KR20160132261A - 충진이 용이하고 기화 효율이 향상된 기화기 - Google Patents

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Abstract

바디; 상기 바디 내부에 위치되며, 케미칼을 저장할 수 있는 복수의 적층 셀들; 및 상기 복수의 적층 셀들을 연통시키기 위한 복수의 연통용 홀들;을 포함하며, 상기 복수의 연통용 홀들 중 어느 하나의 연통용 홀-제1 연통용 홀-은, 상기 복수의 적층된 셀 중 어느 하나의 셀-제1 셀-의 일(一) 개구부와 연통되도록 위치된 것으로서, 제1 셀의 상위 또는 하위 방향으로 인접한 셀-제2 셀-과 제1 셀이 연통되도록 하는 것을 특징으로 하는 기화기가 개시된다.

Description

충진이 용이하고 기화 효율이 향상된 기화기{vaporizer}
본 발명은 충진이 용이하고 기화 효율이 향상된 기화기에 관한 것이다.
기화기는, 예를 들면 화학증기증착(CVD: chemical vapor deposition) 장치 또는 이온 주입장치(ion implanter)와 같은 반도체 가공장비의 공정챔버(process chamber)로 이송가스(carrier gas)의 물질을 이송하는데 사용될 수 있다.
통상적으로 기화기는 충진하기 용이하고, 가능한 많은 케미칼을 균일하게 기화시킬 것이 요구된다. 예를 들면, 한국특허공개번호 10-2007-0035527(2007. 3. 30)(가스와 기화물질의 접촉 촉진을 보조하는 방법 및 장치)에는 기화기가 개시되어 있는데, 이러한 기화기는 케미칼의 표면적을 넓히고자 하였지만, 케미칼을 충진하고 누설을 확인하기가 매우 번거로운 구조이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 기화시킬 케미칼의 표면적(캐리어 가스와 접하는 면적과 열을 받는 면적)이 넓도록 하고, 캐리어 가스가 모든 표면적을 지나도록 할 수 있는 기화기가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 기화시킬 케미칼의 표면적이 가능한 오랫동안 일정하게 유지되어 일정하게 기화시킬 수 있는 기화기가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 기화시킬 케미칼을 충진하기가 용이한 구조를 가진 기화기가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면
바디;
상기 바디 내부에 위치되며, 케미칼을 저장할 수 있는 복수의 적층 셀들; 및
상기 복수의 적층 셀들을 연통시키기 위한 복수의 연통용 홀들;을 포함하며,
상기 복수의 연통용 홀들 중 어느 하나의 연통용 홀-제1 연통용 홀-은, 상기 복수의 적층된 셀 중 어느 하나의 셀-제1 셀-의 일(一) 개구부와 연통되도록 위치된 것으로서, 제1 셀의 상위 또는 하위 방향으로 인접한 셀-제2 셀-과 제1 셀이 연통되도록 하는 것을 특징으로 하는 기화기가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화시킬 케미칼의 표면적(캐리어 가스와 접하는 면적과 열을 받는 면적)이 넓게 되고, 캐리어 가스가 모든 케미칼을 지나갈 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화시킬 케미칼의 표면적이 가능한 오랫동안 일정하게 유지되어 일정하게 기화시킬 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 기화시킬 케미칼을 충진하기가 매우 용이하다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.
도 7은 도 1에서의 A면의 단면이고, 도 8은 도 1에서의 C면의 단면이고, 도 9는 도 1에서의 B면의 단면이다.
도 10과 도 11은 도 1의 일 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.
도 12 내지 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에 필터가 사용된 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 게재될 수도 있다는 것을 의미한다.
용어
본원 명세서에서, 용어 '연통용 구조체'라고 함은 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명하는 실시예에서의 연통용 구조체와, 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예에서의 연통용 구조체를 모두 포함하는 의미로 사용하되, 양자를 구별할 필요가 있는 경우에는 그러하지 아니하다. 또한, 용어, '연통용 홀' 은 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명하는 실시예에서의 연통용 홀과, 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예에서의 연통용 홀을 모두 포함하는 개념으로 의미로 사용하되, 양자를 구별할 필요가 있는 경우에는 그러하지 아니하다.
본 발명에 따른 기화기에 의해 기화되는 케미칼은 예를 들면, 붕소(B: boron), 인(P: phosphorous), 구리(Cu: copper), 갈륨(Ga:gallium), 비소(As:arsenic), 루테늄(Ru: ruthenium), 인듐(In: indium), 안티몬(Sb: antimony), 란탄(La: lanthanum), 탄탈륨(Ta: tantalum), 이리듐(Ir: iridium), 데카보란(B10H14: decaborane), 사염화 하프늄(HfCl4: hafnium tetrachloride), 사염화 지르코늄(ZrCl4: zirconium tetrachloride), 삼염화 인듐(InCl3: indium trichloride), 금속 유기 베타-디케토네이트 착물(metal organic β-diketonate complex), 사이클로펜타디에닐 사이클로헵타트리에틸 티타늄(CpTiChT:cyclopentadienyl cycloheptatrienyl titanium), 삼염화 알루미늄(AlCl3: aluminum trichloride), 요오드화 티타늄(TixIy:titanium iodide), 사이클로옥타테트라엔 사이틀로펜타디에닐 티타늄((Cot)(Cp)Ti: cyclooctatetraene cyclopentadienyltitanium), 비스(사이클로펜타디에닐)티타늄 디아지드 [bis(cyclopentadienyl)titanium diazide], 텅스텐 카르보닐(Wx(CO)y: tungsten carbonyl)(여기서, x와 y는 자연수), 비스(사이클로펜타디에닐)루테늄(II)[Ru(Cp)2: bis(cyclopentadienyl)ruthenium (II)], 삼염화 루테늄(RuCl3: ruthenium trichloride), 및/또는 텅스텐 클로라이드(WxCly)(여기서, x와 y는 자연수)을 포함하는 물질일 수 있다.
도 1 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이고, 도 7은 도 1에서의 A면의 단면이고, 도 8은 도 1에서의 C면의 단면이고, 도 9는 도 1에서의 B면의 단면이다.
이하에서는 이들 도면의 전부 또는 일부를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기를 설명하기로 한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는 바디(1)와 적어도 하나의 외부 커버(3, 5)를 포함하며, 바디(1)에는 케미칼을 저장(충진)하는 공간(이하, '셀'이라고 함)이 복수개 적층되어 형성되어 있다. 후술하겠지만, 이들 복수개의 셀은 서로 연통되도록 적층된다.
바디(1)에는 캐리어 가스를 주입하기 위한 주입구(9)와, 기화된 가스가 배출되는 배출구가 형성되어 있다. 기화기에는 히팅을 위한 가열부(미도시)가 바디(1)의 외부를 둘러싸도록 배치될 수 있으며, 가열봉도 바디(1)에 형성된 홀(H)에 삽입되도록 배치될 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기의 외부 커버(3)는 바디(1)로부터 분리되거나 바디(1)에 장착될 수 있다. 본 실시예에서 외부 커버(3)가 분리되는 것으로 설명하였으나, 외부 커버(5)가 분리 또는 장착되도록 구현이 가능하다.
도 3과 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 외부 커버(3)와 바디(1) 사이에 배치되는 내부 커버(7)(이하, '제1 내부 커버'라고 함)를 더 포함할 수 있다. 한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 외부 커버(5)와 바디(1) 사이에 배치되는 내부 커버(107)(이하, '제2 내부 커버'라고 함)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 내부 커버(7)와 제2 내부 커버(107) 중 적어도 하나의 커버는, 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 내부 커버(7)의 전부 또는 일부는 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다. 또한, 제2 내부 커버(107)의 전부 또는 일부는 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다.
도 3과 도 4를 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 케미칼이 충진될 수 있는 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)을 포함하며, 이들 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)은 연통용 구조체들과 연통용 홀들에 의해서 연통될 수 있다. 본원 명세서에서, 용어 '연통'은 캐리어가스 및/또는 기화된 가스가 이동될 수 있는 경로가 있는 것을 의미한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61) 사이의 공간들 중 적어도 어느 하나의 공간에 가열봉이 삽입될 수 있다. 도 1을 참조하면, 가열봉 2개가 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55)과 셀들(56, 57, 58, 59, 60, 61) 사이에 형성된 홀(H)에 삽입된다.
도 3과 도 4를 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 연통용홀들(31, 32, 33, 34, 35)과 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)을 포함할 수 있다. 이들 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)과 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)에 의해 복수개의 적층된 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)이 연통된다.
도 3과 도 4를 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서, 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)은 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)간에 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스가 이동될 수 있는 경로를 제공할 수 있다. 한편, 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35) 중에는, 상하 방향(즉, 수직 방향)으로 적층된 셀들간에 연통되도록 하는 연통용 홀들(31, 32, 33, 34)(이하, '상하 셀 연통용 홀')과 좌우 방향(즉, 수평 방향)으로 인접한 셀들간에 연통되도록 하는 연통용 홀(35)(이하, '인접 셀 연통용 홀')을 포함한다. 예를 들면, 상하 셀 연통용 홀들(31, 32, 33, 34)는 상하 방향으로 길이를 가진 형상으로 구성되고, 인접 셀 연통용 홀(35)은 좌우 방향으로 길이를 가진 형상으로 구성될 수 있다.
연통용 홀들(31, 32, 33, 34)의 각각은 상하로 인접한 2개의 셀을 연통시킨다. 예를 들면, 연통용 홀(31)은 셀(52)과 셀(52)의 아래에 적층된 셀(53)을 연통시키기 위한 것이고, 연통용 홀(34)은 셀(54)과 셀(54)의 아래에 적층된 셀(54)을 연통시키기 위한 것이고, 연통용 홀(32)은 셀(58)과 셀(58)의 아래에 적층된 셀(59)을 연통시키기 위한 것이고, 연통용 홀(33)은 셀(60)과 셀(60)의 아래에 적층된 셀(61)을 연통시키기 위한 것이다. 한편, 연통용 홀(35)은 셀(56)과 셀(56)에 인접한 셀(62)를 연통시키기 위한 것이다.
연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)은 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)간에 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스가 이동될 수 있는 경로를 제공할 수 있다. 한편, 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35) 중에는, 상하 방향으로 적층된 셀들간에 연통되도록 하는 연통용 홀들(31, 32, 33, 34)과 인접한 셀들간에 연통되도록 하는 연통용 홀(35)을 포함한다.
도 3과 도 4를 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)은 각각 사각형상의 통 형상으로 구성된다. 본 실시예에서, 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)은 양쪽에 서로 마주 보는 개구부를 가진 통형상으로 구성되어 있으며, 이들 개구부들에 연통용 구조체들이 형성된 내부 커버와 연통용 홀들이 형성된 커버가 결합된다.
본 실시예에서, 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)은, 제1 상하 방향 적층셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)과 제2 상하 방향 적층셀들(57, 58, 59, 60, 61, 62)를 포함한다. 본 실시예에서, 제1 상하 방향 적층셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)과 제2 상하 방향 적층셀들(57, 58, 59, 60, 61, 62)은 서로 평행하게 인접하여 배치되고, 제1 상하 방향 적층셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)끼리 서로 연통되고, 제2 상하 방향 적층셀들(57, 58, 59, 60, 61, 62)끼리 서로 연통된다. 또한, 제1 상하 방향 적층셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56) 중 적어도 어느 하나의 적층셀(예를 들면, 56)과, 제2 상하 방향 적층셀들(57, 58, 59, 60, 61, 62) 중 적어도 어느 하나의 적층셀(예를 들면, 62)은 서로 연통된다. 서로 좌우 방향으로 연통되는 셀들(예를 들면, 56과 62)은 예를 들면 같은 높이에 위치되어 있을 수 있다.
한편, 서로 좌우 방향으로 연통되는 셀들(예를 들면, 56과 62)은 각각 가장 아래에 위치된 것일 수 있지만, 이는 예시적인 것으로서, 제1 상하 방향 적층셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56) 중 중간에 위치한 셀과, 제2 상하 방향 적층셀들(57, 58, 59, 60, 61, 62) 중 중간에 위치한 셀이 서로 연통되도록 하는 것도 가능할 것이다.
도 3과 도 4를 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서, 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)은 각각 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)에 충진된 케미칼이 외부로 누출되지 않도록 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)을 밀폐시키는 기능을 수행하고, 그리고 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82) 중 일부의 연통용 구조체들(72, 73, 74, 75, 76, 78, 79, 80, 81, 82)은 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)(이하, '제1 연통용 홀들')과의 연통을 위한 홀들(이하, '제2 연통용 홀들)(42, 43, 44, 45, 46, 47, 48, 49, 50, 51, 52)을 포함한다.
예를 들면, 제2 연통용 홀(42)은 연통용 구조체(72)에 형성되어 있고, 제1 연통용 홀(31)과 셀(52)을 연통시키기 위한 것이고, 제2 연통용 홀(43)는 연통용 구조체(73)에 형성되어 있고, 제1 연통용 홀(31)과 셀(53)을 연통시키기 위한 것이다. 같은 방식으로, 나머지 제2 연통용 홀들(44, 45, 46, 47, 48, 49, 50, 51, 52)도 셀들을 연통시키기 위한 것이다.
도 3과 도 4를 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서, 내부 커버(7)의 일면에 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)이 형성되어 있고, 외부 커버(3)의 일면에 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)이 형성되어 있다. 내부 커버(7)의 양면 중 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)과 마주 보는 면에 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)이 형성되어 있고, 외부 커버(3)의 양면 중 내부 커버(7)와 마주 보는 면에 연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)이 형성되어 있다.
예를 들면, 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)은 내부 커버(7)의 일면에 위치되어 소정 길이 돌출되어 있고, 각각 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)의 일면과 정합되도록 구성되어 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)에 충진된 케미칼이 누출되지 않도록 밀폐시키고 기화된 기체가 이동될 수 있는 경로를 제공한다. 따라서, 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)에 충진된 케미칼이 기화되면, 기화된 기체는 제2 연통용 홀들(44, 45, 46, 47, 48, 49, 50, 51, 52)을 통해서 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 제1 내부 커버(7)에 형성된 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82) 전부 또는 일부는 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다.
또한, 제2 내부 커버(107)에 형성된 연통용 구조체들의 전부 또는 일부도 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에 케미칼을 충진하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 외부 커버(3)와 내부 커버(7)를 바디(1)로부터 분리한 상태이다. 이 상태에서, 바디(1)에 형성된 셀들 (51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)이 하늘 방향을 향하도록 바디(1)의 방향을 조절한 후, 케미칼을 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)에 충진할 수 있다. 도시하지는 않았지만 셀들(51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)의 내부 측면에는 케미칼의 충진량을 나타내는 수치가 표현되어 있을 수 있다. 셀들 (51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)에 각각 충진되는 케미칼의 양은, 예를 들면 각각의 셀 체적의 100% 보다는 적게 충진될 수 있다. 즉, 셀들 (51, 52, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61)에 케미칼을 완전히 채우기 보다는, 도 5에 예시적으로 도시된 바와 같이 셀의 일부를 채우는 것이 바람직하며, 이는 캐리어 가스가 이동될 수 있는 공간을 제공하기 위한 것이다.
한편, 본원 발명의 설명의 목적을 위해서, 케미칼이 충진될때의 바디(1)의 방향(즉, 셀들이 하늘을 향하도록 배치된 방향)을 '충진 방향'이라고 정의 하고, 도 1과 같이 케미칼을 기화시키기 위해서 배치된 바디(1)의 방향을 '기화 방향'이라고 정의하기로 한다.
도 5에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에 케미칼이 모두 충진되면, 내부 커버(70)와 외부 커버(3)가 바디(1)에 결합된다. 이후, 기화를 위해서, 바디(1)는 기화 방향으로 배치된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 바디(1)는 충진의 용이성을 위해서 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 또한, 바디(1)에 결합되는 외부커버들(3, 5) 중 적어도 하나는 직육면체의 형상을 가질 수 있다.
이상의 설명에서, 연통용 홀이 형성된 외부 커버(3)와 연통용 구조체들이 형성된 제1 내부 커버(70)를 예로 들어 설명하였지만, 외부 커버(5)와 제2 내부 커버(107)(도 6과 도 7을 참조)에도 각각 연통용 홀과 연통용 구조체들이 형성되어 있을 수 있다. 이에 대하여는 후술하는 도면들을 통해서 설명하기로 한다.
도 6은 도 1에서의 A면의 단면 사시도이고, 도 7은 도 1에서의 A면의 단면도이고 도 8은 도 1에서의 C면의 단면도이고, 도 9는 도 1에서의 B면의 단면도이다.
도 6과 도 7을 참조하면, 케미칼이 충진된 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기가 기화 방향으로 배치된 상태에서의 단면을 나타낸 것으로서, 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)을 예로 들어서 연통되는 원리를 설명하기로 한다. 이해의 편의를 위해서, 도 7에 캐리어 가스가 이동되는 경로를 화살표로 표시하였다.
도 6과 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서, 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)의 일 개구부에는 제1 내부 커버(7)와 외부 커버(3)가 결합되어 있고, 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)의 나머지 개구부에는 제2 내부 커버(107)와 외부 커버(5)가 결합되어 있다. 본원 명세서에서는, 제1 내부 커버(7)와 외부 커버(3)가 결합된 개구부를 '제1 개구부'라고 하고, 제2 내부 커버(107)와 외부 커버(5)가 결합된 개구부를 '제2 개구부'라고 정의하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 제1 개구부와 제2 개구부는 서로 마주 보도록 배치되어 있다.
도 6과 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 또한, 제2 개구부를 밀폐 시키고, 캐리어 가스와 기화된 가스가 이동될 수 있는 경로를 제공하는 연통용 구조체들과 연통용 홀들을 포함한다. 여기석, 연통용 구조체들은 제2 내부 커버(107)의 일면-제2 개구부와 서로 마주보는 면-에 형성되고, 연통용 홀들은 외부 커버(5)의 일면-내부 커버(107)와 서로 마주보는 면-에 형성된다. 제2 개구부를 밀폐 시키고, 캐리어 가스와 기화된 가스가 이동될 수 있는 경로를 제공하는 연통용 구조체들과 연통용 홀들에 대한 구조나 기능은 제1 내부 커버(7)와 외부 커버(3)에 각각 형성된 연통용 구조체들(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82)과연통용 홀들(31, 32, 33, 34, 35)의 것과 동일 유사하므로, 도 1 내지 도 5의 설명을 참조하기 바란다.
한편, 도 6과 도 7에는, 제2 내부 커버(107)와 외부 커버(5)에 각각 형성된 연통용 구조체들과 연통용 홀들 중 일부가 예시적으로 도시되어 있다. 즉, 연통용 구조체들(171, 172, 173, 174, 175, 176), 연통용 구조체들(171, 172, 173, 174, 175, 176)에 형성된 홀들(141, 142, 143, 144, 145, 146), 및 연통용 홀들(131, 133, 134)이 도시되어 있다.
도 6과 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서, 상하방향으로 순차적으로 적층된 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)의 제1 개구부에는 연통용 구조체들이 형성된 제1 내부 커버(7)와 연통용 홀들이 형성된 외부 커버(3)가 결합되고, 제2 개구부에는 연통용 구조체들이 형성된 제2 내부 커버(107)와 연통용 홀들이 형성된 외부 커버(5)가 결합되어 밀폐되어 있다.
도 6과 도 7을 계속 참조하면, 최상위 층에 있는 셀(51)은 주입구(9)와 연통되어 있고, 셀(51)의 제1 개구부는 연통용 구조체(71)가 결합되어 있고, 셀(51)의 제2 개구부는 연통용 구조체(171)가 결합되어 있다. 또한, 셀(52)의 제1 개구부는 연통용 구조체(72)가 결합되어 있고, 셀(52)의 제2 개구부는 연통용 구조체(172)가 결합되어 있다. 또한, 셀(53)의 제1 개구부는 연통용 구조체(73)가 결합되어 있고, 셀(53)의 제2 개구부는 연통용 구조체(173)가 결합되어 있다. 또한, 셀(54)의 제1 개구부는 연통용 구조체(74)가 결합되어 있고, 셀(54)의 제2 개구부는 연통용 구조체(174)가 결합되어 있다. 이와 같은 방식으로 나머지 셀들에도 연통용 구조체들이 결합되어 있다.
한편, 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(171)과 연통용 구조체(172)를 연통용 홀(131)이 둘러싸고, 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(173)과 연통용 구조체(174)를 연통용 홀(133)이 둘러싸고, 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(175)과 연통용 구조체(176)를 연통용 홀(135)이 둘러싸도록, 제2 내부 커버(107)가 제2 개구부에 결합된다. 또한, 제1 개구부에 결합된 연통용 구조체(72)과 연통용 구조체(73)를 연통용 홀(31)이 둘러싸고, 제1 개구부에 결합된 연통용 구조체(74)과 연통용 구조체(75)를 연통용 홀(33)이 둘러싸고, 제1 개구부에 결합된 연통용 구조체(76)과 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(76)를 연통용 홀(35)이 둘러싸도록, 제1 내부 커버(7)가 제1 개구부에 결합된다.
한편, 연통용 구조체(171)에는 연통용 홀(131)과 연통되는 홀(141)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(172)에는 연통용 홀(131)과 연통되는 홀(142)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(173)에는 연통용 홀(133)과 연통되는 홀(143)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(174)에는 연통용 홀(133)과 연통되는 홀(144)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(175)에는 연통용 홀(134)과 연통되는 홀(145)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(176)에는 연통용 홀(134)과 연통되는 홀(146)이 형성되어 있다. 또한, 연통용 구조체(72)에는 연통용 홀(31)과 연통되는 홀(42)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(73)에는 연통용 홀(31)과 연통되는 홀(43)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(74)에는 연통용 홀(33)과 연통되는 홀(44)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(75)에는 연통용 홀(33)과 연통되는 홀(45)이 형성되어 있고, 연통용 구조체(76)에는 연통용 홀(34)과 연통되는 홀(46)이 형성되어 있다.
이상과 같이, 상하방향으로 순차적으로 적층된 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)의 양 개구부에는 연통용 구조체들이 각각 결합되어, 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)을 밀폐시킨다. 한편, 셀들(51, 52, 53, 54, 55, 56)의 양 개구부에 결합된 연통용 구조체들 중 적어도 어느 하나의 연통용 구조체에는 연통용 홀과 연통되기 위한 홀(예를 들면, 42, 43, 44, 45, 46, 141, 142, 143, 144, 145, 146)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 셀들(52, 53, 54, 55, 56)의 양 개구부에 결합된 연통용 구조체들에는 모두 연통용 홀과 연통되기 위한 홀들(예를 들면, 42, 43, 44, 45, 46, 142, 143, 144, 145, 146)이 형성되어 있다. 한편, 최상위 층에 있는 셀(51)의 경우, 제1 개구부에 결합된 연통용 구조체(71)에는 홀이 없고, 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(171)에 홀(141)이 형성되어 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서, 셀의 제1 개구부 측에 결합되는 연통용 홀들과, 셀의 제2 개구부 측에 결합되는 연통용 홀들은 지그 재그 형태로 배치된다.
셀(52)을 예로 들면, 셀(52)의 제1 개구부 측에 결합된 연통용 홀(31)과 셀(52)의 제2 개구부 측에 결합된 연통용 홀(131)은 각각 서로 다른 셀과의 연통되도록 한다. 즉, 셀(52)의 제1 개구부 측에 결합된 연통용 홀(31)은 셀(52)의 하부에 적층된 셀(53)과 연통되기 위한 것이고, 셀(52)의 제2 개구부 측에 결합된 연통용 홀(131)은 셀(52)의 상부에 적층된 셀(51)과 연통되기 위한 것이다.
도 9와 도 10은 중간에 위치한 셀(52)과 셀(58)에서 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스가 이동되는 경로를 설명하기 위한 것이다.
도 9와 도 10을 참조하면, 셀(52)의 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(131)에 형성된 홀(142)을 통해서 유입된 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스는 셀(52)의 제1 개구부에 결합된 연통용 구조체(72)에 형성된 홀(42)을 통해서 연통용 홀(31)을 경유하여 셀(53)로 이동될 수 있다. 한편, 셀(52)와 나란히 배치된 셀(58)은 셀(52)와는 연통되어 있지 않으며, 셀(58)은 셀(58)의 상부에 있는 셀과 하부에 있는 셀과 연통된다.
또한, 셀(53)을 예로 들면, 셀(53)의 제1 개구부 측에 결합된 연통용 홀(31)과 셀(53)의 제2 개구부 측에 결합된 연통용 홀(133)은 각각 서로 다른 셀과의 연통되도록 한다. 즉, 셀(53)의 제1 개구부 측에 결합된 연통용 홀(31)은 셀(53)의 상부에 적층된 셀(52)과 연통되기 위한 것이고, 셀(53)의 제2 개구부 측에 결합된 연통용 홀(133)은 셀(53)의 하부에 적층된 셀(54)과 연통되기 위한 것이다. 한편, 셀(54)의 제1 개구부 측에 결합된 연통용 홀(33)은 셀(54)의 하부에 적층된 셀(55)과 연통되기 위한 것이고, 셀(54)의 제2 개구부 측에 결합된 연통용 홀(133)은 셀(54)의 상부에 적층된 셀(53)과 연통되기 위한 것이다. 셀(55)도 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이 같은 방식으로 구성될 수 있다.
본 실시예에서, 최상위 층에 위치된 셀(51)은, 주입구(9)를 통해서 주입되는 캐리어 가스를 주입받아서, 셀(51)의 하부에 적층된 셀(52)로 캐리어 가스와 기화된 가스가 이동될 수 있도록 하는 구성을 가진다. 예를 들면, 셀(51)은 주입구(9)와 연통되어 있고, 셀(51)의 개구부 중 어느 하나의 개구부(예를 들면, 제2 개구부)에 결합된 연통용 구조체(171)에 형성된 홀(141)을 통해서 연통용 홀(131)과 연통되어 셀(52)와 연통된다.
본 실시예에서, 최하위 층에 위치된 셀(56)은 인접하여 위치된 셀(62)과 연통된다. 도 8은 최하위 층에 위치된 셀(56)과 셀(62)에서 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스가 이동되는 경로를 설명하기 위한 것이다.
도 8을 참조하면, 셀(56)의 제2 개구부에 결합된 연통용 구조체(176)에 형성된 홀(146)을 통해서 유입된 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스는 셀(56)의 제1 개구부에 결합된 연통용 구조체(76)에 형성된 홀(46)을 통해서 연통용 홀(34)을 경유하여 셀(62)로 이동될 수 있다. 셀(62)로 유입된 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스는 셀(62)의 상위에 있는 셀(61)로 이동되고, 이후 셀(60), 셀(59), 셀(58), 및 셀(57)을 경유하여 외부로 배출된다. 셀(60), 셀(59), 셀(58), 및 셀(57)을 경유하는 과정은 전술한 바와 같이, 연통용 구조체에 형성된 홀과 연통용 홀을 통해서 이동된다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에 있어서의 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스의 흐름을 나타내기 위한 도면이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에서 캐리어 가스 및/또는 기화된 가스가 이동되는 경로를 이해할 수 있다. 즉, 주입구로 주입된 캐리어 가스는 셀 51, 52, 53, 54, 55, 56, 62, 61, 60, 59, 58, 57를 경유하며, 기화된 가스도 같은 경로를 따라서 외부로 배출된다.
도 12 내지 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.
도 12 내지 도 16을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화기에서 각 셀들의 내부에 가로막(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31)이 설치되어 있다.
도 12 내지 도 16을 참조하여 설명하는 본 실시예는, 도 1 내지 도 11을 참조하여 설명한 실시예와 달리 셀들의 내부에 가로막(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31)이 추가적으로 설치되어 있다는 점에서 차이가 있으며, 나머지 구성은 동일하다. 따라서, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
설명의 목적을 위해서, 셀(52)에 배치된 가로막(21, 22)을 기준으로 설명하기로 한다. 가로막(21)은 연통용 구조체에 형성된 홀(42)을 덮되 소정 거리 이격되어 위치되며, 가로막(23)도 연통용 구조체에 형성된 홀(142)과 소정 거리 이격되어 위치된다. 본 실시예에서는, 셀(52)에 가로막을 두개(21, 22) 설치하였지만, 이는 예시적인 것으로서 1개 설치하는 것도 가능하다.
셀마다 가로막을 한개만 설치하는 경우에는, 제1 개구부 측에만 설치하던지 또는 제2 개구부 측에만 설치하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 가로막을 21, 23, 25, 27, 29 31만을 설치하거나, 또는 가로막을 22, 24, 26, 28, 30을 설치하는 것이다.
셀들의 내부에 가로막(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31)을 설치하는 이유는 케미칼을 충진할 때의 용이성을 위해서이다. 바디(1)를 충진 방향으로 배치하고, 각 셀에 케미칼을 충진하고 할 때 가로막(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31)이 없는 경우에는 연통용 구조체에 형성된 홀을 통해서 케미칼이 이동될 수 있기 때문에 이를 어느 정도 방지 하기 위함이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에 필터가 사용된 예를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에는 고체의 비산을 방지하기 위한 필터가 사용될 수 있다.
도 17을 참조하면, 캐리어 가스가 주입되는 주입구 또는 기화된 가스가 배출되는 배출구의 일 단부에 필터(F)가 장착될 수 있다. 필터(F)는 기화의 대상이 되는 고체 케미칼은 통과시키지 않고, 기화된 가스나 캐리어 가스는 통과시킬 수 있다.
도 17을 계속 참조하면, 필터는 캐리어 가스가 주입되는 주입구에 결합된 인렛의 내부의 임의의 위치(P1)에 필터가 장착되거나, 또는 필터는 기화된 가스가 배출되는 배출구에 결합된 아웃렛의 내부의 임의의 위치(P1)에 필터가 장착될 수 있다.
즉, 고체는 통과시키지 않고, 기화된 가스나 캐리어 가스만 통과시키는 필터가, 인렛 또는 아웃렛 내부에 장착되거나, 주입구 또는 배출구의 일단에 장착될 수 있다.
다르게는, 고체는 통과시키지 않고, 기화된 가스나 캐리어 가스만 통과시키는 필터가, 인렛과 아웃렛 내부에 장착되거나, 또는 주입구와 배출구의 일단에 장착될 수 있다.
예를 들면, 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명하였던 기화기에, 도 17에서 설명한 바와 같이 고체를 통과시키지 않고 기화된 가스나 캐리어 가스만 통과시키는 필터가 인렛 및/또는 아룻렛 내부에 장착되거나 또는 주입구와 배출구의 일단에 장착될 수 있다. 또는 도 17 내지 도 21을 참조하여 후술할 기화기에 있어서도, 도 17에서 설명한 바와 같이 고체를 통과시키지 않고 기화된 가스나 캐리어 가스만 통과시키는 필터가 인렛 및/또는 아룻렛 내부에 장착되거나 또는 주입구와 배출구의 일단에 장착될 수 있다.
도 18 내지 도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화기를 설명하기 위한 도면들이다.
이들 도면을 참조하면, 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는 바디(301)와 적어도 하나의 외부 커버(303, 305)를 포함하며, 바디(301)에는 케미칼을 저장(충진)하는 공간('셀')들이 복수개 적층되어 형성되어 있다.
바디(301)에는 캐리어 가스를 주입하기 위한 주입구(309)와, 기화된 가스가 배출되는 배출구(302)가 형성되어 있다. 기화기에는 히팅을 위한 가열부(미도시)가 바디(301)의 외부를 둘러싸도록 배치될 수 있으며, 가열봉도 바디(301)에 형성된 홀(H)에 삽입되도록 배치될 수 있다.
도 18 내지 도 21을 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 외부 커버(303)와 바디(301) 사이에 배치되는 내부 커버(307)('제1 내부 커버')와, 외부 커버(305)와 바디(301) 사이에 배치되는 내부 커버(307)('제2 내부 커버')를 더 포함할 수 있다. 여기서, 제1 내부 커버(307)와 제2 내부 커버(307) 중 적어도 하나의 커버는, 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 내부 커버(307)의 전부 또는 일부는 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다. 또한, 제2 내부 커버(307)의 전부 또는 일부는 불소수지(테프론등) 계열의 재질로 구성될 수 있다.
도 18 내지 도 21을 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 케미칼이 충진될 수 있는 셀들(351, 352, 353, 354, 355, 356, 357, 358, 359, 360, 361, 362)을 포함하며, 이들 셀들(351, 352, 353, 354, 355, 356, 357, 358, 359, 360, 361, 362)은 연통용 구조체들과 연통용 홀들에 의해서 연통될 수 있다.
도 18 내지 도 21을 계속 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기는, 연통용홀들과 연통용 구조체들을 포함할 수 있다. 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예와, 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명하였던 실시예의 차이점은 연통용홀들과 연통용 구조체들의 위치와 구성에 있다.
즉, 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명하였던 연통용홀들은 외부 커버에 형성되어 있고, 연통용 구조체들은 내부 커버에 위치하였다. 이에 비하여, 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예에 있어서 연통용 홀들과 연통용 구조체들은 내부 커버들(307, 317)나 외부 커버(303, 305)에 위치되지 않는다는 점에서 차이가 있다.
도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예에서는, 연통용 홀들은 셀들의 개구부 측에 형성된다. 예를 들면, 도 18을 참조하면, 셀(352)의 일 개구부 측에 연통용 홀(331)이 형성되어 있다. 연통용 홀(331)은 셀(352)와 셀(352)의 아래에 적층된 셀(353)간을 연통시키기 위한 것이다. 보다 구체적으로는, 연통용 홀(331)은 셀(352)의 일 개구부와 셀(352)의 아래에 적층된 셀(353)의 일 개구부를 연통시키기 위한 것이다.
또한, 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예에 따른 기화기는, 셀(351)과 셀(351)의 아래에 적층된 셀(352)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(353)과 셀(353)의 아래에 적층된 셀(354)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(354)과 셀(354)의 아래에 적층된 셀(355)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(355)과 셀(355)의 아래에 적층된 셀(356)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(356)과 셀(356)의 수평방향에 위치된 셀(357)을 연통시키기 위한 연통용 홀(335), 셀(357)과 셀(357)의 위에 적층된 셀(362)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(362)과 셀(362)의 위에 적층된 셀(361)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(361)과 셀(361)의 위에 적층된 셀(360)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(360)과 셀(360)의 위에 적층된 셀(359)을 연통시키기 위한 연통용 홀, 셀(359)과 셀(359)의 위에 적층된 셀(358)을 연통시키기 위한 연통용 홀을 포함한다.
한편, 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명하는 실시예에 따른 기화기는, 전술한 연통용 홀들 중 적어도 일부에는 연통용 구조체들이 각각 결합된다. 예를 들면, 본 실시예에서 연통용 구조체는 고체는 통과시키지 않고 기화된 가스나 캐리어 가스만을 통과시키는 필터(예를 들면, 313, 316, 319, 372, 383, 379, 386) 를 포함하도록 구성될 수 있다. 한편, 모든 연통용 홀에 연통용 구조체가 결합되거나, 또는 수평방향에 위치된 셀들을 연통시키기 위한 연통용 홀(335)을 제외한 나머지 모든 연통용 홀들에 연통용 구조체가 결합될 수 있다.
본원 명세서에서는, 설명의 목적을 위해서, 필터를 포함하도록 구성된 연통용 구조체를 종종 필터링 기능을 구비한 연통용 구조체라고 부르기로 한다.
도 18을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기화기에 사용되는 연통용 구조체(372)는 필터(373)를 포함하도록 구성된다. 필터(373)는 고체를 통과시키지 않고 기체(캐리어 가스나 기화된 가스)만을 통과시킨다. 또한, 연통용 구조체(372)는 고정부(373)를 더 포함할 수 있으며, 고정부(372)는 필터(373)를 고정시켜, 필터(373)가 연통용 홀(331)을 밀봉하도록 한다. 예를 들면, 고정부(372)의 일측은 필터(373)과 결합되어 있고, 고정부(372)의 다른 측은 셀(352)의 상부에 결합된다.
한편, 도 18 내지 도 21의 실시예에서, 필터링 기능을 구비한 연통용 구조체들이 T 자 형상으로 구성되어 있는 것으로 설명하였지만, 이는 예시적인 것으로서 다른 형상을 가지도록 구성되는 것도 가능할 것이다. 즉, 필터링 기능을 구비한 연통용 홀을 밀봉시킬 수 있는 구조라면 어떠한 구조도 사용할 수 있다.
도 18을 계속 참조하면, 본 발명의 설명의 목적을 위해서 셀(352)에서 연통용 구조체(372)를 제거하고 연통용 홀(331)을 나타낸 확대 도면을 좌측 상부에 표시하였다. 연통용 홀(331)은 셀(352)와 셀(353)을 연통시키며, 그러한 연통용 홀(331)은 필터링 기능을 구비한 연통용 구조체(372)에 의해 밀폐된다. 따라서, 셀(352)에서 기화된 가스와 캐리어 가스만 연통용 홀(331)을 통해서 셀(353)으로 이동된다.
다른 연통용 구조체들 및 연통용 홀들의 구조 및 기능도, 연통용 구조체(371) 및 연통용 홀(331)과 동일 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 도 18 내지 도 21을 참조하여 설명한 실시예에서 설명되지 않은 구성요소들은, 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명한 실시예의 설명을 참조하기 바란다.
이상 하나 이상의 실시예를 참조하여 설명한 기화기는 그 형상이 사각형상인 것으로 설명하였으나 이는 예시적인 것으로서 다른 형상으로도 본원 발명이 구현될 수 있음을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 또한, 셀들의 갯수나, 연통용홀들과 연통용 구조체들의 갯수는 예시적인 것으로서 이들과 다른 갯수로 본원 발명이 구현될 수 있음을 당업자는 용이하게 이해할 수 있다. 나아가 복수개로 구현된 구성요소들의 갯수는 예시적인 것으로서 다른 갯수로도 구현될 수 있음을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
1: 바디
3, 5: 외부 커버
7, 107: 내부 커버
9: 주입구
31, 32, 33, 34: 연통용 홀
21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31: 가로막
51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62: 셀
71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78, 79, 80, 81, 82: 연통용 구조체
42, 43, 44, 45, 46, 47, 48, 49, 50, 51, 52: 홀

Claims (28)

  1. 바디;
    상기 바디 내부에 위치되며, 케미칼을 저장할 수 있는 복수의 적층 셀들; 및
    상기 복수의 적층 셀들을 연통시키기 위한 복수의 연통용 홀들;을 포함하며,
    상기 복수의 연통용 홀들 중 어느 하나의 연통용 홀-제1 연통용 홀-은, 상기 복수의 적층된 셀 중 어느 하나의 셀-제1 셀-의 일(一) 개구부와 연통되도록 위치된 것으로서, 제1 셀의 상위 또는 하위 방향으로 인접한 셀-제2 셀-과 제1 셀이 연통되도록 하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 적층 셀들을 밀폐시키기 위한 복수의 연통용 구조체들;을 더 포함하며,
    상기 복수의 연통용 구조체들 중 어느 하나의 연통용 구조체-제1 연통용 구조체-는 제1 셀의 일 개구부에 결합되어 제1 셀을 밀폐시키며,
    제1 연통용 구조체에는 제1 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기화기.
  3. 제2항에 있어서,
    제1 셀에는 제1 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀과 소정거리 이격되어 덮는 가로막이 형성된 것을 특징으로 하는 기화기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 홀들 중 어느 하나의 연통용 홀-제2 연통용 홀-은, 제1 셀-의 다른 하나의 개구부와 연통되도록 위치된 것으로서, 제1 셀의 하위 또는 상위 방향으로 인접한 셀-제3 셀-과 제1 셀이 연통되도록 하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 구조체들 중 어느 하나의 연통용 구조체-제2 연통용 구조체-는 제1 셀의 상기 다른 하나의 개구부에 결합되어 제1 셀을 밀폐시키며,
    제2 연통용 구조체에는 제2 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기화기.
  6. 제5항에 있어서,
    제1 셀에는 제2 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀과 소정거리 이격되어 덮는 가로막이 형성된 것을 특징으로 하는 기화기.
  7. 제6항에 있어서,
    제2 셀은 제1 셀의 상위에 있고, 제3 셀은 제2 셀의 하위에 위치된 것을 특징으로 하는 기화기.
  8. 제7항에 있어서,
    제1 셀은 직사각형의 통상이며, 상기 개구부들은 상기 직사각형의 마주보는 면들에 각각 위치된 것을 특징으로 하는 기화기.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 홀들 중 어느 하나의 연통용 홀-제2 연통용 홀-은, 제1 셀-의 다른 하나의 개구부와 연통되도록 위치된 것으로서, 제1 셀의 수평방향으로 인접한 셀-제3 셀-과 제1 셀이 연통되도록 하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 구조체들 중 어느 하나의 연통용 구조체-제2 연통용 구조체-는 제1 셀의 상기 다른 하나의 개구부에 결합되어 제1 셀을 밀폐시키며,
    제2 연통용 구조체에는 제2 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기화기.
  11. 제10항에 있어서,
    제1 셀은 직사각형의 통상이며, 상기 개구부들은 상기 직사각형의 마주보는 면들에 각각 위치된 것을 특징으로 하는 기화기.
  12. 제1항 내지 제11항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 구조체들이 형성된 내부 커버;와
    상기 복수의 연통용 홀들이 형성된 외부 커버;를 더 포함하며,
    상기 내부 커버는 상기 셀들을 덮고, 상기 외부 커버는 상기 내부 커버를 덮도록 구성된 것을 특징으로 하는 기화기.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 내부 커버는 상기 셀들에 분리 가능하게 결합된 것이고, 상기 외부 커버는 상기 바디에 분리 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 기화기.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 홀들은, 상하 셀 연통용 홀들과 인접 셀 연통용 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 적층 셀은,
    제1 상하 방향 적층셀들과 제2 상하 방향 적층셀들을 포함하고,
    제1 상하 방향 적층셀들끼리 서로 연통되고, 제2 상하 방향 적층셀들끼리 서로 연통되며, 제1 상하 방향 적층셀들 중 적어도 어느 하나의 적층셀과, 제2 상하 방향 적층셀들 중 적어도 어느 하나의 적층셀은 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 기화기.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 복수의 적층 셀들을 밀폐시키기 위한 복수의 연통용 구조체들;을 더 포함하며,
    상기 복수의 연통용 구조체들 중 어느 하나의 연통용 구조체-제1 연통용 구조체-는 제1 셀의 일 개구부에 결합되어 제1 셀을 밀폐시키며,
    상기 제1 셀은 제1 상하 방향 적층셀들에 포함된 것이고, 제1 연통용 구조체에는 제1 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기화기.
  17. 제16항에 있어서,
    제1 셀에는 제1 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀과 소정거리 이격되어 덮는 가로막이 형성된 것을 특징으로 하는 기화기.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 홀들 중 어느 하나의 연통용 홀-제2 연통용 홀-은, 제1 셀-의 다른 하나의 개구부와 연통되도록 위치된 것으로서, 제1 셀의 하위 또는 상위 방향으로 인접한 셀-제3 셀-과 제1 셀이 연통되도록 하며,
    상기 제3 셀은 제1 상하 방향 적층셀들에 포함된 것을 특징으로 하는 기화기.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 복수의 연통용 구조체들 중 어느 하나의 연통용 구조체-제2 연통용 구조체-는 제1 셀의 상기 다른 하나의 개구부에 결합되어 제1 셀을 밀폐시키며,
    제2 연통용 구조체에는 제2 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기화기.
  20. 제19항에 있어서,
    제1 셀에는 제2 연통용 홀과 제1 셀을 연통되도록 하는 홀과 소정거리 이격되어 덮는 가로막이 형성된 것을 특징으로 하는 기화기.
  21. 제1항 내지 제11항에 있어서,
    상기 바디에 형성되는 주입구;
    상기 주입구에 장착되어 캐리어 가스를 주입하기 위한 인렛;
    상기 바디에 형성되는 배출구;
    상기 배출구에 장착되어 기화된 가스 및/또는 캐리어 가스를 배출하기 위한 아웃렛;
    고체는 통과시키지 않고 기화된 가스와 캐리어 가스를 통과시키는 적어도 하나의 필터;를 더 포함하며,
    상기 주입구는 상기 복수의 적층 셀들 중 어느 하나의 셀과 연통되어 있고, 상기 배출구는 상기 복수의 적층 셀 중에서 다른 하나의 셀과 연통되어 있으며,
    상기 적어도 하나의 필터는
    i) 상기 주입구의 단부 및/또는 상기 인렛의 내부
    ii) 상기 배출구의 단부 및/또는 상기 아웃렛의 내부
    중 적어도 어느 하나에 장착되는 것을 특징으로 하는 기화기.
  22. 제1항 내지 제11항에 있어서,
    상기 연통용 구조체의 재질은 불소수지(테프론등) 계열인 것을 특징으로 하는 기화기.
  23. 제1항 내지 제11항에 있어서,
    상기 복수의 적층 셀들 사이에 가열봉이 삽입된 것을 특징으로 하는 기화기.
  24. 제1항에 있어서,
    필터링 기능을 구비한 연통용 구조체들;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 필터링 기능을 구비한 연통용 구조체들 중 어느 하나의 연통용 구조체는 제1 연통용 홀에 결합되어 제1 연통용 홀을 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 기화기.
  26. 제25항에 있어서,
    제1 연통용 홀에 결합된 상기 연통용 구조체는 필터를 포함하며, 상기 필터는 고체는 통과시키지 않고 기화된 기체와 캐리어 가스를 통과시키는 것을 특징으로 하는 기화기.
  27. 제26항에 있어서,
    제1 연통용 홀에 결합된 상기 연통용 구조체는 고정부를 더 포함하며,
    상기 고정부의 일측은 필터와 결합되어 있고, 상기 고정부의 타측은 제1셀의 상부에 결합된 것을 특징으로 하는 기화기.
  28. 제1항 내지 제11항에 있어서,
    상기 바디는 직육면체 형상인 것을 특징으로 하는 기화기.
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