KR100989749B1 - A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope - Google Patents

A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope Download PDF

Info

Publication number
KR100989749B1
KR100989749B1 KR1020080106062A KR20080106062A KR100989749B1 KR 100989749 B1 KR100989749 B1 KR 100989749B1 KR 1020080106062 A KR1020080106062 A KR 1020080106062A KR 20080106062 A KR20080106062 A KR 20080106062A KR 100989749 B1 KR100989749 B1 KR 100989749B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
specimen
groove portion
holder
base groove
scanning electron
Prior art date
Application number
KR1020080106062A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100051902A (en
Inventor
김학진
서용기
Original Assignee
현대제철 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대제철 주식회사 filed Critical 현대제철 주식회사
Priority to KR1020080106062A priority Critical patent/KR100989749B1/en
Publication of KR20100051902A publication Critical patent/KR20100051902A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100989749B1 publication Critical patent/KR100989749B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/36—Embedding or analogous mounting of samples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/02—Multiple-type SPM, i.e. involving more than one SPM techniques
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes

Abstract

본 발명은 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치에 관한 것으로, 시편이 삽입되는 베이스 홈부가 형성되고, 베이스 홈부의 둘레로 시편이 삽입되는 복수의 삽입 홈부가 이격되게 형성된 홀더부재에서, 상기 베이스 홈부의 외벽부가 탄성을 가져 상기 삽입 홈부 내에 삽입된 시편에 의해 밀려 베이스 홈부 내의 시편을 가압하여 고정하는 것이다.The present invention relates to a specimen holder device of a scanning electron microscope, in which a base groove portion into which a specimen is inserted is formed, and a plurality of insertion groove portions into which a specimen is inserted around the base groove portion is spaced apart from an outer wall of the base groove portion. It has an additional elasticity is pushed by the specimen inserted into the insertion groove portion to press and fix the specimen in the base groove portion.

본 발명은 시편을 견고히 고정하여 관찰 중 상흐름을 제어하여 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성을 향상시키는 효과가 있는 것이다.The present invention has the effect of firmly fixing the specimen to control the phase flow during observation to improve the accuracy and reliability for precise analysis.

또, 본 발명은 특히 복수의 시편을 시편을 간단하게 고정시켜 시편 분석 작업 시간을 단축시킴은 물론 시편 및 챔버를 오염시키는 오염물질이 발생되지 않아 주사 전자 현미경의 내구성을 증대시키는 효과가 있는 것이다.In addition, the present invention is particularly effective in increasing the durability of the scanning electron microscope since a plurality of specimens can be easily fixed to shorten the specimen analysis work time and contaminants that contaminate the specimen and the chamber are not generated.

Description

주사 전자 현미경의 시편 홀더장치{A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope}A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope

본 발명은 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 복수의 시편을 견고히 고정하여 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성을 증대시킬 수 있도록 발명된 것이다. The present invention relates to a specimen holder device of a scanning electron microscope, and more particularly, to securely hold a plurality of specimens and to increase accuracy and reliability for precision analysis.

일반적으로 주사 전자 현미경(SEM:Scanning Elctron Microscope)은 전자가 시편를 통과하도록 하는 것이 아닌, 초점이 잘 맞추어진 전자선(electron beam)을 시편의 표면 위로 주사하였을 때에 시편 표면에서 발생하는 낮은 에너지의 전자(2차 전자)를 검출하여 시편 표면의 미세 구조를 직접 관찰하는 장치이다.In general, Scanning Elctron Microscope (SEM) does not force electrons to pass through the specimen, but rather the low-energy electrons that are generated at the surface of the specimen when a well-focused electron beam is scanned over the surface of the specimen. Secondary electrons) to directly observe the microstructure of the specimen surface.

여기서, 상기 주사 전자 현미경에 의해 주사된 전자선이 시편의 한 점에 집중되면서 1차 전자는 굴절되는 반면, 표면에서 발생된 2차 전자는 검파기(detector)에 의해 수집되는 바, 그 결과로 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(CRT:Cathod Ray Tube)에 상을 형성하게 된다.Here, the primary electron is refracted while the electron beam scanned by the scanning electron microscope is concentrated at one point of the specimen, while the secondary electrons generated at the surface are collected by a detector, resulting in a signal Gather from many points to form an image in a cathode ray tube (CRT).

이러한 주사 전자 현미경은 초점이 높은 심도를 이용하여 비교적 큰 시편을 입체적으로 관찰ㆍ분석할 수 있는 특징을 가진다.Such a scanning electron microscope has a characteristic that three-dimensional observation and analysis of a relatively large specimen can be performed using a high depth of focus.

상기 주사 전자 현미경으로 관찰ㆍ분석할 수 있는 시편은 크게 전도성 시편과 비전도성 시편으로 구분된다.Specimens that can be observed and analyzed by the scanning electron microscope are classified into conductive specimens and nonconductive specimens.

기존에는 시편의 제조후 시편 홀더 스테이지의 상부에 안착되도록 고정하기 위해 전도성 양면테이프 또는 은 페이스트(Silver Paste)를 매개로 접착하는 방식을 채택하고 있다.Conventionally, a method of bonding a conductive double-sided tape or silver paste (Silver Paste) is used to fix the specimen to be seated on top of the specimen holder stage.

그런데, 시편을 전도성 양면테이프나 은 페이스트로 접착하고 떼내는 전처리 및 후처리 작업에 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라, 접착과정에서 시편의 상부면이 정확한 수평을 유지하기 어려워 고배율의 분석시 상흐름(Drift) 현상이 발생될 우려가 있다.However, it is not only time-consuming for the pretreatment and post-treatment work of adhering and removing the specimen with conductive double-sided tape or silver paste, but also because the upper surface of the specimen is difficult to maintain the correct level during the adhesion process. ) May occur.

또한, 접착제의 사용으로 인해 진공상태의 챔버 내부 및 시편을 오염시켜 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성이 저하됨은 물론 주사 전자 현미경(SEM)의 내구성을 저하시키고, 진공 장치에 관련된 각종 필터를 빨리 노후화시키는 문제점이 있으며, 접착제가 고가이고 소모성이므로 소요 비용을 증가시키는 단점이 있다.In addition, the use of the adhesive contaminates the chamber and the specimen in the vacuum state, thereby reducing the accuracy and reliability of the precision analysis, reducing the durability of the scanning electron microscope (SEM), and rapidly aging various filters related to the vacuum device. There is a problem, and since the adhesive is expensive and consumable, there is a disadvantage of increasing the required cost.

그리고, 기존의 시편 전처리 과정중의 하나인 진동 및 전해 연마과정시 시편을 탈거한 후에 연마작업을 수행하고, 다시 연마가 완료된 시편을 다시 장착해야 하는 번거로움이 있었고, 이로 인해 많은 시간이 소요되므로 작업성이 저하되는 문제점이 있다.In addition, the vibration and electropolishing processes, which are one of the existing specimen pretreatment processes, require the removal of the specimen after polishing and the re-installation of the polished specimen. There is a problem that the workability is degraded.

특히, 중량이 무거운 벌크(Bulk)재 및 넓은 판 형상의 시편인 경우 시편의 고정이 불안정하여 저배율인 수천배에서도 상흐름 현상이 발생하는 단점이 있었던 것이다.In particular, in the case of bulk and bulk plate specimens with heavy weight, there is a disadvantage in that the fixing of the specimen is unstable, so that the phase flow phenomenon occurs even at a low magnification of thousands.

상기한 상흐름은 주사 전자 현미경(SEM) 관찰 시 전자선의 조사 위치가 이동되어, 즉, 시편이 이동되어 금속 조직 중 하나인 개재물 또는 미세 조직에 대한 정밀 분석 및 조직 촬영을 기대할 수 없게 하는 문제점을 유발했던 것이다.The above-described phase flow has a problem that the irradiation position of the electron beam is shifted when scanning electron microscopy (SEM) is observed, that is, the specimen is moved, so that precise analysis and tissue imaging of inclusions or microstructures, which are one of the metal tissues, cannot be expected. It was caused.

본 발명의 목적은 복수의 시편을 견고히 고정할 수 있고, 시편의 정밀 분석에 따른 정확도 및 신뢰성을 향상시킴은 물론 작업시간을 단축시키고 주사 전자 현미경(SEM)의 내구성을 증대시키는 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to securely hold a plurality of specimens, improve the accuracy and reliability of the precise analysis of the specimen, as well as shorten the working time and increase the durability of the scanning electron microscope (SEM) specimens To provide a holder device.

이러한 본 발명의 과제는 주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되며, 시편 홀더 스테이지 상부로 돌설되는 홀더 지지부재와;The object of the present invention is mounted on the specimen holder stage of the scanning electron microscope, the holder support member protruding to the specimen holder stage;

시편이 삽입되는 베이스 홈부가 형성되고, 베이스 홈부의 둘레로 시편이 삽입되는 복수의 삽입 홈부가 이격되게 형성된 홀더부재와;A holder member formed with a base groove portion into which the specimen is inserted, and spaced apart from the plurality of insertion groove portions into which the specimen is inserted around the base groove portion;

상기 홀더부재에 결합하여 상기 삽입 홈부 내로 돌출되어 삽입 홈부 내에 삽입된 시편을 가압하는 고정부재를 포함하되,And a fixing member coupled to the holder member to protrude into the insertion groove to press the specimen inserted into the insertion groove.

상기 베이스 홈부의 외벽부가 탄성을 가져 상기 삽입 홈부 내에 삽입된 시편에 의해 밀려 베이스 홈부 내의 시편을 가압하여 고정하는 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치를 제공함으로써 해결되는 것이다.It is solved by providing a specimen holder device of a scanning electron microscope, wherein the outer wall portion of the base groove portion is elastic and is pushed by the specimen inserted into the insertion groove portion to press and fix the specimen in the base groove portion.

본 발명은 시편을 견고히 고정하여 관찰 중 상흐름을 제어하여 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성을 향상시키는 효과가 있는 것이다.The present invention has the effect of firmly fixing the specimen to control the phase flow during observation to improve the accuracy and reliability for precise analysis.

또, 본 발명은 특히 복수의 시편을 시편을 간단하게 고정시켜 시편 분석 작 업 시간을 단축시킴은 물론 시편 및 챔버를 오염시키는 오염물질이 발생되지 않아 주사 전자 현미경의 내구성을 증대시키는 효과가 있는 것이다.In addition, the present invention is particularly effective in increasing the durability of the scanning electron microscope since a plurality of specimens can be easily fixed to shorten the specimen analysis working time and contaminants that contaminate the specimen and the chamber are not generated. .

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.When described in detail with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 분해 사시도로서, 홀더 지지부재와 홀더부재, 고정부재를 분해하여 나타내고 있다.1 is an exploded perspective view of the present invention, in which the holder supporting member, the holder member and the fixing member are disassembled and shown.

도 2는 본 발명의 조립 상태를 도시한 사시도로서, 베이스 홈부 및 삽입 홈부에 각각 시편이 삽입되고, 홀더부재에 삽입 홈부 내의 시편을 가압하는 가압 볼트가 각각 체결된 상태를 나타내고 있다.FIG. 2 is a perspective view illustrating an assembled state of the present invention, in which a specimen is inserted into a base groove portion and an insertion groove portion, respectively, and a pressure bolt for pressing the specimen in the insertion groove portion is fastened to the holder member, respectively.

도 3은 본 발명의 사용 상태 단면도로서, 삽입홈부에 삽입된 시편의 가압력에 의해 베이스 홈부의 외벽부가 밀려 베이스 홈부 내의 시편을 가압하여 고정하는 예를 나타내고 있다.Figure 3 is a cross-sectional view of the use state of the present invention, the outer wall portion of the base groove portion is pushed by the pressing force of the specimen inserted into the insertion groove portion shows an example of pressing and fixing the specimen in the base groove portion.

이하, 도 1 내지 도 3에서 도시한 바와 같이 본 발명인 주사 전자 현미경의 시편 홀더 장치에서, 홀더 지지부재(10)는 시편 홀더 스테이지(1)의 상부에 안착되게 배치되어 고정됨으로써 장착되며, 상, 하부면이 시편 홀더 스테이지(1)의 상면과 동일하게 수평을 유지하도록 형성된다.Hereinafter, in the specimen holder device of the scanning electron microscope according to the present invention as shown in FIGS. 1 to 3, the holder support member 10 is mounted by being seated and fixed on the upper part of the specimen holder stage 1, and The lower surface is formed to be level with the upper surface of the specimen holder stage (1).

상기 홀더 지지부재(10)는 몸체 중앙에 장착 볼트(10a)가 관통되며, 내주면에 장착 볼트(10a)의 머리부가 안착되는 걸림턱(11a)이 돌출된 중공부(11)가 형성되어, 중공부(11)를 통해 관통된 장착 볼트(10a)가 시편 홀더 스테이지(1)에 체결 됨으로써 장착되는 것이다.The holder support member 10 has a mounting bolt 10a penetrated at the center of the body, and a hollow portion 11 is formed at the inner circumferential surface thereof, and a hollow portion 11 protruding from the locking jaw 11a on which the head of the mounting bolt 10a is seated. The mounting bolt 10a penetrated through the part 11 is mounted by being fastened to the specimen holder stage 1.

상기 홀더 지지부재(10)의 저면에는 시편 홀더 스테이지(1)에 형성된 핀 홈(1a)에 삽입되는 위치 가이드 핀부(12)가 돌출되는 것이 바람직하다.It is preferable that the position guide pin part 12 inserted into the pin groove 1a formed in the specimen holder stage 1 protrudes from the bottom surface of the holder support member 10.

상기 위치 가이드 핀부(12)는 복수로 돌출되며, 상기 홀더 지지부재(10)가 안착되는 시편 홀더 스테이지(1)의 상부면에는 상기 위치 가이드 핀부(12)가 삽입되는 핀 홈(1a)을 형성하여 홀더 지지부재(10)를 일정한 위치에 정확히 장착할 수 있도록 안내하여 초기 위치를 정확히 설정할 수 있어 전자 주사 현미경으로 시편(2)을 관찰 중에 시편(2)의 위치 변화, 또는 회전에 다른 제로각 및 각도 설정을 할 수 있게 하는 것이다.The position guide pin portion 12 protrudes in plural, and a pin groove 1a into which the position guide pin portion 12 is inserted is formed on an upper surface of the specimen holder stage 1 on which the holder supporting member 10 is seated. The holder support member 10 can be guided so that the holder can be accurately mounted at a predetermined position, so that the initial position can be set accurately. And angle settings.

또 상기 홀더 지지부재(10)의 상부면에는 시편 홀더 스테이지(1)의 상부면과 동일하게 수평을 유지하도록 하부면 및 베이스 홈부(21) 및 삽입 홈부(22)에서 바닥면이 평면으로 형성된 판 형상의 홀더부재(20)가 장착된다.In addition, the upper surface of the holder support member 10 is formed with a flat bottom surface on the lower surface and the base groove portion 21 and the insertion groove portion 22 so as to be level with the upper surface of the specimen holder stage (1) The holder member 20 of the shape is mounted.

상기 홀더부재(20)는 상기 홀더 지지부재(10)의 상부면에 분리 가능하게 장착되어 시편(2)의 크기 및 형상에 따라 다른 타입의 홀더로 교체하여 사용할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 홀더 지지부재(10)의 상부면에 볼트 체결로 분리 가능하게 장착되는 것을 기본으로 한다.The holder member 20 may be detachably mounted on the upper surface of the holder support member 10 so that the holder member 20 may be replaced with another type of holder according to the size and shape of the specimen 2, and the holder support It is based on the detachably mounted to the upper surface of the member 10 by bolt fastening.

상기 홀더부재(20)에는 볼트가 관통되는 볼트 구멍(20a)을 형성하고, 홀더 지지부재(10)의 상부면에는 상기 볼트 구멍(20a)에 대응되는 볼트 체결홈(13)을 형성하여 상기 볼트 구멍(20a)으로 홀더 고정 볼트(23)를 관통시킨 후 볼트 체결홈(13)에 체결함으로써 홀더부재(20)를 홀더 지지부재(10)의 상부면에 장착 고 정시키는 것이다.A bolt hole 20a through which the bolt penetrates is formed in the holder member 20, and a bolt coupling groove 13 corresponding to the bolt hole 20a is formed in the upper surface of the holder support member 10 to form the bolt. After penetrating the holder fixing bolt 23 through the hole (20a) by fastening to the bolt fastening groove 13 is to fix the holder member 20 to the upper surface of the holder support member (10).

그리고 상기 볼트 구멍(20a)은 홀더부재(20)의 몸체 중앙부에 형성되는 베이스 홈부(21)의 바닥면에 복수로 형성되어 홀더부재(20)를 홀더 지지부재(10)의 상부면에 안정적으로 장착시킬 수 있도록 한다.The bolt hole 20a is formed in plural on the bottom surface of the base groove 21 formed in the center of the body of the holder member 20 to stably hold the holder member 20 on the upper surface of the holder support member 10. Allow it to be mounted.

또, 상기 홀더부재(20)에는 홀더 지지부재(10)의 중공부(11)에 대응되는 관통 구멍(20b)을 형성하여 홀더부재(20)를 분리하지 않고 홀더 지지부재(10)를 시편 홀더 스테이지(1) 상에 장착, 분리할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 상기 관통 구멍(20b)은 홀더부재(20)의 몸체 중앙부, 즉, 베이스 홈부(21)의 바닥면 중앙에 형성되는 것이다.In addition, the holder member 20 is formed with a through hole 20b corresponding to the hollow portion 11 of the holder support member 10 so that the holder support member 10 is not removed from the specimen holder. It is preferable to be mounted on or detached from the stage 1, and the through hole 20b is formed at the center of the body of the holder member 20, that is, at the center of the bottom surface of the base groove 21.

한편, 상기 홀더부재(20)의 상부면에는 중앙에 시편(2)이 삽입되는 베이스 홈부(21)가 형성되고, 베이스 홈부(21)의 둘레로 시편(2)이 삽입되는 복수의 삽입 홈부(22)가 이격되게 형성된다.On the other hand, the upper surface of the holder member 20 is formed with a base groove portion 21 is inserted into the specimen 2 in the center, a plurality of insertion groove portion (2) is inserted into the circumference of the base groove portion 21 ( 22 is formed spaced apart.

상기 홀더부재(20)는 베이스 홈부(21)와 삽입 홈부(22)를 포함하여 시편(2)이 삽입되는 복수의 홈부를 가지되, 본 발명에서 7개로 형성되는 것으로 예시하며 이외에도 다양한 개수로 변형 실시될 수 있음을 밝혀둔다.The holder member 20 has a plurality of groove portions into which the specimen 2 is inserted, including the base groove portion 21 and the insertion groove portion 22. Note that it may be practiced.

일단 상기 홀더부재(20)는 육각 형상의 패널로 형성되며, 상부면 중앙에 베이스 홈부(21)가 형성되고, 상기 베이스 홈부(21)의 외측 둘레로 6개의 삽입 홈부(22)가 베이스 홈부(21)의 중심에서 방사상에 일정한 간격으로 배치되는 것이다.Once the holder member 20 is formed of a hexagonal panel, the base groove portion 21 is formed in the center of the upper surface, six insertion grooves 22 are formed around the outer periphery of the base groove portion 21 base groove portion ( 21 are arranged at regular intervals in the radial direction.

따라서, 베이스 홈부(21)의 외벽부는 베이스 홈부(21)를 중심으로 방사상에 위치되는 각 삽입 홈부(22)의 외벽부로 둘러 쌓여 형성되는 것이다.Accordingly, the outer wall portion of the base groove portion 21 is formed by enclosing the outer wall portion of each insertion groove portion 22 positioned radially around the base groove portion 21.

그리고 상기 베이스 홈부(21)의 외벽부에는 간격을 두고 복수의 절결 구멍(25)이 구비되어 베이스 홈부(21)의 외벽부에 탄성력을 부여하는 것이다.In addition, the outer wall portion of the base groove portion 21 is provided with a plurality of cutout holes 25 at intervals to impart an elastic force to the outer wall portion of the base groove portion 21.

상기 절결 구멍(25)은 상기 베이스 홈부(21)의 외벽부를 형성하는 어느 한 삽입 홈부(22) 외벽부가 다른 한 삽입 홈부(22)의 외벽부와 연결되는 부분에 간격을 두고 복수로 형성되는 것을 기본으로 한다. The cutout holes 25 may be formed in plural at intervals at portions where the outer wall portion of one of the insertion grooves 22 forming the outer wall portion of the base groove portion 21 is connected to the outer wall portion of the other insertion groove portion 22. Basically.

또한 상기 홀더부재(20)에는 상기 삽입 홈부(22) 내로 돌출되어 삽입 홈부(22) 내에 삽입된 시편(2)을 가압하는 고정부재(30)가 결합된다.In addition, the holder member 20 is coupled to the fixing member 30 protruding into the insertion groove 22 to press the specimen (2) inserted into the insertion groove (22).

상기 고정부재(30)는 홀더부재(20)의 외측면에서 삽입 홈부(22) 내로 관통되는 체결 구멍(24)에 체결되는 가압 볼트(31)를 사용한다.The fixing member 30 uses a pressure bolt 31 that is fastened to the fastening hole 24 penetrating into the insertion groove 22 in the outer surface of the holder member 20.

그리고 각 삽입 홈부(22)는 복수의 체결 구멍(24)을 구비하여 시편(2)을 복수의 가압 볼트(31)로 고정함으로써 더욱 시편(2)을 더욱 견고하게 고정할 수 있게 하는 것이 바람직하다.And each insertion groove 22 is preferably provided with a plurality of fastening holes 24 to secure the specimen 2 more firmly by fixing the specimen 2 with a plurality of pressure bolts 31. .

본 발명의 사용 방법을 설명하면 하기와 같다.Referring to the method of use of the present invention is as follows.

일단 베이스 홈부(21)에 시편(2)을 삽입하여 안착시킨 후 베이스 홈부(21) 둘레에 구비된 복수의 삽입 홈부(22)에 각각 시편(2)을 삽입하여 안착시킨다.Once the specimen 2 is inserted into the base groove 21 to be seated, the specimen 2 is inserted into the plurality of insertion grooves 22 provided around the base groove 21 to be seated.

그리고 상기 베이스 홈부(21)의 체결 구멍(24)에 체결된 가압 볼트(31)를 차례로 조여 가압 볼트(31)의 단부를 삽입 홈부(22) 내로 돌출시켜 삽입 홈부(22) 내의 시편(2)을 가압시켜 고정한다.Then, the pressure bolts 31 fastened to the fastening holes 24 of the base grooves 21 are sequentially tightened to protrude the end portions of the pressure bolts 31 into the insertion grooves 22 so that the specimens 2 in the insertion grooves 22 are formed. Press to fix it.

상기 삽입 홈부(22)에 삽입된 각각의 시편(2)은 상기 가압 볼트(31)에 가압 되어 베이스 홈부(21)의 외벽부를 밀어 가압하게 되는 것이다.Each specimen 2 inserted into the insertion groove 22 is pressed by the pressure bolt 31 to push and press the outer wall of the base groove 21.

베이스 홈부(21)의 외벽부는 절결 구멍(25)에 의해 탄성이 부여되어 있어 상기 삽입 홈부(22)에 삽입된 시편(2)에 의해 탄성적으로 밀려 베이스 홈부(21)에 삽입된 시편(2)을 가압하여 고정시키게 되는 것이다.The outer wall portion of the base groove portion 21 is elastically imparted by the cutout hole 25 so that the specimen 2 is elastically pushed by the specimen 2 inserted into the insertion groove portion 22 and inserted into the base groove portion 21. ) Will be fixed by pressing.

따라서, 베이스 홈부(21) 및 삽입 홈부(22)에 삽입된 시편(2)이 각각 가압되어 견고하게 고정되는 것이다.Therefore, the specimens 2 inserted into the base groove portion 21 and the insertion groove portion 22 are pressurized and firmly fixed to each other.

그리고 주사 전자 현미경으로 시편(2)을 관찰하는 작업이 끝난 후에 가압 볼트(31)를 풀어 가압력을 해제하면 베이스 홈부(21)의 외벽부에 가해졌던 가압력도 해제되어 외벽부가 탄성력에 의해 원위치로 복귀되므로, 삽입 홈부(22) 및 베이스 홈부(21)에 삽입된 시편(2)을 분리하여 다음 시편(2)으로 교체할 수 있게 되는 것이다.After observing the specimen 2 with a scanning electron microscope, when the pressure bolt 31 is released to release the pressing force, the pressing force applied to the outer wall of the base groove 21 is also released, and the outer wall is returned to its original position by the elastic force. Therefore, the specimen 2 inserted into the insertion groove 22 and the base groove 21 is to be replaced by the next specimen (2).

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있으며 이는 본 발명의 구성에 포함됨을 밝혀둔다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made without departing from the gist of the present invention, which is understood to be included in the configuration of the present invention.

도 1은 본 발명의 분해 사시도1 is an exploded perspective view of the present invention

도 2는 본 발명의 조립 상태를 도시한 사시도Figure 2 is a perspective view showing the assembled state of the present invention

도 3은 본 발명의 사용 상태 단면도Figure 3 is a cross-sectional view of the use state of the present invention

*도면 중 주요 부호에 대한 설명** Description of the major symbols in the drawings *

1 : 시편 홀더 스테이지 2 : 시편1: Specimen Holder Stage 2: Specimen

10 : 홀더 지지부재 11 : 중공부10 holder support member 11 hollow portion

12 : 위치 가이드 핀부 20 : 홀더부재12: position guide pin 20: holder member

21 : 베이스 홈부 22 : 삽입 홈부21: base groove portion 22: insertion groove portion

30 : 고정부재 31 : 가압 볼트 30: fixing member 31: pressure bolt

Claims (5)

주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되며, 시편 홀더 스테이지 상부로 돌설되는 홀더 지지부재와;A holder support member mounted on the specimen holder stage of the scanning electron microscope and protruding above the specimen holder stage; 시편이 삽입되는 베이스 홈부가 형성되고, 베이스 홈부의 둘레로 시편이 삽입되는 복수의 삽입 홈부가 이격되게 형성된 홀더부재와;A holder member formed with a base groove portion into which the specimen is inserted, and spaced apart from the plurality of insertion groove portions into which the specimen is inserted around the base groove portion; 상기 홀더부재에 결합하여 상기 삽입 홈부 내로 돌출되어 삽입 홈부 내에 삽입된 시편을 가압하는 고정부재를 포함하되,And a fixing member coupled to the holder member to protrude into the insertion groove to press the specimen inserted into the insertion groove. 상기 베이스 홈부의 외벽부가 탄성을 가져 상기 삽입 홈부 내에 삽입된 시편에 의해 밀려 베이스 홈부 내의 시편을 가압하여 고정하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치.A specimen holder device of a scanning electron microscope, characterized in that the outer wall portion of the base groove portion is elastic and is pushed by the specimen inserted into the insertion groove portion to press and fix the specimen in the base groove portion. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 베이스 홈부의 외벽부에는 간격을 두고 복수의 절결 구멍이 구비되어 베이스 홈부의 외벽부에 탄성력을 부여하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치.The outer wall portion of the base groove portion is provided with a plurality of cutting holes at intervals to provide a specimen holder device of the scanning electron microscope, characterized in that to impart an elastic force to the outer wall portion of the base groove portion. 청구항 2에 있어서, The method according to claim 2, 상기 절결 구멍은 상기 베이스 홈부의 외벽부를 형성하는 어느 한 삽입 홈부 외벽부가 다른 한 삽입 홈부의 외벽부와 연결되는 부분에 간격을 두고 복수로 형성 되는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경의 시편 홀더 장치.The cutting hole is a specimen holder device of the scanning electron microscope, characterized in that a plurality of insertion groove outer wall portion forming the outer wall portion of the base groove portion is formed in plural intervals at a portion connected to the outer wall portion of the other insertion groove portion. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 고정부재는 상기 홀더부재의 외측면에서 삽입 홈부 내로 관통되는 체결 구멍에 체결되는 가압 볼트를 사용하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경의 시편 홀더 장치.The holding member is a specimen holder device of the scanning electron microscope, characterized in that for using the pressing bolt which is fastened to the fastening hole penetrating into the insertion groove in the outer surface of the holder member. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 홀더 지지부재의 저면에는 시편 홀더 스테이지에 형성된 핀 홈에 삽입되는 위치 가이드 핀부가 돌출되는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경의 시편 홀더 장치.Specimen holder device of the scanning electron microscope, characterized in that the lower surface of the holder supporting member is projected by the position guide pin is inserted into the pin groove formed in the specimen holder stage.
KR1020080106062A 2008-10-28 2008-10-28 A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope KR100989749B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080106062A KR100989749B1 (en) 2008-10-28 2008-10-28 A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080106062A KR100989749B1 (en) 2008-10-28 2008-10-28 A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100051902A KR20100051902A (en) 2010-05-19
KR100989749B1 true KR100989749B1 (en) 2010-10-26

Family

ID=42277356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080106062A KR100989749B1 (en) 2008-10-28 2008-10-28 A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100989749B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8935811B2 (en) 2012-12-20 2015-01-13 Samsung Electronics Co., Ltd. Vertically mounted sample stage for microscopy and scanning probe microscope using the sample stage
KR101499315B1 (en) * 2013-04-19 2015-03-05 현대제철 주식회사 Sample polishing apparatus with function of controling polishing thickness

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101916706B (en) * 2010-08-03 2013-09-04 深圳市金洲精工科技股份有限公司 Sample platform of scanning electronic microscope and scanning electronic microscope
KR101320662B1 (en) * 2011-10-28 2013-10-18 현대제철 주식회사 Jig device for manufacturing specimen for measuring hydrogen induced cracking
KR101528286B1 (en) * 2013-12-24 2015-06-11 주식회사 포스코 Mold specimen holder

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4459785A (en) 1982-11-08 1984-07-17 Buehler Ltd. Chuck for vertically hung specimen holder
US4745297A (en) 1987-02-17 1988-05-17 Hoechst Celanese Corporation Specimen holder for holding specimen stubs to be coated in an ion-beam sputter coating unit
JPH0574398A (en) * 1991-03-18 1993-03-26 Philips Gloeilampenfab:Nv Sample holder for charged particle beam
KR200152991Y1 (en) 1996-12-23 1999-08-02 신현준 Specimen fixture

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4459785A (en) 1982-11-08 1984-07-17 Buehler Ltd. Chuck for vertically hung specimen holder
US4745297A (en) 1987-02-17 1988-05-17 Hoechst Celanese Corporation Specimen holder for holding specimen stubs to be coated in an ion-beam sputter coating unit
JPH0574398A (en) * 1991-03-18 1993-03-26 Philips Gloeilampenfab:Nv Sample holder for charged particle beam
KR200152991Y1 (en) 1996-12-23 1999-08-02 신현준 Specimen fixture

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8935811B2 (en) 2012-12-20 2015-01-13 Samsung Electronics Co., Ltd. Vertically mounted sample stage for microscopy and scanning probe microscope using the sample stage
KR101499315B1 (en) * 2013-04-19 2015-03-05 현대제철 주식회사 Sample polishing apparatus with function of controling polishing thickness

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100051902A (en) 2010-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100989749B1 (en) A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope
US9381577B2 (en) Chuck table
US11311886B2 (en) Holding apparatus for sample carriers, and method for introducing and withdrawing a sample carrier
KR101042505B1 (en) A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope
CN110268274B (en) Jig and electric connecting device
CN108666194B (en) Sample holding tool, component mounting tool, and charged particle beam device
KR101100493B1 (en) A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope
JP2007214089A (en) Sample stand for scanning electron microscope, and its angle adjusting method
KR101009899B1 (en) A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope
JP2009216534A (en) Thin-film sample preparation method
US9012841B2 (en) Specimen holder for observing cross section of specimen and method for controlling the same
KR101076076B1 (en) A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope
KR20100025921A (en) A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope
CN108872639B (en) Sample holder, fixing member, and sample fixing method
US6894287B2 (en) Microfabrication apparatus and microfabrication method
JP2014044967A (en) Scanning electron microscope and sample holder
JP2008084735A (en) Sectional sample stand and sample holder
CN201455590U (en) Filament welding fixture of scanning electronic microscope
JP2004199969A (en) Sample holder for charged particle beam device
US20190277738A1 (en) Devices and methods for holding a sample for multi-axial testing
JP2012023041A (en) Mesh and element analysis method
JP2019117697A (en) Grid for transmission electron microscope, jig for compression test and analysis unit
JP2013080605A (en) Sample holder tip, sample holder, and manufacturing method of sample holder tip
KR20150092636A (en) A device for supporting a tip of a microscope
JP2016100316A (en) Sample table

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130927

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee