KR102024830B1 - 기화기 - Google Patents

Abstract

제1도관(3)과 제2도관(5)이 설치된 커버(2); 제1 단위블록(4); 및
제2 단위블록(14);을 포함하며, 제1 단위블록(4)과 제2 단위블록(14)간에 물질이 이동되도록 서로 연통되고, 제2 단위블록(14)은 제1 단위블록(4)의 하부에 수직으로 적층되며, 제1도관(3)은 제1단위블록(4)과 연통되어 있고, 제2도관(5)은 제2단위블록(14)과 연통되어 있으며, 제1단위블록(4)과 제2단위블록(14) 중 적어도 하나에는, 캐리어가스의 이동경로이면서 소스 원료를 수용하는 트렌치를 형성하는 펜스가 형성되어 있는 것인, 기화기가 개시된다.

Description

기화기{evaporator}

기화기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 원료를 한쪽으로 편중되지 않고, 캐리어 가스의 이동경로가 최대화 되도록 함으로써 기화 효율을 높인 기화기에 관한 것이다.

반도체, 디스플레이, 발광다이오드 등 전자재료의 제조 공정에 있어서 필수적인 박막을 입히는 화학기상장치(CVD)나 원자층증차장치(ALD) 등에 사용되는 각종 원료(소스)는 가스, 액체, 또는 고체의 형태로 공급된다.

가스의 형태를 가진 원료의 경우는 압력을 조절하여 일정량을 공급할 수 있는 방법으로 사용되지만 액체나 고체의 경우에는 자체적인 압력이 매우 낮기 때문에 대부분 캐니스터라는 앰플에 담아서, 캐리어 가스(불활성 가스)를 이용한 버블링이나 가열을 통한 증기 발생을 통해서 기화를 시킨 이후에 반응 챔버로 공급하는 방법을 사용하고 있다.

캐니스터에 액체 형태의 원료를 넣은 후 일정량씩 기화시켜 사용하는 방법에 대하여는 다양한 기술들이 공지되어 있지만, 고체 형태의 원료를 일정량씩 안정적으로 기화시키기 위해서는 일반적인 버블러 형태의 캐니스터로는 불가능하며 특수한 기화기가 필요한 실정이다.

고체 원료를 기화시키는 종래 기술의 하나로서 한국특허 공개공보 제10-2010-0137016호(2010. 12. 29)("기화기, 기화기 사용 방법, 기화 장치 사용 방법, 용기, 기화기 유닛 및 반도체 프로세스 챔버용 증기 발생 방법")에 공개된 것이 있으나, 이러한 기술은 원료가 외부로 누출되지 않도록 하기 위해서 앰플을 별도로 사용하고 있어, 현실적으로 사용하기가 여의치 않다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 원료를 어느 한쪽으로 편중되지 않고 고르게 저장한 상태에서 기화시킬 수 있는 기화기가 제공될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 기화기에 저장되는 원료의 특정 영역만 기화되는 현상이 발생되지 않고 원료를 고르게 사용하도록 하고, 캐리어 가스가 최대한 많은 거리를 이동하도록 하는 기화기가 제공될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 적어도 하나 이상의 단위 블록이 적층 구성된 기화기가 제공된다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 원료를 어느 한쪽으로 편중되지 않고 고르게 저장한 상태에서 기화시킬 수 있도록 하는 구성을 기화기가 제공된다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 원료를 고르고 최대한 사용할 수 있도록 하는 구성을 가진 기화기가 제공된다.

본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 원료를 한쪽으로 편중되지 않고, 캐리어 가스의 이동경로가 최대화될 수 있다.

또한, 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 원료를 고르게 사용하면서도 최대한 사용할 수 있게 된다.

도 1 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.

이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서, 여러 가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될 수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 별 이유 없이 혼돈이 오는 것을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기를 다양한 각도에서 바라본 것이다.

이들 도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 적어도 하나 이상의 단위 블록(4, 6, 8, 12, 14)을 포함한다. 여기서, 단위 블록이 복수개 포함되는 경우에는, 이들 단위 블록들은 수직으로 적층되며, 물질이 이동할 수 있도록 서로 연통된다.

본원 명세서에서, '단위 블록'이라고 함은, 트렌치용 펜스 및/또는 격벽이 설치된 블록을 의미한다. 또한, '트렌치'라고 함은 원료를 수용하고, 실시예에 따라서는 캐리어 가스가 이동할 수 있는 이동 경로로서의 역활을 수행하는 것을 의미하며, '트렌치용 펜스(이하, '펜스')'는 트렌치를 정의(또는 형성)하기 위한 구성요소를 의미하며, '격벽'은 액체 또는 고체 소스가 어느 한쪽으로 편중되지 않도록 하기 위한 목적으로 트렌치 내에 설치되는 구성요소를 의미한다.

도 1 내지 도 4에 예시된 단위 블록의 갯수는 예시적인 것으로서, 본원 발명이 그러한 갯수에만 한정되는 것이 아님을 본원 발명이 속하는 기술분야에 속하는 자는 이해할 수 있을 것이다.

예를 들면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 1개의 단위 블록(14)를 포함하도록 구성되는 것도 가능하다.

다른 예를 들면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 2개의 단위 블록(4, 14)를 포함하도록 구성되는 것도 가능하다. 여기서, 단위 블록(14)와 단위 블록(4)간에는 물질이 이동되도록 서로 연통되며, 이들은 수직으로 적층된다.

다른 예를 들면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 3개의 단위 블록들(4, 6, 14)을 포함하도록 구성되는 것도 가능하다.

다른 예를 들면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 4개의 단위 블록들(4, 6, 8, 14)을 포함하도록 구성되는 것도 가능하다.

다른 예를 들면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 6 개 이상의 단위블록으로 구성되는 것도 가능하다.

다른 예를 들면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 복수개의 단위 블록을 포함하되, 복수개의 단위 블록들 사이에, 복수개의 단위 블록들을 연통시키는 다른 블록이 하나 이상 게재되도록 구성되는 것도 가능하다. 여기서, '다른 블록'은 본원 명세서에서 의미하는 단위 블록이 아닌 다른 구성을 가진 블록을 의미하여, 당업자는 현장에 맞도록 본원의 발명에 따른 단위 블록들 사이에 '다른 블록'을 삽입하여 사용하는 것도 가능할 것이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는 적어도 하나의 도관(3, 5)이 설치된 커버(2)와, 복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)을 포함하며, 단위 블록들 사이에는 가스켓이 삽입될 수 있다. 예를 들면, 도 7을 참조하면, 당업자는 가스켓이 삽입된다는 의미를 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 가스켓의 구성과 기능은 다른 도면들을 참조하여 상세히 후술하기로 한다.

본원 발명에서 가스켓이 반드시 사용될 필요는 없으며, 당업자가 필요에 따라 복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)들 사이에 모두 넣거나, 전혀 넣지 않거나, 또는 일부 단위 블록들 사이에만 넣도록 하는 것이 가능하다. 예를 들면, 단위 블록(4)와 단위 블록(6)의 사이에만 가스켓을 삽입하고, 다른 단위 블록들(8, 12, 14) 사이에는 가스켓을 삽입하지 않는 것이 가능하다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)은 수직으로 적층되며, 서로 인접한 단위 블록들간에는 물질이 이동할 수 있도록 서로 연통되는 구조를 가진다.

커버(2)에는 캐리어 가스, 반응챔버, 퍼지용 도관, 또는 배기용 도관과 연통되는 적어도 한개의 도관이 설치된다. 도 1 내지 도 4를 참조하면, 커버(2)에는 2개의 도관이 설치된 것이 예시적으로 도시되어 있으며, 이들 각각의 도관은 캐리어 가스 도관, 반응챔버, 퍼지용 도관, 또는 배기용 도관 중 어느 하나와 연통될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 커버(2)에 설치된 도관의 입구에는 필터 등과 같은 수단을 장착함으로써, 비산할 수 있는 고체 및 액체 원료가 통과할 수 없도록 할 수 있다.

본 발명의 대안적 실시예에 따르면, 커버(2)에 설치된 도관(5)이 외부로부터 어떤 물질을 유입받는 도관(예를 들면, 캐리어 가스 도관)과 연결된 경우, 그 도관(5)에는 Restrictor가 설치될 수 있다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 커버(2)에는 캐리어 가스와 연통되는 도관(5)과 기화된 물질이 배기되는 도관(3)이 설치되어 있다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 캐리어 가스와 연통되는 도관(5)은, 커버(2)와 단위 블록들(복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12)을 관통하지 않고, 그들의 측면에서 하방으로 연장되도록 구성되어 있으며, 최하위에 위치한 단위 블록(14)과 연통된다.

본 발명의 예시적 실시예에 따르면, 캐리어 가스와 연통되는 도관(5)은 단위 블록들을 관통하지 않고, 커버와 단위 블록들의 측면에 마련된 개구부들(23, 43, 63, 83, 123)을 통해서 최하위 단위 블록(14)까지 연장된 후 단위 블록(14)과 연통된다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)은 커버(2)와 함께, 복수개의 체결수단(c)에 의해 수직으로 적층되고, 적절한 체결수단(예를 들면, 볼트, 너트, 클램프, 등등)을 이용하여 이들은 상호 결합된다.

체결수단(c)은 복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)의 내부와 외부가 차단되도록 밀폐를 보증하는 것이 중요하다.

본원 발명의 하나 이상의 실시예에서 사용되는 가스켓은, 캐리어 가스의 이동 경로를 정의하기도 하지만, 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)의 내부와 외부가 차단되어 완전히 밀폐되도록 하는 것에도 기여한다.

복수개의 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)은 본원 발명에 따른 구성을 가지고, 또한, 도관(5)을 단위 블록들(4, 6, 8, 12, 14)을 관통하지 않고, 측면을 통해서 최 하위 단위 블록과 연통되도록 함으로써, 앰플과 같은 별도의 밀폐 수단이 없이도 외부와 완전히 차단되도록 된다.

도 5는 도 4에서의 AA 선을 따라서 절단한 것이고, 도 6은 도 4에서 BB 선을 따라서 절단한 것을 나타낸 것이다.

도 5와 도 6을 참조하면, 단위 블록(4)은, 블록 본체(41), 펜스(45), 격벽(46), 커버(2)에 설치된 도관(23)과 연통되는 개구부(23), 및 단위 블록(4)의 하부에 위치한 단위 블록(6)과 연통되는 개구부(48)를 포함한다.

옵션으로서, 단위 블록(4)와 커버(2) 사이에는 가스켓(30)이 설치될 수 있다.

단위 블록(6)은, 블록 본체(61), 펜스(65), 격벽(66), 단위 블록(6)의 상부에 위치한 단위 블록(4)의 개구부(48)와 연통되는 부분(67), 및 단위 블록(6)의 하부에 위치한 단위 블록(8)과 연통되는 개구부(68)를 포함한다.

단위 블록(4)와 단위 블록(6) 사이에도 가스켓(50)이 설치될 수 있다.

다른 단위 블록들(8, 12, 14)의 구성도 상술한 단위 블록들(4, 6)과 같은 방식으로 적층되고 서로 연통될 수 있다. 그리고, 단위 블록들(8, 12, 14)의 사이에도, 옵션으로서, 가스켓들(70, 90, 110)이 각각 위치될 수 있다.

도 7을 참조하여, 커버(2), 단위 블록(4), 및 단위 블록(6)이 결합되는 구성을 설명하기로 한다. 다른 단위 블록들 사이에도 이와 유사한 방식으로 구성될 수 있음을 당업자는 용이하게 이해할 것이다.

도 7을 참조하면, 커버는 커버 본체(21)를 포함하며, 커버 본체(21)에는 도관들(5, 3)이 관통하여 삽입될 수 있는 홀(h1)과 개구부(23)가 형성된다.

가스켓(30)은 커버의 홀(h1)과 연통되는 홀(h2)를 포함하며, 가스켓(30)의 배면은 도 10과 같은 형태로 구성될 수 있다.

예를 들면, 당업자는 도 10과 같은 가스켓(30)을 이용하여, 캐리어 가스의 이동 경로가 최대한 길게 되도록 설계할 수 있다.

단위 블록(4)과 단위 블록(6) 사이에도 가스켓(50)이 위치될 수 있으며, 가스켓(50)은 단위 블록(4)과 단위 블록(6)을 연통시키기 위한 홀(h3)을 구비한다.

한편, 도관(3)은, 앞서 설명한 바와 같이, 커버(1)의 테두리 부분에 형성된 개구부(23)와, 각 단위 블록의 테두리 부분에 형성된 개구부를 관통하도록 위치된다.

단위 블록(4)과 단위 블록(6)에는 각각 펜스가 설치되며, 펜스에 의해 형성되는 트렌치를 따라서 캐리어 가스가 이동하게 된다. 펜스와 트렌치에 대하여는 도 8을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 8은 단위 블록(4)의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다.

도 8을 참조하면, 단위 블록(4)에는 캐리어 가스의 이동경로이면서 소스 원료를 수용하는 트렌치(49)를 형성하는 펜스(45)가 복수개 형성되어 있고, 펜스(45)에 의해 정의된 트렌치(49) 내에는 소스를 수용하기 위한 격벽(46)이 복수개 형성되어 있다.

한편, 트렌치(49)에는 소스 원료가 수용되며, 펜스(45) 높이 보다 높게 소스 원료가 트렌츠(49)에 수용되는 경우라도, 캐리어 가스가 트렌치(49)를 따라서 이동할 수 있게 된다.

본 발명의 대안적 실시예에 따르면, 트렌치(49)의 적어도 어느 한쪽의 끝(47 또는 48과 같은 개구부가 위치된 곳)에는 도관이 설치될 수 있고, 그러한 도관은 다른 단위 블록과 연통되거나 또는 커버(2)에 설치된 적어도 하나의 도관과 연통되도록 구성될 수 있다.

본 발명의 대안적 실시예에 따르면, 트렌치(49)의 적어도 어느 한쪽의 끝에 설치되는 도관에는, 비산할 수도 있는 고체 및 액체 원료가 통과할 수 없도록 하는 필터와 같은 구조물이 설치될 수 있다.

단위 블록(4)은 커버(2)의 홀(h1)과 연통되는 부분(47)을 가지며, 또한 단위 블록(6)과도 연통되는 개구부(48)를 가진다.

개구부(48)는 트렌치(49)의 바닥면보다 높은 곳에 위치하며, 이러한 구성에 의해 단위 브록(4)의 트렌치(49)에 수용된 소스 원료가 단위 블록(6) 쪽으로 흘러가지 않게 된다.

또한, 개구부(48)의 위치는 펜스(45) 높이 보다는 높지 않아서, 개구부(48)를 통해서 들어오는 캐리어 가스가 트렌치(49)를 따라서 원활하게 이동할 수 있게 된다.

도 8을 계속 참조하면, 격벽(46)은 복수개 설치될 수 있으며, 격벽(46)은 트렌치(49)에서의 소스 원료의 움직임을 제한하기 위한 것이다. 본 실시예에 따르면, 격벽(46)의 높이는 펜스(45)보다 낮으며, 도 8의 도면을 참조하면 직관적으로 알 수 있듯이, 격벽(46)과 펜스(45)간에는 단차가 존재한다. 이러한 단차는, 가스켓(30)이 단위 블록(4)에 장착되는 경우를 고려한 것이다.

가스켓(30)이 커버(2)와 단위 블록(4) 사이에 위치되면, 펜스(45)는 가스켓(30)의 홈들(g1, g2, g3, g4)에 삽입된다. 이러한 경우, 만약 격벽(46)과 펜스 간의 단차가 없다면, 캐리어 가스가 이동하지 못할 수 있을 것이다.

한편, 도 8의 실시예는 도 11에 예시적으로 도시한 바와 같이 변형 구성될 수 있다. 즉, 격벽이 없도록 변형될 수 있다. 다른 단위 블록들(6, 8, 12, 14) 역시 도 11에 도시한 것과 같은 변형 구성을 가질 수 있다.

다르게는, 도 8에 예시적으로 도시된 단위 블록(4)은 펜스 없이 격벽만 있도록 변형 구성되는 것도 가능할 것이다.

또 다르게는, 도 8에 예시적으로 도시된 단위 블록(4)은 펜스 없이 격벽만 있고, 펜스는 가스켓(30)에 형성되도록 하는 구성도 가능하다. 다른 단위 블록들(6, 8, 12, 14) 역시 같은 방식으로 변형 가능할 것이다.

또 다르게는, 도 8에 예시적으로 도시된 단위 블록(4)은, 펜스(45)와 격벽(46)이 가스켓(30)에 고정되어 있고 단위 블록(4)을 향하여 하방으로 연장되도록 변형 구성되는 것도 가능하다.

또 다르게는, 도 8에 예시적으로 도시된 단위 블록(4)은 펜스(45)만을 가지도록 구성되고, 격벽(46)은 가스켓(30)에 형성되는 변형 구성도 가능하다.

도 9는 단위 블록(6)의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다.

도 9를 참조하면, 도 8과 동일 또는 유사한 방식으로 구성되어 있음을 알 수 있다.

도 9에 예시적으로 도시된 단위 블록(6)은 트렌치(69)를 형성하기 위한 펜스(65)가 복수개 형성되어 있고, 펜스(65)에 의해 형성된 트렌치(69)에는 소스를 각각 수용하기 위한 격벽(66)이 적어도 한개 이상 추가적으로 형성될 수 있다.

단위 블록(6)과 단위 블록(4)은 캐리어 가스가 이동될 수 있도록 서로 연통되어 있으며, 단위 블록(6)은 단위 블록(8)과도 연통된다. 상세하게는, 단위 블록(6)에 형성된 트렌치(69)의 양단 중 일 단부(67)가 단위 블록(4)의 개구부(48)와 연통되고, 트렌치(69)의 다른 타 단부에 형성된 개구부(68)가 단위 블록(8)과 연통된다.

한편, 단위 블록(6)의 상부에 가스켓(40)이 위치되는 경우에는, 도 9에 도시된 바와 같이 캐리어 가스가 화살표 방향으로 흐를 수 있게 되며, 기화기(10)의 밀폐에도 이바지 하게 된다.

도 9를 참조하면, 격벽(66)은 복수개 설치되며, 격벽(66)은 소스를 각각 별도로 수용하기 위한 것이다. 본 실시예에 따르면, 격벽(66)의 높이는 펜스(65)보다 낮으며, 도 9의 도면을 참조하면 직관적으로 알 수 있듯이, 격벽(66)과 펜스(65)간에는 단차가 존재한다. 단차가 존재하는 이유에 대하여는 도 8의 실시예의 것과 동일하므로 여기서는 생략하기로 한다.

도 9의 단위 블록(6)에서 설명되지 않는 부분은, 도 8의 단위 블록(4)의 설명을 참조하기 바란다. 또한, 도 9에 예시적으로 도시된 단위 블록(4)도, 도 8을 참조하여 설명한 변형 구성과 동일 또는 유사한 방식으로 구현될 수 있다.

상술한 바와 같이 단위 블록(4)과 단위 블록(6)은, 캐리어 가스가 가능한 최대 이동 경로를 이동하도록 하는 구성을 가지고 있으며, 이를 위해서 트렌치 및/또는 가스켓을 사용하고 있다.

기화기(10)에 포함된 나머지 단위 블록들(8, 12, 14)의 구성 역시, 도 8 또는 도 9에 예시적으로 도시된 단위 블록과 같은 구성 및 기능을 가질 수 있다.

도 10은 가스켓(30)을 설명하기 위한 도면이다.

도 10을 참조하면, 가스켓(30)은 단위 블록(4)과 커버(2)의 형상에 대응되는 형상을 가진 가스켓 본체(31)로 구성될 수 있다.

가스켓 본체(31)에는 단위 블록(4)에 형성된 트렌치의 일 단부(47)와 커버(2)의 홀(h1)을 연통시키기 위한 홀(h2)이 형성되어 있다(도 7을 참조).

가스켓 본체(31)는, 또한, 단위 블록(4)의 펜스(45)와 맞 닿아 캐리어 가스의 이동 경로(49)를 정의하기 위한 돌출부(33)가 형성되어 있다. 돌출부(33)는 펜스(45)와 맞 닿음으로써 밀폐된 이동 경로(49)를 형성하며, 이로써 캐리어 가스는 도 8이나 도 9에 도시된 바와 같은 방향으로 이동하게 된다.

돌출부(33)는 단위 블록(4)의 펜스(45)의 전체적 형상(적어도 일 구간은 굽은 구간을 가지는 형상으로서, 이러한 형상은 캐리어 가스가 최대한 많은 거리를 이동하도록 하기 위한 일례임)과 대응되도록 구성되며, 돌출부(33)의 사이의 갭들(g1, g2, g3, g4)에는 펜스(45)가 삽입되어, 가스켓(30)이 단위 블록(4)과 커버(2) 사이에 안정적으로 고정되게 된다.

도 11은 단위 블록(4)의 변형예로서, 격벽을 가지지 않은 단위 블록의 예이다.

도 11을 참조하면, 앞서 예시적으로 설명한 도 8과 도 9의 단위 블록과 달리 도 11의 단위 블록(4)은 격벽을 가지지 않은 트렌치(49)를 포함한다.

도 11을 참조하면, 펜스(45)는 캐리어 가스가 이동할 수 있고 소스 원료를 수용하는 트렌치(49)를 정의하며, 커버(2)의 홀(h1)과 연통하는 트렌치(49)의 일 단부(47)와 단위 블록(6)에 형성된 트렌치의 일 단부(67)와 연통하기 위한 개구부(48)를 가진다.

단위 블록(4)이 도 11과 같이 구성되는 경우에도, 도 10에 예시적으로 도시된 바와 같은 가스켓(30)을 사용할 수 있다.

도 11의 실시예를 단위 블록(4)의 변형예로서 설명하였지만, 다른 단위 블록들(6, 8, 12, 14)의 변형예로도 사용이 가능할 것이다.

본원 발명의 일 실시예에 따른 기화기(10)는, 도면들을 참조하여 예시적으로 설명한 단위 블록들 중, 적어도 하나 이상을 포함하도록 구성된다. 한편, 단위 블록 중에서 최하층에 위치되는 단위 블록(14)은 다른 단위 블록과 구성상 일부 차이가 있는데, 이는 도 5와 도 6의 도면을 참조하면 알 수 있다.

도 5와 도 6을 참조하면, 단위 블록(14)은 다른 단위 블록들(4, 6, 8, 12)과 마찬가지로 펜스와 격벽을 가지도록 구성되어 있지만, 도관(5)와 연통되는 내부 경로(143)를 구비한다.

상술한 실시예들은 원료가 고체인 경우뿐만 아니라 액체인 경우에도 적용될 수 있다.

상기와 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

3, 5: 도관
2: 커버
4, 6, 8, 12, 14: 단위 블록
10: 기화기
23, 43, 63, 83, 123: 개구부
30: 가스켓
41: 블록 본체
45: 펜스
46: 격벽
49: 트렌치

Claims (19)

1. 제1 단위블록(4); 및
   제2 단위블록(14);을 포함하며,
   제1 단위블록(4)과 제2 단위블록(14)간에 물질이 이동되도록 서로 연통되고, 제2 단위블록(14)은 제1 단위블록(4)의 하부에 수직으로 적층되며,
   제1단위블록(4)과 제2단위블록(14) 중 적어도 하나에는, 캐리어가스의 이동경로이면서 소스 원료를 수용하는 트렌치를 형성하는 펜스가 형성되어 있고,
   상기 트렌치 내에는 소스를 각각 수용하기 위한 복수의 격벽이 형성되어 있고, 상기 격벽의 높이는 상기 펜스보다 낮으며,
   상기 격벽은 액체 또는 고체 소스가 편중되지 않도록 하기 위해서 상기 트렌치 내에 설치되는 구성요소인 것인, 기화기.
2. 제1항에 있어서,
   제1 단위블록(4)과 제2 단위블록(14) 사이에 수직으로 적층되는 제3 단위블록(6);을 더 포함하며,
   제1 단위블록(4)과 제3 단위블록(6)은 서로 연통되어 있고, 제3 단위블록(6)과 제2 단위블록(14)이 서로 연통되어 있는 것인, 기화기.
3. 제2항에 있어서,
   제3 단위블록(6)에, 캐리어가스의 이동경로이면서 소스 원료를 수용하는 트렌치를 형성하는 펜스가 형성된 것인, 기화기.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 트렌치의 바닥면보다 높은 곳에 개구부가 위치되고, 상기 개구부를 통해서 캐리어 가스가 상기 트렌치로 들어오며, 상기 개구부를 통해서 들어온 캐리어 가스는 상기 트렌치를 따라서 이동되는 것인, 기화기.
5. 삭제
6. 제4항에 있어서,
   제1 단위블록(4)의 상부에 가스켓이 위치된 것인, 기화기.
7. 제3항에 있어서,
   제2 단위블록(14)과 제3단위 블록(6) 사이에 가스켓이 위치된 것인, 기화기.
8. 제6항에 있어서,
   상기 가스켓에는 상기 펜스와 맞 닿아 캐리어 가스의 이동 경로를 정의하기 위한 돌출부가 형성되어 있는 것인, 기화기.
9. 제6항에 있어서,
   상기 가스켓에는 홀이 형성되어 있고, 이 홀은 상기 트렌치의 일 단부와 상기 가스켓의 상부에 위치된 커버에 형성된 홀을 연통시키기 위한 것인, 기화기.
10. 제9항에 있어서,
    상기 가스켓에는 상기 펜스와 맞 닿아 캐리어 가스의 이동 경로를 정의하기 위한 돌출부가 형성되어 있는 것인, 기화기.
11. 제7항에 있어서,
    상기 가스켓에는 상기 펜스와 맞 닿아 캐리어 가스의 이동 경로를 정의하기 위한 돌출부가 형성되어 있는 것인, 기화기.
12. 기화기에 사용되는 단위 블록에 있어서,
    캐리어가스의 이동경로이면서 소스 원료를 수용하는 트렌치를 형성하는 펜스;를 포함하며,
    상기 트렌치 내에는 소스를 각각 수용하기 위한 복수의 격벽이 형성되어 있고,
    상기 트렌치의 바닥면보다 높은 곳에 개구부가 위치되고, 상기 개구부를 통해서 캐리어 가스가 상기 트렌치로 들어오며, 상기 개구부를 통해서 들어온 캐리어 가스는 상기 트렌치를 따라서 이동되며,
    상기 격벽의 높이는 상기 펜스의 높이 보다 낮으며,
    상기 격벽은 액체 또는 고체 소스가 편중되지 않도록 하기 위해서 상기 트렌치 내에 설치되는 구성요소인 것인, 기화기에 사용되는 단위 블록.
13. 삭제
14. 삭제
15. 삭제
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