KR20100001631A - 마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크를 기판과 평행한 위치에 정확하면서도 효율적으로 배치할 수 있도록 구조가 개선된 마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마스크 밀착장치는 마스크의 상측에 배치되는 투명한 재질의 필름 및 상기 필름이 결합되는 프레임을 포함하는 마스크 커버와, 마스크와 필름 사이의 공간부와 연통되도록 마스크가 안착되는 스테이지 및 마스크 커버 중 적어도 하나에 형성되는 흡입구와 연결되며, 공간부에 음압을 형성하는 음압형성유닛과, 필름이 마스크에 흡착되도록, 흡입구로부터 공간부로 음압이 전달되는 음압전달경로를 형성하기 위한 음압전달수단을 포함한다.

마스크, 필름, 기판, 음압

Description

마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비{Apparatus for contacting mask and exposuring apparatus having the same}

본 발명은 마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포토리소그래피 공정에 사용되는 마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비에 관한 것이다.

포토리소그래피 공정에 사용되는 노광 장비의 종류는 크게 접촉형(Contact)과, 근접형(Proximate)으로 구분된다. 접촉형 노광 장비는 마스크가 기판에 직접 밀착된 상태에서 기판을 노광시키는 방식이며, 근접형 노광 장비는 마스크와 기판이 서로 이격된 상태에서 기판을 노광시키는 방식이다. 이러한 노광 장치를 사용하여 기판을 노광하는데 있어서, 기판 위에 정확한 회로를 형성하기 위해서는 마스크와 기판 사이의 위치관계가 매우 중요한데, 접촉형 노광 장비의 경우에는 마스크가 기판에 완전히 밀착되어야 하며, 근접형 노광 장비의 경우에는 마스크가 기판과 평행한 위치에 배치되어야 한다. 상기한 위치에 마스크를 위치시키기 위하여 노광 장비에는 마스크 밀착장치가 구비되어 있다.

도 1은 종래 근접형 노광 장비의 분리사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 마 스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 근접형 노광 장비(5)는 스테이지(1)와, 마스크 밀착장치(2)를 포함한다. 스테이지(1)는 기판(미도시)의 상측에 기판과 평행하게 배치된다. 스테이지(1)는 투명 재질로 이루어지며, 그 위에 마스크(m)가 안착된다. 스테이지(1)에는 진공펌프와 연결된 흡입구(1a)가 관통 형성되어 있다. 마스크 밀착장치(2)는 프레임(3)과, 프레임에 결합되며 투명 재질로 이루어지는 필름(4)을 포함한다.

상기한 바와 같이 구성된 근접형 노광 장비(5)에 있어서, 스테이지(1) 상측에 마스크(m)를 배치한다. 이후, 마스크 밀착장치(2)로 마스크를 덮고 진공펌프를 작동하여 마스크(m)와 필름(4) 사이의 공간에 음압이 인가하면, 필름(4)이 마스크(m) 쪽으로 흡착되면서 마스크를 가압하게 되고, 이에 따라 마스크(m)가 스테이지(1) 상면에 밀착되면서 마스크와 기판이 서로 평행하게 배치된다.

하지만, 종래 장치의 경우 음압 형성시 필름의 가장자리부, 즉 흡입구와 가까운 지점으로 먼저 음압이 인가됨에 따라서, 도 2에 확대되어 도시된 바와 같이 필름의 가장자리부가 스테이지에 먼저 흡착되는 현상이 발생하게 된다. 그리고, 이와 같이 필름(4)의 가장자리부가 스테이지(1)에 흡착되게 되면, 마스크와 필름 사이의 공간으로 음압이 잘 전달되지 않게 되어 필름이 마스크에 흡착되지 않게 되고, 이에 따라 마스크가 스테이지 상면에 밀착되지 않은 상태, 즉 기판에 대해 정확하게 평형을 이루지 못한 상태로 배치되게 된다. 이 상태에서 노광 공정을 진행하면, 마스크의 패턴과 상이한 형태의 회로가 기판에 형성되어서 기판의 품질이 불량해지는 문제점이 있다.

한편, 상기한 문제점은 접촉형 노광 장비에서도 동일하게 발생된다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 스테이지(6)의 상측에 기판(g) 및 마스크(m)가 순차적으로 배치된 상태에서 기판 및 마스크를 마스크 밀착장치로 덮고 음압을 인가하면, 필름(7)이 마스크(m) 쪽으로 흡착되면서 마스크를 가압하게 되고, 이에 따라 마스크(m)가 기판에 밀착되게 된다. 하지만, 종래의 경우 도 3에 확대되어 도시된 바와 같이 필름의 가장자리부가 스테이지에 먼저 흡착되고, 이에 따라 마스크와 필름 사이의 공간으로 음압이 잘 전달되지 않게 되어 필름이 마스크에 흡착되지 않게 되며, 그 결과 마스크가 기판에 밀착되지 않은 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 마스크를 기판과 평행한 위치에 정확하면서도 효율적으로 배치할 수 있도록 구조가 개선된 마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 노광 장비는 기판이 지지되는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지와 서로 이격되어 마주보게 배치되며, 투명재질로 이루어지며, 마스크가 안착되는 스테이지와, 마스크 밀착장치와, 상기 기판의 노광을 위한 광을 조사하는 광원을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 노광 장비는 기판 및 상기 기판의 상면에 안착되는 마스크가 지지되는 스테이지와, 마스크 밀착장치와, 상기 기판의 노광을 위한 광을 조사하는 광원을 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 마스크 밀착장치는 마스크의 상측에 배치되는 투명한 재질의 필름 및 상기 필름이 결합되는 프레임을 포함하는 마스크 커버와, 상기 마스크와 상기 필름 사이의 공간부와 연통되도록 상기 마스크가 안착되는 스테이지 및 상기 마스크 커버 중 적어도 하나에 형성되는 흡입구와 연결되며, 상기 공간부에 음압을 형성하는 음압형성유닛과, 상기 필름이 상기 마스크에 흡착되도록, 상기 흡입구로부터 상기 공간부로 상기 음압이 전달되는 음압전달경로를 형성하기 위한 음압전달수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기한 구성의 본 발명에 따르면, 필름과 마스크 사이의 공간으로 음압을 효율적으로 전달할 수 있으므로, 마스크를 기판에 밀착하거나 또는 마스크를 기판과 평행한 위치에 정확하게 고정할 수 있으며, 그 결과 마스크의 패턴과 기판에 형성되는 회로가 서로 상이하게 되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 하나의 장치로 다양한 크기의 마스크를 효율적으로 기판과 평행한 위치에 정확하게 고정할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장비의 개념도이며, 도 5는 도 4에 도시된 스테이지의 평면도이며, 도 6은 도 4에 도시된 마스크 커버 및 음압전달수단의 평면도이며, 도 7은 마스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 노광 장비는 근접형(Proximate) 노광 장비(100)이며, 기판 스테이지(10)와, 광원(20)과, 스테이지(40)와, 마스크 밀착장치를 포함한다.

기판 스테이지(10)는 판상으로 형성된다. 기판 스테이지(10)의 상면에는 감광제가 도포된 기판(g)이 안착 된다. 광원(20)은 기판(g)의 상측에 배치되며, 기판을 노광시키기 위한 광, 특히 본 실시예의 경우 자외선을 기판(g)으로 조사한다. 상기한 기판 스테이지(10) 및 광원(20)은 공지 구성인 바, 상세한 설명은 생략한다.

스테이지(40)는 직사각형의 판상으로 형성되며, 기판(g)의 상측에 배치된다. 스테이지(40)는 광이 투과될 수 있는 투명 재질로 이루어진다. 도 5에 도시된 바와 같이 마스크 스테이지의 각 모서리 부분에는 흡입구(41)가 형성되며, 4개의 흡입구(41)는 스테이지 내부에 형성된 유동 라인(42)을 통해 서로 연통된다.

마스크 밀착장치는 마스크(m)를 스테이지(40)에 밀착시킴으로써 마스크(m)를 기판(g)과 평행한 위치에 고정하기 위한 것이다. 본 실시예의 따른 마스크 밀착장치는 마스크 커버(50)와, 음압형성유닛과, 음압전달수단을 포함한다.

마스크 커버(50)는 프레임(51)과, 필름(52)을 포함한다. 프레임(51)은 직사각형의 고리 형상으로 형성되며, 스테이지(40)의 상측에 배치된다. 필름(52)은 프레임(51)에 결합되며, 마스크(m)의 상측에 배치된다. 필름(52)은 광원(20)에서 조사되는 광이 잘 투과되도록 투명한 재질로 이루어진다.

음압형성유닛은 스테이지(40)와 마스크 커버(50)에 의해 둘러싸인 공간에 음압을 형성하기 위한 것이다. 특히, 본 실시예에 따른 음압형성유닛은 진공펌프(미도시)를 포함한다. 진공펌프는 스테이지에 형성된 흡입구(41) 중 하나에 연결되며, 이 흡입구(41)를 통해 스테이지(40)와 마스크 커버(50)에 의해 둘러싸인 공간으로 음압을 인가한다.

음압전달수단은 진공펌프에 의해 인가되는 음압이 마스크와 필름 사이의 공간부로 전달되는 통로인 음압전달경로를 형성하기 위한 것이다. 특히, 본 실시예에 따른 음압전달수단은 음압전달경로 형성부재(60)를 포함한다. 음압전달경로 형성부재(60)는 스테이지(40)와 필름(52) 사이에 배치된다. 음압전달경로 형성부 재(60)는 마스크(m)에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 배치된다. 특히, 본 실시예의 경우 음압전달경로 형성부재(60)는, 도 6에 화살표(a)로 도시된 바와 같이 스테이지(40)에 직교하는 방향을 회전축으로 하여 회전 가능하게 배치되며, 그 회전시 필름(52)과 스테이지(40)를 서로 이격시킨다. 이러한, 음압전달경로 형성부재(60)는 복수로 구비되는 것이 바람직한데, 특히 본 실시예의 경우 흡입구(41)의 개수와 동일하게 4개 구비된다. 4개의 음압전달경로 형성부재(60)는 흡입구에 대응대는 위치, 즉 도 5에 도시된 바와 같이 프레임(51)의 각 모서리부에 결합되며, 각 음압전달경로 형성부재(60)의 회전 범위 내에 흡입구(41)가 위치된다.

그리고, 각 음압전달경로 형성부재(60)는 길이 방향으로 신장 가능하며, 그 내부에는 유동경로가 형성되어 있다. 상세하게 설명하면, 각 음압전달경로 형성부재(60)는 제1형성부재(61)와, 제2형성부재(62)를 포함한다. 제1형성부재(61)는 중공형으로 일방향으로 길게 형성되며, 프레임(51)의 모서리부에 회전 가능하게 결합된다. 제2형성부재(62)는 중공형으로 일방향으로 길게 형성되며, 제1형성부재(61)에 직선이동 가능하게 삽입된다. 제2형성부재(62)의 직선이동시, 도 6에 가상선으로 도시된 바와 같이 음압전달경로 형성부재(60)는 그 길이 방향으로 신장된다. 그리고, 중공형으로 형성된 제1형성부재(61) 및 제2형성부재(62)의 내부로 유동경로가 형성되며, 이 유동경로는 필름과 스테이지 사이의 공간부 및 흡입구(41)와 연통된다.

상기한 바와 같이 구성된 근접형 노광 장비(100)에 있어서, 스테이지(40)와 마스크 커버(50)에 의해 둘러싸인 공간으로 진공을 형성하면, 필름(52)이 스테이지(40) 쪽으로 흡착되게 된다. 이때, 도 7에 확대되어 도시된 바와 같이 필름의 가장자리부가 음압전달경로 형성부재(60)에 걸리게 된다. 따라서, 필름의 가장자리부와 스테이지(40)가 서로 이격되게 되고, 이 공간을 통해 흡입구(41)로부터 마스크와 필름 사이의 공간부로 음압이 효율적으로 전달되게 된다. 또한, 음압전달경로 형성부재(60)의 내부, 즉 유동경로를 통해서도 마스크와 필름 사이의 공간부로 음압이 전달되게 된다. 그리고 이때, 도 6에 화살표(a)로 도시된 바와 같이 음압전달경로 형성부재(60)를 회전시켜주면, 마스크와 필름 사이의 공간부로 보다 더 효율적으로 음압이 전달되게 된다.

상기한 바와 같이, 마스크와 필름 사이의 공간부로 음압이 효율적으로 전달되므로, 필름(52)이 마스크(m)에 잘 흡착되게 되고, 이에 따라 마스크(m)가 스테이지(40)의 상면에 완전히 밀착되게 되며, 그 결과 마스크(m)가 기판(g)과 평행한 상태로 고정되게 된다. 그리고, 이 상태에서의 노광 공정을 수행하면 마스크의 패턴과 동일한 형태로 기판이 노광 되며, 그 결과 기판에 형성된 회로의 품질이 우수하게 된다.

또한, 음압전달경로 형성부재(60)가 신장 가능하다. 따라서, 마스크(m)의 크기에 따라 그 길이를 적절하게 조절하면, 즉 마스크가 큰 경우에는 음압전달경로 형성부재(60)의 길이를 짧게 하고, 마스크가 작은 경우에는 그 길이를 길게 하면, 마스크와 필름 사이의 공간으로 음압을 효율적으로 전달할 수 있다. 따라서, 다양한 크기의 마스크를 고정하는데 본 실시예에 따른 마스크 밀착장치를 사용할 수 있 다.

한편, 앞선 실시예와 달리 음압전달경로 형성부재가 직선이동하도록 발명을 구성할 수도 있다. 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 커버 및 음압전달수단의 평면도이다. 도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 음압전달수단은 4개의 음압전달경로 형성부재(160)를 포함한다. 각 음압전달경로 형성부재(160)는 프레임(151)의 내측면에 각각 결합되며, 내측면을 따라 화살표(b) 방향으로 직선이동된다. 각 음압전달경로 형성부재(160)는, 앞선 실시예와 동일하게 그 길이 방향으로 신장 가능하며, 그 내부에는 유동경로가 형성되어 있다.

본 실시예의 경우, 음압이 인가된 상태에서 각 음압전달경로 형성부재(160)를 프레임의 내측면을 따라 직선이동시키면, 마스크(m)와 필름 사이의 공간부로 효율적으로 음압을 전달할 수 있다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 커버 및 음압전달수단의 평면도이며, 도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 선의 단면도이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 프레임(251)은 직사각형의 고리 형상으로 형성된다. 도 9를 기준으로 하여, 프레임의 좌측부 및 우측부에는 수용부(251a)가 형성되어 있으며, 프레임의 상측부 및 하측부에는 좌우 방향으로 길게 형성된 가이드 홈부(251b)가 형성되어 있다.

본 실시예에 따른 음압전달수단은, 이동부재(263)와, 블라인드 부재(261)를 포함한다. 이동부재(263)는 상하 방향으로 길게 형성되며, 프레임의 가이드 홈부(251b)에 끼워져 좌우 방향으로 이동가능하다. 블라인드 부재(261)는 복수 구비 된다. 복수의 블라인드 부재(261)는 와이어(262)에 의해 상호 연결되며, 또한 와이어(262)에 의해 이동부재(263)와 연결된다. 각 블라인드 부재(261)는 상하 방향으로 길게 형성된 판상으로 형성되며, 다공성 소재로 이루어진다. 각 블라인드 부재(261)는 이동부재(263)의 이동에 연계되어, 수용위치와 돌출위치 사이에서 이동가능하다. 여기서, 수용위치는 프레임의 수용부(251a)에 수용되는 위치, 즉 도 10에 가상선으로 도시된 위치이며, 돌출위치는 수용위치로부터 마스크(m)에 접근되는 방향으로 돌출된 위치, 즉 도 10에 실선으로 도시된 위치이다.

상기한 바와 같이 구성된 마스크 밀착장치에 있어서, 도 9에 도시된 바와 같이 이동부재(263)를 마스크 근처의 적절한 위치까지 이동시킨다. 이 상태에서 마스크 커버를 스테이지 상측에 배치한 후 음압을 인가하면, 필름의 가장자리부 즉, 프레임(251)과 이동부재(263) 사이에 배치된 필름(252)은 블라인드 부재(261)에 걸리게 된다. 따라서, 필름의 가장자리부와 스테이지가 서로 이격되게 되고, 그 결과 흡입구로부터 마스크와 필름 사이의 공간부로 효율적으로 음압이 전달되게 된다. 또한, 각 블라인드 부재(261)가 다공성 소재로 이루어지므로, 각 블라인드 부재(261)를 통해서도 마스크와 필름 사이의 공간부로 음압이 전달될 수 있으며, 그 결과 보다 더 효율적으로 음압을 전달할 수 있다.

또한, 마스크의 크기에 따라 블라인드 부재가 돌출되는 길이를 조절함으로써, 다양한 크기의 마스크를 효율적으로 고정할 수 있다.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 커버 및 음압전달수단의 단면도이다.

도 11을 참조하면, 프레임(351)은 앞서 설명한 실시예의 프레임(251)과 유사하게 형성된다. 즉, 프레임의 좌측부 및 우측부에는 수용부(351a)가 형성되어 있으며, 프레임의 상측부 및 하측부에는 좌우 방향으로 길게 형성된 가이드 홈부(351b)가 형성되어 있다. 그리고, 프레임의 수용부(351a)에는 회전가능한 회전축(351c)이 설치되어 있다.

본 실시예에 따른 음압전달수단은, 이동부재(363)와, 블라인드 부재(361)를 포함한다. 이동부재(363)는 상하 방향으로 길게 형성되며, 프레임의 가이드 홈부(351b)에 끼워져 좌우 방향으로 직선이동가능하다. 블라인드 부재(361)는 복수 구비된다. 복수의 블라인드 부재(361)는 와이어(362)에 의해 상호 연결되며, 또한 와이어(362)에 의해 이동부재(361)와 연결된다. 각 블라인드 부재(361)는 원형의 막대 형상으로 형성되며, 다공성 소재로 이루어진다. 각 블라인드 부재(361)는 이동부재(363)의 이동에 연계되어 수용위치와 돌출위치 사이에서 이동가능하다. 여기서, 수용위치는 블라인드 부재(361)가 와이어(362)와 함께 회전축(351c)에 감겨져 수용부(351a) 내에 배치되는 위치이며, 돌출위치는 이동부재(363)가 이동함에 따라 와이어 및 블라인드 부재가 회전축(351c)에서 풀려 수용부(351a) 외부로 돌출된 위치이다.

본 실시예에 따른 마스크 밀착장치의 작동원리 및 효과는 앞서 설명한 실시예와 유사하므로 생략한다.

한편, 상기한 구성의 마스크 밀착장치는 접촉형 노광 장비에도 사용될 수 있다. 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광 장비의 개념도이며, 도 13은 마 스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다.

도 12 및 도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 접촉형 노광 장비(400)는 스테이지(410)와, 광원(420)과, 마스크 밀착장치(430)를 포함한다.

스테이지(410)는 직사각형의 판상으로 형성된다. 스테이지(410)는 광이 투과될 수 있는 투명 재질로 이루어진다. 도 12에 도시된 바와 같이 마스크 스테이지의 각 모서리 부분에는 흡입구(441)가 형성되며, 4개의 흡입구(441)는 스테이지 내부에 형성된 유동 라인(442)을 통해 서로 연통된다. 스테이지(410)의 상측에는 기판(g)이 안착되어 지지되며, 이 기판 위에 마스크(m)가 안착된다.

광원(420)은 기판(g)의 상측에 배치되며, 기판을 노광시키기 위한 광, 특히 본 실시예의 경우 자외선을 기판(g)으로 조사한다.

마스크 밀착장치는 마스크(m)를 기판(g)에 밀착시키기 위한 것이다. 본 실시예의 따른 마스크 밀착장치는 마스크 커버(430)와, 음압형성유닛과, 음압전달수단을 포함하며, 앞서 도 6 및 도 7에서 설명했던 마스크 밀착장치와 그 구성 및 작동원리가 동일 내지 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.

상기한 바와 같이 구성된 접촉형 노광 장비(400)에 있어서, 스테이지(410)와 마스크 커버(430) 사이의 공간으로 음압 인가시 필름(431)의 가장자리가 음압전달경로 형성부재(440)에 걸리게 되어 스테이지(410)와 필름(431)이 서로 이격되게 된다. 따라서, 흡입구(441)로부터 필름(431)과 마스크(m) 사이의 공간부로 음압이 잘 전달되어서 필름(431)이 마스크(m)에 흡착되고, 그 결과 마스크(m)가 기판(g)에 밀착되게 된다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

예를 들어, 상술한 실시예에서는 흡입구가 마스크 스테이지에 관통 형성된 것으로 설명하였다. 하지만, 흡입구가 마스크 커버에 형성되도록 구성할 수도 있다. 예를 들어, 흡입구가 프레임의 측면, 보다 정확하게는 프레임의 하면과 필름 사이의 위치에 관통 형성되도록 구성할 수도 있다.

그리고, 상술한 실시예에서는 음압전달경로 형성부재가 4개 구비되도록 구성되어 있으나, 음압전달경로 형성부재가 1개 또는 2개 구비되도록 구성할 수도 있다.

또한, 상술한 실시예에서는 음압전달경로 형성부재가 신장 가능하도록 구성되어 있으나, 음압전달경로 형성부재의 길이가 일정하도록 구성할 수도 있다.

도 1은 종래 근접형 노광 장비의 분리사시도이다

도 2는 도 1에 도시된 마스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다.

도 3은 종래 밀착형 노광 장비에 구비된 마스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장비의 개념도이다.

도 5는 도 4에 도시된 스테이지의 평면도이다.

도 6은 도 4에 도시된 마스크 커버 및 음압전달수단의 평면도이다.

도 7은 마스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 커버 및 음압전달수단의 평면도이다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 커버 및 음압전달수단의 평면도이다.

도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ선의 단면도이다.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 커버 및 음압전달수단의 단면도이다.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광 장비의 개념도이다.

도 13은 도 12에 도시된 마스크 밀착장치의 작동원리를 설명하기 위한 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100...근접형 노광 장비 10...기판 스테이지

20...광원 40...스테이지

50...마스크 커버 51...프레임

52...필름 60...음압전달경로 형성부재

400...접촉형 노광 장비

Claims (14)

1. 마스크의 상측에 배치되는 투명한 재질의 필름 및 상기 필름이 결합되는 프레임을 포함하는 마스크 커버;

   상기 마스크와 상기 필름 사이의 공간부와 연통되도록 상기 마스크가 안착되는 스테이지 및 상기 마스크 커버 중 적어도 하나에 형성되는 흡입구와 연결되며, 상기 공간부에 음압을 형성하는 음압형성유닛; 및

   상기 필름이 상기 마스크에 흡착되도록, 상기 흡입구로부터 상기 공간부로 상기 음압이 전달되는 음압전달경로를 형성하기 위한 음압전달수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 음압전달수단은,

   상기 마스크에 접근 및 이격되는 방향으로 이동가능하도록 상기 스테이지와 상기 필름 사이에 배치되며, 상기 이동시 상기 필름과 상기 스테이지를 상호 이격시키는 음압전달경로 형성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 음압전달경로 형성부재는 일방향으로 길게 형성되며,

   상기 음압전달경로 형성부재의 일단부는 상기 프레임에 고정되며, 상기 음압 전달경로 형성부재의 타단부는 상기 스테이지에 직교하는 방향을 회전축으로 하여 회전 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 흡입구는 상기 스테이지에 관통 형성되며, 상기 음압전달경로 형성부재의 회전 범위 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
5. 제2항에 있어서,

   상기 음압전달경로 형성부재는 일방향으로 길게 형성되며, 상기 프레임에 직선이동 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 흡입구는 상기 스테이지에 관통 형성되며, 상기 음압전달경로 형성부재의 이동 범위 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
7. 제3항 또는 제5항에 있어서,

   상기 음압전달경로 형성부재는 그 길이방향으로 신장 가능한 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
8. 제3항 또는 제5항에 있어서,

   상기 음압전달경로 형성부재에는, 상기 흡입구로부터 상기 공간부로 음압이 전달되도록 상기 공간부와 상기 흡입구를 상호 연결되는 유동경로가 형성되어 있는 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
9. 제3항 또는 제5항에 있어서,

   상기 음압전달경로 형성부재는 복수 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
10. 제1항에 있어서,

    상기 음압전달수단은,

    각각이 상기 프레임에 수용되는 수용위치와, 상기 수용위치로부터 마스크에 접근되는 방향으로 돌출되는 돌출위치 사이에서 이동 가능하며, 상호 연결된 복수의 블라인드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 각 블라인드 부재는 판상 또는 원형의 막대 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치.
12. 제10항에 있어서,

    상기 각 블라인드 부재는 다공성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마 스크 밀착장치.
13. 기판이 지지되는 기판 스테이지;

    상기 기판 스테이지와 서로 이격되어 마주보게 배치되며, 투명재질로 이루어지며, 마스크가 안착되는 스테이지;

    제1항 내지 제6항 및 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 밀착장치; 및

    상기 기판의 노광을 위한 광을 조사하는 광원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장비.
14. 기판 및 상기 기판의 상면에 안착되는 마스크가 지지되는 스테이지;

    제1항 내지 제6항 및 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 밀착장치; 및

    상기 기판의 노광을 위한 광을 조사하는 광원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장비.

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