KR101100493B1 - A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope - Google Patents

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Abstract

본 발명은 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치에 관한 것으로, 주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되는 베이스부재와, 상기 베이스부재의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하며 이동된 위치를 고정하는 제 1 고정구를 구비한 중간 이동부재와, 상기 중간 이동부재의 양 측에서 각각 상기 베이스부재의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하며 이동된 위치를 고정하는 제 2 고정구를 구비한 시편 고정 이동부재를 포함한 것이다.The present invention relates to a specimen holder device of a scanning electron microscope, the base member mounted on the specimen holder stage of the scanning electron microscope, and a first fastener for movably coupling in the longitudinal direction of the base member and fixing the moved position And a specimen fixing moving member having an intermediate moving member having a second fixing member and a second fastener configured to be movable on both sides of the intermediate moving member in the longitudinal direction of the base member and to fix the moved position.

본 발명은 시편을 견고히 고정하여 관찰 중 상흐름을 제어하여 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성을 향상시키며, 특히 크기가 다른 두 개의 마운팅 시편을 견고히 장착시켜 시편을 정밀하고 안정적으로 분석할 수 있게 하는 효과가 있는 것이다.The present invention improves the accuracy and reliability of precision analysis by controlling the phase flow during observation by firmly fixing the specimen, and in particular, by mounting two mounting specimens of different sizes firmly and accurately and stably analyzing the specimen. There is.

또, 본 발명은 간단하게 시편을 고정시켜 시편 분석 작업 시간을 단축시킴은 물론 시편 및 챔버를 오염시키는 오염물질이 발생되지 않아 주사 전자 현미경의 내구성을 증대시키는 효과가 있는 것이다.In addition, the present invention has the effect of shortening the specimen analysis time simply by fixing the specimen, as well as increasing the durability of the scanning electron microscope since contaminants that contaminate the specimen and the chamber are not generated.

Description

주사 전자 현미경의 시편 홀더장치{A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope}A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope

본 발명은 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 직경이 다른 복수의 시편을 견고히 고정하여 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성을 증대시킬 수 있도록 발명된 것이다. The present invention relates to a specimen holder device of a scanning electron microscope, and more particularly, to securely fix a plurality of specimens of different diameters to increase the accuracy and reliability of the precision analysis.

일반적으로 주사 전자 현미경(SEM:Scanning Elctron Microscope)은 전자가 시편를 통과하도록 하는 것이 아닌, 초점이 잘 맞추어진 전자선(electron beam)을 시편의 표면 위로 주사하였을 때에 시편 표면에서 발생하는 낮은 에너지의 전자(2차 전자)를 검출하여 시편 표면의 미세 구조를 직접 관찰하는 장치이다.In general, Scanning Elctron Microscope (SEM) does not force electrons to pass through the specimen, but rather the low-energy electrons that are generated at the surface of the specimen when a well-focused electron beam is scanned over the surface of the specimen. Secondary electrons) to directly observe the microstructure of the specimen surface.

여기서, 상기 주사 전자 현미경에 의해 주사된 전자선이 시편의 한 점에 집중되면서 1차 전자는 굴절되는 반면, 표면에서 발생된 2차 전자는 검파기(detector)에 의해 수집되는 바, 그 결과로 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(CRT:Cathod Ray Tube)에 상을 형성하게 된다.Here, the primary electron is refracted while the electron beam scanned by the scanning electron microscope is concentrated at one point of the specimen, while the secondary electrons generated at the surface are collected by a detector, resulting in a signal Gather from many points to form an image in a cathode ray tube (CRT).

이러한 주사 전자 현미경은 초점이 높은 심도를 이용하여 비교적 큰 시편을 입체적으로 관찰ㆍ분석할 수 있는 특징을 가진다.Such a scanning electron microscope has a characteristic that three-dimensional observation and analysis of a relatively large specimen can be performed using a high depth of focus.

현재 일반적인 주사 전자 현미경에서 챔버 내의 시편 관찰용 스테이지에 시편을 장착하는 형태는 시편이 상부면에 삽입되는 마운팅 시편을 시편 홀더 장치에 장착하여 고정하며 상기 시편 홀더 장치는 상부면에 단순히 마운팅 시편을 접착시켜 고정하는 카본 테이프와 같은 전도성 양면 테이프 또는 은 페이스트(Coloidal Silver Paste)를 매개로 접착하는 방식을 채택하고 있다.In the current scanning electron microscope, the form of mounting the specimen on the specimen observation stage in the chamber is fixed to the specimen holder device by mounting a mounting specimen into which the specimen is inserted into the upper surface, and the specimen holder device simply adheres the mounting specimen to the upper surface. A method of bonding a conductive double-sided tape such as a carbon tape or a silver paste (Coloidal Silver Paste), which is fixed by fixing, is adopted.

그런데, 종래 시편 홀더 장치는 마운팅 시편을 전도성 양면테이프나 은 페이스트로 접착하고 떼내는 전처리 및 후처리 작업에 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라, 접착과정에서 시편의 상부면이 정확한 수평을 유지하기 어려워 고배율의 분석시 상흐름(Drift) 현상이 발생될 우려가 있다.However, the conventional specimen holder device not only takes a lot of time for pretreatment and post-treatment of attaching and detaching the mounting specimen with conductive double-sided tape or silver paste, but also difficult to maintain the correct level of the upper surface of the specimen during the bonding process. Drift may occur in the analysis.

그리고 이러한 상흐름 현상은 주사 전자 현미경 관찰 시 전자선의 조사 위치가 이동되어 즉, 시편이 이동되어 금속 조직 중 하내인 개재물 또는 수 마이크로 내지는 수나노 크기의 미세 조직에 대한 정밀 분석 및 조직 촬영을 기대할 수 없는 원인으로 작용하는 것이다.In addition, this phase flow phenomenon is expected that the electron beam irradiation position is shifted when scanning electron microscopy observation, that is, the specimen is moved to expect precise analysis and tissue imaging of inclusions or microstructures of several micro to several nanometers in the metal structure. There is no cause to work.

또, 종래 시편 홀더 장치는 접착제의 사용으로 인해 진공상태의 챔버 내부 및 시편을 오염시켜 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성이 저하됨은 물론 주사 전자 현미경(SEM)의 내구성을 저하시키고, 진공 장치에 관련된 각종 필터를 빨리 노후화시키는 문제점이 있으며, 접착제가 고가이고 소모성이므로 소요 비용을 증가시키는 단점이 있다.In addition, the conventional specimen holder device contaminates the inside of the chamber and the specimen due to the use of an adhesive, thereby lowering the accuracy and reliability of the precision analysis, as well as reducing the durability of the scanning electron microscope (SEM), There is a problem of aging the filter quickly, there is a disadvantage that the cost is increased because the adhesive is expensive and consumable.

그리고, 기존의 시편 전처리 과정중의 하나인 진동 및 전해 연마과정시 시편을 탈거한 후에 연마작업을 수행하고, 다시 연마가 완료된 시편을 다시 장착해야 하는 번거로움이 있었고, 이로 인해 많은 시간이 소요되므로 작업성이 저하되는 문제점이 있다.In addition, the vibration and electropolishing processes, which are one of the existing specimen pretreatment processes, require the removal of the specimen after polishing and the re-installation of the polished specimen. There is a problem that the workability is degraded.

또한, 종래 시편 홀더 장치는 복수의 마운팅 시편을 안정적으로 장착하기 어려우며 마운팅 시편을 장착 고정하는데, 시편 및 전자 주사 현미경 챔버 내의 환경과 크기에 제한을 받는 문제점이 있었던 것이다. In addition, the conventional specimen holder device is difficult to mount a plurality of mounting specimens stably and to mount and fix the mounting specimen, there was a problem that is limited by the environment and size in the specimen and electron scanning microscope chamber.

본 발명의 목적은 크기가 다른 복수의 마운팅 시편을 안정적으로 장착 고정하고, 시편의 정밀 분석에 따른 정확도 및 신뢰성을 향상시킴은 물론 작업시간을 단축시키고 주사 전자 현미경(SEM)의 내구성을 증대시키는 주사 전자 현미경의 시편 홀더장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to stably mount and fix a plurality of mounting specimens of different sizes, to improve accuracy and reliability according to the precise analysis of the specimen, as well as to shorten the working time and increase the durability of the scanning electron microscope (SEM). The present invention provides a specimen holder device for an electron microscope.

이러한 본 발명의 과제는 주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되는 베이스부재와;The object of the present invention is a base member mounted on the specimen holder stage of the scanning electron microscope;

상기 베이스부재의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하며 이동된 위치를 고정하는 제 1 고정구를 구비한 중간 이동부재와;An intermediate moving member having a first fastener configured to movably couple in the longitudinal direction of the base member and to fix the moved position;

상기 중간 이동부재의 양 측에서 각각 상기 베이스부재의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하며 이동된 위치를 고정하는 제 2 고정구를 구비한 시편 고정 이동부재를 포함한 주사 현미경의 시편 홀더 장치를 제공함으로써 해결되는 것이다.It is solved by providing a specimen holder device of a scanning microscope including a specimen fixing moving member having a second fastener for movably engaging in the longitudinal direction of the base member on both sides of the intermediate moving member and fixing the moved position. will be.

상기 시편 고정 이동부재에 관통되게 체결되어 상기 마운팅 시편의 외주면을 가압하여 고정시키는 시편 고정 볼트부재를 더 포함한 것이다.It further comprises a specimen fixing bolt member is fastened to penetrate through the specimen fixed moving member to press and fix the outer peripheral surface of the mounting specimen.

주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되며, 시편 홀더 스테이지 상부로 돌설되며 상부면에 상기 베이스부재가 장착되는 홀더 지지부재를 더 포함한 것이다.It is mounted on the specimen holder stage of the scanning electron microscope, and further includes a holder support member protruding into the specimen holder stage and the base member is mounted on the upper surface.

상기 홀더 지지부재의 저면에는 시편 홀더 스테이지에 형성된 핀 홈에 삽입 되는 위치 가이드 핀부가 돌출된 것이다.On the bottom surface of the holder support member, the position guide pin portion inserted into the pin groove formed in the specimen holder stage is protruded.

상기 베이스부재의 양 측면에는 길이 방향을 따라 형성된 레일 홈이 형성되고, 상기 중간 이동부재의 하부 양 측 및 상기 시편 고정 이동부재의 하부 양측에 상기 레일 홈에 이동 가능하게 결합되는 레일 돌기가 구비되며, Rail grooves are formed on both side surfaces of the base member in a longitudinal direction, and rail protrusions are movably coupled to the rail grooves on both lower sides of the intermediate moving member and on both lower sides of the specimen fixed moving member. ,

상기 레일 홈과 상기 레일 돌기는 서로 대응되는 쐐기 형상으로 형성된 것이다.The rail groove and the rail protrusion are formed in a wedge shape corresponding to each other.

상기 중간 이동부재 및 시편 고정 이동부재는 서로 마주보는 면이 각각 원호면으로 형성된 것이다.The intermediate moving member and the specimen fixed moving member are formed to face each other with an arc surface.

상기 시편 고정 이동부재는 탄성재로 제조되어 상기 원호면에 접촉되는 마운팅 시편이 직경에 따라 원호면이 탄성적으로 조절되는 것이다.The specimen fixed moving member is made of an elastic material and the mounting specimen in contact with the circular arc surface is elastically adjusted to the circular arc surface according to the diameter.

상기 시편 고정 이동부재는 일 측에 힌지 구멍이 형성된 제 1 힌지부를 구비한 제 1 조우부와;The specimen fixing moving member includes: a first jaw portion having a first hinge portion having a hinge hole formed at one side thereof;

일 측에 힌지 구멍이 형성되며, 힌지 구멍이 일치되게 상기 제 1 힌지부에 겹쳐지는 제 2 힌지부를 구비한 제 2 조우부와;A second jaw portion having a hinge hole formed at one side and having a second hinge portion overlapping the first hinge portion so that the hinge holes coincide with each other;

상기 제 1 조우부의 힌지구멍과 제 2 조우부의 힌지 구멍 중 어느 한 힌지 구멍에 체결되는 위치 고정 볼트를 포함한 것이다.And a position fixing bolt fastened to one of the hinge holes of the hinge hole of the first jaw portion and the hinge hole of the second jaw portion.

상기 시편 고정 볼트부재는 이격되게 구비되며, 서로 다른 방향의 나사산을 가지는 제 1 볼트와 제 2 볼트를 포함하고,The specimen fixing bolt members are spaced apart from each other, and include a first bolt and a second bolt having threads in different directions.

상기 제 1 볼트 및 제 2 볼트의 단부에는 기어 박스가 구비되며, 상기 기어 박스 내에는 상기 제 1 볼트의 일 단부에 장착된 제 1 기어부와, 상기 제 2 볼트의 일 단부에 장착되며, 상기 제 1 기어부와 이격된 제 2 기어부와, 상기 제 1 기어부 및 제 2 기어부의 사이에서 제 1 기어부 및 제 2 기어부에 각각 맞물린 상태로 회전하는 제 3 기어부가 구비된 것이다.A gear box is provided at ends of the first bolt and the second bolt, and a first gear part mounted at one end of the first bolt, and mounted at one end of the second bolt in the gear box. A second gear part spaced apart from the first gear part, and a third gear part rotating in engagement with the first gear part and the second gear part, respectively, are provided between the first gear part and the second gear part.

본 발명은 시편을 견고히 고정하여 관찰 중 상흐름을 제어하여 정밀 분석에 대한 정확도 및 신뢰성을 향상시키며, 특히 크기가 다른 두 개의 마운팅 시편을 견고히 장착시켜 시편을 정밀하고 안정적으로 분석할 수 있게 하는 효과가 있는 것이다.The present invention improves the accuracy and reliability of precision analysis by controlling the phase flow during observation by firmly fixing the specimen, and in particular, by mounting two mounting specimens of different sizes firmly and accurately and stably analyzing the specimen. There is.

또, 본 발명은 간단하게 시편을 고정시켜 시편 분석 작업 시간을 단축시킴은 물론 시편 및 챔버를 오염시키는 오염물질이 발생되지 않아 주사 전자 현미경의 내구성을 증대시키는 효과가 있는 것이다.In addition, the present invention has the effect of shortening the specimen analysis time simply by fixing the specimen, as well as increasing the durability of the scanning electron microscope since contaminants that contaminate the specimen and the chamber are not generated.

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.When described in detail with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 기본 구조를 도시한 분해 사시도로서, 베이스부재에 이동 가능하게 결합된 중간 이동부재의 양 측에서 시편 고정 이동부재가 이동 가능하게 결합되는 예를 나타내고 있다.1 is an exploded perspective view showing the basic structure of the present invention, showing an example in which the specimen fixed moving member is movably coupled on both sides of the intermediate moving member movably coupled to the base member.

도 2는 본 발명의 일 실시 예를 도시한 분해 사시도로서, 홀더 지지부재(40)를 더 포함한 예를 나타내고 있다.Figure 2 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention, showing an example further including a holder support member (40).

도 3은 본 발명의 사용 상태를 도시한 종단면도로서, 시편 홀더 스테이지 상 부로 돌설되는 홀더 지지부재(40)의 상부면에 베이스부재가 안착되어 장착되는 예를 나타내고 있다.Figure 3 is a longitudinal cross-sectional view showing the use state of the present invention, showing an example in which the base member is seated and mounted on the upper surface of the holder support member 40 protruding above the specimen holder stage.

도 4는 본 발명의 사용 상태를 도시한 평면도로서, 중간 이동부재의 양 측에서 크기가 서로 다른 마운팅 시편이 고정되고 있는 예를 나타내고 있다.Figure 4 is a plan view showing a state of use of the present invention, showing an example in which mounting specimens of different sizes are fixed on both sides of the intermediate moving member.

도 5는 본 발명의 일 실시 예를 도시한 사용 상태 단면도로서, 서로 다른 나사산을 가지는 두 개의 제 1 볼트(61) 및 제 2 볼트(62)를 기어 구조로 연동되게 구성한 예를 나타내고 있다. FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of the present invention showing an example in which two first bolts 61 and second bolts 62 having different threads are interlocked in a gear structure.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예를 도시한 평면도로서, 상기 시편 고정 이동부재가 탄성재로 제조되어 마운팅 시편의 크기에 따라 양 단부가 벌어지고, 좁혀지면서 안정적으로 마운팅 시편을 장착 고정하는 예를 나타내고 있다. 6 is a plan view illustrating another embodiment of the present invention, in which the specimen fixing moving member is made of an elastic material so that both ends thereof are widened according to the size of the mounting specimen, and the mounting specimen is stably mounted and fixed. It is shown.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예를 도시한 분해 사시도로서, 시편 고정 이동부재가 힌지부를 중심으로 회전하여 마운팅 시편과의 접촉면을 조절할 수 있게 한 것을 나타내고 있다.FIG. 7 is an exploded perspective view showing still another embodiment of the present invention, in which the specimen fixing moving member rotates about the hinge portion to adjust the contact surface with the mounting specimen.

도 8은 도 7의 평면도로서, 시편 고정 이동부재가 힌지부를 중심으로 회전하여 시편과의 접촉면을 조절하는 예를 나타내고 있다.FIG. 8 is a plan view of FIG. 7 illustrating an example in which the specimen fixing moving member rotates about the hinge portion to adjust a contact surface with the specimen.

이하, 도 1에서 도시한 바와 같이 본 발명인 주사 전자 현미경의 시편 홀더 장치에서 베이스부재(10)는 상, 하부면이 평면으로 평행하고 복수의 마운팅 시편(2)을 안착할 수 있는 길이를 가진다.Hereinafter, as shown in FIG. 1, the base member 10 of the specimen holder device of the scanning electron microscope according to the present invention has an upper and lower surfaces parallel to each other and has a length for mounting the plurality of mounting specimens 2.

또 상기 베이스부재(10)는 주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지(1)의 상부에 장착되는 것으로 하부면에 홀더 고정핀(11)이 돌설되어 시편 홀더 스테이지(1)의 상부에 직접 장착될 수도 있다.In addition, the base member 10 is mounted on the upper part of the specimen holder stage 1 of the scanning electron microscope, and the holder fixing pin 11 protrudes from the lower surface thereof so that the base member 10 may be directly mounted on the upper part of the specimen holder stage 1. .

또한 본 발명은 도 2 내지 도 3에서 도시한 바와 같이 주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지(1) 상부에 장착되며, 시편 홀더 스테이지(1) 상부로 돌설되며 상부면에 상기 베이스부재(10)가 장착되는 홀더 지지부재(40)를 더 포함할 수도 있다.In addition, the present invention is mounted on the specimen holder stage 1 of the scanning electron microscope, as shown in Figures 2 to 3, protrudes to the upper part of the specimen holder stage (1) and the base member 10 is mounted on the upper surface It may further include a holder support member 40.

이 때 상기 베이스부재(10)는 상기 홀더 지지부재(40)의 상부면에 안착된 상태로 장착 고정되는 것이다.At this time, the base member 10 is mounted and fixed in a state seated on the upper surface of the holder support member 40.

상기 홀더 지지부재(40)는 시편 홀더 스테이지(1)의 상부에 안착되게 배치되어 고정됨으로써 장착되며, 상, 하부면이 시편 홀더 스테이지(1)의 상면과 동일하게 수평을 유지하도록 형성된다. The holder supporting member 40 is mounted by being seated and fixed on the upper part of the specimen holder stage 1, and the upper and lower surfaces thereof are formed to be level with the upper surface of the specimen holder stage 1.

상기 홀더 지지부재(40)는 몸체 중앙에 장착 볼트(41)가 관통되며, 내주면에 장착 볼트(41)의 머리부가 안착되는 걸림턱이 돌출된 중공부(40a)가 형성되어, 중공부(40a)를 통해 관통된 장착 볼트(41)가 시편 홀더 스테이지(1)에 체결됨으로써 장착되는 것이다.The holder support member 40 has a mounting bolt 41 penetrates through the center of the body, and a hollow portion 40a is formed at the inner circumferential surface of the holder 40 so as to protrude a locking jaw to which the head of the mounting bolt 41 is seated. The mounting bolt 41 penetrated through the () is mounted by being fastened to the specimen holder stage (1).

상기 홀더 지지부재(40)의 저면에는 시편 홀더 스테이지(1)에 형성된 핀 홈에 삽입되는 위치 가이드 핀부(42)가 돌출되는 것이 바람직하다.It is preferable that the position guide pin part 42 inserted into the pin groove formed in the specimen holder stage 1 protrudes from the bottom surface of the holder supporting member 40.

상기 위치 가이드 핀부(42)는 복수로 돌출되며, 상기 홀더 지지부재(40)가 안착되는 시편 홀더 스테이지(1) 상부면에는 상기 위치 가이드 핀부(42)가 삽입되는 핀 홈을 형성하여 홀더 지지부재(40)를 일정한 위치에 정확히 장착할 수 있도록 안내하여 초기 위치를 정확히 설정할 수 있어 전자 주사 현미경으로 시편(2a)을 관 찰 중에 시편(2a)의 위치 변화, 또는 회전에 다른 제로각 및 각도 설정을 할 수 있게 하는 것이다.The position guide pin portion 42 protrudes in plural, and a holder support member is formed on the upper surface of the specimen holder stage 1 on which the holder support member 40 is seated so as to form a pin groove into which the position guide pin portion 42 is inserted. The initial position can be precisely set by guiding the 40 to be accurately mounted at a predetermined position, so that the position change of the specimen 2a or other zero angles and rotations can be set during the observation of the specimen 2a with an electron scanning microscope. To do this.

또 상기 베이스부재(10)는 상기 홀더 지지부재(40)의 상부면에 장착 고정되며, 상기 베이스부재(10)는 상기 홀더 지지부재(40)의 상부면에 분리 가능하게 장착되어 시편(2a)의 크기 및 형상에 따라 다른 타입의 홀더로 교체하여 사용할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 홀더 지지부재(40)의 상부면에 볼트 체결로 분리 가능하게 장착되는 것을 기본으로 한다.In addition, the base member 10 is fixed to the upper surface of the holder support member 40, the base member 10 is detachably mounted on the upper surface of the holder support member 40 is a specimen (2a) According to the size and shape of the it is preferable to be used to replace with another type of holder, it is based on the detachably mounted to the upper surface of the holder support member 40 by bolt fastening.

상기 베이스부재(10)에는 볼트가 관통되는 볼트 구멍(12)을 형성하고, 홀더 지지부재(40)의 상부면에는 상기 볼트 구멍(12)에 대응되는 볼트 체결홈(43)을 형성하여 상기 볼트 구멍(12)으로 베이스 고정 볼트(13)를 관통시킨 후 볼트 체결홈(43)에 체결함으로써 베이스부재(10)를 홀더 지지부재(40)의 상부면에 장착 고정시키는 것이다.A bolt hole 12 through which a bolt penetrates is formed in the base member 10, and a bolt fastening groove 43 corresponding to the bolt hole 12 is formed in an upper surface of the holder support member 40, thereby forming the bolt. After the base fixing bolt 13 is penetrated by the hole 12, the base member 10 is fixed to the upper surface of the holder supporting member 40 by fastening to the bolt fastening groove 43.

상기 베이스부재(10)에는 베이스부재(10)의 길이방향을 따라 이동하는 중간 이동부재(20)와 두 개의 시편 고정 이동부재(30)가 결합된다.The base member 10 is coupled to the intermediate moving member 20 and two specimen fixed moving members 30 moving along the longitudinal direction of the base member 10.

상기 두 개의 시편 고정 이동부재(30)는 상기 베이스부재(10)의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하는 중간 이동부재(20)의 양 측에서 각각 이동 가능하게 결합되는 것이다.The two specimen fixed moving members 30 are movably coupled at both sides of the intermediate moving member 20 to be movably coupled in the longitudinal direction of the base member 10.

또한 상기 중간 이동부재(20)는 이동된 위치를 고정하거나 고정된 상태를 해제할 수 있는 제 1 고정구(20a)를 포함하며, 상기 시편 고정 이동부재(30)는 이동된 위치를 고정하거나 고정된 상태를 해제할 수 있는 제 2 고정구(30a)를 포함한다.In addition, the intermediate moving member 20 includes a first fastener 20a that can fix the fixed position or release the fixed state, and the specimen fixed moving member 30 fixes or fixes the moved position. And a second fastener 30a capable of releasing the state.

상기 제 1 고정구(20a)는 중간 이동부재(20)의 상부에서 관통되게 체결되어 베이스부재(10)의 상부면을 가압하는 위치 고정 볼트(50)를 사용하고, 상기 제 2 고정구(30a)는 시편 고정 이동부재(30)의 상부에서 관통되게 체결되어 베이스부재(10)의 상부면을 가압하는 위치 고정 볼트(50)를 사용한다.The first fastener 20a is fastened to penetrate through the upper portion of the intermediate moving member 20 to use a position fixing bolt 50 to press the upper surface of the base member 10, and the second fastener 30a is The fixing bolt 50 is fastened to penetrate the upper portion of the specimen fixing moving member 30 to press the upper surface of the base member 10.

상기 베이스부재(10)의 양 측면에는 길이 방향을 따라 형성된 레일 홈(14)이 형성되고 상기 중간 이동부재(20)의 하부 양 측 및 상기 시편 고정 이동부재(30)의 하부 양측에 상기 레일 홈(14)에 이동 가능하게 결합되는 레일 돌기(15)가 구비된다.Rail grooves 14 are formed on both side surfaces of the base member 10 in the longitudinal direction, and the rail grooves are formed on both lower sides of the intermediate moving member 20 and lower sides of the specimen fixed moving member 30. The rail protrusion 15 which is movably coupled to the 14 is provided.

상기 레일 홈(14)과 상기 레일 돌기(15)는 서로 대응되는 쐐기 형상으로 형성되어 상기 위치 고정 볼트(50)의 체결로 중간 이동부재(20)의 위치를 더욱 견고히 고정시키고, 또는 위치 고정 볼트(50)의 체결로 시편 고정 이동부재(30)의 위치를 더욱 견고히 고정시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The rail groove 14 and the rail protrusion 15 are formed in a wedge shape corresponding to each other to more firmly fix the position of the intermediate moving member 20 by the fastening of the position fixing bolt 50, or the position fixing bolt. It is preferable to fasten the position of the specimen fixing moving member 30 more firmly by the fastening of the 50.

즉, 상기 중간 이동부재(20) 및 두 개의 시편 고정 이동부재(30)는 베이스 부재에 이동 가능하게 결합되어 중간 이동부재(20)와 시편 고정 이동부재(30)의 사이 간격을 조정할 수 있게 되어 중간 이동부재(20)와 각각의 시편 고정 이동부재(30)의 사이에 크기가 다른 마운팅 시편(2)을 각각 안착시켜 장착 고정할 수 있는 것이다.That is, the intermediate moving member 20 and the two specimen fixed moving members 30 are movably coupled to the base member to adjust the distance between the intermediate moving member 20 and the specimen fixed moving member 30. Between the intermediate moving member 20 and each of the specimen fixed moving member 30 it is possible to mount and fix the mounting specimen (2) of different sizes, respectively.

한편, 상기 중간 이동부재(20)와 시편 고정 이동부재(30) 사이에는 도 4에서 도시한 바와 같이 각각 마운팅 시편(2)이 개재되어 장착 고정되며, 본 발명은 상기 시편 고정 이동부재(30)에 관통되게 체결되어 상기 마운팅 시편(2)의 외주면을 가압하여 고정시키는 시편 고정 볼트부재(60)를 더 포함하는 것이 바람직하다.On the other hand, between the intermediate moving member 20 and the specimen fixed moving member 30 is mounted and fixed to each mounting specimen 2 as shown in Figure 4, the present invention is the specimen fixed moving member 30 It is preferable to further include a specimen fixing bolt member 60 is fastened to penetrate through to press and fix the outer peripheral surface of the mounting specimen (2).

상기 시편 고정 볼트부재(60)는 단부가 상기 중간 이동부재(20)를 향해 위치하도록 시편 고정 이동부재(30)를 관통하여 체결되는 것으로, 체결되면 단부가 마운팅 시편(2)의 외주면을 가압하여 마운팅 시편(2)을 더 견고히 고정시킬 수 있게 하는 것이다.The specimen fixing bolt member 60 is fastened through the specimen fixing moving member 30 so that the end thereof is positioned toward the intermediate moving member 20. When the specimen fixing bolt member 60 is fastened, the specimen fixing pressure member is pressed against the outer circumferential surface of the mounting specimen 2. The mounting specimen (2) is to be more firmly fixed.

상기 마운팅 시편(2)은 주사 전자 현미경으로 관찰되는 시편(2a)이 삽입되는 홈이 형성된 것으로 홈에 시편(2a)이 삽입된 상태로 본 발명인 시편 홀더 장치에 의해 위치가 고정되는 것으로 공지된 것이므로 더 상세한 설명은 생략함을 밝혀둔다.Since the mounting specimen 2 has a groove into which the specimen 2a observed by the scanning electron microscope is inserted, it is known that the position is fixed by the specimen holder device of the present invention with the specimen 2a inserted in the groove. Note that further details are omitted.

상기 중간 이동부재(20) 및 시편 고정 이동부재(30)는 서로 마주보는 시편 접촉면이 형성되는데, 원형의 마운팅 시편(2)을 감싸 고정시킬 수 있도록 시편 접촉면을 원호면으로 형성하는 것이 바람직하다.The intermediate moving member 20 and the specimen fixed moving member 30 are provided with a specimen contact surface facing each other, it is preferable to form a specimen contact surface with an arc surface so as to surround and fix the circular mounting specimen (2).

즉, 상기 중간 이동부재(20)는 두 개의 고정 이동부재에 대향되는 양 면이 각각 원호면으로 형성되고, 이에 대향되는 시편 고정 이동부재(30)의 일면에는 상기 원호면에 대응되는 원호면으로 형성되는 것이다.That is, the intermediate moving member 20 has two surfaces respectively opposed to two fixed moving members formed as circular arc surfaces, and one surface of the specimen fixed moving member 30 opposite to the circular moving surface corresponds to the circular arc surface. It is formed.

상기한 본 발명은 일 단 상기 중간 이동부재(20)를 베이스부재(10)의 중앙부에 위치시켜 고정한 후 상기 중간 이동부재(20)와 시편 고정 이동부재(30) 사이 각각에 마운팅 시편(2)을 올려 놓고 시편 고정 이동부재(30)를 이동시켜 마운팅 시편(2)의 외주면이 중간 이동부재(20) 및 시편 고정 이동부재(30)에 각각 밀착되 게 위치시킨 상태에서 시편 고정 이동부재(30)를 고정시킨다.According to the present invention, the intermediate moving member 20 is positioned at the central portion of the base member 10, and then fixed to each other between the intermediate moving member 20 and the specimen fixed moving member 30. To move the specimen fixed moving member 30 so that the outer peripheral surface of the mounting specimen (2) is in close contact with the intermediate moving member 20 and the specimen fixed moving member 30, respectively. ).

그리고, 상기 시편 고정 볼트부재(60)가 마운팅 시편(2)을 향해 이동하도록 회전시킴으로써 상기 시편 고정 볼트부재(60)의 단부로 마운팅 시편(2)의 외주면을 가압하여 고정하는 것이다.Then, the specimen fixing bolt member 60 is rotated to move toward the mounting specimen 2 to press and fix the outer circumferential surface of the mounting specimen 2 to the end of the specimen fixing bolt member 60.

따라서, 마운팅 시편(2)은 중간 이동부재(20)와 시편 고정 이동부재(30)에 접촉되어 지지된 상태에서 상기 시편 고정 볼트부재(60)의 체결력에 의한 가압으로 견고히 고정되는 것이다.Therefore, the mounting specimen 2 is firmly fixed by the pressure by the fastening force of the specimen fixing bolt member 60 in contact with and supported by the intermediate moving member 20 and the specimen fixed moving member 30.

한편, 상기 시편 고정 볼트부재(60)는 도 5에서 도시한와 같이 이격되게 구비되며, 서로 다른 방향의 나사산을 가지는 제 1 볼트(61)와 제 2 볼트(62)를 포함하고 제 1 볼트(61) 및 제 2 볼트(62)의 단부에는 기어 박스(63)가 구비되며, 상기 기어 박스(63) 내에는 상기 제 1 볼트(61)의 일 단부에 장착된 제 1 기어부(64)와, 상기 제 2 볼트(62)의 일 단부에 장착되며, 상기 제 1 기어부(64)와 이격된 제 2 기어부(65)와, 상기 제 1 기어부(64) 및 제 2 기어부(65)의 사이에서 제 1 기어부(64) 및 제 2 기어부(65)에 각각 맞물린 상태로 회전하는 제 3 기어부(66)가 구비된다.Meanwhile, the specimen fixing bolt member 60 is provided to be spaced apart as shown in FIG. 5, and includes a first bolt 61 and a second bolt 62 having threads in different directions, and the first bolt 61. And the end of the second bolt 62 is provided with a gear box 63, in the gear box 63, the first gear portion 64 mounted to one end of the first bolt 61, A second gear part 65 mounted to one end of the second bolt 62 and spaced apart from the first gear part 64, and the first gear part 64 and the second gear part 65. The third gear part 66 which rotates in meshed state with the 1st gear part 64 and the 2nd gear part 65, respectively is provided in between.

상기 제 3 기어부(66)는 사용자가 파지하여 회전시킬 수 있는 핸들(67)이 구비되거나, 회전시킬 수 있는 공구가 결합되는 공구 결합홈(66a)을 구비하여 사용자가 핸들(67) 또는 공구를 잡고 회전시키면, 제 1 기어부(64) 및 제 2 기어부(65)를 동시에 회전시키는데, 각각 다른 방향으로 회전시키는 것이다.The third gear part 66 is provided with a handle 67 that can be rotated by the user, or a tool engaging groove 66a to which a tool that can be rotated is coupled, so that the user can handle the handle 67 or the tool. When holding and rotating, the first gear 64 and the second gear 65 are rotated at the same time, respectively.

그런데 제 1 볼트(61) 및 제 2 볼트(62)는 서로 다른 나사산으로 형성되어 시편 고정 이동부재(30)에 체결되어 있으므로, 동시에 같은 방향으로 이동하게 되는 것이다.However, since the first bolt 61 and the second bolt 62 are formed of different threads and fastened to the specimen fixed moving member 30, the first bolt 61 and the second bolt 62 are moved in the same direction at the same time.

따라서 제 3 기어부(66)를 회전시키면, 제 1 볼트(61) 및 제 2 볼트(62)를 동시에 작동시켜 제 3 기어부(66)의 회전 방향에 따라 마운팅 시편(2)을 가압 고정하거나, 가압 고정된 상태를 해제할 수 있게 되는 것이다.Accordingly, when the third gear part 66 is rotated, the first bolt 61 and the second bolt 62 are operated simultaneously to press-fix the mounting specimen 2 according to the rotation direction of the third gear part 66. , Will be able to release the pressure-fixed state.

한편, 도 6에서 도시한 바와 같이 상기 시편 고정 이동부재(30)는 우레탄, 합성 고무 등의 강성을 가지는 탄성재로 제조되어 원호면에 접촉되는 마운팅 시편(2)이 직경에 따라 원호면이 조절될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.On the other hand, as shown in Figure 6 the specimen fixed moving member 30 is made of an elastic material having a rigidity, such as urethane, synthetic rubber, and the mounting specimen (2) in contact with the circular arc surface, the circular arc surface is adjusted according to the diameter It is desirable to be able to.

즉, 상기 시편 고정 이동부재(30)는 원호면의 직경보다 직경이 큰 마운팅 시편(2)을 고정시킬 경우 원호면이 탄성적으로 벌어져 마운팅 시편(2)의 외주면을 감싸도록 밀착되어 마운팅 시편(2)을 더욱 견고히 고정시킬 수 있게 되는 것이다.That is, when the specimen fixed moving member 30 fixes the mounting specimen 2 having a diameter larger than the diameter of the circular arc surface, the circular arc surface is elastically opened to closely adhere to surround the outer circumferential surface of the mounting specimen 2. 2) will be more firmly fixed.

또 상기 중간 이동부재(20)를 우레탄, 합성 고무 등의 강성을 가지는 탄성재로 제조하여 상기 시편 고정 이동부재(30)와 동일하게 원호면이 탄성적으로 벌어지면서 마운팅 시편(2)의 외주면을 감싸 밀착되어 마운팅 시편(2)을 더욱 견고히 고정시킬 수 있게 하는 것이 바람직하다.In addition, the intermediate moving member 20 is made of an elastic material having rigidity such as urethane and synthetic rubber, and the outer circumferential surface of the mounting specimen 2 is formed while the circular arc surface is elastically opened in the same manner as the specimen fixed moving member 30. It is desirable to be able to tightly wrap and tightly fix the mounting specimen (2).

한편, 도 7에서 도시한 바와 같이 상기 시편 고정 이동부재(30)는 일 측에 힌지 구멍이 형성된 제 1 힌지부(31a)를 구비한 제 1 조우부(31)와;Meanwhile, as shown in FIG. 7, the specimen fixing moving member 30 includes a first jaw portion 31 having a first hinge portion 31a having a hinge hole formed at one side thereof;

일 측에 힌지 구멍이 형성되며, 힌지 구멍이 일치되게 상기 제 1 힌지부(31a)에 겹쳐지는 제 2 힌지부(32a)를 구비한 제 2 조우부(32)와;A second jaw portion 32 having a hinge hole formed at one side and having a second hinge portion 32a overlapping with the first hinge portion 31a so that the hinge holes coincide with each other;

상기 제 1 조우부(31)의 힌지구멍과 제 2 조우부(32)의 힌지 구멍 중 어느 한 힌지 구멍에 체결되는 위치 고정 볼트(50)를 포함한다.And a position fixing bolt 50 fastened to one of the hinge holes of the hinge hole of the first jaw portion 31 and the hinge hole of the second jaw portion 32.

그리고 상기 제 1 조우부(31) 및 제 2 조우부(32)는 각각 마운팅 시편(2)과 접촉되는 접촉면을 원호면으로 형성한다.In addition, the first jaw portion 31 and the second jaw portion 32 respectively form a contact surface in contact with the mounting specimen 2 as an arc surface.

즉, 상기 제 1 조우부(31)와 제 2 조우부(32)는 힌지 구멍에 결합된 위치 고정 볼트(50)를 중심으로 회전하여 제 1 조우부(31)와 제 2 조우부(32) 사이의 각도를 조절함으로써 마운팅 시편(2)의 직경 또는 형상에 따라 마운팅 시편(2)과의 접촉 면을 조정할 수 있는 것이다.That is, the first jaw portion 31 and the second jaw portion 32 are rotated about the position fixing bolt 50 coupled to the hinge hole to the first jaw portion 31 and the second jaw portion 32. By adjusting the angle therebetween, the contact surface with the mounting specimen 2 can be adjusted according to the diameter or shape of the mounting specimen 2.

상기 제 1 조우부(31)와 제 2 조우부(32)는 위치 고정 볼트(50)의 체결력에 의해 고정되는데, 위치 고정 볼트(50)를 풀면 도 8에서 도시한 바와 같이 힌지 구멍을 중심으로 회전이 가능할 뿐만 아니라, 베이스부재(10)의 길이 방향을 따라 이동하여 중간 이동부재(20)와의 사이 간격도 조절되며, 각도 및 간격이 조절된 후에는 위치 고정 볼트(50)가 조여지게 체결하면 위치 고정 볼트(50)의 단부가 베이스부재(10)의 상부면을 가압하면서 체결력에 의해 고정되는 것이다.The first jaw portion 31 and the second jaw portion 32 are fixed by the fastening force of the position fixing bolt 50. When the position fixing bolt 50 is loosened, as shown in FIG. Not only the rotation is possible, but also moves along the longitudinal direction of the base member 10, and the distance between the intermediate moving member 20 is also adjusted, and after the angle and the interval is adjusted, if the position fixing bolt 50 is tightened to tighten The end of the position fixing bolt 50 is fixed by the fastening force while pressing the upper surface of the base member 10.

또한, 상기 제 1 조우부(31)의 제 1 힌지부(31a)와 제 2 조우부(32)의 제 2 힌지부(32a)는 서로 겹쳐져 상호 접촉되는 제 1 면 및 제 2 면을 구비하는데, 상기 제 1 면에는 힌지 구멍을 중심으로 방사상에 이격된 복수의 치가 돌설된 제 1 기어면(31b)이 형성되고, 제 2 면에는 힌지 구멍을 중심으로 방사상에 위치하며 상기 제 1 기어면(31b)의 치에 맞물리게 이격된 복수의 치가 돌설된 제 2 기어면(32b)이 형성된다.In addition, the first hinge portion 31a of the first jaw portion 31 and the second hinge portion 32a of the second jaw portion 32 have first and second surfaces overlapping each other. The first surface is formed with a first gear surface 31b protruding a plurality of teeth spaced radially about the hinge hole, the second surface is radially located around the hinge hole and the first gear surface ( A second gear face 32b is formed in which a plurality of teeth spaced apart to engage the teeth of 31b) is formed.

즉, 상기 제 1 조우부(31) 및 제 2 조우부(32)는 제 1 힌지부(31a)와 제 2 힌지부(32a)에서 제 1 기어면(31b)과 제 2 기어면(32b)이 서로 맞물린 상태로 위치 고정 볼트(50)와 고정 너트의 체결력으로 고정되므로 조절된 회전 각도로 견고히 고정될 수 있는 것이다.That is, the first jaw portion 31 and the second jaw portion 32 have a first gear surface 31b and a second gear surface 32b at the first hinge portion 31a and the second hinge portion 32a. Since it is fixed by the fastening force of the position fixing bolt 50 and the fixing nut in the state engaged with each other, it can be firmly fixed at a controlled rotation angle.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있으며 이는 본 발명의 구성에 포함됨을 밝혀둔다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made without departing from the gist of the present invention, which is understood to be included in the configuration of the present invention.

도 1은 본 발명의 기본 구조를 도시한 분해 사시도1 is an exploded perspective view showing the basic structure of the present invention

도 2는 본 발명의 일 실시 예를 도시한 분해 사시도Figure 2 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention

도 3은 본 발명의 사용 상태를 도시한 종단면도3 is a longitudinal sectional view showing a state of use of the present invention;

도 4는 본 발명의 사용 상태를 도시한 평면도4 is a plan view showing a state of use of the present invention

도 5는 본 발명의 일 실시 예를 도시한 사용 상태 단면도5 is a cross-sectional view illustrating a state of use of an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예를 도시한 평면도Figure 6 is a plan view showing another embodiment of the present invention

도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예를 도시한 분해 사시도Figure 7 is an exploded perspective view showing another embodiment of the present invention

도 8은 도 7의 평면도8 is a plan view of FIG.

*도면 중 주요 부호에 대한 설명** Description of the major symbols in the drawings *

10 : 베이스부재 20 : 중간 이동부재10: base member 20: intermediate moving member

30 : 시편 고정 이동부재 40 : 홀더 지지부재30: specimen fixed moving member 40: holder support member

50 : 위치 고정 볼트 60 : 시편 고정 볼트부재50: position fixing bolt 60: specimen fixing bolt member

Claims (9)

주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되는 베이스부재와;A base member mounted on the specimen holder stage of the scanning electron microscope; 상기 베이스부재의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하며 이동된 위치를 고정하는 제 1 고정구를 구비한 중간 이동부재와;An intermediate moving member having a first fastener configured to movably couple in the longitudinal direction of the base member and to fix the moved position; 상기 중간 이동부재의 양 측에서 각각 상기 베이스부재의 길이 방향으로 이동 가능하게 결합하며 이동된 위치를 고정하는 제 2 고정구를 구비한 시편 고정 이동부재를 포함한 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.Specimen holder device of the scanning microscope, characterized in that it comprises a specimen fixed moving member having a second fastener for fixing the moved position and coupled to each other in the longitudinal direction of the base member on both sides of the intermediate moving member. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 시편 고정 이동부재를 관통하여 체결되고, 단부가 상기 중간 이동부재를 향해 위치되는 시편 고정 볼트부재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.A specimen holder device of a scanning microscope, characterized in that it further comprises a specimen fixing bolt member which is fastened through the specimen fixing moving member and whose end portion is positioned toward the intermediate moving member. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 주사 전자 현미경의 시편 홀더 스테이지 상부에 장착되며, 시편 홀더 스테이지 상부로 돌설되며 상부면에 상기 베이스부재가 장착되는 홀더 지지부재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.And a holder support member mounted on an upper surface of the specimen holder stage of the scanning electron microscope and protruding above the specimen holder stage and on which the base member is mounted. 청구항 3에 있어서, The method of claim 3, 상기 홀더 지지부재의 저면에는 시편 홀더 스테이지에 형성된 핀 홈에 삽입되는 위치 가이드 핀부가 돌출된 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.Specimen holder device of the scanning microscope, characterized in that the bottom surface of the holder support member protrudes the position guide pin is inserted into the pin groove formed on the specimen holder stage. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 베이스부재의 양 측면에는 길이 방향을 따라 형성된 레일 홈이 형성되고, 상기 중간 이동부재의 하부 양 측 및 상기 시편 고정 이동부재의 하부 양측에 상기 레일 홈에 이동 가능하게 결합되는 레일 돌기가 구비되며, Rail grooves are formed on both side surfaces of the base member in a longitudinal direction, and rail protrusions are movably coupled to the rail grooves on both lower sides of the intermediate moving member and on both lower sides of the specimen fixed moving member. , 상기 레일 홈과 상기 레일 돌기는 서로 대응되는 쐐기 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.And the rail groove and the rail protrusion are formed in a wedge shape corresponding to each other. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 중간 이동부재 및 시편 고정 이동부재는 서로 마주보는 면이 각각 원호면으로 형성된 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.The intermediate moving member and the specimen fixed moving member is a specimen holder device of the scanning microscope, characterized in that the surfaces facing each other are formed in an arc surface. 청구항 6에 있어서, The method according to claim 6, 상기 시편 고정 이동부재는 탄성재로 제조되어 상기 원호면에 접촉되는 마운팅 시편이 직경에 따라 원호면이 탄성적으로 조절되는 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.The specimen fixed moving member is made of an elastic material specimen mounting device of the scanning microscope, characterized in that the mounting specimen in contact with the circular arc surface is elastically adjusted according to the diameter. 청구항 6에 있어서, The method according to claim 6, 상기 시편 고정 이동부재는 일 측에 힌지 구멍이 형성된 제 1 힌지부를 구비한 제 1 조우부와;The specimen fixing moving member includes: a first jaw portion having a first hinge portion having a hinge hole formed at one side thereof; 일 측에 힌지 구멍이 형성되며, 힌지 구멍이 일치되게 상기 제 1 힌지부에 겹쳐지는 제 2 힌지부를 구비한 제 2 조우부와;A second jaw portion having a hinge hole formed at one side and having a second hinge portion overlapping the first hinge portion so that the hinge holes coincide with each other; 상기 제 1 조우부의 힌지구멍과 제 2 조우부의 힌지 구멍 중 어느 한 힌지 구멍에 체결되는 위치 고정 볼트를 포함한 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.And a position fixing bolt fastened to any one of the hinge hole of the first jaw portion and the hinge hole of the second jaw portion. 청구항 2에 있어서, The method according to claim 2, 상기 시편 고정 볼트부재는 이격되게 구비되며, 서로 다른 방향의 나사산을 가지는 제 1 볼트와 제 2 볼트를 포함하고,The specimen fixing bolt members are spaced apart from each other, and include a first bolt and a second bolt having threads in different directions. 상기 제 1 볼트 및 제 2 볼트의 단부에는 기어 박스가 구비되며, 상기 기어 박스 내에는 상기 제 1 볼트의 일 단부에 장착된 제 1 기어부와, 상기 제 2 볼트의 일 단부에 장착되며, 상기 제 1 기어부와 이격된 제 2 기어부와, 상기 제 1 기어부 및 제 2 기어부의 사이에서 제 1 기어부 및 제 2 기어부에 각각 맞물린 상태로 회전하는 제 3 기어부가 구비된 것을 특징으로 하는 주사 현미경의 시편 홀더 장치.A gear box is provided at ends of the first bolt and the second bolt, and a first gear part mounted at one end of the first bolt, and mounted at one end of the second bolt in the gear box. And a second gear part spaced apart from the first gear part, and a third gear part rotating in engagement with the first gear part and the second gear part, respectively, between the first gear part and the second gear part. Specimen holder device of scanning microscope.
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