KR20090090479A

KR20090090479A - 고 기화효율을 가진 기화장치

Info

Publication number: KR20090090479A
Application number: KR1020080015715A
Authority: KR
Inventors: 오원택
Original assignee: (주)지오엘리먼트
Priority date: 2008-02-21
Filing date: 2008-02-21
Publication date: 2009-08-26

Abstract

본 발명은 고 기화효율을 가진 기화장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 기화장치는 외부로부터 공급되는 (액상의) 화학약품을 유입 받는 약품유입관, 상기 (액상의) 화학약품을 기체 상태로 배출시키기 위한 배출관, 및 상기 약품유입관으로부터 상기 배출관까지 상기 화학약품이 이동하는 유동경로를 제공하도록 상기 약품유입관 및 상기 배출관에 접속되는 접속관, 및 상기 (액상의) 화학약품이 기화되도록 상기 유동경로를 가열하는 가열수단을 구비하며, 상기 유동경로는 상기 배출관과 상기 약품유입관의 사이에 복수개로 마련되어 있으며, 상기 복수개의 유동경로들은 서로 통해 있다. 이로써, 기화효율이 높게 된다.

약품유입관, 배출관, 접속관, 기화

Description

고 기화효율을 가진 기화장치{Vaporization apparatus with high vaporiazation efficiency}

본 발명은 고 기화효율을 가진 기화장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상의 화학약품의 기화량을 증가시켜 줄 수 있도록 구조가 개선된 고 기화효율을 가진 기화장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막과 같은 세라믹 박막 및 후막을 증착할 때 유기금속 화합물 또는 무기금속 화합물 등(이하 '화학약품'이라 한다)을 이용하는 원자층 증착법(ALD;atomic layerdeposition)이나 화학 증착법(CVD;Chemical Vapor Deposition)과 같은 공정을 사용한다.

이러한 ALD나 CVD와 같은 공정에서 사용되는 화학약품은 자체 증기압이 낮기 때문에, 일반적으로 상기 화학약품에 질소나 아르곤 등과 같은 캐리어 가스를 혼합하여 기포를 만들어 그 화학약품의 증기압을 높일 수 있는 기술이 개발되어 왔으며, 그러한 기술만으로는 원하는 기화량을 충분히 얻어내기 어렵기 때문에, 상기 화학약품을 히팅장치로 가열하여 그 화학약품의 온도를 올리는 방법이 사용되어 왔 다. 그러나, 이러한 방법에 의하여도 원하는 증기압이 나오지 않아, 구조가 간단하면서 원하는 증기압을 만들어 낼 수 있는 제품의 개발이 요구되고 있는 실정이다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 구조가 간단하여 제품의 제조원가를 절감할 수 있으며 화학약품의 기화효율을 높일 수 있는 고 기화효율을 가진 기화장치를 제공하고자 하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 외부로부터 공급되는 화학약품을 유입 받는 약품유입관; 상기 화학약품을 기체 상태로 배출시키기 위한 배출관; 및 상기 약품유입관으로부터 상기 배출관까지 상기 화학약품이 이동하는 유동경로를 제공하도록 상기 약품유입관 및 상기 배출관에 접속되는 접속관; 및 상기 화학약품이 기화되도록 상기 유동경로를 가열하는 가열수단;을 구비하며, 상기 유동경로는 상기 배출관과 상기 약품유입관의 사이에 복수개로 마련되어 있으며, 상기 복수개의 유동경로들은 서로 통해 있는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 접속관의 유동경로들은 각각 원형으로 형성되어서, 상기 배출관의 중심과의 거리가 반경방향으로 갈수록 점점 커지도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 접속관의 유동경로들은 각각 사각틀 형상으로 형성되어서, 상기 배출관의 중심과의 거리가 반경방향으로 갈수록 점점 커지도록 구성될 수 있다.

한편, 상기 접속관의 유동경로들은 각각 주름관 형상으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 기화장치는 통형 케이스를 더 포함하며, 상기 통형 케이스의 내부에 상기 접속관이 위치되고, 상기 약품유입관과 상기 배출관은 상기 통형 케이스 의 상부를 관통하여 각각 위치될 수 있다.

한편, 상기 배출관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심을 관통하여 위치하고, 상기 약품유입관은 상기 통형케이스의 상기 중심으로부터 이격된 위치를 관통하여 위치될 수 있다.

또한, 상기 약품유입관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심을 관통하여 위치하고, 상기 배출관은 상기 통형케이스의 상기 중심으로부터 이격된 위치를 관통하여 위치될 수 있다.

한편, 상기 배출관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심으로부터 이격된 위치를 관통하여 위치하고, 상기 약품유입관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심을 기준으로 상기 이격된 위치의 반대 위치를 관통하여 위치될 수 있다.

또한, 상기 유동경로들은, 상기 배출관의 중심과 상기 통형 케이스의 내측벽사이에 복수개로 더 마련될 수 있다.

한편, 상기 유동경로들은, 상기 약품유입관의 중심과 상기 통형 케이스의 내측벽사이에 복수개로 더 마련되어 있을 수 있다.

또한, 상기 기화장치는 외부로부터 공급되는 캐리어 가스를 상기 유동경로로 유입시키기 위한 가스유입관을 더 포함하며, 상기 가스 유입관을 통해 유입된 캐리어가스와 상기 약품유입관을 통해 유입된 화학약품의 혼합물은, 상기 유동경로들을 경유하여, 상기 배출관을 통해 기체상태로 외부로 배출되도록 구성될 수 있다.

한편, 상기 약품유입관과 배출관은, 각각 유속을 일시적으로 떨어뜨리기 위한 댐핑공간을 가질 수 있다.

또한, 상기 가스유입관은 상기 약품유입관의 댐핑공간과 통할 수 있다.

한편, 상기 가스유입관은 상기 유동경로들 중의 어느 하나와 직접 통할 수 있다.

또한, 상기 가열수단은 상기 케이스의 상하방향에 배치되어, 상기 유동경로들에 열복사 에너지를 전달하도록 구성될 수 있다.

한편, 상기 가열수단은 상기 케이스의 내부에 배치되어, 상기 유동경로들에 열복사 에너지를 전달하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 접속관의 유동경로들을 상하로 구획할 수 있도록 그 접속관 내부에 설치되는 구획판이 마련되어 있을 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 고 기화효율을 가진 기화장치에는 화학약품과 접속관 간의 접촉면적을 크게 할 수 있는 구조가 마련됨으로써, 화학약품의 기화효율을 높여 큰 기화량을 얻을 수 있는 효과가 있다.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 고 기화효율을 가진 기화장치(이하, "기화장치"라고 함)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기화장치를 설명하기 위한 개략적인 블럭도이고, 도 2는 본 발명 일실시예에 따른 기화장치의 요부 사시도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면도이며, 도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ 단면도이며, 도 5는 도 3의 단면도에 대응되는 사시도이다.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 기화장치는 통형의 케이스(1), 약품유입관(2), 가열수단(6), 배출관(4) 및 접속관(5)을 포함하여 이루어진다.

상기 케이스(1)는 환형의 플랜지부(111)를 가지는 케이스본체(11)와 상기 케이스본체(11)의 상측에 결합되는 커버부재(12)를 구비한다.

상기 약품유입관(2)은, 캐니스터(7)에 저장된 액상의 화학약품을 상기 케이스(1)의 내부에 유입시키기 위하여 그 케이스(1)에 접속된다. 상기 캐니스터(7)에 저장된 액상의 화학약품은 압축가스에 의한 고압분사력에 의해 상기 약품유입관(2)을 통해 상기 케이스(1)의 내부로 유입된다. 상기 압축가스는 압축가스 저장탱크(73)에 저장되어 있으며, 압축가스 개폐밸브(71)의 개폐동작에 의해 상기 캐니스터(7)의 내부로 선택적으로 유입된다.

여기서 화학약품은 예를 들면, Cu 나 Ta 등의 액체유기금속이나 Ba, Sr, Ti, Pb, Zr 등과 같은 유기금속을 유기용제에 녹인 유기금속용액일 수 있다. 또 다른 예를 들면, 액상 화학 약품은, 테트라에틸오르토실리케이트(tetraethlyorthosilicate;TEOS), 보라진(borazine), 알루미늄 트리섹 부톡사이드(aluminum trisec-butoxide), 카본 테트라클로라이드(carbon tetrachloride), 트리클로로에탄(trichloroethanes), 클로로포름(chloroform), 트리메틸포스파이트(trimethylphosphite), 디클로로에틸렌(dichloroethylenes), 트리메틸보레이트(trimethylborate), 디클로로메탄(dichloromethane), 티타늄 n-부톡사이드(titanium n-butoxide), 디에틸실란(diethylsilane), 헥사플루오로아세틸아세토 네이토-구리(1)트리메틸비닐실란[hexafluoroacetylacetonato-copper(1)trimethylvinylsilane], 이소프로폭사이드(isopropoxide), 트리에틸포스헤이트(triethylphoshate), 실리콘 테트라클로라이드(silicon tetrachloride), 탄탈륨 에톡사이드(tantalum ethoxide), 테트라키스(디에틸아미도)티타늄[tetrakis(diethylamido)titanium; TDEAT], 테트라키스(디메틸아미도)티타늄[tetrakis(dimethylamido)titanium; TDMAT], 비스-테르티아리부틸아미도 실란(bistertiarybutylamidosilane), 트리에틸보레이트(triethylborate), 티타늄 테트라클로라이드(titanium tetrachloride), 트리메틸포스페이트(trimethylphospate), 트리메틸오르토실리케이트(trimethylorthosilicate), 티타늄 에톡사이드(titaniumethoxide), 테트라메틸-사이클로-테트라실옥산(tetramethyl-cyclo-tetrasiloxane), 티타늄 n-프로폭사이드(titaniumn-propoxide), 트리(트리메틸실옥시)보론[tris(trimethylsiloxy)boron], 티타늄 이소부톡사이드(titaniumisobutoxide),트리(트리메틸시릴)포스페이트[tris(trimethylsilyl)phosphate],1,1,1,5,5,5-헥사플루오로(hexafluoro)-2,4-펜탄디온(pentanedione), 테트라메틸실란(tetramethylsilane) 및 이들의 혼합물들을 들 수 있다.

상기 가열수단(6)은 상기 케이스(1)의 내부로 유입된 화학약품을 가열시키는 역할을 한다. 이러한 가열수단(6)은 상기 케이스(1)의 상하방향으로 이격된 상태로 배치되어, 그 케이스(1)에 열복사 에너지를 전달하도록 구성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화장치는, 케이스(1)의 내부로 유입된 화학약품을 가열하는 가열수단은 다양한 방식으로 채용될 수 있다. 예를 들면, 가 열수단(6)은 수냉식, 공냉식, 전기식 어떠한 방식의 가열수단이라도 채용가능하다. 도 2에는 가열수단(6)이 도시되어 있지 않지만, 케이스(1)의 상부에 있는 약품유입관(2), 배출관(4), 및 접속관(5)에 방해되지 않은 임의의 위치에 배치될 수 있다. 도 1에 나타낸 가열수단(6)은 케이스(1)의 상하부에 위치되어 있지만, 케이스(1)의 좌우측 방향을 따라서 가열수단이 배치되어도 본원 발명의 목적은 달성될 수 있다.

나아가서, 가열수단을 케이스(1)의 내부에 장착하는 것도 가능하다. 예를 들면, 가열수단을 케이스의 플랜지부(111)에 장착시키는 구조도 가능하다. 또 다른 예를 들면, 접속관(5)과 나란하게 전기히터와 같은 가열수단을 장착하는 구조도 가능할 것이다.

상기 배출관(4)은, 상기 가열수단(6)에 의해 기화된 기체를 외부로 배출시키기 위하여 상기 케이스(1)에 접속된다. 상기 배출관(4)을 통해 배출된 기체는 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막과 같은 세라믹 박막 및 후막을 증착할 때 사용되고, 배출기체 개폐밸브(42)의 개폐동작에 의해 배출기체 저장탱크(43)에 선택적으로 저장된다.

상기 접속관(5)은 상기 약품유입관(2) 및 배출관(4)에 접속되어서, 상기 약품유입관(2)으로부터 상기 배출관(4)까지 상기 화학약품이 이동하는 유동경로(50)를 제공하는 역할을 한다.

본 발명에서 상기 접속관(5)의 유동경로(50)는, 상기 배출관(4)의 중심과 약품유입관(2)의 중심 사이 및 상기 배출관(4)의 중심과 상기 케이스본체(11)의 플랜지부(111)의 내측벽(111a) 사이에 복수개로 마련된다. 이러한 복수개의 유동경로(50)들은 서로 통해 있고, 상기 약품유입관(2)의 댐핑공간(21)과 상기 배출관(4)의 댐핑공간(41)에 서로 통해 있으며, 상기 접속관(5)에 유입된 화학약품과 그 접속관(5) 간의 접촉면적을 크게 하는 역할을 한다.

이와 같이, 상기 접속관(5)은 상기 약품유입관(2)을 통해 내부로 유입된 화학약품과의 접촉면적을 크게 하는 구조를 가짐으로써, 본 발명에 의한 기화장치가 복잡한 구성에 의하지 않고 간소한 구성으로 화학약품의 기화효율을 높여 큰 기화량을 얻을 수 있게 한다.

상기 접속관(5)의 구조는 상기 화학약품 간의 접촉면적을 크게 할 수 있는 구조라면 다양하게 구현이 가능하나, 상기 접속관(5)의 유동경로(50)들을 통해 흐르는 화학약품의 유동성능을 향상시키기 위하여 유동경로(50)가 악품유입관(2)으로부터 배출관(4)으로의 직선경로가 아닌 적어도 한번 절곡되는 구간을 가지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 도 3에 나타낸 접속관(5)의 구조처럼 원형으로 절곡되는 구조도 가능하며, 도 6이나 도 7과 같은 구조로 절곡되는 구조도 가능하다.

도 3에 도시된 것처럼, 원형으로 형성된 유동경로(50)들은, 상기 배출관(4)의 중심과의 거리가 반경방향으로 갈수록 점점 커지도록 구성된다. 즉, 상기 배출관(4)의 중심에서 가장 가깝게 위치한 유동경로(50)의 반경이 가장 작으며, 상기 배출관(4)의 중심에서 가장 멀리 위치한 유동경로(50)의 반경이 가장 크며, 반경이 가장 작은 유동경로(50)와 반경이 가장 큰 유동경로(50)의 사이에는 복수의 유동경로(50)들이 마련되어 있다.

이러한 구조에 의해 상기 약품유입관(2)을 통해 상기 접속관(5)의 내부에 유 입된 화약약품은 그 접속관(5)과의 접촉면적이 커지고, 상기 케이스(1)에 배치된 가열수단(6)에 의해 가열됨으로써, 큰 기화량을 얻을 수 있게 한다.

한편, 상기 약품유입관(2)과 배출관(4)은, 각각 유속을 일시적으로 떨어뜨리기 위한 댐핑공간(21)(41)을 가지는 것이 바람직하다. 즉, 작은 내경을 가지는 약품유입관(2)을 통해 갑작스럽게 많은 양의 화학약품이 상기 접속관(5)에 유입되면, 상기 접속관(5)의 개선된 구조로 인하여 화학약품의 유동성능 및 상기 접속관(5)과의 접촉성능이 저하됨으로써 화학약품의 기화효율을 떨어뜨릴 수 있게 된다.

따라서, 상기 약품유입관(2)을 통해 유입되는 화학약품이 일시적으로 상기 댐핑공간(21)에 저장된 후 상기 접속관(5)에 유입되게 하고, 상기 접속관(5)을 통해 배출되는 기체가 일시적으로 상기 배출관(4)의 댐핑공간(41)에 저장된 후 상기 배출관(4)에 유입되게 함으로써, 화학약품의 기화효율이 떨어지는 것을 방지할 필요가 있는 것이다.

그리고, 본 실시예에서는 상기 화학약품의 기화효율을 더욱 높이기 위해 상가 화학약품에 캐리어 가스를 혼합하여 줄 수 있는 구성이 마련되어 있다. 캐리어 가스는 예를 들면 질소가스나 아르곤 가스와 같은 불활성가스가 사용될 수 있다.

즉, 본 실시예에서는 외부로부터 공급되는 캐리어 가스를 상기 케이스(1)의 내부에 유입시키기 위한 가스유입관(3)이 구비된다.

본 실시예에서, 상기 가스유입관(3)은 상기 케이스(1)에 상기 약품유입관(2)과 서로 통하게 접속된다. 상기 캐리어 가스는 질소나 아르곤 등을 말하며, 상기 화학약품의 증기압을 높일 수 있도록 상기 화학약품에 혼합되어 기포를 형성하는 역할을 한다. 그리고, 상기 가스유입관(3)의 유동경로(31)는 상기 약품유입관(2)의 댐핑공간(21)과 서로 통해 있다.

상기 실시예에서 가스 유입관(3)은 약품유입관(2)과 인접하여 댐핑공간(21)과 서로 통해있는 구조이나, 이러한 구조에 반드시 한정될 필요는 없다. 예를 들면, 가스 유입관(3)은, 접속관(5)의 특정 영역(미도시)과 연통되어 있더라도 본원 발명의 목적은 달성될 수 있다. 약품유입관(2)과 배출관(4)을 서로 연결하는 접속관(5)의 길이는 길수록 바람직하지만, 도 3의 실시예처럼 가스 유입관(3)은 약품유입관(2)과 반드시 가까이 있을 필요는 없으며, 예를 들면 도 8과 도 9에 예시적으로 도시된 것처럼 접속관(5)의 특정영역과 연통하도록 위치되어도 괜찮다.

도 3에 도시된 실시예에 의하면, 상기 액상의 화학약품과 캐리어 가스의 혼합물이, 상기 가열수단(6)에 의해 가열되고, 상기 접속관(5)에 접촉되며, 상기 배출관(4)을 통해 기체상태로 외부로 배출됨으로써, 더욱 큰 기화량을 얻을 수 있는 장점이 있다.

그리고, 본 실시예에서는 상기 접속관(5)의 유동경로(50)들을 상하로 구획하는 구획판(51)이 마련되어 있다. 이러한 구조에 의하면, 상기 화학약품과 접속관(5) 간의 접촉면적을 더욱 크게 할 수 있는 장점이 있다.

도면 중 미설명부호 22는 화약약품을 상기 약품유입관(2)을 통해 상기 케이스(1)의 내부로 유입시키기 위한 화약약품 개폐밸브이고, 32는 캐리어가스를 상기 가스유입관(3)을 통해 상기 케이스(1)의 내부로 유입시키기 위한 캐리어가스 개폐밸브이며, 33은 캐리어가스가 저장되어 있는 캐리어가스 저장탱크이다.

이하에서는 이러한 구성을 가지는 본 발명의 일실시예에 따른 기화장치의 작동원리 및 작용에 대해 설명하기로 한다.

압축가스 개폐밸브가 열려 압축가스가 캐니스터(7)의 내부로 유입되면, 그 캐니스터(7)에 저장되어 있는 액상의 화약약품이 약품유입관(2)을 통해 접속관(5)에 유입된다. 여기서, 상기 화학약품이 상기 접속관(5)에 유입되기 전에, 가스유입관(3)을 통해 캐리어 가스가 상기 화약약품에 혼합되고, 화학약품과 캐리어 가스의 혼합물이 상기 접속관(5)에 유입된다.

상기 접속관(5)에 유입된 혼합물을 그 접속관(5)의 유동경로(50)들을 경유하면서 가열수단(6)에 의해 가열됨으로써 기화되며, 기화된 기체는 배출관(4)을 통해 외부로 배출된다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 상기 혼합물이 복수의 유동경로(50)들을 경유하게 함으로써 접속관(5) 간의 접촉면적을 커지게 하는 구성을 가짐으로써, 간단한 구조로 큰 기화량을 얻을 수 있게 된다.

한편, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 앞에서 설명한 실시예와는 달리, 접속관(150)의 유동경로(151)들이 대략 사각틀 형상을 가진다. 상기 액상의 화학약품과 캐리어 가스의 혼합물은 상기 유동경로(151)들 및 배출관(140)의 댐핑공간(141)을 경유하여 기체상태로 배출된다. 이러한 구조를 가지는 기화장치는, 상기 유동경로(151)에 유입된 혼합물과 접속관(150) 간의 접촉면적이 앞에서 설명한 실시예처럼 접촉면적이 커지는 구조를 가지므로 기화효율이 커지는 장점을 가진다. 도 6에 는 미도시되어 있지만, 도 4처럼 접속관을 상하로 구획하는 구획판을 도 6이나 도 7에 도시된 접속관(150)들도 2개 이상 구비할 수 있다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 앞에서 설명한 실시예와는 달리, 약품유입관(220)과 배출관(240)의 사이에만 복수의 유동경로(251)들이 마련되어 있으며, 주름관 형상을 가진다. 상기 약품유입관(220)에 유입된 액상의 화학약품은 그 약품유입관의 댐핑공간(221)을 경유하여 주름관 형상을 가지는 접속관(250)의 유동경로(251)들 및 배출관(240)의 댐핑공간(241)을 경유하여 외부로 배출된다.

이러한 구조를 가지는 기화장치도 마찬가지로 앞에서 설명한 실시예들과 같이 접촉면적이 커지도록 하는 구조를 가지고 있으므로 기화효율을 향상시킬 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 가스유입관(3)은 접속관의 임의의 중간 영역과 연통되도록 구성될 수 있다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도이다. 마찬가지로, 가스유입관(3)은 접속관의 임의의 중간 영역과 연통되도록 구성될 수 있다.

이상의 실시예들에서, 도면 부호 2는 약품 유입관으로 설명하였고, 도면 부호 4는 배출관으로 설명하였지만, 이와 반대로 캐니스터로부터 오는 약품을 도면 부호 4로 유입하고 도면 부호 2로 기화된 약품을 배출하는 구성으로도 가능함은 물 론이다.

또한, 상술한 가열수단은 케이스의 상하에서 가열하는 것으로 설명하였지만, 이와 달리 케이스의 좌우측에서 가열하거나 또는 케이스의 내부에서 가열하는 구조로도 당연히 가능하다.

한편, 상술한 접속관을 원형, 사각틀형으로 설명하였지만 원형과 사각틀형의 조합으로도 구성이 가능하며, 접속관의 내부에 상하를 구획하는 구획판을 3개이상 설치하는 구성도 가능할 것이다. 나아가서 구획판을 2개이상 가진 접속관을 복층으로 하는 변형 구성도 가능할 것이다.

이상, 본 발명에 대한 바람직한 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 위에서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며 본 발명이 속하는 기술분야에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있음은 자명하다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기화장치를 설명하기 위한 개략적인 블럭도.

도 2는 본 발명 일실시예에 따른 기화장치의 요부 사시도.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면도.

도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ 단면도.

도 5는 도 3의 단면도에 대응되는 사시도.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기화장치의 요부 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1:케이스 11:케이스본체

111:플랜지부 111a:내측벽

12:커버부재 2:약품유입관

21:댐핑공간 22:화약약품 개폐밸브

3:가스유입관 31:유동경로

32:캐리어가스 개폐밸브 33:캐리어가스 저장탱크

4:배출관 41:댐핑공간

42:배출기체 개폐밸브 43:배출기체 저장탱크

5:접속관 50:유동경로

51:구획판 6:가열수단

7:캐니스터 71:압축가스 개폐밸브

73:압축가스 저장탱크

Claims

외부로부터 공급되는 화학약품을 유입 받는 약품유입관;

상기 화학약품을 기체 상태로 배출시키기 위한 배출관; 및

상기 약품유입관으로부터 상기 배출관까지 상기 화학약품이 이동하는 유동경로를 제공하도록 상기 약품유입관 및 상기 배출관에 접속되는 접속관; 및

상기 (액상의) 화학약품이 기화되도록 상기 유동경로를 가열하는 가열수단;을 구비하며,

상기 유동경로는 상기 배출관과 상기 약품유입관의 사이에 복수개로 마련되어 있으며, 상기 복수개의 유동경로들은 서로 통해 있는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제1항에 있어서,

상기 접속관의 유동경로들은 각각 원형으로 형성되어서, 상기 배출관의 중심과의 거리가 반경방향으로 갈수록 점점 커지도록 구성된 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제1항에 있어서,

상기 접속관의 유동경로들은 각각 사각틀 형상으로 형성되어서, 상기 배출관의 중심과의 거리가 반경방향으로 갈수록 점점 커지도록 구성된 것을 특징으로 하 는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제1항에 있어서,

상기 접속관의 유동경로들은 각각 주름관 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제1항에 있어서,

통형 케이스를 더 포함하며,

상기 통형 케이스의 내부에 상기 접속관이 위치되고, 상기 약품유입관과 상기 배출관은 상기 통형 케이스의 상부를 관통하여 각각 위치되는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제5항에 있어서,

상기 배출관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심을 관통하여 위치하고, 상기 약품유입관은 상기 통형케이스의 상기 중심으로부터 이격된 위치를 관통하여 위치되는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제5항에 있어서,

상기 약품유입관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심을 관통하여 위치하고, 상기 배출관은 상기 통형케이스의 상기 중심으로부터 이격된 위치를 관통하여 위치 되는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제5항에 있어서,

상기 배출관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심으로부터 이격된 위치를 관통하여 위치하고, 상기 약품유입관은 상기 통형 케이스의 상부의 중심을 기준으로 상기 이격된 위치의 반대 위치를 관통하여 위치되는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제6항에 있어서,

상기 유동경로들은,

상기 배출관의 중심과 상기 통형 케이스의 내측벽사이에 복수개로 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제7항에 있어서,

상기 유동경로들은,

상기 약품유입관의 중심과 상기 통형 케이스의 내측벽사이에 복수개로 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제1항에 있어서,

외부로부터 공급되는 캐리어 가스를 상기 유동경로로 유입시키기 위한 가스 유입관을 더 포함하며,

상기 가스 유입관을 통해 유입된 캐리어가스와 상기 약품유입관을 통해 유입된 (액상의) 화학약품의 혼합물은, 상기 유동경로들을 경유하여, 상기 배출관을 통해 기체상태로 외부로 배출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제11항에 있어서,

상기 약품유입관과 배출관은, 각각 유속을 일시적으로 떨어뜨리기 위한 댐핑공간을 가지는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제12항에 있어서,

상기 가스유입관은 상기 약품유입관의 댐핑공간과 통해있는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제12항에 있어서,

상기 가스유입관은 상기 유동경로들 중의 어느 하나와 직접 통해 있는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제5항에 있어서,

상기 가열수단은 상기 케이스의 상하방향에 배치되어, 상기 유동경로들에 열 복사 에너지를 전달하도록 구성된 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제5항에 있어서,

상기 가열수단은 상기 케이스의 내부에 배치되어, 상기 유동경로들에 열복사 에너지를 전달하도록 구성된 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.
제1항에 있어서,

상기 접속관의 유동경로들을 상하로 구획할 수 있도록 그 접속관 내부에 설치되는 구획판이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 고 기화효율을 가진 기화장치.