JP2014159089A - Printer and printing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、高分子有機ELディスプレイパネルを製造するための印刷装置と高分子有機ELディスプレイパネル製造方法に関する。 The present invention relates to a printing apparatus for producing a polymer organic EL display panel and a method for producing a polymer organic EL display panel.
有機エレクトロルミネッセンス(以下ELと表す。)素子は、対向する陽極と陰極との間に有機発光材料からなる有機発光層が形成された構造をもつ発光素子であり、電圧の印加によって陽極、陰極からそれぞれ正孔、電子が注入され、それらが有機発光層で再結合を起こすことにより発光するものであるが、効率の良い発光を得るためには、有機発光層の膜厚が重要な要素であり、数nmから数十nm程度で膜厚をコントロールする必要がある。さらに、これをディスプレイ化するには高精細にパターニングする必要がある。 An organic electroluminescence (hereinafter referred to as EL) element is a light emitting element having a structure in which an organic light emitting layer made of an organic light emitting material is formed between an anode and a cathode facing each other. Holes and electrons are injected respectively, and they emit light by causing recombination in the organic light emitting layer. However, in order to obtain efficient light emission, the film thickness of the organic light emitting layer is an important factor. Therefore, it is necessary to control the film thickness from about several nm to several tens of nm. Further, in order to make this a display, it is necessary to pattern it with high definition.
有機発光層に用いられる有機発光材料は、低分子系材料と高分子系材料に区分されており、有機発光層の形成方法は有機発光材料の種類によって異なる。 The organic light emitting material used for the organic light emitting layer is classified into a low molecular material and a polymer material, and the method of forming the organic light emitting layer differs depending on the type of the organic light emitting material.
一般に低分子系材料は、抵抗加熱蒸着法(真空蒸着法)等によって基板に薄膜を形成する。有機EL素子をフルカラー化する場合には、各色の画素形状に応じたパターンの蒸着マスクを用いて、異なる発光色の発光材料をそれぞれの画素にマスク蒸着して形成する方法が採用されている。この方法は、薄膜形状を均一に形成するには優れた方法であるが、蒸着される基板が大型になるとマスクのパターン精度が出難くなるという問題点がある。 In general, a low molecular weight material forms a thin film on a substrate by resistance heating vapor deposition (vacuum vapor deposition) or the like. When full-coloring an organic EL element, a method of forming a light emitting material of a different light emission color on each pixel by using a vapor deposition mask having a pattern corresponding to the pixel shape of each color is employed. Although this method is an excellent method for uniformly forming a thin film shape, there is a problem in that the mask pattern accuracy is difficult to be obtained when the deposited substrate becomes large.
一方で高分子系材料では、有機発光材料を溶剤に溶解あるいは分散させてインキ化し、これをウェットコーティング法によって塗布し、薄膜を形成する方法が主に用いられている。ウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、吐出コート法、ディップコート法等があるが、高精細なパターニングや、フルカラー化の色の塗り分けにこれらの方法を用いることは困難である。そこで、フルカラー化に有機発光材層をパターニングする手段としては、インキジェット法や印刷法によるパターン印刷が有効であると考えられる。 On the other hand, for polymer materials, a method of forming a thin film by dissolving or dispersing an organic light emitting material in a solvent to form an ink and applying it by a wet coating method is mainly used. As the wet coating method, there are a spin coating method, a bar coating method, a discharge coating method, a dip coating method, and the like, but it is difficult to use these methods for high-definition patterning or color separation for full color. . Therefore, it is considered that pattern printing by an ink jet method or a printing method is effective as a means for patterning the organic light emitting material layer for full color.
高精細パターニング方法のひとつとして、例えばインキジェットノズルから溶剤に溶かした有機発光材料を基板上に噴出させ、基板上で乾燥させることでパターンを形成するインキジェット方法がある(特許文献1参照)。この方法においては、ノズルから噴出されたインキ液滴は球状をしている為、基板上に着弾する際にインキが円形状に広がり、形成されたパターンの形状が直線性に欠けたり、あるいは着弾精度が悪くなってパターンの直線性が得られなかったりするという課題がある。 As one of high-definition patterning methods, for example, there is an ink jet method in which a pattern is formed by ejecting an organic light emitting material dissolved in a solvent from an ink jet nozzle onto a substrate and drying it on the substrate (see Patent Document 1). In this method, since the ink droplets ejected from the nozzle are spherical, the ink spreads in a circular shape when landing on the substrate, and the formed pattern shape is not linear or has landed. There is a problem that the linearity of the pattern cannot be obtained due to poor accuracy.
一方で印刷法によるパターン形成方法には、凸版印刷法、反転印刷法、スクリーン印刷法等が提案されている。有機EL素子やディスプレイでは、基材としてガラス基板を用いることが多く、グラビア印刷法等のように金属製等の硬い印刷版を用いる方法は不向きである。そのため、弾性を有するゴム製の印刷版を用いた印刷法や、ゴム製の印刷用ブランケットを用いたオフセット印刷法、弾性を有するゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いる凸版印刷法等が適正な印刷法と考えられている。実際に、これらの印刷法の試みとして、オフセット印刷によるパターン印刷方法(特許文献2参照)、凸版印刷によるパターン印刷方法(特許文献3参照)などが提唱されている。特に凸版印刷による方法は、パターン形成精度や膜厚均一性などに優れ、印刷による有機EL素子の製造方法として最も適している。 On the other hand, letterpress printing, reversal printing, screen printing, and the like have been proposed as pattern forming methods by printing. In organic EL elements and displays, a glass substrate is often used as a base material, and a method using a hard printing plate made of metal such as a gravure printing method is not suitable. Therefore, a printing method using a rubber printing plate having elasticity, an offset printing method using a rubber printing blanket, a relief printing plate using a photosensitive resin plate mainly composed of elastic rubber or other resin. The printing method is considered an appropriate printing method. Actually, as a trial of these printing methods, a pattern printing method by offset printing (see Patent Document 2), a pattern printing method by letterpress printing (see Patent Document 3), and the like have been proposed. In particular, the method using relief printing is excellent in pattern formation accuracy and film thickness uniformity, and is most suitable as a method for producing an organic EL element by printing.
凸版印刷法による有機EL素子の作製工程の一例を以下に示す。まず、微細な孔を有するアニロックスロールの表面にインキを塗布する。次に、アニロックスロール表面の余分なインキをドクターでかきとることによって、アニロックスロールの単位面積あたりのインキ塗布量を均一にする。その後、有機EL素子の画素形状に対応してパターニングされた印刷版上にアニロックスロール上のインキを転移する。最後に、印刷版上のインキ薄膜を基板上に転写させることで有機EL素子の発光層を形成する。 An example of the manufacturing process of the organic EL element by the relief printing method is shown below. First, ink is applied to the surface of an anilox roll having fine holes. Next, the ink applied per unit area of the anilox roll is made uniform by scraping off excess ink on the anilox roll surface with a doctor. Thereafter, the ink on the anilox roll is transferred onto the printing plate patterned corresponding to the pixel shape of the organic EL element. Finally, the light-emitting layer of the organic EL element is formed by transferring the ink thin film on the printing plate onto the substrate.
図1に凸版印刷法によって発光部を形成するための印刷工程の一例を図示する。図1中に示すインキパン103にはインキが貯留されている。アニロックスロール104にはこのインキパン103中においてインキが供給された後に、その上の余分なインキがドクター105によって掻き落とされ、孔内部にのみインキが蓄えられる。孔内部のインキは、アニロックスロール104と相対して回転する版胴102に巻かれている凸版101の画像形成部上に転移させられ、そこにインキの薄膜を形成する。さらに、画像形成部上に形成された薄膜は版胴102と相対して移動する被印刷基板106上に転写される。 FIG. 1 illustrates an example of a printing process for forming a light emitting portion by a relief printing method. Ink is stored in the ink pan 103 shown in FIG. After the ink is supplied to the anilox roll 104 in the ink pan 103, the excess ink on the anilox roll 104 is scraped off by the doctor 105, and the ink is stored only inside the hole. The ink inside the hole is transferred onto the image forming portion of the relief plate 101 wound around the plate cylinder 102 that rotates relative to the anilox roll 104, and forms a thin film of ink there. Further, the thin film formed on the image forming unit is transferred onto the printing substrate 106 that moves relative to the plate cylinder 102.
有機EL素子を凸版印刷法で作製する場合、印刷版上の転写パターンは有機EL素子の各画素を構成する複数の発光部のうち、同色発光部を形成するための転写パターンが複数配列された構成となっており、それぞれの発光色に発光する発光部を順次印刷していくことで有機発光層パターンを得ている。 When an organic EL element is produced by a relief printing method, the transfer pattern on the printing plate is arranged with a plurality of transfer patterns for forming the same color light emitting part among a plurality of light emitting parts constituting each pixel of the organic EL element. The organic light emitting layer pattern is obtained by sequentially printing light emitting portions that emit light of the respective emission colors.
前述したように、凸版印刷法ではアニロックスロールから樹脂凸版にインキを転移し、更に樹脂凸版上のインキを被印刷基板へ転写することで所望の有機発光層パターンを得るのだが、ここで樹脂凸版上に形成される樹脂パターンは被印刷基板上に形成される所望の有機発光層パターンと相対したパターンである必要がある。しかし、この樹脂凸版上に形成される樹脂パターンに欠けや突起、もしくは付着異物などが存在すると、被印刷基板上に形成されるパターンにそれらに起因した印刷欠陥が発生し、更にはその印刷欠陥は、連続して印刷される被印刷基板全てに共通の欠陥として発生するという問題があった。
また印刷中に付着したそれらの欠陥が印刷基板ごとで発生する可能性もあり、印刷中における転写欠陥の発生源を捉えることは非常に困難であった。
As described above, in the relief printing method, the ink is transferred from the anilox roll to the resin relief plate, and further, the ink on the resin relief plate is transferred to the printing substrate to obtain a desired organic light emitting layer pattern. The resin pattern formed thereon needs to be a pattern opposed to a desired organic light emitting layer pattern formed on the substrate to be printed. However, if the resin pattern formed on the resin relief plate has chips, protrusions, or adhered foreign matter, a printing defect caused by the pattern is formed on the substrate to be printed. Has a problem that it occurs as a defect common to all the substrates to be printed continuously.
In addition, these defects attached during printing may occur on each printed board, and it is very difficult to grasp the source of the transfer defect during printing.
そのため、印刷された被印刷基板を抜取り、検査を実施することで連続して印刷欠陥が発生することを防止する方法が採用されているが、検査時の検査光もしくは検査環境による有機発光層の特性低下が起こることで、印刷欠陥が発生した被印刷基板の欠陥部を修正することによる再生ができないため、歩留まり低下、コスト増大等に繋がるという課題がある。
また、印刷中に発生するそれらの欠陥の原因が把握できないことによる生産不安定性も課題である。
For this reason, a method for preventing the occurrence of continuous print defects by removing the printed substrate to be printed and performing the inspection is employed. Due to the deterioration in characteristics, there is a problem that the reproduction cannot be performed by correcting the defective portion of the substrate to be printed on which the printing defect has occurred, leading to a decrease in yield and an increase in cost.
In addition, production instability due to the inability to grasp the cause of those defects that occur during printing is also a problem.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、被印刷基板を検査することなく、被印刷基板上に印刷欠陥のない印刷パターンを安定的に形成することができる製造方法に基づく印刷装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and is based on a manufacturing method capable of stably forming a print pattern without a print defect on a substrate to be printed without inspecting the substrate to be printed. It is an object to provide a printing apparatus.
上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、印刷版と、この印刷版からインキパターンを転写する被印刷基板を載置し印刷版との相対的な位置を調整することが可能な移動定盤と、前記被印刷基板の代わりに前記印刷版からインキパターンを転写し検査するための検査ロールと、前記検査ロールに転写されたインキパターンを検査するためのロール検査装置と、前記移動定盤の位置を変更し前記被印刷基板と前記印刷版との相対的な位置を調整するための定盤位置変更機構とを備えた印刷装置であって、
前記ロール検査装置は、検査ロールに転写されたインキパターンの欠陥の有無及びその位置を検査する機能を有しており、
前記定盤位置変更機構には、前記被印刷基板の座標位置と前記検査ロールの座標位置とが互いに関連付けて予め入力されており、かつ、前記定盤位置変更機構は、前記ロール検査装置による検査情報に基づいて、前記印刷版と前記移動定盤との相対的な位置を調整する機能を有することを特徴とする印刷装置である。
As means for solving the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is characterized in that a printing plate and a substrate to be printed on which an ink pattern is transferred from the printing plate are placed and the relative position between the printing plate and the printing plate is adjusted Movable surface plate, inspection roll for transferring and inspecting the ink pattern from the printing plate instead of the substrate to be printed, and roll inspection for inspecting the ink pattern transferred to the inspection roll A printing apparatus comprising: an apparatus; and a platen position changing mechanism for changing a position of the movable platen and adjusting a relative position between the printing substrate and the printing plate,
The roll inspection apparatus has a function of inspecting the presence or absence of defects in the ink pattern transferred to the inspection roll and its position,
In the surface plate position changing mechanism, the coordinate position of the substrate to be printed and the coordinate position of the inspection roll are input in advance in association with each other, and the surface plate position changing mechanism is inspected by the roll inspection apparatus. A printing apparatus having a function of adjusting a relative position between the printing plate and the movable surface plate based on information.
また、請求項2に記載の発明は、前記ロール検査装置は、前記検査ロールに転写された前記インキパターンを照明する照明手段と、前記インキパターンを撮像するための検査用カメラを備えていることを特徴とする請求項1に記載の印刷装置である。 The roll inspection apparatus may include an illumination unit that illuminates the ink pattern transferred to the inspection roll, and an inspection camera for imaging the ink pattern. The printing apparatus according to claim 1.
また、請求項3に記載の発明は、検査用ロール洗浄手段と検査用ロール乾燥手段を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の印刷装置である。 The invention according to claim 3 is the printing apparatus according to claim 1 or 2, further comprising an inspection roll cleaning unit and an inspection roll drying unit.
また、請求項4に記載の発明は、前記印刷版が凸版であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の印刷装置である。 The invention according to claim 4 is the printing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the printing plate is a relief plate.
また、請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の印刷装置を使用した印刷方法であって、
前記印刷版から前記検査ロールにインキパターンを転写する工程と、
前記検査ロールに転写された前記インキパターンの欠陥の有無及びその位置を検査する工程と、
前記インキパターンに欠陥があった場合には、この検査情報に基づいて、前記被印刷基板の所望の位置に前記欠陥が位置するように、前記印刷版と前記移動定盤との相対的な位置を調整する工程と、
を備えることを特徴とする印刷方法である。
The invention according to claim 5 is a printing method using the printing apparatus according to any one of claims 1 to 4,
Transferring an ink pattern from the printing plate to the inspection roll;
Inspecting the presence or absence of defects in the ink pattern transferred to the inspection roll and the position thereof,
When there is a defect in the ink pattern, based on this inspection information, the relative position between the printing plate and the moving surface plate so that the defect is located at a desired position on the substrate to be printed. Adjusting the process,
A printing method characterized by comprising:
また、請求項6に記載の発明は、前記印刷版が版胴に取り付けられており、
印刷版と移動定盤との相対的な位置を調整する前記工程が、版胴と前記移動定盤との間に速度差を持たせることで実施するものであることを特徴とする請求項5に記載の印刷方法である。
In the invention according to claim 6, the printing plate is attached to a plate cylinder,
6. The step of adjusting a relative position between a printing plate and a moving surface plate is performed by giving a speed difference between the plate cylinder and the moving surface plate. The printing method described in 1.
請求項1から請求項6記載の発明を用いることにより、被印刷基板ではなく検査用ロール上に印刷し、検査用ロール上の印刷パターンを検査することで、被印刷基板を損なうことなく印刷パターンの検査が可能となり、印刷欠陥のない印刷パターンを安定的に形成することができるようになる。 By using the invention according to claims 1 to 6, printing is performed on the inspection roll instead of the substrate to be printed, and the printing pattern on the inspection roll is inspected, so that the printing pattern is not damaged. Thus, it is possible to stably form a print pattern free from printing defects.
図1は、本発明の印刷装置に於ける、版胴に取り付けられた印刷版からインキパターンが被印刷基板に印刷される状況の一例を示す概略断面図である。ここでは特に印刷法として凸版印刷法を用いて説明するが、これに限定はしない。この印刷装置は、版胴102と、版胴102の周囲に形成される発光パターン形成用の印刷版101と、被印刷基板106を搬送する移動定盤107と、印刷版101上にインキを供給するアニロックスロール104と、アニロックスロール104にインキを供給するインキパン103と、アニロックスロール104上の余剰インキを除去するドクター105と、被印刷基板106の代わりにインキパターンの印刷を行うための検査用ロール200と、検査用ロール上のパターンを検査するロール検査装置201と、を含んで構成されている。次に、本発明の各構成を詳細に説明する。 FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of a situation in which an ink pattern is printed on a printing substrate from a printing plate attached to a plate cylinder in the printing apparatus of the present invention. Here, a description will be given using a relief printing method as a printing method in particular, but this is not a limitation. This printing apparatus supplies a plate cylinder 102, a printing plate 101 for forming a light emitting pattern formed around the plate cylinder 102, a moving surface plate 107 that conveys a substrate to be printed 106, and ink on the printing plate 101. An anilox roll 104, an ink pan 103 for supplying ink to the anilox roll 104, a doctor 105 for removing excess ink on the anilox roll 104, and an inspection roll for printing an ink pattern instead of the substrate 106 to be printed 200 and a roll inspection apparatus 201 that inspects a pattern on the inspection roll. Next, each configuration of the present invention will be described in detail.
版胴102は移動定盤107の上に載置された被印刷基板106に印刷可能に配置されるものであり、定位置に回転可能に支持されている。印刷版101は、版胴102の周面に装着されている。アニロックスロール104は版胴102の回転軸と平行、且つ印刷版101の表面の版面と接触するように設置されている。インキパン103の内部にはインキが充填されており、アニロックスロール104とインキパン103内部のインキとが接するよう設置されている。被印刷基板106は移動定盤107上に載置されている。移動定盤107は版胴102の回転軸と直交し、且つ移動定盤107の被印刷基板106が載置された平面と平行な平面内で水平に移動可能に設置されている。 The plate cylinder 102 is disposed so as to be able to print on a substrate to be printed 106 placed on a moving surface plate 107, and is rotatably supported at a fixed position. The printing plate 101 is mounted on the peripheral surface of the plate cylinder 102. The anilox roll 104 is installed so as to be in parallel with the rotation axis of the plate cylinder 102 and in contact with the plate surface of the surface of the printing plate 101. The ink pan 103 is filled with ink, and is installed so that the anilox roll 104 and the ink in the ink pan 103 are in contact with each other. The substrate to be printed 106 is placed on a moving surface plate 107. The moving surface plate 107 is installed so as to be horizontally movable in a plane orthogonal to the rotation axis of the plate cylinder 102 and parallel to the plane on which the printing substrate 106 of the moving surface plate 107 is placed.
また、本発明の印刷装置は、移動定盤107に伴って移動する検査用ロール200とロール検査装置201を備えている。そして、支持基台700が版胴102の下方に位置して水平に設置され、移動定盤107、検査用ロール200及びロール検査装置201は、支持基台700上にガイドを介して版胴102の回転軸と直交し、且つ移動定盤107の被印刷基板106が載置された平面と平行な平面内で水平に移動可能に設置されている。 In addition, the printing apparatus of the present invention includes an inspection roll 200 and a roll inspection apparatus 201 that move with the moving surface plate 107. The support base 700 is positioned below the plate cylinder 102 and installed horizontally, and the movable surface plate 107, the inspection roll 200, and the roll inspection apparatus 201 are placed on the support base 700 via a guide. The moving surface plate 107 is installed so as to be horizontally movable in a plane parallel to the plane on which the printed substrate 106 is placed.
上述した構成の印刷装置において、アニロックスロール104の回転に伴い、インキパン103から供給されたインキがアニロックスロール104の表面に均一に保持されたあと、版胴102に取り付けられた印刷版101の版面に転移する。被印刷基板106は移動定盤107上に固定され、印刷版101のパターンと被印刷基板106のパターン形成位置との位置調整機構である定盤位置変更機構402により、位置調整しながら印刷開始位置まで移動する。印刷開始位置からは被印刷基板106が印刷版101の凸部と接して版胴102の回転と同期しながら移動し、印刷版101から被印刷基板106の所定位置にインキが転写され、被印刷基板106の表面にインキパターンが形成される。被印刷基板106にインキパターンが形成された後は、必要に応じてオーブンなどによる乾燥工程を設けることができる。 In the printing apparatus having the above-described configuration, the ink supplied from the ink pan 103 is uniformly held on the surface of the anilox roll 104 as the anilox roll 104 rotates, and then is applied to the plate surface of the printing plate 101 attached to the plate cylinder 102. Metastasize. The printing substrate 106 is fixed on the movable surface plate 107, and the printing start position is adjusted while the position is adjusted by a surface plate position changing mechanism 402 that is a position adjusting mechanism between the pattern of the printing plate 101 and the pattern formation position of the printing substrate 106. Move up. From the printing start position, the substrate to be printed 106 contacts the convex portion of the printing plate 101 and moves in synchronization with the rotation of the plate cylinder 102, and ink is transferred from the printing plate 101 to a predetermined position on the substrate 106 to be printed. An ink pattern is formed on the surface of the substrate 106. After the ink pattern is formed on the substrate 106 to be printed, a drying process using an oven or the like can be provided as necessary.
本発明の実施の形態に係るアニロックスロール104は、版胴102の周速と同一の周速で回転しながらインキを印刷版101に供給するものである。アニロックスロール10
4はクロム製やセラミックス製のものを用いることができ、アニロックスロール104の外周面には、インキを保持するための細かい孔や凹部、セル状などのパターンが形成されていることが望ましい。
The anilox roll 104 according to the embodiment of the present invention supplies ink to the printing plate 101 while rotating at the same peripheral speed as the peripheral speed of the plate cylinder 102. Anilox roll 10
4 can be made of chromium or ceramics, and it is desirable that fine holes, concave portions, cell-like patterns for holding ink are formed on the outer peripheral surface of the anilox roll 104.
本発明の実施の形態に係るインキパン103は、アニロックスロール104の下方周面部分を浸漬するインキ溜りや、滴下型のインキングユニット、ファウンテンロール、ダイコーター、キャップコーターなどのコーターやそれらを組み合わせたものなどを用いることができる。また、インキパン103にインキを補充するインキ補充装置(図示せず)や、インキを保存するインキタンク(図示せず)が接続されていることが望ましい。 The ink pan 103 according to the embodiment of the present invention includes an ink reservoir that immerses the lower peripheral surface portion of the anilox roll 104, a coater such as a dripping type inking unit, a fountain roll, a die coater, and a cap coater, or a combination thereof Things can be used. Further, it is desirable that an ink replenishing device (not shown) for replenishing ink and an ink tank (not shown) for storing ink are connected to the ink pan 103.
また、アニロックスロール104上に均一にインキを供給する為にドクター105を併設することが望ましい。ドクター105の形状は刃状のものやロール状のものなどがあり、そのいずれでもかまわない。また、インキパン103がインキ溜りの場合には、ドクター105は、アニロックスロール104の回転方向で、インキ溜りからアニロックスロール104と印刷版101との当接点までの間に位置し、掻き取ったインキがインキ溜りに落ちるようにするのが好ましい。 In order to supply ink uniformly on the anilox roll 104, it is desirable to provide a doctor 105. The doctor 105 has a blade shape or a roll shape, and any of them may be used. When the ink pan 103 is an ink reservoir, the doctor 105 is positioned between the ink reservoir and the contact point between the anilox roll 104 and the printing plate 101 in the rotation direction of the anilox roll 104, and the scraped ink is It is preferable to fall into the ink reservoir.
本発明の実施の形態に係る印刷版101に用いられる基材の材料は、印刷に対する機械的強度を有すれば良く、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリビニルアルコールなどの公知の合成樹脂、鉄や銅、アルミニウムといった公知の金属およびそれらの合金、またはそれらの積層体を用いることができる。 The material of the base material used for the printing plate 101 according to the embodiment of the present invention is only required to have mechanical strength against printing, and polyethylene, polystyrene, polybutadiene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, polyamide In addition, known synthetic resins such as polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethersulfone, and polyvinyl alcohol, known metals such as iron, copper, and aluminum, and alloys thereof, or a laminate thereof can be used.
また印刷版101を構成する基材としては、高い寸法安定性を保持するものが望ましく、基材として用いられる材料としては金属が好適に使用される。金属としては鉄、アルミニウム、銅、亜鉛、ニッケル、チタン、クロム、金、銀やそれらの合金、積層体などが挙げられるが、特に、加工性、経済性から鉄を主成分とするスチール基材やアルミまたはアルミ基材を好適に用いることができる。 Moreover, as a base material which comprises the printing plate 101, what maintains high dimensional stability is desirable, and a metal is used suitably as a material used as a base material. Examples of metals include iron, aluminum, copper, zinc, nickel, titanium, chromium, gold, silver, alloys thereof, and laminates. Especially, steel base materials mainly composed of iron in terms of workability and economy. Aluminum or aluminum base material can be preferably used.
印刷版101の版面を樹脂で形成する場合、その版面上の凸部の形成方法としてはポジ型感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法、ネガ型感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法、射出成型、凸版印刷法、凹版印刷法、平版印刷法、孔版印刷法、レーザーアブレーション法等の種々のパターン成型法を用いることができるが、パターンの精度を高めるという観点から、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法が望ましく、また、要求精度の凸版を形成可能なネガ型感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法が最も望ましい。 When forming the plate surface of the printing plate 101 with a resin, as a method for forming a convex portion on the plate surface, a photolithography method using a positive photosensitive resin, a photolithography method using a negative photosensitive resin, injection molding, Various pattern molding methods such as letterpress printing method, intaglio printing method, planographic printing method, stencil printing method, and laser ablation method can be used. From the viewpoint of improving the accuracy of the pattern, photolithography using a photosensitive resin. The photolithographic method using a negative photosensitive resin capable of forming a relief plate with the required accuracy is most desirable.
感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法を凸部パターン形成法として適用する場合、基材層、反射抑制層、感光性樹脂層が順次積層されている板状感光性樹脂積層体から印刷版101の凸部を形成することが最も望ましい。感光性樹脂層の成型方法は、射出成型法、突出成型法、ラミネート法、バーコート法、スリットコート法、カンマコート法などの公知の方法を用いることができる。 When applying a photolithographic method using a photosensitive resin as a convex pattern forming method, the printing plate 101 is formed from a plate-shaped photosensitive resin laminate in which a base material layer, a reflection suppressing layer, and a photosensitive resin layer are sequentially laminated. It is most desirable to form a convex part. As a method for molding the photosensitive resin layer, a known method such as an injection molding method, a protruding molding method, a laminating method, a bar coating method, a slit coating method, or a comma coating method can be used.
印刷版101の版面を樹脂で形成する場合、用いる樹脂としてはインキに対する耐溶剤性があればよく、ニトリルゴム、シリコーンゴム、イソプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリロニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴムなどのゴムの他に、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエー
テルスルホン、ポリビニルアルコールなどの合成樹脂やそれらの共重合体、セルロース誘導体などや、フッ素系エラストマーやポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリ六フッ化ビニリデンやそれらの共重合体といったフッ素系樹脂から一種類以上を選択することができる。
When the plate surface of the printing plate 101 is formed of a resin, it is sufficient that the resin to be used has solvent resistance to ink, such as nitrile rubber, silicone rubber, isoprene rubber, styrene butadiene rubber, butadiene rubber, chloroprene rubber, butyl rubber, acrylonitrile rubber, In addition to rubber such as ethylene propylene rubber and urethane rubber, polyethylene, polystyrene, polybutadiene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethersulfone, polyvinyl alcohol Synthetic resins such as those, copolymers thereof, cellulose derivatives, etc., fluorine-based elastomers, polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinylidene fluoride and those A fluororesin such copolymers can select one or more.
本発明の実施の形態に係る印刷版101は、上記のように基材上に凸部パターンが形成された印刷版101を版胴102に巻きつけて使用されるが、版胴102を基材として直接版胴102に凸部パターンを形成しても良い。 The printing plate 101 according to the embodiment of the present invention is used by winding the printing plate 101 having the convex pattern formed on the substrate as described above around the plate cylinder 102. As an alternative, a convex pattern may be formed directly on the plate cylinder 102.
また、使用するインキは、インキパン103からアニロックスロール104への塗工及びアニロックスロール104から印刷版101への転移に適した粘度に調整する。インキの粘度は5〜180mPa・sとすることが望ましい。本実施の形態で用いる凸版印刷法ではアニロックスロール104から印刷版101上へのインキの転移が最初に行われるが、180mPa・s以上の粘度ではアニロックスロール104から凸版101上へインキが転移した後、インキが印刷版101上で十分にレベリングせず、ムラの原因になる。また、5mPa・s以下では被印刷基板106に転写した際に画素内で、はじきムラが発生しやすい。 The ink used is adjusted to a viscosity suitable for coating from the ink pan 103 to the anilox roll 104 and for transferring from the anilox roll 104 to the printing plate 101. The viscosity of the ink is preferably 5 to 180 mPa · s. In the relief printing method used in the present embodiment, the ink is first transferred from the anilox roll 104 to the printing plate 101, but after the ink has been transferred from the anilox roll 104 to the relief plate 101 at a viscosity of 180 mPa · s or more. The ink does not level sufficiently on the printing plate 101, causing unevenness. In addition, when the transfer rate is 5 mPa · s or less, repelling unevenness is likely to occur in the pixel when transferred to the printing substrate 106.
アニロックスロール104から印刷版101上に転移されるインキ量は、被印刷基板106に成膜する膜厚によって決定するが、インキ濃度とアニロックスロール104のセル容積を調整することで印刷版101上に転移されるインキ量を一定にすることが望ましい。 The amount of ink transferred from the anilox roll 104 onto the printing plate 101 is determined by the film thickness to be formed on the printing substrate 106. By adjusting the ink density and the cell volume of the anilox roll 104, the amount of ink transferred onto the printing plate 101 is determined. It is desirable to keep the amount of ink transferred constant.
本発明の実施の形態に係る転写したインキパターン検査手段202は、図1に示すように、検査用ロール200とロール検査装置201で構成され、印刷版101にインキが供給された状態の印刷開始位置から、検査用ロール200が印刷版101の凸部と接して版胴102の回転と同期しながら回転し、印刷版101から検査用ロール200の周面にインキが転写されインキパターンが得られるように構成されている。転写されたインキパターンは、検査用ロール200の表面に対向して設置された照明手段203と検査用カメラ204を備えたロール検査装置201により、欠陥及び異物の検出が行なわれる。 As shown in FIG. 1, the transferred ink pattern inspection unit 202 according to the embodiment of the present invention includes an inspection roll 200 and a roll inspection device 201, and starts printing in a state where ink is supplied to the printing plate 101. From the position, the inspection roll 200 contacts the convex portion of the printing plate 101 and rotates in synchronization with the rotation of the plate cylinder 102, and ink is transferred from the printing plate 101 to the peripheral surface of the inspection roll 200 to obtain an ink pattern. It is configured as follows. The transferred ink pattern is subjected to detection of defects and foreign matter by a roll inspection apparatus 201 having an illumination means 203 and an inspection camera 204 installed facing the surface of the inspection roll 200.
本発明の実施の形態に係る検査用ロール200は、クロムメッキロールなど表面が平滑なものが望ましいが、インキパターンの検査に差し支える表面形状、表面材質でなければ特に材質などを限定するものではない。また、検査用ロール200は転写されるインキパターンの領域以上の表面積を持ち得る周長、幅が得られる外形が望ましいが、それに限定はしない。 The inspection roll 200 according to the embodiment of the present invention preferably has a smooth surface such as a chrome plating roll, but is not limited to a surface shape or surface material that can be used for inspection of an ink pattern. Absent. In addition, the inspection roll 200 is preferably an outer shape capable of having a circumference and width that can have a surface area equal to or larger than the area of the ink pattern to be transferred, but is not limited thereto.
本発明の実施の形態に係る転写インキパターン検査手段202は、照明手段203により検査用の照明光を検査用ロール200の上方から照射し、同じく検査用ロール200の近傍に設置した検査用カメラ204により、検査用ロール200を回転させることで検査用ロール200に形成されたインキパターンを撮像する。検査用カメラ204は、例えばラインセンサカメラを使用した連続撮像を実施するが、検査用ロール200の幅方向に対して検査用カメラの幅方向撮像範囲が不足し、1回の撮像で検査用ロール上の全てのインキパターンを撮像できない場合は、検査用カメラを2個以上並べて撮像するなど適正な構成を選定すればよい。 The transfer ink pattern inspection unit 202 according to the embodiment of the present invention irradiates the illumination light for inspection from above the inspection roll 200 by the illumination unit 203 and is similarly installed in the vicinity of the inspection roll 200. Thus, the ink pattern formed on the inspection roll 200 is imaged by rotating the inspection roll 200. The inspection camera 204 performs continuous imaging using, for example, a line sensor camera. However, the inspection camera's width direction imaging range is insufficient with respect to the width direction of the inspection roll 200, and the inspection roll is obtained by one imaging. If all of the above ink patterns cannot be imaged, an appropriate configuration may be selected such that two or more inspection cameras are imaged side by side.
欠陥検出サイズは、数10nm〜数10μmのゴミ等の異物が画素非点灯となることが分かっているため、それに合わせた検出能力として、例えば100nmを検出可能なカメラとするが、検出感度を上げすぎると誤検出が多くなることや、検査に時間を要する等の悪影響もあるため、製品作製環境や、検出したい欠陥サイズ、生産数量などを考慮して、適正な検出サイズを選定することが望ましい。 As for the defect detection size, since it is known that foreign matter such as dust of several tens of nm to several tens of μm is not lit, the detection capability corresponding thereto is, for example, a camera capable of detecting 100 nm, but the detection sensitivity is increased. If it is too large, there are adverse effects such as increased false detection and time required for inspection, so it is desirable to select an appropriate detection size in consideration of the product manufacturing environment, the defect size to be detected, the production quantity, etc. .
撮像された画像を使用し、一般的に使用されているパターンマッチング方式や比較検査方式を用いて検査して欠陥を検出し、XY座標系のデータとして記録しておく。データフォーマットは特に制約はないが、一般的なパソコンで記録可能なファイル形式(データファイル形式、テキストファイル形式、CSVファイル形式など)を用いるのが良い。記録内容は、例えば欠陥の位置情報(X座標、Y座標)、欠陥サイズ、欠陥の種類(白欠陥、黒欠陥、透過欠陥、反射欠陥)、等を記録するのが望ましい。 Using the captured image, a defect is detected by inspection using a generally used pattern matching method or comparative inspection method, and is recorded as data in the XY coordinate system. The data format is not particularly limited, but a file format (data file format, text file format, CSV file format, etc.) that can be recorded by a general personal computer is preferably used. The recorded contents are desirably recorded, for example, defect position information (X coordinate, Y coordinate), defect size, defect type (white defect, black defect, transmission defect, reflection defect), and the like.
従来の方式では、アニロックスロール104から印刷版101、更には被印刷基板106へとインキを転写することで所望のインキパターンを得ることができるが、その際、印刷版101の凸部パターン上に欠けや突起、もしくは付着異物などが存在した場合に、印刷する全ての被印刷基板106上にそれらに起因した印刷欠陥が発生してしまう問題がある。そこで本発明の検査用ロール200を備え、前記検査用ロール200上に転写されたインキパターンに生じた欠陥を検査する転写インキパターン検査手段202を用いることにより、被印刷基板106にインキパターンを形成する前に、検査用ロール200にインキパターンを転写形成し、被印刷基板106に印刷することなく、印刷版101の凸部パターン上の欠けや突起、もしくは付着異物などに起因して発生するインキパターンの欠陥を検出可能となり、不良品の発生を未然に防ぐことが可能となる。 In the conventional method, a desired ink pattern can be obtained by transferring ink from the anilox roll 104 to the printing plate 101 and further to the printing substrate 106, but at that time, on the convex pattern of the printing plate 101. When there is a chip, a protrusion, or an attached foreign matter, there is a problem in that a printing defect due to the occurrence occurs on all the printed substrates 106 to be printed. Therefore, an ink pattern is formed on the substrate 106 by using the transfer ink pattern inspection means 202 that includes the inspection roll 200 of the present invention and inspects defects generated in the ink pattern transferred onto the inspection roll 200. Before printing, the ink pattern is transferred and formed on the inspection roll 200, and the ink generated due to the chipping or protrusion on the convex pattern of the printing plate 101 or the adhered foreign matter without printing on the substrate 106 to be printed. It becomes possible to detect pattern defects and prevent the occurrence of defective products.
図3に示すように、本発明の実施の形態に係る検査用ロール洗浄手段300は、検査用ロール200の下面が内部に貯えられた洗浄液に浸漬するように設置された貯液槽302と、検査用ロール200の表面がロールの回転に伴い貯液槽302に貯えられた洗浄液に浸漬された後、洗浄液から露出した場所において、検査用ロール200の表面に洗浄液を噴きつけることができるように配置された洗浄液供給ノズル303を備える。また、検査用ロール乾燥手段301は、洗浄液供給ノズル303で検査用ロール200に噴きつけられ付着した洗浄液に対し、窒素またはクリーンエアを吹き付けられるように配置された乾燥ノズル304を備え、上記検査用ロール洗浄手段300と検査用ロール乾燥手段301により、検査用ロール200の表面を清浄な状態に保つ。なお、本実施の形態では、検査用ロール洗浄手段300として、貯液槽302と洗浄液供給ノズル303、並びに検査用ロール乾燥手段301として乾燥ノズル304による構成を示したが、これらに限定されるものではなく、検査用ロール200の表面を清浄にできる手段であれば適用可能であり、貯液槽302と洗浄液供給ノズル303のいずれかがない構成、または別の手段が追加された構成、または別の手段による構成、例えばドクターによる掻き取り、布による拭き取りなどでも良い。これにより、全ての被印刷基板に対して毎回、転写前に検査が可能となるが、生産性との兼ね合いから、検査ロール200を使用した欠陥検査の頻度を必要に応じて小さくしても良い。 As shown in FIG. 3, the inspection roll cleaning means 300 according to the embodiment of the present invention includes a liquid storage tank 302 installed so that the lower surface of the inspection roll 200 is immersed in the cleaning liquid stored inside, After the surface of the inspection roll 200 is immersed in the cleaning liquid stored in the liquid storage tank 302 as the roll rotates, the cleaning liquid can be sprayed onto the surface of the inspection roll 200 at a place exposed from the cleaning liquid. A cleaning liquid supply nozzle 303 is provided. The inspection roll drying means 301 includes a drying nozzle 304 arranged so that nitrogen or clean air can be blown against the cleaning liquid sprayed and adhered to the inspection roll 200 by the cleaning liquid supply nozzle 303. The surface of the inspection roll 200 is kept clean by the roll cleaning means 300 and the inspection roll drying means 301. In this embodiment, the inspection roll cleaning unit 300 is configured by the liquid storage tank 302 and the cleaning liquid supply nozzle 303 and the inspection roll drying unit 301 is configured by the drying nozzle 304. However, the present invention is not limited thereto. Instead, any means that can clean the surface of the inspection roll 200 is applicable, and either a configuration without any of the liquid storage tank 302 and the cleaning liquid supply nozzle 303, or a configuration in which another means is added, or another For example, scraping with a doctor or wiping with a cloth may be used. As a result, every printed substrate can be inspected every time before transfer. However, in view of productivity, the frequency of defect inspection using the inspection roll 200 may be reduced as necessary. .
図6に当該印刷版を版胴へ巻きつけた版から被印刷基板へのインキパターンの転写方法を示す。版パターン601の凹凸形状上面部602から被印刷基板へインキ603を転写する方法や凹凸形状底面のくぼみ部604から被印刷基板へインキ603を転写する方法がある。 FIG. 6 shows a method of transferring an ink pattern from a plate in which the printing plate is wound around a plate cylinder to a substrate to be printed. There are a method of transferring the ink 603 from the concave / convex shape upper surface portion 602 of the plate pattern 601 to the printing substrate and a method of transferring the ink 603 from the concave portion 604 of the concave / convex shape bottom surface to the printing substrate.
本発明の印刷装置における検査方式では、被印刷基板の座標位置を事前に捉えておくことで、欠陥部を被印刷基板の所望の場所から外すことが可能で、被印刷基板間で共通の転写欠陥となり、ロットアウトとなる生産品を作製することを回避できる。 In the inspection method in the printing apparatus of the present invention, it is possible to remove the defective portion from a desired location on the substrate to be printed by grasping the coordinate position of the substrate to be printed in advance, and a common transfer between the substrates to be printed. It is possible to avoid producing a product that becomes a defect and becomes a lot-out.
被印刷基板の座標位置を事前に捉える手段としては、例えば、図4で示す定盤位置変更機構402に、被印刷基板における座標位置の情報として被印刷基板の設計図面の座標位置を事前に読み込ませておき、一方で当該印刷版上にも被印刷基板と同位置にマーキングして印を付けておくことで、定盤位置変更機構402は、定盤位置変更機構402と同期したマーキング位置からの距離をロール検査装置201で把握し、被印刷基板の所望の位置に転写するよう相対的に位置を移動定盤107により移動することが出来る。 As a means for capturing the coordinate position of the substrate to be printed in advance, for example, the coordinate position of the design drawing of the substrate to be printed is read in advance as information on the coordinate position on the substrate to be printed by the surface plate position changing mechanism 402 shown in FIG. On the other hand, the surface plate position changing mechanism 402 can be moved from the marking position synchronized with the surface plate position changing mechanism 402 by marking and marking the same position on the printing plate as the substrate to be printed. The distance can be grasped by the roll inspection apparatus 201, and the position can be relatively moved by the moving surface plate 107 so as to be transferred to a desired position on the substrate to be printed.
またその逆の方式も可能で、当該印刷版の欠陥の座標位置の情報を定盤位置変更機構402に事前に読み込ませておくことで欠陥位置を把握でき、被印刷基板と同期したマーキング位置からの欠陥転写位置を、相対的に座標位置を移動することで、所望の位置に印刷することが可能であるが、どちらの方式を選択するかは使用する被印刷基板や印刷装置の仕様により選択することができる。 Further, the reverse method is also possible, and the defect position can be grasped by reading the coordinate position information of the defect of the printing plate into the surface plate position changing mechanism 402 in advance, and from the marking position synchronized with the substrate to be printed. It is possible to print at the desired position by relatively moving the coordinate position of the defect transfer position, but which method to select depends on the specifications of the substrate to be used and the printing device to be used can do.
欠陥位置を被印刷基板で相対的に移動する方法として自動化した方法を用いてもよいが、所望のパターン位置を得るには検査用カメラ撮像モニター401を具備させ、手動で位置を変更できる機構であってもよい。その双方を具備する機構でもよい。また、欠陥位置を回避する方法は前記座標位置入力だけで無く、欠陥位置を把握することで、版胴102と移動定盤107で周速差をつけることで相対的な位置を移動することも可能である。 An automated method may be used as a method of relatively moving the defect position on the substrate to be printed. However, in order to obtain a desired pattern position, an inspection camera imaging monitor 401 is provided, and a mechanism that can change the position manually is used. There may be. A mechanism having both of them may be used. Further, the method for avoiding the defect position is not only the coordinate position input, but also the relative position can be moved by grasping the defect position and making a difference in peripheral speed between the plate cylinder 102 and the moving surface plate 107. Is possible.
図5に定盤位置変更機構402を用いて欠陥位置を相対的に移動した場合と移動しない場合における、所望の位置での印刷結果の例を示す。図5に示したように、例えば、所望の画素位置に検査ロール上の転写欠陥503(インキが転写されなかった欠陥)が重なる場合、本印刷装置に具備した検査機構がある場合に、その欠陥位置を画素から外すような相対的な移動有りの場合502の操作を行うことで、画素内にインキがない状態を防ぐことができる。これを用いない場合、すなわち相対的な移動無しの場合501に示したように、検査ロール上の転写欠陥503が画素と座標位置が一致し、被印刷基板上の転写欠陥504が発生する。また、被印刷基板上の転写欠陥504を回避する方法としては、版胴102と移動定盤107で同期している周速に速度差をつけることで、所望のパターン位置を相対的に移動することでも前記相対的な移動有りの場合502と同等の効果が得られる。 FIG. 5 shows an example of the printing result at a desired position when the defect position is relatively moved using the surface plate position changing mechanism 402 and when the defect position is not moved. As shown in FIG. 5, for example, when a transfer defect 503 (defect in which ink was not transferred) on the inspection roll overlaps at a desired pixel position, if there is an inspection mechanism provided in the printing apparatus, the defect By performing the operation 502 when there is a relative movement that removes the position from the pixel, it is possible to prevent a state where there is no ink in the pixel. When this is not used, that is, when there is no relative movement, as shown in 501, the transfer defect 503 on the inspection roll matches the pixel and the coordinate position, and the transfer defect 504 on the substrate to be printed occurs. Further, as a method of avoiding the transfer defect 504 on the substrate to be printed, a desired pattern position is relatively moved by giving a speed difference to the peripheral speed synchronized with the plate cylinder 102 and the moving surface plate 107. Even in this case, an effect equivalent to that in the case of the relative movement 502 can be obtained.
以上、本発明の実施の形態に係る構成を説明したが、上記の印刷装置により印刷版の凸部パターン上の欠けや突起、付着異物に起因して発生するインキパターン欠陥を検査用ロール上にて検出し、その欠陥位置を避けて被印刷基板にインキパターンを転写できることを示した。本発明は高分子有機ELディスプレイに限定されるものではなく、凸版印刷法で形成する高精細のパターニング技術、例えば金属インキによる配線印刷、カラーフィルター等の着色インキの印刷などにおいて好適に実施が可能である。 As described above, the configuration according to the embodiment of the present invention has been described. However, an ink pattern defect generated due to a chip, a protrusion, or an attached foreign matter on the convex pattern of the printing plate by the above-described printing apparatus on the inspection roll. It was shown that the ink pattern can be transferred to the substrate to be printed while avoiding the defect position. The present invention is not limited to polymer organic EL displays, and can be suitably implemented in high-definition patterning technology formed by relief printing, for example, wiring printing with metal ink, printing of colored inks such as color filters, etc. It is.
以下に、発明を実施するための形態ついて実施例を用いて具体的に示す。なお、0052段から0056段に示す被印刷基板の作製、有機発光層形成用有機発光材料の調製、印刷用凸版の製造は実施例、比較例ともに共通である。 The mode for carrying out the invention will be specifically described below with reference to examples. The production of the substrate to be printed, the preparation of the organic light emitting material for forming the organic light emitting layer, and the production of the printing relief plate shown in the 0052 to 0056 stages are common to both the examples and the comparative examples.
(被印刷基板の作製)
被印刷基板として、支持体上に設けられたスイッチング素子として機能する薄膜トランジスタと、その上方に形成された平坦化層と、平坦化層上にコンタクトホールによって前記薄膜トランジスタと導通が図られている画素電極とを備えたアクティブマトリクス基板を用いた。
(Preparation of printed substrate)
As a substrate to be printed, a thin film transistor that functions as a switching element provided on a support, a planarization layer formed thereabove, and a pixel electrode that is electrically connected to the thin film transistor through a contact hole on the planarization layer An active matrix substrate provided with
次にこの被印刷基板上に設けられている画素電極の端部を被覆し、画素を区画するような形状で隔壁を形成した。隔壁の形成は、日本ゼオン社製ポジレジストZWD6216−6をスピンコータにて基板全面に厚み2μmで形成した後、フォトリソグラフィー法によって隔壁を形成した。画素サイズは長辺方向120μm、短辺方向35μmであり長辺方向の画素間の隔壁は10μmである。 Next, the edge part of the pixel electrode provided on this substrate to be printed was covered, and a partition was formed in a shape to partition the pixel. The partition walls were formed by forming a positive resist ZWD6216-6 manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd. on the entire surface of the substrate with a spin coater to a thickness of 2 μm, and then forming the partition walls by photolithography. The pixel size is 120 μm in the long side direction and 35 μm in the short side direction, and the partition between the pixels in the long side direction is 10 μm.
画素電極上にスピンコート法により正孔輸送層としてポリ−(3,4)−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)1.5wt%水溶液を100nm膜厚で成膜した。さらにこの成膜されたPEDOT/PSS薄膜を減圧下(5Pa〜10Pa)、100℃で1時間乾燥することで、被印刷基板を作製した。 A poly- (3,4) -ethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS) 1.5 wt% aqueous solution with a film thickness of 100 nm was formed as a hole transport layer on the pixel electrode by spin coating. Further, the PEDOT / PSS thin film thus formed was dried under reduced pressure (5 Pa to 10 Pa) at 100 ° C. for 1 hour to produce a printed substrate.
(有機発光層形成用有機発光材料の調製)
赤色、緑色、青色(RGB)の3色からなる以下の有機発光材料を調製した。
赤色発光インク(R):ポリフルオレン系誘導体のトルエン1wt%溶液
緑色発光インク(G):ポリフルオレン系誘導体のトルエン1wt%溶液
青色発光インク(B):ポリフルオレン系誘導体のトルエン1wt%溶液
(Preparation of organic light emitting material for forming organic light emitting layer)
The following organic light emitting materials consisting of three colors of red, green and blue (RGB) were prepared.
Red luminescent ink (R): 1 wt% solution of toluene in polyfluorene derivative Green luminescent ink (G): 1 wt% solution in toluene of polyfluorene derivative Blue luminescent ink (B): 1 wt% solution in toluene of polyfluorene derivative
(印刷用凸版の製造)
前述の感光性樹脂材(日本ゼオン社製ポジレジストZWD6216−6)に対し、有機エレクトロルミネッセンス表示素子の画素領域に対応して上記の被印刷基板の画素幅である25μmのストライプ状の開口と125μmの遮光部が形成された合成石英基材のクロムマスクを樹脂凸版パターンの原版とし、このクロムマスクをプロキシミティ露光装置にセットしたものを用いて樹脂凸版を露光した。プロキシミティギャップは100μmで、露光量は400mJ/cm2とした。露光の後、ライン搬送式スプレー現像機を用いて現像液である純水を噴射し現像パターンを得た。なお、有機ELディスプレイの作製のために、赤、青、緑の各色用に印刷用凸版を作製した。
(Manufacture of letterpress for printing)
In contrast to the above-described photosensitive resin material (positive resist ZWD 6216-6 manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), a stripe-shaped opening of 25 μm, which is the pixel width of the substrate to be printed, and 125 μm corresponding to the pixel region of the organic electroluminescence display element The resin relief printing plate was exposed using a chromium mask of a synthetic quartz base material on which the light shielding portion was formed as an original plate of the resin relief printing plate and using this chromium mask set in a proximity exposure apparatus. The proximity gap was 100 μm and the exposure dose was 400 mJ / cm 2 . After the exposure, a development pattern was obtained by spraying pure water as a developer using a line transport spray developer. In addition, the letterpress for printing was produced for each color of red, blue, and green for preparation of an organic EL display.
(有機EL素子の製造)
<実施例1>
作製した前記の印刷用凸版を本発明の印刷装置の版胴に固定した。これと前記有機発光材料を用いて、被印刷基板に対し、各色各々の版を用いて印刷をおこなった。有機発光層は、赤色有機発光層、緑色有機発光層、青色有機発光層がストライプ状に並ぶように印刷した。各色について印刷をおこなった後、オーブン内にて130℃で1時間乾燥を行った。形成されたパターン各色の平均膜厚は102nmだった。乾燥の後、印刷により形成した有機発光層上にカルシウムを10nm真空蒸着にて成膜し、さらにその上に銀を300nm真空蒸着し、最後にガラスキャップを用い封止をおこない本発明の有機EL素子を作製した。この有機EL素子の発光状態を確認したところ、非発光画素を確認した。この非発光画素の座標位置と当該凸版にあたる同座標位置を確認したところ、当該凸版が長辺方向5μm、短辺方向25μmの欠けを確認し、画素に対して長辺方向中央部(60μm)に位置していることを確認した。
(Manufacture of organic EL elements)
<Example 1>
The produced relief printing plate was fixed to the plate cylinder of the printing apparatus of the present invention. Using this and the organic light emitting material, printing was performed on the substrate to be printed using each color plate. The organic light emitting layer was printed so that the red organic light emitting layer, the green organic light emitting layer, and the blue organic light emitting layer were arranged in a stripe shape. After printing for each color, drying was performed in an oven at 130 ° C. for 1 hour. The average film thickness of each color of the formed pattern was 102 nm. After drying, calcium is deposited on the organic light-emitting layer formed by printing by 10 nm vacuum deposition, further silver is deposited by 300 nm vacuum deposition, and finally the glass cap is used for sealing, and then the organic EL of the present invention is used. An element was produced. When the light emission state of this organic EL element was confirmed, the non-light-emitting pixel was confirmed. When the coordinate position of the non-light-emitting pixel and the same coordinate position corresponding to the relief plate are confirmed, the relief plate confirms the lack of 5 μm in the long side direction and 25 μm in the short side direction, and is located at the central portion (60 μm) in the long side direction with respect to the pixel. Confirmed that it is located.
本発明の印刷装置を用い、検査用ロール上に転写された欠陥箇所を前記被印刷基板の印刷方向に対し、60μmだけ上方にずらせて隔壁上に座標位置が来るよう被印刷基板に対し、凸版欠陥座標位置を相対的に移動させ印刷したところ、前記で確認した非発光画素部は発光していた。また、60μmだけ下方にずらせて隔壁上に座標位置が来るよう被印刷基板に対し、凸版欠陥座標位置を相対的に移動させ印刷しても同じ結果となったことを確認した。 Using the printing apparatus of the present invention, the letterpress on the printed substrate so that the defect position transferred onto the inspection roll is shifted upward by 60 μm with respect to the printing direction of the printed substrate so that the coordinate position is on the partition wall. When the defect coordinate position was relatively moved and printed, the non-light emitting pixel portion confirmed above emitted light. Further, it was confirmed that the same result was obtained even when printing was performed by moving the letterpress defect coordinate position relative to the substrate to be printed so that the coordinate position was shifted on the partition wall by 60 μm.
また使用した検査用ロールを洗浄し、乾燥させ、再び検査用ロールに印刷したところ、同位置に欠陥があり、該凸版の欠けが非発光画素の原因であった。次回印刷から相対的に移動した座標位置で印刷することで、被印刷基板を損なうことなく、印刷することができた。 Moreover, when the used inspection roll was washed, dried, and printed again on the inspection roll, there was a defect at the same position, and the chipping of the relief plate was the cause of non-luminous pixels. By printing at the coordinate position relatively moved from the next printing, it was possible to print without damaging the substrate to be printed.
<実施例2>
実施例1と同じ凸版を用い同じ方法にて、有機EL素子を作製し、非発光画素を確認した。この非発光画素の座標位置と当該凸版にあたる座標位置を確認したところ、当該凸版が長辺方向5μm、短辺方向25μmの欠けを確認し、画素に対して長辺方向中央部(60μm)に位置していることを確認した。
<Example 2>
The organic EL element was produced by the same method using the same relief plate as Example 1, and the non-light emitting pixel was confirmed. When the coordinate position of the non-light emitting pixel and the coordinate position corresponding to the letterpress are confirmed, the letterpress confirms the lack of 5 μm in the long side direction and 25 μm in the short side direction, and is located at the central part (60 μm) in the long side direction with respect to the pixel. I confirmed that
これに対して、本発明の印刷装置の版胴の回転速度を被印刷基板が載置されている基板定盤速度より速く印刷した。この印刷の場合、被印刷基板に対し、前記非発光画素の印刷方向60μmほど凸版欠陥座標位置を相対的に上部へ移動させ隔壁上に欠陥部を印刷して有機EL素子を作製したところ、前記非発光画素部は発光していた。 In contrast, printing was performed at a rotational speed of the plate cylinder of the printing apparatus of the present invention faster than the substrate platen speed on which the substrate to be printed was placed. In the case of this printing, when the organic EL element was produced by moving the letterpress defect coordinate position relatively upward about 60 μm in the printing direction of the non-light emitting pixels with respect to the substrate to be printed and printing the defective portion on the partition wall, The non-light emitting pixel portion emitted light.
また使用した検査用ロールを洗浄し、乾燥させ、再び検査用ロールに印刷したところ、同位置に欠陥があり、該凸版の欠けが非発光画素の原因であった。次回印刷から相対的に移動した座標位置で印刷することで、被印刷基板を損なうことなく、印刷することができた。 Moreover, when the used inspection roll was washed, dried, and printed again on the inspection roll, there was a defect at the same position, and the chipping of the relief plate was the cause of non-luminous pixels. By printing at the coordinate position relatively moved from the next printing, it was possible to print without damaging the substrate to be printed.
<実施例3>
実施例1と同じ凸版を用い同じ方法にて、有機EL素子を作製し、非発光画素を確認した。この非発光画素の座標位置と当該凸版にあたる座標位置を確認したところ、当該凸版が長辺方向5μm、短辺方向25μmの欠けを確認し、画素に対して長辺方向中央部(60μm)に位置していることを確認した。
<Example 3>
The organic EL element was produced by the same method using the same relief plate as Example 1, and the non-light emitting pixel was confirmed. When the coordinate position of the non-light emitting pixel and the coordinate position corresponding to the letterpress are confirmed, the letterpress confirms the lack of 5 μm in the long side direction and 25 μm in the short side direction, and is located at the central part (60 μm) in the long side direction with respect to the pixel. I confirmed that
これに対して、版胴の回転速度を被印刷基板が載置されている基板定盤速度より遅く印刷した。この印刷の場合、被印刷基板に対し、前記非発光画素の印刷方向60μmほど相対的に下部へ移動させ隔壁上に欠陥部を印刷したところ、前記非発光画素部は発光していた。 On the other hand, printing was performed at a rotation speed of the plate cylinder slower than the substrate platen speed on which the substrate to be printed was placed. In the case of this printing, when the defect portion was printed on the partition wall by moving downward relative to the substrate to be printed by about 60 μm in the printing direction of the non-light emitting pixel, the non-light emitting pixel portion emitted light.
また使用した検査用ロールを洗浄し、乾燥させ、再び検査用ロールに印刷したところ、同位置に欠陥があり、該凸版の欠けが非発光画素の原因であった。次回印刷から相対的に移動した座標位置で印刷することで、被印刷基板を損なうことなく、印刷することができた。 Moreover, when the used inspection roll was washed, dried, and printed again on the inspection roll, there was a defect at the same position, and the chipping of the relief plate was the cause of non-luminous pixels. By printing at the coordinate position relatively moved from the next printing, it was possible to print without damaging the substrate to be printed.
<比較例1>
実施例1〜3で使用したのと同じ凸版を本発明の印刷装置の版胴に固定した。また、本発明の印刷装置から検査用ロールを外した。本発明の印刷装置にて前記有機発光材料を用いて、被印刷基板に対し、各色各々の版にて印刷をおこなった。有機発光層は、赤色有機発光層、緑色有機発光層、青色有機発光層がストライプ状に並ぶように印刷した。各色について印刷をおこなった後、オーブン内にて130℃で1時間乾燥を行った。形成されたパターン各色の平均膜厚は102nmだった。乾燥の後、印刷により形成した有機発光層上にカルシウムを10nm真空蒸着にて成膜し、さらにその上に銀を300nm真空蒸着し、最後にガラスキャップを用い封止をおこない有機EL素子を作製した。この有機EL素子の発光状態を確認したところ、非発光画素を確認した。この非発光画素の座標位置と当該凸版にあたる同座標位置を確認したところ、当該凸版が長辺方向5μm、短辺方向25μmの欠けを確認し、画素に対して長辺方向中央部(60μm)に位置していることを確認した。さらに印刷を続けたところ同箇所に同欠陥が転写されたため、この位置による欠陥が非発光画素になった要因であることを確認した。
<Comparative Example 1>
The same relief plate used in Examples 1 to 3 was fixed to the plate cylinder of the printing apparatus of the present invention. Further, the inspection roll was removed from the printing apparatus of the present invention. Using the organic light emitting material, the printing apparatus of the present invention performed printing on the substrate to be printed with each color plate. The organic light emitting layer was printed so that the red organic light emitting layer, the green organic light emitting layer, and the blue organic light emitting layer were arranged in a stripe shape. After printing for each color, drying was performed in an oven at 130 ° C. for 1 hour. The average film thickness of each color of the formed pattern was 102 nm. After drying, a calcium film is formed on the organic light-emitting layer formed by printing by vacuum deposition of 10 nm, and then silver is vacuum-deposited by 300 nm, and finally sealing is performed using a glass cap to produce an organic EL element. did. When the light emission state of this organic EL element was confirmed, the non-light-emitting pixel was confirmed. When the coordinate position of the non-light-emitting pixel and the same coordinate position corresponding to the relief plate are confirmed, the relief plate confirms the lack of 5 μm in the long side direction and 25 μm in the short side direction, and is located at the central portion (60 μm) in the long side direction with respect to the pixel. Confirmed that it is located. Further, when the printing was continued, the defect was transferred to the same location, so it was confirmed that the defect due to this position was a cause of non-light emitting pixels.
101・・・印刷版
102・・・版胴
103・・・インキパン
104・・・アニロックスロール
105・・・ドクター
106・・・被印刷基板
107・・・移動定盤
200・・・検査用ロール
201・・・ロール検査装置
202・・・転写したインキパターンの検査手段
203・・・照明手段
204・・・検査用カメラ
300・・・検査用ロール洗浄手段
301・・・検査用ロール乾燥手段
302・・・貯液槽
303・・・洗浄液供給ノズル
304・・・乾燥ノズル
401・・・検査用カメラ撮像モニター
402・・・定盤位置変更機構
403・・・相対的な移動座標
501・・・相対的な移動無しの場合
502・・・相対的な移動有りの場合
503・・・検査ロール上の転写欠陥
504・・・被印刷基板上の転写欠陥
601・・・版パターン
602・・・凹凸形状上面部
603・・・インキ
604・・・凹凸形状底面のくぼみ部
700・・・支持基台
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Printing plate 102 ... Plate cylinder 103 ... Ink pan 104 ... Anilox roll 105 ... Doctor 106 ... Printed substrate 107 ... Moving surface plate 200 ... Inspection roll 201 ... Roll inspection device 202 ... Transfer ink pattern inspection means 203 ... Illumination means 204 ... Inspection camera 300 ... Inspection roll cleaning means 301 ... Inspection roll drying means 302 ··· Storage tank 303 ··· Cleaning liquid supply nozzle 304 ··· Drying nozzle 401 ··· Inspection camera imaging monitor 402 ··· Surface plate position changing mechanism 403 · · · relative movement coordinates 501 ··· relative 502 with no relative movement 503 with relative movement 503... Transfer defect 504 on inspection roll 504 transfer defect 601 on printing substrate. 602 ... uneven upper surface portion 603 ... ink 604 recess of ... uneven bottom 700 ... support base
Claims (6)
前記ロール検査装置は、検査ロールに転写されたインキパターンの欠陥の有無及びその位置を検査する機能を有しており、
前記定盤位置変更機構には、前記被印刷基板の座標位置と前記検査ロールの座標位置とが互いに関連付けて予め入力されており、かつ、前記定盤位置変更機構は、前記ロール検査装置による検査情報に基づいて、前記印刷版と前記移動定盤との相対的な位置を調整する機能を有することを特徴とする印刷装置。 A printing plate, a movable platen on which a printing substrate to which an ink pattern is transferred from the printing plate and a relative position of the printing plate can be adjusted; and the printing plate instead of the printing substrate An inspection roll for transferring and inspecting an ink pattern from the roll, a roll inspection apparatus for inspecting an ink pattern transferred to the inspection roll, a position of the moving surface plate, and the substrate to be printed and the printing plate And a platen position changing mechanism for adjusting the relative position of the printing apparatus,
The roll inspection apparatus has a function of inspecting the presence or absence of defects in the ink pattern transferred to the inspection roll and its position,
In the surface plate position changing mechanism, the coordinate position of the substrate to be printed and the coordinate position of the inspection roll are input in advance in association with each other, and the surface plate position changing mechanism is inspected by the roll inspection apparatus. A printing apparatus having a function of adjusting a relative position between the printing plate and the movable surface plate based on information.
前記印刷版から前記検査ロールにインキパターンを転写する工程と、
前記検査ロールに転写された前記インキパターンの欠陥の有無及びその位置を検査する工程と、
前記インキパターンに欠陥があった場合には、この検査情報に基づいて、前記被印刷基板の所望の位置に前記欠陥が位置するように、前記印刷版と前記移動定盤との相対的な位置を調整する工程と、
を備えることを特徴とする印刷方法。 A printing method using the printing apparatus according to claim 1,
Transferring an ink pattern from the printing plate to the inspection roll;
Inspecting the presence or absence of defects in the ink pattern transferred to the inspection roll and the position thereof,
When there is a defect in the ink pattern, based on this inspection information, the relative position between the printing plate and the moving surface plate so that the defect is located at a desired position on the substrate to be printed. Adjusting the process,
A printing method comprising:
印刷版と移動定盤との相対的な位置を調整する前記工程が、版胴と前記移動定盤との間に速度差を持たせることで実施するものであることを特徴とする請求項5に記載の印刷方法。 The printing plate is attached to the plate cylinder;
6. The step of adjusting a relative position between a printing plate and a moving surface plate is performed by giving a speed difference between the plate cylinder and the moving surface plate. The printing method as described in.
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