KR20090116643A

KR20090116643A - Application apparatus

Info

Publication number: KR20090116643A
Application number: KR1020090039165A
Authority: KR
Inventors: 요시쿠니 다케이치; 다케히코 사이츠; 히로유키 기타자와; 사토루 니시야마; 마사아키 우라노
Original assignee: 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤; 가부시키가이샤 고무라테크
Priority date: 2008-05-07
Filing date: 2009-05-06
Publication date: 2009-11-11
Also published as: JP4922989B2; TWI351322B; CN101579667A; JP2009272143A; TW201006563A; KR101026274B1

Abstract

PURPOSE: An application apparatus is provided to improve uniformity of the transfer amount of coating solution coated on a substrate, thereby forming a thin film with high uniformity of film thickness. CONSTITUTION: An application apparatus(1) comprises a table for loading a substrate(P) on the upper side; a cylinder(11); a printing plate(12) which is installed by winding the outer circumference of the cylinder and with unevenness of dot shape for maintaining the coating solution on the convex patterns; a coating solution supply unit(20); and a relative movement unit of the table and the cylinder while rotating the cylinder around a shaft center.

Description

Application device {APPLICATION APPARATUS}

본 발명은, 도포 장치에 관한 것으로, 보다 특정적으로는, 스테이지 상에 재치한 기판에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus, and more particularly, to a coating apparatus for printing and applying a coating liquid to a substrate placed on a stage.

유기 EL 디바이스가 조명이나 디스플레이에 이용되는 움직임이 활발해지고 있다. 이들 유기 EL 디바이스를 제조할 때는, 기판에 대해서 비교적 큰 사이즈의 박막 상태로 유기 EL 재료, 정공(正孔) 운송 재료, 전자 운송 재료 등을 도포하거나, 적색, 녹색, 청색, 및 백색 발광 등의 유기 EL 재료를 미세한 스트라이프형상으로 나누어 도포하는 것이 필요하다. 이들 도포 작업을 반복하여 층을 겹침으로써, 유기 EL 디바이스의 발광층, 정공 운송층, 및 전자 운송층 등이 형성된다.The movement in which organic electroluminescent devices are used for illumination and a display is becoming active. When manufacturing these organic EL devices, an organic EL material, a hole transport material, an electron transport material, etc. are apply | coated to a board | substrate in a relatively large size thin film state, or red, green, blue, white light emission, etc. It is necessary to divide and apply an organic EL material into a fine stripe shape. By repeating these application | coating operations and laminating | stacking a layer, the light emitting layer, a hole transport layer, an electron carrying layer, etc. of an organic EL device are formed.

발광층의 재료로서 이용되는 유기 EL 재료로서, 도포에 의해 박막 형성되는 고분자 재료 및 저분자 재료가 있다(이하, 간단히 유기 EL 재료로 기재한다). 그리고, 각종 인쇄법이나 특수한 도포 방법을 이용하여, 유기 EL 재료의 박막을 기판상에 형성하는 제조 방법이 시도되고 있다. 일반적으로, 이러한 제조 방법에서는, 유기 EL 재료를 잉크화하기 위해서 주(主) 용매로서 방향족계의 용매가 사용된다.As the organic EL material used as the material of the light emitting layer, there are a high molecular material and a low molecular material that are thinly formed by coating (hereinafter, simply referred to as an organic EL material). And the manufacturing method which forms a thin film of organic electroluminescent material on a board | substrate using various printing methods and a special coating method is tried. Generally, in such a manufacturing method, an aromatic solvent is used as the main solvent in order to ink the organic EL material.

예를 들면, 잉킹(inking)에 아니록스 롤러(Anilox roller) 방식을 채용한 플 렉소판을 이용하여, 유기 EL 재료를 인쇄 도포하는 방식을 생각할 수 있다. 그러나, 아니록스 롤러 방식으로 플렉소판에 잉킹하는 경우, 인쇄 도포하는 유기 EL 재료의 시간 경과 변화가 크므로, 아니록스 롤러의 셀(오목부) 내에 건조한 유기 EL 재료가 잔류하는 경우가 있다. 이에 따라, 인쇄 도포하는 유기 EL 재료의 도포량이 불안정하게 되므로, 품질 저하로 연결된다. 이러한 유기 EL 재료의 잔류를 막기 위해서, 예를 들면 일본국 특허공개 2008-6705호 공보(이하, 특허 문헌 1로 기재한다)에 원주면이 평활한 평(平) 롤러를 이용하여 플렉소판에 잉킹하는 인쇄 장치가 개시되어 있다. 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치는, 판동(版胴)에 감겨 설치된 인쇄판을 이용하여 유기 EL 재료를 기판에 인쇄 도포하여, 유기 EL 재료의 박막을 형성하고 있다.For example, a method of printing and applying an organic EL material can be considered using a flexographic plate employing an Anilox roller method for inking. However, when inking to a flexoplate by the anilox roller system, since the time-lapse change of the organic EL material to apply printing is large, dry organic EL material may remain in the cell (concave part) of an anilox roller. As a result, the coating amount of the organic EL material to be applied for printing becomes unstable, leading to deterioration in quality. In order to prevent such organic EL material from remaining, for example, Japanese Patent Publication No. 2008-6705 (hereinafter referred to as Patent Document 1) uses a flat roller having a flat circumferential surface to inking a flexo plate. A printing apparatus is disclosed. The printing apparatus disclosed by the said patent document 1 is apply | coated and apply | coated an organic electroluminescent material to a board | substrate using the printing plate wound around the plate | board, and forms the thin film of organic electroluminescent material.

여기서, 유기 EL 재료의 박막에는, 발광 얼룩이나 전계 집중 등을 방지하기 위해서 막 두께의 균일성이 요구된다. 이러한 균일성을 향상시키기 위해서, 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치로 유기 EL 재료를 평활화·균일화하는 레벨링을 행하기 위해서는, 저점도(예를 들면, 수십 cP(센티포아즈) 이하)의 유기 EL 재료를 이용할 필요가 있다.Here, uniformity of the film thickness is required for the thin film of the organic EL material in order to prevent light emission spots, electric field concentration, and the like. In order to improve such uniformity, and to perform leveling to smooth and uniform the organic EL material with the printing device disclosed in the Patent Document 1, an organic EL having a low viscosity (for example, several tens of cP (centipoise) or less) It is necessary to use the material.

그러나, 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치로 유기 EL 재료를 인쇄 도포하는 경우, 평 롤러로부터 플렉소판 및 플렉소판으로부터 기판으로 각각 유기 EL 재료가 전사되는 공정이 2회 있다. 그리고, 상기 인쇄 장치에서는, 평 롤러로부터 플렉소판에 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 플렉소판의 후방일수록 유기 EL 재료의 유지량이 많아지는 경향이 있다. 또한, 상기 인쇄 장치에서는, 플렉소판으로 부터 기판에 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 인쇄 도포하는 기판의 후방일수록 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 경향이 있다. 이는, 저점도의 유기 EL 재료를 접촉 전사할 때, 당해 유기 EL 재료가 후방으로 밀리는 현상에 기인하는 것으로 생각된다. 이 때문에, 상기 인쇄 장치에서는, 기판에 인쇄 도포된 유기 EL 재료의 전사량에 불균일이 생기므로, 막 두께 균일성이 높은 박막 형성이 곤란해진다.However, in the case of printing and applying the organic EL material with the printing apparatus disclosed in the above Patent Document 1, there are two steps in which the organic EL material is transferred from the flat roller to the substrate from the flexographic plate and the flexographic plate, respectively. In the printing apparatus, in the step of transferring the organic EL material from the flat roller to the flexographic plate, the holding amount of the organic EL material tends to increase as the rear side of the flexographic plate. In addition, in the printing apparatus, in the step of transferring the organic EL material from the flexographic plate to the substrate, the transfer amount of the organic EL material tends to increase as the rear of the substrate to be printed coated. This is considered to be due to the phenomenon that the organic EL material is pushed backward when the organic EL material of low viscosity is subjected to contact transfer. For this reason, in the said printing apparatus, since the nonuniformity arises in the transfer amount of the organic electroluminescent material printed on the board | substrate, formation of the thin film with high film thickness uniformity becomes difficult.

그러므로, 본 발명의 목적은, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포할 때의 막 두께 균일성을 향상시키는 도포 장치를 제공하는 것이다.Therefore, it is an object of the present invention to provide a coating apparatus that improves the film thickness uniformity when printing coating a coating liquid containing an organic EL material.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 이하에 기술하는 것과 같은 특징을 가지고 있다.In order to achieve the said objective, this invention has the characteristics as described below.

제1의 국면은, 기판 상에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치이다. 도포 장치는, 재치대, 판동, 인쇄판, 도포액 공급부, 및 상대 이동 수단을 구비한다. 재치대는, 기판을 그 상면에 재치한다. 인쇄판은, 판동의 외주면에 감겨 설치되고, 그 표면에 인쇄 도포하는 패턴에 따른 볼록 형상의 패턴 및 당해 볼록 형상의 패턴 상면에 도포액을 유지하는 망점형상의 요철면이 형성된다. 도포액 공급부는, 인쇄판의 표면에 도포액을 공급한다. 상대 이동 수단은, 기판 상면과 인쇄판을 근접 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태에서, 축심을 중심으로 판동을 회전시키면서 재치대와 판동을 상대 이동시킨다. 요철면은, 상대 이동 수단이 기판 상면과 순차적으로 대향시키는 인쇄판의 인쇄 방향에 대해서, 도포액을 유지하는 유지량이 점감(漸減)하도록 형성된다.The first aspect is a coating apparatus for printing and coating a coating liquid containing an organic EL material on a substrate. The coating device includes a mounting table, a plate copper, a printing plate, a coating liquid supply unit, and a relative moving means. The mounting table mounts the substrate on the upper surface thereof. The printing plate is wound around the outer circumferential surface of the plate copper and provided with a convex pattern corresponding to the pattern to be printed and coated on the surface thereof, and a dot-shaped concave-convex surface for holding the coating liquid on the upper surface of the convex pattern. The coating liquid supply unit supplies the coating liquid to the surface of the printing plate. The relative movement means relatively moves the mounting table and the plate cylinder while rotating the plate cylinder about the shaft center in a state where the upper surface of the substrate and the printing plate are brought into close contact or abutment. The uneven surface is formed so that the holding amount holding the coating liquid decreases with respect to the printing direction of the printing plate which the relative moving means sequentially faces the upper surface of the substrate.

제2의 국면은, 상기 제 1의 국면에 있어서, 요철면은, 망점형상으로 배열된 복수의 볼록부 및 당해 볼록부 주변에 형성된 오목부를 가진다. 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킴으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 점감하 도록 형성된다.In the second aspect, in the first aspect, the uneven surface has a plurality of convex portions arranged in a dot shape and a concave portion formed around the convex portion. The uneven surface is formed so that the holding amount holding the coating liquid decreases by decreasing the size of the concave portion with respect to the printing direction.

제3의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 볼록부의 크기를 점증(漸增)시킴으로써, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킨다.In the third aspect, in the second aspect, the uneven surface gradually increases the size of the convex portion in the printing direction, thereby decreasing the size of the concave portion in the printing direction.

제4의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 볼록부의 배열 간격을 점차 짧게 함으로써, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킨다.In the fourth aspect, in the second aspect, the uneven surface gradually decreases the size of the concave portion in the printing direction by gradually shortening the arrangement interval of the convex portions with respect to the printing direction.

제5의 국면은, 상기 제 1 또는 제2의 국면에 있어서, 요철면은, 망점형상으로 배열된 복수의 볼록부 및 당해 볼록부 주변에 형성된 오목부를 가진다. 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 깊이를 점감시킴으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 점감하도록 형성된다.In the fifth aspect, in the first or second aspect, the uneven surface has a plurality of convex portions arranged in a dot shape and a concave portion formed around the convex portion. The uneven surface is formed so that the holding amount holding the coating liquid decreases by decreasing the depth of the concave portion with respect to the printing direction.

제6의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 선형적으로 점감시킴으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 선형적으로 점감하도록 형성된다.In the sixth aspect, in the second aspect, the uneven surface is formed such that the holding amount for holding the coating liquid decreases linearly by linearly decreasing the size of the concave portion with respect to the printing direction.

제7의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 단계적으로 점감시킨으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 단계적으로 점감하도록 형성된다.In the seventh aspect, in the second aspect, the uneven surface is formed such that the holding amount for holding the coating liquid gradually decreases by gradually decreasing the size of the concave portion with respect to the printing direction.

상기 제 1의 국면에 의하면, 기판 상면과 순차적으로 대향하는 인쇄판의 인쇄 방향에 대해서, 도포액을 유지하는 유지량이 점감하도록 형성된 요철면을 가지 는 인쇄판을 이용함으로써, 기판에 인쇄 도포된 도포액의 전사량의 균일성이 향상되므로, 막 두께 균일성이 높은 박막 형성이 가능해진다. 예를 들면, 인쇄 방향에 대해서 선두에서 후방으로 밀리는 도포액에 의해 감소하는 전사량을 보완하도록, 당해 후방에서 선두를 향해 볼록 형상의 패턴 상면에 있어서의 도포액의 유지량을 증가시킨다. 이 유지량의 증가에 의해, 감소하는 전사량과 상쇄할 수 있으므로, 인쇄 도포하는 후방일수록 도포액의 전사량이 많아지는 현상을 방지하는 것이 가능해진다.According to the first aspect, the printing liquid applied to the substrate is printed by using a printing plate having a concave-convex surface formed such that the holding amount holding the coating liquid decreases with respect to the printing direction of the printing plate sequentially facing the upper surface of the substrate. Since the uniformity of the transfer amount is improved, a thin film with high film thickness uniformity can be formed. For example, the holding amount of the coating liquid on the convex pattern upper surface from the rear toward the top is increased so as to compensate for the transfer amount reduced by the coating liquid pushed from the head to the rear in the printing direction. This increase in the holding amount can offset the decreasing transfer amount, so that the phenomenon of increasing the transfer amount of the coating liquid can be prevented as the back of the printing is applied.

상기 제 2의 국면에 의하면, 인쇄판에 도포액을 공급할 때, 주로 요철면의 오목부에 도포액이 유지되므로, 인쇄 방향에 대해서 오목부의 크기를 점감시킴으로써, 당해 인쇄 방향에 대해서 도포액을 유지하는 유지량을 용이하게 점감시킬 수 있다.According to the second aspect, when the coating liquid is supplied to the printing plate, the coating liquid is mainly retained in the concave portion of the uneven surface, so that the coating liquid is held in the printing direction by diminishing the size of the concave portion with respect to the printing direction. The holding amount can be easily decreased.

상기 제 3의 국면에 의하면, 인쇄 방향에 대한 요철면의 볼록부의 크기를 점증시킴으로써, 용이하게 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킬 수 있다.According to the third aspect, the size of the concave portion in the printing direction can be easily reduced by increasing the size of the convex portion of the uneven surface in the printing direction.

상기 제 4의 국면에 의하면, 인쇄 방향에 대한 요철면의 볼록부의 배열 피치를 점차적으로 조밀하게 함으로써, 용이하게 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킬 수 있다.According to the fourth aspect, by gradually densifying the arrangement pitch of the convex portions of the uneven surface with respect to the printing direction, the size of the concave portion with respect to the printing direction can be reduced easily.

상기 제 5의 국면에 의하면, 인쇄판에 도포액을 공급할 때, 주로 요철면의 오목부에 도포액이 유지되므로, 인쇄 방향에 대해서 오목부의 깊이를 점감시킴으로써, 당해 인쇄 방향에 대해서 도포액을 유지하는 유지량을 용이하게 점감시킬 수 있다.According to the fifth aspect, when the coating liquid is supplied to the printing plate, the coating liquid is mainly held in the recessed portion of the uneven surface, so that the coating liquid is held in the printing direction by diminishing the depth of the recessed portion in the printing direction. The holding amount can be easily decreased.

상기 제 6의 국면에 의하면, 인쇄 방향에 대해서 선두에서 후방으로 밀리는 도포액에 의해 선형적으로 감소하는 전사량을 보완하도록, 도포액의 유지량을 증가시킬 수 있다.According to the sixth aspect, the holding amount of the coating liquid can be increased so as to compensate the transfer amount linearly decreased by the coating liquid pushed from the front to the rear in the printing direction.

상기 제 7의 국면에 의하면, 인쇄판의 볼록 형상의 패턴 상면에 요철면을 형성하는 것이 용이해진다.According to the seventh aspect, it is easy to form the uneven surface on the convex pattern upper surface of the printing plate.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 국면, 효과는, 첨부 도면과 조합하여, 이하의 상세한 설명으로부터 한층 명백해질 것이다.These and other objects, features, aspects, and effects of the present invention will become more apparent from the following detailed description in combination with the accompanying drawings.

이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일실시 형태에 관한 도포 장치(1)에 대해서 설명한다. 설명을 구체적으로 하기 위해서, 도포 장치(1)가 유기 EL 재료, 정공 운송 재료, 및 전자 운송 재료 등을 도포액으로서 이용하는 유기 EL 디바이스를 제조하는 도포 장치에 적용된 예를 이용하여, 이하의 설명을 행한다. 도포 장치(1)는, 유기 EL 재료, 정공 운송 재료, 및 전자 운송 재료 등을, 스테이지 상에 재치된 피도포체(예를 들면, 유리 기판) 상에, 예를 들면 150mm각이나 300mm각의 박막상태로 인쇄 도포하여 유기 EL 디바이스를 제조하는 것이다. 또한, 도포 장치(1)는, 상술한 것처럼 유기 EL 재료, 정공 운송 재료, 및 전자 운송 재료 등의 복수의 도포액을 이용하는데, 이들 대표로서 발광층을 형성하는 유기 EL 재료로서 이용되는 고분자 재료(이하, 고분자 유기 EL 재료로 기재한다)를 도포액으로서 이용하는 예로서 설명한다. 또한, 도 1은, 도포 장치(1)의 주요부 개략 구성을 나타내는 사시도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 1, the coating device 1 which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated. In order to make description concretely, the following description is given using the example applied to the coating apparatus which manufactures the organic electroluminescent device which uses the organic electroluminescent material, a hole transport material, an electron carrying material, etc. as a coating liquid. Do it. The coating device 1 is formed of an organic EL material, a hole transport material, an electron transport material, or the like on a substrate (for example, a glass substrate) mounted on a stage, for example, 150 mm or 300 mm. The organic EL device is fabricated by printing in a thin film state. In addition, the coating device 1 uses a plurality of coating liquids such as an organic EL material, a hole transporting material, and an electron transporting material as described above, and includes a polymer material used as an organic EL material for forming a light emitting layer as a representative of these. Hereinafter, the polymer organic EL material will be described as an example of using as a coating liquid. 1 is a perspective view which shows schematic structure of the principal part of the coating device 1.

도 1에 있어서, 도포 장치(1)는, 대략적으로, 인쇄판(12)이 감겨 설치된 판동(11), 도포액 공급부(20), 기판 반송 기구(50), 및 승강 기구(60)를 구비하고 있다. 도 1에 있어서는, 도포액 공급부(20)의 구성으로서, 도포액 공급 롤러(21), 슬릿 노즐(22), 제1 모터(28), 및 제2 모터(29)가 도시되어 있다. 또한, 기판 반송 기구(50)는, 기대(51), 한쌍의 반송 가이드 부재(52), 반송 구동부(53), 및 반송 테이블(54)을 구비하고 있다. 또한, 승강 기구(60)는, 승강 테이블(61), 한쌍의 승강 가이드 부재(62), 승강 구동부(63), 및 지지 측판(64)을 구비하고 있다.In FIG. 1, the coating device 1 is provided with the board | plate 11 which the printing plate 12 was wound around, the coating liquid supply part 20, the board | substrate conveyance mechanism 50, and the lifting mechanism 60 substantially. have. In FIG. 1, the coating liquid supply roller 21, the slit nozzle 22, the 1st motor 28, and the 2nd motor 29 are shown as a structure of the coating liquid supply part 20. In FIG. Moreover, the board | substrate conveyance mechanism 50 is equipped with the base 51, a pair of conveyance guide member 52, the conveyance drive part 53, and the conveyance table 54. As shown in FIG. In addition, the elevating mechanism 60 includes an elevating table 61, a pair of elevating guide members 62, an elevating drive unit 63, and a supporting side plate 64.

한쌍의 반송 가이드 부재(52)는, 판동(11)의 축심에 대해서 수직인 수평 방향으로 연장 설치되어 기대(51)의 상면에 고정된다. 반송 구동부(53)는, 한쌍의 반송 가이드 부재(52)의 연장 설치 방향을 구동 방향으로 하는, 예를 들면 리니어 모터로 구성된다. 반송 테이블(54)은, 그 상면에 피도포체의 일례인 기판(P)을 재치한다. 그리고, 반송 테이블(54)은, 한쌍의 반송 가이드 부재(52) 및 반송 구동부(53)와 연결되어 있고, 반송 구동부(53)의 구동력을 받아, 판동(11)의 축심과 수직인 수평 방향으로, 기판(P)을 재치하여 왕복 이동한다.The pair of conveyance guide members 52 extend in the horizontal direction perpendicular to the axis of the plate cylinder 11 and are fixed to the upper surface of the base 51. The conveyance drive part 53 is comprised, for example with a linear motor which makes the extension installation direction of a pair of conveyance guide member 52 a drive direction. The conveyance table 54 places the board | substrate P which is an example of a to-be-coated object on the upper surface. And the conveyance table 54 is connected with the pair of conveyance guide member 52 and the conveyance drive part 53, receives the driving force of the conveyance drive part 53, and is in the horizontal direction perpendicular | vertical to the axis center of the plate | board 11 The substrate P is placed and reciprocated.

지지 측판(64)은, 승강 테이블(61)에 대해서 좌우 한쌍으로 구성되고, 각각 승강 테이블(61)에 고정 설치된다. 한편, 기대(51)에는, 각각 한쌍의 승강 가이드 부재(62)가 연직 방향으로 연장 설치된다. 승강 구동부(63)는, 승강 가이드 부재(62)의 연장 설치 방향을 구동 방향으로 하고, 예를 들면 당해 연장 설치 방향으로 설치된 볼 나사와 당해 볼 나사를 회전시키는 모터에 의해 구성된다. 승강 테이블(61)에는, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)가 탑재된다. 그리고, 승강 테이 블(61)에 고정 설치된 지지 측판(64)은, 이들 승강 가이드 부재(62)와 승강 구동부(63)로 연결되고, 승강 구동부(63)로부터의 구동력을 받아 승강 가이드 부재(62)를 따라 승강 가능해진다. 따라서, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)는, 승강 구동부(63)의 구동력을 받아 승강 테이블(61)과 함께 승강 가능해진다. 또한, 제1 모터(28) 및 제2 모터(29)는, 이들 구동에 따라, 슬릿 노즐(22)을 승강시킨다.The support side plate 64 is comprised by a pair of right and left with respect to the lifting table 61, and is fixedly attached to the lifting table 61, respectively. On the other hand, the base 51 is provided with a pair of lifting guide members 62 extending in the vertical direction, respectively. The lifting lowering drive unit 63 is constituted by a ball screw provided in the extension mounting direction and a motor for rotating the ball screw, for example, with the extension installation direction of the lifting guide member 62 as the driving direction. The plate 11 and the coating liquid supply part 20 are mounted on the lifting table 61. And the support side plate 64 fixedly attached to the elevating table 61 is connected with these elevating guide members 62 and the elevating drive part 63, and receives the driving force from the elevating drive part 63, and the elevating guide member 62 is carried out. It is possible to get up and down along). Therefore, the plate | board 11 and the coating liquid supply part 20 can be raised and lowered with the lifting table 61 in response to the driving force of the lifting drive part 63. FIG. Moreover, the 1st motor 28 and the 2nd motor 29 raise and lower the slit nozzle 22 according to these drives.

다음에, 도 2를 참조하여, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)의 기본적인 구성에 대해서 설명한다. 또한, 도 2는, 도포 장치(1)의 주요부를 나타내는 개요도이다.Next, with reference to FIG. 2, the basic structure of the plate | board 11 and the coating liquid supply part 20 is demonstrated. 2 is a schematic diagram which shows the principal part of the coating device 1. As shown in FIG.

도 2에 있어서, 판동(11)의 원주 외면에는 인쇄판(12)이 감겨져 고정되고, 그 축심이 수평 방향으로 배치된다. 인쇄판(12)의 표면에는, 기판(P)에 전사하는 도포액의 패턴(예를 들면, 150mm각의 평면)이 볼록 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로, 인쇄판(12)은, 베이스부(121) 및 패턴부(122)를 가지고 있다. 베이스부(121)는, 판동(11)의 원주 외면과 맞닿아 판동(11)에 지지된다. 패턴부(122)는, 판동(11)과 맞닿는 베이스부(121)의 외측에, 기판(P)에 전사하는 패턴 형상에 따른 볼록 형상으로 형성된다. 그리고, 패턴부(122)의 상면(즉, 볼록 형상 패턴의 상면)에는, 미세한 요철이 형성되어 있다. 예를 들면, 인쇄판(12)은, 플렉소판이고, 감광성 재료 등의 유연한 재료로 구성된다. 또한, 인쇄판(12)의 상세한 형상에 대해서는, 후술한다.In FIG. 2, the printing plate 12 is wound and fixed to the circumferential outer surface of the plate | board 11, and the axial center is arrange | positioned in the horizontal direction. On the surface of the printing plate 12, a pattern (for example, a 150 mm square plane) of the coating liquid transferred to the substrate P is formed in a convex shape. Specifically, the printing plate 12 has a base portion 121 and a pattern portion 122. The base portion 121 abuts against the circumferential outer surface of the plate 11 and is supported by the plate 11. The pattern part 122 is formed in the convex shape according to the pattern shape transferred to the board | substrate P on the outer side of the base part 121 which contact | connects the plate | board 11. And fine unevenness | corrugation is formed in the upper surface of the pattern part 122 (namely, upper surface of a convex pattern). For example, the printing plate 12 is a flexographic plate and is composed of a flexible material such as a photosensitive material. In addition, the detailed shape of the printing plate 12 is mentioned later.

판동(11)은, 인쇄판(12)을 원주 외면에 지지한 상태에서 축심을 중심으로 도시하는 화살표 A방향으로 회전 가능하게 설치되고, 도시하지 않은 회전 구동 기구 로부터의 구동력을 받아 소정의 회전 속도로 회전한다. 판동(11)의 하부 공간에는 반송 테이블(54)이 설치된다. 상술한 것처럼, 반송 테이블(54)의 상면에는 기판(P)이 재치되어 수평 이동 가능하게 구성되어 있고, 반송 구동부(53)로부터의 구동력을 받아 소정의 이동 속도로 수평 이동한다. 그리고, 반송 테이블(54)은, 판동(11)의 축심에 대해서 수직인 수평 방향인 도시하는 화살표 B방향으로 수평 이동함으로써, 판동(11)의 하부 공간을 통과한다. 이 때, 미리 반송 테이블(54)에 재치된 기판(P)과 판동(11)에 고정된 인쇄판(12)의 사이에 생기는 간극 또는 기판(P)에 대한 밀어넣음량이 소정의 범위 내가 되도록, 승강 테이블(61)(도 1 참조)의 위치가 조정된다.The plate 11 is rotatably installed in the direction of the arrow A shown centering on the shaft center in the state which supported the printing plate 12 on the outer peripheral surface, and receives the driving force from the rotation drive mechanism which is not shown at the predetermined rotational speed. Rotate The conveyance table 54 is installed in the lower space of the pan cylinder 11. As mentioned above, the board | substrate P is mounted on the upper surface of the conveyance table 54, and is comprised so that horizontal movement is possible, and it receives a driving force from the conveyance drive part 53, and moves horizontally at a predetermined movement speed. And the conveyance table 54 horizontally moves to the arrow B direction shown to be the horizontal direction perpendicular | vertical with respect to the axial center of the plate 11, and passes through the lower space of the plate 11. As shown in FIG. At this time, the lifting and lowering is carried out so that the clearance amount which arises between the board | substrate P mounted on the conveyance table 54 previously, and the printing plate 12 fixed to the plate | board 11 is in the predetermined range. The position of the table 61 (see FIG. 1) is adjusted.

도포 장치(1)의 제어부(도시하지 않음)는, 반송 구동부(53)를 제어함으로써 기판(P)을 재치한 반송 테이블(54)을 도시하는 화살표 B방향으로 수평 이동시켜 판동(11)의 하부 공간을 통과시킬 때, 상기 회전 구동 기구를 제어함으로써 반송 테이블(54)의 수평 이동 속도에 따라 상호 속도차가 생기지 않도록 도시하는 화살표 A방향으로 판동(11)을 회전시킨다. 이에 따라, 반송 테이블(54)에 재치된 기판(P)과 인쇄판(12)이 소정의 간극을 유지하여 대향하면서, 인쇄판(12)에 공급된 도포액(고분자 유기 EL 재료)이 기판(P)에 전사된다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 판동(11)을 도시하는 화살표 A방향으로 회전시켜 기판(P) 상에 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포할 때, 인쇄판(12)의 패턴부(122)와 기판(P)이 최초로 대향하는 부위를, 패턴부(122)의 인쇄 선단 위치(122s)로 한다. 또한, 인쇄판(12)의 패턴부(122)와 기판(P)이 최후로 대향하는 부위를, 패턴부(122)의 인쇄 후단 위 치(122e)로 한다.The control part (not shown) of the coating device 1 horizontally moves the conveyance table 54 which mounted the board | substrate P in the arrow B direction which shows the lower part of the plate 11 by controlling the conveyance drive part 53. When passing the space, the plate 11 is rotated in the direction of an arrow A so as not to cause a mutual speed difference in accordance with the horizontal movement speed of the conveyance table 54 by controlling the rotation drive mechanism. Thereby, the coating liquid (polymer organic EL material) supplied to the printing plate 12 is the substrate P while the substrate P placed on the conveying table 54 and the printing plate 12 face each other while maintaining a predetermined gap. Is transferred to. In the following description, when the polymer organic EL material is printed on the substrate P by rotating the plate 11 in the direction of arrow A, the pattern portion 122 of the printing plate 12 and the substrate ( The site | part which P) opposes for the first time is set to the printing tip position 122s of the pattern part 122. FIG. In addition, the part where the pattern part 122 and the board | substrate P of the printing plate 12 oppose last is made into the printing rear end position 122e of the pattern part 122. As shown in FIG.

도포액 공급 롤러(21)는, 그 축심이 판동(11)의 축심과 평행하게 배치된다. 예를 들면, 도포액 공급 롤러(21)는, 그 원주면이 평활한 평 롤러로 구성된다. 그리고, 도포액 공급 롤러(21)는, 그 원주면을 판동(11)에 감겨 설치된 인쇄판(12)에 맞닿게 하면서 서로 반대 방향(도시하는 화살표 C방향)으로 회전시킴으로써, 인쇄판(12)의 표면에 도포액(고분자 유기 EL 재료)을 공급한다.The coating liquid supply roller 21 has the shaft center parallel to the shaft center of the plate cylinder 11. For example, the coating liquid supply roller 21 is comprised with the flat roller whose circumferential surface was smooth. And the coating liquid supply roller 21 rotates the circumferential surface in the opposite direction (the arrow C direction shown in figure), making the circumferential surface abut the printing plate 12 wound around the plate 11, and the surface of the printing plate 12 The coating liquid (polymer organic EL material) is supplied to the substrate.

또한, 도포액 공급 롤러(21)는, 좌우 한쌍의 롤러 지지부에 의해 축 지지되어 있다. 또한, 판동(11)도, 좌우 한쌍의 판동 지지부에 의해 축 지지되어 있다. 그리고, 롤러 지지부는, 판동 지지부에 대해서 이접(離接) 가능한 구성으로 되어 있다.In addition, the coating liquid supply roller 21 is axially supported by a pair of left and right roller support parts. Further, the plate 11 is also axially supported by a pair of left and right plate plate support units. And the roller support part is a structure which can be contacted with a plate-plate support part.

도포액 공급부(20)는, 도 1에 도시한 구성 외에, 세정 기구(23) 및 공급원(24)을 구비한다. 공급원(24)은, 기판(P)에 인쇄 도포할 고분자 유기 EL 재료를 저류하고, 소정량의 고분자 유기 EL 재료를 슬릿 노즐(22)에 공급한다. 슬릿 노즐(22)은, 도포액 공급 롤러(21)의 축심 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(22)은, 공급원(24)으로부터 공급되는 고분자 유기 EL 재료를, 슬릿으로부터 도포액 공급 롤러(21)의 원주면 상에 소정의 유량으로 토출하고, 당해 원주면 상에 고분자 유기 EL 재료의 박막을 형성한다. 또한, 슬릿 노즐(22)의 슬릿으로부터 도포액 공급 롤러(21)의 원주면까지는 소정의 거리만큼 이간되어 있고, 그 거리가 제1 모터(28) 및 제2 모터(29)(도 1 참조)를 각각 구동함으로써 조정된다. 그리고, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후 의 도포액 공급 롤러(21)의 원주면은, 세정 기구(23)에 의해 세정된다. 또한, 세정 기구(23)의 구조예에 대해서는 후술한다. 또한, 고분자 유기 EL 재료를 기판(P)에 전사한 후의 인쇄판(12)의 표면도, 세정 기구(도시하지 않음)에 의해 세정해도 상관없다.The coating liquid supply part 20 is equipped with the washing | cleaning mechanism 23 and the supply source 24 in addition to the structure shown in FIG. The supply source 24 stores the polymer organic EL material to be printed and coated on the substrate P, and supplies a predetermined amount of the polymer organic EL material to the slit nozzle 22. The slit nozzle 22 has the slit which makes the axial direction of the coating liquid supply roller 21 the longitudinal direction. And the slit nozzle 22 discharges the high molecular organic EL material supplied from the supply source 24 from a slit at the predetermined flow volume on the circumferential surface of the coating liquid supply roller 21, and sets the high molecular organic on the circumferential surface. A thin film of EL material is formed. Further, the slit of the slit nozzle 22 is separated from the slit by the predetermined distance from the circumferential surface of the coating liquid supply roller 21, and the distance is the first motor 28 and the second motor 29 (see Fig. 1). It is adjusted by driving each. The circumferential surface of the coating liquid supply roller 21 after supplying the polymer organic EL material to the surface of the printing plate 12 is cleaned by the cleaning mechanism 23. In addition, the structural example of the washing | cleaning mechanism 23 is mentioned later. In addition, the surface of the printing plate 12 after transferring the polymer organic EL material to the substrate P may also be cleaned by a cleaning mechanism (not shown).

이와 같이, 도포 장치(1)에 있어서는, 슬릿 노즐(22)로부터 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 고분자 유기 EL 재료가 공급되고, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 고분자 유기 EL 재료의 박막이 형성된다. 그리고, 이 고분자 유기 EL 재료는, 인쇄판(12)에 형성된 볼록형상의 패턴으로 전사되어, 인쇄판(12) 상에 고분자 유기 EL 재료의 박막 패턴이 형성된다. 이 인쇄판(12) 상에 형성된 고분자 유기 EL 재료의 박막 패턴이, 기판(P) 상에 인쇄 도포된다. 예를 들면, 인쇄판(12)의 패턴부(122)로서 볼록 형상 평면 패턴을 형성함으로써, 기판(P) 상에 있어서 당해 평면 패턴에 따른 박막 상태에서 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포할 수 있다.In this manner, in the coating device 1, the polymer organic EL material is supplied from the slit nozzle 22 to the surface of the coating liquid supply roller 21, and the polymer organic EL material is supplied to the surface of the coating liquid supply roller 21. A thin film is formed. The polymer organic EL material is transferred to the convex pattern formed on the printing plate 12, and a thin film pattern of the polymer organic EL material is formed on the printing plate 12. The thin film pattern of the polymer organic EL material formed on the printing plate 12 is printed and coated on the substrate P. FIG. For example, by forming a convex planar pattern as the pattern portion 122 of the printing plate 12, the polymer organic EL material can be printed and coated on the substrate P in a thin film state corresponding to the planar pattern.

다음에, 도 3을 참조하여, 세정 기구(23)의 구성예에 대해서 설명한다. 또한, 도 3은, 세정 기구(23)의 일례를 나타내는 개요도이다.Next, with reference to FIG. 3, the structural example of the washing | cleaning mechanism 23 is demonstrated. 3 is a schematic diagram which shows an example of the washing | cleaning mechanism 23. FIG.

도 3에 있어서, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 고분자 유기 EL 재료가 잔존한 경우, 다시 그 위부터 고분자 유기 EL 재료가 슬릿 노즐(22)로부터 공급된다. 이 경우, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 막 두께가 증가하여 불균일하게 되고, 결과적으로 균일성이 떨어지는 고분자 유기 EL 재료가 기판(P)에 인쇄 도포되어 버린다. 이러한 고분자 유기 EL 재료의 불균일을 방지하기 위해서, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면은, 세정 기구(23)에 의해 세정된다. 세정 기구(23)는, 세정액 용기(231), 제1 블레이드(232), 제2 블레이드(233), 및 회수관로(234)를 구비하고 있다.In FIG. 3, when the polymer organic EL material remains on the surface of the coating liquid supply roller 21, the polymer organic EL material is supplied from the slit nozzle 22 again from above. In this case, the film thickness of the polymer organic EL material on the surface of the coating liquid supply roller 21 increases and becomes uneven, and as a result, a polymer organic EL material having a low uniformity is printed and applied to the substrate P. In order to prevent the nonuniformity of such a high molecular organic EL material, the surface of the coating liquid supply roller 21 after supplying the high molecular organic EL material to the surface of the printing plate 12 is cleaned by the cleaning mechanism 23. The cleaning mechanism 23 includes a cleaning liquid container 231, a first blade 232, a second blade 233, and a recovery line 234.

제1 블레이드(232)는, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 주요 고분자 유기 EL 재료를 긁어떨어트린다. 그리고, 회수관로(234)는, 제1 블레이드(232)에 의해 긁어떨어진 고분자 유기 EL 재료를 회수한다. 또한, 제1 블레이드(232)에 의해 고분자 유기 EL 재료를 긁어떨어트리기 전에, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 린스액(예를 들면, 고분자 유기 EL 재료의 용매)을 공급해도 상관없다. 이 경우, 제1 블레이드(232)는, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 주요 고분자 유기 EL 재료를 린스액과 함께 긁어떨어트리게 되어, 회수관로(234)가 제1 블레이드(232)에 의해 긁어떨어진 고분자 유기 EL 재료 및 린스액을 회수한다. 이와 같이 린스액을 공급함으로써, 잔존하는 고분자 유기 EL 재료의 고화(固化)를 방지할 수 있다.The 1st blade 232 scrapes off the main polymer organic EL material which remain | survives on the surface of the coating liquid supply roller 21 after supplying the polymer organic EL material to the surface of the printing plate 12. As shown in FIG. The recovery pipe 234 recovers the polymer organic EL material scraped off by the first blade 232. In addition, before the high molecular organic EL material is scraped off by the first blade 232, the surface of the coating liquid supply roller 21 after supplying the high molecular organic EL material to the surface of the printing plate 12 (eg For example, the solvent of a polymer organic EL material) may be supplied. In this case, the first blade 232 scrapes off the main polymer organic EL material remaining on the surface of the coating liquid supply roller 21 together with the rinse liquid, so that the recovery pipe line 234 opens the first blade 232. The high molecular organic EL material and the rinse liquid which were scraped off by) are recovered. By supplying the rinse liquid in this way, the solidification of the remaining polymer organic EL material can be prevented.

세정액 용기(231)는, 상면이 개방된 용기이고, 그 내부에 세정액(C)(예를 들면, 고분자 유기 EL 재료의 용매)을 저류한다. 그리고, 세정액 용기(231)는, 제1 블레이드(232)에 의해 주요 고분자 유기 EL 재료가 긁어떨어진 뒤가 되는 도포액 공급 롤러(21)의 표면의 일부(구체적으로는, 최하부 표면)를, 세정액(C) 내에 침지시킨다. 그리고, 제 2블레이드(233)는, 세정액(C)에 침지된 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 세정액(C)을 긁어떨어트린다.The cleaning liquid container 231 is a container in which an upper surface is opened, and stores the cleaning liquid C (for example, a solvent of a polymer organic EL material) therein. And the cleaning liquid container 231 washes a part (specifically, the bottom surface) of the surface of the coating liquid supply roller 21 after the main polymer organic EL material is scraped off by the first blade 232. C) is immersed in. And the 2nd blade 233 scrapes off the washing | cleaning liquid C which remain | survives on the surface of the coating liquid supply roller 21 after being immersed in the washing | cleaning liquid C.

다음에, 도 4∼도 9를 참조하여, 인쇄판(12)의 형상에 대해서 설명한다. 또한, 도 4는, 평면상태로 전개한 인쇄판(12)의 형상의 일례를 나타내는 측면도이다. 도 5는, 평면상태로 전개한 인쇄판(12)의 형상의 일례를 나타내는 상면도이다. 도 6은, 패턴부(122)의 표면에 형성된 망점 패턴(M)의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 7은, 도 6의 단면 AA를 B방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다. 도 8은, 도 6의 단면 CC를 D방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다. 도 9는, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 직경(Dm)을 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.Next, with reference to FIGS. 4-9, the shape of the printing plate 12 is demonstrated. 4 is a side view which shows an example of the shape of the printing plate 12 which developed in the planar state. 5 is a top view showing an example of the shape of the printing plate 12 deployed in a planar state. FIG. 6: is a top view which shows an example of the dot pattern M formed in the surface of the pattern part 122. FIG. FIG. 7: is sectional drawing of the halftone pattern M which saw the cross section AA of FIG. 6 from B direction. FIG. 8: is sectional drawing of the halftone pattern M which saw the cross section CC of FIG. 6 from the D direction. FIG. 9: is a figure which shows an example in which the specification of the halftone pattern M is changed by changing the halftone diameter Dm from the printing front end position 122s to the printing rear end position 122e.

도 4 및 도 5에 있어서, 인쇄판(12)은, 베이스부(121) 및 패턴부(122)를 가지고 있다. 또한, 도 4 및 도 5에 있어서는, 패턴부(122)의 인쇄 선단 위치(122s)를 좌측에 배치하고, 인쇄 후단 위치(122e)를 우측에 배치하고 있다. 따라서, 인쇄판(12)을 판동(11)에 감아 설치한 경우, 도 4 및 도 5에 도시하는 패턴부(122)의 상면 좌측부터 우측의 순으로 기판(P)과 대향해 간다(도시하는 인쇄 방향). 베이스부(121)는 그 하면이 판동(11)의 원주 외면과 맞닿아 판동(11)에 지지된다. 또한, 패턴부(122)는, 베이스부(121)의 상면에 대해서 볼록 형상으로, 기판(P)에 전사하는 패턴 형상에 따른 형으로 형성된다. 그리고, 패턴부(122)의 상면(즉, 기판(P)과 대향하는 면)에는, 미세한 요철 형상으로 된 망점 패턴(M)이 상면 전면에 형성되어 있다. 또한, 베이스부(121) 및 패턴부(122)는, 일체 성형되어 형성되어도 되고, 접착이나 기계적 접합을 이용하여 상호 접합하여 형성되어도 상관없다.4 and 5, the printing plate 12 has a base portion 121 and a pattern portion 122. In addition, in FIG.4 and FIG.5, the printing front end position 122s of the pattern part 122 is arrange | positioned at the left side, and the printing rear end position 122e is arrange | positioned at the right side. Therefore, when the printing plate 12 is wound around and installed in the plate | board 11, it opposes the board | substrate P in order from the upper left to the right of the upper surface of the pattern part 122 shown to FIG. 4 and FIG. 5 (printing shown) direction). The base portion 121 is supported by the plate 11 by the bottom surface thereof contacting the outer circumferential surface of the plate 11. Moreover, the pattern part 122 is formed in convex shape with respect to the upper surface of the base part 121, and is formed in the shape corresponding to the pattern shape to be transferred to the board | substrate P. As shown in FIG. And on the upper surface of the pattern part 122 (namely, the surface which opposes the board | substrate P), the dot pattern M which becomes a fine uneven | corrugated shape is formed in the upper surface whole surface. In addition, the base part 121 and the pattern part 122 may be integrally formed, and may be formed by mutually bonding using adhesion | attachment or mechanical joining.

도 5 및 도 6에 있어서, 망점 패턴(M)은, 미세한 볼록점(이하, 망점으로 기 재한다)이 소정의 간격으로 격자 형상으로 형성되어 있다. 즉, 패턴부(122)의 상면은, 평활한 면이 아니라 볼록 망점의 패턴에 의해 미세한 요철이 형성되어 있다. 예를 들면, 망점 패턴(M)은 감광성 재료를 망점 패턴에 따라 노광함으로써, 패턴부(122)의 상면에 미세 가공된다.5 and 6, the dot pattern M has fine convex points (hereinafter referred to as dots) formed in a lattice shape at predetermined intervals. That is, fine unevenness | corrugation is formed in the upper surface of the pattern part 122 not by the smooth surface but by the pattern of convex dot. For example, the dot pattern M is finely processed on the upper surface of the pattern portion 122 by exposing the photosensitive material according to the dot pattern.

도 7 및 도 8에 나타내는 바와같이, 볼록 형상의 망점은, 그 최정상부(Mt)에 직경(Dm)(이하, 망점 직경(Dm)으로 기재한다)의 원형 평면이 형성되어 있다. 그리고, 망점은, 상기 원형 평면을 최정상부로 하여 서서히 확대되면서 오목부(R)의 최고 깊이부를 향해 경사지는 형상(선단에 평면부가 형성된 원추형)으로 형성되어 있다. 즉, 망점의 주위에는, 오목부(R)가 형성되게 된다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 인접하는 망점의 간격을 망점 피치(Pm)로 한다. 구체적으로는, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와같이, 격자형상으로 나란히 형성된 망점에 있어서는, 격자에 대해 세로 또는 가로 방향으로 인접하는 망점이 가장 접근한 상태로 되고, 당해 방향에 인접하는 최정상부(Mt)의 중심간 피치를 망점 피치(Pm)로 한다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 오목부(R)의 가장 깊은 깊이를 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)로 한다. 구체적으로는, 도 6 및 도 8에 도시하는 바와같이, 격자 형상으로 나란히 형성된 망점에 있어서는, 격자에 대해서 경사 방향으로 인접하는 망점간의 중간 위치가 가장 깊은 오목부(R)로 된다. 따라서, 당해 중간 위치의 오목부(R)의 깊이가, 최고 깊이 릴리프 심도(深度)(Rd)로 된다.As shown in FIG. 7 and FIG. 8, the convex halftone has a circular plane having a diameter Dm (hereinafter referred to as a halftone diameter Dm) at its uppermost portion Mt. The dot is formed in a shape (conical shape having a flat portion at the tip) which is gradually inclined toward the highest depth portion of the recess R while gradually expanding the circular plane as the uppermost portion. That is, the recessed part R is formed around the dot. In addition, in the following description, the space | interval of adjoining halftone points is made into the halftone point pitch Pm. Specifically, as shown in FIG. 6 and FIG. 7, in the halftone dots formed side by side in a lattice shape, the halftone dots adjacent to the lattice in the longitudinal or transverse direction are most close to each other, and the uppermost portion adjacent to the direction is shown. The pitch between the centers of (Mt) is referred to as the halftone pitch Pm. In addition, in the following description, the deepest depth of the recessed part R is made into the highest depth relief depth Rd. Specifically, as shown in Figs. 6 and 8, in the halftone dots formed side by side in a lattice shape, the intermediate position between the halftone dots adjacent to the lattice in the oblique direction becomes the deepest concave portion R. As shown in Figs. Therefore, the depth of the recessed part R of the said intermediate position turns into the highest depth relief depth Rd.

본 실시 형태에 있어서는, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)이 점증적 으로 변화한다. 예를 들면, 도 5 및 도 9에 나타내는 바와같이, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)이 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지 선형으로 변화하도록, 망점 피치(Pm)를 일정하게 하여 형성된다.In this embodiment, in the halftone pattern M on the upper surface of the pattern portion 122, the halftone diameter Dm gradually changes from the print front end position 122s to the print rear end position 122e. For example, as shown in FIG. 5 and FIG. 9, the halftone pattern M on the upper surface of the pattern portion 122 has a halftone diameter Dm between the print front end position 122s and the print rear end position 122e. ) Is formed by making the dot pitch Pm constant so that the dot pattern varies linearly from the minimum dot diameter Dms to the maximum dot diameter Dml.

이와 같이 망점 피치(Pm)를 일정하게 하여 망점 직경(Dm)을 변화시킨 경우, 당해 변화에 따라 오목부(R)의 폭도 변화하므로, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)의 깊이도 변화한다. 구체적으로는, 도 9에 도시하는 바와같이, 망점 직경(Dm)이 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지 점증적으로 변화함에 따라, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)는 상대적으로 깊은 릴리프 심도(Rdd)로부터 상대적으로 얕은 릴리프 심도(Rds)까지 점감적으로 변화한다. 따라서, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)가 릴리프 심도(Rdd)로부터 릴리프 심도(Rds)(Rdd＞Rds)까지 선형으로 변화한다.When the halftone diameter Pm is made constant by changing the halftone diameter Pm in this manner, the width of the recess R also changes in accordance with the change, so that the depth of the highest depth relief depth Rd also changes. Specifically, as shown in FIG. 9, as the dot diameter Dm gradually changes from the minimum dot diameter Dms to the maximum dot diameter Dml, the highest depth relief depth Rd is relatively deep. Gradually vary from the relief depth Rdd to the relatively shallow relief depth Rds. Therefore, the halftone pattern M of the upper surface of the pattern portion 122 has the highest depth relief depth Rd from the relief depth Rdd to the relief depth between the print leading end position 122s and the printing rear end position 122e. It changes linearly to (Rds) (Rdd> Rds).

이와 같이, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)에 걸쳐 변화시킴으로써, 패턴부(122) 상면에서 유지하는 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시킬 수 있다. 구체적으로는, 도포액 공급 롤러(21)가 인쇄판(12)의 표면에 고분자 유기 EL 재료를 공급한 경우, 망점 패턴(M)의 오목부(R)나 최정상부(Mt)에서 고분자 유기 EL 재료가 유지된다. 전형적으로는, 적어도 망점 패턴(M)의 오목부(R)에 의해 고분자 유기 EL 재료가 유지되게 되므로, 망점 주위에 형성된 오목부(R)의 용적이 크면, 당해 오목부(R)에서 유지하는 고분자 유기 EL 재료의 유지량도 많아진다. 그리고, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)가 점감적으로 변화한다. 따라서, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량이 적어진다.In this way, the polymer organic material held on the upper surface of the pattern portion 122 is changed by changing the specification of the halftone pattern M formed on the upper surface of the pattern portion 122 from the printing front end position 122s to the rear end position 122e. The holding amount of the EL material can be changed. Specifically, when the coating liquid supply roller 21 supplies the polymer organic EL material to the surface of the printing plate 12, the polymer organic EL material is formed at the recess R or the top Mt of the dot pattern M. Is maintained. Typically, the polymer organic EL material is held by at least the recess R of the halftone pattern M, so that if the volume of the recess R formed around the halftone is large, the recess R is retained. The holding amount of the polymer organic EL material also increases. And the highest depth relief depth Rd changes gradually from the printing front end position 122s of the upper surface of the pattern part 122 to the printing rear end position 122e. Therefore, the holding amount of the polymer organic EL material decreases gradually from the printing front end position 122s on the upper surface of the pattern portion 122 toward the printing rear end position 122e.

한편, 도포 장치(1)는, 고분자 유기 EL 재료를 접촉 전사할 때에, 당해 고분자 유기 EL 재료가 후방으로 밀리는 현상이 생긴다. 일례로서, 도포 장치(1)에서는, 도포액 공급 롤러(21)로부터 인쇄판(12)에 고분자 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 인쇄판(12)의 후방(즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 후단 위치(122e)측)일수록 고분자 유기 EL 재료의 유지량이 많아지는 경향이 있다. 다른 예로서, 도포 장치(1)에서는, 인쇄판(12)으로부터 기판(P)에 고분자 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 인쇄 도포하는 기판(P)의 후방(즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 후단 위치(122e)측)일수록 고분자 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 경향이 있다.On the other hand, when the coating device 1 carries out contact transfer of the polymer organic EL material, the phenomenon that the polymer organic EL material is pushed backward occurs. As an example, in the coating device 1, in the step of transferring the polymer organic EL material from the coating liquid supply roller 21 to the printing plate 12, printing of the rear surface of the printing plate 12 (that is, the upper surface of the pattern portion 122) is performed. The amount of the holding amount of the polymer organic EL material tends to increase as the rear end position 122e side). As another example, in the coating device 1, in the step of transferring the polymer organic EL material from the printing plate 12 to the substrate P, the back surface of the substrate P to be printed and coated (that is, the upper surface of the pattern portion 122). There exists a tendency for the transfer amount of a polymer organic EL material to increase as it prints back end position (122e side).

그러나, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)에 걸쳐 변화시킴으로써, 이러한 경향과 상쇄할 수 있다. 예를 들면, 상술한 현상에 의해 인쇄의 선두에서 후방으로 밀리는 고분자 유기 EL 재료에 의해 감소하는 전사량을 보완하도록, 당해 후방에서 선두를 향해 패턴부(122)의 상면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 증가시킨다. 즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 적게 함으로써, 인쇄 도포하는 후 방일수록 고분자 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 현상을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 기판(P)에 인쇄 도포된 고분자 유기 EL 재료의 전사량의 균일성이 향상되므로, 막 두께 균일성이 높은 박막 형성이 가능해진다. 또한, 패턴부(122) 상면의 단부에 대해서는, 그 안쪽의 상면에 형성되어 있는 망점 직경(Dm)보다 상대적으로 큰 망점 직경(Dm)으로 망점을 형성해도 상관없다.However, by changing the specification of the halftone pattern M formed on the upper surface of the pattern portion 122 from the print front end position 122s to the print rear end position 122e, this tendency can be counteracted. For example, the polymer organic EL material on the upper surface of the pattern portion 122 from the rear toward the head so as to compensate for the amount of transfer reduced by the polymer organic EL material pushed backward from the head of printing by the above-described phenomenon. To increase the retention. That is, by gradually reducing the holding amount of the polymer organic EL material from the printing front end position 122s on the upper surface of the pattern portion 122 toward the printing rear end position 122e, the more the room after the polymer coating is applied, It becomes possible to prevent the phenomenon that the transfer amount increases. Therefore, since the uniformity of the transfer amount of the polymeric organic EL material printed and coated on the substrate P is improved, a thin film with high film thickness uniformity can be formed. Moreover, about the edge part of the upper surface of the pattern part 122, you may form a halftone point with the halftone diameter Dm larger than the halftone diameter Dm formed in the upper surface inside.

여기서, 기판(P) 상에 150mm각의 박막 상태로 고분자 유기 EL 재료를 도포 장치(1)로 인쇄 도포하는 경우를 생각한다. 그리고, 패턴부(122) 상면에, 망점 피치 Pm＝85㎛(마이크로미터)로 일정(스크린선(線) 수 300lpi), 망점 직경 Dm＝66㎛로 일정, 최고 깊이 릴리프 심도 Rd＝20㎛로 일정하게 망점 패턴(M)을 형성한다. 이 조건으로 작성된 인쇄판(12)을 이용하여 기판(P)에 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포한 경우, 인쇄 도포 선두 부위의 평균 막 두께가 약 60nm(나노미터), 인쇄 도포 중앙 부위의 평균 막 두께가 약 80nm, 인쇄 도포 후단 부위의 평균 막 두께가 약 100nm으로 되었다. 즉, 인쇄 도포하는 기판(P)의 후방(즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 후단 위치(122e)측)일수록, 고분자 유기 EL 재료의 막 두께가 두꺼워지는 경향이 되었다.Here, the case where printing and apply | coating a high molecular organic EL material with the coating device 1 on the board | substrate P in the form of a thin film of 150 mm angle is considered. Then, on the upper surface of the pattern portion 122, the dot pitch Pm = 85 μm (micrometer) is constant (the number of screen lines is 300 lpi), the dot diameter Dm is 66 μm, and the maximum depth relief depth Rd is 20 μm. The dot pattern M is constantly formed. When the polymer organic EL material is printed and applied to the substrate P using the printing plate 12 prepared under these conditions, the average film thickness of the print coating head portion is about 60 nm (nanometer) and the average film thickness of the print coating center portion. Was about 80 nm, and the average film thickness of the post-printed end portion was about 100 nm. In other words, the film thickness of the polymer organic EL material tends to be thicker at the rear of the substrate P to be applied for printing (i.e., at the rear end position 122e of the upper surface of the pattern portion 122).

한편, 패턴부(122) 상면에, 망점 피치 Pm＝85㎛로 일정(스크린선 수 300lpi), 망점 직경(Dm)을 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)로 66㎛에서 80㎛까지 선형 변화, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)를 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)로 20㎛에서 12㎛까지 선형 변화시킨 망점 패턴(M)을 형성한다. 이 조건으로 작성된 인쇄판(12)을 이용하여 기판(P)에 고분자 유기 EL재 료를 인쇄 도포한 경우, 인쇄 도포 선두 부위의 평균 막 두께가 약 60nm, 인쇄 도포 중앙 부위의 평균 막 두께가 약 60nm, 인쇄 도포 후단 부위의 평균 막 두께가 약 60nm으로 되었다. 즉, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)에 걸쳐 변화시킴으로써, 인쇄 도포하는 기판(P)의 전면에 대해서, 균일한 막 두께로 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포할 수 있다.On the other hand, on the upper surface of the pattern portion 122, the dot pitch Pm = 85 μm, constant (the number of screen lines 300 lpi), and the dot diameter Dm from the print tip position 122s to the print back position 122e from 66 μm to 80 μm. A halftone pattern M is formed by linearly changing the maximum depth relief depth Rd from the print front end position 122s to the print rear end position 122e from 20 µm to 12 µm. When the polymer organic EL material was printed and applied to the substrate P using the printing plate 12 prepared under these conditions, the average film thickness of the print coating head portion was about 60 nm, and the average film thickness of the print coating center portion was about 60 nm. The average film thickness of the rear end portion of the printing application was about 60 nm. That is, by changing the specification of the halftone pattern M formed in the upper surface of the pattern part 122 from the print front end position 122s to the print rear end position 122e, the front surface of the board | substrate P to apply | coat a printing, The polymer organic EL material can be printed and applied with a uniform film thickness.

또한, 상술한 설명에서는, 망점 피치(Pm)를 일정하게 하여 망점 직경(Dm)을 변화시킴으로써, 패턴부(122) 상면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시켰는데, 다른 망점 사양을 변화시켜 유지량을 변화시켜도 상관없다. 예를 들면, 망점 직경(Dm)을 일정하게 하여 망점 피치(Pm)를 변화시킴으로써, 패턴부(122) 상면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시켜도 상관없다.In addition, in the above description, the amount of retention of the polymer organic EL material on the upper surface of the pattern portion 122 was changed by changing the dot diameter Dm by keeping the dot pitch Pm constant. You may change it and change a maintenance amount. For example, by changing the dot pitch Pm by making the dot diameter Dm constant, the holding amount of the polymer organic EL material on the upper surface of the pattern portion 122 may be changed.

도 10은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 피치(Pm)를 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다. 도 10에 있어서, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 피치(Pm)가 점감적으로 변화한다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 바와같이, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 피치(Pm)가 최대 망점 피치(Pm1)로부터 최소 망점 피치(Pms)까지 선형으로 변화하도록, 망점 직경(Dm)이 일정하게 형성된다.FIG. 10: is a figure which shows an example in which the specification of the halftone pattern M is changed by changing the halftone pitch Pm from the printing front end position 122s to the printing rear end position 122e. In FIG. 10, in the halftone pattern M on the upper surface of the pattern portion 122, the halftone pitch Pm gradually changes from the print front end position 122s to the print back end position 122e. For example, as shown in FIG. 10, as for the halftone pattern M of the upper surface of the pattern part 122, the halftone pitch Pm is the largest between the printing front end position 122s and the printing rear end position 122e. The dot diameter Dm is formed constant so that it changes linearly from the dot pitch Pm1 to the minimum dot pitch Pms.

이와 같이 망점 직경(Dm)을 일정하게 하여 망점 피치(Pm)를 변화시킨 경우, 당해 변화에 따라 오목부(R)의 폭도 변화하므로, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)의 깊이도 변화한다. 구체적으로는, 도 10에 도시하는 바와같이, 망점 피치(Pm)가 최대 망점 피치(Pml)로부터 최소 망점 피치(Pms)까지 점감적으로 변화함에 따라, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)는 상대적으로 깊은 릴리프 심도(Rdd)로부터 상대적으로 얕은 릴리프 심도(Rds)까지 점감적으로 변화한다. 따라서, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 도 9와 마찬가지로, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)가 릴리프 심도(Rdd)로부터 릴리프 심도(Rds)(Rdd＞Rds)까지 선형으로 변화한다. 이와 같이 망점 피치(Pm)를 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시켜도, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 적게할 수 있다. 또한, 패턴부(122) 상면의 단부(端部)에 대해서는, 그 안쪽의 상면에 형성되어 있는 망점 피치(Pm)보다 상대적으로 짧은 망점 피치(Pm)로 망점을 형성해도 상관없다.When the dot pitch Pm is changed by making the dot diameter Dm constant as described above, the width of the concave portion R also changes according to the change, so that the depth of the maximum depth relief depth Rd also changes. Specifically, as shown in FIG. 10, as the dot pitch Pm gradually changes from the maximum dot pitch Pml to the minimum dot pitch Pms, the maximum depth relief depth Rd is relatively deep. Gradually vary from the relief depth Rdd to the relatively shallow relief depth Rds. Therefore, in the halftone pattern M on the upper surface of the pattern portion 122, as in FIG. 9, the maximum depth relief depth Rd is the relief depth (from the print front end position 122s to the print rear end position 122e). It changes linearly from Rdd) to relief depth Rds (Rdd> Rds). In this way, even when the specification of the dot pattern M is changed by changing the dot pitch Pm, the polymer organic EL is gradually increased from the print leading position 122s on the upper surface of the pattern portion 122 toward the printing rear end position 122e. The holding amount of material can be reduced. In addition, about the edge part of the upper surface of the pattern part 122, you may form a halftone point by the halftone pitch Pm relatively shorter than the halftone pitch Pm formed in the inner upper surface.

또한, 상술한 망점 직경(Dm)의 변화에 망점 피치(Pm)의 변화를 추가하여, 망점 패턴(M)의 사양을 변화시켜도 상관없다. 구체적으로는, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)을 점증적으로 변화시키면서, 망점 피치(Pm)도 점감적으로 변화시킨다. 이와 같이, 망점 직경(Dm) 및 망점 피치(Pm)를 모두, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서 변화시켜도, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)를 점감적으로 변화시킬 수 있으므로, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향 해, 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 적게할 수 있다.Moreover, you may change the specification of the halftone pattern M by adding the change of the halftone pitch Pm to the change of the halftone diameter Dm mentioned above. Specifically, the dot pitch Pm is gradually changed while the dot diameter Dm is gradually changed from the print tip position 122s to the print back end position 122e. Thus, even if both the dot diameter Dm and the dot pitch Pm are changed between the print front end position 122s and the print rear end position 122e, the maximum depth relief depth Rd may be changed gradually. Therefore, the amount of holding of the polymer organic EL material can be reduced gradually from the printing front end position 122s on the upper surface of the pattern portion 122 toward the rear end position 122e.

또한, 상술한 설명에서는, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 선형으로 변화시킴으로써 형성되어 있는데, 다른 변화에 의해 망점 패턴(M)을 형성해도 상관없다.In addition, in the above-mentioned description, the halftone pattern M of the upper surface of the pattern part 122 is a halftone diameter Dm and / or a halftone pitch (between the printing front end position 122s and the printing rear end position 122e). Although it forms by changing Pm) linearly, you may form the dot pattern M by another change.

제1의 예로서 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 단계적으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다. 예를 들면, 도 11에 도시하는 바와같이, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)을 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지 단계적(5 단계)으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다. 이에 따라, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)는, 상대적으로 깊은 릴리프 심도(Rdd)로부터 상대적으로 얕은 릴리프 심도(Rds)까지 단계적(5단계)으로 변화한다. 즉, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을 단계적으로 변화시킨 경우, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 고분자 유기 EL 재료의 유지량이 단계적으로 적어진다. 이와 같이, 단계적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시켰다고 해도, 인쇄 도포하는 후방일수록 고분자 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 현상을 방지하는 것이 가능해진다.As a first example, the halftone diameter Dm and / or the halftone pitch Pm are changed stepwise from the print leading end position 122s to the printing rear end position 122e to form a dot pattern M. . For example, as shown in FIG. 11, the halftone diameter Dm is changed from the minimum halftone diameter Dms to the maximum halftone diameter Dml between the printing front end position 122s and the printing rear end position 122e. By changing in steps (step 5), a dot pattern M is formed. Accordingly, the highest depth relief depth Rd varies in stages (step 5) from the relatively deep relief depth Rdd to the relatively shallow relief depth Rds. That is, when the specification of the halftone pattern M formed in the upper surface of the pattern part 122 is changed step by step, the polymer organic solvent is directed from the printing front end position 122s of the upper surface of the pattern part 122 toward the rear end position 122e of the printing. The holding amount of the EL material decreases step by step. As described above, even if the holding amount of the polymer organic EL material is changed step by step, it becomes possible to prevent the phenomenon that the transfer amount of the polymer organic EL material increases as the back of the printing coating is applied.

제2의 예로서, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 비선형으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다. 예를 들면, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e) 까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)을 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지, 2차나 3차 등의 비선형으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다.As a second example, between the print front end position 122s and the print rear end position 122e, the halftone diameter Dm and / or the halftone pitch Pm are changed nonlinearly to form the halftone pattern M. do. For example, between the print leading end position 122s and the printing trailing end position 122e, the dot diameter Dm is a non-linear, secondary, tertiary, etc. from the minimum dot diameter Dms to the maximum dot diameter Dml. The dot pattern M is formed.

또한, 상술한 각 설정치나 관계식은, 단순한 일례에 지나지 않고, 다른 설정치나 관계식이어도, 본 발명을 실현할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 예를 들면, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 변화시키는 관계식이나 최소치/최대치의 설정은, 도포액의 성질(재질, 용매, 점도 등), 인쇄 도포량(도포 유량, 목표 막두께, 인쇄 도포 면적 등), 인쇄 도포 속도, 전사 조건(도포액 공급 롤러(21), 인쇄판(12), 및 기판(P)의 전사 간격, 가압력, 각각의 재질, 형상 등), 도포 환경(온도, 습도 등) 등에 따라, 적절히 설정하면 좋다.It is needless to say that each of the above-described setting values and relational expressions is merely an example, and even if other setting values or relational expressions are realized, the present invention can be realized. For example, the relationship of changing the dot diameter Dm and / or dot pitch Pm and the setting of the minimum value / maximum value may be determined by the properties of the coating liquid (material, solvent, viscosity, etc.) and the printing application amount (coating flow rate, target film). Thickness, printing coating area, etc., printing coating speed, transfer conditions (coating liquid supply roller 21, printing plate 12, and transfer intervals, pressing force, respective materials, shapes, etc. of the substrate P), coating environment ( Temperature, humidity, etc.) may be appropriately set.

또한, 상술한 설명에서는, 망점을 정방 격자 형상으로 배열함으로써 망점 패턴(M)을 형성했는데, 망점을 다른 배열 패턴으로 배열해도 상관없다. 예를 들면, 1배열 라인마다, 망점의 배치 위치가 망점 피치(Pm)의 1/2만큼 당해 배열 방향으로 어긋난, 이른바 허니캠(honey cam) 배열로 망점을 배열하여 망점 패턴(M)을 형성해도 된다.In addition, in the above description, although the netting pattern M was formed by arranging the netting in a square lattice shape, the netting may be arranged in another arrangement pattern. For example, the dot pattern is formed by arranging the dot dots in a so-called honey cam array in which the placement positions of the dot dots are shifted in the arrangement direction by 1/2 of the dot pitch Pm for each array line. You may also

또한, 상술한 설명에서는, 최정상부(Mt)에 원형 평면이 형성된 망점을 이용하여 망점 패턴(M)을 형성했는데, 다른 형상의 망점을 이용해도 상관없다. 예를 들면, 최정상부(Mt)에 타원이나 다각형 평면이 형성된 망점을 이용하여, 망점 패턴(M)을 형성해도 상관없다. 또한, 돔형이나 원추형 등, 최정상부(Mt)에 평면이 형성되어 있지 않은 망점을 이용하여, 망점 패턴(M)을 형성해도 상관없다.In addition, in the above-mentioned description, although the netting pattern M was formed using the netting point in which the circular plane was formed in the uppermost part Mt, you may use the netting of another shape. For example, you may form the halftone pattern M using the halftone in which the ellipse or the polygonal plane was formed in the uppermost part Mt. In addition, you may form the netting pattern M using the netting point in which the plane is not formed in the uppermost part Mt, such as a dome shape and a cone shape.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 발광층을 형성하는 고분자 유기 EL 재 료를 도포액으로 하여 도포 장치(1)가 기판(P)에 인쇄 도포하는 예를 이용했는데, 적색 발광의 고분자 유기 EL 재료, 녹색 발광의 고분자 유기 EL 재료, 청색 발광의 고분자 유기 EL 재료, 및 백색 발광의 고분자 유기 EL 재료를 각각 도포액으로 하여 인쇄 도포할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 본 발명의 도포 장치는, 정공 운송 재료나 전자 운송 재료 등의 다른 도포액을 인쇄 도포하는 경우에도 이용할 수 있다. 또한, 본 발명의 도포 장치는, 발광층을 형성하는 유기 EL 재료로서 저분자 재료를 도포액으로서 이용해도 상관없다.In addition, in the above-described embodiment, an example in which the coating device 1 prints the coating on the substrate P using the polymer organic EL material forming the light emitting layer as a coating liquid is used. It goes without saying that the polymer organic EL material of green light emission, the polymer organic EL material of blue light emission, and the polymer organic EL material of white light emission can be applied as a coating liquid. Moreover, the coating device of this invention can be used also when printing-coating other coating liquids, such as a hole transport material and an electron carrying material. Moreover, the coating apparatus of this invention may use a low molecular material as a coating liquid as an organic EL material which forms a light emitting layer.

구체적으로는, 상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가, 정공 운송 재료를 인쇄 도포하는 경우, 이 도포 공정은, 유기 EL 디바이스를 제조하는 도중 공정이다. 유기 EL 디바이스를 제조하는 경우, 정공 운송 재료(예를 들면, PEDOT 등) 인쇄 도포, 적색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 녹색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 청색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 백색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 전자 운송 재료 인쇄 도포 등의 도포 공정이 있는데, 본 발명의 도포 장치는, 어떠한 인쇄 도포 공정에나 이용할 수 있다.Specifically, when the coating device 1 in the above-mentioned embodiment prints and applies the hole transporting material, this coating step is a step in the middle of manufacturing the organic EL device. When manufacturing an organic EL device, printing coating of a hole transport material (for example, PEDOT, etc.), printing coating of a polymer organic EL material of red light emission, printing coating of a polymer organic EL material of green light emission, printing of a polymer organic EL material of blue light emission There are application | coating processes, such as application | coating, white organic light-emitting printing of organic electroluminescent material, and electron transfer material printing application | coating, The coating apparatus of this invention can be used for any printing application | coating process.

상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가 이용하는 적색, 녹색, 청색, 및 백색 발광의 유기 발광 재료로는, 예를 들면, 퀴놀리놀계 금속 착체, 벤조퀴놀리놀계 금속 착체, 벤조옥사졸계 금속 착체, 프탈로시아닌류, 폴리페린류, 아조메틴계 금속 착체, 페난트로린유로퓸 착체, 스티릴 및 디스티릴 화합물, 피렌(pyrene), 루브렌(rubrene), 코로넨(coronene), 크리센(chrysene), 디페닐안트라센 등의 축합 방향족 화합물, 옥사디아졸류, 티아디아졸류, 트리아졸류 등의 헤테 로 방향족 화합물, 퀴나크리돈류, 쿠마린(coumarin)류 등의 헤테로 축합 환화합물, 폴리페닐렌, 폴리피리딘, 폴리티오펜, 폴리플루오닐렌, 폴리페닐렌비닐렌 등의 π공역계 화합물 등을 이용할 수 있다. 그러나, 도포 장치(1)로 이용하는 유기 발광 재료로는, 예시한 이들 재료에 한정되는 것은 아니고, 다른 재료를 이용해도 상관없다.As an organic light emitting material of red, green, blue, and white light emission used by the coating apparatus 1 in the above-mentioned embodiment, for example, a quinolinol-based metal complex, a benzoquinolinol-based metal complex, and a benzoxazole type Metal complexes, phthalocyanines, polyferins, azomethine-based metal complexes, phenanthroline europium complexes, styryl and distyryl compounds, pyrene, rubrene, coronene, chrysene ), Heterocondensed cyclic compounds such as heteroaromatic compounds such as condensed aromatic compounds such as diphenylanthracene, oxadiazoles, thiadiazoles and triazoles, quinacridones and coumarins, polyphenylenes and polypyridine ? Conjugated compounds such as polythiophene, polyfluorylene, polyphenylenevinylene and the like can be used. However, as the organic light emitting material used in the coating device 1, it is not limited to these materials illustrated, You may use another material.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가 이용하는 정공 운송 재료로는, 예를 들면, 폴리비닐카르바졸 및 그 유도체, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리페닐렌 및 그 유도체, 폴리페닐렌비닐렌 및 그 유도체, 트리아릴아민 골격을 가지는 폴리올레핀, 폴리아크릴, 폴리아릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리우레탄, 폴리이미드 등을 이용할 수 있다. 그러나, 도포 장치(1)로 이용하는 정공 운송 재료로는, 예시한 이들 재료에 한정되는 것은 아니고, 다른 재료를 이용해도 상관없다.In addition, as a hole transport material used by the coating apparatus 1 in above-mentioned embodiment, For example, polyvinylcarbazole and its derivative (s), polythiophene and its derivative (s), polyphenylene and its derivative (s), polyphenyl Ethylenevinylene and derivatives thereof, polyolefins having a polyarylamine skeleton, polyacryl, polyarylates, polycarbonates, polyesters, polyamides, polyurethanes, polyimides and the like can be used. However, as a hole transport material used for the coating device 1, it is not limited to these materials illustrated, You may use another material.

또한, 상술한 실시 형태에서는, 피도포체의 일례로서 유리 기판을 이용했는데, 다른 부재를 피도포체로 할 수도 있다. 예를 들면, 폴리에틸렌텔레프탈레이트(PET)나 폴리카보네이트(PC) 등으로 구성되는 유연성을 가진 기판을, 도포 장치(1)의 피도포체로 해도 상관없다.In addition, in embodiment mentioned above, although the glass substrate was used as an example of a to-be-coated body, another member can also be made into a to-be-coated body. For example, the flexible board | substrate comprised from polyethylene terephthalate (PET), a polycarbonate (PC), etc. may be used as the to-be-coated body of the coating device 1. As shown in FIG.

또한, 상술한 설명에서는, 기판(P)을 재치하는 반송 테이블(54)을 수평 이동시키면서 판동(11)을 회전시켜 인쇄 도포를 행하고 있는데, 반송 테이블(54)을 고정하여 판동(11) 자체를 상기 수평 이동 방향과는 반대의 수평 방향으로 이동시키면서 회전시켜도 상관없다. 판동(11)과 반송 테이블(54) 중 적어도 한쪽이 상대적 으로 수평 방향으로 이동하면, 동일한 인쇄 도포가 가능한 것은 말할 것도 없다.In addition, in the above-mentioned description, although the plate | board 11 is rotated and printing application | coating while horizontally moving the conveyance table 54 on which the board | substrate P is mounted, the conveyance table 54 is fixed and the plate | board 11 is fixed. You may rotate, moving in the horizontal direction opposite to the said horizontal movement direction. It goes without saying that the same printing application is possible when at least one of the plate 11 and the conveying table 54 moves in the relatively horizontal direction.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 도포액을 공급하기 위한 노즐로서, 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지는 슬릿 노즐(22)을 이용하고 있는데, 다른 노즐을 이용해도 상관없다. 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 대해서 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향을 따라 소정 유량의 고분자 유기 EL 재료를 공급할 수 있는 것이면, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 이용해도 상관없다. 예를 들면, 도포액 공급 롤러(21)의 축선방향으로 다수의 토출구가 잇달아 설치된 노즐을 이용해도 상관없다.Moreover, in embodiment mentioned above, the slit nozzle 22 which has a slit which makes the axial direction of the coating liquid supply roller 21 the longitudinal direction as a nozzle for supplying a coating liquid to the surface of the coating liquid supply roller 21. ), You can use other nozzles. As long as the polymer organic EL material having a predetermined flow rate can be supplied to the surface of the coating liquid supply roller 21 along the axial direction of the coating liquid supply roller 21, a nozzle having a plurality of discharge ports may be used. For example, you may use the nozzle in which many discharge ports were provided one after another in the axial direction of the coating liquid supply roller 21.

본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법은, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포할 때의 막 두께 균일성을 향상시킬 수 있어, 조명이나 디스플레이 등에 이용되는 유기 EL 디바이스를 제조하는 장치 및 방법 등으로서 유용하다.The coating apparatus and the coating method which concern on this invention can improve the film thickness uniformity at the time of printing-coating the coating liquid containing organic electroluminescent material, and the apparatus and method which manufacture the organic electroluminescent device used for illumination, a display, etc. It is useful as such.

이상, 본 발명을 상세하게 설명했는데, 전술의 설명은 모든 점에 있어서 본 발명의 예시에 불과하고, 그 범위를 한정하려는 것은 아니다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고 다양한 개량이나 변형을 실시할 수 있는 것은 말할 것도 없다.As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail, the above-mentioned description is only the illustration of this invention in all the points, Comprising: It does not intend to limit the range. It goes without saying that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 관한 도포 장치(1)의 주요부 개략 구성을 나타내는 사시도이다.1: is a perspective view which shows schematic structure of the principal part of the coating device 1 which concerns on one Embodiment of this invention.

도 2는, 도 1의 도포 장치(1)의 도포 장치(1)의 주요부를 나타내는 개요도이다.FIG. 2 is a schematic diagram showing the main part of the coating device 1 of the coating device 1 of FIG. 1.

도 3은, 도 2의 세정 기구(23)의 일례를 나타내는 개요도이다.3 is a schematic diagram illustrating an example of the cleaning mechanism 23 of FIG. 2.

도 4는, 도 1의 인쇄판(12)을 평면상태로 전개한 형상의 일례를 나타내는 측면도이다.4 is a side view illustrating an example of a shape in which the printing plate 12 of FIG. 1 is developed in a planar state.

도 5는, 도 1의 인쇄판(12)을 평면상태로 전개한 형상의 일례를 나타내는 상면도이다.FIG. 5 is a top view illustrating an example of a shape in which the printing plate 12 of FIG. 1 is developed in a planar state.

도 6은, 도 4의 패턴부(122)의 표면에 형성된 망점 패턴(M)의 일례를 나타내는 평면도이다.FIG. 6: is a top view which shows an example of the dot pattern M formed in the surface of the pattern part 122 of FIG.

도 7은, 도 6의 단면 AA를 B방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다.FIG. 7: is sectional drawing of the halftone pattern M which saw the cross section AA of FIG. 6 from B direction.

도 8은, 도 6의 단면 CC를 D방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다.FIG. 8: is sectional drawing of the halftone pattern M which saw the cross section CC of FIG. 6 from the D direction.

도 9는, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 직경(Dm)을 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.FIG. 9: is a figure which shows an example in which the specification of the halftone pattern M is changed by changing the halftone diameter Dm from the printing front end position 122s to the printing rear end position 122e.

도 10은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 피치(Pm)를 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.FIG. 10: is a figure which shows an example in which the specification of the halftone pattern M is changed by changing the halftone pitch Pm from the printing front end position 122s to the printing rear end position 122e.

도 11은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 직경(Dm)을 단계적으로 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.FIG. 11: is a figure which shows an example in which the specification of the dot pattern M is changed by changing the dot diameter Dm from the printing front end position 122s to the printing rear end position 122e in steps.

Claims

A coating device for printing and coating a coating liquid containing an organic EL material on a substrate,

A mounting table for placing the substrate on the upper surface thereof;

Pandong,

A printing plate wound around the outer circumferential surface of the plate copper and having a convex pattern according to a pattern to be printed and coated on the surface thereof, and a dot-like concavo-convex surface for holding the coating liquid on the upper surface of the convex pattern;

A coating liquid supply unit for supplying the coating liquid to the surface of the printing plate;

And a relative movement means for relatively moving the mounting table and the plate while rotating the plate around the shaft center in a state in which the upper surface of the substrate and the printing plate are brought in close or abutting contact with each other.

The said uneven | corrugated surface is formed so that the holding amount which hold | maintains the said coating liquid with respect to the printing direction of the said printing plate which the said relative movement means opposes the said upper surface of the board sequentially may be reduced.

The method according to claim 1,

The concave-convex surface has a plurality of convex portions arranged in a dot shape and a concave portion formed around the convex portion,

The said uneven | corrugated surface is formed so that the holding amount which hold | maintains the said coating liquid may be reduced by diminishing the magnitude | size of the said recessed part with respect to the said printing direction.

The method according to claim 2,

The said uneven | corrugated surface is a coating apparatus which reduces the magnitude | size of the said recessed part with respect to the said printing direction by increasing the magnitude | size of the said convex part with respect to the said printing direction.

The method according to claim 2,

The said uneven | corrugated surface is a coating apparatus which reduces the magnitude | size of the said recessed part with respect to the said printing direction by gradually shortening the arrangement | interval space of the said convex part with respect to the said printing direction.

The method according to claim 1 or 2,

The said uneven | corrugated surface is formed so that the holding amount holding | maintaining the said coating liquid may decrease by decreasing the depth of the said recessed part with respect to the said printing direction.

The method according to claim 2,

The uneven surface is formed so that the holding amount holding the coating liquid decreases linearly by decreasing the size of the concave portion linearly with respect to the printing direction.

The method according to claim 2,

The said uneven | corrugated surface is formed so that the holding amount which hold | maintains the said coating liquid may be gradually reduced by gradually decreasing the magnitude | size of the said recessed part with respect to the said printing direction.