KR20090117574A - 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법 및 이에 의한 전극 - Google Patents
저온분사법을 이용한 전극의 제조방법 및 이에 의한 전극 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 부도체의 모재를 제공하는 단계;단일금속, 상기 단일금속으로 이루어진 합금의 금속원소, 둘 이상의 상기 단일금속의 혼합분말 또는 상기 합금의 분말로 이루어진 코팅용 분말을 준비하는 단계;전극 패턴이 형성된 마스크를 상기 모재 상에 배치하는 단계; 및상기 준비된 코팅용 분말을 저온분사법으로 상기 모재에 상기 마스크의 형상대로 코팅하여 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 저온분사법은상기 준비된 코팅용 분말을 코팅용 분사노즐에 주입하는 단계; 및상기 분사노즐 내에 흐르는 운반가스의 유동에 의해 상기 코팅용 분말을 비용융 상태로 300 내지 1,200 ㎧의 속도로 가속하여 상기 모재의 표면에 코팅용 분말을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅용 분말은 알루미늄, 구리, 철, 니켈, 크롬, 티타늄 및 은으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 단일금속이거나, 상기 단일금속으로 이루어진 합금인 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 모재는 세라믹 또는 플라스틱인 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 모재는 세라믹 기판이고 상기 전극은 구리인 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅하는 단계에서 모재를 가열하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅하는 단계 이후에 상기 코팅된 분말과 다른 금속분말을 저온분사법으로 코팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극의 제조방법.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 의해 제조되는 저온분사법을 이용한 전극.
- 제8항에 있어서, 상기 전극은 커패시터의 전극, 전자부품의 와이어 본딩의 패드 또는 솔더링의 범프인 것을 특징으로 하는 저온분사법을 이용한 전극.
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