한, 시편의 크기 및 두께가 상이한 경우에는 그 시편의 크기 및 두께에 적합한 홀더를 각각 구비하여야 하므로, 유지관리가 어려울 뿐만 아니라 비용면에서도 부담이 되는 단점이 있다.In addition, when the size and thickness of the specimens are different, each holder must be provided for the size and thickness of the specimen, so that it is difficult to maintain and has a disadvantage in terms of cost.

본 발명은 상기한 제반 문제점을 감안하여 이를 해결하고자 제안된 것으로, 그 목적은 시편의 고정 및 시편 상부면의 수평 유지를 위한 조정작업이 간편하게 이루어지도록 그 구조를 개선한 전자현미분석기용 시편 홀더장치를 제공하는 데 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems in view of the above problems, the object of which is to improve the structure of the specimen holder device for electron microanalyzer so that the adjustment work for fixing the specimen and the horizontal maintenance of the upper surface of the specimen is easily made To provide.

또한, 본 발명의 다른 목적은 자체 수평이 아닌 시편일 경우에도 시편 상부면의 수평을 유지할 수 있도록 한 전자현미분석기용 시편 홀더장치를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a specimen holder device for an electron microscope analyzer to maintain the horizontal level of the upper surface of the specimen even when the specimen is not horizontal.

그리고, 본 발명의 또 다른 목적은 시편의 크기 및 두께가 일정한 범위내에서 상이하더라도 하나의 홀더 장치로 고정 및 수평 상태를 유지할 수 있도록 한 전자현미분석기용 시편 홀더장치를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a specimen holder device for an electron microscope analyzer, which is capable of maintaining a fixed and horizontal state with one holder device even if the size and thickness of the specimen are different within a certain range.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전자현미분석기의 스테이지 상에 착탈 가능하게 결합되는 하부 플레이트와,The present invention for achieving the above object and the lower plate is detachably coupled on the stage of the electron microscope;

상기 하부 플레이트의 상부에 배치되며 내부에 시편이 수용되는 공간을 갖는 홀더 본체와, A holder body disposed above the lower plate and having a space for receiving a specimen therein;

상기 홀더 본체의 내부에 수용되고 상기 하부 플레이트의 상부면에 결합수단을 매개로 승강 및 착탈 가능하게 배치되어 상부면에 상기 시편이 안착되는 안착 플레이트와,A seating plate accommodated in the holder main body and disposed on the upper surface of the lower plate so as to be lifted and detached by means of a coupling means to seat the specimen on the upper surface;

상기 홀더 본체의 상부에 체결수단을 매개로 승강 가능하게 체결되며 상기 시편의 상부면 테두리 일부를 가압 고정하는 상부 플레이트를 구비한 것을 특징으로 한다.The upper portion of the holder body is fastened so as to be able to lift and lift via a fastening means, characterized in that it has an upper plate for pressing and fixing a portion of the upper edge of the specimen.

상기 결합수단은 상기 하부 플레이트의 상부면 중앙에 홈 형태로 형성되고 내주면에 나사산을 갖는 체결홈과,The coupling means is formed in the groove shape in the center of the upper surface of the lower plate and the fastening groove having a screw thread on the inner peripheral surface;

상기 안착 플레이트의 하부면 중앙에 돌출되도록 형성되고 외주면에 나사산이 형성되어 상기 체결홈에 체결되는 체결돌기를 구비한 것이다.It is formed to protrude in the center of the lower surface of the seating plate and a screw thread is formed on the outer peripheral surface is provided with a fastening protrusion to be fastened to the fastening groove.

상기 체결수단은 상기 홀더 본체의 내주면에 나사산을 갖는 체결부가 형성되고,The fastening means has a fastening portion having a screw thread on the inner peripheral surface of the holder body,

상기 상부 플레이트의 하부면에 단턱지도록 연장되고 외주면 테두리에 상기 체결부에 대응되는 나사산을 갖는 나사부를 구비한 것이다.It is provided with a screw thread extending to step on the lower surface of the upper plate and having a thread corresponding to the fastening portion on the outer peripheral surface edge.

상기 상부 플레이트는 상기 시편의 상부면 테두리 부위에 접촉되도록 테두리에 박판의 접촉부를 갖는 중공이 형성된 것이다.The upper plate is a hollow having a contact portion of the thin plate on the rim so as to contact the edge portion of the upper surface of the specimen.

상기 안착 플레이트는 틸팅수단을 가지며 상,하로 착탈 가능하게 배치되는 제 1,2안착 플레이트로 구성되되,The seating plate has a tilting means and consists of first and second seating plates that are detachably disposed up and down,

상기 틸팅수단은 상기 제 1안착 플레이트의 상부면에 배치되는 볼 형태의 베어링부재와,The tilting means and the ball-shaped bearing member disposed on the upper surface of the first seating plate,

상기 제 2안착 플레이트의 하부면에 연장 형성되고 상기 베어링부재가 틸팅 가능하게 수용되는 수용홈을 갖는 수용부를 구비한 것이다.It is provided with an accommodating portion extending from a lower surface of the second seating plate and having a receiving groove in which the bearing member is tiltably received.

본 발명은 단순 구조로 시편의 유동을 억제하도록 견고하게 고정 지지함과 아울러 수평 조절 작업이 용이하게 이루어지도록 그 구조가 개선된 전자현미분석기용 시편 홀더장치에 관한 것인 바, 이에 따르면 본 발명은 나사식 체결구조를 채용한 홀더장치의 각 구성요소들이 시편의 상,하부를 가압 및 밀착시킴에 따라 시편의 고정상태 및 상부면 수평상태를 용이하게 유지시킬 수 있을 뿐만 아니라, 시편의 크기 및 두께에 관계없이 고정할 수 있는 유용한 효과를 갖는다.The present invention relates to a specimen holder device for an electron microscope which has a simple structure, which is firmly fixed to restrain the flow of the specimen, and whose structure is improved to facilitate horizontal adjustment. As each component of the holder device adopting the screw fastening structure presses and adheres the upper and lower parts of the specimen, it is easy to maintain the fixed state and the horizontal level of the specimen, as well as the size and thickness of the specimen. Regardless of having a useful effect that can be fixed.

또한, 본 발명은 시편 자체의 수평상태가 불량한 경우에도 틸팅 가능한 안착 플레이트의 구조적 특성상 시편의 수평 유지작업이 용이하게 이루어지는 이점을 갖는다. In addition, the present invention has the advantage that the horizontal maintenance operation of the specimen is easy because of the structural characteristics of the tiltable seating plate even when the horizontal state of the specimen itself is poor.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 전자현미분석기용 시편 홀더장치는, 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명하면, 그 구성은 전자현미분석기의 이동가능한 스테이지(10)상에 착탈 가능하게 결합되는 하부 플레이트(110)와, 하부 플레이트(110)의 상부에 승강 및 착탈 가능하게 결합되고 시편(S)이 안착되는 안착 플레이트와, 하부면이 하부 플레이트(110)의 상부면에 안착되고 내부에 시편(S)을 수용하도록 공간을 가지며 내주면에 나사산을 갖는 홀더 본체(120)와, 홀더 본체(120)의 상부에 체결수단을 매개로 승강 가능하게 체결되며 상기 시편(S)의 상부면 테두리 일부와 접촉되어 시편(S)을 가압 고정하는 상부 플레이트(150)로 구성된 것이다.Specimen holder device for an electron microscope according to the present invention, described with reference to Figures 1 to 9, the configuration is a lower plate 110 and detachably coupled to the movable stage 10 of the electron microscope The lifting plate is lifted and detachably coupled to the upper portion of the lower plate 110 and the seating plate on which the specimen S is seated, and the lower surface is seated on the upper surface of the lower plate 110 and accommodates the specimen S therein. Holder body 120 having a space and a screw thread on the inner circumferential surface, and is fastened so that the holder body 120 can be elevated by means of a fastening means and in contact with a portion of the upper edge of the specimen (S) specimen (S) It consists of an upper plate 150 for fixing the pressure.

더 상세히 설명하면, 하부 플레이트(110)와 안착플레이트는 결합수단을 매개로 착탈가능하게 결합되며, 그 결합수단은 하부 플레이트(110)의 상부면 중앙에 홈 형태로 내주면에 나사산을 갖는 체결홈(116)이 형성되고, 안착 플레이트의 하부면 중앙에 돌출되도록 형성되고 외주면에 나사산이 형성되어 체결홈(116)에 체결되는 체결돌기(132)를 구비한 것이다.In more detail, the lower plate 110 and the mounting plate are detachably coupled via the coupling means, and the coupling means has a fastening groove having a screw thread on the inner circumferential surface in the center of the upper surface of the lower plate 110 ( 116 is formed, and is formed to protrude in the center of the lower surface of the seating plate and a thread is formed on the outer circumferential surface is provided with a fastening protrusion 132 is fastened to the fastening groove 116.

이는, 안착 플레이트의 높이를 조절하여 안착 플레이트의 승강범위내에서 시편(S)의 두께에 상관없이 시편(S)을 고정시킬 수 있음을 의미한다.This means that by adjusting the height of the seating plate, the test piece S can be fixed regardless of the thickness of the test piece S within the lifting range of the seating plate.

또, 체결수단은 홀더 본체(120)의 내주면에 나사산을 갖는 체결부(122)가 형성되고, 상부 플레이트(150)의 하부면에 단턱지도록 연장되고 외주면 테두리에 체결부(122)에 대응되는 나사산을 갖는 나사부(152)를 구비한 것이다.In addition, the fastening means is a fastening portion 122 having a screw thread formed on the inner circumferential surface of the holder body 120, extends to be stepped on the lower surface of the upper plate 150, and a screw thread corresponding to the fastening portion 122 on the outer circumferential surface edge. It is provided with a screw portion 152 having.

더 바람직하게는 안착 플레이트는 상,하부에 서로 착탈가능하도록 분할된 제 1,2안착 플레이트로 구성되며, 제 1,2안착 플레이트중 상부의 제 2안착 플레이트(140)가 틸팅수단에 의해 제 1안착 플레이트(130)에 대해 틸팅동작이 가능하도록 되어 있다.More preferably, the seating plate is composed of first and second seating plates divided to be detachable from each other in the upper and lower parts, and the second seating plate 140 of the upper part of the first and second seating plates is first mounted by tilting means. The tilting operation of the seating plate 130 is possible.

틸팅수단은 제 1안착 플레이트(130)의 상부면에 배치되는 볼 형태의 베어링부재(135)와, 제 2안착 플레이트(140)의 하부면에 연장 형성되고 상기 베어링부재(135)가 틸팅 가능하게 수용되는 수용홈(142a)을 갖는 수용부(142)를 구비한 것이다.The tilting means is formed on the bearing member 135 having a ball shape disposed on the upper surface of the first seating plate 130 and the lower surface of the second seating plate 140, and the bearing member 135 is tiltable. It is provided with a receiving portion 142 having a receiving groove (142a) to be accommodated.

또한, 상부 플레이트(150)는 시편(S)의 시료 부분을 제외한 외측 테두리 부위와 접촉되도록 얇은 박판 형태의 접촉부(156)를 갖는 중공(155)이 형성되며, 그 접촉부(156)는 전자현미분석기의 전자총과 간섭되지 않도록 대략 0.2mm정도로 시편(S)의 상부면을 덮어서 하측으로 밀착시키는 구조로 되어 있다.In addition, the upper plate 150 is formed with a hollow 155 having a thin plate-like contact portion 156 to contact the outer edge portion except for the sample portion of the specimen (S), the contact portion 156 is an electron microscope analyzer To cover the upper surface of the specimen (S) to approximately 0.2mm so as not to interfere with the electron gun of the structure is to be in close contact with the lower side.

그리고, 홀더 본체(120)와 하부 플레이트(110)의 결합은 하부 플레이트(110)의 상부에 단턱지도록 형성되고 외주면 둘레에 나사산이 형성된 단턱부(115)를 구비하여서, 상기한 홀더 본체(120)의 체결부(122)에 단턱부(115)가 체결되는 구조로 되어 있다.In addition, the coupling between the holder body 120 and the lower plate 110 includes a stepped portion 115 formed to be stepped on an upper portion of the lower plate 110 and a threaded portion formed around an outer circumferential surface thereof, so that the holder body 120 is formed. The step portion 115 is fastened to the fastening portion 122 of the structure.

또 하부 플레이트(110)는 스테이지(10)의 상부에 요홈 형태로 형성된 끼움홈에 끼움 결합되도록 하부면에 끼움돌기(112)가 연장 형성된 구조로 되어 있으나, 공지의 록킹 결합 방식으로 결합하거나, 나사 체결방식으로 체결할 수도 있다. In addition, the lower plate 110 has a structure in which the fitting protrusion 112 extends to the lower surface so as to be fitted into the fitting groove formed in the groove shape on the top of the stage 10, but is coupled or screwed in a known locking coupling method. It can also be fastened in a fastening manner.

그외에도, 홀더 본체(120)의 외주면에는 하중을 경감시켜 스테이지(10) 이동성을 향상시킬 수 있도록 창 형태의 통공이 형성되어 있다.In addition, a window-shaped through hole is formed on the outer circumferential surface of the holder main body 120 to reduce the load and improve the mobility of the stage 10.

또한, 제 1안착 플레이트(130)의 외주면 테두리에 하중을 경감시키기 위한 요입홈(134)이 다수개 형성된 구조로 되어 있다.In addition, the outer peripheral surface of the first seating plate 130 has a structure in which a plurality of recessed grooves 134 for reducing the load are formed.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention having such a configuration as follows.

본 발명에 의한 전자현미분석기용 시편 홀더장치는, 여기서 시편(S)을 홀더 본체(120)에 결합시킨 상태에서 스테이지(10)에 조립하거나, 시편 홀더장치의 각 구성요소들을 스테이지(10)상에 순차적으로 조립하는 두가지 방식이 있다.In the specimen holder device for an electron microscope according to the present invention, the specimen S is assembled to the stage 10 in a state in which the specimen S is coupled to the holder body 120, or each component of the specimen holder device is mounted on the stage 10. There are two ways to assemble sequentially.

여기서는 일 예로 스테이지(10)상에 순차적으로 조립하여 시편(S)을 고정시키는 방식을 설명하기로 한다.As an example, a method of fixing the specimen S by sequentially assembling the stage 10 will be described.

먼저, 하부 플레이트(110)를 스테이지(10)의 상부면에 배치하고, 홀더 본 체(120)를 하부 플레이트(110)상에서 회전시켜 하부 플레이트(110)의 단턱부(115)에 홀더 본체(120)의 체결부(122)를 체결시킨다. First, the lower plate 110 is disposed on the upper surface of the stage 10, and the holder body 120 is rotated on the lower plate 110 to hold the holder body 120 at the stepped portion 115 of the lower plate 110. Fasten the fastening portion 122 of the).

이어서 제 1안착 플레이트(130)의 외주면 둘레에 형성된 나사산 및 체결부(122)의 나사산 부위를 이용하여 홀더 본체(120)의 체결부(122) 및 하부 플레이트(110)의 체결홈(116)에 체결시켜 높이를 조정한다.Subsequently, the fastening portion 122 of the holder body 120 and the fastening groove 116 of the lower plate 110 are formed by using a screw portion of the screw thread and the fastening portion 122 formed around the outer circumferential surface of the first seating plate 130. Tighten to adjust height.

이때, 제 1,2안착 플레이트는 하부 플레이트(110)와 홀더 본체(120)의 조립전에 선조립된 상태로 조립하는 것이 바람직하다.In this case, the first and second seating plates are preferably assembled in a pre-assembled state before assembling the lower plate 110 and the holder body 120.

즉, 제 1안착 플레이트(130)의 베어링부재(135)가 제 2안착 플레이트(140)의 수용홈(142a) 내부에 압입되어 제 2안착 플레이트(140)가 제 1안착 플레이트(130)에 대해 틸팅 가능한 상태로 조립한 후에, 홀더 본체(120)와 하부 플레이트(110)에 조립하는 것이다.That is, the bearing member 135 of the first seating plate 130 is press-fitted into the receiving groove 142a of the second seating plate 140 so that the second seating plate 140 with respect to the first seating plate 130. After assembling in a tiltable state, it is assembled to the holder main body 120 and the lower plate 110.

이후에, 제 2안착 플레이트(140)의 상부면에 시편(S)의 하부면을 안착시키면, 시편(S)이 제 2안착 플레이트(140)에 안착되고 홀더 본체(120)의 공간 내부에 수용된 상태를 유지하게 된다.Subsequently, when the lower surface of the specimen S is seated on the upper surface of the second seating plate 140, the specimen S is seated on the second seating plate 140 and accommodated in the space of the holder body 120. State is maintained.

그후에는 상부 플레이트(150)를 홀더 본체(120)의 공간 내에서 일방향으로 회전시키면, 나사 체결방식에 의해 하강 동작되고, 그 하강 동작시 접촉부(156)의 하측면이 시편(S)의 상측면 테두리 부위를 눌러 가압하게 된다.Thereafter, when the upper plate 150 is rotated in one direction in the space of the holder main body 120, the lowering operation is performed by the screw fastening method, and the lower side of the contact portion 156 is the upper side surface of the specimen S during the lowering operation. Press the edge area to pressurize.

이로 인해 홀더 본체(120)의 상부면과 수평상태를 갖는 상부 플레이트(150)의 접촉부(156)가 동일한 압력으로 시편(S)의 상부면 테두리를 눌러서 가압하게 되므로, 시편(S)의 상측면이 자동으로 수평 상태로 조절됨과 아울러, 견고하게 고정 시켜 시편(S)의 유동을 억제할 수 있다.Thus, the contact portion 156 of the upper plate 150 having a horizontal state with the upper surface of the holder body 120 is pressed by pressing the upper edge of the specimen (S) at the same pressure, the upper surface of the specimen (S) While automatically adjusting to a horizontal state, it can be firmly fixed to suppress the flow of the specimen (S).

한편, 시편(S)의 하부면이 수평상태가 아닐 경우에는, 시편(S)이 안착된 제 2안착 플레이트(140)가 제 1안착 플레이트(130)의 베어링부재(135)를 매개로 틸팅동작되고, 이 틸팅동작중에 시편(S)의 상부에서 상부 플레이트(150)가 누르는 가압력에 의해 수평상태를 유지하게 되어 용이하게 시편(S) 상부면의 수평 상태를 유지할 수 있다.On the other hand, when the lower surface of the specimen (S) is not in a horizontal state, the second seating plate 140 on which the specimen (S) is seated tilting operation via the bearing member 135 of the first seating plate 130. During the tilting operation, the horizontal state is maintained by the pressing force of the upper plate 150 pressed on the upper portion of the specimen S, so that the horizontal state of the upper surface of the specimen S can be easily maintained.

이후의 분해 공정은 앞서 설명한 조립순서의 역순으로 분해할 수 있다.Subsequent disassembly may be performed in the reverse order of the assembly sequence described above.

또한, 본 발명의 시편 홀더장치는 EMPA뿐만 아니라, SEM등의 장비에서 시편으로 고정하는 홀더장치로도 채택 가능할 것이다.In addition, the specimen holder device of the present invention, as well as EMPA, may be adopted as a holder device for fixing the specimen in equipment such as SEM.

도 1은 본 발명에 따른 전자현미분석기용 시편 홀더장치를 나타낸 분해 사시도.1 is an exploded perspective view showing a specimen holder device for an electron microscope analyzer according to the present invention.

도 2는 본 발명의 결합 상태를 나타낸 단면도.2 is a cross-sectional view showing a bonding state of the present invention.

도 3은 본 발명 상부 플레이트를 정면에서 나타낸 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing the present invention the upper plate from the front.

도 4a는 본 발명 홀더 본체를 정면에서 보인 단면도이고, 도 4b는 평면에서 보인 단면도이다.4A is a sectional view of the holder body of the present invention from the front, and FIG. 4B is a sectional view of the holder body.

도 5는 본 발명 하부 플레이트의 구성을 나타낸 단면도.Figure 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the lower plate of the present invention.

도 6은 본 발명 제 1안착 플레이트를 나타낸 단면도.Figure 6 is a cross-sectional view showing a first seating plate of the present invention.

도 7은 본 발명 제 2안착 플레이트를 나타낸 단면도.7 is a cross-sectional view showing a second seating plate of the present invention.

도 8은 본 발명의 사용상태도.8 is a use state diagram of the present invention.

도 9는 시편의 수평상태가 불량할 때, 본 발명의 제 1,2안착 플레이트의 틸팅동작을 보인 사용상태도.9 is a use state showing the tilting operation of the first and second seating plates of the present invention when the horizontal state of the specimen is poor.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110 : 하부 플레이트 115 : 단턱부110: lower plate 115: stepped portion

116 : 체결홈 120 : 홀더 본체116: fastening groove 120: holder body

122 : 체결부 130 : 제 1안착 플레이트122: fastening portion 130: first seating plate

132 : 체결돌기 135 : 베어링부재132: fastening protrusion 135: bearing member

140 : 제 2안착 플레이트 142 : 수용부140: second seating plate 142: receiving portion

142a : 수용홈 150 : 상부 플레이트142a: accommodation groove 150: upper plate

152 : 나사부 155 : 중공152: threaded portion 155: hollow

156 : 접촉부 S : 시편156 contact portion S: specimen

Claims (5)

전자현미분석기의 스테이지(10) 상에 착탈 가능하게 결합되는 하부 플레이트(110)와,A lower plate 110 detachably coupled to the stage 10 of the electron microscope analyzer, 상기 하부 플레이트(110)의 상부에 배치되며 내부에 시편(S)이 수용되는 공간을 갖는 홀더 본체(120)와, A holder body 120 disposed above the lower plate 110 and having a space in which the specimen S is received; 상기 홀더 본체(120)의 내부에 수용되고 상기 하부 플레이트(110)의 상부면에 결합수단을 매개로 승강 및 착탈 가능하게 배치되어 상부면에 상기 시편(S)이 안착되는 안착 플레이트와,A seating plate accommodated in the holder body 120 and disposed on the upper surface of the lower plate 110 so as to be lifted and detached by a coupling means to seat the specimen S on the upper surface; 상기 홀더 본체(120)의 상부에 체결수단을 매개로 승강 가능하게 체결되며 상기 시편(S)의 상부면 테두리 일부를 가압 고정하는 상부 플레이트(150)를 구비한 것을 특징으로 하는 전자현미분석기용 시편 홀더장치.Specimen for the electron microscope analyzer, characterized in that the upper plate 150 for fastening and elevating to the upper portion of the holder body 120 via a fastening means and pressurized part of the upper edge of the specimen (S) Holder device. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 결합수단은 상기 하부 플레이트(110)의 상부면 중앙에 홈 형태로 형성되고 내주면에 나사산을 갖는 체결홈(116)과,The coupling means is formed in the groove shape in the center of the upper surface of the lower plate 110 and the fastening groove 116 having a screw thread on the inner peripheral surface, 상기 안착 플레이트의 하부면 중앙에 돌출되도록 형성되고 외주면에 나사산이 형성되어 상기 체결홈(116)에 체결되는 체결돌기(132)를 구비한 것을 특징으로 하는 전자현미분석기용 시편 홀더장치.And a fastening protrusion (132) formed to protrude in the center of the lower surface of the seating plate and having a screw thread formed on an outer circumferential surface thereof to be fastened to the fastening groove (116). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 체결수단은 상기 홀더 본체(120)의 내주면에 나사산을 갖는 체결부(122)가 형성되고,The fastening means is a fastening portion 122 having a screw thread is formed on the inner peripheral surface of the holder body 120, 상기 상부 플레이트(150)의 하부면에 단턱지도록 연장되고 외주면 테두리에 상기 체결부(122)에 대응되는 나사산을 갖는 나사부(152)를 구비한 것을 특징으로 하는 전자현미분석기용 시편 홀더장치.Specimen holder device for an electron microscope analyzer, characterized in that it comprises a screw portion 152 extending to be stepped on the lower surface of the upper plate 150 and having a thread corresponding to the fastening portion 122 on the outer peripheral edge. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 상부 플레이트(150)는 상기 시편(S)의 상부면 테두리 부위에 접촉되도록 테두리에 박판의 접촉부(156)를 갖는 중공(155)이 형성된 것을 특징으로 하는 전자현미분석기용 시편 홀더장치.The upper plate 150 is a specimen holder device for an electron microscope analyzer, characterized in that the hollow 155 having a contact portion 156 of the thin plate is formed on the edge so as to contact the upper edge portion of the specimen (S). 청구항 1 내지 청구항 4중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 안착 플레이트는 틸팅수단을 가지며 상,하로 착탈 가능하게 배치되는 제 1,2안착 플레이트로 구성되되,The seating plate has a tilting means and consists of first and second seating plates that are detachably disposed up and down, 상기 틸팅수단은 상기 제 1안착 플레이트(130)의 상부면에 배치되는 볼 형태의 베어링부재(135)와,The tilting means has a ball-shaped bearing member 135 disposed on the upper surface of the first seating plate 130, 상기 제 2안착 플레이트(140)의 하부면에 연장 형성되고 상기 베어링부재(135)가 틸팅 가능하게 수용되는 수용홈(142a)을 갖는 수용부(142)를 구비한 것을 특징으로 하는 전자현미분석기용 시편 홀더장치.It is formed on the lower surface of the second seating plate 140 and has an accommodating portion 142 having an accommodating groove 142a in which the bearing member 135 is tiltably received. Specimen holder device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101878753B1 (en) * 2012-12-20 2018-07-16 삼성전자주식회사 Sample stage used in microscopy for vertical loading and scanning probe microscopy using the same
KR102095516B1 (en) * 2018-11-28 2020-03-31 재단법인대구경북과학기술원 Apparatus for holding sample of microscope
KR20200132417A (en) * 2019-05-17 2020-11-25 주식회사 제이엔옵틱 Apparatus for holding sample and method for holding sample

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